JPH0956724A - レーザ照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 レーザビーム照射時に飛散物の吸引除去及び
被照射物の冷却を確実に行え、穿孔や切開等を効率良く
行えるレーザ照射装置を提供すること。 【構成】 内部にレーザビームＢの導光空間１２が形成
されたハンドピース１１を有し、そのハンドピース１１
先端の導光空間開口端１２１からレーザビームＢを被照
射物４へ照射するレーザ照射装置において、前記導光空
間１２の内面に開設され負圧源に接続された吸引口１５
と、前記ハンドピース１１先端に突設され被照射物４へ
向けて冷却液７を注液する注液ノズル１６と、前記ハン
ドピース１１先端に配設されエア導入経路を有する注液
ノズル保護用の保護体１７を備えて構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被照射物へレーザ
ビームを照射し、穿孔や切開等を行うレーザ照射装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】レーザ照射装置により被照射物に対し穿
孔や切開等を行う際、レーザビームの照射に伴い、被照
射物上の照射部分で穿孔屑や切削屑などの飛散物が飛び
散り、被照射物の表面やレーザ照射装置に付着する。被
照射物上に飛散物が付着すれば照射部分の穿孔状況や切
開状況等の確認が困難となり、また、レーザ照射装置の
集光レンズに飛散物が付着すれば所定のレーザビームを
照射できなくなる。そのような不具合を解消し穿孔作業
や切開作業等を効率良く行うためには、レーザビームの
照射と共に飛散物の排除が重要である。

【０００３】そこで、飛散物の排除を行うものとして、
例えば、特開平６ー２３２４８７号公報に記載されたレ
ーザ照射システムが知られている。このレーザ照射シス
テムは、その公報の図４に示されるように、筒状を呈し
その先端の照射口からレーザビームが放射されると共に
その途中に吸引ガス導出管が取り付けられたハンドピー
スを具備しており、その吸引ガス導出管内を負圧状態と
することで、レーザ照射により発生する飛散物を照射口
を通じて吸引ガス導出管内へ吸引し、被照射物の表面や
レーザ照射装置への飛散物の付着を回避しようとするも
のである。

【０００４】一方、レーザ照射装置により穿孔や切開等
を行う際、レーザビームを照射し過ぎると被照射物が過
熱され、照射部分が炭化したり、熱変性したり、あるい
は熱変形する場合がある。このような不具合を回避する
ためには、レーザビームの照射と共に照射部分の冷却が
重要である。

【０００５】そこで、照射部分の冷却を行うものとし
て、例えば、特開平７ー９１８５号公報に記載されたレ
ーザ照射装置が知られている。このレーザ照射装置は、
その公報の図１に示されるように、筒状を呈しその先端
の出射端からレーザビームが放射されると共にその途中
に導入パイプが取り付けられたハンドピースを具備して
おり、レーザビーム照射に伴い、導入パイプからハンド
ピース内へ冷却液を流出し、ハンドピース内周面を通じ
て出射端から被照射物へ向けて冷却液を柱状に放出する
ことより、被照射物を冷却液で包み込みながら冷却しそ
の過熱を回避しようとするものである。

【０００６】また、特開平６ー２１８２５７２号公報に
は、レーザビーム照射と同時に飛散物の付着防止と共に
照射部分の冷却を行うレーザ加工機の加工ヘッドが記載
されている。この加工ヘッドは、当該公報の図１に示さ
れるように、集光レンズを配設した内部空間が形成さ
れ、その内部空間の先端にレーザビームを出射するため
の内側ノズルが形成され、内部空間の内面にはアシスト
ガス噴出口が設けられ、その噴出口及び内部空間を通じ
て内側ノズルからアシストガスが噴出されるようになっ
ており、また内側ノズルの周囲には外側ノズルが形成さ
れシールドガスと共に霧状の冷却媒体が噴出されるよう
に構成されている。この加工ヘッドによれば、被照射物
へのレーザビーム照射に伴い、内側ノズルからアシスト
ガスが照射部分へ向けて吹き付けられ、外側ノズルから
シールドガスと霧状の冷却媒体が混合されて吹き付けら
れる。このため、シールドガスによりアシストガスが保
護されレーザ照射部分へ確実に吹き付けられ、そのアシ
ストガスの吹付けにより飛散物の加工ヘッド内へ侵入が
防止される。また、シールドガスと共に冷却媒体が被照
射物への吹き付けられるから被照射物の過熱が防止され
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
各公報に記載された装置等は飛散物の吸引除去又は被照
射物の冷却のいずれか一方を行うものであり、それら双
方を同時に行うことができない。すなわち、特開平６ー
２３２４８７号公報のレーザ照射システムにあっては、
照射部分の冷却手段が設けられておらず、被照射物の冷
却が行えない。また、特開平７ー９１８５号公報のレー
ザ照射装置にあっては、照射時の飛散物の吸引手段が設
けられておらず、飛散物の吸引除去が行えない。更に、
特開平６ー２１８２５７２号公報のレーザ加工機の加工
ヘッドにあっては、アシストガスにより飛散物を吹き払
って加工ヘッドへの飛散物付着防止が図られるものの、
被照射物の表面に飛散物が飛び散るのを回避できない。

