JPH09508242A - ビーム幅を選択できる超音波トランスジューサ及び方法 - Google Patents

ビーム幅を選択できる超音波トランスジューサ及び方法

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JPH09508242A
JPH09508242A JP7518577A JP51857795A JPH09508242A JP H09508242 A JPH09508242 A JP H09508242A JP 7518577 A JP7518577 A JP 7518577A JP 51857795 A JP51857795 A JP 51857795A JP H09508242 A JPH09508242 A JP H09508242A
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マイケル シー パオ
ヴィンセント エイ バーレッタ
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カーディオメトリックス インコーポレイテッド
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Abstract

(57)【要約】 ビーム幅を選択できる超音波トランスジューサは、外径がDで厚さがTである環状の圧電性材料の本体(21)を備えている。本体は近位及び遠位のほぼ平行で平らな面と、前記本体を貫通する中央に配置された穴を有している。本体は穴から外径まで延びる幅がWである円筒壁を備えている。トランスジューサは、直径Dと縦横比D/Tとによって決定される低い共振周波数、及び、厚さTと縦横比W/Tとによって決定される高い共振周波数で作動可能である。

Description

【発明の詳細な説明】 ビーム幅を選択できる超音波トランスジューサ及び方法 本発明は、ビーム幅を選択できる小型で高効率の2周波数作動の超音波トラン スジューサとその組立体と方法とに関するものである。 米国特許第5,059,851号には、穴無しディスク形状のトランスジューサ を利用する小型超音波トランスジューサ組立体が開示されている。このようなデ ィスクを用いた場合には、1つは横方向の(直径方向の)共振に関連し、1つは 厚さ方向の共振に関連する2つの強い共振があることが知られている。しかしな がら、このようなトランスジューサでは、厚さが直径に近いため(典型的には、 直径は厚さの約2倍であった)、直径方向の共振と厚さ方向の共振との間に強い 相互作用が生じた。2つの共振間の効率を最適にすることは、効率を低下させる 原因となる2つの共振モード間の望ましくないカップリングのため、難しいとい うことがわかった。米国特許第5,059,851号の図3及び図4は、ドーナツ 形トランスジューサを示している。この明細書は、適当な縦横比は0.5から1 の間であることを示唆している。外周から穴の外縁部までの距離は、ドーナツ形 トランスジューサ全体を横切って延びる幅の約1/4から1/3の間であろう。 図3及び図4における開示の時点では、このような構造が有用な特徴は期待でき なかった。従って、新規で改良した超音波トランスジューサ、その組立体、及び 、このようなトランスジューサの特徴を完全に利用する方法が必要とされている 。 一般的には、本発明の目的は、超音波トランスジューサ、その組立体、及び、 2周波数での作動が可能でビーム幅を選択できる方法を提供することにある。 本発明の他の目的は、小型サイズであるが効率の高い上述の特徴を有するトラ ンスジューサを提供することにある。 本発明の他の目的は、効率的な広帯域作動を達成することができる上述の特徴 を有するトランスジューサ及び方法を提供することにある。 本発明の他の目的は、特に冠状動脈又は脳のための血管内のドップラートラン スジューサに適用可能な上述の特徴を有するトランスジューサ組立体及び方法を 提供することにある。 本発明の他の目的は、5メガヘルツから20メガヘルツの間の範囲内で作動可 能な上述の特徴を有するトランスジューサ組立体及び方法を提供することにある 。 本発明のその他の目的及び特徴は、添付図面と関連して詳細に記載される好ま しい実施の形態についての以下の説明から明らかになるであろう。 