JPH0952002A - コールドトラップ - Google Patents
コールドトラップInfo
- Publication number
- JPH0952002A JPH0952002A JP21038495A JP21038495A JPH0952002A JP H0952002 A JPH0952002 A JP H0952002A JP 21038495 A JP21038495 A JP 21038495A JP 21038495 A JP21038495 A JP 21038495A JP H0952002 A JPH0952002 A JP H0952002A
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- Japan
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- trap
- cold
- cup
- introduction pipe
- plate
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- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 気流を確実に接触させて高いトラップ効率が
得られるコールドトラップを提供する。 【解決手段】 ケーシング(11)の側壁からガス導入管
(９)を突入させて、ガス導入管(９)の先端開口部をケー
シング(11)内に位置させる。ガス導入管(９)の先端開口
部を取り囲む状態にカップ型に形成したトラップ板(17)
を配置させてガス導入管(９)の先端開口部をカップ型ト
ラップ板(17)の内部に位置させる。トラップ板(17)を極
低温冷凍機(14)のコールドエンド(16)に連結固定する。
カップ型トラップ板(17)の周壁を少なくともその下半部
が先端開口側へ向かう下り傾斜となるように形成する。
得られるコールドトラップを提供する。 【解決手段】 ケーシング(11)の側壁からガス導入管
(９)を突入させて、ガス導入管(９)の先端開口部をケー
シング(11)内に位置させる。ガス導入管(９)の先端開口
部を取り囲む状態にカップ型に形成したトラップ板(17)
を配置させてガス導入管(９)の先端開口部をカップ型ト
ラップ板(17)の内部に位置させる。トラップ板(17)を極
低温冷凍機(14)のコールドエンド(16)に連結固定する。
カップ型トラップ板(17)の周壁を少なくともその下半部
が先端開口側へ向かう下り傾斜となるように形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、真空排気ラインに装着
されるコールドトラップに関し、特に、有機溶剤等が混
入している気体の真空排気ラインに装着するコールドト
ラップに関する。
されるコールドトラップに関し、特に、有機溶剤等が混
入している気体の真空排気ラインに装着するコールドト
ラップに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、真空発生装置では真空排気ライ
ンにコールドトラップを配置して水蒸気や逆流油分を除
去するようにしているのであるが、従来のコールドトラ
ップは冷却したバッフル板を気体の流れ方向と直交する
状態に配置し、バッフル板の表面に気流を接触させて気
流中の水分等を凝固除去するようにしている。
ンにコールドトラップを配置して水蒸気や逆流油分を除
去するようにしているのであるが、従来のコールドトラ
ップは冷却したバッフル板を気体の流れ方向と直交する
状態に配置し、バッフル板の表面に気流を接触させて気
流中の水分等を凝固除去するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のコー
ルドトラップのバッフル板は、ルーバ状に形成してあ
り、ルーバ隙間が気流の流れ方向に沿うような状態であ
ったことから、気流とバッフル板との接触が十分とは言
えず、トラップ効率が上がらないという問題があった。
特に、有機溶剤を使用した洗浄後の真空乾燥にあって
は、有機溶剤が真空ポンプに流入すると、油の蒸気圧が
上昇し、到達真空度が十分に上がらないという問題があ
った。本発明は、このような点に着目してなされたもの
で、気流を確実に接触させて高いトラップ効率が得られ
るコールドトラップを提供することを目的とする。
ルドトラップのバッフル板は、ルーバ状に形成してあ
り、ルーバ隙間が気流の流れ方向に沿うような状態であ
ったことから、気流とバッフル板との接触が十分とは言
えず、トラップ効率が上がらないという問題があった。
特に、有機溶剤を使用した洗浄後の真空乾燥にあって
は、有機溶剤が真空ポンプに流入すると、油の蒸気圧が
上昇し、到達真空度が十分に上がらないという問題があ
った。本発明は、このような点に着目してなされたもの
で、気流を確実に接触させて高いトラップ効率が得られ
るコールドトラップを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明は、ケーシングの側壁から突入させたガス
導入管の先端開口部をケーシング内に位置させ、このガ
ス導入管の先端開口部を取り囲む状態でカップ型に形成
したトラップ板を配置させてガス導入管の先端開口部を
カップ型トラップ板の内部に位置させ、このトラップ板
を極低温冷凍機のコールドエンドに連結固定し、カップ
型トラップ板の周壁を少なくともその下半部が先端開口
側へ向かう下り傾斜となるように形成したことを特徴と
