JPH09500968A - 低圧力損失の空気流系を有する粒子センサー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ビーム長軸（３７）を有する光（２１）のビームと、入口端（２９）および粒子出口（３３）を有する空気流管（２５）とを有する粒子センサー（１０）が開示される。本発明の一面においては、入口端（２９）における流路（７９）の断面積が、出口（３３）の断面積より大きい。この増大した面積は、管（２５）に沿った圧力損失を劇的に減らす。出口（３３）は、光（２１）のビームと位置合せされており、ビーム長軸（３７）に対して実質上平行な方向に細長くなっている。従って、口（３３）を通って流れる粒子は光（２１）を通過する。別の面においては、本発明は、重量が軽く蓄電池で作動する遠心送風機（４５）を含んでいる。

Description

【発明の詳細な説明】発明の名称 低圧力損失の空気流系を有する粒子センサー発明の分野 本発明は、一般に空気品質に関し、さらに詳しくは空気により運ばれる微粒子 検定用機器に関する。発明の背景 粒子計数器およびセンサーは、流体流、例えば空気流中に混入した粒子により 散乱された光を検出するために使用される。このような計数器およびセンサーは 、例えば部屋から空気（混入粒子と共に）を抜き取り、このような空気を管に沿 ってかつ照射されたセンサー「視界容積(view volume)」を通して流し、このよ うな粒子の数とサイズに関する情報を得る。このような情報は、粒子が視界容積 を通し動くとき、粒子により反射「散乱」された光のごく小量の分析により得ら れる。 ある種の型のセンサーは、上記の空気が封入された透明管に沿って流し、他の 型のセンサーは、一つの管から開いた空間を横切って他の管へ特定の流量（しば しば、立方フィート／分で測定される）で、空気およびそれに伴う粒子を「見積 (project)」する。後者の型のセンサーでは、光の散乱と収集を減じる管壁は存 在しない（しかし、透明な上記壁は存在できる）。言い換えると、粒子が開いた 空間を通し「飛ぶ」とき、粒子はごく小さい直径の光ビームにより短時間に照射 される。 他の使用としては、粒子センサーを組み込んだ粒子計数器は、ある特定容積の 空気、例えば１立方メートルの空気中に存在する粒子 の数とサイズに関する情報を与えることによって、空気品質の尺度を得るために 使用される。ヒトの観察ではきれいに見える作業環境でさえ−事務所、製造設備 など−微視的には空気に運ばれるかなりの数の粒子を有しがちである。上記粒子 は居住者にとってはふつう迷惑ではないが、ある種の型の製造操作においては実 質的問題を造り出すことができる。 例えば、半導体および集積チップは、空気が非常によく濾過された「クリーン ルーム」として知られたところで製造される。事実、周囲環境から粒子を含む空 気がしみ込まないように、クリーンルームは極度に清浄な空気を使用してふつう ごくわずかに加圧される。そして、半導体および集積チップ製造工業における傾 向は、ますます一層小さな製品の方向に進んでいる。 製造中の上記製品に移行する小さな異物粒子は、製品を買い手に輸送する前で さえも、早期の破損または完全な製品の排除を招き得る。この続く「ミニチュア 化」は、空気により運ばれる粒子の数とサイズを従来許容されていた水準以下に 減らすことを確保するために、クリーンルーム環境（および関連する測定機器） における対応する改良を要求する。既知の粒子計数器およびセンサーは、一般に はその意図する目的に対し受け入れられてきたが、ある種の欠点が存在する。 既知の粒子センサーの欠点は、空気および混入粒子が流れる、通常、環状の空 気通路を含むことである。特に、上記通路はごく小さい断面積を有する。その結 果、通路の両端間の圧力差（ときに通路を横切る「圧力損失」と呼ばれる）は著 しく高い。約１立方フィート／分（ＣＦＭ）の流量で、水２５〜７０インチ範囲 の圧力損失に 遭遇することは、異常ではない。粒子センサーの分野では、その空気流量で水２ ５〜７０インチの圧力損失が一般的である。（注釈的には、水のインチで圧力を 測定するのが普通である。目盛りのついたガラス管に含まれそれを通し見られる 水銀カラムを含む古い型の血圧測定装置に、類似のものが見出される。