図1は、本発明を実施するトランスジューサ及びその組立体の拡大断面図であ る。 図2は、図1の線2−2に沿った端面図である。 図3は、図1に示すトランスジューサの拡大断面図である。 図4は、図3に示すトランスジューサの拡大等角図である。 図5は、図1から図4に示すトランスジューサを用いてビーム幅を選択するこ とができる方法を示すブロック図及び概略図である。 本発明の超音波トランスジューサは、中央に配置された貫通穴を有する環状の 圧電性材料の本体を備えている。この超音波トランスジューサは、外径がDであ り、近位及び遠位の全体として平らな面を有している。電極がこの近位及び遠位 の平らな面の各々をおおっている。圧電性材料は、また、近位面から遠位面まで 延びる厚さがTであり、穴の外縁部から外径まで延びる肉厚がWである。本体は 低い共振周波数及び高い共振周波数で作動することができる。低い共振周波数は 、主として直径Dと縦横比D/Tとによって決定される。高い共振周波数は、主 として厚さTと縦横比W/Tとによって決定される。 特に、本発明を具体化するトランスジューサ組立体11は、米国特許第5,0 59,851号に説明されているタイプのガイドワイヤ12の一部を形成する。 このガイドワイヤ12は、その特許に説明されているように、典型的には、例え ば150センチメートルのような適当な長さを有するステンレス鋼の管状の可撓 性を有する細長い部材を備えている。この可撓性を有する細長い部材の適当な直 径は、0.457ミリメートル(0.018インチ)から0.254ミリメートル (0.010インチ)の間の範囲内にある。可撓性を有する細長い部材は、その 全長にわたって延びる通路を有している。可撓性を有する細長い部材の遠位端は 、典型的には、コイルばねに固定されてもよく、コイルばねは円筒形チップ16 に 固定され、このチップ16は、この特許に説明されているように、コイルばねを チップ16に装着することによってコイルばねの遠位端に固定される。チップ1 6は、本発明のトランスジューサ21を受け入れるカップ形の円筒形凹部17を 備えている。 トランスジューサ21は、例えば圧電性セラミックなどの超音波用に適した圧 電性材料など、米国特許第5,059,851号に記載されたタイプの本体22に より形成される。特に満足な結果が得られることが認められた1つの圧電性セラ ミックは、郵便番号84115、ユタ州、ソルトレークシティー、ウエスト30 0、サウス2645にあるEDOコーポレーションのウエスター(Wester )ディビジョン、セラミックディビジョンから入手できるEC−98鉛マグネシ ウムニオブ酸塩である。EC−98組成物は、高い誘電率、低い劣化特性、優れ たカップリング特性およびそれを本発明の小型トランスジューサに特に適したも のにする高いひずみ定数を与えるため、選ばれた。 以下に説明するように形成された本体24は、環状即ちリング状で、ドーナツ 形であるのが特徴である。本体24は実質的に平らな近位及び遠位の平行な面2 6及び27を有し、遠位面27は図1に示されるようにガイドワイヤ12の遠位 端から遠位方向即ち外方に向いている。本体24は、平行な面26及び27にほ ぼ垂直な方向に延びる外側円筒面28を備えている。本体24は、また、面26 及び27に実質的に直角にそれらの面を貫通する中央に配置された穴29を有し ている。 トランスジューサ組立体11は、特に、例えば直径が0.457ミリメートル (0.018インチ)以下であるような小径ガイドワイヤ内で用いられるように 構成される。従って、トランスジューサ21は、このようなガイドワイヤの遠位 端内で利用することができるようにガイドワイヤに対応して小さいサイズを有し ていなければならない。 このようなトランスジューサを高い信頼性をもって製造するために、レーザ機 械加工を利用するのが望ましいことがわかっている。このようなレーザ機械加工 により、例えば5°以下のようなわずかなテーパを有する切れ込み及び穴を形成 する。これらは図3に誇張して描かれている。このようなトランスジューサ21 を提供する本発明と関連して、所望の厚さ、例えば0.0965ミリメートル( 3.8ミル)の厚さを有する圧電性材料のシート(図示せず)が用いられる。