JPH0948019A - Method and apparatus for manufacturing laminated electronic component - Google Patents

Method and apparatus for manufacturing laminated electronic component

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JPH0948019A
JPH0948019A JP20208495A JP20208495A JPH0948019A JP H0948019 A JPH0948019 A JP H0948019A JP 20208495 A JP20208495 A JP 20208495A JP 20208495 A JP20208495 A JP 20208495A JP H0948019 A JPH0948019 A JP H0948019A
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JP
Japan
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cutting head
ceramic green
green sheet
sheet
electronic component
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP20208495A
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Japanese (ja)
Inventor
Osamu Fujii
理 藤井
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Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0948019A publication Critical patent/JPH0948019A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and an apparatus for manufacturing a laminated electronic component wherein a laminating failure due to the winding of a sheet does not occur. SOLUTION: A green sheet supported to a carrier tape is largely quarried from the shape of a unit sheet while being sucked by the outer cutting head of a quarrying conveying unit 10, and the quarried green sheet is released from the tape and transferred to a laminating stage 11. The green sheet sucked by an outer cutting head is stacked on a movable table 11a in the recess 11b of the stage while the green sheet sucked by the cutting head is quarried in the same shape as the unit sheet. Thus, even extremely thin green sheet can be easily handled, and the laminating failure due to the winding can be prevented, and hence a small-sized high functional laminated electronic component can be manufactured with high yield.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、積層コンデンサ等
の積層電子部品の製造方法及びその装置に関し、特にグ
リーンシートを一定形状に打ち抜いて積み重ねる積層電
子部品の製造方法及びその装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a laminated electronic component such as a laminated capacitor, and more particularly to a method and an apparatus for manufacturing a laminated electronic component in which green sheets are punched into a predetermined shape and stacked.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、積層電子部品は、積層体内部に層
状に内部導体が形成されている構造をもっている。この
ような積層電子部品は次のようにして製造される。
2. Description of the Related Art Conventionally, a laminated electronic component has a structure in which a layered internal conductor is formed inside a laminated body. Such a laminated electronic component is manufactured as follows.

【0003】即ち、セラミック原料粉末を有機バインダ
ー等と混練してセラミックスラリーを作る。このセラミ
ックスラリーをドクターブレード等の塗工機によってシ
ート状に加工して、セラミックグリーンシートを得る。
That is, a ceramic raw material powder is kneaded with an organic binder or the like to prepare a ceramic slurry. This ceramic slurry is processed into a sheet by a coating machine such as a doctor blade to obtain a ceramic green sheet.

【0004】次いで、このセラミックグリーンシートに
スクリーン印刷等の方法で導電ペーストを塗布し、内部
導体パターンを形成する。この内部導体パターンを形成
したセラミックグリーンシートを一定形状に打ち抜い
て、これを複数枚重ねて熱加工して積層体を形成する。
この積層体を一定寸法の個別チップに切断分割して、こ
のチップを焼成した後、外部電極焼き付けを行って積層
電子部品が製造される。
Then, a conductive paste is applied to this ceramic green sheet by a method such as screen printing to form an internal conductor pattern. The ceramic green sheet on which the internal conductor pattern is formed is punched out into a certain shape, and a plurality of the sheets are stacked and heat-processed to form a laminated body.
This laminated body is cut and divided into individual chips of a certain size, the chips are baked, and then external electrodes are baked to manufacture a laminated electronic component.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】近年、積層電子部品に
小型・高機能が要求されるようになり、単位体積あたり
の積層枚数が多くなってきた。これに伴い、セラミック
グリーンシートの厚みを薄く形成しなければならず、セ
ラミックグリーンシートの強度が低下すると共にその取
り扱いが困難になってきた。
In recent years, the demand for small size and high functionality in laminated electronic components has increased, and the number of laminated layers per unit volume has increased. Along with this, the thickness of the ceramic green sheet has to be reduced, and the strength of the ceramic green sheet is reduced and its handling becomes difficult.

【0006】このため、セラミックグリーンシートを一
定形状に打ち抜いて積み重ねる工程を、PETフィルム
等の補強フィルムに担持させた状態で行う方法が考え出
された。例えば、補強フィルムに保持されたセラミック
グリーンシートを、吸着手段を有するカッティングヘッ
ドによって補強フィルム上で打ち抜いて吸着保持させて
積層工程へ移送する方法等が提案されている。
For this reason, a method has been devised in which the step of punching and stacking the ceramic green sheets into a certain shape is carried out while being carried on a reinforcing film such as a PET film. For example, a method has been proposed in which a ceramic green sheet held on a reinforcing film is punched out on the reinforcing film by a cutting head having an adsorbing means, adsorbed and held, and transferred to a laminating step.

【0007】しかしながら、前述した方法を用いた場合
もまだ問題点が残されていた。即ち、セラミックグリー
ンシートを補強フィルムから剥離するときにカッティン
グヘッドに吸着保持したセラミックグリーンシートの端
縁がめくれて巻き込みが発生した。このような巻き込み
が発生すると、積層不良を起こして正常な積層・圧着が
できなくなってしまう。
However, there are still problems when the above-mentioned method is used. That is, when the ceramic green sheet was peeled from the reinforcing film, the edges of the ceramic green sheet adsorbed and held by the cutting head were turned up, and wrapping occurred. When such entrainment occurs, stacking failure occurs and normal stacking and pressure bonding cannot be performed.

【0008】本発明の目的は上記の問題点に鑑み、シー
トの巻き込みによる積層不良が発生しない積層型電子部
品の製造方法及びその装置を提供することにある。
In view of the above problems, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a laminated electronic component and an apparatus for the same, in which stacking failure due to the winding of sheets does not occur.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するために請求項1では、部品種に対応する導体パタ
ーンを備えた単位シートを積層してなる積層型電子部品
の製造方法において、補強フィルムに支持されたセラミ
ックグリーンシートを、外側カッティングヘッドによっ
て吸着しながら前記単位シートの形状よりも大きく切り
出す工程と、該切り出したセラミックグリーンシートを
前記補強フィルムから剥離して積層ステージに移送する
工程と、前記外側カッティングヘッドの内側に設けられ
た内側カッティングヘッドによって、前記外側カッティ
ングヘッドで吸着されているセラミックグリーンシート
を前記単位シートと同形状に切り出しながら前記積層ス
テージ上に積み重ねる工程とを有する積層型電子部品の
製造方法を提案する。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a method of manufacturing a laminated electronic component according to claim 1, wherein unit sheets having conductor patterns corresponding to component types are laminated. A step of cutting the ceramic green sheet supported by the reinforcing film into a larger size than the unit sheet while adsorbing the ceramic green sheet by an outer cutting head, and separating the cut ceramic green sheet from the reinforcing film and transferring it to a laminating stage. And a step of stacking the ceramic green sheets adsorbed by the outer cutting head in the same shape as the unit sheet by the inner cutting head provided on the inner side of the outer cutting head while cutting the ceramic green sheets on the stacking stage. Proposing a manufacturing method for multilayer electronic components .

【0010】該積層型電子部品の製造方法によれば、補
強フィルムに支持されたセラミックグリーンシートを供
給して、外側カッティングヘッドによりセラミックグリ
ーンシートを単体シートの形状よりも大きく切り出し、
該切り出したセラミックグリーンシートを吸着保持して
前記補強シートから剥離する。このとき、切り出したセ
ラミックグリーンシートの端縁がめくれて内側に巻き込
まれることがあるが、外側カッティングヘッドで吸着を
行っているので、巻き込みは外側カッティングヘッドの
範囲内に留まる。次に、切り出したセラミックグリーン
シートを積層ステージに移送して、内側カッティングヘ
ッドを動作させ、積層する面積に打ち抜くと同時にこれ
を積層する。これにより、積層する部分のセラミックグ
リーンシートは巻き込みが生じないので、積層不良の発
生が減少する。巻き込みの生じた部分は、シート耳部と
して除去することができる。
According to the method of manufacturing the laminated electronic component, the ceramic green sheet supported by the reinforcing film is supplied, and the ceramic green sheet is cut into a larger size than the single sheet shape by the outer cutting head.
The cut-out ceramic green sheet is adsorbed and held and separated from the reinforcing sheet. At this time, the edge of the cut-out ceramic green sheet may be turned up and rolled up inward, but since it is adsorbed by the outer cutting head, the rollup remains within the range of the outer cutting head. Next, the cut-out ceramic green sheets are transferred to a laminating stage, the inner cutting head is operated, and punched into a laminating area, and at the same time laminating. As a result, the ceramic green sheets in the portion to be laminated are not rolled up, and the occurrence of stacking defects is reduced. The entangled portion can be removed as a sheet ear portion.

