JPH0936135A - 樹脂封止装置におけるテープ搬送機構 - Google Patents
樹脂封止装置におけるテープ搬送機構Info
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- JPH0936135A JPH0936135A JP20409195A JP20409195A JPH0936135A JP H0936135 A JPH0936135 A JP H0936135A JP 20409195 A JP20409195 A JP 20409195A JP 20409195 A JP20409195 A JP 20409195A JP H0936135 A JPH0936135 A JP H0936135A
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Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 無テンションのＴＣＰテープ送りであって、
異常なたるみを防ぎ且つ回転ローラを不要としてテープ
の巻き付きを防止した、樹脂封止装置におけるテープ搬
送機構を提供する。 【解決手段】 ＴＣＰテープにボンディングされた半導
体チップの表面に、樹脂を滴下して保護膜を形成する樹
脂封止装置におけるテープ搬送機構において、リールに
巻かれているＴＣＰテープを送り出す際に自重で垂下さ
せるように構成し、このＴＣＰテープを固定ガイドで案
内して樹脂滴下領域まで搬送する。ＴＣＰテープを自重
で垂下させる構成は、リールの幅を拡張するリール幅拡
張手段と、ＴＣＰテープの垂下量を検出するテープ垂下
量検出手段とから成る。
異常なたるみを防ぎ且つ回転ローラを不要としてテープ
の巻き付きを防止した、樹脂封止装置におけるテープ搬
送機構を提供する。 【解決手段】 ＴＣＰテープにボンディングされた半導
体チップの表面に、樹脂を滴下して保護膜を形成する樹
脂封止装置におけるテープ搬送機構において、リールに
巻かれているＴＣＰテープを送り出す際に自重で垂下さ
せるように構成し、このＴＣＰテープを固定ガイドで案
内して樹脂滴下領域まで搬送する。ＴＣＰテープを自重
で垂下させる構成は、リールの幅を拡張するリール幅拡
張手段と、ＴＣＰテープの垂下量を検出するテープ垂下
量検出手段とから成る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂封止装置にお
けるテープ搬送機構に関する。
けるテープ搬送機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６に示すように、ＴＣＰテープＡにボ
ンディングされた半導体チップＢに樹脂液を滴下して保
護膜を形成するようにした樹脂封止装置があり、これは
例えば図７に示すようにＴＣＰテープＡを送り出すロー
ダ部Ｃと、樹脂液を滴下するポッティング部Ｄと、ヒー
タＥを備えたドライヤ部Ｆと、リールに巻き取るアンロ
ーダ部Ｇとから構成されている。前記ローダ部Ｃにおい
ては、リールＨに巻かれたＴＣＰテープＡがテンション
ローラＩ及び回転ローラＪを介して引き出され、且つ送
りローラＫによって樹脂滴下領域まで搬送されるように
なっている。
ンディングされた半導体チップＢに樹脂液を滴下して保
護膜を形成するようにした樹脂封止装置があり、これは
例えば図７に示すようにＴＣＰテープＡを送り出すロー
ダ部Ｃと、樹脂液を滴下するポッティング部Ｄと、ヒー
タＥを備えたドライヤ部Ｆと、リールに巻き取るアンロ
ーダ部Ｇとから構成されている。前記ローダ部Ｃにおい
ては、リールＨに巻かれたＴＣＰテープＡがテンション
ローラＩ及び回転ローラＪを介して引き出され、且つ送
りローラＫによって樹脂滴下領域まで搬送されるように
なっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の樹脂封止装
置では、ＴＣＰテープＡを引き出す際にテンションを掛
けるため、テープＡに損傷が生じたり、半導体チップＢ
に傷が付いたり或は欠けたりすることがある。このよう