ト ランスジューサ21は材料のシートから反復工程によって形成される。テーパの 量は利用されるレーザのタイプとレーザビーム用対物レンズの焦点距離によって 決定される。大きな焦点距離を有するレンズを用いることによって、テーパを減 らすことができる。YAGレーザと共にX−Y移動テーブルを利用することによ って、スポットの大きさが0.0203ミリメートル(0.8ミル)から0.02 54ミリメートル(1.0ミル)の範囲のスポットサイズを有し、50ヘルツか ら150ヘルツの範囲のパルス繰返し周波数を有するレーザにより、中央を貫通 して延びる穴29を有する円筒本体22になるようにトランスジューサ用の外径 及び内径の両方をカットして得られることが判明している。作動周波数が106 4nmのYAGレーザを用いた場合に、好ましい結果が得られた。 他タイプのレーザを用いることができることを認識すべきである。例えば、エ クシマーレーザを用いることができ、これは切断速度がYAGレーザで達成する ことができる切断速度より小さいが熱ひずみが小さいので好ましいであろう。エ クシマーレーザは、典型的には、308nmで作動する。 YAGレーザを使用することにより、結晶構造に対する損傷を最小限にしつつ 、比較的速い製造速度でトランスジューサ21を製造することが可能になる。レ ーザ機械加工の作業中に本体22の面26及び27上に蒸着された材料はQチッ プを利用してアセトン又はアルコールなどの適当な溶剤で容易に除去することが できることがわかっている。したがって、熱の影響を受けた非常に小さい領域が 、円筒面28に隣接した本体22の外周部と穴29に隣接した内周部の近くに残 るだけである。 トランスジューサ21をチップ16の円筒形凹部17内にはめ込むためには、 トランスジューサ21は適当な直径を有していなければならない。したがって、 一例をあげると、外径が0.356ミリメートル(0.014インチ)のガイドワ イヤに対しては、トランスジューサ21の直径が約0.254ミリメートル(0. 010インチ)であることが好ましい。このような大きさのトランスジューサに レーザ機械加工を用いることにより、円筒面28と、約5°のテーパ付きの面2 6及び 27内の穴29を作ることが可能になった。このテーパは、より長い焦点距離を 有する対物レンズを用いることにより、約2°から3°に改善することができる 。 図1に示されるタイプのガイドワイヤ12についての本発明と関連して、トラ ンスジューサ21が広いビームを生成して、トランスジューサ21がその内部に 配置される管のできるだけ広い断面におおうことを可能にし、好ましいことに、 管の側壁まで延びることを可能にして、ビームが確実に管の管腔の少なくとも中 心をおおうようにすることによって、管腔の中心を流れる液体、たとえば血液の 速度を正確に測定することが保証される。 前述したように、血管内ガイドワイヤの好ましいサイズは、0.254ミリメ ートル(0.010インチ)から0.457ミリメートル(0.018インチ)の 範囲内であり、あるものは0.762ミリメートル(0.030インチ)以上であ る。血管内操作に最適なドップラー周波数は、(減衰、後方散乱効率、走査距離 等を考慮すると、)典型的には、(0.0762ミリメートル(0.003インチ )から0.305ミリメートル(0.012インチ)の範囲の血液中の音波の波長 に対応して、)5メガヘルツから20メガヘルツの範囲内である。トランスジュ ーサのサイズと超音波の波長のこれらの範囲は、直径が約1波長から10波長ま での範囲の音響トランスジューサに対応し、最も望ましい組合せは、直径が1波 長から5波長の範囲内にあるトランスジューサである。 本発明に関連して、一方は高い共振周波数としての特徴があり、他方は低い共 振周波数としての特徴がある2つの強い共振周波数を与えることのできるドーナ ツ形即ちリングタイプトランスジューサ21を用いると好ましいことが判明して いる。 低い共振周波数は、外径Dであるトランスジューサ21の最大寸法と密接な関 係がある。共振はその周波数と効率により特徴づけられる。これらのパラメータ はディスク形トランスジューサの標準モデルを用いることによって予測可能であ る。