【０００８】そこで、これらの不具合を解決するため
に、飛散物の吸引除去手段及び被照射物の冷却手段を備
えたレーザ照射装置（未公知）が考えられる。例えば、
そのレーザ照射装置は、図７に示すように、筒状を呈し
その先端からレーザビームＢを発射するハンドピース１
を有し、このハンドピース１の内面に吸引力付与可能な
吸引口２が開設され、ハンドピース１端面に冷却液７を
放出可能な複数の放出口３が開設された構造とする。そ
のレーザ照射装置によれば、被照射物４へのレーザビー
ムＢ照射により照射部分５に発生する飛散物６が周囲の
外気と共に吸引口２内へ吸引される。一方、各放出口３
から冷却液７が放出されハンドピース１先端から照射部
分５へ冷却液７が水柱状となって噴き付けられるから、
照射部分５の表面で冷却液７の膜７１が形成され、この
冷却液７の膜７１により被照射部５が覆われる。冷却液
７の膜７１は、エネルギー密度の高まったレーザビーム
Ｂの通過経路の一部であるから、そのエネルギーを安定
供給するために、できるだけ均一な厚みで形成しておく
のが好ましい。

【０００９】しかしながら、吸引口２の吸引力によりハ
ンドピース１先端の付近の外気がその内部へ吸込まれる
ことにより、冷却液７を水柱状として所定の位置へ安定
して供給することができなくなる。このため、冷却液７
の膜７１が形成されず、また形成されても不均一となっ
てしまう。そのような膜７１内をレーザビームＢが透過
していくと散乱を生じて被照射物４に安定して照射され
ず、穿孔や切開等の深さにバラツキを生ずる。

【００１０】更に、冷却液７の膜７１を均一な厚さで形
成するために、冷却液７を放出口３から高圧力で噴射す
ることが考えられるが、冷却液７が所定の圧力を越えて
噴射されると、被照射物４の表面で泡立ちやはね返りを
生じ、やはり均一な膜７１を形成することができない。

【００１１】そこで本発明は、このような技術課題を解
消するためになされたもので、レーザビーム照射時に飛
散物の吸引除去及び被照射物の冷却を確実に行え、穿孔
や切開等を効率良く行えるレーザ照射装置を提供するこ
とを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】即ち本発明は、内部にレ
ーザビームの導光空間が軸方向に沿って形成されたハン
ドピースを有し、そのハンドピース先端の導光空間の開
口端からレーザビームを被照射物へ照射するレーザ照射
装置において、導光空間内を負圧状態とし、レーザビー
ム照射に伴う飛散物を外気と共に開口端から導光空間内
へ吸引する吸引手段と、ハンドピースの先端から軸方向
に突設され被照射物へ向けて冷却液を注液する注液ノズ
ルと、注液ノズルを取り巻いてハンドピースの先端に配
設され外気のエア導入経路を有した保護体と、を備えた
ことを特徴とする。

【００１３】このような発明によれば、レーザビーム照
射時に発生する飛散物が開口端を介して導光空間内へ吸
引されると共に、注液ノズルから冷却液が注液されてレ
ーザビームの照射部分が冷却される。その際、飛散物と
共に開口端内へ吸引される外気が保護体のエア導入経路
を通じて導入されるので、冷却液の注液状態に影響を及
ぼさない。このため、被照射物の表面に冷却液の膜が乱
れることなく形成される。従って、この冷却液の膜を透
過するレーザビームは、その照射強度が低下することな
く被照射物へ照射される。また、注液ノズルは保護体に
より保護されているので照射作業時に注液ノズルが被照
射物へ直接接触することがないから、注液ノズルが破損
することがなく、また被照射物が損傷することもない。

