JPH0979943A - ガラス基板のクランプ装置 - Google Patents
ガラス基板のクランプ装置Info
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- JPH0979943A JPH0979943A JP23384895A JP23384895A JPH0979943A JP H0979943 A JPH0979943 A JP H0979943A JP 23384895 A JP23384895 A JP 23384895A JP 23384895 A JP23384895 A JP 23384895A JP H0979943 A JPH0979943 A JP H0979943A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶表示、等に用いられるガラス基板の検査
装置に適用されるクランプ装置に関し、基板のたわみを
なくし、光学的焦点の外れを防止する。 【解決手段】 基板１はその両端を支持部材２、クラン
プ部材３とで支持される。基板１の支持角を、両端自由
支持の場合の角度αに対し、絶対値を１／４に、方向を
逆にすることにより中央部Ｃを両端Ａ，Ｂと同一高さに
することができる。実用上この角度は±３０％程度の誤
差は許される。クランプ部材３はクランプアーム４に取
付けられ、アーム４はレール５とガイド６に導かれ、ベ
ース部材７に取付けのエアシリンダー８により上下して
角度調整される。この角度にすると白色光源１０からの
光１１及びＵＶ光源１６からの光１７は基板１が同一高
さであるのでレンズ１２、絞り１３により正確な焦点範
囲でＣＣＤカメラ１５及び１９で受光される。
装置に適用されるクランプ装置に関し、基板のたわみを
なくし、光学的焦点の外れを防止する。 【解決手段】 基板１はその両端を支持部材２、クラン
プ部材３とで支持される。基板１の支持角を、両端自由
支持の場合の角度αに対し、絶対値を１／４に、方向を
逆にすることにより中央部Ｃを両端Ａ，Ｂと同一高さに
することができる。実用上この角度は±３０％程度の誤
差は許される。クランプ部材３はクランプアーム４に取
付けられ、アーム４はレール５とガイド６に導かれ、ベ
ース部材７に取付けのエアシリンダー８により上下して
角度調整される。この角度にすると白色光源１０からの
光１１及びＵＶ光源１６からの光１７は基板１が同一高
さであるのでレンズ１２、絞り１３により正確な焦点範
囲でＣＣＤカメラ１５及び１９で受光される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示に用いら
れる薄型・大形マザーガラス基板や該マザーガラスに成
膜したカラーフィルター基板、あるいはマザーガラスに
透明電極を成膜した基板等の検査装置に適用されるガラ
ス基板のクランプ装置に関する。
れる薄型・大形マザーガラス基板や該マザーガラスに成
膜したカラーフィルター基板、あるいはマザーガラスに
透明電極を成膜した基板等の検査装置に適用されるガラ
ス基板のクランプ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶表示用のマザーガラスの欠陥
検査装置や該マザーガラスに成膜したカラーフィルター
基板の検査装置においては、該ガラス基板の２辺又は４
辺を支持した上で、基板の裏側に光源を設けて表側に透
過させ、ＣＣＤカメラでその透過光を受光し、又、基板
の表側に光源を設け、基板の表面上の突起欠陥で散乱し
た光をＣＣＤカメラで受光するような透過法、散乱法等
の光学的方法により欠陥検査を行っている。
検査装置や該マザーガラスに成膜したカラーフィルター
基板の検査装置においては、該ガラス基板の２辺又は４
辺を支持した上で、基板の裏側に光源を設けて表側に透
過させ、ＣＣＤカメラでその透過光を受光し、又、基板
の表側に光源を設け、基板の表面上の突起欠陥で散乱し
た光をＣＣＤカメラで受光するような透過法、散乱法等
の光学的方法により欠陥検査を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、近年、該マ
ザーガラスの薄型化、大形化に伴い、次のような課題が
発生した。すなわち、該マザーガラスの自重によるたわ
み量が大きくなり、光学的検査装置の受光部での焦点深
度が外れて、検査が困難となった。上記不具合を解消す
る方法として、次の２つの方法が考えられる。
ザーガラスの薄型化、大形化に伴い、次のような課題が
発生した。すなわち、該マザーガラスの自重によるたわ
み量が大きくなり、光学的検査装置の受光部での焦点深
度が外れて、検査が困難となった。上記不具合を解消す
る方法として、次の２つの方法が考えられる。
【０００４】（１）該光学的検査装置に、自動焦点調整
機構を設ける。
機構を設ける。
【０００５】（２）該ガラス基板の支持点（辺）を増加
する。例えば、基板の中央下面も支持する。
する。例えば、基板の中央下面も支持する。
【０００６】上記（１）の方法は、コストアップとなる
だけでなく、高速検査において、自動焦点調整機構の応
当性が問題となる。
だけでなく、高速検査において、自動焦点調整機構の応
当性が問題となる。
【０００７】上記（２）の方法は、該ガラス基板の裏側
に光源を、表側に受光レンズ、カメラ等を設けて行う透
過法検査においては、追加した支持部材が検査用の光を
遮断して、検査できない領域が発生する。
に光源を、表側に受光レンズ、カメラ等を設けて行う透
過法検査においては、追加した支持部材が検査用の光を
遮断して、検査できない領域が発生する。
【０００８】本発明はこのような課題を解決するために
ガラス基板のたわみを小さくすると共に、透過法等の光
学的検査に支障を生じず、かつ低コストで実現するガラ
ス基板のクランプ装置を提供することを目的とする。
ガラス基板のたわみを小さくすると共に、透過法等の光
学的検査に支障を生じず、かつ低コストで実現するガラ
ス基板のクランプ装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明は、
（１）長方形状ガラス基板の端部の少なくとも２辺を支
持部材とクランプ部材とで挟んでクランプするガラス基
板のクランプ装置であって、前記ガラス基板端部の支持
部材と当接する座面及びクランプ部材と当接するクラン
プ面に、前記ガラス基板端部を自由支持端とした時の端
部における傾きとは逆方向の傾き角度を与えるクランプ
手段を設けたことを特徴とするガラス基板のクランプ装
置を提供する。
（１）長方形状ガラス基板の端部の少なくとも２辺を支
持部材とクランプ部材とで挟んでクランプするガラス基
板のクランプ装置であって、前記ガラス基板端部の支持
部材と当接する座面及びクランプ部材と当接するクラン
プ面に、前記ガラス基板端部を自由支持端とした時の端
部における傾きとは逆方向の傾き角度を与えるクランプ
手段を設けたことを特徴とするガラス基板のクランプ装
置を提供する。
【００１０】（２）更に、上記（１）において、前記長
方形状ガラス基板の傾き角度は対向する２辺を自由支持
端とした場合の、一方の端部の傾き角を−αとすると
き、前記支持部材のガラス基板端部と当接する座面及び
前記クランプ面に、前記ガラス基板端部の自由支持端に
おける傾きとは逆方向の（１／４）α×０．７〜（１／
４）α×１．３の範囲で与えたことを特徴とするガラス
基板のクランプ装置も提供する。
方形状ガラス基板の傾き角度は対向する２辺を自由支持
端とした場合の、一方の端部の傾き角を−αとすると
き、前記支持部材のガラス基板端部と当接する座面及び
前記クランプ面に、前記ガラス基板端部の自由支持端に
おける傾きとは逆方向の（１／４）α×０．７〜（１／
４）α×１．３の範囲で与えたことを特徴とするガラス
基板のクランプ装置も提供する。
【００１１】本発明は上記のような手段により、その
（１）においては、ガラス基板の両端（Ａ），（Ｂ）を
自由支持端とした場合には、該ガラス基板の自重による
たわみが発生し、そのときの両端部（Ａ），（Ｂ）の傾
き角度を、それぞれ（Ａ）において＋α、（Ｂ）におい
て−αとする。該ガラス基板の両端部（Ａ），（Ｂ）に
おいて、該自由支持端とした場合の傾きに対してそれぞ
れ逆方向の傾きを与えると、（Ａ），（Ｂ）端において
は逆向きに変形しようとし、該ガラス基板の中央部にお
けるたわみ量は前述の自由支持端の傾き角の場合と比較
すると小さくなる。
（１）においては、ガラス基板の両端（Ａ），（Ｂ）を
自由支持端とした場合には、該ガラス基板の自重による
たわみが発生し、そのときの両端部（Ａ），（Ｂ）の傾
き角度を、それぞれ（Ａ）において＋α、（Ｂ）におい
て−αとする。該ガラス基板の両端部（Ａ），（Ｂ）に
おいて、該自由支持端とした場合の傾きに対してそれぞ
れ逆方向の傾きを与えると、（Ａ），（Ｂ）端において
は逆向きに変形しようとし、該ガラス基板の中央部にお
けるたわみ量は前述の自由支持端の傾き角の場合と比較
すると小さくなる。
【００１２】このようにガラス基板の中央部のたわみ量
を小さくすると、光学的検査を行う際に、該光学的検査
装置の焦点深度を超えないようにすることができ、焦点
の合った正確な光学的検査がなされる。
を小さくすると、光学的検査を行う際に、該光学的検査
装置の焦点深度を超えないようにすることができ、焦点
の合った正確な光学的検査がなされる。
【００１３】（２）においては、（１）において、ガラ
ス基板端部（Ａ），（Ｂ）における傾き角度を強制的
に、それぞれ（Ａ）において−（１／４）α、（Ｂ）に
おいて＋（１／４）αに設定すると、該ガラス基板の中
央部におけるたわみ量（変位量）が「ゼロ」となる。す
なわち、両端（Ａ），（Ｂ）と中央部の高さを同一高さ
とすることができる。しかし、本発明の目的は、光学的
検査を行う際に、該ガラス基板のたわみ量を該光学的検
査装置の焦点深度を超えないようにすることである。し
たがって、該端部の傾き設定は、±３０％程度の誤差が
あっても、この範囲内であれば実用上充分その目的を達
成し得る。
ス基板端部（Ａ），（Ｂ）における傾き角度を強制的
に、それぞれ（Ａ）において−（１／４）α、（Ｂ）に
おいて＋（１／４）αに設定すると、該ガラス基板の中
央部におけるたわみ量（変位量）が「ゼロ」となる。す
なわち、両端（Ａ），（Ｂ）と中央部の高さを同一高さ
とすることができる。しかし、本発明の目的は、光学的
検査を行う際に、該ガラス基板のたわみ量を該光学的検
査装置の焦点深度を超えないようにすることである。し
たがって、該端部の傾き設定は、±３０％程度の誤差が
あっても、この範囲内であれば実用上充分その目的を達
成し得る。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面に基づいて具体的に説明する。図１は本発明の実
施の一形態に係るガラス基板のクランプ装置の構成図で
ある。図において、１はガラス基板、２Ｌ，２Ｒは基板
１の両端を支持する支持部材、３Ｌ，３Ｒはクランプ部
材、４Ｌ，４Ｒはクランプアーム、５Ｌ，５Ｒはレー
ル、６Ｌ，６Ｒはガイド、７Ｌ，７Ｒはベース部材、８
Ｌ，８Ｒはベース部材７Ｌ，７Ｒに取付けられたエアシ
リンダー、９Ｌ，９Ｒはエアシリンダー８Ｌ，８Ｒのロ
ッド端である。
て図面に基づいて具体的に説明する。図１は本発明の実
施の一形態に係るガラス基板のクランプ装置の構成図で
ある。図において、１はガラス基板、２Ｌ，２Ｒは基板
１の両端を支持する支持部材、３Ｌ，３Ｒはクランプ部
材、４Ｌ，４Ｒはクランプアーム、５Ｌ，５Ｒはレー
ル、６Ｌ，６Ｒはガイド、７Ｌ，７Ｒはベース部材、８
Ｌ，８Ｒはベース部材７Ｌ，７Ｒに取付けられたエアシ
リンダー、９Ｌ，９Ｒはエアシリンダー８Ｌ，８Ｒのロ
ッド端である。
【００１５】このような構成において、ガラス基板１
は、マザーガラスにカラーフィルターを成膜したカラー
フィルター基板であり、その両端部は、図中の点Ａ，点
Ｂを中心として、下面をそれぞれ支持部材２Ｌ，２Ｒで
支持され、上面はそれぞれクランプ部材３Ｌ，３Ｒでク
ランプされている。
は、マザーガラスにカラーフィルターを成膜したカラー
フィルター基板であり、その両端部は、図中の点Ａ，点
Ｂを中心として、下面をそれぞれ支持部材２Ｌ，２Ｒで
支持され、上面はそれぞれクランプ部材３Ｌ，３Ｒでク
ランプされている。
【００１６】図２は図１における左側の支持クランプ部
の拡大図である。図において、支持部材２Ｌの支持面
Ｄ、クランプ部材３Ｌのクランプ面Ｆとに、それぞれ−
（１／４）αの傾斜角を設けている。該傾斜角度の意味
について次に図１、図３に基づいて説明する。
の拡大図である。図において、支持部材２Ｌの支持面
Ｄ、クランプ部材３Ｌのクランプ面Ｆとに、それぞれ−
（１／４）αの傾斜角を設けている。該傾斜角度の意味
について次に図１、図３に基づいて説明する。
【００１７】図３は基板１の両端Ａ，Ｂを自由支持端と
した場合の、基板１のたわみの様子を示し、両端部の傾
斜角度をそれぞれ＋α，−αで表している。これに対
し、図１においては、該基板１の両端部、すなわち、
Ａ，Ｂ点の近傍は、図３に示す自由支持端の場合の傾き
方向とは逆方向の、それぞれ−α／４，＋α／４の傾き
角度が強制的に与えられている。
した場合の、基板１のたわみの様子を示し、両端部の傾
斜角度をそれぞれ＋α，−αで表している。これに対
し、図１においては、該基板１の両端部、すなわち、
Ａ，Ｂ点の近傍は、図３に示す自由支持端の場合の傾き
方向とは逆方向の、それぞれ−α／４，＋α／４の傾き
角度が強制的に与えられている。
【００１８】次に、図１における基板１の両端部の支持
・クランプ機構について説明する。クランプ部材３Ｌ，
３Ｒは、それぞれクランプアーム４Ｌ，４Ｒに固定され
ている。該クランプアーム４Ｌ，４Ｒには、それぞれレ
ール５Ｌ，５Ｒが固定されており、ガイド６Ｌ，６Ｒを
介して、それぞれベース部材７Ｌ，７Ｒに対して案内さ
れている。
・クランプ機構について説明する。クランプ部材３Ｌ，
３Ｒは、それぞれクランプアーム４Ｌ，４Ｒに固定され
ている。該クランプアーム４Ｌ，４Ｒには、それぞれレ
ール５Ｌ，５Ｒが固定されており、ガイド６Ｌ，６Ｒを
介して、それぞれベース部材７Ｌ，７Ｒに対して案内さ
れている。
【００１９】該ベース部材７Ｌ，７Ｒには、それぞれエ
アシリンダー８Ｌ，８Ｒが設置され、そのロッド端９
Ｌ，９Ｒは、それぞれ、該クランプアーム４Ｌ，４Ｒに
連結されている。該エアシリンダー８Ｌ，８Ｒによっ
て、該クランプアーム４Ｌ，４Ｒは、それぞれ、矢印ｅ
ｆ、矢印ｇｈ方向に上下駆動される。
アシリンダー８Ｌ，８Ｒが設置され、そのロッド端９
Ｌ，９Ｒは、それぞれ、該クランプアーム４Ｌ，４Ｒに
連結されている。該エアシリンダー８Ｌ，８Ｒによっ
て、該クランプアーム４Ｌ，４Ｒは、それぞれ、矢印ｅ
ｆ、矢印ｇｈ方向に上下駆動される。
【００２０】次に、基板１をセットする場合は、該クラ
ンプアーム４Ｌ，４Ｒが、エアシリンダー８Ｌ，８Ｒが
伸びることによりそれぞれ矢印ｆ，ｈ方向に移動し、上
端停止している状態で、該基板１を図示しないロボット
で該支持部材２Ｌ，２Ｒ上に設置する。次に該クランプ
アーム４Ｌ，４Ｒをエアシリンダー８Ｌ，８Ｒを作動さ
せて下降端へ移動させることによって、該基板１の両端
部がそれぞれ角度−α／４，＋α／４に支持・クランプ
されるようになっている。
ンプアーム４Ｌ，４Ｒが、エアシリンダー８Ｌ，８Ｒが
伸びることによりそれぞれ矢印ｆ，ｈ方向に移動し、上
端停止している状態で、該基板１を図示しないロボット
で該支持部材２Ｌ，２Ｒ上に設置する。次に該クランプ
アーム４Ｌ，４Ｒをエアシリンダー８Ｌ，８Ｒを作動さ
せて下降端へ移動させることによって、該基板１の両端
部がそれぞれ角度−α／４，＋α／４に支持・クランプ
されるようになっている。
【００２１】次に図１に基づいて、参考のために、該基
板１（カラーフィルター基板）の検査を透過法、散乱法
による光学的方法で行う装置の構成を述べ、該基板１の
たわみを小さくする必要性について述べる。
板１（カラーフィルター基板）の検査を透過法、散乱法
による光学的方法で行う装置の構成を述べ、該基板１の
たわみを小さくする必要性について述べる。
【００２２】図１において、該基板１の裏側下方には、
白色光源１０が設置されており、該光源１０から出射さ
れた光１１は該基板１を透過した後、レンズ１２（材質
人工石英）、絞り１３、ハーフプリズム１４（材質人工
石英）を通過して、カラーＣＣＤカメラ１５で受光され
るようになっている。
白色光源１０が設置されており、該光源１０から出射さ
れた光１１は該基板１を透過した後、レンズ１２（材質
人工石英）、絞り１３、ハーフプリズム１４（材質人工
石英）を通過して、カラーＣＣＤカメラ１５で受光され
るようになっている。
【００２３】該基板１の表側上方には、強い紫外光成分
を有する光源であるＵＶ光源１６が設けてある。該ＵＶ
光源１６から出射された光１７は、該基板１の表面上の
突起欠陥で散乱し、その散乱光が該レンズ１２、絞り１
３を通って該ハーフプリズム１４で９０°方向を変え、
紫外光透過フィルター１８を介して、紫外光に対する感
度の高いＵＶＣＣＤカメラ１９で受光されるようになっ
ている。
を有する光源であるＵＶ光源１６が設けてある。該ＵＶ
光源１６から出射された光１７は、該基板１の表面上の
突起欠陥で散乱し、その散乱光が該レンズ１２、絞り１
３を通って該ハーフプリズム１４で９０°方向を変え、
紫外光透過フィルター１８を介して、紫外光に対する感
度の高いＵＶＣＣＤカメラ１９で受光されるようになっ
ている。
【００２４】上記構成の光学的検査装置においては、該
レンズ１２の焦点深度が小さいと、受光した像のピンボ
ケが大きくなる。該焦点深度は該絞り１３の開口径を小
さくすることによって大きくすることができるが、他方
受光量が小さくなる。そのため、該焦点深度を大きくす
ることにも限度があり、該基板１のたわみが大きい場合
には、該光学的検査ができなくなる。
レンズ１２の焦点深度が小さいと、受光した像のピンボ
ケが大きくなる。該焦点深度は該絞り１３の開口径を小
さくすることによって大きくすることができるが、他方
受光量が小さくなる。そのため、該焦点深度を大きくす
ることにも限度があり、該基板１のたわみが大きい場合
には、該光学的検査ができなくなる。
【００２５】次に、図１において、該基板１の両端部
Ａ，Ｂにおける傾き角度±α／４の設定理由及び計算過
程を、図４に示す計算モデルに従って、以下説明する。
Ａ，Ｂにおける傾き角度±α／４の設定理由及び計算過
程を、図４に示す計算モデルに従って、以下説明する。
【００２６】図４は等分布荷重ｗを受ける“はり”が、
両端支持された上で、両端にモーメントＭ1 ，Ｍ2 （Ｍ
1 ＝Ｍ2 ）を与えて、そのときの両端Ａ，Ｂの傾き角
が、それぞれ−θ，＋θとなった場合を示している。同
図において、Ａ点からｘの距離にある断面に作用するモ
ーメントは、Ｍ1 ＝Ｍ2 であることから次のようにな
る。
両端支持された上で、両端にモーメントＭ1 ，Ｍ2 （Ｍ
1 ＝Ｍ2 ）を与えて、そのときの両端Ａ，Ｂの傾き角
が、それぞれ−θ，＋θとなった場合を示している。同
図において、Ａ点からｘの距離にある断面に作用するモ
ーメントは、Ｍ1 ＝Ｍ2 であることから次のようにな
る。
【００２７】
【数１】
【００２８】但し、Ｃ1 ，Ｃ2 は定数であり、Ｅは基板
１のガラスのヤング率、Ｉは断面２次モーメントであ
る。
１のガラスのヤング率、Ｉは断面２次モーメントであ
る。
【００２９】
【数２】
【００３０】ｙ＝Ｌ／２の点、すなわち、図１，図４の
Ｃ点の変位が「ゼロ」となる場合、点Ａ，Ｂ，Ｃが同一
直線上にある。点Ａ，Ｂ，Ｃが同一直線にあることは、
該焦点深度の範囲内に該基板１のたわみを小さくするこ
との、一つの解となる。この場合（式１）にて、ｘ＝Ｌ
／２、ｙ＝０とすると、次の（式２）となる。
Ｃ点の変位が「ゼロ」となる場合、点Ａ，Ｂ，Ｃが同一
直線上にある。点Ａ，Ｂ，Ｃが同一直線にあることは、
該焦点深度の範囲内に該基板１のたわみを小さくするこ
との、一つの解となる。この場合（式１）にて、ｘ＝Ｌ
／２、ｙ＝０とすると、次の（式２）となる。
【００３１】
【数３】
【００３２】一方、図３に示すように両端自由支持の場
合の両端の傾き角は、次の（式３）となる。
合の両端の傾き角は、次の（式３）となる。
【００３３】
【数４】
【００３４】上記の（式２），（式３）及び図３，図４
を比較することにより次のことが言える。すなわち、該
基板１の両端部の傾き角度を強制的に、両端自由支持の
場合の傾き角に対して、絶対値を１／４に、方向を逆方
向とすることで、該基板１の中央部と両端を同一高さと
することができる。
を比較することにより次のことが言える。すなわち、該
基板１の両端部の傾き角度を強制的に、両端自由支持の
場合の傾き角に対して、絶対値を１／４に、方向を逆方
向とすることで、該基板１の中央部と両端を同一高さと
することができる。
【００３５】ところで、工作精度の面からは上記のα／
４の角度は微小であるので、これを確実に実現すること
は困難である。しかしながら、計測誤差の許容範囲の観
点からすれば、前記角度は、（１／４）α×０．７〜
（１／４）α×１．３の範囲内の精度であれば十分であ
る。
４の角度は微小であるので、これを確実に実現すること
は困難である。しかしながら、計測誤差の許容範囲の観
点からすれば、前記角度は、（１／４）α×０．７〜
（１／４）α×１．３の範囲内の精度であれば十分であ
る。
【００３６】上記に説明の実施の形態においては、該ガ
ラス基板１の対向する２辺を自由支持端とした場合の、
一方の端部の傾き角を−αとするとき、該ガラス基板１
の支持とクランプを行う該ガラス基板端部の座面及びク
ランプ面に対して、該自由支持端における傾きとは逆方
向の（１／４）α×０．７〜（１／４）α×１．３の範
囲の傾き角度を与えたことを特徴としたので、基板１の
両端を支持するだけで基板１のたわみを抑制し、光学的
な焦点深度を所定の範囲内におさめることができる。
ラス基板１の対向する２辺を自由支持端とした場合の、
一方の端部の傾き角を−αとするとき、該ガラス基板１
の支持とクランプを行う該ガラス基板端部の座面及びク
ランプ面に対して、該自由支持端における傾きとは逆方
向の（１／４）α×０．７〜（１／４）α×１．３の範
囲の傾き角度を与えたことを特徴としたので、基板１の
両端を支持するだけで基板１のたわみを抑制し、光学的
な焦点深度を所定の範囲内におさめることができる。
【００３７】
【発明の効果】以上、具体的に説明したように、本発明
は、ガラス基板の端部において、ガラス基板を自由支持
端とした時の端部の傾きとは逆方向の傾き角を与えるク
ランプ手段を備えたガラス基板のクランプ装置を特徴と
し、更に、このクランプ装置において、傾き角を（１／
４）α×０．７〜（１／４）α×１．３の範囲とする構
成も提供するので、次のような効果を奏する。
は、ガラス基板の端部において、ガラス基板を自由支持
端とした時の端部の傾きとは逆方向の傾き角を与えるク
ランプ手段を備えたガラス基板のクランプ装置を特徴と
し、更に、このクランプ装置において、傾き角を（１／
４）α×０．７〜（１／４）α×１．３の範囲とする構
成も提供するので、次のような効果を奏する。
【００３８】（１）液晶表示用の薄型・大形マザーガラ
ス基板や、該マザーガラス基板にカラーフィルターを成
膜したカラーフィルター基板に対して、透過法、散乱法
等の光学的検査を行う場合、該光学的検査の焦点深度内
に該基板のたわみを抑制することができる。
ス基板や、該マザーガラス基板にカラーフィルターを成
膜したカラーフィルター基板に対して、透過法、散乱法
等の光学的検査を行う場合、該光学的検査の焦点深度内
に該基板のたわみを抑制することができる。
【００３９】（２）該基板の両端部を支持・クランプす
るだけで、該基板中央部への支持追加は不要であり、透
過法検査を妨げない。
るだけで、該基板中央部への支持追加は不要であり、透
過法検査を妨げない。
【図１】本発明の実施の一形態に係るガラス基板のクラ
ンプ装置の構成図である。
ンプ装置の構成図である。
【図２】図１におけるガラス基板端部の支持クランプ部
の拡大図である。
の拡大図である。
【図３】本発明の実施の一形態に係るガラス基板の両端
を自由支持端とした場合の説明図である。
を自由支持端とした場合の説明図である。
【図４】本発明の実施の一形態に係る基板のたわみ計算
モデル図である。
モデル図である。
１ ガラス基板 ２Ｌ，２Ｒ 支持部材 ３Ｌ，３Ｒ クランプ部材 ４Ｌ，４Ｒ クランプアーム ５Ｌ，５Ｒ レール ６Ｌ，６Ｒ ガイド ７Ｌ，７Ｒ ベース部材 ８Ｌ，８Ｒ エアシリンダー ９Ｌ，９Ｒ ロッド端 １０ 白色光源 １１，１７ 光 １２ レンズ １３ 絞り １４ ハーフプリズム １５ カラーＣＣＤカメラ １６ ＵＶ光源 １８ 紫外色透過光フィルター １９ ＵＶＣＣＤカメラ
Claims (2)
- 【請求項１】 長方形状ガラス基板の端部の少なくとも
２辺を支持部材とクランプ部材とで挟んでクランプする
ガラス基板のクランプ装置であって、前記ガラス基板端
部の支持部材と当接する座面及びクランプ部材と当接す
るクランプ面に、前記ガラス基板端部を自由支持端とし
た時の端部における傾きとは逆方向の傾き角度を与える
クランプ手段を設けたことを特徴とするガラス基板のク
ランプ装置。 - 【請求項２】 前記長方形状ガラス基板の傾き角度は対
向する２辺を自由支持端とした場合の、一方の端部の傾
き角を−αとするとき、前記支持部材のガラス基板端部
と当接する座面及び前記クランプ面に、前記ガラス基板
端部の自由支持端における傾きとは逆方向の（１／４）
α×０．７〜（１／４）α×１．３の範囲で与えたこと
を特徴とする請求項１記載のガラス基板のクランプ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23384895A JPH0979943A (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | ガラス基板のクランプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23384895A JPH0979943A (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | ガラス基板のクランプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0979943A true JPH0979943A (ja) | 1997-03-28 |
Family
ID=16961525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23384895A Withdrawn JPH0979943A (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | ガラス基板のクランプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0979943A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007107884A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-04-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
| KR101986529B1 (ko) * | 2018-01-10 | 2019-06-07 | 주식회사 티지오테크 | 클램퍼 및 클램핑 시스템 |
-
1995
- 1995-09-12 JP JP23384895A patent/JPH0979943A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007107884A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-04-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
| JP4693581B2 (ja) * | 2005-10-11 | 2011-06-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 基板検査装置及び基板検査方法 |
| KR101986529B1 (ko) * | 2018-01-10 | 2019-06-07 | 주식회사 티지오테크 | 클램퍼 및 클램핑 시스템 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021203 |