例えば、クンケル(Kunkel)等は、「IEEE」の第37巻第4号( 1990年7月)の「圧電性セラミックディスクの振動モードの有限要素解析」 において、有限要素解析を用い、正規化した共振周波数と、(トランスジューサ 効率の重要な要素である)電気機械的カップリング係数を、セラミックディスク トランスジューサの直径の厚さに対する縦横比D/Tの関数として算出している 。次に、直径Dは正規化した共振周波数を実際の共振周波数に変換するのに用い られる。中央に配置された穴29は、基本的な低い周波数モードの周波数と電気 機械的カップリング係数にわずかな影響を与えるだけであるが、この穴29はエ ネルギーを浪費して、トランスジューサの効率を低下させる望ましくないディス クモードの多くを抑制するように作用する。したがって、リングタイプトランス ジューサは、非常に純な共振モードと弱い高調波を有する効率的な低い周波数の トランスジューサを実現する可能性を与える。 第2の即ち高い周波数共振モードは、ドーナツ形即ちリングタイプトランスジ ューサの断面に密接に関係している。共振はその周波数と効率により特徴づける ことができる。リングタイプトランスジューサはリング形に曲がった線形要素と して考えることができるので、これらのパラメータは、矩形断面を有する線形ト ランスジューサの標準モデルを用いることにより予測可能である。メイソン(M ason)は、「アカデミックプレス」の第1巻第A部(1964年)の「物理 的音響効果の原理と方法」において、分析的手法を用いて、正規化した共振周波 数と、(トランスジューサ効率の重要な要素である)電気機械的カップリング係 数とを幅の厚さに対する縦横比W/Tの関数として算出した。次に、厚さTは正 規化した共振周波数を実際の共振周波数に変換するのに用いられる。幅の厚さに 対する縦横比が1より小さい場合、矩形断面の基本共振モードは、しばしば長さ 伸長モードと称される。電気機械的カップリング係数は幅の厚さに対する縦横比 が0.6のときに最大になり、このカップリング係数はこれまでの厚さモード共 振トランスジューサにおいて見出されたカップリング係数よりはるかに高いとい うことが理論的に予測され、実験により確認される。 トランスジューサの3つの基本的なサイズ、即ち直径D、厚さT及び環幅Wを 適当に選択することにより、小型トランスジューサを2つの別個の周波数で効率 的に作動させることができる。中央に配置された穴が望まれていないディスク共 振モードを抑制することにより、低い周波数の横方向共振モードを用いて効率的 に作動させることができる。同時に、中央に配置された穴により、約0.6の理 論上の最適値に近い縦横比W/Tの場合に、トランスジューサが厚さ共振モード に おいて振動の効率的な長さ伸長モードを利用することが可能となる。 従来は、トランスジューサに関して、典型的には、他の周波数モードが必要と されず、作動の単一モードを有しているトランスジューサが望まれていた。本出 願では、本トランスジューサは低い周波数の横方向モードを作り出すことによっ て必要とされていないモードを利用して、2つの強いモードを有するトランスジ ューサを提供し、他の不要なモードを限定して、以下に説明するようにガイドワ イヤ2の作動を最適にする2周波数トランスジューサを提供する。2つの共振周 波数のどちらも、前述の2周波数作動の融通性を犠牲にして、特定の用途に対し て最もよい性能が得られるのに最適になるように選択するのがよいことを認識す べきである。更に、高い共振周波数と低い共振周波数が互いに接近するように設 計するときは、2つの共振は互いに混合して単一の広い共振になり、その結果、 効率的な広帯域トランスジューサの設計を与えることが理解できる。 例をあげると、本発明を具体化するトランスジューサ21は、遠位面27を横 切って延びる直径Dが0.259ミリメートル(10.2ミル)であり、近位面2 6に沿って延びる直径Dが0.239ミリメートル(9.4ミル)であった。トラ ンスジューサ21は、厚さTが0.0965ミリメートル(3.8ミル)であった 。穴29は、近位面26での直径が0.0838ミリメートル(3.3ミル)であ り、遠位面27での直径が0.0635ミリメートル(2.5ミル)であった。こ のようなサイズでは、穴29の外縁部から外面28までの距離Wは、遠位面27 で0.0978ミリメートル(3.85ミル)であり、近位面26で0.0762 ミリメートル(3.0ミル)であった。