JPH0965065A - 画像入力装置 - Google Patents

画像入力装置

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JPH0965065A
JPH0965065A JP23328795A JP23328795A JPH0965065A JP H0965065 A JPH0965065 A JP H0965065A JP 23328795 A JP23328795 A JP 23328795A JP 23328795 A JP23328795 A JP 23328795A JP H0965065 A JPH0965065 A JP H0965065A
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JP
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JP23328795A
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English (en)
Inventor
Shinji Ito
慎二 伊藤
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 カラースキャナーの画像入力装置への原稿の
装着を簡単容易に行うことができるようにし、原稿の装
着作業性を向上させる。 【解決手段】 回転駆動部1と、該回転駆動部1に連結
された原稿ホルダー保持基板3と、該原稿ホルダー保持
基板3に保持される原稿ホルダー5,5Aと、該原稿ホ
ルダー5,5Aに装着された原稿の画像データを検出す
る検出手段とを備えた画像入力装置である。前記原稿ホ
ルダー保持基板3は回転軸心に対して垂直な保持面4を
有し、該保持面5には原稿ホルダー5,5Aに装着され
た原稿各部が回転軸心から等距離になるように原稿ホル
ダー5,5Aを原稿ホルダー保持基板3上に位置決め保
持する保持手段7が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は、カラースキャナー
の画像入力装置に関する。
【0002】
【従来の技術】カラースキャナーは、撮影されたカラー
(白黒を含む)フィルムや焼付印画紙等の原稿から色修
正済の分解ネガあるいは分解ポジを作成する機器であ
り、通常、原稿を光学的に走査し、走査によって得られ
た透過光あるいは反射光を検出して電気的信号に変換す
るための画像入力装置と、該画像入力装置から出力され
た電気的信号に種々の演算処理を施すコンピュータと、
該コンピュータから出力された電気的信号を光学的信号
に変換し、フィルムに露光するための画像出力装置から
構成されている。
【0003】前記画像入力装置は、例えば図10に示す
ように、原稿100を取り付けるための回転ドラム10
1と、該回転ドラム101を回転駆動するための回転駆
動部102と、回転ドラム101の外周面に装着された
原稿100に白色光を照射するための光照射アーム(図
示省略)と、原稿からの透過光あるいは反射光を検出す
るための走査ヘッド(図示省略)を備えている。前記光
照射アームと走査ヘッドは一対をなして検出手段を構成
しており、透過光を検出する場合、光照射アームの光照
射部が回転ドラム101内に設けられ、光照射部と走査
ヘッドとは回転軸心に対して径方向(放射方向)に配置
される。また、両者は軸方向送り装置により横送りさ
れ、この横送りと回転ドラム101の回転とにより、原
稿各部の画像データが光学的に走査され、検出される。
【0004】前記回転ドラム101は、回転駆動部10
2に着脱自在に連結するための基板部103と、該基板
部103に回転軸心に対して同心状に設けられたドラム
本体104とからなり、前記ドラム本体104の外周面
に原稿100が装着される。ドラム本体104は、通
常、透明な硬質プラスチックやガラス等で製作される。
回転駆動部102に着脱自在に連結するための連結手段
としては、例えば交換レンズに用いられるバヨネットマ
ウント構造が適用される。
【0005】原稿は、通常、前記回転ドラム101を回
転駆動部102から取り外した状態で、前記ドラム本体
104の外周面に直接、あるいは実開平4−13575
9号公報に開示されているような適宜のホルダーを介し
て、その周縁部を粘着テープ等により固定することによ
り装着される。また、スキャナーの稼働率を向上させる
ため、回転ドラム101を複数本準備しておき、1本の
回転ドラム101を回転駆動部102に連結して画像入
力を行う間に、他の回転ドラム101に原稿を予め装着
することも行われている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来のドラム型画像入
力装置では、回転ドラムの回転に際して、ドラム本体の
外周面が面振れすると、色分解の精度が落ちるため、ド
ラム本体や基板部の剛性を高める必要があり、必然的に
回転ドラムの重量が大きくなる。このため、回転ドラム
を回転駆動部に着脱するのに多大の労力を必要とする。
【0007】また、原稿をドラム本体の外周面に装着す
るに際しては、原稿あるいはそれを保持したホルダーの
周縁部を粘着テープ等によりドラム本体の外周面に貼り
付ける作業が不可欠であるが、回転ドラムの重量が大き
いため、作業が大変である。また、作業労力を軽減しよ
うとすると、専用の保持器具が必要となる。
【0008】本発明はこのような課題を解決するために
なされたものであり、画像入力装置への原稿の装着を簡
単容易に行うことができ、原稿の装着作業性に優れた画
像入力装置を提供する。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の画像入力装置
は、回転駆動部と、該回転駆動部に連結された原稿ホル
ダー保持基板と、該原稿ホルダー保持基板に保持される
原稿ホルダーと、該原稿ホルダーに装着された原稿の画
像データを検出する検出手段とを備えた画像入力装置で
あって、前記原稿ホルダー保持基板には原稿ホルダーに
装着された原稿各部が回転軸心から等距離になるように
原稿ホルダーを原稿ホルダー保持基板上に位置決め保持
する保持手段が設けられている。
【0010】前記画像入力装置によれば、予め原稿を装
着した原稿ホルダーを保持手段を用いて原稿ホルダー保
持基板に簡単容易に位置決め保持することができ、原稿
ホルダーの画像入力装置への取り付けを簡単に行うこと
ができる。また、原稿ホルダー保持基板は原稿ホルダー
を位置決め保持することができれば十分であり、原稿ホ
ルダーも原稿の装着が可能な大きさであれば足りるた
め、これらの部材を小形軽量化することが容易であり、
装置の小形化、製作コストの低減を図ることができる。
【0011】前記原稿ホルダー保持基板に回転軸心に対
して垂直な保持面を形成し、該保持面に原稿ホルダーの
端部に形成された係合部に係合してこれを係止する係止
部を設けることにより、保持手段を簡単に構成すること
ができ、簡単な構造で原稿ホルダーの位置決め保持を行
うことができる。また、保持面の加工も容易で、高精度
のものを容易に得ることができる。
【0012】この場合、係止部を回転軸心を中心として
等距離の位置に複数個形成することにより、原稿ホルダ
ーの複数個を同一円周上に配置することができ、種々の
サイズの原稿ホルダーを原稿ホルダー保持基板に一度の
取り付けることができ、原稿の読み取り作業性が向上す
る。
【0013】また、原稿ホルダー保持基板に回転軸心に
対して垂直な保持面を形成し、該保持面に原稿ホルダー
を位置決めするための位置決め部を形成し、原稿ホルダ
ーの端部に前記保持面に当接する設置面設置面を有する
設置部が設けられ、前記設置面に前記位置決め部に係合
する係合部を設け、前記位置決め部を前記係合部に係合
させた状態で原稿ホルダーを保持面に固定するための固
定手段を設けることにより、前記位置決め部と固定手段
とにより保持手段を簡単に構成することができる。ま
た、原稿ホルダー保持基板と原稿ホルダーとは保持面と
設置面とが当接した状態で位置決め保持されるため、原
稿ホルダーの姿勢が安定し、検出精度を向上させること
ができる。
【0014】原稿ホルダーは原稿を装着することができ
れば十分であり、設置部を設けても、従来のドラム本体
に比して十分小形軽量に形成することができ、原稿ホル
ダー保持基板の回転により生じる原稿ホルダーの面振れ
は軽微であるが、更に、回転軸心回りの回転により原稿
ホルダーやその設置部に生じる遠心力を打ち消すための
バランサを原稿ホルダー保持基板の保持面に付設するこ
とにより、画像データ走査時における原稿ホルダーの面
振れをより一層抑制することができ、高精度の検出が可
能となる。
【0015】回転駆動部の駆動により、回転駆動部の回
転軸に連結された原稿ホルダー保持基板は回転軸心回り
に回転し、該原稿ホルダー保持基板に位置決め保持され
た原稿ホルダーも回転軸心回りに回転し、原稿ホルダー
に装着された原稿が走査され、画像データが検出手段に
より検出される。
【0016】この際、検出精度の確保の見地から、原稿
と走査ヘッドとの距離が等しいことが必要であり、回転
軸中から原稿各部まで等距離であることが要求される。
このため、原稿を装着する原稿ホルダーは、通常、回転
軸心に対する垂直面における断面が同一半径の円弧状と
された部分円筒形状を有する。もっとも、原稿の各部が
走査ヘッドに備えられた読み取り用レンズの焦点深度の
許容範囲内に存在すれば、画像データの検出上の問題は
なく、焦点深度の許容範囲の径方向の両限界点を通る2
円筒面の間に原稿が存在する限り、原稿装着面は平面的
であってもよい。
【0017】
【発明の実施の形態】図1及び図2は本発明にかかる画
像入力装置の実施態様の一例を示しており、回転駆動部
1と、その回転軸2に連結された原稿ホルダー保持基板
3と、該原稿ホルダー保持基板3の保持面4の周縁部に
沿って回転軸心から等距離位置に立設保持された複数個
(図例では2個)の部分円筒形状の原稿ホルダー5,5
A(以下、単に5と表示する)を備えている。前記保持
面4は、回転軸心に対して垂直な面を構成しており、該
保持面4に原稿ホルダー5を垂直に立設することによ
り、原稿ホルダー5も回転軸心に対して平行に配置され
る。この画像入力装置には、前記各部材のほか、従来と
同様、原稿ホルダー5に装着された原稿の画像データを
走査検出するための検出手段を備えるが、その構成は従
来と同様であるので記載省略する。
【0018】前記原稿ホルダー保持基板3の周縁部に
は、回転軸心から等距離に方形状凹部からなる保持手段
である係止部7が多数等間隔に開設されている。また、
前記原稿ホルダー保持基板3の中心部には回転軸2に連
結するためのボス部10が形成され、止めネジ11等の
適宜の保持手段により両者が連結される。尚、本実施態
様では、保持手段により原稿ホルダー保持基板3を回転
軸2に固着する例を示したが、従来と同様、バイヨネッ
トマウント等による着脱自在の取り付け手段を適用して
もよい。もっとも、本発明では原稿ホルダー保持基板3
は回転軸2に取り付けたままでよいので、図例のような
固着手段で十分である。
【0019】前記原稿ホルダー5の下端には前記係止部
7に嵌合状に係合する係合部9の複数個(図例では2
個)が前記係止部7と同間隔に突設されている。原稿ホ
ルダー5の下端面は回転軸心に対して垂直面を構成して
おり、前記係合部9を原稿ホルダー保持基板3の係止部
7に差し込んで嵌合係止させ、原稿ホルダー5の下端面
を保持面4に当接させることにより、原稿ホルダー5は
原稿ホルダー保持基板3に位置決め保持され、原稿ホル
ダー5に装着された原稿の各部が回転軸心から等距離に
位置するようになる。
【0020】前記原稿ホルダー5の中央部には原稿サイ
ズよりも小さく、かつ走査エリアよりも大きな開口部1
5が開設されている。原稿はその周縁が前記開口部15
の外周縁部に位置するように粘着テープ等により貼り付
けられる。前記開口部15は原稿を直接走査可能とし、
ニュートンリングの発生を防止するためのものである。
原稿ホルダー5は、かかる形態のものに限らず、開口部
が形成されていない透明板状のものでもよい。この場
合、通常、ニュートンリングの発生を防止するために原
稿と原稿ホルダーとの間に微細なパウダーやオイルが介
在される。要するに、原稿ホルダーの形態は前記係合部
9を有すればよく、他の形態は任意であり、軸方向に平
行な一側縁がヒンジ構造とされた2枚の部分円筒状部材
を備えたものでもよい。尚、図例では、2個の原稿ホル
ダー5,5Aを取り付けた状態を示したが、1個でもよ
いことは勿論である。また、係合部9の数も図例のよう
に2個に限らず、3個以上でもよく、あるいは図3に示
すように1個でもよい。
【0021】前記回転駆動部1の回転軸2は、通常、水
平配置されるため、原稿ホルダー保持基板3の回転によ
り、原稿ホルダー5には軸方向の外力は作用しないの
で、前記係止部7に係合部9を嵌合状に係合するだけ
で、原稿ホルダー5は原稿ホルダー保持基板3に位置決
め保持されるが、保持を確実にするには、係止部7に装
着された係合部9が軸方向に抜け出ないように適宜の係
止手段を設けるとよい。図例では、原稿ホルダー保持基
板3の外周面から軸心方向にボールプランジャー12を
各係止部7に向けて装着し、その先端部に進退自在かつ
弾発状に設けられたボールを係合部9の外周面に形成さ
れた凹部に嵌合させて、これを係止している。勿論、係
止手段としては、前記ボールプランジャー12に限るも
のではなく、ネジ部材を原稿ホルダー保持基板3の外周
面からねじ込み、係合部9の外周面を押圧固定してもよ
い。
【0022】また、係止部の形状としては、図例の方形
状に限らないことは勿論であり、また貫通状でなくても
よく、更には図4(A)に示すように、原稿ホルダー保
持基板3の外周面に切り欠き部17を設け、これを係止
部として用いてもよい。この場合、切り欠き部17が方
形状の場合、原稿ホルダーの径方向の倒れを防止するた
め、ネジ部材等の適宜の固定手段により、切り欠き部1
7に係合する原稿ホルダーの係合部を切り欠き部13に
固定することが好ましい。もっとも、図4(B)に示す
よに、切り欠き部13Aをあり溝にすれば、固定手段は
不要である。
【0023】また、係止部の配列としては、図5に示す
ように、回転中心からの距離が異なる円周上に複数列の
係止部7,7Aを列設してもよい。この場合、径方向に
対して係止部7,7Aが互いに重ならないように配置す
ることにより、夫々に対し前記ボールプランジャー12
等の係止手段を適用することができる。
【0024】更に、前記原稿ホルダー保持基板3には、
該保持基板3に位置決め保持する各原稿ホルダーにつ
き、原稿読み取り時に、回転により各原稿ホルダーに生
じる遠心力を相殺し、原稿ホルダーの面触れを抑制し、
画像データの検出精度を上げるため、各原稿ホルダーに
つき、回転中心に対し各々の対象位置に回転により生じ
る遠心力を相殺するためのバランサを取り付けることが
好ましい。取り付けに際しては、原稿ホルダー保持基板
3に多数設けた係止部を利用すればよい。
【0025】図6及び図7は本発明にかかる画像入力装
置の実施態様の他例を示しており、回転駆動部1の回転
軸2に固着連結された原稿ホルダー保持基板23と、該
原稿ホルダー保持基板23の保持面24に保持された複
数個(図例では2個)の原稿ホルダー25,25A(以
下、単に25と表示する)を備えている。この実施態様
についても、原稿の画像データを走査検出するための検
出手段は記載省略した。また、原稿ホルダー保持基板2
3は回転軸2に取り付けたままでよいので、図例のよう
な止めネジ11等による固着手段で十分である。
【0026】前記保持面24は、回転軸心に対して垂直
な面を有しており、回転軸心を中心として等距離の位置
に位置決め部を構成する環状凸部26が突設されてい
る。前記原稿ホルダー25は、回転軸心方向に平行に延
設された部分円筒形状をしており、その下端にはホルダ
ーの軸心に対して垂直方向に延設された設置部29,2
9A(以下、単に29と表示する)が形成され、該設置
部29の下面に回転軸心に対して垂直面とされた設置面
30,30A(以下、単に30と表示する)が形成され
ている。該設置面30の中央部には前記環状凸部26に
係合する係合部31,31A(以下、単に31と表示す
る)が形成されている。尚、原稿ホルダーと設置部とは
一体成形してもよく、各々別に製作したものを適宜の固
着手段により組み立ててもよい。
【0027】原稿ホルダー25を保持面24上に位置決
めするには、前記環状凸部26を前記係合部31に係合
するようにして、原稿ホルダー25の設置面30を前記
原稿ホルダー保持基板23の保持面24に当接するよう
に設置することにより、原稿ホルダー5は保持面24上
で回転軸心から径方向に位置決めされ、原稿ホルダー2
5の姿勢が安定し、原稿ホルダー25の軸心が回転軸心
に対して平行に配置される。
【0028】前記設置部29の回転中心側には固定ネジ
33の取り付け孔34が開設され、一方原稿ホルダー保
持基板23の保持面24に設けられた環状凸部26の内
側平坦面には、前記取り付け孔34と同心位置にネジ孔
35が開設されている。前記固定ネジ33を取り付け孔
34を貫通して前記ネジ孔35にねじ込むことにより、
原稿ホルダー25が設置部29を介して原稿ホルダー保
持基板23の保持面24に確実に位置決め保持され、周
方向への移動や保持面24からの脱落が阻止される。
尚、保持面24に開設するネジ孔35は、同心円上に適
宜間隔をもって多数開設しておくことにより、保持面2
4の任意位置に原稿ホルダー25や後述のバランサを取
り付けることができる。
【0029】前記原稿ホルダー25の中央部には先の実
施態様における原稿ホルダー5と同様、開口部37,3
7Aが開設されているが、必ずしも必要ではない。ま
た、図8に示すように、ホルダー本体38Aの一側縁に
カバー部材38Bをヒンジ構造により開閉自在に設けて
もよい。
【0030】図9は原稿ホルダーの他例を示したもので
あり、設置部41に立設された原稿ホルダー40の内周
面に原稿装着手段43を備えている。該原稿装着手段4
3は、開口部44の一側縁近傍部に付設された上下一対
の原稿位置決めピン45,45と、該ピン45,45の
間に設けられた原稿端部挟持板46と、前記開口部44
の他の側縁近傍に取り付けられた原稿端部押さえ板47
とを備えている。
【0031】前記原稿端部挟持板46は板バネ等の弾性
材で形成され、開口部側前端部が前記ピン45,45よ
り開口部側にやや延出され、かつ原稿の端縁が容易に挿
入できるように内側にやや曲げ形成されている。一方、
原稿端部挟持板46の後端部は上下一対のビス49によ
り原稿ホルダー40の内面に固着されている。
【0032】前記原稿端部押さえ板47は開口部方向に
移動可能に上下一対の長孔51,51が開設され、この
長孔51,51を通してネジ部材52,52が原稿ホル
ダー40の内面に取り付けられている。原稿端部押さえ
板47の上面とネジ部材52,52の頭部下面との間に
は原稿端部押さえ板47を原稿ホルダー40の内面側に
付勢して、その位置を保持するためのスプリング53が
装着されている。これにより、原稿端部押さえ板47は
開口部方向に移動可能にすることができ、しかも適宜位
置で保持される。尚、原稿端部押さえ板47の下面には
不織布やゴムシート等の適宜の緩衝材を貼着するとよ
い。
【0033】前記原稿装着手段43を用いて、原稿60
を原稿ホルダー40の内面に装着するには、まず原稿の
一側縁を前記原稿端部挟持板46の前端部と原稿ホルダ
ー40の内面との間に挿入し、ピン45,45に当接す
るまで差し込む。そして、原稿端部押さえ板47を開口
部44より後方へずらした状態で、原稿60を原稿ホル
ダー40の内面に押しつけて、前記原稿端部押さえ板4
7を前方(開口部44側)にスライドさせる。原稿60
は原稿端部押さえ板47のスライドにより、ピン45,
45により位置決めされた他端を支点として原稿ホルダ
ー40の内面に沿うように変形する。この状態でスライ
ドを止めると、スプリング53の弾発力により原稿端部
押さえ板47を介して、原稿60は原稿ホルダー40の
内面に沿った状態で装着される。読み取りの際には、原
稿ホルダー40が回転軸心回りに回転するため、原稿に
径外方向の遠心力が作用し、原稿60は原稿ホルダー4
0の内面に張り付いた状態で装着される。
【0034】上記原稿装着手段43は、原稿ホルダーの
形態に係わらず適用できるものであり、原稿を原稿ホル
ダーの装着部の内面に沿った状態で容易に取り付けるこ
とができる。
【0035】本実施態様においても、読み取り時に原稿
ホルダーに作用する遠心力を打ち消すためのバランサ
を、保持面24に取り付けた原稿ホルダー40及び設置
部41の回転中心に対する対象位置に取り付けることに
より、画像データ走査時における原稿ホルダーの面振れ
を抑制することができ、高精度の検出が可能となる。こ
の場合、原稿ホルダー及び設置部を回転軸心に対して対
称形に製作し、一方の原稿ホルダー及びその設置部を他
方のバランサとして用いることができる。
【0036】
【発明の効果】本発明の画像入力装置によると、原稿ホ
ルダー保持基板を回転駆動部に着脱することなく、原稿
ホルダーを原稿ホルダー保持基板に保持手段により簡単
容易に位置決め保持することができ、また原稿を原稿ホ
ルダーに取り付ける作業も簡単であるため、画像入力装
置への原稿の装着を簡単容易に行うことができ、原稿の
装着作業性に優れる。また、装置の小形化を図ることが
でき、製作コストも軽減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施態様にかかる画像入力装置の主要
部の分解斜視図である。
【図2】同画像入力装置の断面説明図である。
【図3】1個の係合部を有する原稿ホルダーの斜視図で
ある。
【図4】係止部の他例を示す原稿ホルダー保持基板の部
分平面図である。
【図5】複数列の係止部を有する原稿ホルダー保持基板
の平面図である。
【図6】他の実施態様にかかる画像入力装置の主要部の
分解斜視図である。
【図7】他の実施態様にかかる画像入力装置の断面説明
図である。
【図8】設置部付きの原稿ホルダーの他例を示す斜視図
である。
【図9】原稿装着手段を備えた設置部付きの原稿ホルダ
ーの他例を示す正面図(A)及び同図のA−A線断面図
(B)である。
【図10】従来のドラム型画像入力装置の主要部の斜視
図である。
【符号の説明】
1 回転駆動部 3,23 原稿ホルダー保持基板 4,24 保持面 5,5A,25,25A 原稿ホルダー 7 係止部(保持手段) 9 係合部 26 環状凸部(位置決め部) 29,29A 設置部 30,30A 設置面 31,31A 係合部 33 固定ネジ(固定手段:26と協働して保持手段を
構成) 40 原稿ホルダー 41 設置部 43 原稿装着手段

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転駆動部と、該回転駆動部に連結され
    た原稿ホルダー保持基板と、該原稿ホルダー保持基板に
    保持される原稿ホルダーと、該原稿ホルダーに装着され
    た原稿の画像データを検出する検出手段とを備えた画像
    入力装置であって、 前記原稿ホルダー保持基板には原稿ホルダーに装着され
    た原稿各部が回転軸心から等距離になるように原稿ホル
    ダーを原稿ホルダー保持基板上に位置決め保持する保持
    手段が設けられたことを特徴とする画像入力装置。
  2. 【請求項2】 原稿ホルダー保持基板は回転軸心に対し
    て垂直な保持面を有し、該保持面には原稿ホルダーの端
    部に形成された係合部に係合してこれを係止する係止部
    からなる保持手段が設けられた請求項1に記載した画像
    入力装置。
  3. 【請求項3】 係止部が回転軸心を中心として等距離の
    位置に複数個形成されている請求項2に記載した画像入
    力装置。
  4. 【請求項4】 原稿ホルダー保持基板は回転軸心に対し
    て垂直な保持面を有し、該保持面に原稿ホルダーを位置
    決めするための位置決め部が形成され、原稿ホルダーの
    端部には前記保持面に当接する設置面を有する設置部が
    設けられ、前記設置面には前記位置決め部に係合する係
    合部が設けられ、前記位置決め部を前記係合部に係合さ
    せた状態で原稿ホルダーを保持面に固定するための固定
    手段が設けられ、前記位置決め部と固定手段とにより保
    持手段が構成された請求項1に記載した画像入力装置。
  5. 【請求項5】 原稿ホルダー保持基板には回転軸心回り
    の回転により原稿ホルダーに生じる遠心力を打ち消すた
    めのバランサが付設されている請求項1から4のいずれ
    か1項に記載した画像入力装置。
JP23328795A 1995-08-18 1995-08-18 画像入力装置 Pending JPH0965065A (ja)

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JP23328795A JPH0965065A (ja) 1995-08-18 1995-08-18 画像入力装置

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JP23328795A JPH0965065A (ja) 1995-08-18 1995-08-18 画像入力装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020034944A (ja) * 2012-03-15 2020-03-05 株式会社ニコン マスクユニット及び露光装置

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JP2020034944A (ja) * 2012-03-15 2020-03-05 株式会社ニコン マスクユニット及び露光装置

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