JPH0962363A - 電動機の位置決め制御方法 - Google Patents

電動機の位置決め制御方法

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JPH0962363A
JPH0962363A JP7211893A JP21189395A JPH0962363A JP H0962363 A JPH0962363 A JP H0962363A JP 7211893 A JP7211893 A JP 7211893A JP 21189395 A JP21189395 A JP 21189395A JP H0962363 A JPH0962363 A JP H0962363A
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Ryuichi Oguro
龍一 小黒
Nobuhiro Umeda
信弘 梅田
Sukeatsu Inazumi
祐敦 稲積
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 制御対象の負荷の状態値が変動しても正確で
安定した制御が可能なスライディングモード制御を用い
た駆動電動機の位置決め制御方法を提供する。 【構成】 オブザーバブロック113では電動機への加
速度指令Uref と電動機の出力である電動機角θm よ
り、負荷あるいは電動機角と負荷角の差であるねじれ角
等の状態量を推定する。スライディングモード制御ブロ
ック115では推定された状態量と、電動機からの回転
位置情報θm と、電動機位置指令θmrefとから複数の状
態量を選択組合わせてスライディングモード制御切換面
を設定し、これらの状態量から計算された値の正負によ
りスライディングモード補償量を切換えてフィードバッ
ク制御系に加算する。負荷の状態量がスライディングモ
ード切換面に拘束されるので、制御対象のパラメータが
変動しても負荷の応答は目標の応答に一致する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は,ロボット、NC等の駆
動用電動機の位置決め制御に関し、特に制御対象の条件
の変動に対して正確で安定した制御を行なうためのスラ
イディングモード制御を用いた位置決め制御に関する。
【0002】
【従来の技術】従来用いられていたこの種の位置決め制
御は、一般に図2のブロック図にて示す構成のものが採
用されていた。即ち図2において符号201で示される
ものは位置ゲインブロックであり、電動機角指令θmref
と電動機の出力である電動機角θm との偏差に位置ゲイ
ンkpを乗算する。202は速度ゲインブロックで、位
置ゲインブロック201の出力から電動機角速度(電動
機角θm の微分値)を減算した値に速度ゲインkvを乗
算する。203は電流アンプを含むトルク制御ブロック
で、速度ゲインブロック202で計算された電動機角加
速度指令Uref を電動機への電流指令Iref に変換して
出力する。204はトルク定数ブロック、205は電動
機イナーシャブロック、206は積分部で電動機角速度
を電動機角に変換する。207は減速比ブロックで電動
機出力である電動機角を減角する。208は減速機のバ
ネ定数ブロックで減速比ブロック207の出力から負荷
角θL を減算した値が入力される。209は負荷イナー
シャブロック、210は積分ブロックで負荷角加速度を
負荷角θL に変換して出力する。211は電動機角を電
動機角速度に変換する微分ブロック、212は減速比で
表されるブロックで負荷から電動機へ働く軸ねじれトル
クを表している。
【0003】さらに、低剛性対象に対しては負荷の振動
特性を向上させるため、電動機への角加速度指令Uref
と電動機の出力である電動機角θm より、負荷あるいは
電動機角と負荷角の差であるねじれ角等の状態量を推定
し、その値にフィードバックゲインKsを乗算して電動
機角速度指令から減算するオブザーバフィードバックが
用いられている。図中213はオブザーバブロックで2
14は推定した状態量のフィードバックゲインブロック
である。ここで「オブザーバ」とは一つの線形動的シス
テムでシステムの入力と出力の測定値とを入力として、
もとのシステムの全状態をを復元する機能を持つ動的装
置となっており、一般に公知のものである(「動的シス
テム入門」D.G.ルーエンバーガ著)。なお、位置ゲ
インブロック201、速度ゲインブロック202、およ
び微分ブロック211はフィードバック制御器に属し、
トルク制御ブロック203はトルク制御器に属し、トル
ク定数ブロック204、電動機イナーシャブロック20
5、積分部は電動機に属し、減速比ブロック207、バ
ネ定数ブロック208、負荷イナーシャブロック20
9、積分ブロック210、および減速比ブロック212
は負荷に属し、オブザーバブロック213およびフィー
ドバックゲインブロック214はオブザーバに属する。
【0004】図中の各ブロック内の記号は、ロボットの
アーム制御の例について同図中に説明されている。以下
に図2に示すオブザーバの計算式を示す。このオブザー
バは、電動機角θm 、電動機角速度
【0005】
【外1】
【0006】、ねじれ角θs 、ねじれ角速度
【0007】
【外2】
【0008】、外乱dを推測する全次元オブザーバの構
成としている。
【0009】
【数1】
【0010】ただし、
【0011】
【数2】
【0012】ただし、Uref は電動機の角加速度指令、
Gはオブザーバフィードバックゲインである。^は状態
変数の推定値、 Tは転置行列を表す。このオブザーバを
DSP等で計算する場合には、A、B行列を離散化した
行列、また離散値系の極配置より決定したG行列に変形
し逐次計算を行なう必要がある。また、スライディング
モード制御を用いた電動機の制御方法として、特開平3
−118618号公報で開示された方式がある。これ
は、電動機と電動機により駆動される負荷の制御を行な
うもので、電動機角と負荷角の差であるねじれ角とその
微分値のねじれ角速度からなるスライディングモード切
換面を設定してスライディングモード制御を行ない負荷
応答の制振効果を向上させたものである。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】ところがオブザーバフ
ィードバックにより制御性能を向上させる場合、オブザ
ーバの計算に用いる制御対象モデルを正確に同定する必
要がある。ところが、実機の制御対象をモデル化する時
に粘性摩擦を無視したり、ロボットのように姿勢による
負荷イナーシャの変動や減速機バネ定数の変動により、
オブザーバの制御対象モデルが実機とずれるという問題
がある。このようにモデル化誤差や制御対象のパラメー
タ変動等により、オブザーバにより推定した状態量が実
機の状態量とずれるため、これをフィードバックするこ
とにより制御系が当初目標とした応答ができない、ある
いは制御系が不安定になるという問題がある。
【0014】また、上述の従来のスライディングモード
制御を用いた制御方法では、負荷応答の制振効果は向上
しているが、可変ゲインがフィードバックゲインのみで
あるため負荷の振動を完全に抑制することはできず、モ
ータへの移動指令に対する対象機械の位置の伝達関数に
はバネ定数や負荷イナーシャが含まれているため、バネ
定数や負荷イナーシャが変動すれば応答が変動し、オー
バーシュートを発生する等の問題がある。本発明の目的
は、制御対象の負荷の状態値が変動しても正確で安定し
た制御が可能なスライディングモード制御を用いた駆動
電動機の位置決め制御方法を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明のスライディング
モードを用いた位置決め制御方法は、負荷を駆動する電
動機と、外部からの電動機角指令と電動機からの回転位
置情報とにより電動機への加速度指令の制御を行なうフ
ィードバック制御器と、フィードバック制御器からの加
速度指令により、電動機への電力を供給するトルク制御
器と、電動機への加速度指令と電動機からの回転位置情
報とより、電動機と負荷の状態量を推定するオブザーバ
とを備えた負荷駆動システムの電動機位置決め制御方法
において、電動機角指令と、電動機からの回転位置情報
と、オブザーバで推定された電動機と負荷との状態量と
から複数の状態量を選定し、選定された複数の状態量か
らなる基準状態量面を用いて、該複数の状態量より計算
された値の正負によって計算されたスライディングモー
ド補償量を切換え、フィードバック制御器にスライディ
ングモード制御を行なう。
【0016】スライディングモード制御の切換面を、次
の状態量の組合せとしてもよい。 1.負荷角偏差、負荷角速度、および負荷角加速度 2.負荷角偏差、負荷角速度偏差、および負荷角加速度 3.負荷角偏差、負荷角速度偏差、および負荷角加速度
偏差 4.負荷角偏差、負荷角速度、負荷角加速度、および負
荷角加速度の微分値 5.負荷角偏差、負荷角速度偏差、負荷角加速度、およ
び負荷角加速度の微分値 6.負荷角偏差、負荷角速度偏差、負荷角加速度偏差、
および負荷角加速度の微分値 7.負荷角偏差、負荷角速度、負荷角加速度、負荷角加
速度の微分値、および負荷角加速度の2階微分値 8.負荷角偏差、負荷角速度偏差、負荷角加速度、負荷
角加速度の微分値、および負荷角加速度の2階微分値 9.負荷角偏差、負荷角速度偏差、負荷角加速度偏差、
負荷角加速度の微分値、および負荷角加速度の2階微分