トランスジューサ21は、米国特許第5, 059,851号に開示されたタイプの医用等級接着剤などの適当な手段によっ てカップ状の円筒形凹部17の中に取付けられた。また、米国特許第5,059, 851号に記載されているような適当な材料でつくられた遠位面27に整合層3 2が設けられ、そこに図1に示されるように、フラッシュ面を形成し、凹部17 をふさいだ。このようなトランスジューサ21は、約6.5メガヘルツの低い周 波数の作動モードと、15.0メガヘルツの高い共振周波数とを有していること がわかった。6.0メガヘルツ及び10.0メガヘルツの他の2周波数に対しては 、トランスジューサ21は、遠位面27を横切って延びる直径Dが約0.274 ミリメートル(10.8ミル)であり、厚さTが約0.170ミリメートル(6. 7ミル)であったであろう。6.0メガヘルツ及び12.0メガヘルツの2周波数 に対しては、トランスジューサ21は、遠位面27にわたって延びる直径Dが約 0.267ミリメートル(10.5ミル)であり、厚さTが約0.132ミリメー トル(5.2ミル)であったであろう。 トランスジューサ21は、通常の電源、図5にブロック36で表示する送信機 及び受信機によってこれらの周波数で作動された。ブロック36は周波数選択ス イッチ37を備え、この周波数選択スイッチ37は、例えば、5メガヘルツ、6 メガヘルツ、7.5メガヘルツ、10メガヘルツ、12メガヘルツ、15メガヘ ルツ及び20メガヘルツの範囲から、例えば、特定の低い周波数又は特定の高い 周波数を選択する能力を有している。これらの選択された周波数は、一対の絶縁 導線39及び42に接続された一対の電線38及び44に加えられた。導線39 は、図3に示すように、穴29を貫通し、トランスジューサ21の遠位面27上 に曲げられてはんだ付けされた。導線39は絶縁被覆41を備えていた。導線4 2が設けられ、その遠位端は曲げられ、トランスジューサ21の近位面26には んだづけされた。導線42は、また、絶縁被覆43を備えていた。ドップラー送 信機によりブロック36から電気エネルギーのパルスを、超音波パルスを生成す る超音波トランスジューサ21に供給された。超音波パルスは、前方へ広がる円 錐形ビーム46になって遠位面27から外方へ伝播され、円錐形ビームは約30 °の角度の範囲を定め即ちビーム幅を有し、適当な距離、例えば、遠位面27か ら約5ミリメートルの距離で試料体積47を分析した。トランスジューサ21が 低い周波数で励振されたとき、円錐形ビーム48が前方へ伝播され、かつ、約6 0°の角度の範囲を定め即ちビーム幅を有し、遠位面27から約10ミリメート ルの距離で図5に示すように試料体積49を分析した。一般に、ラジアンで表し た小型超音波トランスジューサからのビームの幅はλ/Dであり、ここで、λは 超音波の波長、Dはトランスジューサの直径であり、低い方の周波数により、( その周波数に対応するより長い波長と共に、)高い方の周波数の作動と比べて、 比較的広いビームを与える。 本発明のトランスジューサ組立体11が取付けられたガイドワイヤ12を用い てドップラー効果を利用する血液流の測定を行う場合には、管の中央領域におい て血液が最も速い速度で流れているので、空間ピーク血液流を適切に探知するよ うに、トランスジューサによって伝播されたビームが、管の少なくとも中央領域 をおおうことが重要である。したがって、確実に適当な血液流を測定するために は、低い方の作動周波数をこの周波数に対応する広い方のビームと共に利用して 、超音波ビームが管の測定位置の実質的にすべての断面領域、又は、管の中央領 域を含むその実質的な部分が確実にカバーされるようにすることが望ましい。し かしながら、超音波ビームが管よりはるかに大きいときは、ビームが管壁を越え て広がるにつれて多量の音響エネルギが失われる。したがって、できるだけ強い ドップラー信号を確保するためには、ビームが管の実質的な部分をカバーするの に十分大きい限りは、高い方の作動周波数をこれに対応する狭い方のビームと共 に利用することが望ましい。例えば、直径が10ミリメートルの大腿動脈のよう な大きい管では、広い方のビーム48で大腿動脈の中央流れをとらえる非常によ い機会があるのに対して、小さい方のビーム46でこの中央流れをとらえるのは むずかしい。