【００１４】また本発明は、前述の注液ノズルは、開口
端を囲む形で略平行に複数配設されていることを特徴と
する。

【００１５】このような発明によれば、注液ノズルから
冷却液が互いに交錯することなく独立した水柱状となっ
て注液される。従って、水柱状となった冷却液の間から
照射部分を常時確認できる。また、水柱状となった冷却
液の注液により、被照射物の表面で冷却液の膜が確実に
形成される。従って、その冷却液の膜を透過するレーザ
ビームは、その照射強度が低下することなく被照射物へ
照射される。

【００１６】また本発明は、前述の保護体が通気性を有
する素材で形成され、螺旋状に巻回した線材よりなり、
もしくは同心状に配したリング体を所定距離隔てて連結
した線材よりなることを特徴とし、また保護体のエア導
入経路が注液ノズルの注液口より基端側で保護体の内外
を貫通するエア導入口であることを特徴とする。

【００１７】このような発明によれば、注液ノズルを取
り囲むように保護体が配設されていても、外気が保護体
の表裏を貫通して導光空間の開口端内へ確実に導入され
ていく。従って、前述同様に冷却液の膜を確実に形成さ
れ、レーザビームの照射強度が低下することがなく、照
射作業時に注液ノズルの破損又は被照射物の損傷の心配
もない。

【００１８】また本発明は、前述の注液ノズルの内面が
鏡面研磨されたことを特徴する。

【００１９】このような発明によれば、冷却液が乱れの
ない水柱状となって注液ノズルから注液され、より乱れ
のない冷却液の膜が被照射物の表面で形成される。従っ
て、レーザビームの照射効率が向上する。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づき、本発明
に係るレーザ照射装置の種々の実施形態について説明す
る。尚、各図において同一要素には同一符号を付して説
明を省略する。

【００２１】図１は、レーザ照射装置の全体概要図であ
る。図２はハンドピースの拡大図である。図３〜図６は
保護体の形態例を示す図である。

【００２２】図１に示すように、箱状を呈する本体２０
内にはレーザ発生部３０が配設され、そのレーザ発生部
３０が発射するレーザビームＢの発射方向には多関節ミ
ラー方式のマニピュレータ４０が設置されている。マニ
ピュレータ４０は、レーザ発生部３０からハンドピース
１１へレーザビームＢを導く機材であって、複数の導光
管４１が連結されて構成され、その連結部分の各部には
ミラー４２が所定の角度で配置され、レーザビームＢが
各導光管４１の内部空間に沿って順次導かれるようにな
っている。

【００２３】尚、レーザ発生部３０からハンドピース１
１への導光手段は、前述のマニピュレータ４０に限定さ
れることなく、レーザ発生部３０からハンドピース１１
へレーザビームＢを導ければ、光ファイバを導光空間と
したものなどその他の装置を用いてもよい。

【００２４】図１に示すように、マニピュレータ４０の
先端に位置する導光管４１には、被照射物４へレーザビ
ームＢを照射するハンドピース１１が接続されている。
このハンドピース１１は、図２に示すように、筒状を呈
し、その内部に導光管４１の内部空間と連通する導光空
間１２が軸方向へ向けて形成され、その導光空間１２に
入射されたレーザビームＢを導光空間１２の途中に配設
した集光レンズ１３により集光し、先端の導光空間開口
端１２１から被照射物４へ向けて照射する構造となって
いる。

【００２５】一方、集光レンズ１３より先端側の導光空
間１２内面には、コンプレッサ等のアシストガス供給源
に接続されたアシストガスの供給口１４が開設され、ま
た、その供給口１４より先端側には、吸引ポンプ等の負
圧源に接続され吸引手段の一部をなす吸引口１５が開設
されている。その吸引口１５の吸引力によりハンドピー
ス１１先端に位置する物（レーザ照射時の飛散物等）を
開口端１２１へ吸引除去できるようになっている。ま
た、供給口１４からのアシストガス供給により、開口端
１２１を通じて導光空間１２内へ吸引されたものが集光
レンズ１３側へ進入せず確実に吸引口１５内へ吸引でき
る構造となっている。

