JPH09329808A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

Info

Publication number
JPH09329808A
JPH09329808A JP15206896A JP15206896A JPH09329808A JP H09329808 A JPH09329808 A JP H09329808A JP 15206896 A JP15206896 A JP 15206896A JP 15206896 A JP15206896 A JP 15206896A JP H09329808 A JPH09329808 A JP H09329808A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
transparent
substrate
crystal display
resin film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15206896A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Norihide Jinnai
紀秀 神内
Kaichi Fukuda
加一 福田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP15206896A priority Critical patent/JPH09329808A/en
Publication of JPH09329808A publication Critical patent/JPH09329808A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal display device in which reflection of light from a non-modulating region is decreased and the quality of display images is improved without adding complicated production processes for absorption of light. SOLUTION: A thin film transistor 11 is produced by forming a gate electrode 2, a gate insulating film 4, a semiconductor layer 5, a protective film 6 for the semiconductor, a semiconductor layer 7 having low resistance, a source electrode 8, drain electrode 9 and a protective film 10 on a glass substrate 1. Further, a transparent insulating resin film 12 and a transparent pixel electrode 14 are formed while a transparent insulating resin film 12 comprising a colored acrylic resin is formed as a light-absorbing part 12a in an area above the thin film transistor 11 where no transparent pixel electrode 14 is applied. The colored acrylic resin has average >30 % absorption for 50nm wavelength region in the visible ray region from 400 to 800nm wavelengths. Thus, an active matrix array substrate 15 is obtd. Thereby, reflection of light in the light absorbing part 12a which corresponds to the nonmodulating part can be decreased, which increases the contrast ratio and improves the display image quality.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、反射光による表示
画質の劣化を防止する液晶表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device that prevents deterioration of display image quality due to reflected light.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在、高画質、薄型、軽量、低消費電力
などの理由から、ラップトップ型コンピュータ、あるい
は、様々な携帯機器などのディスプレイにアクティブマ
トリクス駆動液晶ディスプレイが使用され、このアクテ
ィブマトリクス駆動液晶ディスプレイは主に薄膜トラン
ジスタ(Thin Film Transistor:ΤFΤ)が用いられ
る。
2. Description of the Related Art Currently, an active matrix drive liquid crystal display is used for a display of a laptop computer or various portable devices because of its high image quality, thinness, light weight and low power consumption. Thin film transistors (TFTs) are mainly used for liquid crystal displays.

【0003】また、高輝度および低消費電力を図った従
来のアクティブマトリクス型液晶表示装置としては、た
とえば図8ないし図10に示す構成が知られている。
As a conventional active matrix type liquid crystal display device which achieves high brightness and low power consumption, for example, the configurations shown in FIGS. 8 to 10 are known.

【0004】図8に示すように、第1の絶縁性基板とし
てのガラス基板1の一主面上にアルミニウム(Al)、
モリブデン−タングステン(Mo−W)、タンタル(T
a)あるいはチタン(Ti)などのゲート電極2および
図10に示すゲート配線3が形成されている。また、ゲ
ート電極2およびゲート配線3を覆うように、アモルフ
ァス酸化シリコン、アモルファス窒化シリコンあるいは
アモルファス酸窒化シリコンなどのゲート絶縁膜4が形
成されている。なお、ゲート配線3上には外部回路との
接続のために図示しない接続端子が形成されている。
As shown in FIG. 8, aluminum (Al) is formed on one main surface of a glass substrate 1 as a first insulating substrate.
Molybdenum-Tungsten (Mo-W), Tantalum (T
The gate electrode 2 made of a) or titanium (Ti) and the gate wiring 3 shown in FIG. 10 are formed. A gate insulating film 4 made of amorphous silicon oxide, amorphous silicon nitride, amorphous silicon oxynitride, or the like is formed so as to cover the gate electrode 2 and the gate wiring 3. A connection terminal (not shown) is formed on the gate wiring 3 for connection with an external circuit.

【0005】さらに、ゲート電極2の近傍のゲート絶縁
膜4の上部には、アモルファスシリコンの半導体層5が
形成され、ゲート電極2の上方の半導体層5上にはアモ
ルファス窒化シリコンの半導体保護膜6が形成される。
そして、半導体層5上で半導体保護膜6を挟むような位
置に、リン(P)原子などを多量にドーピングしたn+
型のアモルファスシリコン(n+ −a−Si) などの低
抵抗半導体層7が形成される。さらに、低抵抗半導体層
7上には、一部を被覆するようにそれぞれアルミニウ
ム、モリブデン、チタンなどのソース電極8、ドレイン
電極9およびこのドレイン電極9と一体の信号線が一部
低抵抗半導体層7を被覆するように形成される。また、
これらソース電極8、ドレイン電極9および信号配線上
には、アモルファス酸化シリコン、アモルファス窒化シ
リコンあるいはアモルファス酸窒化シリコンなどの保護
膜10が形成され、スイッチング素子としての薄膜トラン
ジスタ11が構成される。
Further, a semiconductor layer 5 of amorphous silicon is formed on the gate insulating film 4 near the gate electrode 2, and a semiconductor protective film 6 of amorphous silicon nitride is formed on the semiconductor layer 5 above the gate electrode 2. Is formed.
Then, at a position on the semiconductor layer 5 where the semiconductor protective film 6 is sandwiched, a large amount of phosphorus (P) atoms or the like is doped n +.
A low resistance semiconductor layer 7 such as a type of amorphous silicon (n + -a-Si) is formed. Further, on the low resistance semiconductor layer 7, a source electrode 8 and a drain electrode 9 made of aluminum, molybdenum, titanium, etc., and signal lines integrated with the drain electrode 9 are partially covered with the low resistance semiconductor layer 7 so as to cover a part thereof. It is formed so as to cover 7. Also,
A protective film 10 such as amorphous silicon oxide, amorphous silicon nitride, or amorphous silicon oxynitride is formed on the source electrode 8, the drain electrode 9, and the signal wiring to form a thin film transistor 11 as a switching element.

【0006】さらに、ガラス基板1の一主面上にアクリ
ル系樹脂の透明絶縁性樹脂膜12が形成され、ソース電極
8上のこの透明絶縁性樹脂膜12にはコンタクトホール13
が形成され、図示しない外部回路との接続端子にもコン
タクトホールが形成される。
Further, a transparent insulating resin film 12 of acrylic resin is formed on one main surface of the glass substrate 1, and a contact hole 13 is formed in the transparent insulating resin film 12 on the source electrode 8.
Is formed, and a contact hole is also formed in a connection terminal with an external circuit (not shown).

【0007】また、透明絶縁性樹脂膜12上およびコンタ
クトホール13上にはΙTO(IndiumTin Oxide)の透明
画素電極14が形成され、この透明画素電極14はコンタク
トホール13を介してソース電極8と電気的に接続され、
アクティブマトリクスアレイ基板15が形成される。
Further, a transparent pixel electrode 14 of ΙTO (Indium Tin Oxide) is formed on the transparent insulating resin film 12 and the contact hole 13, and the transparent pixel electrode 14 is electrically connected to the source electrode 8 through the contact hole 13. Connected,
An active matrix array substrate 15 is formed.

【0008】一方、第2の絶縁性基板としてのガラス基
板21の一主面上に赤色、緑色および青色のカラーフィル
タ22が形成され、これらカラーフィルタ22上にはカラー
フィルタ22を被覆する平坦化保護膜23が形成され、この
平坦化保護膜23上にITOの対向透明電極24が形成さ
れ、対向基板25が形成される。
On the other hand, red, green and blue color filters 22 are formed on one main surface of a glass substrate 21 as a second insulating substrate, and the color filters 22 are planarized to cover the color filters 22. The protective film 23 is formed, the counter transparent electrode 24 of ITO is formed on the flattening protective film 23, and the counter substrate 25 is formed.

【0009】そして、アクティブマトリクスアレイ基板
15および対向基板25の対向する面にはそれぞれポリイミ
ド膜31,32が形成され、これらポリイミド膜31,32の反
対の面には偏光板33,34が接着されている。
Then, the active matrix array substrate
Polyimide films 31 and 32 are formed on the opposing surfaces of 15 and the counter substrate 25, respectively, and polarizing plates 33 and 34 are adhered to the opposite surfaces of the polyimide films 31 and 32, respectively.

【0010】さらに、アクティブマトリクスアレイ基板
15および対向基板25は周囲が接着されて、これらアクテ
ィブマトリクスアレイ基板15および対向基板25の間には
液晶35が挟持されて封止されている。また、アクティブ
マトリクスアレイ基板15の裏面には、偏光板33を介して
バックライト36が設置され、液晶表示装置37を形成して
いる。
Further, an active matrix array substrate
The periphery of 15 and the counter substrate 25 are adhered to each other, and the liquid crystal 35 is sandwiched and sealed between the active matrix array substrate 15 and the counter substrate 25. A backlight 36 is installed on the back surface of the active matrix array substrate 15 via a polarizing plate 33 to form a liquid crystal display device 37.

【0011】すなわち、上述のアクティブマトリクスア
レイ基板15は、図9および図10に示すように、透明画
素電極14およびドレイン電極9の信号配線と、透明画素
電極14およびゲート配線3とそれぞれが同一平面内に形
成されてなく、透明絶縁性樹脂膜12を挟んで透明画素電
極14およびドレイン電極9の信号配線と、透明画素電極
14およびゲート配線3とをそれぞれ一部分重畳すること
ができるものである。
That is, in the above-mentioned active matrix array substrate 15, as shown in FIGS. 9 and 10, the signal wiring of the transparent pixel electrode 14 and the drain electrode 9 and the transparent pixel electrode 14 and the gate wiring 3 are on the same plane. The signal wiring of the transparent pixel electrode 14 and the drain electrode 9 which is not formed inside and the transparent insulating resin film 12 is sandwiched, and the transparent pixel electrode
14 and the gate wiring 3 can be partially overlapped with each other.

【0012】そして、この様なアクティブマトリクスア
レイ基板15では、透明絶縁性樹脂膜12を挟んで透明画素
電極14および信号配線と、透明画素電極14およびゲート
配線3とをそれぞれ一部分重畳することができるため、
透明画素電極14および信号配線が同一面内に形成される
構造のアクティブマトリクスアレイ基板15よりも透明画
素電極14の面積を広くすることができる。したがって、
図8に示したように、バックライト36を付帯している透
過型液晶表示装置では、開口率を大きくすることができ
るので輝度の高い表示画面を得ることができ、また、表
示輝度を一定とするならばバックライト36の輝度を低減
することができるので、消費電力を減少させることがで
きる。
In such an active matrix array substrate 15, the transparent pixel electrode 14 and the signal wiring and the transparent pixel electrode 14 and the gate wiring 3 can partially overlap each other with the transparent insulating resin film 12 interposed therebetween. For,
The area of the transparent pixel electrode 14 can be made larger than that of the active matrix array substrate 15 having a structure in which the transparent pixel electrode 14 and the signal wiring are formed in the same plane. Therefore,
As shown in FIG. 8, in the transmissive liquid crystal display device equipped with the backlight 36, the aperture ratio can be increased, so that a display screen with high brightness can be obtained and the display brightness can be kept constant. If so, the brightness of the backlight 36 can be reduced, so that the power consumption can be reduced.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
アクティブマトリクス液晶表示装置では、外部から入射
する光がアクティブマトリクスアレイ基板15上に形成さ
れた薄膜トランジスタ11やゲート配線3やドレイン電極
9の信号配線など透過光の非変調領域において、表示画
面へ反射されてしまう。そして、非変調領域における反
射光は、ゲート配線3やドレイン電極9の信号配線がア
ルミニウムなどの可視光に対して高反射率である金属材
料ほど顕著であり、非変調領域からの反射光により液晶
表示装置37の表示画質、特にコントラスト比が劣化して
しまう問題を有している。
However, in the above-mentioned active matrix liquid crystal display device, the thin film transistor 11, the gate wiring 3 and the signal wiring of the drain electrode 9 in which the light incident from the outside is formed on the active matrix array substrate 15, etc. In the non-modulated area of the transmitted light, it is reflected on the display screen. The reflected light in the non-modulated region is more remarkable in a metal material in which the gate wiring 3 and the signal wiring of the drain electrode 9 have a high reflectance with respect to visible light such as aluminum. There is a problem that the display image quality of the display device 37, particularly the contrast ratio, deteriorates.

【0014】そして、このコントラスト比の低下を防止
する方法として、対向基板25上にブラックマトリクスを
形成する方法がある。
As a method of preventing the reduction of the contrast ratio, there is a method of forming a black matrix on the counter substrate 25.

【0015】しかし、このように対向基板25にブラック
マトリクスを形成することは、製造工程の増加、スルー
プットの低下、製造工程の煩雑化による歩留まりの低下
をまねき、コストアップの原因となる。
However, the formation of the black matrix on the counter substrate 25 in this manner causes an increase in manufacturing steps, a decrease in throughput, and a decrease in yield due to complication of the manufacturing steps, which causes an increase in cost.

【0016】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、複雑な製造工程の追加をすることなく、非変調領域
からの反射光を低減して表示画質を向上した液晶表示装
置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and provides a liquid crystal display device in which the reflected light from the non-modulation area is reduced and the display image quality is improved without adding a complicated manufacturing process. The purpose is to

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】本発明は、第1の絶縁性
基板、この第1の絶縁性基板上に形成されたスイッチン
グ素子、このスイッチング素子を含む前記第1の絶縁性
基板上に成膜された透明絶縁性樹脂膜、前記スイッチン
グ素子と電気的に接続され前記透明絶縁性樹脂膜上の一
部に形成された透明画素電極を備えたアレイ基板と、第
2の絶縁性基板、この第2の絶縁性基板上に形成された
対向電極を備え、前記アレイ基板に対向して設けられた
対向基板と、前記アレイ基板および対向基板間に位置し
て配設された液晶とを具備し、前記透明絶縁性樹脂膜
は、前記透明画素電極に被覆されない部分では波長40
0nmから800nmの可視光領域のうち少なくとも5
0nmの波長領域にわたり平均30%以上吸収する光吸
収部を有するもので、透明画素電極に被覆されない部分
の可視光の反射を低下させることにより、複雑な製造工
程を付加せずに、コントラスト比を大きくして、表示画
質を向上する。
According to the present invention, there is provided a first insulating substrate, a switching element formed on the first insulating substrate, and the first insulating substrate including the switching element. An array substrate having a transparent insulating resin film formed thereon, a transparent pixel electrode electrically connected to the switching element and formed on a portion of the transparent insulating resin film, and a second insulating substrate, A counter electrode formed on a second insulating substrate; and a counter substrate provided to face the array substrate, and a liquid crystal disposed between the array substrate and the counter substrate. The transparent insulating resin film has a wavelength of 40 nm at a portion not covered by the transparent pixel electrode.
At least 5 in the visible light region from 0 nm to 800 nm
It has a light absorbing portion that absorbs 30% or more on average in the wavelength region of 0 nm, and lowers the reflection of visible light in the portion not covered by the transparent pixel electrode, thereby increasing the contrast ratio without adding a complicated manufacturing process. Enlarge it to improve the display quality.