逆に、例えば直径が3ミリメートルの冠状動脈のような小さい管の 場合には、狭い方のビーム46が管の実質的な部分をカバーするのに適している のに対して、広い方のビーム48は弱いドップラー信号を与えることになる。し たがって、本発明では、ガイドワイヤの遠位端が側支流及び曲がりくねった管の 中を通るのに順応するように曲がって、その結果、管の中で中心に置かれないと しても、管サイズの広い範囲にわたって正確な測定をすることが可能となる。 前述のことから、例えば人体などの体内の管の中における流れの測定をするの に特に適したガイドワイヤ用トランスジューサ組立体が提供されていることが理 解できる。このトランスジューサは、実質的に等しく効率的である高い共振周波 数及び低い共振周波数で2周波数の作動するものである。このようなトランスジ ューサを利用することによって、最高の流れが起こる少なくとも管の中心が測定 する試料体積内にあることを保証するように狭いビームと広いビームを与える方 法を利用することができる。
【手続補正書】特許法第184条の8 【提出日】1995年7月18日 【補正内容】 請求の範囲 1.低い周波数の励振パルス及び高い周波数の励振パルスに応答してそれぞれ第 1及び第2のビーム幅を得る、低い周波数の励振パルス及び高い周波数の励振パ ルスを供給する電源とともに使用される超音波トランスジューサであって、前記 トランスジューサは、0.254ミリメートル(0.010インチ)から0.45 7ミリメートル(0.018インチ)の範囲にある直径を有するガイドワイヤの 遠位端で使用され、0.457ミリメートル(0.018インチ)以下の外径Dと 厚さTを有する環状の圧電性材料の本体を備え、前記本体は近位及び遠位のほぼ 平らで平行な面を有し、前記近位及び遠位の面を貫通する中央に配置された穴を 有し、前記本体は、前記穴で始まる内周部と外周部とを有し、前記内周部から前 記外周部まで延びる幅Wを有し、前記直径D、前記厚さTおよび前記幅Wは、前 記本体が前記低い周波数のパルスに応答して低い共振周波数で共振し、前記高い 周波数のパルスに応答して高い共振周波数で共振して、前記第1及び第2のビー ム幅に使用できるエネルギレベルを与えるように選択され、前記低い共振周波数 が直径Dと縦横比D/Tとによって決定され、前記高い共振周波数が厚さTと約 0.6の縦横比W/Tとによって決定され、前記本体は前記ガイドワイヤの遠位 端に取付けられることができる大きさに作られ、前記第1及び第2のビーム幅が 前記第1及び第2の面にほぼ垂直な方向に前記本体から伝播されることを特徴と する超音波トランスジューサ。 2.前記本体が、前記近位及び遠位の面とほぼ垂直な外側円筒面を備え、前記穴 が前記近位及び遠位のほぼ平行な面に垂直な方向に延びることを特徴とする請求 の範囲第1項に記載のトランスジューサ。 3.前記外側円筒面及び前記穴を形成する面がテーパを有していることを特徴と する請求の範囲第2項に記載のトランスジューサ。 4.前記遠位面が約0.259ミリメートル(10.2ミル)の直径を有し、前記 近位面が約0.239ミリメートル(9.4ミル)の直径を有しており、前記厚さ が約0.0965ミリメートル(3.8ミル)であることを特徴とする請求の範囲 第3項に記載のトランスジューサ。 5.前記穴が遠位面において0.0635ミリメートル(2.5ミル)の直径を有 し、前記穴が近位面において0.0838ミリメートル(3.3ミル)の直径を有 することを特徴とする請求の範囲第4項に記載のトランスジューサ。 6.前記低い共振周波数が前記高い共振周波数の約1/2であることを特徴とす る請求の範囲第1項に記載のトランスジューサ。 7.前記低い共振周波数が6.5メガヘルツであり、前記高い共振周波数が15. 0メガヘルツであることを特徴とする請求の範囲第6項に記載のトランスジュー サ。 8.前記トランスジューサが前記低い共振周波数において約60°のビーム幅を 有するビームを生成し、前記高い共振周波数において約30°のビーム幅を有す るビームを生成することを特徴とする請求の範囲第7項に記載のトランスジュー サ。 9.前記圧電性材料が、高い誘電率、低い劣化特性、優れたカップリング特性お よび高いひずみ定数とを有することを特徴とする請求の範囲第1項に記載のトラ ンスジューサ。 