【００２６】前述のハンドピース１１の先端には、被照
射物４へ向けて水などの冷却液７を注液する注液ノズル
１６がハンドピース１１軸方向へ向けて突設されてい
る。この注液ノズル１６は、複数設けられ、導光空間開
口端１２１を囲むように配置されている。また各注液ノ
ズル１６は互いに平行した状態で突出しており、被照射
物４上の照射部分５を囲む形でそれぞれスポット状に注
液するようになっている。これらの各注液ノズル１６
は、環状の配液室１６１と連通しており、配液路１６２
を介して冷却液７が供給されるようになっている。それ
らの注液ノズル１６から被照射物４へ向けて冷却液７が
注液されることにより、被照射物４の表面のレーザ照射
部分５上に冷却液７の膜７１が形成されることとなる。
この冷却液７の膜７１をきれいに形成するためには注液
ノズル１６をできるだけ多く配設するのが好ましい。ま
た、より好ましくは、冷却液７の流路となる注液ノズル
１６の内面が鏡面研磨されていれば、冷却液７が乱れの
ない水柱状となって注液ノズル１６から注液され、冷却
液７の膜７１がよりきれいに形成されることとなる。

【００２７】前述の注液ノズル１６による冷却液７の膜
７１の形成例を挙げると、例えば、突出長５ｍｍで内径
１００μｍの四本の注液ノズル１６を設け、冷却液７で
ある水を７〜２０ｍｌの注水量で被照射物４である骨の
表面へ向けて注水する。すると、長さ２０〜７０ｍｍの
乱れのない水柱が形成でき、その骨の表面上に膜厚約
０．２〜１．２ｍｍの水膜を形成できた。その際、水の
注水量を可変することにより膜厚が調整可能であった。

【００２８】一方、前述のハンドピースの先端には、各
注液ノズル１６を取り巻いて筒状の保護体１７が取り付
けられている。この保護体１７は、注液ノズル１６が被
照射物４へ接触することにより、注液ノズル１６が破損
し、また被照射物４が傷付くのを防止するための保護部
品であり、その先端部分（図２では最下端部分）が注液
ノズル１６先端より被照射物４側へ設けられている。こ
の保護体１７は、通気性のある網状部材で形成され、保
護体１７自体がエア導入経路として機能する。すなわ
ち、保護体１７表裏を透過させてハンドピース１１周囲
の外気を開口端１２１へ導入できるようになっている。

【００２９】次に、レーザ照射装置の使用方法につい
て、被照射物４を切開する場合を例に説明する。図１に
示すように、ハンドピース１１の先端を被照射物４へ近
付け、ハンドピース１１の先端から被照射物４上へレー
ザビームＢを発射させる。すなわち、レーザ発生部３０
からレーザビームＢを発射させ、マニピュレータ４０を
介してハンドピース１１へ導き、図２に示すように、集
光レンズ１３によりレーザビームＢを集光して導光空間
１２の開口端１２１を通じてハンドピース１１外部へ発
射させる。

【００３０】一方、前述のレーザビームＢの発射と共
に、被照射物４への冷却液７の注液、導光空間１２内で
のアシストガスの噴射及び導光空間１２内での吸引をそ
れぞれを行う。

【００３１】被照射物４への注液は、注液ノズル１６へ
配液路１６２及び配液室１６１を介して冷却液７を給水
し、各注液ノズル１６先端の注液口からそれぞれ冷却液
７を水柱状として被照射物４の表面へ向けて注液して行
う。この注液の際、水柱状となった各冷却液７の間を通
じて照射部分５（切開部）への視野が確保できるから、
注液しながら確実にレーザビームＢを所定位置へ照射で
きる。そして、注液された冷却液７は、被照射物４の表
面上で広がって、照射部分５を中心とした膜７１とな
る。

【００３２】アシストガスの噴射は、導光空間１２内面
に開設された供給口１４からアシストガスを噴出させて
行われ、噴出したアシストガスは導光空間１２の開口端
側へ向けて送り流されていく。このアシストガスの流れ
により開口端１２１から進入した飛散物６などが集光レ
ンズ１３へ付着することはない。

【００３３】導光空間１２内での吸引は、導光空間１２
内面に開設された吸引口１５に吸引力を付与することに
より行われ、導光空間１２内のアシストガスは全て吸引
口１５へ吸引されることとなる。それに伴い、ハンドピ
ース１１の先端付近の飛散物６は、開口端１２１を通じ
て導光空間１２内へ吸引されることとなる。その際、飛
散物６と共に外気も吸引されるが、その外気は保護体１
７の表裏を透過して開口端１２１内へ導入されるから、
注液ノズル１６による冷却液７の注液状態に影響を及ぼ
すことがない。このため、飛散物６の吸引と共に、確実
に冷却液７の膜７１をレーザビームＢの照射部分５上へ
形成できる。

【００３４】一方、開口端１２１から発せられたレーザ
ビームＢは、集光されエネルギー密度の高い状態となっ
ており、冷却液７の膜７１を透過して被照射物４の表面
へ照射される。その際、膜７１が乱れなく均一な厚みで
形成されているから、レーザビームＢのエネルギーが膜
７１で減衰することがなく、レーザビームＢは効率良く
照射される。また、レーザビームＢの照射は、前述のよ
うにハンドピース１１先端を被照射物４へ接近させて行
うが、ハンドピース１１に突設される先鋭な注液ノズル
１６は保護体１７で保護されているので、照射作業時に
注液ノズル１６が被照射物４へ接触することがない。従
って、照射作業時に注液ノズル１６が破損することがな
く、また注液ノズル１６により被照射物４が損傷するこ
ともない。

【００３５】前述のように、レーザビームＢを照射する
ことにより、被照射物４の照射部分５は切開されてい
く。その切開に伴い熱が発生するが、照射部分５は常に
冷却液７の膜７１で覆われいるので確実に冷却され、照
射による炭化、熱変性及び熱変形が回避できる。また、
切開に伴い、照射部分５が局部的に高温状態となり被照
射物４の組織が微粒子群となって表面から噴出してくる
（アブレーション）。しかしながら、その微粒子群は冷
却液７の膜７１によりその噴出が阻止されるから、照射
部分５で飛散物６がほとんど発生せず、照射部分５の視
界が確保され切開作業が効率良く行える。

【００３６】それでも、照射部分５から噴き出した飛散
物６は、開口端１２１を通じて導光空間１２内へ吸込ま
れ、被照射物４上に飛び散って付着してしまうことはな
い。その際、保護体１７を通じて外気が導光空間１２内
へ導入されるから、前述の吸引により注液ノズル１６か
らの冷却液７の注液状態が影響を受けることがなく、被
照射物４上に常時膜７１が形成され、膜７１による被照
射物４の冷却機能と飛散防止機能が損なわれることがな
い。

【００３７】また、被照射物４が生体組織でありその切
開又は切除等に用いる場合であっても、前述の如く、導
光空間１２を流れるアシストガスは全て吸引口１５へ吸
引され導光空間１２の開口端１２１から噴き出ることが
ないので、気腫又はガス塞栓症などの発生や感染などを
確実に予防できる。

【００３８】尚、保護体１７は、前述のものに限られる
ものでなく、注液ノズル１６を保護でき、かつエア導入
経路を有するものであれば、例えば、図３のように線材
を螺旋状に巻回し各線材間でエア導入経路を確保した保
護体１７ａ、図４のように二つリング体を同心状に所定
距離隔てて配置し連結した保護体１７ｂなどであっても
よい。保護体１７ａにあっては全体がバネ状になってい
るので、レーザ照射時に保護体１７ａ先端が被照射物４
へ接触しても、弾力的な接触となるので、被照射物４に
衝撃を与えず損傷を回避できる。また、保護体１７ｂに
あっては、エア導入経路が非常に広いので飛散物６など
の目詰まりの心配がない。

【００３９】更に、保護体１７は、その内外を連通する
エア導入口１７１を開設してエア導入経路を確保したも
のであってもよい。例えば、図５のように保護体１７ｃ
は、下端を切り込んで形成したエア導入口１７１ｃを有
しており、このエア導入口１７１ｃを通じて導光空間１
２内へ外気が導入される。このエア導入口１７１ｃは冷
却液７の注液状態に影響を及ぼさないように、少なくと
も注液ノズル１６の注液口より基端側（図５では上側）
で開口していることが肝要である。この保護体１７ｃに
あってはエア導入口１７１ｃの加工が容易であるから、
ハンドピース１１の製造性に優れている。また、図６の
ように内外を連通するスリット状のエア導入口１７１ｄ
を開口させた保護体１７ｄであってもよい。この保護体
１７ｄにあっては、その先端部分に角部を有しないので
被照射物４への接触時に被照射物４の損傷が回避でき
る。尚、この保護体１７ｃ、１７ｄはハンドピース１１
と一体に形成しても勿論よい。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。

【００４１】すなわち、導光空間の内面に負圧源に接続
された吸引口を開設し、ハンドピース先端に被照射物へ
向けて冷却液を注液する注液ノズルを突設し、ハンドピ
ース先端にエア導入経路を有する注液ノズル保護用の保
護体を配設したことより、エア導入経路を通じて外気を
導入しながらレーザビーム照射時の飛散物を導光空間内
へ吸引するから、冷却液の注液状態が外気導入の影響を
受けず、飛散物の吸引と同時に被照射物上の所定位置へ
均一な冷却液の膜を確実に形成できる。従って、このよ
うな膜を透過してレーザビームを被照射物へ照射するこ
とで、飛散物の発生を抑え、効率良い穿孔や切開等を行
うことができる。また、先鋭な注液ノズルを保護体を保
護したことで、照射作業時に注液ノズルが被照射物へ直
接接触することがないから、注液ノズルの破損及び被照
射物の損傷を回避できる。

【００４２】また、注液ノズルを導光空間の開口端を囲
む形で略平行に複数配設したことにより、独立した水柱
状となった冷却液がレーザビームの照射部分を囲んだ形
で注液される。このため、スポット状に注液された各冷
却液により照射部分に冷却液の膜を安定して形成でき
る。また、水柱状となった冷却液の間から照射部分を確
認できるから、精密な穿孔又は切開作業が可能となる。

【００４３】更に、注液ノズルの内面を鏡面研磨したこ
とにより、冷却液が乱れのない水柱状となって注液ノズ
ルから注液され、乱れのない冷却液の膜が被照射物の表
面で形成される。従って、レーザビームの照射効率の向
上に伴い、穿孔又は切開の作業効率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るレーザ照射装置の全体概要図であ
る。

【図２】レーザ照射装置のハンドピースの部分拡大図で
ある。

【図３】保護体の形態例を示す図である。

【図４】保護体の形態例を示す図である。

【図５】保護体の形態例を示す図である。

【図６】保護体の形態例を示す図である。

【図７】本発明の前提となる技術の説明図である。

【符号の説明】

Ｂ…レーザビーム、４…被照射物、５…照射部分、６…
飛散物、７…冷却液、１１…ハンドピース、１２…導光
空間、１２１…開口端、１３…集光レンズ、１４…供給
口、１５…吸引口、１６…注液ノズル、１７…保護体、
２０…本体、３０…レーザ発生部、４０…マニピュレー
タ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部にレーザビームの導光空間が軸方向
   に沿って形成されたハンドピースを有し、そのハンドピ
   ース先端の導光空間の開口端からレーザビームを被照射
   物へ照射するレーザ照射装置において、 前記導光空間内を負圧状態とし、レーザビーム照射に伴
   う飛散物を外気と共に前記開口端から前記導光空間内へ
   吸引する吸引手段と、 前記ハンドピースの先端から前記軸方向に突設され、前
   記被照射物へ向けて冷却液を注液する注液ノズルと、 前記ハンドピースの先端に前記注液ノズルの周囲を取り
   巻く形で配設され、前記外気を前記開口端へ導入するた
   めのエア導入路を有する保護体と、を備えたことを特徴
   とする、 レーザ照射装置。
2. 【請求項２】 前記注液ノズルは、複数設けられ、前記
   開口端を囲む形で略平行に配置されていることを特徴と
   する、 請求項１に記載のレーザ照射装置。
3. 【請求項３】 前記保護体は、通気性を有する素材で形
   成されたことを特徴する、 請求項１又は２に記載のレーザ照射装置。
4. 【請求項４】 前記保護体は、螺旋状に巻回した線材よ
   りなることを特徴とする、 請求項１又は２に記載のレーザ照射装置。
5. 【請求項５】 前記保護体は、同心状に配したリング体
   を所定距離隔てて連結した線材よりなることを特徴とす
   る、 請求項１又は２に記載のレーザ照射装置。
6. 【請求項６】 前記保護体の前記エア導入経路は、前記
   注液ノズルの注液口より基端側で保護体の内外を貫通す
   るエア導入口であることを特徴とする、 請求項１又は２に記載のレーザ照射装置。
7. 【請求項７】 前記注液ノズルは、その内面が鏡面研磨
   されたことを特徴する、 請求項１乃至６のいずれかに記載のレーザ照射装置。