値 また、負荷の状態量が、スライディングモード制御の切
換面から所定の範囲内にある場合には、スライディング
モード制御の補償量を等価制御入力としてもよい。
【0017】
【作用】上述の解決手段によって、負荷の状態量がスラ
イディングモード切換面に拘束されるため、負荷の応答
をあらかじめ設定した切換面で表される目標応答に一致
させることができ、高速で振動のない応答が実現でき
る。また、制御対象のパラメータが変動しても負荷の状
態量がスライディングモード切換面に拘束されるため負
荷の応答は目標応答に一致してロバストな制御系とする
ことができる。さらに、フィードバック制御系に加算す
るスライディングモード補償量を等価制御入力とするこ
とによって、スライディングモード制御で問題となるチ
ャタリングを回避でき、安定で滑らかな制御が可能とな
る。
【0018】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は本発明の実施例の構成ブロック図で
あり、符号101で示されるものは位置ゲインブロック
であり、電動機角指令θmrefと電動機の出力である電動
機角θm との偏差に位置ゲインkpを乗算する。102
は速度ゲインブロックで、位置ゲインブロック101の
出力から電動機角速度(電動機角θm の微分値)を減算
した値に速度ゲインkvを乗算する。103は電流アン
プを含むトルク制御ブロックで、速度ゲインブロック1
02で計算された電動機角加速度指令Uref を電動機へ
の電流指令Iref に変換して出力する。104はトルク
定数ブロック、105は電動機イナーシャブロック、1
06は積分部で電動機角速度を電動機角に変換する。1
07は減速比ブロックで電動機出力である電動機角を減
角する。108は減速機のバネ定数ブロックで減速比ブ
ロック107の出力から負荷角θL を減算した値が入力
される。109は負荷イナーシャブロック、110は積
分ブロックで負荷角加速度を負荷角θL に変換して出力
する。111は電動機角を電動機角速度に変換する微分
ブロック、112は減速比で表されるブロックで負荷か
ら電動機へ働く軸ねじれトルクを表している。
【0019】図中113は、低剛性対象に対しての負荷
の振動特性を向上させるため、電動機への角加速度指令
Uref と電動機の出力である電動機角θm より、負荷あ
るいは電動機角と負荷角の差であるねじれ角等の状態量
を推定するオブザーバブロックである。本実施例ではこ
の2慣性系制御において、負荷イナーシャや減速機バネ
定数等のパラメータの変動に対して、図中115で示す
ようなスライディングモード制御ブロックを付加し、以
下に示す計算式によりスライディングモード補償量Tco
mpを求め電動機加速度指令に加算する構成となってい
る。スライディングモード制御の理論面については、例
えば「使える非線形制御の理論3、スライディングモー
ド制御(橋本秀紀著、システム制御情報学会、1993
年37巻6号)」等で公知である。
【0020】なお、位置ゲインブロック101、速度ゲ
インブロック102、および微分ブロック111はフィ
ードバック制御器に属し、トルク制御ブロック103は
トルク制御器に属し、トルク定数ブロック104、電動
機イナーシャブロック105、積分部は電動機に属し、
減速比ブロック107、バネ定数ブロック108、負荷
イナーシャブロック109、積分ブロック110、およ
び減速比ブロック112は負荷に属し、オブザーバブロ
ック113およびフィードバックゲインブロック114
はオブザーバに属する。図中の各ブロック内の記号は、
ロボットのアーム制御の例について同図中に説明されて
いる。本発明では、負荷駆動システムの位置決め方法
に、測定値と推定値による状態量によりスライディング
モード切換面を設定し、計算された補償量をフィードバ
ック系に加算することによって目標応答に一致したロバ
ストな制御を行なう。
【0021】この駆動システムは、電動機と、電動機に
よって駆動される負荷と、外部からの位置指令と電動機
からの出力信号により電動機の制御を行なうフィードバ
ック制御系と、このフィードバック制御機構からの指令
により電動機への電力を供給する電流アンプを備えた電
動機の制御機構を有し、外部からの位置指令に対応して
負荷の移動と位置決めとを行なう。この負荷駆動システ
ムの位置決め方法に、電動機への加速度指令と、電動機
の出力である電動機角とより、負荷の状態量を推定する
オブサーバを設け、スライディングモード制御器におい
て、位置指令と電動機からの出力信号とオブザーバの推
定値とからスライディングモード制御切換面を設定し、
これらの状態量から計算された値の正負によりスライデ
ィングモード補償量を切換えてフィードバック制御系に
加算する。
【0022】この制御方法によって、負荷の状態がスラ
イディングモード切換面に拘束されるため、負荷の応答
をあらかじめ設定した切換面で表される目標応答に一致
させることができ、高速で振動のない応答が実現でき
る。また、制御対象のパラメータが変動しても、負荷の
状態がスライディングモード切換面に拘束されるため、
負荷の応答は目標応答に一致し、ロバストな制御系とす
ることができる。スライディングモード制御切換面に使
用される状態量は、負荷角偏差、負荷角速度、負荷角速
度偏差、負荷角加速度、負荷角加速度偏差、負荷角加速
度の微分値、負荷角加速度の2階微分値であり、本発明
では具体的にこれらが次のように組合わせられる。 (1)負荷角偏差、負荷角速度、負荷角速度偏差 (2)負荷角偏差、負荷角速度偏差、負荷角加速度、 (3)負荷角偏差、負荷角速度偏差、負荷角加速度偏差 (4)負荷角偏差、負荷角速度、負荷角加速度、負荷角
加速度の微分値 (5)負荷角偏差、負荷角速度偏差、負荷角加速度、負
荷角加速度の微分値 (6)負荷角偏差、負荷角速度偏差、負荷角加速度偏
差、負荷角加速度の微分値 (7)負荷角偏差、負荷角速度、負荷角加速度、負荷角
加速度の微分値、負荷角加速度の2階微分値 (8)負荷角偏差、負荷角速度偏差、負荷角加速度、負
荷角加速度の微分値、負荷角加速度の2階微分値 (9)負荷角偏差、負荷角速度偏差、負荷角加速度偏
差、負荷角加速度の微分値、 負荷角加速度の2階
微分値 さらに、フィードバック制御系に加算するスライディン
グモード補償量を等価制御入力とすることもでき、等価
制御入力にすることによってスライディングモード制御
で問題となるチャタリングを回避でき安定で滑らかな制
御が可能となる。
【0023】本実施例では、スライディングモードの制
御切換面を (2)式のように、負荷角偏差θLref−θL 、
負荷角速度
【0024】
【外3】
【0025】、負荷角加速度
【0026】
【外4】
【0027】、および負荷角加加速度(負荷角加速度の
微分値)
【0028】
【外5】
【0029】とした請求項5に記載したスライディング
モード制御について説明する。
【0030】
【数3】
【0031】a0 、a1 、a2 は負荷の応答を決定する
定数で以下のように設定する。まず、 (2)式においてス
ライディングモード制御が成立すれば P=0 と表す
ことができる。次にラプラス変換を行ない負荷角指令θ
Lrefに対する負荷角θL までの伝達関数で表すと、 (2)
式は以下のように変形できる。
【0032】
【数4】
【0033】一方、負荷の目標応答を表す特性方程式を
(4)式のように3次式で表す。
【0034】
【数5】
【0035】従って、負荷の応答を目標応答と一致させ
るためには、以下に示すように (3)式の特性方程式の係
数を (4)式の目標応答の係数に設定すればよい。
【0036】
【数6】
【0037】このとき、スライディングモード制御が成
立した条件下では負荷は目標応答と同じ応答をし、また
ロボットアームのように負荷イナーシャが変わっても、
バネ定数が変動しても負荷の応答は変化せず目標とする
応答に一致させることが可能となる。次にスライディン
グモード制御について説明する。スライディングモード
の存在条件は、
【0038】
【数7】
【0039】となり、大域的なスライディングモードの
存在条件は、
【0040】
【数8】
【0041】となる。 (2)式の切換面において両辺を微
分すると (7)式のようになる。
【0042】
【数9】
【0043】ところで、一般にサーボ系においてセンサ
で検出しているのは、電動機角のみである。従って、負
荷の状態量をスライディングモード切換面とすればこれ
らの状態量を求める必要がある。そこで、図1の制御ブ
ロック図より求められる関係式や (1)式のオブザーバに
より推定した電動機やねじれ角の状態量により負荷の状
態量を求めることにする。以下にその関係式を示す。図
1より、ねじれ角と負荷角加速度の関係式は以下のよう
になる。
【0044】
【数10】
【0045】また図1より電動機角、負荷角、ねじれ角
の関係式は以下のようになる。
【0046】
【数11】
【0047】さらに図1より電動機入力の関係式は以下
のようになる。
【0048】
【数12】
【0049】電動機角と負荷角の関係式は以下のように
なる。
【0050】
【数13】
【0051】(8)、(11)、(12)式を (7)式に代入して整
理すると以下のようになる。
【0052】
【数14】
【0053】電動機への角加速度指令Uref は、
【0054】
【数15】
【0055】ただし、Tcompはスライディングモード制
御入力 (15)式を(14)式に代入して、さらに(10)式を代入する
と、
【0056】
【数16】