10.前記圧電性材料がEC−98であることを特徴とする請求の範囲第9項に記 載のトランスジューサ。 11.直径が0.457ミリメートル(0.018インチ)以下であり、外方に面し たカップ状凹部が設けられた円筒形チップと、前記凹部に配置された圧電材料で 形成された超音波トランスジューサとを備え、前記本体が、環状で中央に配置さ れた貫通穴、内縁部及び外縁部、近位及び遠位の平行でほぼ平らな面、前記近位 面から前記遠位面まで延びる厚さTおよび前記内縁部から前記外縁部まで延びる 肉厚Wを有し、前記本体を前記凹部内に固定する接着手段と、前記穴を貫通し、 前記遠位面に接合された第1導線と、前記近位面に接合された第2導線とを備え 、前記トランスジューサが低い共振周波数及び高い共振周波数で作動可能であり 、前記低い共振周波数が直径Dと縦横比D/Tとによって決定され、前記高い共 振周波数が厚さTと約0.6の縦横比W/Tとによって決定されることを特徴と するトランスジューサ組立体。 12.前記縦横比W/Tが、約0.6に等しいことを特徴とする請求の範囲第11 項 に記載の組立体。 13.更に、前記トランスジューサに低い周波数の励振パルス及び高い周波数の励 振パルスを供給するために前記トランスジューサに接続された前記導線に電力を 供給する手段と、低い周波数の励振又は高い周波数の励振のいずれかを選択し、 前記トランスジューサのビーム幅の選択を可能とする選択手段を備えたことを特 徴とする請求の範囲第11項に記載の組立体。 14.前記高い周波数に対するビーム幅が30°近傍であり、前記低い周波数に対 するビーム幅が60°近傍であることを特徴とする請求の範囲第13項に記載の 組立体。 15.2周波数作動の超音波トランスジューサを使用することによって管の中の流 れを測定する方法であって、前記トランスジューサを前記管の中に位置決めし、 前記トランスジューサを作動させるための第1周波数を選択して、第1ビーム幅 を与え、その後、前記トランスジューサを励起させるための第2ビーム幅を選択 して、前記第1ビーム幅より大きい角度を定める第2ビーム幅を与えることを特 徴とする管の中の流れを測定する方法。 16.前記第1及び第2のビーム幅が、測定する試料体積が測定がなされる管の中 心を確実に含むように、利用されることを特徴とする請求の範囲第15項に記載 の方法。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI H04R 17/00 330 9354−4M H01L 41/08 C (72)発明者 パオ マイケル シー アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94306 サン ホセ ウィンストン スト リート 1725 (72)発明者 バーレッタ ヴィンセント エイ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94086 サニーヴェイル ノース フラン シス 160 (72)発明者 チェチェルスキー ヴィクター アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94043 マウンテン ヴィュー アルヴィ ン ストリート 2534

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.ビーム幅を選択可能で、0.254ミリメートル(0.010インチ)から0 .457ミリメートル(0.018インチ)の範囲にある直径を有するガイドワイ ヤの遠位端でモニターし、低い周波数の励振パルス及び高い周波数の励振パルス を供給する電源とともに使用される超音波トランスジューサであって、外径D、 厚さTを有する環状の圧電性材料の本体を備え、前記本体は近位及び遠位のほぼ 平らで平行な面を有し、中央に配置され、前記本体を貫通しかつ前記近位及び遠 位の面を貫通する穴を有し、前記本体が前記穴から前記外径まで延びる幅Wの円 筒壁を備え、前記本体が前記低い周波数のパルス及び前記高い周波数のパルスに 応答して低い共振周波数及び高い共振周波数で作動可能であり、前記低い共振周 波数が直径Dと縦横比D/Tとによって決定され、前記高い共振周波数が厚さT と縦横比W/Tとによって決定されることを特徴とする超音波トランスジューサ 。 