血圧は「 水銀ミリメートル」で測定され、そのような古い型の装置では、血圧はカラムの 高さに等しかった。血圧は水銀ミリメートルで測定されるが、異なる型のゲージ を測定に使用できる。） ごく小さい面積の空気流路に沿った一般的圧力損失のために、既知のセンサー は、上記圧力損失を克服するための十分な真空をつくり出すために、通常、隔膜 または羽根型のモーター駆動の容積式真空ポンプを必要とする。必要な電気駆動 電動機および真空ポンプは、比較的過重になりがちである。また、電動機はアウ トレット源の電力を必要とし、蓄電池圧力は、比較的多量の電力を消費するため 実用的でない。また、そのようなセンサーは、電気コードとプラグを必要とする から、地点から地点へ、特に遠隔地点で、容易に動かせない。 空気流路に沿う圧力損失は、通路断面積を増すことにより減少できるが、その ような解決法に対し影響を与える別の設計上の束縛がある。粒子の検知と計測に おける精度を確実にするためには、通路に沿って流れる全ての（または実質上全 ての）空気に混入した粒子が光ビームを通過する必要がある。通常、粒子の「飛 行通路」は上記ビームに対し直角である。しかし、光ビームは、好ましくはする どく焦点を合せられ、その直径はごく小さく、例えば約0.1インチ未満である。 従って、空気流路の直径は、光ビームの直径よりかなり 大きくなることはできず、また、大部分のまたは全ての粒子が光ビームを通過し 検出されることが保証される必要がある。 本発明は、独特の機転の利く方法において、これらの外見上扱いにくい困難性 と矛盾する設計パラメータとを取り組む。発明の目的 本発明の目的は、従来技術の問題と欠点を克服する改良された粒子センサーを 提供することである。 本発明の他の一つの目的は、空気流路が約ＩＣＦＭの流量で非常に低い圧力損 失を示す改良された粒子センサーを提供することである。 本発明の他の一つの目的は、実質上全ての粒子が光ビームに向けられる改良さ れた粒子センサーを提供することである。 本発明のなお他の一つの目的は、匹敵する従来のセンサーよりも重量が軽い改 良された粒子センサーを提供することである。 本発明のさらに他の一つの目的は、遠隔地点に対してさえも、蓄電池で作動さ れ、著しく運搬可能な改良された粒子センサーを提供することである。これらの および他の目的がどうして遂行されるかは、次の説明と図面から一層明らかとな る。発明の要旨 本発明は、ビーム長軸を有する光ビーム、および（ａ）入口端と（ｂ）粒子出 口を有する空気流管を有する型の粒子センサーにおける改良である。この改良に おいては、該入口端における該流路の断面積は、全く大きく、該出口の断面積よ りも大きい。また、該出口は、ビーム長軸に対し実質上平行な方向に細長くなっ ており、好ましくは「競馬場（race-track）」形であり、一般に互いに平行な第 １および第２の側へりを有する。 流路（比較的大きな面積）は、管に沿った圧力損失を劇的に減らす。また、長 く比較的狭い出口（光ビームの幅にほぼ等しい幅）は、該口を通し流れる粒子が ビームを通過することを確実に助ける。 さらに詳しくは、空気流管は入口部分とノズル部分を有する。後者は、最小の 断面積、すなわち入口部分の長さに沿ったどの断面よりも小さい面積を有する第 １入口断面を有する。さらに、ノズル部分は最大断面積、すなわちノズル部分に 沿ったどの断面よりも大きい面積を有する第１ノズル断面を有する。 高度に好ましい実施態様においては、第１入口断面の断面積は、第１ノズル断 面の断面積に小さくない。さらに、入口部分は、第１入口断面の断面積より大き い断面積を有する増大した第２入口断面を有する。第１入口断面および第１ノズ ル断面は、実質上同じ形状、例えば円形を有する。 本発明の別の面においては、センサーの空気流管は、流れ軸に沿って伸びてお り、センサーは従来の容積式真空ポンプではなくて、空気送風機（好ましくは遠 心送風機）を有する。送風機は、実質上円形で流れ軸と同軸の位置合せである入 口開口を有する。事実、この新規センサーは、入口部分から送風機への粒子流が 直線になるように、流れ軸に沿って「重ねられた」幾つかの成分部品を有する。 