【0011】また、請求項2では、部品種に対応する導
体パターンを備えた単位シートを積層してなる積層型電
子部品の製造方法において、補強フィルムに支持された
セラミックグリーンシートを、外側カッティングヘッド
によって吸着しながら前記単位シートの形状よりも大き
く前記補強フィルムと共に切り出す工程と、該切り出し
たセラミックグリーンシートから前記補強フィルムを剥
離して積層ステージに移送する工程と、前記外側カッテ
ィングヘッドの内側に設けられた内側カッティングヘッ
ドによって、前記外側カッティングヘッドによって吸着
されているセラミックグリーンシートを前記単位シート
と同形状に切り出しながら前記積層ステージ上に積み重
ねる工程とを有する積層型電子部品の製造方法を提案す
る。
According to a second aspect of the present invention, in the method for manufacturing a laminated electronic component, which is formed by laminating unit sheets each having a conductor pattern corresponding to a component type, the ceramic green sheet supported by the reinforcing film is attached to the outer cutting head. A step of cutting together with the reinforcing film larger than the shape of the unit sheet while adsorbing, a step of peeling the reinforcing film from the cut-out ceramic green sheet and transferring it to a laminating stage, and a step of providing inside the outer cutting head And a step of stacking the ceramic green sheets adsorbed by the outer cutting head on the stacking stage while cutting out the ceramic green sheets attracted by the outer cutting head into the same shape as the unit sheet.

【0012】該積層型電子部品の製造方法によれば、補
強フィルムに支持されたセラミックグリーンシートを供
給して、外側カッティングヘッドによりセラミックグリ
ーンシートを前記補強フィルムと共に単体シートの形状
よりも大きく切り出し、該切り出したセラミックグリー
ンシートを吸着保持した後、該セラミックグリーンシー
トから前記補強シートを剥離する。このとき、切り出し
たセラミックグリーンシートの端縁がめくれて内側に巻
き込まれることがあるが、外側カッティングヘッドで吸
着を行っているので、巻き込みは外側カッティングヘッ
ドの範囲内に留まる。次に、切り出したセラミックグリ
ーンシートを積層ステージに移送して、前記外側カッテ
ィングヘッドに内接して設けられた内側カッティングヘ
ッドを動作させ、積層する面積に打ち抜くと同時にこれ
を積層する。これにより、積層する部分のセラミックグ
リーンシートは巻き込みが生じないので、積層不良の発
生が減少する。巻き込みの生じた部分は、シート耳部と
して除去することができる。
According to the method of manufacturing the laminated electronic component, the ceramic green sheet supported by the reinforcing film is supplied, and the ceramic green sheet is cut out by the outer cutting head together with the reinforcing film into a larger size than the shape of the single sheet. After the ceramic green sheet cut out is adsorbed and held, the reinforcing sheet is peeled off from the ceramic green sheet. At this time, the edge of the cut-out ceramic green sheet may be turned up and rolled up inward, but since it is adsorbed by the outer cutting head, the rollup remains within the range of the outer cutting head. Next, the cut-out ceramic green sheets are transferred to a laminating stage, and an inner cutting head provided inscribed in the outer cutting head is operated to punch out the laminating area and at the same time laminate it. As a result, the ceramic green sheets in the portion to be laminated are not rolled up, and the occurrence of stacking defects is reduced. The entangled portion can be removed as a sheet ear portion.

【0013】また、請求項3では、部品種に対応する導
体パターンを備えた単位シートを積層してなる積層型電
子部品の製造方法において、補強フィルムに支持された
セラミックグリーンシートを、外側カッティングヘッド
によって前記補強フィルムと共に前記単位シートの形状
よりも大きく切り出す工程と、該切り出したセラミック
グリーンシートを内側カッティングヘッドによって吸着
する工程と、前記内側カッティングヘッドによって吸着
されたセラミックグリーンシートから前記補強フィルム
を剥離した後、該セラミックグリーンシートを積層ステ
ージに移送する工程と、前記内側カッティングヘッドに
よって、吸着しているセラミックグリーンシートを前記
単位シートと同形状に切り出しながら前記積層ステージ
上に積み重ねる工程とを有する積層型電子部品の製造方
法を提案する。
According to a third aspect of the present invention, in the method of manufacturing a laminated electronic component in which unit sheets each having a conductor pattern corresponding to a component type are laminated, the ceramic green sheet supported by the reinforcing film is replaced with the outer cutting head. A step of cutting together with the reinforcing film a shape larger than the shape of the unit sheet; a step of sucking the cut ceramic green sheet by an inner cutting head; and a step of peeling the reinforcing film from the ceramic green sheet sucked by the inner cutting head. After that, a step of transferring the ceramic green sheets to the stacking stage, and a step of stacking the adsorbed ceramic green sheets on the stacking stage while cutting out the adsorbed ceramic green sheets into the same shape as the unit sheet by the inner cutting head. We propose a method of manufacturing a multilayer electronic component having and.

【0014】該積層型電子部品の製造方法によれば、補
強フィルムに支持されたセラミックグリーンシートを供
給して、外側カッティングヘッドによりセラミックグリ
ーンシートを前記補強シートと共に単体シートの形状よ
りも大きく切り出す。さらに、該切り出したセラミック
グリーンシートを内側カッティングヘッドによって吸着
保持し、該セラミックグリーンシートから前記補強シー
トを剥離する。このとき、切り出したセラミックグリー
ンシートの端縁がめくれて内側に巻き込まれることがあ
るが、内側カッティングヘッドで吸着を行っているの
で、巻き込みは内側カッティングヘッドの外周部内に留
まる。次に、切り出したセラミックグリーンシートを積
層ステージに移送して、内側カッティングヘッドを動作
させ、積層する面積に打ち抜くと同時にこれを積層す
る。これにより、積層する部分のセラミックグリーンシ
ートは巻き込みが生じないので、積層不良の発生が減少
する。巻き込みの生じた部分は、シート耳部として除去
することができる。
According to the method of manufacturing the laminated electronic component, the ceramic green sheet supported by the reinforcing film is supplied, and the ceramic green sheet is cut out by the outer cutting head together with the reinforcing sheet to a size larger than the shape of the single sheet. Further, the cut-out ceramic green sheet is adsorbed and held by an inner cutting head, and the reinforcing sheet is peeled from the ceramic green sheet. At this time, the edge of the cut-out ceramic green sheet may be turned up and may be wound inward, but since the suction is performed by the inner cutting head, the winding remains within the outer peripheral portion of the inner cutting head. Next, the cut-out ceramic green sheets are transferred to a laminating stage, the inner cutting head is operated, and punched into a laminating area, and at the same time laminating. As a result, the ceramic green sheets in the portion to be laminated are not rolled up, and the occurrence of stacking defects is reduced. The entangled portion can be removed as a sheet ear portion.

【0015】また、請求項4では、部品種に対応する導
体パターンを備えた単位シートを積層してなる積層型電
子部品の製造方法において、補強フィルムに支持された
セラミックグリーンシートを、外側カッティングヘッド
によって前記補強フィルムと共に前記単位シートの形状
よりも大きく切り出す工程と、該切り出したセラミック
グリーンシートを前記補強フィルムと共に積層する工程
と、該積層されたセラミックグリーンシートを内側カッ
ティングヘッドによって吸着し、吸着されたセラミック
グリーンシートから前記補強フィルムを剥離した後、該
セラミックグリーンシートを積層ステージに移送する工
程と、前記内側カッティングヘッドによって、吸着して
いるセラミックグリーンシートを前記単位シートと同形
状に切り出しながら前記積層ステージ上に積み重ねる工
程とを有する積層型電子部品の製造方法を提案する。
Further, in a fourth aspect of the present invention, in a method of manufacturing a laminated electronic component, which is formed by laminating unit sheets each having a conductor pattern corresponding to a component type, the ceramic green sheet supported by the reinforcing film is replaced with the outer cutting head. With the reinforcing film, a step of cutting out larger than the shape of the unit sheet, a step of laminating the cut out ceramic green sheet with the reinforcing film, and adsorbing the laminated ceramic green sheet by an inner cutting head, and adsorbing After peeling the reinforcing film from the ceramic green sheet, the ceramic green sheet is transferred to a stacking stage, and the adsorbed ceramic green sheet is cut into the same shape as the unit sheet by the inner cutting head. We propose a method of manufacturing a multilayer electronic component and a step of stacking on the stacking stage.

【0016】該積層型電子部品の製造方法によれば、補
強フィルムに支持されたセラミックグリーンシートを供
給して、外側カッティングヘッドによりセラミックグリ
ーンシートを前記補強シートと共に単体シートの形状よ
りも大きく切り出し、該切り出されたセラミックグリー
ンシートは前記補強シートと共に積層される。次いで、
補強シートと共に積層されたセラミックグリーンシート
は内側カッティングヘッドによって吸着保持され、該セ
ラミックグリーンシートから前記補強シートが剥離され
る。このとき、切り出したセラミックグリーンシートの
端縁がめくれて内側に巻き込まれることがあるが、内側
カッティングヘッドで吸着を行っているので、巻き込み
は内側カッティングヘッドの外周部内に留まる。次に、
切り出したセラミックシートを積層ステージに移送し
て、内側カッティングヘッドを動作させ、積層する面積
に打ち抜くと同時にこれを積層する。これにより、積層
する部分のセラミックシートは巻き込みが生じないの
で、積層不良の発生が減少する。巻き込みの生じた部分
は、シート耳部として除去することができる。
According to the method for manufacturing the laminated electronic component, the ceramic green sheet supported by the reinforcing film is supplied, and the ceramic green sheet is cut out by the outer cutting head together with the reinforcing sheet into a shape larger than the shape of the single sheet. The cut-out ceramic green sheet is laminated with the reinforcing sheet. Then
The ceramic green sheet laminated with the reinforcing sheet is adsorbed and held by the inner cutting head, and the reinforcing sheet is separated from the ceramic green sheet. At this time, the edge of the cut-out ceramic green sheet may be turned up and may be wound inward, but since the suction is performed by the inner cutting head, the winding remains within the outer peripheral portion of the inner cutting head. next,
The cut ceramic sheets are transferred to a laminating stage, and the inner cutting head is operated to punch out the laminating area and at the same time, laminating the ceramic sheets. As a result, the ceramic sheets in the portion to be laminated are not rolled up, and the occurrence of stacking defects is reduced. The entangled portion can be removed as a sheet ear portion.

【0017】また、請求項5では、部品種に対応する導
体パターンを備えた単位シートを積層してなる積層型電
子部品の製造装置において、積層する面積と同形状の内
側カッティングヘッドと、該内側カッティングヘッドの
周囲に密接し、かつ前記内側カッティングヘッドと独立
して動作すると共に、吸着手段を有する外側カッティン
グヘッドとを備えたシート打ち抜き装置を有する積層型
電子部品の製造装置を提案する。
According to a fifth aspect of the present invention, in a laminated electronic component manufacturing apparatus in which unit sheets having conductor patterns corresponding to component types are laminated, an inner cutting head having the same shape as the area to be laminated, and the inner cutting head. An apparatus for manufacturing a laminated electronic component having a sheet punching device that is in close contact with the periphery of a cutting head and that operates independently of the inner cutting head and that has an outer cutting head having suction means is proposed.

【0018】該積層型電子部品の製造装置によれば、例
えば、補強フィルムに支持されたセラミックグリーンシ
ートが供給されると、内側及び外側カッティングヘッド
を有するシート打ち抜き装置の外側カッティングヘッド
によって、積層する面積より大きな面積でセラミックグ
リーンシートの切り出しが行われ、補強フィルムから剥
離される。このとき、切り出したセラミックグリーンシ
ートの端縁がめくれて内側に巻き込まれることがある
が、外側カッティングヘッドで吸着を行っているので、
巻き込みは外側カッティングヘッドの範囲内に留まる。
この後、切り出したセラミックグリーンシートを積層ス
テージに移送し、前記内側カッティングヘッドを動作さ
せて、積層する面積に打ち抜くと同時にこれを積層す
る。これにより、積層する部分のセラミックグリーンシ
ートは巻き込みが生じないので、積層不良の発生が減少
する。さらに、巻き込みの生じた部分は、シート耳部と
して除去することができる。
According to the apparatus for manufacturing a laminated electronic component, for example, when the ceramic green sheets supported by the reinforcing film are supplied, the ceramic green sheets are laminated by the outer cutting head of the sheet punching apparatus having the inner and outer cutting heads. The ceramic green sheet is cut out in an area larger than the area and separated from the reinforcing film. At this time, the edge of the cut out ceramic green sheet may be turned up and caught inside, but since it is adsorbed by the outer cutting head,
The wraps remain within the outer cutting head.
After that, the cut-out ceramic green sheets are transferred to a laminating stage, and the inner cutting head is operated to punch the ceramic green sheets into a laminating area and at the same time laminating them. As a result, the ceramic green sheets in the portion to be laminated are not rolled up, and the occurrence of stacking defects is reduced. Furthermore, the part where the wrapping has occurred can be removed as a sheet ear.

【0019】また、請求項6では、請求項2記載の積層
型電子部品の製造装置において、前記内側カッティング
ヘッドに吸着手段を設けた積層型電子部品の製造装置を
提案する。
A sixth aspect of the present invention proposes a laminated electronic component manufacturing apparatus according to the second aspect, wherein the inner cutting head is provided with suction means.

【0020】該積層型電子部品の製造装置によれば、内
側カッティングヘッドで吸着を行っているので、切り出
したセラミックグリーンシートのほぼ全体を吸着でき、
移送を安定して行うことができる。
According to the laminated electronic component manufacturing apparatus, since the suction is performed by the inner cutting head, almost all of the cut out ceramic green sheet can be sucked,
The transfer can be performed stably.

【0021】また、請求項7では、部品種に対応する導
体パターンを備えた単位シートを積層してなる積層型電
子部品の製造装置において、積層する面積と同形状を有
し、吸着手段を備えた内側カッティングヘッドと、切断
位置において前記内側カッティングヘッドに対向して配
置され、前記内側カッティングヘッドの周囲に外接し、
かつ前記内側カッティングヘッドと独立して動作する外
側カッティングヘッドとを備えたシート打ち抜き装置を
有する積層型電子部品の製造装置を提案する。
According to a seventh aspect of the present invention, in a laminated electronic component manufacturing apparatus in which unit sheets each having a conductor pattern corresponding to a component type are laminated, the laminated electronic component has the same shape as the area to be laminated and is provided with a suction means. An inner cutting head, and is arranged to face the inner cutting head at a cutting position, and circumscribes the periphery of the inner cutting head,
Also proposed is a laminated electronic component manufacturing apparatus having a sheet punching device including the inner cutting head and an outer cutting head that operates independently.

【0022】該積層型電子部品の製造装置によれば、例
えば、補強フィルムに支持されたセラミックグリーンシ
ートが供給されると、内側及び外側カッティングヘッド
を有するシート打ち抜き装置の外側カッティングヘッド
によって、積層する面積より大きな面積でセラミックグ
リーンシートの切り出しが行われる。この後、切り出さ
れたセラミックグリーンシートは補強フィルムと共に内
側カッティングヘッドに吸着され、セラミックグリーン
シートから補強フィルムが剥離される。このとき、切り
出したセラミックグリーンシートの端縁がめくれて内側
に巻き込まれることがあるが、内側カッティングヘッド
で吸着を行っているので、巻き込みは内側カッティング
ヘッドの外周部内に留まる。この後、切り出したセラミ
ックグリーンシートを積層ステージに移送し、前記内側
カッティングヘッドを動作させて、積層する面積に打ち
抜くと同時にこれを積層する。これにより、積層する部
分のセラミックグリーンシートは巻き込みが生じないの
で、積層不良の発生が減少する。さらに、巻き込みの生
じた部分は、シート耳部として除去することができる。
According to the manufacturing apparatus of the laminated type electronic component, for example, when the ceramic green sheet supported by the reinforcing film is supplied, the ceramic green sheets are laminated by the outer cutting head of the sheet punching apparatus having the inner and outer cutting heads. The ceramic green sheet is cut out in an area larger than the area. After that, the cut-out ceramic green sheet is attracted to the inner cutting head together with the reinforcing film, and the reinforcing film is peeled from the ceramic green sheet. At this time, the edge of the cut-out ceramic green sheet may be turned up and may be wound inward, but since the suction is performed by the inner cutting head, the winding remains within the outer peripheral portion of the inner cutting head. After that, the cut-out ceramic green sheets are transferred to a laminating stage, and the inner cutting head is operated to punch the ceramic green sheets into a laminating area and at the same time laminating them. As a result, the ceramic green sheets in the portion to be laminated are not rolled up, and the occurrence of stacking defects is reduced. Furthermore, the part where the wrapping has occurred can be removed as a sheet ear.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。図1は本発明の第1の実施形態に
おける積層型電子部品の製造装置を示す構成図である。
図において、1は供給リール、2は巻取リール、3はガ
イドリール、4はテンションリール、5は剥離ブレー
ド、6は回収ボックス、7は切断リール、8はカッタ
ー、9は打抜テーブル、10は切り出し搬送ユニット、
11は積層ステージである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an apparatus for manufacturing a multilayer electronic component according to the first embodiment of the present invention.
In the figure, 1 is a supply reel, 2 is a take-up reel, 3 is a guide reel, 4 is a tension reel, 5 is a peeling blade, 6 is a recovery box, 7 is a cutting reel, 8 is a cutter, 9 is a punching table, 10 Is a cutout transport unit,
Reference numeral 11 is a stacking stage.

【0024】供給リール1には図2に示す帯状のセラミ
ックグリーンシート(以下単にグリーンシートと言う)
GSが巻き付けられている。このグリーンシートGS
は、PETフィルム等から成る帯状のキャリアテープK
Tによってその下面を支持され、その上面には電子部品
に対応した導体群Pが所定配列で形成されている。ま
た、各導体群Pの周囲には位置決めマーク(図示省略)
が複数個設けられている。ここに示したグリーンシート
GSは、例えば積層コンデンサ用のもので、5×6配列
の矩形状の導体群Pが長手方向に等間隔で形成されてい
る。また、図中の2点鎖線は、グリーンシートGSから
打ち抜かれるカットシートScの位置及び大きさを示し
ている。
A strip-shaped ceramic green sheet (hereinafter simply referred to as a green sheet) shown in FIG. 2 is provided on the supply reel 1.
The GS is wrapped around. This green sheet GS
Is a strip-shaped carrier tape K made of PET film or the like.
The lower surface is supported by T, and a conductor group P corresponding to the electronic component is formed in a predetermined array on the upper surface. Further, a positioning mark (not shown) is provided around each conductor group P.
Are provided in plural. The green sheet GS shown here is, for example, for a multilayer capacitor, and 5 × 6 arrayed rectangular conductor groups P are formed at equal intervals in the longitudinal direction. The two-dot chain line in the figure indicates the position and size of the cut sheet Sc punched from the green sheet GS.

【0025】供給リール1から繰り出されたグリーンシ
ートGSは、ガイドリール3及びテンションリール4を
介して切断リール7上に送り込まれ、さらにガイドリー
ル3を介して打抜テーブル9上に送り込まれた後、ガイ
ドリール3介して巻取リール2によって巻き取られる。
The green sheet GS delivered from the supply reel 1 is sent to the cutting reel 7 via the guide reel 3 and the tension reel 4, and then to the punching table 9 via the guide reel 3. It is wound by the take-up reel 2 via the guide reel 3.

【0026】巻取リール2にはモータ等の動力源が接続
されており、必要に応じて巻取リール2を回動させてグ
リーンシートGSの移動を行う。単位シート打ち抜き後
のグリーンシートGSの残材は剥離ブレード5によりキ
ャリアテープKTから掻き取られ回収ボックス6に回収
される。これにより、巻取リール2にはキャリアテープ
KTのみが巻き取られる。
A power source such as a motor is connected to the take-up reel 2, and the take-up reel 2 is rotated as necessary to move the green sheet GS. The residual material of the green sheet GS after punching the unit sheet is scraped off the carrier tape KT by the peeling blade 5 and collected in the collection box 6. As a result, only the carrier tape KT is wound on the take-up reel 2.

【0027】カッター8は、図3に示すように、軸両端
に2枚の円形刃8aを対向して備えており、切断リール
7との協働でグリーンシートGSの切断を行う。両円形
刃8aの間隔(切断間隔)は後述する単位シートStの
幅寸法に合致している。また、カッター8は切断リール
7の表面にバネ付勢されており、キャリアテープKTを
傷つけることなくグリーンシートGSのみを切断する。
As shown in FIG. 3, the cutter 8 is equipped with two circular blades 8a facing each other at both ends of the shaft, and cuts the green sheet GS in cooperation with the cutting reel 7. The interval (cutting interval) between both circular blades 8a matches the width dimension of the unit sheet St described later. Further, the cutter 8 is spring-biased on the surface of the cutting reel 7, and cuts only the green sheet GS without damaging the carrier tape KT.

【0028】打抜テーブル9は、図4に示すように、エ
アコンプレッサ等の吸引源に通じる複数の吸引口9a
と、テーブル自体を加熱する電熱ヒータ9bを備えてお
り、平坦な矩形状上面でキャリアテープKTを支承す
る。また、打抜テーブル9の前端はキャリアテープKT
がスムーズに滑動するよう曲面となっている。
As shown in FIG. 4, the punching table 9 has a plurality of suction ports 9a communicating with a suction source such as an air compressor.
And an electric heater 9b for heating the table itself, and the carrier tape KT is supported by a flat rectangular upper surface. Further, the front end of the punching table 9 is a carrier tape KT.
Is curved so that it can slide smoothly.

【0029】切り出し搬送ユニット10は、図4に示す
ように、切り出し対象となる形状に合致した平坦な矩形
状下面を有する上下動可能な内側カッティングヘッド1
0aと、該内側カッティングヘッド10aの周囲に上下
動可能に密接配置された外側カッティングヘッド10b
とを備えている。この外側カッティングヘッド10b
は、内側カッティングヘッド10aとは独立して上下動
できるようになっている。
As shown in FIG. 4, the cutting and conveying unit 10 has an inner cutting head 1 which is vertically movable and has a flat rectangular lower surface matching the shape to be cut out.
0a and an outer cutting head 10b closely arranged so as to be vertically movable around the inner cutting head 10a.
And This outer cutting head 10b
Can move up and down independently of the inner cutting head 10a.

【0030】また、内側カッティングヘッド10aに
は、エアコンプレッサ等の吸引源に通じる複数の吸引口
10cが設けられている。
Further, the inner cutting head 10a is provided with a plurality of suction ports 10c communicating with a suction source such as an air compressor.

【0031】外側カッティングヘッド10bは、吸着ブ
ロック10dと、吸着ブロック10dの外側に配置され
た矩形刃10eと、該矩形刃10eを下方に付勢するバ
ネ材10fと、これらを上下動させるエアシリンダ等か
ら構成されている。矩形刃10eの配置位置(切断位
置)は単位シートStの長さ寸法よりもやや大きめに設
定されている。
The outer cutting head 10b includes a suction block 10d, a rectangular blade 10e arranged outside the suction block 10d, a spring member 10f for urging the rectangular blade 10e downward, and an air cylinder for vertically moving these. Etc. The arrangement position (cutting position) of the rectangular blade 10e is set to be slightly larger than the length dimension of the unit sheet St.

【0032】また、吸着ブロック10dには、吸着され
るカットシートScの導体群Pから離れた外周位置に、
エアコンプレッサ等の吸引源に通じる複数の吸引口10
gが設けられており、吸着時に導体群P及びシート表面
に傷を付けない配慮がなされている。
In addition, the suction block 10d has an outer peripheral position separated from the conductor group P of the cut sheet Sc to be sucked,
A plurality of suction ports 10 leading to a suction source such as an air compressor
g is provided so that the conductor group P and the surface of the sheet are not damaged during adsorption.

【0033】この切り出し搬送ユニット10は、モータ
12aにより回転駆動されるボールネジ12bに装着さ
れており、打抜テーブル9と平行に前後動する。
The cutting and conveying unit 10 is mounted on a ball screw 12b which is rotationally driven by a motor 12a and moves back and forth in parallel with the punching table 9.

【0034】積層ステージ11には、エアシリンダ等に
より上下動可能な可動テーブル11aが設けられてお
り、これにより単位シートStに対応した形状の凹部1
1bが形成され、該凹部11b内に単位シートStが積
層される。
The stacking stage 11 is provided with a movable table 11a which can be moved up and down by an air cylinder or the like, which allows the concave portion 1 having a shape corresponding to the unit sheet St to be formed.
1b is formed, and the unit sheet St is stacked in the recess 11b.

【0035】次に、前述の構成よりなる本装置の動作を
図3乃至図12を参照しながら説明する。供給リール1
から繰り出されたグリーンシートGSは、キャリアテー
プKTを下にして切断リール7上を通過する。この通過
過程では、図3に示すように、カッター8の両円形刃8
aが所定のバネ付勢下でグリーンシートGSに食い込
み、これによりキャリアテープKTを傷つけることなく
グリーンシートGSのみが単位シートStの幅寸法で切
断される。
Next, the operation of the present apparatus having the above-mentioned structure will be described with reference to FIGS. Supply reel 1
The green sheet GS fed out from the sheet passes over the cutting reel 7 with the carrier tape KT facing down. In this passing process, as shown in FIG. 3, both circular blades 8 of the cutter 8 are
a bites into the green sheet GS under a predetermined spring bias, whereby only the green sheet GS is cut in the width dimension of the unit sheet St without damaging the carrier tape KT.

【0036】幅寸法の切断を完了したグリーンシートG
Sは、図4に示すように、打抜テーブル9上に送り込ま
れて停止し、吸引口9aに生じる負圧によりキャリアテ
ープKTを吸着されその停止状態を保持されると共に、
電熱ヒータ9bによるテーブル熱で加熱される。
Green sheet G whose width has been cut
As shown in FIG. 4, S is fed onto the punching table 9 and stopped, and the carrier tape KT is adsorbed by the negative pressure generated in the suction port 9a and the stopped state is held.
It is heated by the table heat by the electric heater 9b.

【0037】この後、図4に示すように、切り出し搬送
ユニット10が打抜テーブル9上に移動した後、図5に
示すように、切り出し搬送ユニット10が降下する。こ
の降下過程では、前後位置の矩形刃10eが所定のバネ
付勢下でグリーンシートGSに食い込み、これによりキ
ャリアテープKTを傷つけることなくグリーンシートG
Sのみが単位シートStの長さ寸法で切断される。グリ
ーンシートGSのバインダがテーブル熱により軟化して
いるのでここでの切断は容易に行うことができる。長さ
寸法の切断を完了したグリーンシート(カットシートS
c)は、切り出し搬送ユニット10の吸引口10c,1
0gに生じる負圧により吸着される。
After this, as shown in FIG. 4, the cutting and conveying unit 10 moves onto the punching table 9, and then, as shown in FIG. 5, the cutting and conveying unit 10 descends. In this descending process, the rectangular blades 10e at the front and rear positions bite into the green sheet GS under a predetermined spring force, whereby the green sheet G without damaging the carrier tape KT.
Only S is cut in the length dimension of the unit sheet St. Since the binder of the green sheet GS is softened by the heat of the table, the cutting here can be easily performed. Green sheet that has been cut to length (cut sheet S
c) is the suction ports 10c, 1 of the cutout transport unit 10.
It is adsorbed by the negative pressure generated at 0 g.

【0038】切り出し搬送ユニット降下後は、打抜テー
ブル9に対するキャリアテープKTの吸着が解かれ、図
6に示すように、打抜テーブル9がキャリアテープKT
の下を一定速度で滑りながらその下側のガイドリール3
と共に後退する。この後退過程では、所定のテンション
をもって繰り出されているグリーンシートGS及びキャ
リアテープKTが前方に引き込まれ、切断後のカットシ
ートScを切り出し搬送ユニット10側に残したままこ
れらが切り出し搬送ユニット10の下面から徐々に離れ
る。
After the cutting and conveying unit is lowered, the suction of the carrier tape KT on the punching table 9 is released, and as shown in FIG.
Guide reel 3 underneath while sliding underneath at a constant speed
Retreat with. In this backward movement process, the green sheet GS and the carrier tape KT which are fed out with a predetermined tension are drawn forward, and the cut sheet Sc after cutting is left on the side of the cutting and conveying unit 10 and these are the lower surface of the cutting and conveying unit 10. Gradually leave.

【0039】打抜テーブル9をガイドリール3と共に後
退させて剥離角度を一定に保っているので、打抜テーブ
ル9の後退によるカットシートScの剥離をスムーズに
行うことができる。図7に示すように、打抜テーブル9
及びガイドリール3の後退によりカットシートScが完
全に剥離したところで切り出し搬送ユニット10が上昇
する。
Since the punching table 9 is moved backward together with the guide reel 3 to keep the peeling angle constant, the cut sheet Sc can be smoothly peeled by the backward movement of the punching table 9. As shown in FIG. 7, the punching table 9
Also, when the cut sheet Sc is completely peeled off due to the backward movement of the guide reel 3, the cutout conveyance unit 10 is raised.

【0040】カットシートScを保持した切り出し搬送
ユニット10は、図8に示すように、積層ステージ11
の上部位置に移動し位置決めの後に停止する。
The cutting and conveying unit 10 holding the cut sheet Sc, as shown in FIG.
Move to the upper position of and stop after positioning.

【0041】切り出し搬送ユニット10が積層ステージ
11の位置で停止した後は、図9に示すように、切り出
し搬送ユニット10を下降させて積層ステージ11の凹
部11b上にカットシートScを押し当てると同時に、
図10に示すように内側カッティングヘッド10aのみ
をさらに下降させる。これにより、凹部11bのエッジ
部分と内側カッティングヘッド10aのエッジ部分によ
りカットシートScが切断され、単位シートStが切り
出されると同時に凹部11b内に積層される。
After the cutting and conveying unit 10 has stopped at the position of the laminating stage 11, as shown in FIG. 9, the cutting and conveying unit 10 is lowered to press the cut sheet Sc onto the concave portion 11b of the laminating stage 11 at the same time. ,
As shown in FIG. 10, only the inner cutting head 10a is further lowered. As a result, the cut sheet Sc is cut by the edge portion of the recess 11b and the edge portion of the inner cutting head 10a, and the unit sheet St is cut out and simultaneously stacked in the recess 11b.

【0042】次いで、内側カッティングヘッド10aの
吸引口10cからエアが吹き出されて、単位シートSt
は内側カッティングヘッド10aから離れて凹部11b
内に載置される。また、積層ステージ11上に残された
カッティングシートScの周縁部は耳部として取り除か
れる。
Next, air is blown out from the suction port 10c of the inner cutting head 10a, and the unit sheet St
Is recessed away from the inner cutting head 10a
Is placed inside. The peripheral edge of the cutting sheet Sc left on the stacking stage 11 is removed as an ear.

【0043】これにより、きわめて薄いセラミックグリ
ーンシートでも容易に取り扱いができ、また巻き込み等
の積層不良の発生を防ぐことができる。
As a result, even an extremely thin ceramic green sheet can be easily handled and the occurrence of stacking defects such as winding can be prevented.

【0044】この後、前述の工程が繰り返されて、積層
ステージ11の凹部11b内には図11に示すように複
数の単位シートStが積層される。規定枚数の単位シー
トが積層されると、図12に示すように可動テーブル1
1aが上昇して、積層体を取り出すことが可能となる。
After that, the above-described steps are repeated, and a plurality of unit sheets St are stacked in the recess 11b of the stacking stage 11 as shown in FIG. When the specified number of unit sheets are stacked, as shown in FIG.
1a rises and the laminated body can be taken out.

【0045】このように本実施形態によれば、きわめて
薄いセラミックグリーンシートでも容易に取り扱いがで
き、また巻き込み等の積層不良の発生を防ぐことができ
るので、小型で高機能の積層型電子部品を歩留まりよく
製造することができる。
As described above, according to this embodiment, even an extremely thin ceramic green sheet can be easily handled, and the occurrence of stacking defects such as winding can be prevented. Therefore, a compact and high-performance stacked electronic component can be obtained. It can be manufactured with high yield.

【0046】尚、本発明は積層コンデンサ以外の積層型
電子部品、例えば積層インダクタ、積層コイル、積層複
合部品等に幅広く適用でき、本実施形態と同様の効果を
得ることができることは言うまでもない。
Needless to say, the present invention can be widely applied to multilayer electronic components other than multilayer capacitors, such as multilayer inductors, multilayer coils, and multilayer composite components, and the same effects as those of this embodiment can be obtained.

【0047】また、本実施形態では、内側カッティング
ヘッド10aに吸引口10cを設けたが、これを設けな
くともほぼ同様の効果を得ることができる。
Further, in this embodiment, the suction port 10c is provided in the inner cutting head 10a, but the similar effect can be obtained without providing the suction port 10c.

【0048】また、内側カッティングヘッド10aの外
周全体に亘って外側カッティングヘッド10bを設け、
図13に示す第2の実施形態のように、セラミックグリ
ーンシートGSを方形状に切断するようにしても良い。
Further, an outer cutting head 10b is provided over the entire outer circumference of the inner cutting head 10a,
The ceramic green sheet GS may be cut into a rectangular shape as in the second embodiment shown in FIG.

【0049】次に、本発明の第3の実施形態を説明す
る。図14は第3の実施形態における製造方法の要部工
程を示す図である。図において、前述した第1の実施形
態と同一構成部分は同一符号をもって表しその説明を省
略する。ここでは、切り出し搬送ユニット10には内側
カッティングヘッド10aの外周全体に亘って外側カッ
ティングヘッド10bが設けられている。
Next, a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 14 is a diagram showing the main steps of the manufacturing method according to the third embodiment. In the figure, the same components as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. Here, the cutting and conveying unit 10 is provided with an outer cutting head 10b over the entire outer circumference of the inner cutting head 10a.

【0050】第3の実施形態では図14に示すように、
まず外側カッティングヘッド10bによってグリーンシ
ートGS及びキャリアテープKTを方形状に切断する。
この後、切断したグリーンシートGS(カットシートS
c)をキャリアテープKTと共にカッティングヘッド1
0a,10bに吸着して積層ステージ11に移送する。
この移送過程において、カットシートScに付着してい
るキャリアテープKTを剥離する。
In the third embodiment, as shown in FIG.
First, the outer cutting head 10b cuts the green sheet GS and the carrier tape KT into a rectangular shape.
After this, the cut green sheet GS (cut sheet S
c) with cutting tape 1 with carrier tape KT
It is adsorbed by 0a and 10b and transferred to the laminating stage 11.
In this transfer process, the carrier tape KT attached to the cut sheet Sc is peeled off.

【0051】切り出し搬送ユニット10が積層ステージ
11の位置で停止した後は、前述同様であり、図9に示
すように、切り出し搬送ユニット10を下降させて積層
ステージ11の凹部11b上にカットシートScを押し
当てると同時に、図10に示すように内側カッティング
ヘッド10aのみをさらに下降させる。これにより、凹
部11bのエッジ部分と内側カッティングヘッド10a
のエッジ部分によりカットシートScが切断され、単位
シートStが切り出されると同時に凹部11b内に積層
される。
After the cutting and conveying unit 10 is stopped at the position of the laminating stage 11, the same operation as described above is performed. As shown in FIG. 9, the cutting and conveying unit 10 is lowered to cut the cut sheet Sc on the concave portion 11b of the laminating stage 11. Simultaneously with pressing, the inner cutting head 10a alone is further lowered as shown in FIG. As a result, the edge of the recess 11b and the inner cutting head 10a
The cut sheet Sc is cut by the edge portion of, and the unit sheet St is cut out and at the same time stacked in the recess 11b.

【0052】次いで、内側カッティングヘッド10aの
吸引口10cからエアが吹き出されて、単位シートSt
は内側カッティングヘッド10aから離れて凹部11b
内に載置される。また、積層ステージ11上に残された
カッティングシートScの周縁部は耳部として取り除か
れる。
Next, air is blown out from the suction port 10c of the inner cutting head 10a, and the unit sheet St
Is recessed away from the inner cutting head 10a
Is placed inside. The peripheral edge of the cutting sheet Sc left on the stacking stage 11 is removed as an ear.

【0053】これにより、きわめて薄いセラミックグリ
ーンシートでも容易に取り扱いができ、また巻き込み等
の積層不良の発生を防ぐことができる。
As a result, even an extremely thin ceramic green sheet can be easily handled and the occurrence of stacking defects such as winding can be prevented.

【0054】この後、前述の工程が繰り返されて、積層
ステージ11の凹部11b内には図11に示すように複
数の単位シートStが積層される。規定枚数の単位シー
トが積層されると、図12に示すように可動テーブル1
1aが上昇して、積層体を取り出すことが可能となる。
After that, the above-described steps are repeated to stack a plurality of unit sheets St in the recess 11b of the stacking stage 11 as shown in FIG. When the specified number of unit sheets are stacked, as shown in FIG.
1a rises and the laminated body can be taken out.

【0055】このように本実施形態によっても、きわめ
て薄いセラミックグリーンシートでも容易に取り扱いが
でき、また巻き込み等の積層不良の発生を防ぐことがで
きるので、小型で高機能の積層型電子部品を歩留まりよ
く製造することができる。
As described above, according to the present embodiment, even an extremely thin ceramic green sheet can be easily handled and the occurrence of stacking defects such as winding can be prevented. Can be manufactured well.

【0056】次に、本発明の第4の実施形態を説明す
る。第4の実施形態では、図15に示すように、切り出
し搬送ユニット10には内側カッティングヘッド10a
のみが設けられており、外側カッティングヘッド10b
は打抜テーブル9内に上下動するように配設されてい
る。この他の構成部分においては、第1の実施形態と同
一構成部分は同一符号をもって表しその説明を省略す
る。
Next explained is the fourth embodiment of the invention. In the fourth embodiment, as shown in FIG. 15, the cutting and conveying unit 10 has an inner cutting head 10a.
Only the outer cutting head 10b is provided.
Is arranged in the punching table 9 so as to move up and down. In the other components, the same components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

【0057】次に、前述の構成よりなる本装置の動作を
図16乃至図23を参照しながら説明する。供給リール
1から繰り出されたグリーンシートGSは、キャリアテ
ープKTを下にして切断リール7上を通過する。この通
過過程では、図3に示すように、カッター8の両円形刃
8aが所定のバネ付勢下でグリーンシートGSに食い込
み、これによりキャリアテープKTと共にグリーンシー
トGSが単位シートStの幅寸法で切断される。
Next, the operation of the present apparatus having the above-mentioned structure will be described with reference to FIGS. The green sheet GS delivered from the supply reel 1 passes over the cutting reel 7 with the carrier tape KT facing down. In this passing process, as shown in FIG. 3, both circular blades 8a of the cutter 8 bite into the green sheet GS under a predetermined spring bias, whereby the carrier tape KT and the green sheet GS have the width dimension of the unit sheet St. Be disconnected.

【0058】幅寸法の切断を完了したグリーンシートG
Sは、図16に示すように、打抜テーブル9上に送り込
まれて停止し、吸引口9aに生じる負圧によりキャリア
テープKTが吸着されその停止状態を保持されると共
に、電熱ヒータ9bによるテーブル熱で加熱される。
Green sheet G whose width dimension has been cut
As shown in FIG. 16, S is fed to the punching table 9 and stopped, and the carrier tape KT is adsorbed by the negative pressure generated in the suction port 9a and the stopped state is held, and the table by the electric heater 9b is held. It is heated by heat.

【0059】この後、図17に示すように、切り出し搬
送ユニット10が打抜テーブル9上に移動した後、切り
出し搬送ユニット10が降下する。切り出し搬送ユニッ
ト10がグリーンシートGSに接触すると、打抜テーブ
ル9内から外側カッティングヘッド10bが上昇し、前
後位置の矩形刃10dが所定のバネ付勢下でキャリアテ
ープKT及びグリーンシートGSに食い込み、これによ
りキャリアテープKTと共にグリーンシートGSが単位
シートStの長さ寸法で切断される。
After that, as shown in FIG. 17, after the cutout transport unit 10 moves onto the punching table 9, the cutout transport unit 10 descends. When the cutting and conveying unit 10 comes into contact with the green sheet GS, the outer cutting head 10b rises from within the punching table 9, and the rectangular blades 10d at the front and rear positions bite into the carrier tape KT and the green sheet GS under a predetermined spring bias. As a result, the green sheet GS is cut along with the carrier tape KT in the length dimension of the unit sheet St.

【0060】グリーンシートGSのバインダがテーブル
熱により軟化しているのでここでの切断は容易に行うこ
とができる。長さ寸法の切断を完了したグリーンシート
(カットシートSc)は、切り出し搬送ユニット10の
吸引口10cに生じる負圧により吸着される。
Since the binder of the green sheet GS is softened by the heat of the table, the cutting here can be easily performed. The green sheet (cut sheet Sc) that has been cut into the length dimension is adsorbed by the negative pressure generated in the suction port 10c of the cutout transport unit 10.

【0061】切り出し搬送ユニット降下後は、打抜テー
ブル9に対するキャリアテープKTの吸着が解かれ、図
18に示すように、打抜テーブル9がキャリアテープK
Tの下を一定速度で滑りながらその下側のガイドリール
3と共に後退する。この後退過程では、所定のテンショ
ンをもって繰り出されているグリーンシートGS及びキ
ャリアテープKTが前方に引き込まれ、切断後のキャリ
アテープKTの付いたカットシートScを切り出し搬送
ユニット10側に残したままこれらが切り出し搬送ユニ
ット10の下面から徐々に離れる。
After the cutting and conveying unit descends, the suction of the carrier tape KT on the punching table 9 is released, and as shown in FIG.
While sliding under T at a constant speed, it retreats together with the lower guide reel 3. In this backward movement process, the green sheet GS and the carrier tape KT which are fed with a predetermined tension are drawn forward, and the cut sheet Sc with the cut carrier tape KT is cut out and left on the side of the transport unit 10. It gradually separates from the lower surface of the cutout transport unit 10.

【0062】打抜テーブル9をガイドリール3と共に後
退させて剥離角度を一定に保っているので、打抜テーブ
ル9の後退によるカットシートScの剥離をスムーズに
行うことができる。図19に示すように、打抜テーブル
9及びガイドリール3の後退によりカットシートScが
完全に剥離したところで切り出し搬送ユニット10が上
昇する。この後、図20に示すように、カットシートS
cに付着しているキャリアテープKTが剥離される。
Since the punching table 9 is moved backward together with the guide reel 3 to keep the peeling angle constant, the cut sheet Sc can be smoothly peeled by the backward movement of the punching table 9. As shown in FIG. 19, when the punching table 9 and the guide reel 3 are retracted, the cut sheet Sc is completely peeled off, and the cutout conveyance unit 10 is moved up. After this, as shown in FIG. 20, the cut sheet S
The carrier tape KT attached to c is peeled off.

【0063】次いで、カットシートScを保持した切り
出し搬送ユニット10は、図21に示すように、積層ス
テージ11の上部位置に移動し位置決めの後に停止す
る。
Next, as shown in FIG. 21, the cutout conveyance unit 10 holding the cut sheet Sc moves to the upper position of the stacking stage 11 and stops after positioning.

【0064】切り出し搬送ユニット10が積層ステージ
11の位置で停止した後は、図22に示すように、切り
出し搬送ユニット10を下降させて積層ステージ11の
凹部11b上にカットシートScを押し当てると同時
に、図23に示すように内側カッティングヘッド10a
のみをさらに下降させる。これにより、凹部11bのエ
ッジ部分と内側カッティングヘッド10aのエッジ部分
によりカットシートScが切断され、単位シートStが
切り出されると同時に凹部11b内に積層される。
After the cutting and conveying unit 10 stops at the position of the laminating stage 11, as shown in FIG. 22, the cutting and conveying unit 10 is lowered to press the cut sheet Sc onto the recess 11b of the laminating stage 11 at the same time. , The inner cutting head 10a as shown in FIG.
Only lowers further. As a result, the cut sheet Sc is cut by the edge portion of the recess 11b and the edge portion of the inner cutting head 10a, and the unit sheet St is cut out and simultaneously stacked in the recess 11b.

【0065】次いで、内側カッティングヘッド10aの
吸引口10cからエアが吹き出されて、単位シートSt
は内側カッティングヘッド10aから離れて凹部11b
内に載置される。また、積層ステージ11上に残された
カッティングシートScの周縁部は耳部として取り除か
れる。
Next, air is blown out from the suction port 10c of the inner cutting head 10a, and the unit sheet St
Is recessed away from the inner cutting head 10a
Is placed inside. The peripheral edge of the cutting sheet Sc left on the stacking stage 11 is removed as an ear.

【0066】これにより、きわめて薄いセラミックグリ
ーンシートでも容易に取り扱いができ、また巻き込み等
の積層不良の発生を防ぐことができる。
As a result, even an extremely thin ceramic green sheet can be easily handled and the occurrence of stacking defects such as winding can be prevented.

【0067】この後、前述の工程が繰り返されて、積層
ステージ11の凹部11b内には図11に示すように複
数の単位シートStが積層される。規定枚数の単位シー
トが積層されると、可動テーブル11aが上昇して、積
層体を取り出すことが可能となる。
After that, the above-described steps are repeated, and a plurality of unit sheets St are stacked in the recess 11b of the stacking stage 11 as shown in FIG. When the specified number of unit sheets are stacked, the movable table 11a rises, and the stacked body can be taken out.

【0068】このように本実施形態によっても、きわめ
て薄いセラミックグリーンシートでも容易に取り扱いが
でき、また巻き込み等の積層不良の発生を防ぐことがで
きるので、小型で高機能の積層型電子部品を歩留まりよ
く製造することができる。
As described above, according to this embodiment as well, an extremely thin ceramic green sheet can be easily handled, and the occurrence of stacking defects such as winding can be prevented. Can be manufactured well.

【0069】尚、本実施形態では、キャリアテープKT
及びグリーンシートGSの幅方向の切断をカッター8に
よって行ったが、内側カッティングヘッド10aの外周
全体に亘るように外側カッティングヘッド10bを設
け、前述した第2の実施形態のように、外側カッティン
グヘッド10bによってキャリアテープKT及びグリー
ンシートGSを方形状に切断するようにしても良い。
In this embodiment, the carrier tape KT
The cutting of the green sheet GS in the width direction is performed by the cutter 8. However, the outer cutting head 10b is provided so as to cover the entire outer circumference of the inner cutting head 10a, and the outer cutting head 10b is provided as in the second embodiment described above. Alternatively, the carrier tape KT and the green sheet GS may be cut into a rectangular shape.

【0070】また、切り出したカットシートScを一
旦、積層しておき、この後、積層されたカットシートS
cを内側カッティングヘッド10aによって吸着して、
キャリアテープKTを剥離し、積層ステージ11に移送
するようにしても良い。
The cut sheets Sc that have been cut out are once stacked, and then the cut sheets S that have been stacked are stacked.
c is adsorbed by the inner cutting head 10a,
The carrier tape KT may be peeled off and transferred to the laminating stage 11.

【0071】[0071]

【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項1乃
至4の何れかに記載の積層型電子部品の製造方法によれ
ば、きわめて薄いセラミックグリーンシートでも容易に
取り扱いができ、また巻き込み等の積層不良の発生を防
ぐことができるので、小型で高機能の積層型電子部品を
歩留まりよく製造することができる。
As described above, according to the method for manufacturing a laminated electronic component according to any one of claims 1 to 4 of the present invention, even an extremely thin ceramic green sheet can be easily handled and rolled up. Since it is possible to prevent the occurrence of stacking failure in (1), it is possible to manufacture a small-sized and highly-functional multilayer electronic component with a high yield.

【0072】また、請求項5記載の積層型電子部品の製
造装置によれば、きわめて薄いセラミックグリーンシー
トでも容易に取り扱いができ、また巻き込み等の積層不
良の発生を防ぐことができるので、小型で高機能の積層
型電子部品を歩留まりよく製造することができる。
According to the apparatus for manufacturing a laminated electronic component according to the fifth aspect, even an extremely thin ceramic green sheet can be easily handled and the occurrence of stacking defects such as entrainment can be prevented. Highly functional laminated electronic components can be manufactured with high yield.

【0073】さらに、請求項6記載の積層型電子部品の
製造装置によれば、上記の効果に加えて、内側カッティ
ングヘッドで吸着を行っているので、切り出したセラミ
ックグリーンシートのほぼ全体を吸着でき、移送を安定
して行うことができる。
Further, according to the laminated type electronic component manufacturing apparatus of the sixth aspect, in addition to the above effects, since the suction is performed by the inner cutting head, almost all of the cut out ceramic green sheet can be sucked. The transfer can be performed stably.

【0074】また、請求項7記載の積層型電子部品の製
造装置によれば、きわめて薄いセラミックグリーンシー
トでも容易に取り扱いができ、また巻き込み等の積層不
良の発生を防ぐことができるので、小型で高機能の積層
型電子部品を歩留まりよく製造することができる。
According to the apparatus for manufacturing a laminated electronic component according to the seventh aspect, even an extremely thin ceramic green sheet can be easily handled, and the occurrence of stacking defects such as winding can be prevented. Highly functional laminated electronic components can be manufactured with high yield.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態における積層型電子部
品の製造装置を示す構成図
FIG. 1 is a configuration diagram showing an apparatus for manufacturing a multilayer electronic component according to a first embodiment of the present invention.

【図2】第1の実施形態におけるグリーンシートを示す
上面図
FIG. 2 is a top view showing a green sheet according to the first embodiment.

【図3】第1の実施形態におけるグリーンシートの幅方
向切断の様子を示す図
FIG. 3 is a diagram showing a manner of cutting the green sheet in the width direction in the first embodiment.

【図4】第1の実施形態におけるグリーンシートの長さ
方向切断及びシート吸着の様子を示す図
FIG. 4 is a view showing a state of cutting a green sheet in a length direction and adsorbing a sheet in the first embodiment.

【図5】第1の実施形態におけるグリーンシートの長さ
方向切断及びシート吸着の様子を示す図
FIG. 5 is a view showing a state of cutting a green sheet in a length direction and adsorbing the sheet in the first embodiment.

【図6】第1の実施形態におけるグリーンシートのシー
ト剥離の様子を示す図
FIG. 6 is a diagram showing how the green sheet is peeled off in the first embodiment.

【図7】第1の実施形態におけるグリーンシートのシー
ト剥離の様子を示す図
FIG. 7 is a diagram showing how the green sheet is peeled off in the first embodiment.

【図8】第1の実施形態における単位シートの積層の様
子を示す図
FIG. 8 is a diagram showing how the unit sheets are stacked in the first embodiment.

【図9】第1の実施形態における単位シートの積層の様
子を示す図
FIG. 9 is a diagram showing how the unit sheets are stacked in the first embodiment.

【図10】第1の実施形態における単位シートの積層の
様子を示す図
FIG. 10 is a diagram showing how the unit sheets are stacked in the first embodiment.

【図11】第1の実施形態における単位シートの積層の
様子を示す図
FIG. 11 is a diagram showing how the unit sheets are stacked in the first embodiment.

【図12】第1の実施形態における単位シートの積層の
様子を示す図
FIG. 12 is a diagram showing how the unit sheets are stacked in the first embodiment.

【図13】第2の実施形態におけるグリーンシートの切
断状態を示す図
FIG. 13 is a diagram showing a cut state of a green sheet according to a second embodiment.

【図14】第3の実施形態における製造方法の要部工程
を示す図
FIG. 14 is a view showing a main process of a manufacturing method according to a third embodiment.

【図15】第4の実施形態における要部構成を示す図FIG. 15 is a diagram showing a configuration of a main part of a fourth embodiment.

【図16】第4の実施形態におけるグリーンシートの長
さ方向切断及びシート吸着の様子を示す図
FIG. 16 is a view showing a state of cutting a green sheet in the length direction and adsorbing the sheet in the fourth embodiment.

【図17】第4の実施形態におけるグリーンシートの長
さ方向切断及びシート吸着の様子を示す図
FIG. 17 is a view showing a state of cutting a green sheet in a length direction and adsorbing a sheet in the fourth embodiment.

【図18】第4の実施形態におけるグリーンシートのシ
ート剥離の様子を示す図
FIG. 18 is a diagram showing how a green sheet according to a fourth embodiment is peeled off.

【図19】第4の実施形態におけるグリーンシートのシ
ート剥離の様子を示す図
FIG. 19 is a diagram showing how the green sheet is peeled off in the fourth embodiment.

【図20】第4の実施形態におけるキャリアテープ剥離
の様子を示す図
FIG. 20 is a diagram showing how the carrier tape is peeled off in the fourth embodiment.

【図21】第4の実施形態における単位シートの積層の
様子を示す図
FIG. 21 is a diagram showing how the unit sheets are stacked in the fourth embodiment.

【図22】第4の実施形態における単位シートの積層の
様子を示す図
FIG. 22 is a diagram showing how the unit sheets are stacked in the fourth embodiment.

【図23】第4の実施形態における単位シートの積層の
様子を示す図
FIG. 23 is a diagram showing how the unit sheets are stacked in the fourth embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…供給リール、2…巻取リール、3…ガイドリール、
4…テンションリール、5…剥離ブレード、6…回収ボ
ックス、7…切断リール、8…カッター、9…打抜テー
ブル、10…切り出し搬送ユニット、10a…内側カッ
ティングヘッド、10b…外側カッティングヘッド、1
0c…吸引口、10d…吸着ブロック、10e…矩形
刃、10f…バネ材、10g…吸引口、11…積層ステ
ージ、11a…可動テーブル、11b…凹部。
1 ... Supply reel, 2 ... Take-up reel, 3 ... Guide reel,
4 ... Tension reel, 5 ... Peeling blade, 6 ... Collection box, 7 ... Cutting reel, 8 ... Cutter, 9 ... Punching table, 10 ... Cutting transport unit, 10a ... Inner cutting head, 10b ... Outer cutting head, 1
0c ... Suction port, 10d ... Suction block, 10e ... Rectangular blade, 10f ... Spring material, 10g ... Suction port, 11 ... Stacking stage, 11a ... Movable table, 11b ... Recessed portion.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 部品種に対応する導体パターンを備えた
単位シートを積層してなる積層型電子部品の製造方法に
おいて、 補強フィルムに支持されたセラミックグリーンシート
を、外側カッティングヘッドによって吸着しながら前記
単位シートの形状よりも大きく切り出す工程と、 該切り出したセラミックグリーンシートを前記補強フィ
ルムから剥離して積層ステージに移送する工程と、 前記外側カッティングヘッドの内側に設けられた内側カ
ッティングヘッドによって、前記外側カッティングヘッ
ドで吸着されているセラミックグリーンシートを前記単
位シートと同形状に切り出しながら前記積層ステージ上
に積み重ねる工程とを有することを特徴とする積層型電
子部品の製造方法。
1. A method of manufacturing a laminated electronic component, which comprises laminating unit sheets having conductor patterns corresponding to component types, wherein a ceramic green sheet supported by a reinforcing film is adsorbed by an outer cutting head. A step of cutting out the ceramic green sheet larger than the shape of the unit sheet; a step of peeling the cut out ceramic green sheet from the reinforcing film and transferring it to a laminating stage; and an outer cutting head provided inside the outer cutting head, And a step of stacking the ceramic green sheets adsorbed by a cutting head on the laminating stage while cutting out the ceramic green sheets into the same shape as the unit sheets.
【請求項2】 部品種に対応する導体パターンを備えた
単位シートを積層してなる積層型電子部品の製造方法に
おいて、 補強フィルムに支持されたセラミックグリーンシート
を、外側カッティングヘッドによって吸着しながら前記
単位シートの形状よりも大きく前記補強フィルムと共に
切り出す工程と、 該切り出したセラミックグリーンシートから前記補強フ
ィルムを剥離して積層ステージに移送する工程と、 前記外側カッティングヘッドの内側に設けられた内側カ
ッティングヘッドによって、前記外側カッティングヘッ
ドによって吸着されているセラミックグリーンシートを
前記単位シートと同形状に切り出しながら前記積層ステ
ージ上に積み重ねる工程とを有することを特徴とする積
層型電子部品の製造方法。
2. A method for manufacturing a laminated electronic component, which comprises laminating unit sheets each having a conductor pattern corresponding to a component type, wherein the ceramic green sheet supported by a reinforcing film is adsorbed by an outer cutting head. A step of cutting together with the reinforcing film larger than the shape of a unit sheet, a step of peeling the reinforcing film from the cut ceramic green sheet and transferring it to a laminating stage, and an inner cutting head provided inside the outer cutting head. And stacking the ceramic green sheets adsorbed by the outer cutting head on the stacking stage while cutting out the ceramic green sheets in the same shape as the unit sheets.
【請求項3】 部品種に対応する導体パターンを備えた
単位シートを積層してなる積層型電子部品の製造方法に
おいて、 補強フィルムに支持されたセラミックグリーンシート
を、外側カッティングヘッドによって前記補強フィルム
と共に前記単位シートの形状よりも大きく切り出す工程
と、 該切り出したセラミックグリーンシートを内側カッティ
ングヘッドによって吸着する工程と、 前記内側カッティングヘッドによって吸着されたセラミ
ックグリーンシートから前記補強フィルムを剥離した
後、該セラミックグリーンシートを積層ステージに移送
する工程と、 前記内側カッティングヘッドによって、吸着しているセ
ラミックグリーンシートを前記単位シートと同形状に切
り出しながら前記積層ステージ上に積み重ねる工程とを
有することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
3. A method of manufacturing a laminated electronic component, which comprises laminating unit sheets each having a conductor pattern corresponding to a component type, wherein a ceramic green sheet supported by a reinforcement film is provided together with the reinforcement film by an outer cutting head. A step of cutting out larger than the shape of the unit sheet; a step of adsorbing the cut out ceramic green sheet by an inner cutting head; and a step of separating the reinforcing film from the ceramic green sheet adsorbed by the inner cutting head, and then the ceramic A step of transferring the green sheet to a stacking stage, and a step of stacking on the stacking stage while cutting out the adsorbed ceramic green sheet into the same shape as the unit sheet by the inner cutting head. Method of manufacturing a multilayer electronic component according to claim.
【請求項4】 部品種に対応する導体パターンを備えた
単位シートを積層してなる積層型電子部品の製造方法に
おいて、 補強フィルムに支持されたセラミックグリーンシート
を、外側カッティングヘッドによって前記補強フィルム
と共に前記単位シートの形状よりも大きく切り出す工程
と、 該切り出したセラミックグリーンシートを前記補強フィ
ルムと共に積層する工程と、 該積層されたセラミックグリーンシートを内側カッティ
ングヘッドによって吸着し、吸着されたセラミックグリ
ーンシートから前記補強フィルムを剥離した後、該セラ
ミックグリーンシートを積層ステージに移送する工程
と、 前記内側カッティングヘッドによって、吸着しているセ
ラミックグリーンシートを前記単位シートと同形状に切
り出しながら前記積層ステージ上に積み重ねる工程とを
有することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
4. A method for manufacturing a laminated electronic component, which comprises laminating unit sheets each having a conductor pattern corresponding to a component type, wherein a ceramic green sheet supported by a reinforcement film is formed together with the reinforcement film by an outer cutting head. A step of cutting out larger than the shape of the unit sheet; a step of laminating the cut out ceramic green sheet together with the reinforcing film; a step of adsorbing the laminated ceramic green sheet by an inner cutting head, and A step of transferring the ceramic green sheet to a laminating stage after peeling the reinforcing film; and a step of cutting the adsorbed ceramic green sheet into the same shape as the unit sheet by the inner cutting head, Production method of a multilayer electronic device, characterized by a step of stacking up.
【請求項5】 部品種に対応する導体パターンを備えた
単位シートを積層してなる積層型電子部品の製造装置に
おいて、 積層する面積と同形状の内側カッティングヘッドと、 該内側カッティングヘッドの周囲に密接し、かつ前記内
側カッティングヘッドと独立して動作すると共に、吸着
手段を有する外側カッティングヘッドとを備えたシート
打ち抜き装置を有することを特徴とする積層型電子部品
の製造装置。
5. An apparatus for manufacturing a laminated electronic component, which is formed by laminating unit sheets each having a conductor pattern corresponding to a component type, in an inner cutting head having the same shape as the area to be laminated, and around the inner cutting head. An apparatus for manufacturing a multi-layer electronic component, comprising a sheet punching device that is in close contact and operates independently of the inner cutting head, and has an outer cutting head having a suction means.
【請求項6】 前記内側カッティングヘッドに吸着手段
を設けたことを特徴とする請求項5記載の積層型電子部
品の製造装置。
6. An apparatus for manufacturing a laminated electronic component according to claim 5, wherein said inner cutting head is provided with a suction means.
【請求項7】 部品種に対応する導体パターンを備えた
単位シートを積層してなる積層型電子部品の製造装置に
おいて、 積層する面積と同形状を有し、吸着手段を備えた内側カ
ッティングヘッドと、 切断位置において前記内側カッティングヘッドに対向し
て配置され、前記内側カッティングヘッドの周囲に外接
し、かつ前記内側カッティングヘッドと独立して動作す
る外側カッティングヘッドとを備えたシート打ち抜き装
置を有することを特徴とする積層型電子部品の製造装
置。
7. An apparatus for manufacturing a laminated electronic component, which is formed by laminating unit sheets having conductor patterns corresponding to component types, and has an inner cutting head having the same shape as the laminating area and provided with suction means. A sheet punching device having an outer cutting head that is disposed opposite to the inner cutting head in a cutting position, is circumscribed around the inner cutting head, and has an outer cutting head that operates independently of the inner cutting head. Characteristic multi-layer electronic component manufacturing equipment.
JP20208495A 1995-08-08 1995-08-08 Method and apparatus for manufacturing laminated electronic component Withdrawn JPH0948019A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003529942A (en) * 2000-04-01 2003-10-07 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング Method and apparatus for manufacturing a multilayer actuator
US7211164B2 (en) * 2003-05-13 2007-05-01 Murata Manufacturing Co., Ltd. Lamination apparatus for ceramic green sheet and lamination method

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