な不都合を防止するため、前記テンションローラＩを廃
止してリールＨからＴＣＰテープＡを自重により垂ら
し、回転ローラＪ及び送りローラＫを介して樹脂滴下領
域まで搬送するようにしたものもあるが、この場合タイ
ミングのずれ等によって回転ローラＪと送りローラＫと
の間でたるみが生じ、ＴＣＰテープＡが回転ローラＪに
巻き付く等の問題が生じた。又、このような現象はＴＣ
Ｐテープの送り出し側のみならず、前記アンローダ部Ｇ
でのテープ巻き取り側においても同様に生じる。そこ
で、本発明は前記従来の問題を解決するためになされ、
無テンションのテープ送りであって、異常なたるみを防
止し且つ回転ローラを不要としてテープの巻き付きが生
じないようにした、樹脂封止装置におけるテープ搬送機
構を提供することを課題とする。
置では、ＴＣＰテープＡを引き出す際にテンションを掛
けるため、テープＡに損傷が生じたり、半導体チップＢ
に傷が付いたり或は欠けたりすることがある。このよう
な不都合を防止するため、前記テンションローラＩを廃
止してリールＨからＴＣＰテープＡを自重により垂ら
し、回転ローラＪ及び送りローラＫを介して樹脂滴下領
域まで搬送するようにしたものもあるが、この場合タイ
ミングのずれ等によって回転ローラＪと送りローラＫと
の間でたるみが生じ、ＴＣＰテープＡが回転ローラＪに
巻き付く等の問題が生じた。又、このような現象はＴＣ
Ｐテープの送り出し側のみならず、前記アンローダ部Ｇ
でのテープ巻き取り側においても同様に生じる。そこ
で、本発明は前記従来の問題を解決するためになされ、
無テンションのテープ送りであって、異常なたるみを防
止し且つ回転ローラを不要としてテープの巻き付きが生
じないようにした、樹脂封止装置におけるテープ搬送機
構を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、ＴＣＰテープにボン
ディングされた半導体チップの表面に樹脂を滴下して保
護膜を形成する、樹脂封止装置におけるテープ搬送機構
において、リールに巻かれているＴＣＰテープを送り出
す際に自重で垂下させるように構成し、このＴＣＰテー
プを固定ガイドで案内して樹脂滴下領域まで搬送するよ
うにした機構を少なくとも含む、樹脂封止装置における
テープ搬送機構を要旨とする。更に、ＴＣＰテープを自
重で垂下させる構成は、リールの幅を拡張するリール幅
拡張手段と、ＴＣＰテープの垂下量を検出するテープ垂
下量検出手段とから成ることを要旨とする。
するための手段として、本発明は、ＴＣＰテープにボン
ディングされた半導体チップの表面に樹脂を滴下して保
護膜を形成する、樹脂封止装置におけるテープ搬送機構
において、リールに巻かれているＴＣＰテープを送り出
す際に自重で垂下させるように構成し、このＴＣＰテー
プを固定ガイドで案内して樹脂滴下領域まで搬送するよ
うにした機構を少なくとも含む、樹脂封止装置における
テープ搬送機構を要旨とする。更に、ＴＣＰテープを自
重で垂下させる構成は、リールの幅を拡張するリール幅
拡張手段と、ＴＣＰテープの垂下量を検出するテープ垂
下量検出手段とから成ることを要旨とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳説する。図１は樹脂封止装置のテープ
送り出し側（ローダ部）を示すもので、１は上部に装着
された送り出し用のリールであり、このリールに巻かれ
たＴＣＰテープ２が自重により垂れ下がるようにしてあ
る。
図面に基づいて詳説する。図１は樹脂封止装置のテープ
送り出し側（ローダ部）を示すもので、１は上部に装着
された送り出し用のリールであり、このリールに巻かれ
たＴＣＰテープ２が自重により垂れ下がるようにしてあ
る。
【０００６】３は前記リール１の横に配設された第１の
リール幅拡張手段であり、ガイドレール４を介して水平
方向に移動自在に形成され、図２に示すように前面には
一定の間隔Ｌ1 をあけて複数（図例では４個）のローラ
３ａがリール１を保持する支軸５の軸線方向と平行に並
設され、且つ上面には所定の間隔Ｌ2 をあけて２個のロ
ーラ３ｂが並設されている。