別の面においては、新規センサーは、小さな遠心送風機を独特に使用する。こ のような送風機は、粒子センサー以外の用途に使用され、「真空を引く」という その能力よりむしろ、その出力流のために使用される。本発明においては、関心 のあるのは、流れを生じる排気口ではなくて、送風機の空気入口である。 さらに詳しくは、送風機は空気入口と排気口を有し、空気入口付近の圧力は、 排気口における圧力より低い。空気入口は、出口と流連絡関係にあり、それによ り送風機は空気流管の入口端と出口との間に圧力差を与える。 事実、送風機（好ましくは遠心送風機）を通過する実質上全ての空気は、空気 流管からまずそれを通して流される。こうして、センサーは、送風機が発生する 汚染物により実質上影響を受けない。 センサーは、検知空洞および壁により検知空洞から隔離された送風機空洞を有 する。壁はそれを通る穴を有し、送風機は開口を有する環状板に固定される。上 記穴と開口も、流れ軸と位置合せされている。 本発明のなお他の面においては、空気送風機は蓄電池で作動される。蓄電池作 動の空気送風機自体は既知であるが、粒子センサーの分野の初期の設計者は、ご く低い電力の送風機を使用できなお著しく良好な空気流量を与える、空気流路の 長さに沿って十分に低い圧力損失を有する空気流路をいかに構成するかを決して 理解していなかった。好ましい送風機は、空気流量を選択するために、速度調節 可能な型のものである。速度の調節は、流量計と接続した閉じたループ制御を含 むこととができる。 本発明の他の詳細は、次の詳細な説明と図面において記載される。図面の簡単な説明 図１は、新規センサーの側面図である。一部分ははがしてあり、他の部分は断 面で示す。 図２は、図１の観察面２−２で切った新規センサーの正面図である。上下部分 とセンサーのカバーとは、互いにわずかに間隔をあけ てあり、一部分ははがしてある。 図３は、図２の観察面３−３で切ったセンサーの底面図である。一部分ははが してあり、他の部分は断面で示し、また、他の部分ははぶいてある。 図４は、図２の観察面４−４で切ったセンサーの正面図である。図２でわずか に間隔をあけて示した部分は、図４では完全に組立てられている。 図５は、図１〜４に示したセンサーの様相の空間的透視図である。 図６は、センサー空気流管の入口部分の断面の側正面図である。 図７は、観察面７−７で切った図６に示した入口部分の末端正面図である。 図８は、センサーの空気流管のノズル部分の側正面図である。 図９は、観察面９−９で切った図８に示したノズル部分の末端正面図である。 図１０は、図８の観察面１０−１０で切った図８および９に示したノズル部分 の頂部平面図である。 図１１は、互いに組立てられた図６および７の入口部分と図８〜１０のノズル 部分の断面での側正面図である。 図１２は、図１１の観察面１２−１２で切った空気流管の入口部分の断面図で ある。 図１３は、図１１の観察面１３−１３で切った空気流管の入口部分の断面図で ある。 図１４は、図１１の観察面１４−１４で切った空気流管のノズル部分の断面図 である。 図１５は、センサーの空気流管の出口の別の実施態様である。 図１６は、センサーの空気流の出口のさらに別の実施態様である。好ましい実施態様の詳細な説明 まず、図１〜５を参照すると、改良されたセンサー１０は、センサーブロック １３および光散乱検知空洞１５を有する検知部分１１を含んでいる。該空洞１５ は、反射鏡１７、例えばだ円形鏡、および粒子２３により散乱されおよび鏡１７ により反射された散乱光２４を受けるために配置された検出器１９を有している 。図６〜１１を参照すると、空気流管２５は、ブロック１３に配置され、流れ軸 ２７に沿って伸びており、ホース３１の長さの一端に取り付けするためにわずか に先細りの入口端２９を含んでいる。プローブ（図示してない）はホース３１の 他端に取り付けており、混入粒子を有する空気はホース３１および該流管２５を 通って流れ、出口３３で放出される。 検知部分１１は、また、ビーム軸３７に沿って光のごく細い実質上円筒形ビー ム２１を与えるレーザーダイオード組立品３５を含んでいる。鏡軸３９、ビーム 長軸３７および流れ軸２７は好ましくは直交しており、すなわちそれらは相互に 直角である。 図２および３から最もよくわかるように、センサー１０は、また、送風機空洞 ４３を含む送風機部分４１を有するハウジング２２を有し、その中には取り付け した電気駆動電動機４７を有する空気送風機４５が配置されている。上記電動機 はＡＣまたはＤＣであることができるが、一層容易な蓄電池作動携帯性のために は後者がよい。蓄電池電力は、リード４９を通し電動機４７に供給される。印刷 回路板５１は、流れセンサー５３を使用し選ばれたセット点で速度制御のため、 閉じたループフィードバック制御を与える。速度制御は、 パルス幅変調による。 該空洞４３の底部カバー５５は、センサー１０を通って流れる全空気が通過し なければならない排気フィルター５７を有している。フィルター５７は、送風機 ４５自体から徐々に失われるおよび／または空気流管２５を通し引き込まれる微 粒子による環境（「クリーンルーム」であることのできる）の汚染を避けるのを 助ける。 好ましい空気流管２５の特定の詳細を説明する前に、あらましの解説が助けと なろう。一般に、空気流管２５は、その入口端２９で比較的大きい断面積５８を 有する。図１１で左から右へながめると、上記断面積５８は、該管２５の第１の セグメント５９に沿って実質上一定で留まり、ついで第２セグメント６１で徐々 に減少する。その最小の断面積は、出口３３においてである。次の一層詳細な説 明は、その一般形態に基づくものである。 特に図６〜１１を参照すると、空気流管２５は、入口部分６３（一般に断面が Ｔ形である）とノズル部分６５を含んでおり、ノズル部分の上流端６７は該部分 ６３の下流端７１内に形成されたポケット６９にきちんとはめこまれる。特に、 上流端６７は環状肩７３に接しており、肩の内部へり７５は上流端６７の内面７ ７により規定される面積７６と実質上同じ大きさと形状を有する面積７６を規定 している。好ましくは、これらの面積７６は円形で実質上同一の直径を有する。 入口部分６３における通路７９の面積は、図１１にみられるように、肩７３か ら左方向に徐々に増加している。通路７９は、入口端２９とセグメント６１の間 の位置８１で最大面積をとる。高度に好ましい配置では、ゼグメント６１は切頭 円錐に似ている。 好ましい空気流管２５のある種の特徴を、少しの「断面」を使用して説明しよ う。すなわち管２５の様相として断面図のようなプロフィールが、切断するとき の交差する面により表われる。さて、図１１〜１４を参照すると、入口部分６３ は、最小断面積７６の第１入口断面８３を有する。すなわち、入口断面８３の断 面積７６は、入口部分６３の長さに沿った他のどの断面における比較される面積 より小さい。そして、入口部分６３は、第１の入口断面８３の断面積より大きい 断面積５８を有する第２入口断面８５を有する。この関係は、図１２と１３を比 較すると明らかである。 ノズル部分６５は、最大断面積の第１ノズル断面８７を有する。断面８７の面 積は、ノズル部分６５の長さに沿った他のどの断面の比較される面積と同じかま たはそれより大きい。そして、図１３と１４を目で比較すると、第１入口断面８ ３の断面積は、第１ノズル断面８７の断面積に小さくない（好ましくはほぼ等し い）ことが示されている。 一つの高度に好ましい実施態様においては、空気流管２５の内部通路７９は、 その大部分の長さに沿って、すなわちノズル部分６５のその部分まで、断面が円 形であり、その部分でノズル部分６５は狭くなり扇形に開いて出口３３を規定す る。図９から最もよくわかるように、好ましい出口３３は、面積６２を有し、互 いに一般に平行である夫々第１および第２の側へり８９ａおよび８９ｂを有する 。出口３３は、丸い末端へり９１を有し、得られる口の形状は競馬場の形状に似 ている。 図９に示した出口３３が好ましいが、他の可能性もある。例えば、図１５は卵 形口３３を示し、図１６は幾分蝶結び形口３３を示す。 しかし、どの口３３の最大幅「Ｗ」は、光２１のビームの直径にほぼ等しいか、 またはそれより少なくともかなり大きくないことが好ましい。上記幅関係の維持 は、出口から流れでる空気に取り込まれた粒子２３の全てまたは実質上全てが、 光２１のビームを通過することを確実に助ける。他方、細長い出口３３は、光２ １のビームの直径にほぼ等しい直径を有する円形出口に比較して、減少した圧力 損失を確実に助ける。 また、好ましい実施態様を特徴づける他の関係も存在する。図５と９を参照す ると、出口３３は、一般に互いに垂直な長軸９３と短軸９５を有する。長軸９３ がビーム長軸３７に一般に平行で、わずかに間隔をおかれるように、出口３３は 配向している。別の方法を考えると、出口３３はビーム長軸３７に実質上平行な 方向に細長くなっている。 再び、図１、２及び３を参照すると、空洞１５および４３は、壁穴９９を有す る壁９７により分離されている。送風機４５は開口１０２を有する環状板１０１ に配置され、送風機４５自体は、側面空気入口１０３を有し、排気口１０５を通 して排出するために、この入口を通して送風機４５は空気を引く。好ましい配置 では、壁穴９９、板開口１０２および空気入口１０３は、流れ軸２７と位置合せ されており、最も好ましくは上記軸２７と一般に同軸である。 上記から、送風機４５を通過する全ての空気は、空気流管２５からまずそれを 通って引かれる。送風機が発生する汚染物、例えばペイント片、金属「微粉」な どは、空気流を汚染せず、センサー１０の精度を損ない得る検知空洞１５には入 らない。言い換えると、送風機４５は、その通常の仕様方式に関しては、「イン サイドアウト」 で使用される。 送風機空気入口１０３付近、すなわちケージ状ロータの取り入れ側の圧力。空 気入口１０３は、出口３３と流連絡している。それにより、送風機４５は、空気 流管２５の入口端２９と出口端３３の間の圧力差の形で、管２５を通る空気を動 かす「原動力」を与える。 再び図を参照すると、操作においては、送風機４５を活動させ、空気（ふつう 空気中に取り込まれた少なくとも若干の粒子２３と共に）を空気流管２５の入口 端２９に引き込む。空気に推進された粒子２３は、出口３３から放出され、光２ １のレーザービームを通って「飛ぶ」。上記粒子２３により反射された光２１の ビームは、鏡１７により受けとめられ、電子分析のため検出器１９へ反射される 。 空気および混入粒子２３は、穴９９、開口１０２、送風機４５の口１０３を通 して流れ続け、送風機４５によりその排気口１０５を通して排出される。乱流か ら層流へと「滑らかな」空気流になるのを助ける粗いフィルターディスク１０７ を通して、上記空気は、おし進められる。次に、空気の大部分は、単に開口を通 して排気され、送風機空洞４３および上記空洞の底の排気フィルター５７を通っ て「自由に流れる」。 送風機排気口１０５からの空気の比較的小さいパーセントは、あごのあるはめ 込み１０９に入り、配管１１１に沿って、流れセンサー５３を通って流れる。セ ンサー５３から、上記空気は配管１１３に沿って流れ、送風機空洞４３に戻り、 そこからまた排気フィルター５７の外へ自由に流れ出る。 新規なセンサー１０は、空気流管に沿って水７〜１０インチより大きくない圧 力損失を示し、さらに詳しくは、上記圧力損失はほぼ 水３インチであることが見出された。これは、従来技術のセンサーが示す水２５ 〜７０インチの圧力損失と驚くほど対照的である。 本発明の原理を、少しの好ましい実施態様に関連し説明してきたが、上記実施 態様は例であって限定するものではないことを理解すべきである。

【手続補正書】 【提出日】１９９６年７月９日 【補正内容】 （１）「請求の範囲」を別紙の通り訂正する。 請求の範囲 １．環境から粒子センサーに引かれた空気に浮遊して運ばれる粒子を分析するた めの、散乱光を使用する粒子センサーであって、 該粒子センサーは、 モーターと排気口を有する速度可変遠心送風機、 該送風機を囲むハウジング、 該ハウジングに接続したセンサー部分を含み、かつ、散乱光検知空洞を有す る粒子検出システム、 該送風機と空気流連絡している空気流管及び低圧力損失ノズルであって、環 境から前記検知空洞までに伸びている空気流管及び低圧力損失ノズル、 前記モーターと接続しかつ前記モーターに速度制御する可変電圧を与えるた めの回路、 該回路に速度作用信号を与えるための流量センサー、 前記排気口と環境との間に介在している排気フィルターからなり、また、 前記粒子検出システムは、（ａ）レーザー光源、（ｂ）前記空気流管と前記 ノズルを通り前記空洞に入る粒子により散乱された光を向ける装置、（ｃ）該装 置により向けられた光を受けるための検出器をさらに含み、そして、 前記空気流管を通り前記検知空洞中に流れる空気は、前記遠心送風機により 前記検知空洞を通して引かれ、前記送風機モーターの速度に依存する流量で流れ 、そして、前記排気フィルターを通して前記センサーから放出され、 それによって、（ａ）空気が前記検知空洞に引かれる前記流量を変えること ができ、また（ｂ）微粒子の汚染物質が環境へ排出されることを実質的に防止さ れることを特徴とする粒子センサー。 ２．前記回路が閉じたループフィールドバック型であり、また、管が前記送風機 排気口からフィードバック信号を前記回路へ与えるための流量センサーにまで伸 びている請求項１に記載の粒子センサー。 ３．前記空気流管が線状の流れ軸に沿って伸び、前記遠心送風機が側面空気入口 を有し、また該空気入口が該流れ軸と同軸である請求項１に記載の粒子センサー 。 ４．ビーム長軸に沿う光ビームをさらに含む前記センサーであって、また、 前記空気流管が流れ通路に沿って圧力損失を有する流れ通路を規定し、 前記空気流管が断面積を有する入口端を有し、 前記ノズルが断面積を有し、 前記入口端における前記流れ通路の断面積が前記ノズルの断面積より大きく 、 前記ノズルが前記ビーム長軸に対して実質的に平行な方向に伸びており、 前記ノズルが前記ビーム長軸に対して一般的に平行に測定された長さを有し 、 前記流れ通路が空気流路を規定し、 前記空気流管を通る空気流れが乱れ、 前記センサーが、空気入口を有する速度調節遠心送風機を有し、 前記センサーが通路状穴に接続されたセンサー空洞及び送風機空洞を有し、 また、 該穴と該空気入口とが前記流路に沿っている、 請求項１に記載の粒子センサー。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．ビーム長軸を有する光ビームを有し、さらに流路に沿って圧力損失を有す る流路を規定し、（ａ）断面積を有する入口端と（ｂ）断面積を有する粒子出口 とを有する空気流管を有する粒子センサーにおいて、 該入口端における流路の断面積が該出口の断面積よりも大きく、 該出口が該ビーム長軸に対し実質上平行な方向に細長くなっており、 該出口が該ビーム長軸に対し一般に平行に規制された長さを有し、 該空気流管がビーム長軸に対し一般に垂直に規制された長さを有する、狭くな り扇形に広がる領域を含むノズル部分を有し、および 該領域の長さが該出口の長さの約２倍より大きくなく、 該空気流管に沿った圧力損失が減少され、かつ出口を通って流れる粒子が該ビ ームを通過することからなる改良。 ２．空気流管が入口部分を有し、入口部分が最小の断面積の第１入口断面を有 し、ノズル部分が最大の断面積の第１ノズル断面を有し、第１入口断面の断面積 は第１ノズル断面の断面積より小さくない請求の範囲第１項のセンサー。 ３．入口部分が、第１入口断面の断面積よりも大きい断面積を有する第２入口 断面を有する請求の範囲第２項のセンサー。 ４．空気流管が流れ軸に沿って伸びており、センサーが入口開口を有する遠心 空気送風機を有する請求の範囲第３項のセンサー。 ５．遠心送風機、送風機空洞、検知空洞を含んでおり、空気流管が流れ軸に沿 って伸びており、上記両空洞が通路状穴によって連結されており、送風機が空気 入口を有し、該穴と該空気入口が流れ軸 と位置合せされている請求の範囲第１項のセンサー。 ６．送風機が開口を有する環状板に配置されており、穴と板の開口とが互いに 実質上位置合わせされている請求の範囲第５項のセンサー。 ７．空気流量で空気流管に沿って空気をおし進める遠心送風機を含んでおり、 送風機の速度が選択された空気流量を与えるために調節可能である請求の範囲第 １項のセンサー。 ８．送風機の速度が、選択された空気流量を与えるために調節可能である請求 の範囲第６項のセンサー。 ９．遠心送風機を含んでおり、流路に沿った圧力損失が水約１０インチより大 きくなく、それにより送風機が非常に低い圧力損失で流路に沿って空気を動かす 請求の範囲第１項のセンサー。 10．送風機を通過する空気がまず空気流管を通過し、それによってセンサーは 送風機が発生する汚染物によって実質上影響を受けない請求の範囲第９項のセン サー。