【0018】また、本発明は、第1の絶縁性基板、この
第1の絶縁性基板上に形成されたスイッチング素子、こ
のスイッチング素子を含む前記第1の絶縁性基板上に成
膜された透明絶縁性樹脂膜、前記スイッチング素子と電
気的に接続され前記透明絶縁性樹脂膜上の一部に形成さ
れた透明画素電極を備えたアレイ基板と、第2の絶縁性
基板、この第2の絶縁性基板上に形成された赤色、緑色
および青色のカラーフィルタ、これらカラーフィルタ上
に形成された透明電極を備えた対向基板と、前記アレイ
基板および前記対向基板間に位置して配設された液晶と
を具備し、前記透明絶縁性樹脂膜は、前記透明画素電極
に被覆されない部分では波長400nmから800nm
の可視光領域のうち少なくとも50nmの波長領域にわ
たり平均30%以上吸収する光吸収部を有するととも
に、この光吸収部に吸収される可視光領域に重なるかま
たは近接する透過光の波長ピークを有する前記カラーフ
ィルタと重なりあうもので、透明画素電極に被覆されな
い部分の可視光の反射を低下させることにより、複雑な
製造工程を付加せずに、コントラスト比を大きくして、
表示画質を向上する。
The present invention also provides a first insulating substrate, a switching element formed on the first insulating substrate, and a transparent film formed on the first insulating substrate including the switching element. An array substrate having an insulating resin film, a transparent pixel electrode electrically connected to the switching element and formed on a part of the transparent insulating resin film, a second insulating substrate, and a second insulating substrate. A red, green and blue color filter formed on a transparent substrate, a counter substrate having a transparent electrode formed on these color filters, and a liquid crystal disposed between the array substrate and the counter substrate. The transparent insulating resin film has a wavelength of 400 nm to 800 nm in a portion not covered by the transparent pixel electrode.
Of the visible light region having a light absorption portion that absorbs at least 30% on average over a wavelength region of 50 nm, and having a wavelength peak of transmitted light that overlaps or is close to the visible light region absorbed by the light absorption portion. By overlapping the color filter and reducing the reflection of visible light in the area not covered by the transparent pixel electrode, the contrast ratio can be increased without adding a complicated manufacturing process.
Improves display quality.

【0019】また、スイッチング素子は、単結晶シリコ
ン、多結晶シリコンおよび非晶質シリコンのいずれかの
半導体をチャネル層として用いた薄膜トランジスタであ
る。
The switching element is a thin film transistor using a semiconductor of any one of single crystal silicon, polycrystalline silicon and amorphous silicon as a channel layer.

【0020】さらに、絶縁性基板上に外部回路との間を
接続する電気配線を有し、透明画素電極は、前記電気配
線の少なくとも一部分と重畳されている。
Further, an electric wiring for connecting to an external circuit is provided on the insulating substrate, and the transparent pixel electrode is overlapped with at least a part of the electric wiring.

【0021】またさらに、透明絶縁性樹脂膜は、アクリ
ル系樹脂、ポリイミド系樹脂およびベンゾシクロブテン
系樹脂の少なくともいずれか一つであるもので、化学処
理あるいは熱処理などにより容易に着色でき、この着色
により可視光を吸収し、反射光を低減する。
Furthermore, the transparent insulating resin film is made of at least one of acrylic resin, polyimide resin and benzocyclobutene resin and can be easily colored by chemical treatment or heat treatment. Absorbs visible light and reduces reflected light.

【0022】また、透明絶縁性樹脂膜は感光性を有し、
光吸収部はフォトリソグラフィ工程によりパターン形成
されたもので、光により容易に着色でき、この着色によ
り可視光を吸収し、反射光を低減する。
The transparent insulating resin film has photosensitivity,
The light absorbing portion is patterned by a photolithography process and can be easily colored with light, and this coloring absorbs visible light and reduces reflected light.

【0023】さらに、透明絶縁性樹脂膜は、アクリル系
樹脂で、光吸収部は、アミン系溶剤を含む薬液により前
記透明絶縁性樹脂膜を処理して形成されるもので、化学
処理により容易に着色でき、この着色により可視光を吸
収し、反射光を低減する。
Further, the transparent insulating resin film is an acrylic resin, and the light absorbing portion is formed by treating the transparent insulating resin film with a chemical solution containing an amine solvent. It can be colored, and this coloring absorbs visible light and reduces reflected light.

【0024】また、透明絶縁性樹脂膜は、ベンゾシクロ
ブテン系樹脂で、光吸収部は、酸素濃度100ppm以
上の雰囲気中で150℃以上の熱処理で形成されるもの
で、化学処理により容易に着色でき、この着色により可
視光を吸収し、反射光を低減する。
The transparent insulating resin film is a benzocyclobutene-based resin, and the light absorbing portion is formed by heat treatment at 150 ° C. or higher in an atmosphere having an oxygen concentration of 100 ppm or higher, and is easily colored by chemical treatment. This coloring can absorb visible light and reduce reflected light.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、本発明の液晶表示装置の一
実施の形態を図面を参照して説明する。なお、図8ない
し図10で示した従来例に対応する部分には、同一符号
を付して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the liquid crystal display device of the present invention will be described below with reference to the drawings. The parts corresponding to the conventional example shown in FIGS. 8 to 10 will be described with the same reference numerals.

【0026】図1に示すように、第1の絶縁性基板とし
てのガラス基板1の一主面上にアルミニウム(Al)、
モリブデン−タングステン(Mo−W)、タンタル(T
a)あるいはチタン(Ti)などのゲート電極2および
このゲート電極2と一体に形成される図示しないゲート
配線が形成され、これらゲート電極2およびゲート配線
を覆うように、アモルファス酸化シリコン、アモルファ
ス窒化シリコンあるいはアモルファス酸窒化シリコンな
どのゲート絶縁膜4が形成されている。なお、ゲート配
線上には外部回路との接続のために接続端子が形成され
ている。
As shown in FIG. 1, aluminum (Al) is formed on one main surface of a glass substrate 1 as a first insulating substrate.
Molybdenum-Tungsten (Mo-W), Tantalum (T
a) or a gate electrode 2 made of titanium (Ti) or the like and a gate wiring (not shown) integrally formed with the gate electrode 2 are formed, and amorphous silicon oxide or amorphous silicon nitride is formed so as to cover the gate electrode 2 and the gate wiring. Alternatively, the gate insulating film 4 such as amorphous silicon oxynitride is formed. A connection terminal is formed on the gate wiring for connection with an external circuit.

【0027】さらに、ゲート電極2の近傍のゲート絶縁
膜4の上部には、アモルファスシリコンの半導体層5が
形成され、ゲート電極2の上方の半導体層5上にはアモ
ルファス窒化シリコンの半導体保護膜6が形成される。
そして、半導体層5上で半導体保護膜6を挟むような位
置に、りん(P)原子などを多量にドーピングしたn+
型のアモルファスシリコン(n+ −a−Si) などの低
抵抗半導体層7が形成される。さらに、低抵抗半導体層
7上には、一部を被覆するようにそれぞれアルミニウ
ム、モリブデン、チタンなどのソース電極8、ドレイン
電極9およびこのドレイン電極9と一体の信号配線が一
部低抵抗半導体層7を被覆するように形成される。ま
た、これらソース電極8、ドレイン電極9および信号配
線上には、アモルファス酸化シリコン、アモルファス窒
化シリコンあるいはアモルファス酸窒化シリコンなどの
保護膜10が形成され、スイッチング素子としての薄膜ト
ランジスタ11が構成される。
Further, a semiconductor layer 5 of amorphous silicon is formed on the gate insulating film 4 near the gate electrode 2, and a semiconductor protective film 6 of amorphous silicon nitride is formed on the semiconductor layer 5 above the gate electrode 2. Is formed.
Then, at a position on the semiconductor layer 5 where the semiconductor protective film 6 is sandwiched, a large amount of n + is doped with phosphorus (P) atoms or the like.
A low resistance semiconductor layer 7 such as a type of amorphous silicon (n + -a-Si) is formed. Further, on the low resistance semiconductor layer 7, a source electrode 8 made of aluminum, molybdenum, titanium or the like, a drain electrode 9 and a signal wiring integrated with the drain electrode 9 are partially covered on the low resistance semiconductor layer 7. It is formed so as to cover 7. A protective film 10 made of amorphous silicon oxide, amorphous silicon nitride, amorphous silicon oxynitride, or the like is formed on the source electrode 8, the drain electrode 9, and the signal wiring to form a thin film transistor 11 as a switching element.

【0028】さらに、ガラス基板1の一主面上にアクリ
ル系樹脂の透明絶縁性樹脂膜12が形成され、ソース電極
8上のこの透明絶縁性樹脂膜12にはコンタクトホール13
が形成され、図示しない外部回路との接続端子にもコン
タクトホールが形成される。
Further, a transparent insulating resin film 12 of acrylic resin is formed on one main surface of the glass substrate 1, and a contact hole 13 is formed in the transparent insulating resin film 12 on the source electrode 8.
Is formed, and a contact hole is also formed in a connection terminal with an external circuit (not shown).

【0029】また、透明絶縁性樹脂膜12上およびコンタ
クトホール13上にはITO(IndiumTin Oxide)の透明
画素電極14が形成され、この透明画素電極14はコンタク
トホール13を介してソース電極8と電気的に接続されて
いる。
An ITO (Indium Tin Oxide) transparent pixel electrode 14 is formed on the transparent insulating resin film 12 and the contact hole 13, and the transparent pixel electrode 14 is electrically connected to the source electrode 8 through the contact hole 13. Connected to each other.

【0030】さらに、薄膜トランジスタ11の上方の透明
画素電極14に被覆されない領域には、波長400nmか
ら800nmの可視光領域のうち少なくとも50nmの
波長領域にわたり平均30%以上吸収するよう着色され
たアクリル系樹脂の透明絶縁性樹脂膜の光吸収部12a が
図2の斜線に示すように変調されない領域に形成され、
アクティブマトリクスアレイ基板15が形成される。
Further, in the region above the thin film transistor 11 which is not covered by the transparent pixel electrode 14, an acrylic resin colored so as to absorb an average of 30% or more over a wavelength region of at least 50 nm in the visible light region of wavelengths of 400 nm to 800 nm. The light absorbing portion 12a of the transparent insulating resin film is formed in the non-modulated area as shown by the diagonal lines in FIG.
An active matrix array substrate 15 is formed.

【0031】一方、第2の絶縁性基板としてのガラス基
板21の一主面上に赤色、緑色および青色のカラーフィル
タ22が形成され、これらカラーフィルタ22上にはカラー
フィルタ22を被覆する平坦化保護膜23が形成され、この
平坦化保護膜23上にITOの対向透明電極24が形成さ
れ、対向基板25が形成される。
On the other hand, red, green and blue color filters 22 are formed on one main surface of a glass substrate 21 as a second insulating substrate, and the color filters 22 are planarized to cover the color filters 22. The protective film 23 is formed, the counter transparent electrode 24 of ITO is formed on the flattening protective film 23, and the counter substrate 25 is formed.

【0032】そして、アクティブマトリクスアレイ基板
15および対向基板25の対向する面にはそれぞれポリイミ
ド膜31,32が形成され、これらポリイミド膜31,32の反
対の面には偏光板33,34が接着されている。
And an active matrix array substrate
Polyimide films 31 and 32 are formed on the opposing surfaces of 15 and the counter substrate 25, respectively, and polarizing plates 33 and 34 are adhered to the opposite surfaces of the polyimide films 31 and 32, respectively.

【0033】さらに、アクティブマトリクスアレイ基板
15および対向基板25は周囲が接着されて、これらアクテ
ィブマトリクスアレイ基板15および対向基板25の間には
液晶35が挟持されて封止されている。また、アクティブ
マトリクスアレイ基板15の裏面には、偏光板33を介して
バックライト36が設置され、液晶表示装置37を形成して
いる。
Further, active matrix array substrate
The periphery of 15 and the counter substrate 25 are adhered to each other, and the liquid crystal 35 is sandwiched and sealed between the active matrix array substrate 15 and the counter substrate 25. A backlight 36 is installed on the back surface of the active matrix array substrate 15 via a polarizing plate 33 to form a liquid crystal display device 37.

【0034】以下、上記図1および図2に示す実施の形
態の製造工程を図面を参照して説明する。
The manufacturing process of the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 will be described below with reference to the drawings.

【0035】まず、図3に示すように、ガラス基板1の
一主面上にスパッタリング法などにより厚さ100〜3
00nmのアルミニウム(Al)、モリブデンータング
ステン(Mo−W)、タンタル(Ta)あるいはチタン
(Ti)などの導電膜を成膜し、フォトリソグラフィ工
程によりゲート電極2および図示しないゲート配線を形
成する。
First, as shown in FIG. 3, a thickness of 100 to 3 is formed on one main surface of the glass substrate 1 by a sputtering method or the like.
A conductive film such as aluminum (Al), molybdenum-tungsten (Mo-W), tantalum (Ta), or titanium (Ti) having a thickness of 00 nm is formed, and the gate electrode 2 and a gate wiring (not shown) are formed by a photolithography process.

【0036】次に、プラズマCVD法により厚さ100
〜500nmのアモルファス酸化シリコン、アモルファ
ス窒化シリコンあるいはアモルファス酸窒化シリコンな
どのゲート絶縁膜4を成膜する。なお、成膜方法として
は、プラズマCVD法に限らず、スパッタリング法など
を用いてもよい。そして、ゲート絶縁膜4を形成したガ
ラス基板1を大気に曝すことなく厚さ20〜300nm
のアモルファスシリコンなどの半導体層5、厚さ100
〜300nmのアモルファス窒化シリコンなどの半導体
保護膜6を順次成膜する。次に、ゲート電極の上方で薄
膜トランジスタ11のチャネルとなる半導体層5上以外の
半導体保護層6をフォトリソグラフィ工程により除去す
る。
Next, a thickness of 100 is obtained by the plasma CVD method.
A gate insulating film 4 of amorphous silicon oxide, amorphous silicon nitride, amorphous silicon oxynitride or the like having a thickness of up to 500 nm is formed. The film forming method is not limited to the plasma CVD method, and a sputtering method or the like may be used. Then, the glass substrate 1 having the gate insulating film 4 formed thereon has a thickness of 20 to 300 nm without being exposed to the atmosphere.
Amorphous silicon or other semiconductor layer 5, thickness 100
A semiconductor protective film 6 of amorphous silicon nitride or the like having a thickness of up to 300 nm is sequentially formed. Next, the semiconductor protective layer 6 other than the semiconductor layer 5 which will be the channel of the thin film transistor 11 above the gate electrode is removed by a photolithography process.

【0037】さらに、りん原子などを多量にドーピング
したn+ 型アモルファスシリコンなどの低抵抗半導体層
7を厚さ20〜70nmで成膜する。
Further, a low resistance semiconductor layer 7 such as n + type amorphous silicon, which is heavily doped with phosphorus atoms and the like, is formed to a thickness of 20 to 70 nm.