リール幅拡張手段であり、ガイドレール４を介して水平
方向に移動自在に形成され、図２に示すように前面には
一定の間隔Ｌ1 をあけて複数（図例では４個）のローラ
３ａがリール１を保持する支軸５の軸線方向と平行に並
設され、且つ上面には所定の間隔Ｌ2 をあけて２個のロ
ーラ３ｂが並設されている。
【０００７】この第１のリール幅拡張手段３は、止めね
じ３ｃを緩めると前記ガイドレール４に沿って移動させ
ると共に中心軸３ｄ回りに自由回転させることが出来、
例えば図２に示すように前面４個のローラのうち中２つ
のローラ３ａをリール１の両側板間に挿入すると、リー
ル１の巻き幅Ｗが僅かに拡げられる。従って、リール１
に巻かれたＴＣＰテープ２は、巻き幅の拡張された部分
においてリール１との接触抵抗が減少し、自重により垂
下し易くなっている。
じ３ｃを緩めると前記ガイドレール４に沿って移動させ
ると共に中心軸３ｄ回りに自由回転させることが出来、
例えば図２に示すように前面４個のローラのうち中２つ
のローラ３ａをリール１の両側板間に挿入すると、リー
ル１の巻き幅Ｗが僅かに拡げられる。従って、リール１
に巻かれたＴＣＰテープ２は、巻き幅の拡張された部分
においてリール１との接触抵抗が減少し、自重により垂
下し易くなっている。
【０００８】６は第１のリール幅拡張手段３の反対側に
配設された第２のリール幅拡張手段であり、ガイドレー
ル７を介して水平からほぼ４５度下がった位置でリール
１の中心方向に移動自在に形成され、第１のリール幅拡
張手段と同様に４個のローラと、間隔の大きい２個のロ
ーラと、止めねじとを有している。この第２のリール幅
拡張手段６は、リール１の下部付近の巻き幅を僅かに拡
げることにより、前記第１のリール幅拡張手段３と相俟
ってＴＣＰテープ２の自重による垂れ下がりを助長す
る。
配設された第２のリール幅拡張手段であり、ガイドレー
ル７を介して水平からほぼ４５度下がった位置でリール
１の中心方向に移動自在に形成され、第１のリール幅拡
張手段と同様に４個のローラと、間隔の大きい２個のロ
ーラと、止めねじとを有している。この第２のリール幅
拡張手段６は、リール１の下部付近の巻き幅を僅かに拡
げることにより、前記第１のリール幅拡張手段３と相俟
ってＴＣＰテープ２の自重による垂れ下がりを助長す
る。
【０００９】ＴＣＰテープ２の種類によってリールの巻
き幅が異なる場合は、挿入するローラ３ａの数を変え又
は中心軸３ｄ回りに回転させて間隔の異なるローラ３ｂ
を使用することで、種々のリール１の巻き幅に対応させ
ることが出来る。これらのローラ３ａ、３ｂはいずれも
リール１の回転に伴って従動するので、リール１の回転
を阻害することはない。
き幅が異なる場合は、挿入するローラ３ａの数を変え又
は中心軸３ｄ回りに回転させて間隔の異なるローラ３ｂ
を使用することで、種々のリール１の巻き幅に対応させ
ることが出来る。これらのローラ３ａ、３ｂはいずれも
リール１の回転に伴って従動するので、リール１の回転
を阻害することはない。
【００１０】８は前記リール１の下方に配設された一対
の補助ガイドであり、略半円形の２枚の板片８ａが図３
に示すように所定の間隔をあけてシャフト８ｂにより連
結され、且つ一方の補助ガイドに取り付けたアーム８ｃ
を差し渡して、前記自重により垂れ下がったＴＣＰテー
プ２の動きをある程度規制するようにしてある。即ち、
一対の補助ガイド８間にＴＣＰテープ２を通すことで、
このＴＣＰテープ２の前後、左右の揺動が大き過ぎない
ように一定の範囲内に抑えることが出来る。
の補助ガイドであり、略半円形の２枚の板片８ａが図３
に示すように所定の間隔をあけてシャフト８ｂにより連
結され、且つ一方の補助ガイドに取り付けたアーム８ｃ
を差し渡して、前記自重により垂れ下がったＴＣＰテー
プ２の動きをある程度規制するようにしてある。即ち、
一対の補助ガイド８間にＴＣＰテープ２を通すことで、
このＴＣＰテープ２の前後、左右の揺動が大き過ぎない
ように一定の範囲内に抑えることが出来る。
【００１１】前記補助ガイド８の略半円形板片８ａは、
一方が前記シャフト８ｂに対して移動出来るように形成