している。
めに、本発明は、ケーシングの側壁から突入させたガス
導入管の先端開口部をケーシング内に位置させ、このガ
ス導入管の先端開口部を取り囲む状態でカップ型に形成
したトラップ板を配置させてガス導入管の先端開口部を
カップ型トラップ板の内部に位置させ、このトラップ板
を極低温冷凍機のコールドエンドに連結固定し、カップ
型トラップ板の周壁を少なくともその下半部が先端開口
側へ向かう下り傾斜となるように形成したことを特徴と
している。
【０００５】
【作用】本発明では、ケーシング内に突入させたガス導
入管の先端開口部を覆う状態でカップ型のトラップ板を
配置し、ガス導入管の先端開口部をカップ型トラップ板
の内部に位置させているので、ガス導入管から流入した
気流はトラップ板の壁面に当たって方向変換する状態と
なるため、気流はトラップ板壁面に確実に接触して除去
成分は凝縮固着することになる。
入管の先端開口部を覆う状態でカップ型のトラップ板を
配置し、ガス導入管の先端開口部をカップ型トラップ板
の内部に位置させているので、ガス導入管から流入した
気流はトラップ板の壁面に当たって方向変換する状態と
なるため、気流はトラップ板壁面に確実に接触して除去
成分は凝縮固着することになる。
【０００６】さらに、カップ型トラップ板はその周壁の
少なくも下半部を先端開口部に向かう下り傾斜に形成し
てあるので、トラップ再生時にトラップ板の壁面に凝縮
固着してた除去成分が融解液化して円滑に流下すること
ができ、トラップ板内に残留することがなくなり再生効
率が高くなる。
少なくも下半部を先端開口部に向かう下り傾斜に形成し
てあるので、トラップ再生時にトラップ板の壁面に凝縮
固着してた除去成分が融解液化して円滑に流下すること
ができ、トラップ板内に残留することがなくなり再生効
率が高くなる。
【０００７】
【発明の実施の形態】図面は本発明の実施態様を示し、
図１はコールドトラップの縦断面図、図２は真空排気系
の概略構成図である。この真空排気系は、図２に示すよ
うに、図示を省略した処理室と真空ポンプ(１)とを真空
排気路(吸い込み路)(２)で連通接続し、その真空排気路
(２)に処理室側から気液分離器(３)とコールドトラップ
(４)とを順に配置して構成してある。なお、コールドト
ラップ(４)は気液分離器(３)と真空ポンプ(１)との間に
２基並列に配置してあり、一方がトラップ作動している
間に他方が再生できるようにしてある。
図１はコールドトラップの縦断面図、図２は真空排気系
の概略構成図である。この真空排気系は、図２に示すよ
うに、図示を省略した処理室と真空ポンプ(１)とを真空
排気路(吸い込み路)(２)で連通接続し、その真空排気路
(２)に処理室側から気液分離器(３)とコールドトラップ
(４)とを順に配置して構成してある。なお、コールドト
ラップ(４)は気液分離器(３)と真空ポンプ(１)との間に
２基並列に配置してあり、一方がトラップ作動している
間に他方が再生できるようにしてある。
【０００８】気液分離器(３)は、筒型容器(５)の内部に
衝突板(６)を垂設して容器内に迂回路を形成し、処理室
との接続管(７)の先端開口部(８)をこの衝突板(６)の一
側面に対向する状態に位置させるとともに、衝突板(６)
で区分されている容器(５)内の他方の天井部からコール
ドトラップ(４)との連通管(ガス導入管)(９)が導出して
ある。そして、容器(５)の外周面には冷却用のコイル(1
0)が装着してあり、コイル(10)に冷却水を通すようにし
てある。容器(５)を冷却することにより、容器内を流通
する気体の温度を低下させ、気液分離効率を高めてい
る。
衝突板(６)を垂設して容器内に迂回路を形成し、処理室
との接続管(７)の先端開口部(８)をこの衝突板(６)の一
側面に対向する状態に位置させるとともに、衝突板(６)
で区分されている容器(５)内の他方の天井部からコール
ドトラップ(４)との連通管(ガス導入管)(９)が導出して
ある。そして、容器(５)の外周面には冷却用のコイル(1
0)が装着してあり、コイル(10)に冷却水を通すようにし
てある。容器(５)を冷却することにより、容器内を流通
する気体の温度を低下させ、気液分離効率を高めてい
る。
【０００９】各コールドトラップ(４)は、図１に示すよ
うに、底壁をロート状に形成した縦長のケーシング(11)
の上面開口部をフランジ(12)で閉塞し、このフランジ(1
2)から真空ポンプ(１)への連通管(13)が導出してある。
そして、このケーシング(11)には極低温冷凍機(14)のコ
ールドヘッド(15)が装着してある。このコールドヘッド
(15)はそのコールドエンド(16)をケーシング(11)内に突
入してあり、そのコールドエンド(16)にトラップ板(17)
が固定してある。このトラップ板(17)は熱良導体で円筒
カップ状に形成してあり、極低温冷凍機(14)のコールド
エンド(16)には開口端が少し下を向く横向きの姿勢で固
定してある。このため、トラップ板(17)はその周壁が開
口端に向かって下り傾斜になっている。なお、ケーシン
グ(11)内でコールドエンド(16)に対応させて温度調整用
ヒータ(18)が配置してある。
うに、底壁をロート状に形成した縦長のケーシング(11)
の上面開口部をフランジ(12)で閉塞し、このフランジ(1
2)から真空ポンプ(１)への連通管(13)が導出してある。
そして、このケーシング(11)には極低温冷凍機(14)のコ
ールドヘッド(15)が装着してある。このコールドヘッド
(15)はそのコールドエンド(16)をケーシング(11)内に突
入してあり、そのコールドエンド(16)にトラップ板(17)
が固定してある。このトラップ板(17)は熱良導体で円筒
カップ状に形成してあり、極低温冷凍機(14)のコールド
エンド(16)には開口端が少し下を向く横向きの姿勢で固
定してある。このため、トラップ板(17)はその周壁が開
口端に向かって下り傾斜になっている。なお、ケーシン
グ(11)内でコールドエンド(16)に対応させて温度調整用
ヒータ(18)が配置してある。
【００１０】気液分離器(３)から導出されたガス導入管
(９)の先端部は各コールドトラップ(４)におけるケーシ
ング(11)の側壁部分を貫通してケーシング(11)内に突入
しており、ガス導入管(９)の突入先端部は前記カップ状
トラップ板(17)の内部に位置して開口している。そし
て、このガス導入管(９)は気液分離器(３)からコールド
トラップ(４)の内部の先端開口部まで一貫した上り傾斜
に形成してあり、ガス導入管(９)内で凝縮液化した液体
が気液分離器(３)側に流下するように形成してある。
(９)の先端部は各コールドトラップ(４)におけるケーシ
ング(11)の側壁部分を貫通してケーシング(11)内に突入
しており、ガス導入管(９)の突入先端部は前記カップ状
トラップ板(17)の内部に位置して開口している。そし
て、このガス導入管(９)は気液分離器(３)からコールド
トラップ(４)の内部の先端開口部まで一貫した上り傾斜
に形成してあり、ガス導入管(９)内で凝縮液化した液体
が気液分離器(３)側に流下するように形成してある。
【００１１】図１中符号(19)は極低温冷凍機(14)の圧縮
機ユニット、(20)は温度調整用ヒータ(18)の制御装置、
(21)はケーシング(11)の側壁上部と下部とにそれぞれ設
置した液面監視用サイトグラスである。
機ユニット、(20)は温度調整用ヒータ(18)の制御装置、
(21)はケーシング(11)の側壁上部と下部とにそれぞれ設
置した液面監視用サイトグラスである。
【００１２】図３は本発明の別の実施態様を示し、これ
は、真空排気路(２)から気液分離器(３)を省略する場合
のコールドトラップ(５)であり、この場合には、処理室
とコールドトラップ(５)とを接続するガス導入管(９)を
一貫した下り傾斜に形成してある。したがって、ガス導
入管(９)内で凝縮液化した液体はコールドトラップ(５)
内に流下することになる。
は、真空排気路(２)から気液分離器(３)を省略する場合
のコールドトラップ(５)であり、この場合には、処理室
とコールドトラップ(５)とを接続するガス導入管(９)を
一貫した下り傾斜に形成してある。したがって、ガス導
入管(９)内で凝縮液化した液体はコールドトラップ(５)
内に流下することになる。
【００１３】なお、上記各実施態様では、トラップ板(1
7)を円筒カップ状に形成し、このカップ状トラップ板(1
7)を先広がりの円錐カップ型に形成してもよい。この場
合には、トラップ板(17)の軸芯を水平に配設しても、ト
ラップ板(17)の下周壁は開口部に向かう下り傾斜にな
る。
7)を円筒カップ状に形成し、このカップ状トラップ板(1
7)を先広がりの円錐カップ型に形成してもよい。この場
合には、トラップ板(17)の軸芯を水平に配設しても、ト
ラップ板(17)の下周壁は開口部に向かう下り傾斜にな
る。
【００１４】上述の構成からなるコールドトラップ(５)
ではトラップ板(17)を円筒カップ型あるいは円錐カップ
型に形成し、このトラップ板(17)の内部にガス導入管
(９)を開口させているので、ガス導入管(９)から導入さ
れた気体はトラップ板(17)の壁面に確実に接触し、凝縮
固結することになる。この結果、真空ポンプ(１)には混
入物の少ない気流が送り込まれることになる。
ではトラップ板(17)を円筒カップ型あるいは円錐カップ
型に形成し、このトラップ板(17)の内部にガス導入管
(９)を開口させているので、ガス導入管(９)から導入さ
れた気体はトラップ板(17)の壁面に確実に接触し、凝縮
固結することになる。この結果、真空ポンプ(１)には混
入物の少ない気流が送り込まれることになる。
【００１５】また、トラップ板(17)の下周面は開口側に
向かう下り傾斜に形成してあるので、再生時にトラップ
板(17)に氷結していた付着物が融解しても、その液はト
ラップ板(17)の下周面に沿って流下して除去されるから
残存物がなくなり、効率よく再生することができる。
向かう下り傾斜に形成してあるので、再生時にトラップ
板(17)に氷結していた付着物が融解しても、その液はト
ラップ板(17)の下周面に沿って流下して除去されるから
残存物がなくなり、効率よく再生することができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明では、ケーシング内に突入させた
ガス導入管の先端開口部を覆う状態でカップ型のトラッ
プ板を配置し、ガス導入管の先端開口部をカップ型トラ
ップ板の内部に位置させているので、ガス導入管から流
入した気流はトラップ板の壁面に当たって方向変換する
状態となるため、気流はトラップ板壁面に確実に接触し
て除去成分は凝縮固着することになる。
ガス導入管の先端開口部を覆う状態でカップ型のトラッ
プ板を配置し、ガス導入管の先端開口部をカップ型トラ
ップ板の内部に位置させているので、ガス導入管から流
入した気流はトラップ板の壁面に当たって方向変換する
状態となるため、気流はトラップ板壁面に確実に接触し
て除去成分は凝縮固着することになる。
【図１】本発明の実施態様を示すコールドトラップの縦
断面図である。
断面図である。