2.前記本体が、前記近位及び遠位のほぼ平らな面とほぼ垂直な外側円筒面を備 え、前記穴が前記近位及び遠位のほぼ平らな面に垂直な方向に延びることを特徴 とする請求の範囲第1項に記載のトランスジューサ。 3.前記外側円筒面及び前記穴を形成する面がテーパを有していることを特徴と する請求の範囲第2項に記載のトランスジューサ。 4.前記遠位面が約0.259ミリメートル(10.2ミル)の直径を有し、前記 近位面が約0.239ミリメートル(9.4ミル)の直径を有しており、前記厚さ が約0.0965ミリメートル(3.8ミル)であることを特徴とする請求の範囲 第3項に記載のトランスジューサ。 5.前記穴が遠位面において0.0635ミリメートル(2.5ミル)の直径を有 し、前記穴が近位面において0.0838ミリメートル(3.3ミル)の直径を有 することを特徴とする請求の範囲第4項に記載のトランスジューサ。 6.前記低い共振周波数が前記高い共振周波数の約1/2であることを特徴とす る請求の範囲第1項に記載のトランスジューサ。 7.前記低い共振周波数が6.5メガヘルツであり、前記高い共振周波数が15. 0 メガヘルツであることを特徴とする請求の範囲第6項に記載のトランスジューサ 。 8.前記トランスジューサが前記低い共振周波数においてビーム幅が約60°の ビームを生成し、前記高い共振周波数においてビーム幅が約30°のビームを生 成することを特徴とする請求の範囲第7項に記載のトランスジューサ。 9.前記圧電性材料が、高い誘電率、低い劣化特性、優れたカップリング特性お よび高いひずみ定数とを有することを特徴とする請求の範囲第1項に記載のトラ ンスジューサ。 10.前記圧電性材料がEC−98であることを特徴とする請求の範囲第9項に記 載のトランスジューサ。 11.直径が0.457ミリメートル(0.018インチ)以下であり、外方に面し たカップ状凹部が設けられた円筒形チップと、前記凹部に配置された圧電材料で 形成された超音波トランスジューサとを備え、前記本体が環状で、中央に配置さ れた貫通穴、外径ならびに近位及び遠位の平行でほぼ平らな面を有し、前記近位 面から前記遠位面まで延びる厚さTと、前記穴の外縁部から前記外径まで延びる 肉厚Wを有し、さらに、前記本体を前記凹部内に固定する接着手段と、前記穴を 貫通し、前記遠位面に接合された第1導線と、前記近位面に接合された第2導線 とを備え、前記トランスジューサが低い共振周波数及び高い共振周波数で作動可 能であり、前記低い共振周波数が直径Dと縦横比D/Tとによって決定され、前 記高い共振周波数が厚さTと縦横比W/Tとによって決定されることを特徴とす るトランスジューサ組立体。 12.前記縦横比W/Tが、約0.6に等しいことを特徴とする請求の範囲第11 項に記載の組立体。 13.更に、前記トランスジューサに低い周波数の励振パルス及び高い周波数の励 振パルスを供給するために前記トランスジューサに接続された前記導線に電力を 供給する手段と、低い周波数の励振又は高い周波数の励振のいずれかを選択し、 前記トランスジューサのビーム幅の選択を可能とする選択手段を備えたことを特 徴とする請求の範囲第11項に記載の組立体。 14.前記高い周波数に対するビーム幅が30°近傍であり、前記低い周波数に対 するビーム幅が60°近傍であることを特徴とする請求の範囲第13項に記載の 組立体。 15.2周波数作動の超音波トランスジューサを使用することによって管の中の流 れを測定する方法であって、前記トランスジューサを前記管の中に位置決めし、 前記トランスジューサを作動させるための第1周波数を選択して、第1ビーム幅 を与え、その後、前記トランスジューサを励起させるための第2ビーム幅を選択 して、前記第1ビーム幅より大きい角度を定める第2ビーム幅を与えることを特 徴とする管の中の流れを測定する方法。 16.前記第1及び第2のビーム幅が、測定する試料体積が測定がなされる管の中 心を確実に含むように、利用されることを特徴とする請求の範囲第15項に記載 の方法。
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