【0038】次に、薄膜トランジスタ11の形成領域の低
抵抗半導体層7から半導体層5までをフォトリソグラフ
ィ工程により島状に形成する。また、図示しない外部回
路との接続のためにゲート配線に接続端子もフォトリソ
グラフィ工程により形成しておく。
Next, the low resistance semiconductor layer 7 to the semiconductor layer 5 in the formation region of the thin film transistor 11 are formed in an island shape by a photolithography process. Further, a connection terminal is also formed in the gate wiring by a photolithography process for connection with an external circuit (not shown).

【0039】さらに、スパッタリング法などにより厚さ
200〜500nmのアルミニウム、モリブデンあるい
はチタンなどの導電膜を成膜し、フォトリソグラフィ工
程によりソース電極8、ドレイン電極9およびこのドレ
イン電極9と一体の信号配線を形成する。
Further, a conductive film such as aluminum, molybdenum, or titanium having a thickness of 200 to 500 nm is formed by a sputtering method or the like, and a source electrode 8, a drain electrode 9 and a signal wiring integrated with the drain electrode 9 are formed by a photolithography process. To form.

【0040】そして、半導体保護膜6上の低抵抗半導体
層7をソース電極8、ドレイン電極9をマスクとしてエ
ッチングして分離し、アモルファス酸化シリコン、アモ
ルファス窒化シリコン、アモルファス酸窒化シリコンな
どをプラズマCVD法により厚さ100〜500nm成
膜し、フォトリソグラフィ工程により少なくともTFΤ
(Thin Film Transistor)形成領域を被覆するように保
護膜10を形成し、薄膜トランジスタ11を形成する。な
お、保護膜10の成膜にもスパッタリングを用いてもよ
い。
Then, the low-resistance semiconductor layer 7 on the semiconductor protective film 6 is etched and separated using the source electrode 8 and the drain electrode 9 as a mask, and amorphous silicon oxide, amorphous silicon nitride, amorphous silicon oxynitride, etc. are plasma-enhanced by the plasma CVD method. To a thickness of 100 to 500 nm by a photolithography process and at least TFT
A protective film 10 is formed so as to cover the (Thin Film Transistor) formation region, and a thin film transistor 11 is formed. Sputtering may also be used for forming the protective film 10.

【0041】次に、図4に示すように、ガラス基板1の
一主面上の全面にアクリル樹脂の透明絶縁性樹脂膜12を
厚さ1から5μm程度で成膜し、この透明絶縁性樹脂膜
12を150〜250℃で焼成する。また、フォトリソグ
ラフィ工程によりソース電極8上にコンタクトホール13
を形成するとともに、図示しない外部回路との接続端子
上にも開口する。
Next, as shown in FIG. 4, a transparent insulating resin film 12 of acrylic resin is formed on the entire main surface of the glass substrate 1 to a thickness of about 1 to 5 μm. film
Bake 12 at 150-250 ° C. In addition, a contact hole 13 is formed on the source electrode 8 by a photolithography process.
And forming an opening on a connection terminal to an external circuit (not shown).

【0042】また、図5に示すように、透明絶縁性樹脂
膜12およびコンタクトホール13上にITOなどの透明導
電膜を厚さ20〜200nm程度成膜し、フォトリソグ
ラフィ工程により透明画素電極14を形成する。なお、透
明画素電極14はコンタクトホール13を介してソース電極
8と電気的に接統する。
Further, as shown in FIG. 5, a transparent conductive film such as ITO having a thickness of about 20 to 200 nm is formed on the transparent insulating resin film 12 and the contact hole 13, and the transparent pixel electrode 14 is formed by a photolithography process. Form. The transparent pixel electrode 14 is electrically connected to the source electrode 8 through the contact hole 13.

【0043】さらに、図6に示すように、透明画素電極
14をマスクとして、この透明画素電極14に被覆されない
領域の透明絶縁性樹脂膜12を波長400nmから800
nmの可視光領域のうち少なくとも50nmの波長領域
にわたり平均30%以上吸収するよう着色して光吸収部
12a を形成し、アクティブマトリクスアレイ基板15が形
成される。
Further, as shown in FIG. 6, a transparent pixel electrode
By using 14 as a mask, the transparent insulating resin film 12 in a region not covered by the transparent pixel electrode 14 is changed from a wavelength of 400 nm to 800
The visible light absorption region is colored so as to absorb 30% or more on average over at least a wavelength region of 50 nm, and the light absorbing portion is colored.
12a is formed, and the active matrix array substrate 15 is formed.

【0044】ここで、光吸収部12a の着色について説明
する。
Here, the coloring of the light absorbing portion 12a will be described.

【0045】透明絶縁性樹脂膜12がアクリル系樹脂の場
合、図6で説明した工程まで終了したガラス基板1を温
度50〜130℃のモノエタノールアミンや芳香族アミ
ンなどのアミン系溶剤を含む有機溶剤に2分間以上浸漬
すると、アミンとアクリル樹脂が反応して透明画素電極
14に被覆されていない光吸収部12a のアクリル樹脂を着
色できる。このアミンとの反応によるアクリル樹脂の着
色は、一般的に染料の成分として知られるアゾ基または
アゾ化合物が形成されるためである。
When the transparent insulating resin film 12 is an acrylic resin, the glass substrate 1 which has been subjected to the steps described with reference to FIG. 6 is treated with an organic solvent containing an amine solvent such as monoethanolamine or aromatic amine at a temperature of 50 to 130 ° C. When immersed in a solvent for 2 minutes or more, the amine reacts with the acrylic resin and the transparent pixel electrode
The acrylic resin of the light absorbing portion 12a not covered with 14 can be colored. Coloring of the acrylic resin by the reaction with the amine is because an azo group or an azo compound which is generally known as a component of a dye is formed.

【0046】この方法により着色されたアクリル樹脂の
光吸収部12a が、ゲート電極2の信号配線やゲート配線
となるアルミニウム膜の上方に厚さ約4μm形成される
場合には、着色されたアクリル樹脂により波長400か
ら500nmの可視光は平均60%程度吸収されるの
で、この光吸収部12a での反射光が平均60%低減され
る。また、波長500〜580nmの可視光は平均30
%程度着色されたアクリル樹脂により吸収され、反射光
は平均30%低減される。
When the light absorbing portion 12a of the acrylic resin colored by this method is formed to a thickness of about 4 μm above the signal wiring of the gate electrode 2 and the aluminum film to be the gate wiring, the colored acrylic resin is used. As a result, visible light having a wavelength of 400 to 500 nm is absorbed by about 60% on average, so that the reflected light at the light absorbing portion 12a is reduced by 60% on average. In addition, visible light with a wavelength of 500 to 580 nm has an average of 30.
%, The reflected light is reduced by 30% on average.

【0047】また、上述のように形成すれば、アクティ
ブマトリクスアレイ基板15をアミン系溶剤を含む有機溶
剤に浸漬するだけで、透過光の非変調領域である透明画
素電極14に被覆されない領域のアクリル系の透明絶縁性
樹脂膜12を着色することができ、工程の煩雑化や歩留ま
りの低下を招くことはない。
Further, if formed as described above, only by immersing the active matrix array substrate 15 in an organic solvent containing an amine solvent, an acrylic resin in a region which is a non-modulated region of transmitted light and which is not covered by the transparent pixel electrode 14 is formed. The transparent insulating resin film 12 of the system can be colored, and the process is not complicated and the yield is not reduced.

【0048】したがって、透過光の非変調領域からの反
射光を低減することができるので、従来のアクティブマ
トリクス型液晶表示装置よりも表示画質、特にコントラ
スト比が優れたアクティブマトリクス型液晶表示装置と
なる。
Therefore, since the reflected light from the non-modulated region of the transmitted light can be reduced, the active matrix type liquid crystal display device is superior in the display image quality, particularly the contrast ratio, to the conventional active matrix type liquid crystal display device. .

【0049】そして、具体的には、コントラスト比は従
来を100:1とすれば110:1程度に改善できる。
Then, specifically, the contrast ratio can be improved to about 110: 1 if the conventional ratio is 100: 1.

【0050】このようなコントラスト比の改善は、アク
ティブマトリクスアレイ基板15における透明画素電極14
に被覆されない領域の透明絶縁性樹脂膜12が、波長40
0〜800nmの可視光領域のうち少なくとも50nm
の波長領域にわたり平均30%以上吸収するよう着色さ
れるようになれば、その着色の度合い、いわゆる濃さに
比例して得られる。
The improvement of the contrast ratio is due to the transparent pixel electrode 14 on the active matrix array substrate 15.
The transparent insulating resin film 12 in the region not covered by the
At least 50 nm in the visible light range of 0 to 800 nm
If it is colored so as to absorb an average of 30% or more over the wavelength region of, it is obtained in proportion to the degree of coloring, so-called darkness.

【0051】次に、本発明の液晶表示装置の他の実施の
形態を図7を参照して説明する。なお、図1に示すアク
ティブマトリクスアレイ基板15と同様であるが、カラー
フィルタ22が異なる。
Next, another embodiment of the liquid crystal display device of the present invention will be described with reference to FIG. It is similar to the active matrix array substrate 15 shown in FIG. 1, but the color filter 22 is different.

【0052】すなわち、ガラス基板21の一主面上に青色
のカラーフィルタ22b 、赤色のカラーフィルタ22r およ
び緑色カラーフィルタ22g がそれぞれ画素として機能す
るように、透明画素電極14の上方に重なる位置に形成さ
れ、光吸収部12a の上方に重なる位置には、青色カラー
フィルタ22b が形成されている。また、これら三種類の
カラーフィルタ22r ,22g ,22b を被覆する平坦化保護
膜23が形成されたものである。
That is, the blue color filter 22b, the red color filter 22r, and the green color filter 22g are formed on one main surface of the glass substrate 21 at positions overlapping the transparent pixel electrode 14 so as to function as pixels, respectively. The blue color filter 22b is formed at a position above the light absorbing portion 12a. Further, a flattening protective film 23 is formed to cover these three types of color filters 22r, 22g and 22b.

【0053】そして、アクティブマトリクスアレイ基板
15における着色された光吸収部12aの上方に重なる位置
の青色カラーフィルタ22b で青色光を透過し、光吸収部
12aで波長400〜500nmの可視光を平均60%程
度吸収し、波長500〜580nmの可視光を平均30
%程度吸収するので、光吸収部12a は青色領域の可視光
を最も良く吸収することになる。
And active matrix array substrate
The blue color filter 22b, which is located above the colored light absorbing portion 12a in 15 transmits blue light,
12a absorbs about 60% of visible light with a wavelength of 400 to 500 nm on average, and averages about 30% of visible light with a wavelength of 500 to 580 nm.
%, The light absorbing portion 12a absorbs the visible light in the blue region best.

【0054】したがって、光吸収部12a の上方で重なる
位置に青色カラーフィルタ22b を形成すれば、光吸収部
12a と青色カラーフィルタ22b とが互いに補い合うよう
に外部から入射する可視光をその全波長領域に渡り吸収
するため、透過光の非変調部における反射光を80%以
上低減できる。
Therefore, if the blue color filter 22b is formed at a position overlapping above the light absorbing portion 12a, the light absorbing portion 12a
Since the visible light incident from the outside is absorbed over the entire wavelength region so that the 12a and the blue color filter 22b complement each other, the reflected light in the non-modulated portion of the transmitted light can be reduced by 80% or more.

【0055】また、光吸収部12a の光吸収のピークが波
長500〜600nmである場合には緑色のカラーフィ
ルタ22g を重ね合わせ、光吸収部12a の光吸収のピーク
が波長600nm以上である場合には赤色のカラーフィ
ルタ22r を重ね合わせれば、同様に透過光の非変調部に
おける反射光を80%以上低減できる。
When the light absorption peak of the light absorption section 12a is 500 to 600 nm, the green color filter 22g is overlapped, and when the light absorption peak of the light absorption section 12a is 600 nm or more. Similarly, by overlapping the red color filter 22r, the reflected light in the non-modulated portion of the transmitted light can be reduced by 80% or more.

【0056】このように、透過光の非変調領域からの反
射光が大幅に低減されるので、従来のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置よりも表示画質、特にコントラスト
比が非常に優れ、具体的には、コントラスト比は従来を
100:1とすれば130:1程度に改善できる。
As described above, since the reflected light from the non-modulated area of the transmitted light is greatly reduced, the display image quality, particularly the contrast ratio, is much superior to that of the conventional active matrix type liquid crystal display device. The contrast ratio can be improved to about 130: 1 if the conventional ratio is 100: 1.

【0057】また、薄膜トランジスタ11は、単結晶シリ
コン、多結晶シリコン、非晶質シリコンのいずれかの半
導体をチャネル層として用い、構造としては一般的に分
類されているようななスタガ型、コプラナ型あるいはプ
レーナ型のいずれでもよい。
The thin film transistor 11 uses a semiconductor of single crystal silicon, polycrystalline silicon or amorphous silicon as a channel layer, and has a stagger type or a coplanar type which is generally classified as a structure. Alternatively, it may be a planar type.

【0058】さらに、透明絶縁性樹脂膜12はアクリル系
樹脂に限らず、ポリイミド系樹脂またはベンゾシクロブ
テン系樹脂でもよく、ベンゾシクロブテン系樹脂の場合
には、着色された領域の形成方法として薬品による化学
処理の他に、酸素濃度100ppm以上の雰囲気中にて
150℃から250℃の温度で10分以上熱処理する方
法を用いてもよい。この熱処理による方法では、透過光
の非変調領域となる透明画素電極に被覆されない領域の
樹脂膜のみ酸化反応を起こし着色することが可能であ
る。
Further, the transparent insulating resin film 12 is not limited to an acrylic resin, but may be a polyimide resin or a benzocyclobutene resin. In the case of a benzocyclobutene resin, a chemical is used as a method for forming a colored region. In addition to the chemical treatment by (1), a method of performing heat treatment at a temperature of 150 ° C. to 250 ° C. for 10 minutes or more in an atmosphere having an oxygen concentration of 100 ppm or more may be used. With this heat treatment method, only the resin film in the region which is the non-modulated region of the transmitted light and which is not covered by the transparent pixel electrode can undergo an oxidation reaction to be colored.

【0059】またさらに、透明絶縁性樹脂膜が感光性を
有し、フォトリソグラフィ工程によりパターン形成する
場合には、透明絶縁性樹脂に含まれる感光剤のため、一
般にフォトリソグラフィ工程終了時点では着色してい
る。このため、脱色工程が必要となる場合が普通であ
り、たとえば感光性アクリル樹脂では紫外線などの光照
射により脱色する。この様な感光性アクリル樹脂の場合
では、スイッチング素子である薄膜トランジスタ11や電
気配線をマスクとした裏面露光により脱色工程を行え
ば、アクティブマトリクスアレイ基板15における透過光
の非変調領域のアクリル樹脂膜を着色された状態で残す
ことができ、この脱色方法によれば、薬品による化学処
理などで着色する方法よりも、簡単に着色した光吸収部
12a を形成できる。
Furthermore, when the transparent insulating resin film has photosensitivity and is patterned by the photolithography process, it is generally colored at the end of the photolithography process because of the photosensitizer contained in the transparent insulating resin. ing. Therefore, a bleaching step is usually required. For example, a photosensitive acrylic resin is bleached by irradiation with light such as ultraviolet rays. In the case of such a photosensitive acrylic resin, if the decoloring step is performed by backside exposure using the thin film transistor 11 which is a switching element and the electric wiring as a mask, the acrylic resin film in the non-modulated area of the transmitted light in the active matrix array substrate 15 is formed. It can be left in a colored state, and this bleaching method makes it easier to color the light-absorbing part than the method of coloring by chemical treatment with chemicals.
12a can be formed.

【0060】[0060]

【発明の効果】本発明によれば、透明絶縁性樹脂膜は透
明画素電極に被覆されない部分では波長400nmから
800nmの可視光領域のうち少なくとも50nmの波
長領域にわたり平均30%以上吸収する光吸収部を有す
るので、透明画素電極に被覆されない部分の可視光の反
射を低下させることにより、複雑な製造工程を付加せず
に、コントラスト比を大きくして、表示画質を向上でき
る。
According to the present invention, the transparent insulating resin film absorbs 30% or more of light on average in the wavelength region of at least 50 nm in the visible light region of wavelengths of 400 nm to 800 nm in the portion not covered by the transparent pixel electrode. Therefore, by reducing the reflection of visible light in the portion not covered by the transparent pixel electrode, it is possible to increase the contrast ratio and improve the display image quality without adding a complicated manufacturing process.

【0061】また、対応する位置のカラーフィルタの色
がこの吸収される可視光領域に重なるかまたは近接する
透過光の波長ピークと重なりあわせることにより、より
コントラスト比を大きくして、表示画質を向上できる。
Further, the color of the color filter at the corresponding position overlaps with the wavelength peak of the transmitted light which overlaps with or is adjacent to the absorbed visible light region, thereby further increasing the contrast ratio and improving the display image quality. it can.

【0062】さらに、透明絶縁性樹脂膜は感光性を有
し、光吸収部はフォトリソグラフィ工程によりパターン
形成すれば、光により容易に着色でき、この着色により
可視光を吸収し、反射光を低減できる。
Furthermore, if the transparent insulating resin film has photosensitivity and the light absorbing portion is patterned by a photolithography process, it can be easily colored with light, and this coloring absorbs visible light and reduces reflected light. it can.

【0063】またさらに、透明絶縁性樹脂膜をアクリル
系樹脂とし、光吸収部をアミン系溶剤を含む薬液により
処理して形成することにより、化学処理により容易に着
色でき、この着色により可視光を吸収し、反射光を低減
できる。
Furthermore, by forming the transparent insulating resin film with an acrylic resin and treating the light absorbing portion with a chemical solution containing an amine solvent, it can be easily colored by a chemical treatment. It can absorb and reduce reflected light.

【0064】また、透明絶縁性樹脂膜をベンゾシクロブ
テン系樹脂とし、光吸収部が酸素濃度100ppm以上
の雰囲気中で150℃以上の熱処理で形成されるもの
で、化学処理により容易に着色でき、この着色により可
視光を吸収し、反射光を低減できる。
Further, the transparent insulating resin film is a benzocyclobutene-based resin, and the light absorbing portion is formed by heat treatment at 150 ° C. or higher in an atmosphere having an oxygen concentration of 100 ppm or higher, which can be easily colored by chemical treatment. This coloring can absorb visible light and reduce reflected light.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の液晶表示装置の一実施の形態を示す断
面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing one embodiment of a liquid crystal display device of the present invention.

【図2】同上アクティブマトリクスアレイ基板を示す平
面図である。
FIG. 2 is a plan view showing the same active matrix array substrate.

【図3】同上アクティブマトリクスアレイ基板の一製造
工程を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing one manufacturing process of the above active matrix array substrate.

【図4】同上図3の次の製造工程を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing the next manufacturing step of FIG. 3 above.

【図5】同上図4の次の製造工程を示す断面図である。5 is a cross-sectional view showing the next manufacturing step of FIG. 4 above.

【図6】同上図5の次の製造工程を示す断面図である。6 is a cross-sectional view showing the next manufacturing step of FIG. 5 above.

【図7】他の実施の形態の液晶表示装置を示す断面図断
面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a liquid crystal display device of another embodiment.

【図8】従来例の図10に示す液晶表示装置のA−A断
面を示す断面図である。
8 is a sectional view showing an AA section of the liquid crystal display device shown in FIG. 10 of a conventional example.

【図9】同上図10に示す液晶表示装置のB−B断面を
示す断面図である。
9 is a cross-sectional view showing a BB cross section of the liquid crystal display device shown in FIG.

【図10】同上平面図である。FIG. 10 is a plan view of the same.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 第1の絶縁性基板であるガラス基板 11 スイッチング素子である薄膜トランジスタ 12 透明絶縁性樹脂膜 12a 光吸収部 14 透明画素電極 15 アクティブマトリクスアレイ基板 21 第2の絶縁性基板であるガラス基板 22 カラーフィルタ 25 対向基板 35 液晶 37 液晶表示装置 1 Glass substrate which is the first insulating substrate 11 Thin film transistor which is a switching element 12 Transparent insulating resin film 12a Light absorbing portion 14 Transparent pixel electrode 15 Active matrix array substrate 21 Glass substrate which is the second insulating substrate 22 Color filter 25 Counter substrate 35 Liquid crystal 37 Liquid crystal display device

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1の絶縁性基板、この第1の絶縁性基
板上に形成されたスイッチング素子、このスイッチング
素子を含む前記第1の絶縁性基板上に成膜された透明絶
縁性樹脂膜、前記スイッチング素子と電気的に接続され
前記透明絶縁性樹脂膜上の一部に形成された透明画素電
極を備えたアレイ基板と、第2の絶縁性基板、この第2
の絶縁性基板上に形成された対向電極を備え、前記アレ
イ基板に対向して設けられた対向基板と、前記アレイ基
板および対向基板間に位置して配設された液晶とを具備
した液晶表示装置において、 前記透明絶縁性樹脂膜は、前記透明画素電極に被覆され
ない部分では波長400nmから800nmの可視光領
域のうち少なくとも50nmの波長領域にわたり平均3
0%以上吸収する光吸収部を有することを特徴とした液
晶表示装置。
1. A first insulating substrate, a switching element formed on the first insulating substrate, and a transparent insulating resin film formed on the first insulating substrate including the switching element. An array substrate having a transparent pixel electrode electrically connected to the switching element and formed on a part of the transparent insulating resin film; a second insulating substrate;
A liquid crystal display comprising a counter electrode formed on an insulating substrate of the above, a counter substrate provided to face the array substrate, and a liquid crystal disposed between the array substrate and the counter substrate. In the device, the transparent insulating resin film has an average of 3 parts over a wavelength range of at least 50 nm in a visible light range of 400 nm to 800 nm in a portion not covered with the transparent pixel electrode.
A liquid crystal display device having a light absorbing portion that absorbs 0% or more.
【請求項2】 第1の絶縁性基板、この第1の絶縁性基
板上に形成されたスイッチング素子、このスイッチング
素子を含む前記第1の絶縁性基板上に成膜された透明絶
縁性樹脂膜、前記スイッチング素子と電気的に接続され
前記透明絶縁性樹脂膜上の一部に形成された透明画素電
極を備えたアレイ基板と、第2の絶縁性基板、この第2
の絶縁性基板上に形成された赤色、緑色および青色のカ
ラーフィルタ、これらカラーフィルタ上に形成された透
明電極を備えた対向基板と、前記アレイ基板および前記
対向基板間に位置して配設された液晶とを具備した液晶
表示装置において、 前記透明絶縁性樹脂膜は、前記透明画素電極に被覆され
ない部分では波長400nmから800nmの可視光領
域のうち少なくとも50nmの波長領域にわたり平均3
0%以上吸収する光吸収部を有するとともに、この光吸
収部に吸収される可視光領域に重なるかまたは近接する
透過光の波長ピークを有する前記カラーフィルタと重な
りあうことを特徴とする液晶表示装置。
2. A first insulating substrate, a switching element formed on the first insulating substrate, and a transparent insulating resin film formed on the first insulating substrate including the switching element. An array substrate having a transparent pixel electrode electrically connected to the switching element and formed on a part of the transparent insulating resin film; a second insulating substrate;
Is disposed between the array substrate and the counter substrate, and the counter substrate having red, green and blue color filters formed on the insulative substrate, transparent electrodes formed on the color filters. In the liquid crystal display device including the liquid crystal, the transparent insulating resin film has an average thickness of 3 at least in a visible light region of 400 nm to 800 nm over a wavelength region of 50 nm in a portion not covered by the transparent pixel electrode.
A liquid crystal display device having a light absorbing portion that absorbs 0% or more, and overlapping with the color filter having a wavelength peak of transmitted light that overlaps or is close to a visible light region absorbed by the light absorbing portion. .
【請求項3】 スイッチング素子は、単結晶シリコン、
多結晶シリコンおよび非晶質シリコンのいずれかの半導
体をチャネル層として用いた薄膜トランジスタであるこ
とを特徴とする請求項1または2記載の液晶表示装置。
3. The switching element is single crystal silicon,
The liquid crystal display device according to claim 1 or 2, which is a thin film transistor using a semiconductor of either polycrystalline silicon or amorphous silicon as a channel layer.
【請求項4】 絶縁性基板上に外部回路との間を接続す
る電気配線を有し、 透明画素電極は、前記電気配線の少なくとも一部分と重
畳されていることを特徴とする請求項1ないし3いずれ
か記載の液晶表示装置。
4. An electric wiring for connecting to an external circuit is provided on an insulating substrate, and the transparent pixel electrode is overlapped with at least a part of the electric wiring. The liquid crystal display device according to any one of the above.
【請求項5】 透明絶縁性樹脂膜は、アクリル系樹脂、
ポリイミド系樹脂およびベンゾシクロブテン系樹脂の少
なくともいずれか一つであることを特徴とする請求項1
ないし4いずれか記載の液晶表示装置。
5. The transparent insulating resin film is an acrylic resin,
2. At least one of a polyimide resin and a benzocyclobutene resin.
5. The liquid crystal display device according to any one of 4 to 4.
【請求項6】 透明絶縁性樹脂膜は感光性を有し、光吸
収部はフォトリソグラフィ工程によりパターン形成され
たことを特徴とする請求項1ないし5いずれか記載の液
晶表示装置。
6. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the transparent insulating resin film has photosensitivity, and the light absorbing portion is patterned by a photolithography process.
【請求項7】 透明絶縁性樹脂膜は、アクリル系樹脂
で、 光吸収部は、アミン系溶剤を含む薬液により前記透明絶
縁性樹脂膜を処理して形成されることを特徴とする請求
項1ないし4および6いずれか記載の液晶表示装置。
7. The transparent insulating resin film is an acrylic resin, and the light absorbing portion is formed by treating the transparent insulating resin film with a chemical containing an amine solvent. 7. A liquid crystal display device according to any one of 4 to 6 above.
【請求項8】 透明絶縁性樹脂膜は、ベンゾシクロブテ
ン系樹脂で、 光吸収部は、酸素濃度100ppm以上の雰囲気中で1
50℃以上の熱処理で形成されることを特徴とする請求
項1ないし4および6いずれか記載の液晶表示装置。
8. The transparent insulating resin film is a benzocyclobutene-based resin, and the light-absorbing portion is formed in an atmosphere having an oxygen concentration of 100 ppm or more.
7. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the liquid crystal display device is formed by heat treatment at 50 [deg.] C. or higher.
JP15206896A 1996-06-13 1996-06-13 Liquid crystal display device Pending JPH09329808A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15206896A JPH09329808A (en) 1996-06-13 1996-06-13 Liquid crystal display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15206896A JPH09329808A (en) 1996-06-13 1996-06-13 Liquid crystal display device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09329808A true JPH09329808A (en) 1997-12-22

Family

ID=15532360

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15206896A Pending JPH09329808A (en) 1996-06-13 1996-06-13 Liquid crystal display device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09329808A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11243204A (en) * 1998-02-25 1999-09-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Active matrix substrate and liquid crystal display device thereof
KR20010088329A (en) * 2000-03-07 2001-09-26 가네꼬 히사시 Liquid crystal display unit and method for manufacturing the same
US7646023B2 (en) 2005-05-02 2010-01-12 Samsung Electronics Co., Ltd. TFT array panel, liquid crystal display including same, and method of manufacturing TFT array panel

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11243204A (en) * 1998-02-25 1999-09-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Active matrix substrate and liquid crystal display device thereof
KR20010088329A (en) * 2000-03-07 2001-09-26 가네꼬 히사시 Liquid crystal display unit and method for manufacturing the same
US7646023B2 (en) 2005-05-02 2010-01-12 Samsung Electronics Co., Ltd. TFT array panel, liquid crystal display including same, and method of manufacturing TFT array panel

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3908552B2 (en) Liquid crystal display device and manufacturing method thereof
US6610997B2 (en) Electro-optical device
JP3289099B2 (en) Active matrix type liquid crystal display device and manufacturing method thereof
US7102168B2 (en) Thin film transistor array panel for display and manufacturing method thereof
TW561299B (en) Transflective type LCD and method for manufacturing the same
KR101252001B1 (en) Liquid crystal display and method of manufacturing thereof
US7250316B2 (en) Mask and method of manufacturing liquid crystal display device using the same
US9274390B2 (en) Liquid crystal display device and fabricating method thereof
US20060290830A1 (en) Semi-transmissive liquid crystal display device and method of manufacture thereof
US6717631B2 (en) Array substrate for use in LCD device
JP2006091886A (en) Color filter display panel, and liquid crystal display including the same
JP3369502B2 (en) Active matrix type liquid crystal display device and manufacturing method thereof
JPH1090655A (en) Display device
US7142770B2 (en) Electrooptic device and production method therefor
US10409128B2 (en) Thin film transistor substrate, method of manufacturing the same, and display device
US7929104B2 (en) Liquid crystal display and method of producing same
KR101290282B1 (en) Liquid crystal display device and method of fabricating the same
US7167218B1 (en) Liquid crystal display and method of manufacture
JP2001100247A (en) Active matrix type liquid crystal display device and method for manufacturing the same
JP4154880B2 (en) Electro-optical device and manufacturing method thereof
JPH09329808A (en) Liquid crystal display device
JP2010181474A (en) Thin film transistor array substrate, reflection type liquid crystal display device and method of manufacturing the same
JP2000122096A (en) Reflective liquid crystal display device and its manufacture
US7354700B2 (en) Method for manufacturing insulating resin layer, substrate for electro-optical devices, method for manufacturing electro-optical device, and electro-optical device
JPH034214A (en) Liquid crystal display device