し、２枚の板片の間隔をＴＣＰテープ２の幅に合わせて
調節出来るようにすると好ましく、この際例えばシャフ
ト８ｂに位置合わせ用の溝８ｄを複数個設け、この溝８
ｄに板片をバネ付きのボール等を介して固定出来るよう
にすると良い。
一方が前記シャフト８ｂに対して移動出来るように形成
し、２枚の板片の間隔をＴＣＰテープ２の幅に合わせて
調節出来るようにすると好ましく、この際例えばシャフ
ト８ｂに位置合わせ用の溝８ｄを複数個設け、この溝８
ｄに板片をバネ付きのボール等を介して固定出来るよう
にすると良い。
【００１２】９は補助ガイド８の前方に配設された固定
ガイドであり、２枚の板片９ａが図４に示すように所定
の間隔をあけてシャフト９ｂで連結され、片方の板片が
シャフト９ｂに対して移動出来るように形成し、２枚の
板片の間隔を前記ＴＣＰテープ２の幅に合わせて調節出
来るようにしてある。この際、シャフト９ｂに位置合わ
せ用の溝９ｃを複数個設け、この溝９ｃを適宜選択して
板片を固定出来るようにする。
ガイドであり、２枚の板片９ａが図４に示すように所定
の間隔をあけてシャフト９ｂで連結され、片方の板片が
シャフト９ｂに対して移動出来るように形成し、２枚の
板片の間隔を前記ＴＣＰテープ２の幅に合わせて調節出
来るようにしてある。この際、シャフト９ｂに位置合わ
せ用の溝９ｃを複数個設け、この溝９ｃを適宜選択して
板片を固定出来るようにする。
【００１３】前記固定ガイド９の板片９ａは、上端部が
略円弧状に湾曲形成され、内面側の上縁には段部９ｄが
それぞれ形成され、この段部９ｄで前記ＴＣＰテープ２
の両側部を受止してテープ送りするようになっている。
この板片９ａの素材は、摩擦による静電気が生じ難く且
つ摩耗し難い材質例えばテフロン系＋カーボン系の導電
性樹脂が好ましい。又、ナイロン系＋カーボン系でも良
く、なるべく高分子系の材質が適する。
略円弧状に湾曲形成され、内面側の上縁には段部９ｄが
それぞれ形成され、この段部９ｄで前記ＴＣＰテープ２
の両側部を受止してテープ送りするようになっている。
この板片９ａの素材は、摩擦による静電気が生じ難く且
つ摩耗し難い材質例えばテフロン系＋カーボン系の導電
性樹脂が好ましい。又、ナイロン系＋カーボン系でも良
く、なるべく高分子系の材質が適する。
【００１４】１０はテープ垂下量検出手段であり、図示
の例では発光素子と受光素子から構成された光センサが
用いられ、即ち一方の素子例えば発光素子１０ａを前記
固定ガイド９の板片９ａの端部に取り付けると共に、受
光素子１０ｂを前記補助ガイド８の略半円形板片８ａに
取付片１１を介して取り付ける。この場合、テープ垂下
量検出手段１０は上下に２セット配設されている。
の例では発光素子と受光素子から構成された光センサが
用いられ、即ち一方の素子例えば発光素子１０ａを前記
固定ガイド９の板片９ａの端部に取り付けると共に、受
光素子１０ｂを前記補助ガイド８の略半円形板片８ａに
取付片１１を介して取り付ける。この場合、テープ垂下
量検出手段１０は上下に２セット配設されている。
【００１５】前記テープ垂下量検出手段１０は、リール
１から垂れ下がったＴＣＰテープ２の垂れ量を検出する
ことが出来、ＴＣＰテープ２がポッティング部の樹脂滴
下領域Ｐに送られる際、自重により垂下した湾曲部２ａ
を検出し、下のセンサが検出した時点では垂れ過ぎであ
るから前記リール１の回転を減速若しくは一時停止させ
る信号が発せられ、上のセンサが検出できない時には垂
れ量が少なすぎるのでリール１の回転を速める信号が発
せられる。つまり、上下のセンサ間にＴＣＰテープ２の
湾曲部２ａが収まるように調整する。
１から垂れ下がったＴＣＰテープ２の垂れ量を検出する
ことが出来、ＴＣＰテープ２がポッティング部の樹脂滴
下領域Ｐに送られる際、自重により垂下した湾曲部２ａ
を検出し、下のセンサが検出した時点では垂れ過ぎであ
るから前記リール１の回転を減速若しくは一時停止させ
る信号が発せられ、上のセンサが検出できない時には垂
れ量が少なすぎるのでリール１の回転を速める信号が発
せられる。つまり、上下のセンサ間にＴＣＰテープ２の
湾曲部２ａが収まるように調整する。
【００１６】１２はポッティング部に設けられたテープ
送りローラであり、前記固定ガイド９によりガイドされ
たＴＣＰテープ２を樹脂滴下領域Ｐに間欠送りする。即
ち、ＴＣＰテープ２にボンディングされた半導体チップ
を樹脂滴下ノズルＱの真下に位置付けて停止させ、樹脂
滴下後に一定のピッチでテープ送りをする。
送りローラであり、前記固定ガイド９によりガイドされ
たＴＣＰテープ２を樹脂滴下領域Ｐに間欠送りする。即
ち、ＴＣＰテープ２にボンディングされた半導体チップ
を樹脂滴下ノズルＱの真下に位置付けて停止させ、樹脂
滴下後に一定のピッチでテープ送りをする。
【００１７】１３は前記ローダ部の下部に装備された保
護テープ巻き取り用リールであり、前記ＴＣＰテープ２
の上に被覆されている保護テープ１４を、ＴＣＰテープ
２の送りに連動させて巻き取るようにしてある。この場
合、リール１３の近くに第３のリール幅拡張手段１５を
配設し、リール１３の巻き幅を僅かに拡げて前記保護テ
ープ１４を巻き取り易くしてある。
護テープ巻き取り用リールであり、前記ＴＣＰテープ２
の上に被覆されている保護テープ１４を、ＴＣＰテープ
２の送りに連動させて巻き取るようにしてある。この場
合、リール１３の近くに第３のリール幅拡張手段１５を
配設し、リール１３の巻き幅を僅かに拡げて前記保護テ
ープ１４を巻き取り易くしてある。
【００１８】尚、１６は静電気除去部であり、一対のブ
ラシの間を前記ＴＣＰテープ２を通過させることにより
表面の静電気を除去出来るようにしてある。
ラシの間を前記ＴＣＰテープ２を通過させることにより
表面の静電気を除去出来るようにしてある。
【００１９】本発明に係るテープ搬送機構は上記のよう
に構成され、リール１からＴＣＰテープ２を自重により
垂らし、補助ガイド８及び固定ガイド９を介して案内す
ると共に、テープ送りローラ１２によりＴＣＰテープ２
をポッティング部の樹脂滴下領域Ｐに搬送することが出
来る。従って、リール１からＴＣＰテープ２を強制的に
引き出して搬送する方式とは異なってテンションが掛か
らず、ＴＣＰテープ２にボンディングされた半導体チッ
プが傷付いたり、欠けたりすることはない。又、ＴＣＰ
テープ２の垂れ量は、テープ垂れ量検出手段１０によっ
て検出し調整出来るようにしたので、垂れ量の過不足に
よってテープ送りに乱れが生じることはなく、且つ回転
ローラが不要となってテープの巻き付き事故をなくすこ
とが出来る。
に構成され、リール１からＴＣＰテープ２を自重により
垂らし、補助ガイド８及び固定ガイド９を介して案内す
ると共に、テープ送りローラ１２によりＴＣＰテープ２
をポッティング部の樹脂滴下領域Ｐに搬送することが出
来る。従って、リール１からＴＣＰテープ２を強制的に
引き出して搬送する方式とは異なってテンションが掛か
らず、ＴＣＰテープ２にボンディングされた半導体チッ
プが傷付いたり、欠けたりすることはない。又、ＴＣＰ
テープ２の垂れ量は、テープ垂れ量検出手段１０によっ
て検出し調整出来るようにしたので、垂れ量の過不足に
よってテープ送りに乱れが生じることはなく、且つ回転
ローラが不要となってテープの巻き付き事故をなくすこ
とが出来る。
【００２０】一方、図５は樹脂封止装置のテープ巻き取
り側（アンローダ部）を示すもので、前記ローダ部とほ
ぼ対称的な構成になっており、上部にはＴＣＰテープ巻
き取り用のリール１７が装着されると共に、２つのリー
ル幅拡張手段１８、１９がガイドレール２０、２１を介
して配設され、中間部には一対の補助ガイド２２が設け
られ、この補助ガイド２２と固定ガイド２３とに２つの
テープ垂下量検出手段２４が設けられ、更に下部には保
護テープ送り出し用リール２５及びそのリール幅拡張手
段２６が設けられている。
り側（アンローダ部）を示すもので、前記ローダ部とほ
ぼ対称的な構成になっており、上部にはＴＣＰテープ巻
き取り用のリール１７が装着されると共に、２つのリー
ル幅拡張手段１８、１９がガイドレール２０、２１を介
して配設され、中間部には一対の補助ガイド２２が設け
られ、この補助ガイド２２と固定ガイド２３とに２つの
テープ垂下量検出手段２４が設けられ、更に下部には保
護テープ送り出し用リール２５及びそのリール幅拡張手
段２６が設けられている。
【００２１】ドライヤ部で乾燥されたＴＣＰテープ２
は、静電気除去部２９にて静電気が除去された後、送り
出しローラ２７にて固定ガイド２３を介してアンローダ
部に排出され、自重により湾曲状に垂れ下がると共に前
記補助ガイド２２を通過してリール１７に巻き取られ
る。この巻き取りの際に、前記リール２５から送り出さ
れた保護テープ２８がＴＣＰテープ２の上に重なってＴ
ＣＰテープ２と共にリール１７に巻き取られる。この保
護テープ２８は、前記ローダ部で巻き取った保護テープ
１４を用いることも出来るが、リールの状態で樹脂の完
全焼結炉に入るので耐熱性の保護テープが一般に用いら
れる。
は、静電気除去部２９にて静電気が除去された後、送り
出しローラ２７にて固定ガイド２３を介してアンローダ
部に排出され、自重により湾曲状に垂れ下がると共に前
記補助ガイド２２を通過してリール１７に巻き取られ
る。この巻き取りの際に、前記リール２５から送り出さ
れた保護テープ２８がＴＣＰテープ２の上に重なってＴ
ＣＰテープ２と共にリール１７に巻き取られる。この保
護テープ２８は、前記ローダ部で巻き取った保護テープ
１４を用いることも出来るが、リールの状態で樹脂の完
全焼結炉に入るので耐熱性の保護テープが一般に用いら
れる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
樹脂封止装置におけるＴＣＰテープの搬送において、Ｔ
ＣＰテープを送り出す際に、自重により垂下させると共
にそのテープの垂れ量を検出し、固定ガイドで案内して
送りローラにて樹脂滴下領域まで搬送するので、ＴＣＰ
テープにテンションが掛からず、ＴＣＰテープに損傷が
生じたり、ボンディングされた半導体チップに傷が付い
たり或は欠けたりすることはなく、垂れ量の過不足によ
ってテープ送りに乱れが生じることはなく、回転ローラ
が不要となってテープの巻き付き事故を防止する等の優
れた効果を奏する。又、ＴＣＰテープの巻き取り側でも
同様に、リールに巻き取られるテープの垂れ量を検出
し、固定ガイドで案内して無テンションにて巻き取るこ
とが出来る。
樹脂封止装置におけるＴＣＰテープの搬送において、Ｔ
ＣＰテープを送り出す際に、自重により垂下させると共
にそのテープの垂れ量を検出し、固定ガイドで案内して
送りローラにて樹脂滴下領域まで搬送するので、ＴＣＰ
テープにテンションが掛からず、ＴＣＰテープに損傷が
生じたり、ボンディングされた半導体チップに傷が付い
たり或は欠けたりすることはなく、垂れ量の過不足によ
ってテープ送りに乱れが生じることはなく、回転ローラ
が不要となってテープの巻き付き事故を防止する等の優
れた効果を奏する。又、ＴＣＰテープの巻き取り側でも
同様に、リールに巻き取られるテープの垂れ量を検出
し、固定ガイドで案内して無テンションにて巻き取るこ
とが出来る。
【図１】 本発明の実施の形態を示すローダ部側の概略
正面図である。
正面図である。
【図２】 リール幅拡張手段を示す概略平面図である。
【図３】 補助ガイドを示す概略平面図である。
【図４】 固定ガイドを示す概略平面図である。
【図５】 アンローダ部側の概略正面図である。
【図６】 ＴＣＰテープの一例を示す部分平面図であ
る。
る。
【図７】 従来の樹脂封止装置の一例を示す説明図であ
る。
る。
１…リール ２…ＴＣＰテープ ３…第１のリール
幅拡張手段 ４…ガイドレール ５…支軸 ６…
第２のリール幅拡張手段 ７…ガイドレール ８…補助ガイド ９…固定ガイド １０…テープ垂
下量検出手段 １１…取付片 １２…テープ送りロ
ーラ １３…リール １４…保護テープ １５…第３のリール幅拡張手段 １６…静電気除去部
１７…リール １８、１９…リール幅拡張手段 ２０、２１…ガイド
レール ２２…補助ガイド ２３…固定ガイド
２４…テープ垂下量検出手段 ２５…リール ２６…リール幅拡張手段 ２７…送り出しローラ
２８…保護テープ ２９…静電気除去部
幅拡張手段 ４…ガイドレール ５…支軸 ６…
第２のリール幅拡張手段 ７…ガイドレール ８…補助ガイド ９…固定ガイド １０…テープ垂
下量検出手段 １１…取付片 １２…テープ送りロ
ーラ １３…リール １４…保護テープ １５…第３のリール幅拡張手段 １６…静電気除去部
１７…リール １８、１９…リール幅拡張手段 ２０、２１…ガイド
レール ２２…補助ガイド ２３…固定ガイド
２４…テープ垂下量検出手段 ２５…リール ２６…リール幅拡張手段 ２７…送り出しローラ
２８…保護テープ ２９…静電気除去部
Claims (2)
- 【請求項１】 ＴＣＰテープにボンディングされた半導
体チップの表面に樹脂を滴下して保護膜を形成する、樹
脂封止装置におけるテープ搬送機構において、リールに
巻かれているＴＣＰテープを送り出す際に自重で垂下さ
せるように構成し、このＴＣＰテープを固定ガイドで案
内して樹脂滴下領域まで搬送するようにした機構を少な
くとも含む、樹脂封止装置におけるテープ搬送機構。 - 【請求項２】 ＴＣＰテープを自重で垂下させる構成
は、リールの幅を拡張するリール幅拡張手段と、ＴＣＰ
テープの垂下量を検出するテープ垂下量検出手段とから
成る、請求項１記載の樹脂封止装置におけるテープ搬送
機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20409195A JPH0936135A (ja) | 1995-07-19 | 1995-07-19 | 樹脂封止装置におけるテープ搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20409195A JPH0936135A (ja) | 1995-07-19 | 1995-07-19 | 樹脂封止装置におけるテープ搬送機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0936135A true JPH0936135A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16484644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20409195A Pending JPH0936135A (ja) | 1995-07-19 | 1995-07-19 | 樹脂封止装置におけるテープ搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0936135A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8205766B2 (en) | 2009-05-20 | 2012-06-26 | The Bergquist Company | Method for packaging thermal interface materials |
| US8430264B2 (en) | 2009-05-20 | 2013-04-30 | The Bergquist Company | Method for packaging thermal interface materials |
-
1995
- 1995-07-19 JP JP20409195A patent/JPH0936135A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8205766B2 (en) | 2009-05-20 | 2012-06-26 | The Bergquist Company | Method for packaging thermal interface materials |
| US8430264B2 (en) | 2009-05-20 | 2013-04-30 | The Bergquist Company | Method for packaging thermal interface materials |
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