【図２】真空排気系の概略構成図である。
【図３】本発明の別の実施態様を示すコールドトラップ
の縦断面図である。
の縦断面図である。
１…真空ポンプ、２…真空ポンプの吸込み路、３…気液
分離器、９…ガス導入管、11…ケーシング、14…極低温
冷凍機、16…極低温冷凍機のコールドエンド、17…トラ
ップ板。
分離器、９…ガス導入管、11…ケーシング、14…極低温
冷凍機、16…極低温冷凍機のコールドエンド、17…トラ
ップ板。
Claims (3)
- 【請求項１】 真空ポンプ(１)の吸込み路(２)に装着さ
れるコールドトラップであって、 ケーシング(11)の側壁からガス導入管(９)を突入させ
て、ガス導入管(９)の先端開口部をケーシング(11)内に
位置させ、このガス導入管(９)の先端開口部を取り囲む
状態にカップ型に形成したトラップ板(17)を配置させて
ガス導入管(９)の先端開口部をカップ型トラップ板(17)
の内部に位置させ、このトラップ板(17)を極低温冷凍機
(14)のコールドエンド(16)に連結固定し、カップ型トラ
ップ板(17)の周壁を少なくともその下半部が先端開口側
へ向かう下り傾斜となるように形成したコールドトラッ
プ。 - 【請求項２】 ガス導入管(９)を下り傾斜に形成した請
求項１に記載のコールドトラップ。 - 【請求項３】 ガス導入管(９)の途中に気液分離器(３)
を配置し、気液分離器(３)からケーシング(11)内の突入
先端部までの間でのガス導入管(９)を連続する上り傾斜
に形成した請求項１に記載のコールドトラップ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21038495A JP3149011B2 (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | コールドトラップ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21038495A JP3149011B2 (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | コールドトラップ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0952002A true JPH0952002A (ja) | 1997-02-25 |
| JP3149011B2 JP3149011B2 (ja) | 2001-03-26 |
Family
ID=16588454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21038495A Expired - Fee Related JP3149011B2 (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | コールドトラップ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3149011B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7789195B2 (en) | 2005-03-11 | 2010-09-07 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Muffler of internal combustion engine |
| JP2011104508A (ja) * | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Nitto Denko Corp | 脱気システム |
| CN106345137A (zh) * | 2015-07-13 | 2017-01-25 | 爱发科低温泵株式会社 | 低温冷阱 |
| JP2019178890A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | パラマウントベッド株式会社 | 排泄センサ |
-
1995
- 1995-08-18 JP JP21038495A patent/JP3149011B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7789195B2 (en) | 2005-03-11 | 2010-09-07 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Muffler of internal combustion engine |
| JP2011104508A (ja) * | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Nitto Denko Corp | 脱気システム |
| CN106345137A (zh) * | 2015-07-13 | 2017-01-25 | 爱发科低温泵株式会社 | 低温冷阱 |
| JP2019178890A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | パラマウントベッド株式会社 | 排泄センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3149011B2 (ja) | 2001-03-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |