JPH09317639A - 拡散ポンプの改良 - Google Patents
拡散ポンプの改良Info
- Publication number
- JPH09317639A JPH09317639A JP9033492A JP3349297A JPH09317639A JP H09317639 A JPH09317639 A JP H09317639A JP 9033492 A JP9033492 A JP 9033492A JP 3349297 A JP3349297 A JP 3349297A JP H09317639 A JPH09317639 A JP H09317639A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inlet
- diffusion pump
- jet
- chamber
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
- F04F9/00—Diffusion pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Sewage (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 各々、室内に室又は区画室を所定の真空圧力
及び排気速度にするのに利用することができる少なくと
も２つの入口を有する拡散ポンプを提供することにあ
る。 【解決手段】 拡散ポンプ（１）が排気差の可能性をも
たらす第１入口（２０）及び第２入口（２２）を備えて
いる。
及び排気速度にするのに利用することができる少なくと
も２つの入口を有する拡散ポンプを提供することにあ
る。 【解決手段】 拡散ポンプ（１）が排気差の可能性をも
たらす第１入口（２０）及び第２入口（２２）を備えて
いる。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は拡散ポンプとして知られ
たタイプの真空ポンプに関する。
たタイプの真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】拡散ポンプは周知であり、高真空及び超
高真空を達成するのに広く使用されている。近代の作動
流体及び付属品と一緒に使用されるときには、拡散ポン
プは１０ー10 ミリバールに達する圧力を生じさせること
ができる。ポンプは一般的には、大気に直接排気するこ
とができず、拡散ポンプそれ自体と関連して、バッキン
グポンプ、通常は、オイルシール式ロータリ真空ポンプ
の使用を必要とする。拡散ポンプは一般的には、実質的
に円筒形の外側本体を有し、該本体は、例えば、本体の
外側に螺旋に巻かれ、冷却水を循環させることができる
コイルによって、或いはそれに代わって、本体の外側に
取り付けられた空冷フィンによって冷却される。
高真空を達成するのに広く使用されている。近代の作動
流体及び付属品と一緒に使用されるときには、拡散ポン
プは１０ー10 ミリバールに達する圧力を生じさせること
ができる。ポンプは一般的には、大気に直接排気するこ
とができず、拡散ポンプそれ自体と関連して、バッキン
グポンプ、通常は、オイルシール式ロータリ真空ポンプ
の使用を必要とする。拡散ポンプは一般的には、実質的
に円筒形の外側本体を有し、該本体は、例えば、本体の
外側に螺旋に巻かれ、冷却水を循環させることができる
コイルによって、或いはそれに代わって、本体の外側に
取り付けられた空冷フィンによって冷却される。
【０００３】外側本体内には、該外側本体のベースに、
或いは其に近接して位置する中空「チムニー」が位置決
めされ、該チムニーはベースから上方に（連続的に、或
いはもっと通常は段をなして）テーパしている。チムニ
ーは一般的には外側本体内に収容され、そして外側本体
内に実質的に同心に位置決めされる。チムニーの頂部よ
りも幾分大きい直径のほぼ円形部分を有し、チムニーに
関して対象的に位置決めされた頂キャップがチムニーの
頂部に接近しているがそれと接触しておらず、頂キャッ
プは下方に突出した環状側部分を有し、その下縁はチム
ニーの上縁の幾分下にある。従って、頂キャップはチム
ニーの頂部の周りに位置決めされた実質的に逆「カップ
形」構成部品であり、チムニーと頂キャップとの間に円
形又は環状通路が作られる。環状通路を構成する頂キャ
ップとチムニーの其に隣接した部分は「ジェット段」と
して知られている。
或いは其に近接して位置する中空「チムニー」が位置決
めされ、該チムニーはベースから上方に（連続的に、或
いはもっと通常は段をなして）テーパしている。チムニ
ーは一般的には外側本体内に収容され、そして外側本体
内に実質的に同心に位置決めされる。チムニーの頂部よ
りも幾分大きい直径のほぼ円形部分を有し、チムニーに
関して対象的に位置決めされた頂キャップがチムニーの
頂部に接近しているがそれと接触しておらず、頂キャッ
プは下方に突出した環状側部分を有し、その下縁はチム
ニーの上縁の幾分下にある。従って、頂キャップはチム
ニーの頂部の周りに位置決めされた実質的に逆「カップ
形」構成部品であり、チムニーと頂キャップとの間に円
形又は環状通路が作られる。環状通路を構成する頂キャ
ップとチムニーの其に隣接した部分は「ジェット段」と
して知られている。
【０００４】外側本体のベースには加熱器が設けられ、
ポンプの使用に先立って、作動油が本体のベース内に、
本体内に位置したチムニーの下縁より上の高さまで入れ
られる。作動油は通常は低上蒸気圧油であるが、或るバ
ージョンの拡散ポンプは水銀を使用する。外側本体には
頂キャップより上にポンプ入口が位置決めされ、本体の
側面には、チムニーのベースに向かって、しかし作動油
のレベルより上に出口が位置決めされる。出口は通常は
上記のバッキングポンプに連結される。このタイプのポ
ンプの使用中、バッキング（ロータリ）ポンプを起動し
て連続的に運転する。少なくとも０．１ミリバールの圧
力が拡散ポンプの排気側に要求される。外側本体の冷却
装置（水冷又は空冷）を働かせ、今や、作動油を例えば
１５分乃至２０分間加熱器で加熱することができ、作動
油は沸騰し始める。高温蒸気はチムニーを上昇し、チム
ニーの頂部に（テーパの作用で）比較的高い油圧力を形
成する。次いで、蒸気はチムニーと頂キャップとの間の
通路、ジェット段を通して大変低い圧力領域に通され、
環状蒸気ジェットを生じさせる。このジェットは、超音
速であり、冷却された外側本体の内面に衝突する速度で
移動するように設計され、冷却された外側本体の内面で
蒸気は凝縮し、凝縮した作動油は外側本体の内壁を流下
し、本体のベースの油リザーバに戻る。
ポンプの使用に先立って、作動油が本体のベース内に、
本体内に位置したチムニーの下縁より上の高さまで入れ
られる。作動油は通常は低上蒸気圧油であるが、或るバ
ージョンの拡散ポンプは水銀を使用する。外側本体には
頂キャップより上にポンプ入口が位置決めされ、本体の
側面には、チムニーのベースに向かって、しかし作動油
のレベルより上に出口が位置決めされる。出口は通常は
上記のバッキングポンプに連結される。このタイプのポ
ンプの使用中、バッキング（ロータリ）ポンプを起動し
て連続的に運転する。少なくとも０．１ミリバールの圧
力が拡散ポンプの排気側に要求される。外側本体の冷却
装置（水冷又は空冷）を働かせ、今や、作動油を例えば
１５分乃至２０分間加熱器で加熱することができ、作動
油は沸騰し始める。高温蒸気はチムニーを上昇し、チム
ニーの頂部に（テーパの作用で）比較的高い油圧力を形
成する。次いで、蒸気はチムニーと頂キャップとの間の
通路、ジェット段を通して大変低い圧力領域に通され、
環状蒸気ジェットを生じさせる。このジェットは、超音
速であり、冷却された外側本体の内面に衝突する速度で
移動するように設計され、冷却された外側本体の内面で
蒸気は凝縮し、凝縮した作動油は外側本体の内壁を流下
し、本体のベースの油リザーバに戻る。
【０００５】拡散ポンプを起動したとき、拡散ポンプの
入口に圧送されるガス分子は大変重い油蒸気分子と衝突
し、ガス分子を拡散ポンプの出口の方に差し向ける速度
成分を備え、引き続いて、拡散ポンプからバッキングポ
ンプを経て除去される。それによって、連続的に流れる
蒸気ジェットの前後に圧力差が作られる。
入口に圧送されるガス分子は大変重い油蒸気分子と衝突
し、ガス分子を拡散ポンプの出口の方に差し向ける速度
成分を備え、引き続いて、拡散ポンプからバッキングポ
ンプを経て除去される。それによって、連続的に流れる
蒸気ジェットの前後に圧力差が作られる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しばしば、科学機器の
応用、例えば、質量分析法の応用に関連して、差動的に
排気された室の要求がある。即ち、排気すべき室は隔壁
によって別々の区画室に分割され、各区画室は、残りの
区画室と異なる真空圧力にまで排気される必要がある。
現在、この要求は各々特定の室／区画室と関連した２つ
又はそれ以上の拡散ポンプの使用によって満たされる。
明らかに、これは高く付く解決策であり、時としてスペ
ースの制限がこの解決策を適用困難にする。本発明の目
的は、各々、室内に室又は区画室を所定の真空圧力及び
排気速度にするのに利用することができる少なくとも２
つの入口を有する拡散ポンプを提供することにある。
応用、例えば、質量分析法の応用に関連して、差動的に
排気された室の要求がある。即ち、排気すべき室は隔壁
によって別々の区画室に分割され、各区画室は、残りの
区画室と異なる真空圧力にまで排気される必要がある。
現在、この要求は各々特定の室／区画室と関連した２つ
又はそれ以上の拡散ポンプの使用によって満たされる。
明らかに、これは高く付く解決策であり、時としてスペ
ースの制限がこの解決策を適用困難にする。本発明の目
的は、各々、室内に室又は区画室を所定の真空圧力及び
排気速度にするのに利用することができる少なくとも２
つの入口を有する拡散ポンプを提供することにある。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明によれば、拡散ポンプはバ
ッキングポンプに連結するための出口及び作動流体を収
容するためのベースを有する中空外側本体と、中空外側
本体内でベースから延び、少なくとも２つの間隔を隔て
たジェット段を有する蒸気チムニーと、作動流体を、前
記ベース内にあるとき加熱するための装置とを備え、中
空外側本体に排気すべき室と連通するための少なくとも
２つの入口を形成したことを特徴とする。好ましい実施
の形態では、２つのジェット段及び２つの入口が設けら
れ、各入口は関連したジェット段に近接して位置決めさ
れる。
ッキングポンプに連結するための出口及び作動流体を収
容するためのベースを有する中空外側本体と、中空外側
本体内でベースから延び、少なくとも２つの間隔を隔て
たジェット段を有する蒸気チムニーと、作動流体を、前
記ベース内にあるとき加熱するための装置とを備え、中
空外側本体に排気すべき室と連通するための少なくとも
２つの入口を形成したことを特徴とする。好ましい実施
の形態では、２つのジェット段及び２つの入口が設けら
れ、各入口は関連したジェット段に近接して位置決めさ
れる。
【０００８】
【発明の実施の形態】今本発明の実施の形態を、拡散ポ
ンプの断面である添付図面を参照して例示として説明す
る。図示したように、拡散ポンプ１は円形断面の中空外
側本体２を有し、該本体の主要部分は冷却コイル４を備
えている。本体２はベース６を有し、上記チムニー８が
外側本体２内に設けられ、そのベース部分１０がベース
６内に正確に嵌まってベースの下部分に連結する環状ギ
ャップを作る。作動流体（図示せず）がチムニー８のベ
ース部分１０内に加熱器１８として位置する。図示した
ように、チムニー８には第１ジェット段１２及び第２ジ
ェット段１４が形成されている。
ンプの断面である添付図面を参照して例示として説明す
る。図示したように、拡散ポンプ１は円形断面の中空外
側本体２を有し、該本体の主要部分は冷却コイル４を備
えている。本体２はベース６を有し、上記チムニー８が
外側本体２内に設けられ、そのベース部分１０がベース
６内に正確に嵌まってベースの下部分に連結する環状ギ
ャップを作る。作動流体（図示せず）がチムニー８のベ
ース部分１０内に加熱器１８として位置する。図示した
ように、チムニー８には第１ジェット段１２及び第２ジ
ェット段１４が形成されている。
【０００９】拡散ポンプ１はまたバッキングポンプと連
結する出口１６及び排気すべき異なる室／区画室を（図
示しない手段で）取り付ける第１入口２０を有する。図
示したように第１入口２０は第１ジェット段に隣接して
位置決めさる。本発明によれば、拡散ポンプ１は排気す
べき異なる室／区画室を（図示しない手段で）取り付け
る第２入口２２を有する。図示したように第２入口２２
は第２ジェット段に隣接して位置決めさる。使用中、そ
れぞれの入口２０、２２がそれらのそれぞれの室／区画
室に取り付けられたとき、バッキングポンプを起動して
拡散ポンプ１内の圧力を減少させ、必要ならば、冷却材
を冷却コイル４に通す。加熱器１８による作動流体の加
熱により、沸騰した蒸気を前に記載した一般的な方法で
チムニー８の中を上昇させてジェット段１４、１２から
噴出させ、しかる後、本体２の内面に沿ってベースの全
体的な方向に下方に落下させる。
結する出口１６及び排気すべき異なる室／区画室を（図
示しない手段で）取り付ける第１入口２０を有する。図
示したように第１入口２０は第１ジェット段に隣接して
位置決めさる。本発明によれば、拡散ポンプ１は排気す
べき異なる室／区画室を（図示しない手段で）取り付け
る第２入口２２を有する。図示したように第２入口２２
は第２ジェット段に隣接して位置決めさる。使用中、そ
れぞれの入口２０、２２がそれらのそれぞれの室／区画
室に取り付けられたとき、バッキングポンプを起動して
拡散ポンプ１内の圧力を減少させ、必要ならば、冷却材
を冷却コイル４に通す。加熱器１８による作動流体の加
熱により、沸騰した蒸気を前に記載した一般的な方法で
チムニー８の中を上昇させてジェット段１４、１２から
噴出させ、しかる後、本体２の内面に沿ってベースの全
体的な方向に下方に落下させる。
【００１０】上記の実施の形態では、入口２０に連結さ
れた室は、入口２２に連結された室に対して低い圧力及
び高い排気速度（ｐｕｍｐｉｎｇ ｓｐｅｅｄ）に曝さ
れる。第２ジェット段１４に隣接してこの追加の入口２
２を設けることができる本発明の拡散ポンプ１は第１入
口２０と比較したとき追加のより低い排気速度及びより
高い圧力を提供する。この融通性は、排気差（ｄｉｆｆ
ｅｒｎｔｉａｌ ｐｕｍｐｉｎｇ）が必要とされるとき
に大きな実用性を有する。変形例では、第２ジェット段
１４より上のチムニー８を二又に分け、各二又部がそれ
自身のジェット段を備えてもよい。この構成では、２つ
のジェットの各々に隣接して１つずつ２つの入口が設け
られ、第２ジェット段に隣接して更なる入口が設けられ
る。換言すれば、各々関連した入口をもった２つ又はそ
れ以上のジェット段を有し、しかし単一のベース及び関
連した加熱器だけを有する拡散ポンプを提供することが
できる。
れた室は、入口２２に連結された室に対して低い圧力及
び高い排気速度（ｐｕｍｐｉｎｇ ｓｐｅｅｄ）に曝さ
れる。第２ジェット段１４に隣接してこの追加の入口２
２を設けることができる本発明の拡散ポンプ１は第１入
口２０と比較したとき追加のより低い排気速度及びより
高い圧力を提供する。この融通性は、排気差（ｄｉｆｆ
ｅｒｎｔｉａｌ ｐｕｍｐｉｎｇ）が必要とされるとき
に大きな実用性を有する。変形例では、第２ジェット段
１４より上のチムニー８を二又に分け、各二又部がそれ
自身のジェット段を備えてもよい。この構成では、２つ
のジェットの各々に隣接して１つずつ２つの入口が設け
られ、第２ジェット段に隣接して更なる入口が設けられ
る。換言すれば、各々関連した入口をもった２つ又はそ
れ以上のジェット段を有し、しかし単一のベース及び関
連した加熱器だけを有する拡散ポンプを提供することが
できる。
【図１】本発明による拡散ポンプの断面である。
１ 拡散ポンプ ２ 中空外側本体 ４ 冷却コイル ６ ベース ８ チムニー １２ 第１ジェット段 １４ 第２ジェット段 １６ 出口 １８ 加熱器 ２０ 第１入口 ２２ 第２入口
Claims (4)
- 【請求項１】 ａ）バッキングポンプに連結するための
出口及び作動流体を収容するためのベースを有する中空
外側本体、 ｂ）中空外側本体内でベースから延び、少なくとも２つ
の間隔を隔てたジェット段を有する蒸気チムニー、 ｃ）作動流体を、前記ベース内にあるとき加熱するため
の装置を備え、 ｄ）中空外側本体に排気すべき室と連通するための少な
くとも２つの入口を形成したことを特徴とする、拡散ポ
ンプ。 - 【請求項２】 ２つのジェット段及び２つの入口が設け
られ、各入口は関連したジェット段に近接して位置決め
される、請求項１に記載の拡散ポンプ。 - 【請求項３】 蒸気チムニーは、第１ジェット段を含
む、ベースに隣接した第１部分と、第１部分から延びる
第２二又部分とを有し、各二又部分は関連した第２及び
第３ジェット段をそれぞれ有し、第２及び第３ジェット
段は各々個々の入口と関連している、請求項１に記載の
拡散ポンプ。 - 【請求項４】 実質的に添付図面の図を参照して前に説
明し且つ図に示す如く作動するよう構成され配列され且
つ作動するようになった拡散ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GBGB9603434.3A GB9603434D0 (en) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | Improvements in diffusion pumps |
| GB9603434:3 | 1996-02-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09317639A true JPH09317639A (ja) | 1997-12-09 |
Family
ID=10788991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9033492A Pending JPH09317639A (ja) | 1996-02-19 | 1997-02-18 | 拡散ポンプの改良 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5913662A (ja) |
| EP (1) | EP0791752B1 (ja) |
| JP (1) | JPH09317639A (ja) |
| DE (1) | DE69725034T2 (ja) |
| GB (1) | GB9603434D0 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6193461B1 (en) * | 1999-02-02 | 2001-02-27 | Varian Inc. | Dual inlet vacuum pumps |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2997956A (en) * | 1961-08-29 | Variable volume hydraulic pump | ||
| FR1254532A (fr) * | 1960-01-14 | 1961-02-24 | Basses Pressions Lab Des | Pompe à diffusion perfectionnée pour ultra-vide |
| FR1382330A (fr) * | 1963-11-08 | 1964-12-18 | Cie Ind Francaise Tubes Elect | Perfectionnement aux pompes à diffusion à vapeur d'huile |
| US4373868A (en) * | 1976-07-06 | 1983-02-15 | Varian Associates, Inc. | Diffusion pump for leak detector |