【0057】となる。 (2)式を
【0058】
【外6】
【0059】について整理し、これを(16)式に代入して
整理すると、
【0060】
【数17】
【0061】ここで、A=a1・kv−a0となる。よ
って、
【0062】
【外7】
【0063】は以下のようになる。
【0064】
【数18】
【0065】ここで、通常 A>0 となるため、(18)
式第1項は常に負となる。故に (6)式が成立するために
は、第2項が負になるようにPの正負によりスライディ
ングモード補償量Tcompを切換えればよい。スライディ
ングモード制御入力Tcompを、
【0066】
【数19】
【0067】として、Pの正負により以下のようにスラ
イディングモード補償量Tcompを切換える。まず、P<
0の場合、 θmref−θm について ・θmref−θm >0の時
【0068】
【数20】
【0069】・θmref−θm <0の時
【0070】
【数21】
【0071】 θs について ・θs >0の時
【0072】
【数22】
【0073】・θs <0の時
【0074】
【数23】
【0075】
【数24】
【0076】
【数25】
【0077】従って、パラメータの変動幅を見込んでT
comp1 〜Tcomp4 を設定すればスライディングモード制
御が成立し、負荷は目標応答に一致する。なおP>0の
時は、上記のθmref−θm 、θs 、
【0078】
【外8】
【0079】の正負の場合のゲインを入れ替えればよ
い。次に、スライディングモード制御で問題となるチャ
タリングに対して、等価制御入力を用いた場合について
説明する。ここで、等価制御入力とは、切換面近傍
【0080】
【外9】
【0081】となる入力で、これにより状態は切換面に
沿って目標値へ収束することが可能となる。上記切換面
では(17)式が0となる入力であり、以下に求め方につい
て説明する。(17)式において、負荷の状態がスライディ
ングモード切換面上にあるとすれば、P=0より右辺第
1項は0となる。従って第2項以降を0とするスライデ
ィングモード補償量Tcompを求めれば
【0082】
【外10】
【0083】となり負荷の状態は切換えがなく目標値へ
収束する。以下に等価制御入力ゲインを示す。
【0084】
【数26】
【0085】よって、 (2)式により負荷の状態位置を求
めて切換面との偏差を求め、その偏差があらかじめ設定
していた値より大きい場合には、(18)式より求めたスラ
イディングモード切換ゲインTcomp1 〜Tcomp4 を使用
し、設定値以下の場合には負荷の状態は切換面上にある
として(17)式より求めたTcomp1'〜Tcomp4'の等価制御
入力を使用する。これにより電動機への角速度指令は滑
らかになり騒音等の問題が解決でき高精度な制御が可能
となる。このように、本発明では、負荷の状態量がスラ
イディングモード切換面に拘束されるので、制御対象の
パラメータが変動しても負荷の応答は目標の応答に一致
するため、ロバストな制御系とすることができる。また
等価制御入力を用いることにより滑らかな切換が可能と
なる。
【0086】以上請求項5に記載したスライディングモ
ード切換面を用いた場合を示したが負荷の目標応答を2
次系としても、4次系としてもかまわない。さらに速度
や加速度のフィードフォワード制御を行なっても (6)式
を満足するようにスライディングモード補償量を設定す
ればスライディングモード制御は成立する。なお、今回
スライディングモード制御に用いた状態量は、オブザー
バにより推定した値としたが、検出器を用いて実測した
値を用いてもかまわない。また、電動機の速度制御は比
例制御として説明したが、比例、積分制御の場合におい
てもスライディングモード制御を行なうことは可能であ
る。
【0087】
【発明の効果】以上説明したように本発明では、負荷の
状態量がスライディングモード切換面に拘束されるの
で、制御対象のパラメータが変動しても負荷の応答は目
標の応答に一致するため、ロバストな制御系とすること
ができるという効果がある。また、等価制御入力を用い
ることにより滑らかな制御が可能になるという効果も得
られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の構成ブロック図である。
【図2】従来例における構成ブロック図である。
【符号の説明】
101、201 位置ゲインブロック 102、202 速度ゲインブロック 103、203 トルク制御ブロック 104、204 トルク定数ブロック 105、205 電動機イナーシャブロック 106、206 積分部 107、207 減速比ブロック 108、208 減速機のバネ定数ブロック 109、209 負荷イナーシャブロック 110、210 積分ブロック 111、211 微分ブロック 112、212 減速比で表されるブロック 113、213 オブザーバブロック 115 スライディングモード制御ブロック 214 フィードバックゲインブロック
