JPH0968451A - Flow rate meter - Google Patents
Flow rate meterInfo
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- JPH0968451A JPH0968451A JP24263795A JP24263795A JPH0968451A JP H0968451 A JPH0968451 A JP H0968451A JP 24263795 A JP24263795 A JP 24263795A JP 24263795 A JP24263795 A JP 24263795A JP H0968451 A JPH0968451 A JP H0968451A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、流量センサの検出
値を補正する流量測定装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow rate measuring device for correcting a detection value of a flow rate sensor.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、気体や液体などの流体の流量を測
定する流量センサが実用化されている。例えば、感熱式
の流量センサは、発熱体の上流と下流とに温度センサが
配置されており、これらの温度センサの検出値の格差に
より流体の流量を検出する。このような流量センサは、
理想的には流体の流量が“0”の場合に上流と下流との
温度センサの検出値が同一となるが、実際には温度セン
サの経時劣化や流体の温度変化などのために誤差が発生
する。このような誤差は、流体の流量が“0”でない場
合にもドリフトとして発生するので、補正することが望
ましい。2. Description of the Related Art Conventionally, flow rate sensors for measuring the flow rate of fluids such as gas and liquid have been put into practical use. For example, in the heat-sensitive flow rate sensor, temperature sensors are arranged upstream and downstream of the heating element, and the flow rate of the fluid is detected by the difference between the detection values of these temperature sensors. Such a flow sensor is
Ideally, the detected values of the upstream and downstream temperature sensors are the same when the flow rate of the fluid is "0", but in reality an error occurs due to deterioration of the temperature sensor over time and changes in the fluid temperature. To do. Such an error occurs as a drift even when the flow rate of the fluid is not "0", so it is desirable to correct it.
【0003】このような誤差を補正する流量測定装置
が、実開平1-87209 号公報、特開平3-53127 号公報、特
開平3-53128 号公報、などに開示されている。実開平1-
87209号公報に開示された流量測定装置では、感熱式の
流量センサの発熱体を周期的に休止させ、この状態での
流量センサの検出値を基準値として記録する。流量セン
サの発熱体を駆動して流体の流量を測定する場合、その
検出値から基準値を減算することによりドリフトを解消
する。Flow rate measuring devices for correcting such an error are disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 1-87209, Japanese Patent Laid-Open No. 3-53127, Japanese Patent Laid-Open No. 3-53128, and the like. Actual Kaihei 1-
In the flow rate measuring device disclosed in Japanese Patent No. 87209, the heating element of the heat-sensitive flow rate sensor is periodically stopped, and the detection value of the flow rate sensor in this state is recorded as a reference value. When the heating element of the flow rate sensor is driven to measure the flow rate of the fluid, the reference value is subtracted from the detected value to eliminate the drift.
【0004】特開平3-53127 号公報に開示された流量測
定装置では、製品の出荷以前の最終調整などにおいて、
流量が“0”の基準状態を発生させて流量センサの発熱
体を休止させ、この状態で二個の温度センサの検出値を
補正回路により同一に補正する。さらに、流量が“0”
の基準状態で流量センサの発熱体を駆動し、この状態で
二個の温度センサの検出値の格差を検出して記録する。
このように発熱体の休止時と駆動時との流量センサの検
出値の格差を検出し、この格差に基づいて流量センサの
測定値を補正する。このように発熱体の休止時のドリフ
トだけでなく駆動時の誤差も補正されるので、温度セン
サの経時劣化や流体の温度変化などによる流量センサの
測定誤差も補正される。In the flow rate measuring device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-53127, in the final adjustment before the product is shipped,
The reference state in which the flow rate is "0" is generated to suspend the heating element of the flow rate sensor, and in this state, the detection values of the two temperature sensors are corrected to the same value by the correction circuit. Furthermore, the flow rate is "0"
The heating element of the flow rate sensor is driven in the reference state, and the difference between the detection values of the two temperature sensors is detected and recorded in this state.
In this way, the difference between the detected values of the flow sensor when the heating element is at rest and when it is driven is detected, and the measured value of the flow sensor is corrected based on this difference. In this way, not only the drift of the heating element at rest but also the error at the time of driving are corrected, so that the measurement error of the flow rate sensor due to the deterioration of the temperature sensor over time or the temperature change of the fluid is also corrected.
【0005】特開平3-53128 号公報に開示された流量測
定装置では、製品の出荷以前の最終調整などにおいて、
流量が“0”の基準状態を発生させて流量センサの発熱
体を駆動し、二個の温度センサの検出値を補正回路によ
り同一に補正することにより、流量が“0”の場合の流
量センサのドリフトを解消する。さらに、製品の出荷以
後の経時変化に対しては、流体が流動した状態で流量セ
ンサの発熱体を休止させ、この状態で二個の温度センサ
の検出値を補正回路により同一に補正することにより、
温度センサの経時劣化や流体の温度変化などによる測定
誤差も補正する。In the flow rate measuring device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-53128, in the final adjustment before the shipment of the product,
The flow rate sensor when the flow rate is "0" is generated by driving the heating element of the flow rate sensor by generating the reference state of the flow rate "0" and correcting the detection values of the two temperature sensors to the same value by the correction circuit. Eliminate the drift of. In addition, with respect to changes over time after shipment of the product, the heating element of the flow rate sensor is stopped while the fluid is flowing, and in this state the detection values of the two temperature sensors are corrected to the same value by the correction circuit. ,
It also corrects measurement errors due to deterioration of the temperature sensor over time and changes in fluid temperature.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上述した実開平1-8720
9 号公報の流量測定装置は、流量センサの発熱体を休止
させた状態の検出値に基づいてドリフトを補正している
が、これでは流量が“0”の場合の流量センサのドリフ
トを正確に補正することはできない。[Problems to be Solved by the Invention] Actual Kaihei 1-8720 described above
The flow rate measuring device of the 9th publication corrects the drift based on the detected value of the state where the heating element of the flow rate sensor is stopped. However, this corrects the drift of the flow rate sensor when the flow rate is "0". It cannot be corrected.
【0007】また、特開平3-53127 号公報と特開平3-53
128 号公報との流量測定装置では、流量が“0”の状態
で流量センサのドリフトを補正しているが、これは流量
が“0”の状態を製品の出荷以前の調整時に発生させて
いる。しかし、実際の製品では、出荷以前の調整時と出
荷以後の使用時とで環境が多分に相違するので、これで
も流量が“0”の場合の流量センサのドリフトを正確に
補正することはできない。Further, Japanese Patent Laid-Open Nos. 3-53127 and 3-53
In the flow rate measuring device of Publication No. 128, the drift of the flow rate sensor is corrected when the flow rate is "0". This is because the flow rate is "0" at the time of adjustment before shipment of the product. . However, in the actual product, the environment before and after the adjustment is different from the environment before and after the shipment, so the drift of the flow rate sensor when the flow rate is "0" cannot be accurately corrected. .
【0008】特に、流量測定装置のドリフトは経時劣化
により変動するので、上述のように出荷以前にドリフト
を正確に補正できても、使用状態ではドリフトが発生す
ることになる。特開平3-53128 号公報の流量測定装置
は、製品の出荷以後の経時変化に対しては、流体が流動
した状態で流量センサの発熱体を休止させて二個の温度
センサの検出値を同一に補正するが、これでは流量が
“0”の状態のドリフトは正確に補正できない。In particular, since the drift of the flow rate measuring device fluctuates due to deterioration over time, even if the drift can be accurately corrected before shipping as described above, the drift will occur in the used state. In the flow rate measuring device disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-53128, the heating element of the flow rate sensor is stopped while the fluid is flowing, and the detection values of the two temperature sensors are the same with respect to the change over time after shipment of the product. However, the drift in the state where the flow rate is “0” cannot be corrected accurately.
【0009】また、上述のような流量測定装置をガスメ
ータなどに利用した場合、例えば、ユーザの不在により
ガスが長期間に使用されない場合でも、流量センサの発
熱体を常時発熱させておく必要があるので電力が無用に
消費される。Further, when the above flow rate measuring device is used for a gas meter or the like, for example, even when the gas is not used for a long period of time due to the absence of a user, it is necessary to keep the heating element of the flow rate sensor constantly generating heat. Therefore, power is consumed unnecessarily.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
流体の流量を検出する流量センサと、流体の圧力を検出
する圧力センサと、流体の圧力から流量が“0”で有る
か無いかを判断する停止判断手段と、流量が“0”と判
断された場合の流量センサの検出値を基準値として記憶
する基準記憶手段と、記憶された基準値に基づいて流量
センサの検出値を補正する流量補正手段とを有する。こ
のため、流体の流量が“0”であることが圧力センサの
検出値から判断された状態で流量センサから基準値が取
り込まれ、この基準値に基づいて流量センサにより検出
される流体の流量が補正される。According to the first aspect of the present invention,
A flow rate sensor for detecting the flow rate of the fluid, a pressure sensor for detecting the pressure of the fluid, a stop determining means for determining whether the flow rate is "0" or not based on the pressure of the fluid, and a flow rate is determined as "0". In this case, there is provided a reference storage means for storing the detected value of the flow rate sensor as a reference value and a flow rate correction means for correcting the detected value of the flow rate sensor based on the stored reference value. Therefore, the reference value is fetched from the flow rate sensor when it is determined from the detection value of the pressure sensor that the flow rate of the fluid is “0”, and the flow rate of the fluid detected by the flow rate sensor is based on this reference value. Will be corrected.
【0011】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、停止判断手段により流体の流量が“0”と
判断された場合の流量センサの検出値を基準値として基
準記憶手段に記憶させる動作を所定間隔で実行させる自
動更新手段を設けた。このため、流量センサの基準値を
獲得する処理動作が自動的に繰り返される。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the detection value of the flow rate sensor when the flow rate of the fluid is determined to be "0" by the stop determination means is stored in the reference storage means as a reference value. An automatic updating means is provided for causing the operation to be performed at predetermined intervals. Therefore, the processing operation of acquiring the reference value of the flow rate sensor is automatically repeated.
【0012】請求項3記載の発明は、請求項2記載の発
明において、前回と今回との基準値の変化を検出する変
化検出手段を設け、検出された変化に対応して自動更新
手段の次回までの間隔を可変する間隔可変手段を設け
た。このため、流量センサの基準値の変動が小さいと、
基準値を更新する動作の間隔が延長され、流量センサの
基準値の変動が大きいと、基準値を更新する動作の間隔
が短縮される。According to a third aspect of the present invention, in the second aspect of the present invention, a change detecting means for detecting a change in the reference value between the previous time and the present time is provided, and the automatic updating means next time responds to the detected change. An interval changing means for changing the interval is provided. Therefore, if the fluctuation of the reference value of the flow sensor is small,
When the interval of the operation of updating the reference value is extended and the fluctuation of the reference value of the flow rate sensor is large, the interval of the operation of updating the reference value is shortened.
【0013】請求項4記載の発明は、請求項1記載の発
明において、停止判断手段により流体の流量が“0”と
判断された場合の流量センサの検出値を基準値として基
準記憶手段に記憶させる動作を手動操作に対応して実行
させる手動更新手段を設けた。このため、流量センサの
基準値を獲得する処理動作を所望により実行させること
ができる。According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the detection value of the flow rate sensor when the flow rate of the fluid is determined to be "0" by the stop determination means is stored in the reference storage means as a reference value. A manual updating means for performing the operation to be performed in response to the manual operation is provided. Therefore, the processing operation for acquiring the reference value of the flow rate sensor can be executed as desired.
【0014】請求項5記載の発明は、請求項1記載の発
明において、基準記憶手段による基準値の記憶後に停止
判断手段により流体の流量が“0”でないと判断される
まで流量センサの駆動電力を低減する電力制御手段を設
けた。このため、流体の流動が再開されるまで流量セン
サの駆動電力が低減される。According to a fifth aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the drive power of the flow rate sensor until the stop determination means determines that the fluid flow rate is not "0" after the reference value is stored by the reference storage means. A power control means for reducing the power consumption is provided. Therefore, the drive power of the flow rate sensor is reduced until the fluid flow is restarted.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態を図面に基
づいて以下に説明する。まず、ここで例示する流量測定
装置1は、図1に示すように、ガスボンベ2からガス器
具3のストップバルブ4まで連通する配管5に設けられ
ており、この配管5には、圧力調整器6、圧力センサ
7、流量センサである感熱式のフローセンサ8、が順次
配置されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, as illustrated in FIG. 1, the flow rate measuring device 1 illustrated here is provided in a pipe 5 that communicates from a gas cylinder 2 to a stop valve 4 of a gas appliance 3, and a pressure regulator 6 is provided in the pipe 5. , A pressure sensor 7, and a heat-sensitive flow sensor 8 which is a flow rate sensor are sequentially arranged.
【0016】前記ガスボンベ2は、流体であるLPG(L
iquefied Petroleum Gas)が圧入されており、このLP
Gを“300(mmH2O)”の圧力で前記配管5に供給する。前
記ガス器具3は、例えば、LPGを燃焼させるガスバー
ナーであり、前記配管5から供給されるLPGを消費す
る。The gas cylinder 2 is a fluid LPG (L
iquefied Petroleum Gas) is press-fitted and this LP
G is supplied to the pipe 5 at a pressure of "300 (mmH 2 O)". The gas appliance 3 is, for example, a gas burner that burns LPG, and consumes the LPG supplied from the pipe 5.
【0017】前記圧力調整器6は、流動するガスの圧力
を機械的に調整する既存のデバイスであり、前記ガスボ
ンベ2から前記ガス器具3に供給されるLPGの圧力を
調整する。より詳細には、ガスの流路9と平行に圧力室
10を有しており、この圧力室10と流路9とを連通す
る位置にピストン11がスライド自在に配置されてい
る。このピストン11は、スプリング12,13により
弾発的に保持されており、前記流路9の下流と前記圧力
室10とがパイロット通路14により連通されている。The pressure regulator 6 is an existing device that mechanically regulates the pressure of flowing gas, and regulates the pressure of LPG supplied from the gas cylinder 2 to the gas appliance 3. More specifically, a pressure chamber 10 is provided in parallel with the gas flow passage 9, and a piston 11 is slidably arranged at a position where the pressure chamber 10 and the flow passage 9 communicate with each other. The piston 11 is elastically held by springs 12 and 13, and the downstream side of the flow passage 9 and the pressure chamber 10 are connected by a pilot passage 14.
【0018】前記圧力センサ7は、PZT(Lead Zirco
Titanate)等のセラミックからなる既存のデバイスであ
り、流体の圧力を静的に検出する。この圧力センサ7に
接続された停止判断手段となる流動判断回路15は、所
定のプログラムが設定されたマイクロプロセッサを有し
ており、流体の圧力から流量が“0”で有るか無いかを
判断する。より詳細には、図3に示すように、前記ガス
器具3のストップバルブ4が開放されると、前記圧力セ
ンサ7が検出するガスの圧力は、最初に低下してから振
動して安定し、前記ガス器具3のストップバルブ4が閉
止されると、前記圧力センサ7が検出するガスの圧力
は、最初に上昇してから振動して安定するので、前記流
動判断回路15は、上述のような圧力の振動に基づいて
ガスの停止を判断する。The pressure sensor 7 is a PZT (Lead Zirco).
It is an existing device made of ceramics such as Titanate) and statically detects the pressure of fluid. The flow determination circuit 15 serving as stop determination means connected to the pressure sensor 7 has a microprocessor in which a predetermined program is set, and determines whether or not the flow rate is "0" based on the fluid pressure. To do. More specifically, as shown in FIG. 3, when the stop valve 4 of the gas appliance 3 is opened, the gas pressure detected by the pressure sensor 7 first decreases and then vibrates and stabilizes, When the stop valve 4 of the gas appliance 3 is closed, the pressure of the gas detected by the pressure sensor 7 first rises and then oscillates and stabilizes. Therefore, the flow determination circuit 15 operates as described above. The stop of gas is judged based on the vibration of pressure.
【0019】前記フローセンサ8は、基板の表面にLP
Gの流動方向に連通する空洞が形成されており、この空
洞上にLPGの流動方向に直交する細長い薄膜状の架橋
が形成されている。この架橋の表面には、LPGの流動
方向の中央に一個の発熱体が配置されており、この上流
と下流とに二個の温度センサが個々に配置されている。
このようなフローセンサ8は既存のデバイスであり、前
記配管5を流動するLPGの流量を検出する。The flow sensor 8 has an LP on the surface of the substrate.
A cavity communicating with the flow direction of G is formed, and an elongated thin film-like bridge that is orthogonal to the flow direction of LPG is formed on the cavity. On the surface of this bridge, one heating element is arranged at the center of the flow direction of the LPG, and two temperature sensors are individually arranged upstream and downstream thereof.
Such a flow sensor 8 is an existing device and detects the flow rate of LPG flowing through the pipe 5.
【0020】このフローセンサ8には、センサ駆動回路
16が接続されており、このセンサ駆動回路16は、前
記発熱体を一定温度に駆動する電源や、二個の前記温度
センサの検出温度の出力差を検出する検出回路からな
る。前記流動判断回路15は前記センサ駆動回路16に
接続されており、これらの回路15,16には出力処理
回路17が接続されている。この出力処理回路17も、
所定のプログラムが設定されたマイクロプロセッサを有
しており、記憶デバイスであるNVRAM(NO Volatili
zation Random Access Memory)18、ディスプレイ1
9、リセットスイッチ20が接続されている。A sensor drive circuit 16 is connected to the flow sensor 8, and the sensor drive circuit 16 outputs a power source for driving the heating element to a constant temperature and an output of the temperature detected by the two temperature sensors. It consists of a detection circuit that detects the difference. The flow determination circuit 15 is connected to the sensor drive circuit 16, and an output processing circuit 17 is connected to these circuits 15 and 16. This output processing circuit 17 also
It has a microprocessor in which a predetermined program is set and is a storage device NVRAM (NO Volatili
zation Random Access Memory) 18, display 1
9. The reset switch 20 is connected.
【0021】上述した流量測定装置1は、前記センサ
7,8の検出値に基づいて前記回路15〜17が所定の
処理動作を実行することなどにより、基準記憶手段、流
量補正手段、自動更新手段、変化検出手段、間隔可変手
段、手動更新手段、電力制御手段、を有している。In the flow rate measuring device 1 described above, the circuits 15 to 17 execute predetermined processing operations based on the detection values of the sensors 7 and 8 and the like, whereby the reference storage means, the flow rate correction means, and the automatic updating means are provided. , Change detecting means, interval changing means, manual updating means, and power control means.
【0022】前記基準記憶手段は、ハードウェアとして
前記出力処理回路17や前記NVRAM18を有してお
り、前記流動判断回路15によりLPGの流量が“0”
と判断された場合の前記フローセンサ8の検出値を基準
値として記憶する。より詳細には、前記流動判断回路1
5が、前記圧力センサ7により検出されるLPGの圧力
から流量が“0”で有ることを判断すると、前記出力処
理回路17は、前記センサ駆動回路16により駆動され
る前記フローセンサ8の検出値を取り込んで前記NVR
AM18に格納する。The reference storage means has the output processing circuit 17 and the NVRAM 18 as hardware, and the flow determination circuit 15 causes the flow rate of LPG to be "0".
The detection value of the flow sensor 8 when it is determined that the reference value is stored. More specifically, the flow determination circuit 1
When 5 determines that the flow rate is “0” from the pressure of the LPG detected by the pressure sensor 7, the output processing circuit 17 causes the output value of the flow sensor 8 driven by the sensor drive circuit 16 to be detected. The NVR
Store it in AM18.
【0023】前記流量補正手段は、前記出力処理回路1
7を有しており、上述のように記憶された基準値に基づ
いて前記フローセンサ8の検出値を補正する。より詳細
には、前記出力処理回路17は、前記フローセンサ8の
検出値を取り込むと共に前記NVRAM18が記憶した
基準値を読み出し、この基準値を検出値から減算した演
算結果を正規の検出値として、前記ディスプレイ19に
表示出力する。The flow rate correction means is the output processing circuit 1
7 and corrects the detection value of the flow sensor 8 based on the reference value stored as described above. More specifically, the output processing circuit 17 reads the reference value stored in the NVRAM 18 while capturing the detection value of the flow sensor 8, and subtracts the reference value from the detection value as a normal detection value, The display is output to the display 19.
【0024】前記自動更新手段は、前記出力処理回路1
7や前記NVRAM18を有しており、上述のようにL
PGの流量が“0”と判断された場合に前記フローセン
サ8の検出値を前記NVRAM18に記憶させる動作を
所定間隔で実行させる。より詳細には、前記NVRAM
18には動作間隔が時間やパルス数により可変自在に設
定され、前記出力処理回路17は、内蔵タイマの検出結
果が設定された動作間隔に一致すると、前記流動判断回
路15の判断結果を取り込む。この判断結果によりLP
Gの流量が“0”であることが検出されると、前記フロ
ーセンサ8の検出値を取り込んで前記NVRAM18に
格納する。なお、前記流動判断回路15の判断結果によ
りLPGの流量が“0”でないことが検出された場合
は、例えば、これが“0”となるまで待機することや、
処理動作を中止して次回のタイミングまで延期すること
が可能である。The automatic updating means is the output processing circuit 1
7 and NVRAM 18, and as described above, L
When it is determined that the flow rate of PG is “0”, the operation of storing the detection value of the flow sensor 8 in the NVRAM 18 is executed at predetermined intervals. More specifically, the NVRAM
The operation interval is variably set in 18 according to the time and the number of pulses, and the output processing circuit 17 fetches the determination result of the flow determination circuit 15 when the detection result of the built-in timer coincides with the set operation interval. LP based on this judgment result
When it is detected that the flow rate of G is “0”, the detection value of the flow sensor 8 is fetched and stored in the NVRAM 18. When it is detected by the determination result of the flow determination circuit 15 that the flow rate of LPG is not "0", for example, waiting until it becomes "0",
It is possible to stop the processing operation and postpone it until the next timing.
【0025】前記変化検出手段は、前記出力処理回路1
7を有しており、上述のように前記自動更新手段により
前記NVRAM18に基準値を記憶させる処理動作が実
行される際、前回と今回との基準値の変化を検出する。
前記間隔可変手段は、前記出力処理回路17を有してお
り、検出された変化に対応して前記自動更新手段の次回
までの間隔を可変する。より詳細には、前記NVRAM
18に新規の基準値が格納される際、前記出力処理回路
17は、前回の基準値を前記NVRAM18から読み出
して今回の基準値から減算し、この演算結果の絶対値が
所定の下限値より小さい場合は、前記NVRAM18に
格納された前記自動更新手段の動作間隔に“1”以上の
係数の乗算により延長し、演算結果の絶対値が所定の上
限値より大きい場合は、前記自動更新手段の動作間隔を
“1”以下の係数の乗算により短縮する。The change detecting means is the output processing circuit 1.
When the processing operation for storing the reference value in the NVRAM 18 is executed by the automatic updating means as described above, the change in the reference value between the previous time and the present time is detected.
The interval changing means has the output processing circuit 17, and changes the interval until the next time of the automatic updating means in accordance with the detected change. More specifically, the NVRAM
When a new reference value is stored in 18, the output processing circuit 17 reads the previous reference value from the NVRAM 18 and subtracts it from the present reference value, and the absolute value of this operation result is smaller than a predetermined lower limit value. In this case, the operation interval of the automatic updating means stored in the NVRAM 18 is extended by multiplication by a coefficient of "1" or more, and when the absolute value of the calculation result is larger than a predetermined upper limit value, the operation of the automatic updating means The interval is shortened by multiplying the coefficient by "1" or less.
【0026】前記手動更新手段は、前記出力処理回路1
7や前記リセットスイッチ20を有しており、上述のよ
うにLPGの流量が“0”と判断された場合に前記フロ
ーセンサ8の検出値を前記NVRAM18に記憶させる
動作を手動操作に対応して実行させる。より詳細には、
前記リセットスイッチ20が手動操作されると、前記出
力処理回路17は、前記流動判断回路15の判断結果を
取り込んでLPGの流量が“0”であることを確認し、
この確認後に前記フローセンサ8の検出値を取り込んで
前記NVRAM18に格納する。なお、前記流動判断回
路15の判断結果によりLPGの流量が“0”でないこ
とが検出された場合は、例えば、これが“0”となるま
で待機することや、前記ディスプレイ19に“ガスを止
めて下さい”などのガイダンスを表示することが可能で
ある。The manual updating means is the output processing circuit 1.
7 and the reset switch 20, the operation of storing the detection value of the flow sensor 8 in the NVRAM 18 when the flow rate of the LPG is determined to be “0” as described above corresponds to the manual operation. Let it run. More specifically,
When the reset switch 20 is manually operated, the output processing circuit 17 takes in the determination result of the flow determination circuit 15 and confirms that the flow rate of LPG is “0”.
After this confirmation, the detection value of the flow sensor 8 is fetched and stored in the NVRAM 18. When it is detected by the determination result of the flow determination circuit 15 that the flow rate of LPG is not "0", for example, waiting until the flow rate becomes "0" or "stop gas on the display 19" is displayed. It is possible to display guidance such as "please".
【0027】前記電力制御手段は、前記出力処理回路1
7や前記センサ駆動回路16を有しており、前記NVR
AM18による基準値の記憶後に、前記流動判断回路1
5によりLPGの流量が“0”でないと判断されるま
で、前記フローセンサ8の駆動電力を低減する。より詳
細には、前述のように前記圧力センサ7の検出値により
LPGの流量が“0”と判断されて前記センサ駆動回路
16により前記フローセンサ8が駆動され、その検出値
が基準値として前記NVRAM18に格納されると、前
記出力処理回路17は前記センサ駆動回路16による前
記フローセンサ8の駆動を停止させる。この状態で前記
出力処理回路17は前記流動判断回路15により前記圧
力センサ7の検出値を監視し、この検出値によりLPG
の流動開始が判断されると前記センサ駆動回路16によ
る前記フローセンサ8の駆動を開始する。The power control means is the output processing circuit 1.
7 and the sensor drive circuit 16
After storing the reference value by the AM 18, the flow judgment circuit 1
The drive power of the flow sensor 8 is reduced until it is determined by 5 that the flow rate of LPG is not "0". More specifically, as described above, the flow rate of LPG is determined to be "0" based on the detection value of the pressure sensor 7, the flow sensor 8 is driven by the sensor drive circuit 16, and the detection value is used as a reference value. When stored in the NVRAM 18, the output processing circuit 17 causes the sensor driving circuit 16 to stop driving the flow sensor 8. In this state, the output processing circuit 17 monitors the detection value of the pressure sensor 7 by the flow determination circuit 15, and the LPG is detected by this detection value.
When it is determined that the flow starts, the sensor drive circuit 16 starts driving the flow sensor 8.
【0028】このような構成において、上述した流量測
定装置1は、ガスボンベ2からガス器具3に供給される
LPGの流量を測定する。この時、LPGの流量はフロ
ーセンサ8により検出されてディスプレイ19に表示さ
れるが、フローセンサ8のドリフトがNVRAM18に
格納された基準値に基づいて出力処理回路17により補
正されるので、LPGの流量は正確に検出される。この
ようにNVRAM18に格納された基準値は、LPGの
流量が“0”の状態でフローセンサ8から取り込まれ、
LPGの流量が“0”であることは圧力センサ7の検出
値から判断されるので、LPGを実際に使用している環
境において適正な基準値が獲得される。In such a structure, the above-described flow rate measuring device 1 measures the flow rate of LPG supplied from the gas cylinder 2 to the gas appliance 3. At this time, the flow rate of the LPG is detected by the flow sensor 8 and displayed on the display 19, but since the drift of the flow sensor 8 is corrected by the output processing circuit 17 based on the reference value stored in the NVRAM 18, the LPG The flow rate is accurately detected. The reference value thus stored in the NVRAM 18 is fetched from the flow sensor 8 when the flow rate of LPG is “0”,
Since the fact that the flow rate of LPG is "0" is judged from the detection value of the pressure sensor 7, an appropriate reference value is obtained in the environment where the LPG is actually used.
【0029】このような流量測定装置1の各種の処理動
作を以下に順次説明する。まず、フローセンサ8のゼロ
点誤差である基準値を、NVRAM18に定期的に格納
する処理動作を以下に説明する。出力処理回路17は、
内蔵タイマの検出結果とNVRAM18に格納された動
作間隔とを常時比較し、これが一致すると流動判断回路
15の判断結果を取り込む。この判断結果によりLPG
の流量が“0”であることが検出されると、フローセン
サ8の検出値を取り込んでNVRAM18に基準値とし
て格納する。Various processing operations of the flow rate measuring device 1 will be sequentially described below. First, the processing operation of periodically storing the reference value, which is the zero point error of the flow sensor 8, in the NVRAM 18 will be described. The output processing circuit 17 is
The detection result of the built-in timer is constantly compared with the operation interval stored in the NVRAM 18, and if they match, the determination result of the flow determination circuit 15 is fetched. Based on this judgment result, LPG
When it is detected that the flow rate is 0, the detected value of the flow sensor 8 is fetched and stored in the NVRAM 18 as a reference value.
【0030】このようにNVRAM18に格納された基
準値は、LPGの流量が“0”の場合のフローセンサ8
の検出値なので、これは流量測定装置1の実際の使用環
境を反映している。つまり、フローセンサ8により検出
されるLPGの流量が、実際にLPGの流量が“0”の
場合のフローセンサ8の誤差により補正されるので、流
量測定装置1は、実際の使用環境に対応してLPGの流
量を正確に測定することができる。The reference value thus stored in the NVRAM 18 is the flow sensor 8 when the flow rate of LPG is "0".
Since the detected value is, this reflects the actual usage environment of the flow rate measuring device 1. That is, the flow rate of the LPG detected by the flow sensor 8 is corrected by the error of the flow sensor 8 when the flow rate of the LPG is actually “0”, so the flow rate measuring device 1 corresponds to the actual usage environment. Therefore, the flow rate of LPG can be accurately measured.
【0031】上述のようにNVRAM18に基準値が格
納されると、出力処理回路17はセンサ駆動回路16に
よるフローセンサ8の駆動を停止させて流動判断回路1
5により圧力センサ7の検出値を監視し、この検出値に
よりLPGの流動開始が判断されるとセンサ駆動回路1
6によるフローセンサ8の駆動を開始する。When the reference value is stored in the NVRAM 18 as described above, the output processing circuit 17 stops the driving of the flow sensor 8 by the sensor drive circuit 16 and the flow determination circuit 1
5, the detection value of the pressure sensor 7 is monitored, and if the start of the flow of the LPG is judged from this detection value, the sensor drive circuit 1
The driving of the flow sensor 8 by 6 is started.
【0032】つまり、前述のようにフローセンサ8の基
準値の格納はLPGの流量が“0”の場合に実行される
ので、この直後はLPGの流量は“0”で測定する意味
は無い。そこで、LPGの流動が再開されるまでフロー
センサ8を休止させることにより、その発熱体による無
用な電力の消費が防止される。なお、このようにフロー
センサ8を休止させている際、ディスプレイ19には
“0”が連続的に表示される。That is, as described above, the storage of the reference value of the flow sensor 8 is executed when the flow rate of LPG is "0", so immediately after this there is no point in measuring the flow rate of LPG at "0". Therefore, by suspending the flow sensor 8 until the flow of LPG is restarted, useless power consumption by the heating element is prevented. In addition, when the flow sensor 8 is stopped in this way, “0” is continuously displayed on the display 19.
【0033】そして、上述のように圧力センサ7の検出
値からLPGの流動が判断されてセンサ駆動回路16に
よりフローセンサ8の駆動が再開されると、出力処理回
路17は、フローセンサ8の検出値を取り込むと共にN
VRAM18が記憶した基準値を読み出し、この基準値
を検出値から減算する。この演算結果が正規の検出値と
してディスプレイ19に表示出力されるので、このディ
スプレイ19には、圧力センサ7のドリフトを正確に補
正したLPGの流量が表示される。When the flow of the LPG is judged from the detection value of the pressure sensor 7 as described above and the driving of the flow sensor 8 is restarted by the sensor drive circuit 16, the output processing circuit 17 detects the detection of the flow sensor 8. Take in the value and N
The reference value stored in the VRAM 18 is read, and this reference value is subtracted from the detected value. Since the calculation result is displayed and output on the display 19 as a normal detection value, the display 19 displays the flow rate of LPG in which the drift of the pressure sensor 7 is accurately corrected.
【0034】しかも、このフローセンサ8のドリフトを
補正する基準値は、上述のように流量測定装置1の実際
の使用下において定期的に繰り返し更新されるので、環
境変動や経時劣化が発生しても常時適正な基準値が設定
され、流量測定装置1は常時良好にLPGの流量を検出
することができる。Moreover, since the reference value for correcting the drift of the flow sensor 8 is periodically and repeatedly updated as described above when the flow rate measuring device 1 is actually used, environmental fluctuation and deterioration with time occur. Also, a proper reference value is always set, and the flow rate measuring device 1 can always detect the flow rate of LPG satisfactorily.
【0035】さらに、この流量測定装置1は、上述のよ
うにフローセンサ8の基準値を検出してNVRAM18
に格納する処理動作を所定間隔で繰り返すが、この動作
間隔は基準値の変化に対応して修正される。つまり、上
述のようにフローセンサ8の基準値が検出されてNVR
AM18に格納される際、出力処理回路17は、前回の
基準値をNVRAM18から読み出して今回の基準値か
ら減算する。この演算結果の絶対値が所定の下限値より
小さい場合は、NVRAM18に格納された動作間隔を
“1”以上の係数の乗算により延長し、演算結果の絶対
値が所定の上限値より大きい場合は、動作間隔を“1”
以下の係数の乗算により短縮する。Further, the flow rate measuring device 1 detects the reference value of the flow sensor 8 as described above, and the NVRAM 18
The processing operation to be stored in is repeated at a predetermined interval, and this operation interval is corrected in accordance with the change in the reference value. That is, as described above, the reference value of the flow sensor 8 is detected and the NVR
When stored in the AM 18, the output processing circuit 17 reads the previous reference value from the NVRAM 18 and subtracts it from the current reference value. If the absolute value of the calculation result is smaller than the predetermined lower limit value, the operation interval stored in the NVRAM 18 is extended by multiplication of a coefficient of "1" or more, and if the absolute value of the calculation result is larger than the predetermined upper limit value, , The operation interval is "1"
It is shortened by multiplying the following coefficients.
【0036】このため、フローセンサ8の基準値の変動
が微小な場合は、この基準値を更新する動作間隔が延長
されるので、流量測定装置1は消費電力が低減され、基
準値の変動が多大な場合は、これを更新する動作間隔が
短縮されるので、流量測定装置1は適正な基準値を獲得
することができる。Therefore, when the fluctuation of the reference value of the flow sensor 8 is minute, the operation interval for updating the reference value is extended, so that the flow measuring device 1 consumes less power and the fluctuation of the reference value is reduced. In a large number of cases, the operation interval for updating this is shortened, so that the flow rate measuring device 1 can obtain an appropriate reference value.
【0037】上述のように流量測定装置1は、フローセ
ンサ8の基準値を自動的に繰り返し更新し、この更新間
隔も基準値の変動に対応して適正に調整されるが、それ
でもユーザが所望によりフローセンサ8の基準値を更新
したいこともある。このような場合、リセットスイッチ
20が手動操作されると、出力処理回路17は、流動判
断回路15の判断結果を取り込んでLPGの流量が
“0”であることを確認し、この確認後にフローセンサ
8の検出値を取り込んでNVRAM18に格納する。As described above, the flow rate measuring device 1 automatically and repeatedly updates the reference value of the flow sensor 8 and the update interval is also properly adjusted according to the change in the reference value, but the user still desires. There are cases where it is desired to update the reference value of the flow sensor 8. In such a case, when the reset switch 20 is manually operated, the output processing circuit 17 captures the determination result of the flow determination circuit 15 and confirms that the flow rate of LPG is “0”, and after this confirmation, the flow sensor. The detected values of 8 are fetched and stored in the NVRAM 18.
【0038】このため、上述のように自動的なフローセ
ンサ8の基準値の更新とは別個に、ユーザの所望により
基準値を更新させることができるので、例えば、流量測
定装置1の設置時やガスボンベ2の交換時などに、フロ
ーセンサ8の最新の基準値を獲得することができる。For this reason, the reference value can be updated according to the user's desire, separately from the automatic update of the reference value of the flow sensor 8 as described above. The latest reference value of the flow sensor 8 can be obtained when the gas cylinder 2 is replaced.
【0039】なお、本発明は上述した流量測定装置1に
限定されるものではなく、各種の変形を許容する。例え
ば、上述した流量測定装置1は、圧力センサ7により流
量が“0”であることを検出した場合にフローセンサ8
の基準値を獲得するものにおいて、この動作が自動的に
所定間隔で繰り返され、この間隔が基準値の変動に対応
して自動的に調整され、基準値の獲得後は流動が再開さ
れるまでフローセンサ8が休止され、手動操作により基
準値を獲得できることを例示した。しかし、上述のよう
な機能の全部を一個の装置に実現する必要はなく、これ
は装置の仕様などに対応して取捨選択することが可能で
ある。The present invention is not limited to the flow rate measuring device 1 described above, and allows various modifications. For example, the above-described flow rate measuring device 1 uses the flow sensor 8 when the pressure sensor 7 detects that the flow rate is “0”.
This operation is automatically repeated at a predetermined interval in the case of obtaining the reference value of, and this interval is automatically adjusted according to the change of the reference value, and after the reference value is obtained, until the flow is restarted. It has been illustrated that the flow sensor 8 is stopped and the reference value can be obtained by manual operation. However, it is not necessary to realize all the functions as described above in one device, and this can be selected according to the specifications of the device.
【0040】また、ここでは流体としてLPGを例示し
たが、これは流動を圧力により検出できる流体ならば良
い。具体的には高圧の気体が最適であり、空気や酸素や
窒素などが好ましいが、これはガスボンベ2に格納され
た状態では液体窒素や液体空気でも良い。さらに、流量
測定装置1がガスボンベ2に格納された高圧なLPGの
流量を検出することを例示したが、例えば、このような
流量測定装置1によりエアーコンディショナーの風量を
測定することも可能である。Although LPG is used as an example of the fluid here, any fluid can be used as long as the fluid can be detected by pressure. Specifically, high-pressure gas is most suitable, and air, oxygen, nitrogen, or the like is preferable, but liquid nitrogen or liquid air may be used when the gas is stored in the gas cylinder 2. Further, the flow rate measuring device 1 detects the flow rate of the high-pressure LPG stored in the gas cylinder 2, but the flow rate measuring device 1 can measure the air volume of the air conditioner.
【0041】また、圧力センサ7をフローセンサ8の上
流に配置したが、この配置を逆転しても良く、一つの流
路の同一位置に圧力センサ7とフローセンサ8とを配置
することや、二つに分岐した流路の各々に圧力センサ7
とフローセンサ8とを配置することも可能である。Further, although the pressure sensor 7 is arranged upstream of the flow sensor 8, this arrangement may be reversed and the pressure sensor 7 and the flow sensor 8 may be arranged at the same position in one flow path, or A pressure sensor 7 is provided in each of the two branched flow paths.
It is also possible to arrange the flow sensor 8 and the flow sensor 8.
【0042】また、圧力センサ7が、PZT等のセラミ
ックからなることを例示したが、これも流体の流動を圧
力により検出できる各種のデバイスが利用可能であり、
例えば、PVDF(Polyvinylidene Fluoride)などの有
機物圧電膜を利用したダイアフラム型の圧力センサ、シ
リコン製の微小な圧力センサ、フルイディック流量計の
振動検出の圧力センサ、音声入力用のマイクロフォン、
などが利用できる。Although the pressure sensor 7 is made of ceramic such as PZT, various devices capable of detecting the fluid flow by pressure can be used.
For example, a diaphragm type pressure sensor using an organic piezoelectric film such as PVDF (Polyvinylidene Fluoride), a minute pressure sensor made of silicon, a pressure sensor for vibration detection of a fluidic flow meter, a microphone for voice input,
Etc. are available.
【0043】また、フローセンサ8は、二個の温度セン
サを一個の発熱体の上流と下流とに配置し、これらの温
度差から流量を検出することを例示したが、温度センサ
を有することなく一個の発熱体のみで流量を検出するフ
ローセンサ、温度センサを有することなく複数の発熱体
で流量を検出するフローセンサ、一個の発熱体と一個の
温度センサとで流量を検出するフローセンサ、なども利
用することができ、半導体式のフローセンサも利用可能
である。In the flow sensor 8, two temperature sensors are arranged upstream and downstream of one heating element and the flow rate is detected from the temperature difference between them, but the temperature sensor is not provided. A flow sensor that detects the flow rate with only one heating element, a flow sensor that detects the flow rate with multiple heating elements without having a temperature sensor, a flow sensor that detects the flow rate with one heating element and one temperature sensor, etc. Can also be used, and a semiconductor type flow sensor can also be used.
【0044】さらに、流動の再開までフローセンサ8の
駆動電力を低減する場合、その発熱体にセンサ駆動回路
16から供給する電力を停止することを例示したが、こ
のセンサ駆動回路16に本体電源(図示せず)から供給
する電力を停止することも可能であり、必要な機能を維
持できる範囲で本体電源の電力供給を停止させることも
可能である。Further, in the case of reducing the drive power of the flow sensor 8 until the flow is restarted, the power supplied from the sensor drive circuit 16 to the heating element is stopped. It is also possible to stop the electric power supplied from (not shown), and it is also possible to stop the electric power supply of the main body power supply within a range in which necessary functions can be maintained.
【0045】[0045]
【発明の効果】請求項1記載の発明は、流体の流量を検
出する流量センサと、流体の圧力を検出する圧力センサ
と、流体の圧力から流量が“0”で有るか無いかを判断
する停止判断手段と、流量が“0”と判断された場合の
流量センサの検出値を基準値として記憶する基準記憶手
段と、記憶された基準値に基づいて流量センサの検出値
を補正する流量補正手段とを有することにより、流量セ
ンサの検出値を補正する基準値が、実際に流体の流量が
“0”の状態で流量センサから取り込まれ、このように
流量が“0”であることが圧力センサの検出値から判断
されるので、実際の使用環境を反映して流体の流量を正
確に検出することができる。According to the first aspect of the invention, the flow rate sensor for detecting the flow rate of the fluid, the pressure sensor for detecting the pressure of the fluid, and the determination of whether the flow rate is "0" or not are determined from the pressure of the fluid. Stop determination means, reference storage means for storing the detected value of the flow rate sensor when the flow rate is judged to be "0" as a reference value, and flow rate correction for correcting the detected value of the flow rate sensor based on the stored reference value. By including the means, the reference value for correcting the detection value of the flow rate sensor is taken in from the flow rate sensor when the flow rate of the fluid is actually “0”. Since it is determined from the detection value of the sensor, the flow rate of the fluid can be accurately detected by reflecting the actual usage environment.
【0046】請求項2記載の発明では、停止判断手段に
より流体の流量が“0”と判断された場合の流量センサ
の検出値を基準値として基準記憶手段に記憶させる動作
を所定間隔で実行させる自動更新手段を設けたことによ
り、流量センサの基準値を獲得する処理動作が自動的に
繰り返されるので、環境変動や経時劣化が発生しても適
正な基準値を獲得することができる。According to the second aspect of the invention, the operation of storing the detection value of the flow rate sensor when the flow rate of the fluid is determined to be "0" by the stop determination means in the reference storage means as a reference value is executed at predetermined intervals. Since the processing operation for obtaining the reference value of the flow rate sensor is automatically repeated by providing the automatic updating means, it is possible to obtain the appropriate reference value even if environmental changes or deterioration with time occur.
【0047】請求項3記載の発明では、前回と今回との
基準値の変化を検出する変化検出手段を設け、検出され
た変化に対応して自動更新手段の次回までの間隔を可変
する間隔可変手段を設けたことにより、流量センサの基
準値の変動が小さいと、基準値を更新する動作の間隔が
延長されるので、消費電力を低減することができ、流量
センサの基準値の変動が大きいと、基準値を更新する動
作の間隔が短縮されるので、基準値を適正に維持するこ
とができる。According to the third aspect of the invention, the change detecting means for detecting the change in the reference value between the previous time and the current time is provided, and the interval changing means for changing the interval until the next time of the automatic updating means according to the detected change. By providing the means, when the fluctuation of the reference value of the flow sensor is small, the operation interval for updating the reference value is extended, so that the power consumption can be reduced and the fluctuation of the reference value of the flow sensor is large. Then, the interval of the operation of updating the reference value is shortened, so that the reference value can be appropriately maintained.
【0048】請求項4記載の発明では、停止判断手段に
より流体の流量が“0”と判断された場合の流量センサ
の検出値を基準値として基準記憶手段に記憶させる動作
を手動操作に対応して実行させる手動更新手段を設けた
ことにより、流量センサの基準値を獲得する処理動作を
所望により実行させることができる。According to the fourth aspect of the invention, the operation of storing the detected value of the flow rate sensor as the reference value in the reference storing means when the flow rate of the fluid is judged to be "0" by the stop judging means corresponds to the manual operation. By providing the manual updating means for executing the processing, the processing operation for acquiring the reference value of the flow rate sensor can be executed as desired.
【0049】請求項5記載の発明では、基準記憶手段に
よる基準値の記憶後に停止判断手段により流体の流量が
“0”でないと判断されるまで流量センサの駆動電力を
低減する電力制御手段を設けたことにより、流体の流動
が再開されるまで流量センサの駆動電力が低減されるの
で、電力の無用な消費を防止することができる。According to the fifth aspect of the present invention, after the reference value is stored in the reference storage means, power control means for reducing the drive power of the flow rate sensor is provided until the stop determination means determines that the flow rate of the fluid is not "0". As a result, the drive power of the flow rate sensor is reduced until the flow of the fluid is resumed, so that unnecessary consumption of power can be prevented.
【図1】本発明の流量測定装置の実施の形態を示すブロ
ック図である。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a flow rate measuring device of the present invention.
【図2】圧力調整器の内部構造を示す縦断側面図であ
る。FIG. 2 is a vertical cross-sectional side view showing the internal structure of a pressure regulator.
【図3】圧力変動を示すタイムチャートである。FIG. 3 is a time chart showing pressure fluctuations.
1 流量測定装置 7 圧力センサ 8 流量センサ 15 停止判断手段 1 Flow rate measuring device 7 Pressure sensor 8 Flow rate sensor 15 Stop judgment means
Claims (5)
体の圧力を検出する圧力センサと、流体の圧力から流量
が“0”で有るか無いかを判断する停止判断手段と、流
量が“0”と判断された場合の前記流量センサの検出値
を基準値として記憶する基準記憶手段と、記憶された基
準値に基づいて前記流量センサの検出値を補正する流量
補正手段と、を有することを特徴とする流量測定装置。1. A flow rate sensor for detecting the flow rate of a fluid, a pressure sensor for detecting the pressure of the fluid, a stop determination means for determining whether the flow rate is "0" or not based on the pressure of the fluid, and a flow rate of " Reference value storage means for storing the detection value of the flow rate sensor when it is determined to be "0" as a reference value, and flow rate correction means for correcting the detection value of the flow rate sensor based on the stored reference value. A flow measuring device characterized by.
と判断された場合の流量センサの検出値を基準値として
基準記憶手段に記憶させる動作を所定間隔で実行させる
自動更新手段を設けたことを特徴とする請求項1記載の
流量測定装置。2. The flow rate of the fluid is "0" by the stop judging means.
2. The flow rate measuring device according to claim 1, further comprising an automatic updating unit that performs an operation of storing the value detected by the flow rate sensor when the determination is made as a reference value in the reference storage unit at predetermined intervals.
変化検出手段を設け、検出された変化に対応して自動更
新手段の次回までの間隔を可変する間隔可変手段を設け
たことを特徴とする請求項2記載の流量測定装置。3. A change detecting means for detecting a change in the reference value between the previous time and this time is provided, and an interval changing means for changing the interval until the next time of the automatic updating means is provided corresponding to the detected change. The flow rate measuring device according to claim 2, which is characterized in that
と判断された場合の流量センサの検出値を基準値として
基準記憶手段に記憶させる動作を手動操作に対応して実
行させる手動更新手段を設けたことを特徴とする請求項
1記載の流量測定装置。4. The flow rate of the fluid is "0" by the stop determination means.
2. The flow rate measuring device according to claim 1, further comprising a manual updating means for executing an operation of storing the detected value of the flow rate sensor as a reference value in the reference storage means when it is determined to correspond to the manual operation. .
止判断手段により流体の流量が“0”でないと判断され
るまで流量センサの駆動電力を低減する電力制御手段を
設けたことを特徴とする請求項1記載の流量測定装置。5. A power control means for reducing the drive power of the flow rate sensor until the stop determination means determines that the flow rate of the fluid is not “0” after the reference value is stored by the reference storage means. The flow rate measuring device according to claim 1.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24263795A JP3436620B2 (en) | 1995-06-22 | 1995-09-21 | Flow measurement device |
Applications Claiming Priority (3)
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---|---|---|---|
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JP15577295 | 1995-06-22 | ||
JP24263795A JP3436620B2 (en) | 1995-06-22 | 1995-09-21 | Flow measurement device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0968451A true JPH0968451A (en) | 1997-03-11 |
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ID=26483697
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---|---|---|---|
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JP2000146658A (en) * | 1998-11-11 | 2000-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Gas-flow breaking device |
KR20140104996A (en) * | 2011-12-23 | 2014-08-29 | 콘티넨탈 오토모티브 게엠베하 | Method for operating an air mass sensor |
CN105004379A (en) * | 2008-05-28 | 2015-10-28 | Smc株式会社 | Flow sensor |
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KR20140104996A (en) * | 2011-12-23 | 2014-08-29 | 콘티넨탈 오토모티브 게엠베하 | Method for operating an air mass sensor |
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