| US4147478A (en) * | 1977-09-22 | 1979-04-03 | Graco Inc. | Secondary pump feed apparatus |
| US5137429A (en) * | 1991-04-15 | 1992-08-11 | Spectrameasure Inc. | Diffusion pump |
-
1996
- 1996-02-19 GB GBGB9603434.3A patent/GB9603434D0/en active Pending
-
1997
- 1997-02-13 DE DE69725034T patent/DE69725034T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-02-13 EP EP97300948A patent/EP0791752B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-13 US US08/799,890 patent/US5913662A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-18 JP JP9033492A patent/JPH09317639A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0791752A3 (en) | 1998-06-17 |
| US5913662A (en) | 1999-06-22 |
| GB9603434D0 (en) | 1996-04-17 |
| DE69725034D1 (de) | 2003-10-30 |
| EP0791752A2 (en) | 1997-08-27 |
| EP0791752B1 (en) | 2003-09-24 |
| DE69725034T2 (de) | 2004-07-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI722871B (zh) | 用於基板處理腔室之蓋及蓋組件套組 | |
| US2508765A (en) | Vacuum pump | |
| US3019809A (en) | Combined vacuum valve and cold trap | |
| US1490918A (en) | High-vacuum pump | |
| JPH09317639A (ja) | 拡散ポンプの改良 | |
| US1307999A (en) | Olivek e | |
| WO1993017244A1 (en) | Jet-type vacuum pump | |
| US2797043A (en) | Vacuum pump | |
| US1267897A (en) | Air-pump. | |
| JPH1182399A (ja) | 拡散ポンプ | |
| EP0829647B1 (en) | Improvements in diffusion pumps | |
| EP0730096B1 (en) | Improvements in diffusion pumps | |
| EP0806572A2 (en) | Improvements in diffusion pumps | |
| US3355093A (en) | Diffusion pump | |
| US3053436A (en) | Vacuum pump | |
| US1475441A (en) | Exhaust arrangement for steam ejectors | |
| SU1525343A1 (ru) | Диффузионный насос | |
| US3536420A (en) | Condensate purifier for diffusion pump | |
| US3342405A (en) | Diffusion vacuum pump apparatus | |
| SU1296749A1 (ru) | Пароструйный вакуумный насос | |
| US3572973A (en) | Heater and vapor nozzle arrangement for a vacuum diffusion pump | |
| SU44630A1 (ru) | Высоковакуумный конденсационно-диффузионный насос | |
| US3278113A (en) | Vacuum pump | |
| JPH1082400A (ja) | 蒸気ジェット真空ポンプおよびその製造方法 | |
| SU1244394A1 (ru) | Вакуумный пароструйный насос |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |