JPH0949706A - レーザ光を用いた被計測物の前後方向の移動量測定方法 - Google Patents
レーザ光を用いた被計測物の前後方向の移動量測定方法Info
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- JPH0949706A JPH0949706A JP22260595A JP22260595A JPH0949706A JP H0949706 A JPH0949706 A JP H0949706A JP 22260595 A JP22260595 A JP 22260595A JP 22260595 A JP22260595 A JP 22260595A JP H0949706 A JPH0949706 A JP H0949706A
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- Japan
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- light
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Abstract
(57)【要約】
［目的］ レーザ発振器ならびに計測器の前方位置にあ
る被計測物の遠近方向への移動量を計測しようとするこ
とを目的としたものである。 ［構成］ 被計測物に照射するレーザ光の照射角と反射
光の反射角とが設定した視野角となるようにレーザ発振
器と計測器のＣＣＤカメラの視野範囲となるように設置
するとともに、ＣＣＤカメラと被計測物との中間位置
で、かつ、ＣＣＤカメラの視野範囲内に遮光物を介装
し、ことによりレーＣＣＤカメラが撮られるレーザ光被
照射域の反射映像範囲に描かれたスペックルパターン中
に前記の遮光物による空白域を形成し、計測器に対して
被計測物の遠近移動の移動状態をスペックルパターンの
映像範囲内における前記空白域の移動を標識的に検知
し、光学的に認識し、移動認識画素を演算処理して測定
数値を出力表示できるようにしてなるものである。
る被計測物の遠近方向への移動量を計測しようとするこ
とを目的としたものである。 ［構成］ 被計測物に照射するレーザ光の照射角と反射
光の反射角とが設定した視野角となるようにレーザ発振
器と計測器のＣＣＤカメラの視野範囲となるように設置
するとともに、ＣＣＤカメラと被計測物との中間位置
で、かつ、ＣＣＤカメラの視野範囲内に遮光物を介装
し、ことによりレーＣＣＤカメラが撮られるレーザ光被
照射域の反射映像範囲に描かれたスペックルパターン中
に前記の遮光物による空白域を形成し、計測器に対して
被計測物の遠近移動の移動状態をスペックルパターンの
映像範囲内における前記空白域の移動を標識的に検知
し、光学的に認識し、移動認識画素を演算処理して測定
数値を出力表示できるようにしてなるものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ光を用
い、計測器に対して前後動する被計測物の移動量を計測
する計測方法に関するものである。
い、計測器に対して前後動する被計測物の移動量を計測
する計測方法に関するものである。
【０００２】
【技術的背景】この発明は、基本的に被計測物にレーザ
光を照射し、被照射域の映像範囲に描かれたスペックル
パターンを標識として撮らえ、これを光学的に検知し、
かつ、演算処理し、更にこれを測定値として出力表示す
るものである。
光を照射し、被照射域の映像範囲に描かれたスペックル
パターンを標識として撮らえ、これを光学的に検知し、
かつ、演算処理し、更にこれを測定値として出力表示す
るものである。
【０００３】被計測物にレーザ光を照射し、被照射域の
映像範囲に描かれたスペックルパターンは、被照射面の
面粗度に倣って標示され、その映像範囲ごと異った特異
性を示す特性を利用し、被計測物と計測装置とのＣＣＤ
カメラの視野範囲に遮光物を設置し、該遮光物による影
作用を形成させ、スペックルパターン中に該影作用によ
る空白箇所を顕出し、この空白域の移動を被計測物の移
動量として計測値としようとするものである。
映像範囲に描かれたスペックルパターンは、被照射面の
面粗度に倣って標示され、その映像範囲ごと異った特異
性を示す特性を利用し、被計測物と計測装置とのＣＣＤ
カメラの視野範囲に遮光物を設置し、該遮光物による影
作用を形成させ、スペックルパターン中に該影作用によ
る空白箇所を顕出し、この空白域の移動を被計測物の移
動量として計測値としようとするものである。
【０００４】
【従来の技術】従来より非接触による計測方法にあっ
て、被計測物にレーザ光を照射することにより被照射域
の映像範囲に描かれたスペックルパターンを標識として
光学的に認識し、かつ、該認識画素を演算処理し、計測
数値を表示出力させてなる計測方法は、本特許願と同一
出願人がした特開平７−１１０２１６号、特願平５−２
７７４３８号ならびに特願平６−１４７０７９号があ
る。
て、被計測物にレーザ光を照射することにより被照射域
の映像範囲に描かれたスペックルパターンを標識として
光学的に認識し、かつ、該認識画素を演算処理し、計測
数値を表示出力させてなる計測方法は、本特許願と同一
出願人がした特開平７−１１０２１６号、特願平５−２
７７４３８号ならびに特願平６−１４７０７９号があ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】レーザ光による被計測
物までの距離測定方法は、レーザ光を被計測物に照射
し、反射光を受光するまでの時間から距離を導き出して
いた。
物までの距離測定方法は、レーザ光を被計測物に照射
し、反射光を受光するまでの時間から距離を導き出して
いた。
【０００６】ところが、この方式では至近距離（０〜数
メートル）である場合は光の伝搬速度が４０万キロメー
トル／秒と早く、計測が不可能であった。また、オート
・フォーカス（レーザ光が描く円の大きさを、測定）方
法は光学系の複雑・煩雑化となり、精密機構が必要とな
る。
メートル）である場合は光の伝搬速度が４０万キロメー
トル／秒と早く、計測が不可能であった。また、オート
・フォーカス（レーザ光が描く円の大きさを、測定）方
法は光学系の複雑・煩雑化となり、精密機構が必要とな
る。
【０００７】これらの課題を解決する方法として、映像
範囲内の遮光位置による影から被計測物までの距離を導
き出す方式を開発した。
範囲内の遮光位置による影から被計測物までの距離を導
き出す方式を開発した。
【０００８】この発明は、レーザ発振器ならびに計測器
の前方位置にある被計測物の遠近方向への移動量を計測
しようとする方法を目的としたものである。
の前方位置にある被計測物の遠近方向への移動量を計測
しようとする方法を目的としたものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成させるための手段として、被計測物に照射するレ
ーザ光の照射角と反射光の反射角とが設定した視野角と
なるようにレーザ発振器と計測器のＣＣＤカメラの視野
範囲となるように設置するとともに、ＣＣＤカメラと被
計測物との中間位置で、かつ、ＣＣＤカメラの視野範囲
内に遮光物を介装し、ことによりレーＣＣＤカメラが撮
られるレーザ光被照射域の反射映像範囲に描かれたスペ
ックルパターン中に前記の遮光物による空白域を形成
し、計測器に対して被計測物の遠近移動の移動状態をス
ペックルパターンの映像範囲内における前記空白域の移
動を標識的に検知し、光学的に認識し、移動認識画素を
演算処理して測定数値を出力表示できるようにしてなる
ものである。
を達成させるための手段として、被計測物に照射するレ
ーザ光の照射角と反射光の反射角とが設定した視野角と
なるようにレーザ発振器と計測器のＣＣＤカメラの視野
範囲となるように設置するとともに、ＣＣＤカメラと被
計測物との中間位置で、かつ、ＣＣＤカメラの視野範囲
内に遮光物を介装し、ことによりレーＣＣＤカメラが撮
られるレーザ光被照射域の反射映像範囲に描かれたスペ
ックルパターン中に前記の遮光物による空白域を形成
し、計測器に対して被計測物の遠近移動の移動状態をス
ペックルパターンの映像範囲内における前記空白域の移
動を標識的に検知し、光学的に認識し、移動認識画素を
演算処理して測定数値を出力表示できるようにしてなる
ものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】この発明は、位相差方式として、
レーザ光とＣＣＤカメラに既知の適宜な角度を付け、被
計測物からの反射光を一部分だけ遮る遮光体をＣＣＤカ
メラの前方定位置に設置する。
レーザ光とＣＣＤカメラに既知の適宜な角度を付け、被
計測物からの反射光を一部分だけ遮る遮光体をＣＣＤカ
メラの前方定位置に設置する。
【００１１】この遮光体により映像範囲内に既知の角度
に対応した遮光部分が生ずる。この状態において、ＣＣ
Ｄカメラと被計測物までの距離を前後することにより映
像範囲内の遮光部分が移動する。この移動した位置を認
識することにより、被計測物までの距離を計測すること
ができる。
に対応した遮光部分が生ずる。この状態において、ＣＣ
Ｄカメラと被計測物までの距離を前後することにより映
像範囲内の遮光部分が移動する。この移動した位置を認
識することにより、被計測物までの距離を計測すること
ができる。
【００１２】既知の角度を狭めることにより、被計測物
までの距離範囲を広げることができるが、精度の低下を
招く。逆に角度を広げることにより被計測物までの距離
範囲が狭められるが高精度計測が可能である。
までの距離範囲を広げることができるが、精度の低下を
招く。逆に角度を広げることにより被計測物までの距離
範囲が狭められるが高精度計測が可能である。
【００１３】この発明は、レーザ光発振器と計測器とが
互いに近傍位置に定置するものである。
互いに近傍位置に定置するものである。
【００１４】すなわち、レーザ光の光軸と、計測器にお
けるＣＣＤカメラの視野角をある角度に設定するもの
で、その反射面となる位置を仮想被計測物設置位置と
し、かつ、対向面が反射面となるようにする。
けるＣＣＤカメラの視野角をある角度に設定するもの
で、その反射面となる位置を仮想被計測物設置位置と
し、かつ、対向面が反射面となるようにする。
【００１５】この反射面とＣＣＤカメラとの中間位置
で、かつ、該ＣＣＤカメラの視野範囲内に遮光物を設置
するものである。
で、かつ、該ＣＣＤカメラの視野範囲内に遮光物を設置
するものである。
【００１６】ＣＣＤカメラの視野範囲の光軸に対し、或
る設定した視野角度をもって前記視野範囲を斜状に交叉
させるレーザ光の光幅が、前記視野角度に対し交叉開始
点から交叉終了点、すなわち、交叉範囲内が被告計測物
の計測可能な範囲とするものである。
る設定した視野角度をもって前記視野範囲を斜状に交叉
させるレーザ光の光幅が、前記視野角度に対し交叉開始
点から交叉終了点、すなわち、交叉範囲内が被告計測物
の計測可能な範囲とするものである。
【００１７】前記の計測可能な範囲中の被計測物にレー
ザ光を照射し、被照射域の映像範囲に描かれたスペック
ルパターンは、被照射面の面粗度に倣い反射光としてＣ
ＣＤカメラが撮らえる。
ザ光を照射し、被照射域の映像範囲に描かれたスペック
ルパターンは、被照射面の面粗度に倣い反射光としてＣ
ＣＤカメラが撮らえる。
【００１８】これらはレーザ光を反射させる被計測物の
遠近方向の移動により、位置が固定されているレーザ光
照射角度と、固定位置に設置されているＣＣＤカメラに
おける視野範囲とにより、描かれる反射光としてスペッ
クルパターンを認識する範囲内を移動する点にある。
遠近方向の移動により、位置が固定されているレーザ光
照射角度と、固定位置に設置されているＣＣＤカメラに
おける視野範囲とにより、描かれる反射光としてスペッ
クルパターンを認識する範囲内を移動する点にある。
【００１９】そして、移動するスペックルパターンの中
で、標識として捕らえるのが前記遮光物によって影とし
て生じさせた空白域である。
で、標識として捕らえるのが前記遮光物によって影とし
て生じさせた空白域である。
【００２０】この発明は、レーザ光発振器と計測器とを
被計測物を反射面としての入射角と反射角との関係から
互いに近傍に定置することが条件とする。
被計測物を反射面としての入射角と反射角との関係から
互いに近傍に定置することが条件とする。
【００２１】すなわち、レーザ光の光軸と計測器におけ
るＣＣＤカメラの視野角を或る角度に設定するもので、
その反射面となる位置を仮想被計測物設置位置とし、か
つ、対向面が反射面となるようにする。
るＣＣＤカメラの視野角を或る角度に設定するもので、
その反射面となる位置を仮想被計測物設置位置とし、か
つ、対向面が反射面となるようにする。
【００２２】この反射面とＣＣＤカメラとの中間位置
で、かつ、ＣＣＤカメラの視野範囲内に遮光物を設置す
るものである。
で、かつ、ＣＣＤカメラの視野範囲内に遮光物を設置す
るものである。
【００２３】ＣＣＤカメラの視野範囲の光軸に対し、或
る設定した視野角度をもって、前記視野範囲を斜状に交
叉させるレーザ光が、前記視野角に対し交叉開始点か
ら、交叉終了点、すなわち、交叉範囲内が被計測物の計
測可能な範囲とするものである。
る設定した視野角度をもって、前記視野範囲を斜状に交
叉させるレーザ光が、前記視野角に対し交叉開始点か
ら、交叉終了点、すなわち、交叉範囲内が被計測物の計
測可能な範囲とするものである。
【００２４】前記の計測可能な範囲中の被計測物にレー
ザ光を照射し、被照射域の映像範囲内に描かれたスペッ
クルパターンは、被照射面の面粗度に倣い反射光として
ＣＣＤカメラが撮らえるものであるが、その反射光の光
幅中には、該ＣＣＤカメラの前方位置に設置した遮光物
により、「影」が形成され、スペックルパターンを映像
として撮らえ、かつ、これを認識する部分に空白域が形
成される。
ザ光を照射し、被照射域の映像範囲内に描かれたスペッ
クルパターンは、被照射面の面粗度に倣い反射光として
ＣＣＤカメラが撮らえるものであるが、その反射光の光
幅中には、該ＣＣＤカメラの前方位置に設置した遮光物
により、「影」が形成され、スペックルパターンを映像
として撮らえ、かつ、これを認識する部分に空白域が形
成される。
【００２５】そこで、被計測物が前記計測範囲内におい
て移動すれば、スペックルパターンとして認識する部分
に描かれた空白域が計測開始の位置より被計測物の移動
量に準じて左右方向あるいは上下方向に移動する。
て移動すれば、スペックルパターンとして認識する部分
に描かれた空白域が計測開始の位置より被計測物の移動
量に準じて左右方向あるいは上下方向に移動する。
【００２６】これら、前記の空白域の移動状態は、計測
装置に対してレーザ光発振器の設置位置またはレーザ光
照射方向の態様に準じたものとする。
装置に対してレーザ光発振器の設置位置またはレーザ光
照射方向の態様に準じたものとする。
【００２７】これらは、レーザ光を反射させる被計測物
の移動により、位置が固定されているレーザ光照射角度
と固定位置に設置されているＣＣＤカメラの視野範囲に
より、描かれるスペックルパターンが認識範囲内に移動
する点にある。
の移動により、位置が固定されているレーザ光照射角度
と固定位置に設置されているＣＣＤカメラの視野範囲に
より、描かれるスペックルパターンが認識範囲内に移動
する点にある。
【００２８】移動するスペックルパターンの中で標識と
して撮らえるのが前記の空白域である。
して撮らえるのが前記の空白域である。
【００２９】次ぎにこの発明を図とともに説明する前段
として、本発明の方式を達成するための被計測物ならび
に検証機として各部位について説明する。
として、本発明の方式を達成するための被計測物ならび
に検証機として各部位について説明する。
【００３０】１は被計測物。２はＣＣＤ（電荷結合素
子；Ｃｈａｒｇｅ ＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ）カメ
ラ５の映像範囲。３はレーザ発振器４が被計測物１にレ
ーザ光が照射されて粗面により描くスペックルパター
ン。４はレーザ発振器。５はＣＣＤカメラ。６はＣＣＤ
カメラ５のアナログ信号をディジタル信号に変換するＡ
／Ｄ（Ａｎａｌｇ／Ｄｉｇｉｔａｌ）変換器。７はスペ
ックルパターン３を標識として上下および横移動量を算
出する演算装置。８はスペックルパターン３を直接目視
するＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ ｄｉ
ｓｐｌａｙ）である。
子；Ｃｈａｒｇｅ ＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ）カメ
ラ５の映像範囲。３はレーザ発振器４が被計測物１にレ
ーザ光が照射されて粗面により描くスペックルパター
ン。４はレーザ発振器。５はＣＣＤカメラ。６はＣＣＤ
カメラ５のアナログ信号をディジタル信号に変換するＡ
／Ｄ（Ａｎａｌｇ／Ｄｉｇｉｔａｌ）変換器。７はスペ
ックルパターン３を標識として上下および横移動量を算
出する演算装置。８はスペックルパターン３を直接目視
するＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ ｄｉ
ｓｐｌａｙ）である。
【００３１】レーザ発振器４は、被計測物に安定したス
ペックルパターンを描くために高輝度・指向性・可視光
を使用し、レーザ素子、冷却回路、駆動回路およびレン
ズより構成する。
ペックルパターンを描くために高輝度・指向性・可視光
を使用し、レーザ素子、冷却回路、駆動回路およびレン
ズより構成する。
【００３２】ＣＣＤカメラ５は、被計測物に描くスペッ
クルパターンを撮るために使用し、ＮＴＳＣ信号（アナ