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H02P 5/00 H02P 5/00 X (72)発明者 稲積 祐敦 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石2番1号 株式会社安川電機内

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 負荷を駆動する電動機と、外部からの電
    動機角指令と前記電動機からの回転位置情報とにより前
    記電動機への加速度指令の制御を行なうフィードバック
    制御器と、 前記フィードバック制御器からの加速度指令により、前
    記電動機への電力を供給するトルク制御器と、 を備えた負荷駆動システムのスライディングモードによ
    る電動機位置決め制御方法において、 複数の負荷の状態量からなる基準状態量面を用いて、該
    複数の状態量より計算された値の正負によって計算され
    たスライディングモード補償量を切換え、前記フィード
    バック制御器にスライディングモード制御を行なうこと
    を特徴とする電動機の位置決め制御方法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の電動機の位置決め制御方
    法において、 前記スライディングモード制御の切換面を、 負荷角偏差、負荷角速度、および負荷角加速度、 としたことを特徴とする電動機の位置決め制御方法。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の電動機の位置決め制御方
    法において、 前記スライディングモード制御の切換面を、 負荷角偏差、負荷角速度偏差、および負荷角加速度、 としたことを特徴とする電動機の位置決め制御方法。
  4. 【請求項4】 請求項1記載の電動機の位置決め制御方
    法において、 前記スライディングモード制御の切換面を、 負荷角偏差、負荷角速度偏差、および負荷角加速度偏
    差、 としたことを特徴とする電動機の位置決め制御方法。
  5. 【請求項5】 請求項1記載の電動機の位置決め制御方
    法において、 前記スライディングモード制御の切換面を、 負荷角偏差、負荷角速度、負荷角加速度、および負荷角
    加速度の微分値、 としたことを特徴とする電動機の位置決め制御方法。
  6. 【請求項6】 請求項1記載の電動機の位置決め制御方
    法において、 前記スライディングモード制御の切換面を、 負荷角偏差、負荷角速度偏差、負荷角加速度、および負
    荷角加速度の微分値、 としたことを特徴とする電動機の位置決め制御方法。
  7. 【請求項7】 請求項1記載の電動機の位置決め制御方
    法において、 前記スライディングモード制御の切換面を、 負荷角偏差、負荷角速度偏差、負荷角加速度偏差、およ
    び負荷角加速度の微分値、 としたことを特徴とする電動機の位置決め制御方法。
  8. 【請求項8】 請求項1記載の電動機の位置決め制御方
    法において、 前記スライディングモード制御の切換面を、 負荷角偏差、負荷角速度、負荷角加速度、負荷角加速度
    の微分値、および負荷角加速度の2階微分値、 としたことを特徴とする電動機の位置決め制御方法。
  9. 【請求項9】 請求項1記載の電動機の位置決め制御方
    法において、 前記スライディングモード制御の切換面を、 負荷角偏差、負荷角速度偏差、負荷角加速度、負荷角加
    速度の微分値、および負荷角加速度の2階微分値、 としたことを特徴とする電動機の位置決め制御方法。
  10. 【請求項10】 請求項1記載の電動機の位置決め制御
    方法において、 前記スライディングモード制御の切換面を、 負荷角偏差、負荷角速度偏差、負荷角加速度偏差、負荷
    角加速度の微分値、および負荷角加速度の2階微分値、 としたことを特徴とする電動機の位置決め制御方法。
  11. 【請求項11】 請求項1から請求項10のいずれか1
    項に記載の電動機の位置決め制御方法において、 前記負荷の状態量が、前記スライディングモード制御の
    切換面から所定の範囲内にある場合には、前記スライデ
    ィングモード制御の補償量を等価制御入力、 としたことを特徴とする電動機の位置決め制御方法。
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