ログデータ）に変換する機能を有し、移動距離の測定精
度はＣＣＤ画素の間隔により決定し、スペックルパター
ンの大きさにより、コンピュータが処理しやすい粗密に
拡大または縮小するためにズームレンズを使用すること
もある。
クルパターンを撮るために使用し、ＮＴＳＣ信号（アナ
ログデータ）に変換する機能を有し、移動距離の測定精
度はＣＣＤ画素の間隔により決定し、スペックルパター
ンの大きさにより、コンピュータが処理しやすい粗密に
拡大または縮小するためにズームレンズを使用すること
もある。
【００３３】Ａ／Ｄ変換器６は、アナログ信号をディジ
タル信号に変換する機能を有する。ＮＴＳＣ信号は、ア
ナログ信号である。従って、コンピュータの記憶素子に
スペックルパターンを格納するためにディジタル信号に
変換する必要がある。スペックルパターンは明暗による
班点模様であるために例えば、明点を“１”、暗点を
“０”とする２値化に変換する。
タル信号に変換する機能を有する。ＮＴＳＣ信号は、ア
ナログ信号である。従って、コンピュータの記憶素子に
スペックルパターンを格納するためにディジタル信号に
変換する必要がある。スペックルパターンは明暗による
班点模様であるために例えば、明点を“１”、暗点を
“０”とする２値化に変換する。
【００３４】演算装置７は、被計測物の移動状態（スペ
ックルパターン）を連続的に記憶素子に格納し、任意の
明暗点の移動をＣＣＤ画素間隔（基準長）で演算し、数
値情報として表示出力する。
ックルパターン）を連続的に記憶素子に格納し、任意の
明暗点の移動をＣＣＤ画素間隔（基準長）で演算し、数
値情報として表示出力する。
【００３５】ＣＲＴ８は、検証・実験・試験段階では、
スペックルパターンならびに移動距離をＣＲＴモニタ画
面上に表示し、パターンおよび移動状態を視覚すること
を目的として使用する。ただし、実用機では、セブン・
セグメント表示器により移動距離を数値として表示出力
する。
スペックルパターンならびに移動距離をＣＲＴモニタ画
面上に表示し、パターンおよび移動状態を視覚すること
を目的として使用する。ただし、実用機では、セブン・
セグメント表示器により移動距離を数値として表示出力
する。
【００３６】被計測物１をアルミニューム板とした場合
において、該アルミニューム板にレーザ光を照射し、実
際に描いたスペックルパターンを写真撮影したものが図
３である。
において、該アルミニューム板にレーザ光を照射し、実
際に描いたスペックルパターンを写真撮影したものが図
３である。
【００３７】被計測物１にレーザ光を照射し、スペック
ルパターン３をＣＣＤカメラ５で撮影し、Ａ／Ｄ変換器
６で明暗による中間色を除去し、明と暗の２つの信号に
変換して演算装置７に入力できるようにしてある。
ルパターン３をＣＣＤカメラ５で撮影し、Ａ／Ｄ変換器
６で明暗による中間色を除去し、明と暗の２つの信号に
変換して演算装置７に入力できるようにしてある。
【００３８】９はレーザ光、１０は遮光物、１１は空白
域、１２はＣＣＤカメラの視野範囲、Ｌは計測可能範
囲、Ｌ’はＣＣＤカメラ５から被計測物１までの距離、
θはレーザ光と視野範囲の光軸との視野角度を示すもの
である。
域、１２はＣＣＤカメラの視野範囲、Ｌは計測可能範
囲、Ｌ’はＣＣＤカメラ５から被計測物１までの距離、
θはレーザ光と視野範囲の光軸との視野角度を示すもの
である。
【００３９】前記レーザ光９とＣＣＤカメラ５の視野範
囲の光軸との視野角度θの関係について、該視野角度θ
が大の場合は、計測可能範囲Ｌが狭くなるが、ＣＣＤカ
メラ５から被計測物１までの距離Ｌ’の計測精度が向上
し、また、レーザ光９とＣＣＤカメラ５の視野角度θが
小の場合は計測可能範囲Ｌが広くなるが、被計測物１ま
での距離Ｌ’の計測精度が低下する。
囲の光軸との視野角度θの関係について、該視野角度θ
が大の場合は、計測可能範囲Ｌが狭くなるが、ＣＣＤカ
メラ５から被計測物１までの距離Ｌ’の計測精度が向上
し、また、レーザ光９とＣＣＤカメラ５の視野角度θが
小の場合は計測可能範囲Ｌが広くなるが、被計測物１ま
での距離Ｌ’の計測精度が低下する。
【００４０】さらにまた、ＣＣＤカメラ５より被計測物
１までの距離Ｌ’が大の場合には視野角度θが小であっ
てもＣＣＤカメラ５とレーザ発振器４との離間距離を大
に採る必要があり、したがって、至近距離の被計測物１
の移動量を計測する手段として最適であり、位相差方式
といえる測定方法である。
１までの距離Ｌ’が大の場合には視野角度θが小であっ
てもＣＣＤカメラ５とレーザ発振器４との離間距離を大
に採る必要があり、したがって、至近距離の被計測物１
の移動量を計測する手段として最適であり、位相差方式
といえる測定方法である。
【００４１】
【発明の効果】この発明は、被計測物の微細な移動量の
計測にレーザ光を用い、その移動方向が遠近方向となる
ような位置にレーザ発振器ならびに計測器を設置し、か
つ、反射光の光幅中に遮光物を設置することにより、そ
の影の移動量を計測する位相差方式として被計測物の至
近位置より正確な移動利用を計測することができる効果
があるものである。
計測にレーザ光を用い、その移動方向が遠近方向となる
ような位置にレーザ発振器ならびに計測器を設置し、か
つ、反射光の光幅中に遮光物を設置することにより、そ
の影の移動量を計測する位相差方式として被計測物の至
近位置より正確な移動利用を計測することができる効果
があるものである。
【図１】 この発明による実施例の構成図
【図２】 光路作用を説明する平面図
【図３】 演算装置が認識したＣＣＤ画素の範囲中に空
白域を表したスペックルパターン
白域を表したスペックルパターン
１ 被計測物 ２ 映像範囲 ３ スペックルパターン ４ レーザ発振器 ５ ＣＣＤカメラ ６ Ａ／Ｄ変換器 ７ 演算装置 ８ ＣＲＴ ９ レーザ光 １０ 遮光物 １１ 空白域 １２ ＣＣＤカメラの視野範囲 Ｌ 計測可能範囲 Ｌ’ ＣＣＤカメラから被計測物までの距離 θ 視野角度
Claims (1)
- 【請求項１】 被計測物に照射するレーザ光の照射角と
反射光の反射角とが設定した視野角となるようにレーザ
発振器と計測器のＣＣＤカメラの視野範囲となるように
設置するとともに、ＣＣＤカメラと被計測物との中間位
置で、かつ、ＣＣＤカメラの視野範囲内に遮光物を介装
し、ことによりレーＣＣＤカメラが撮られるレーザ光被
照射域の反射映像範囲に描かれたスペックルパターン中
に前記の遮光物による空白域を形成し、計測器に対して
被計測物の遠近移動の移動状態をスペックルパターンの
映像範囲内における前記空白域の移動を標識的に検知
し、光学的に認識し、移動認識画素を演算処理して測定
数値を出力表示できるようにしてなることを特徴とする
レーザ光を用いた被計測物の前後方向の移動量測定方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7222605A JP3029238B2 (ja) | 1995-08-08 | 1995-08-08 | レーザ光を用いた被計測物の遠近方向の移動量測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7222605A JP3029238B2 (ja) | 1995-08-08 | 1995-08-08 | レーザ光を用いた被計測物の遠近方向の移動量測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0949706A true JPH0949706A (ja) | 1997-02-18 |
| JP3029238B2 JP3029238B2 (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=16785085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7222605A Expired - Fee Related JP3029238B2 (ja) | 1995-08-08 | 1995-08-08 | レーザ光を用いた被計測物の遠近方向の移動量測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3029238B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6847910B2 (en) * | 2000-04-26 | 2005-01-25 | Kabushiki Kaisha Toyoseikiseisakusho | Method and apparatus to measure amount of movement using granular speck pattern generated by reflecting laser beam |
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