JPH09316305A - Epoxy resin composition - Google Patents
Epoxy resin compositionInfo
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- JPH09316305A JPH09316305A JP13910696A JP13910696A JPH09316305A JP H09316305 A JPH09316305 A JP H09316305A JP 13910696 A JP13910696 A JP 13910696A JP 13910696 A JP13910696 A JP 13910696A JP H09316305 A JPH09316305 A JP H09316305A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、内部及び外部のボ
イドが少なく、且つ耐半田クラック性、耐湿信頼性に優
れた半導体封止用エポキシ樹脂組成物に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation which has few internal and external voids and is excellent in solder crack resistance and moisture resistance reliability.
【0002】[0002]
【従来の技術】IC本体を機械的、化学的作用から保護
するために、エポキシ樹脂系半導体封止用樹脂組成物が
開発、生産されてきた。ICに必要な特性を満足させる
ために、半導体封止用エポキシ樹脂組成物(以下、樹脂
組成物という)には各種の性能が要求されている。近年
の要求項目としては、耐半田クラック性の向上がある。
耐半田クラック性を向上させるために封止用樹脂の吸水
率を低減する必要があるが、そのためには無機充填材の
配合量を従来以上に増加させる必要がある。多く配合し
過ぎると、樹脂組成物中に均一に分散できず、成形時に
ボイドが多発する。ボイドの発生を低減するために、粘
度が高い樹脂を用いたり、無機充填材の粒度分布を変更
する等の各種の提案がなされいる。ボイドの低減に効果
のあるものとして、ポリエチレンオキサイドとポリプロ
ピレンオキサイドのコポリマーをシリコーン鎖にグラフ
トし、更にエポキシ基を側鎖に結合したもの(特公平2
−36148号公報)があり、確かに界面活性効果によ
ってボイドはなくなるが、各種基材との密着性が低下
し、耐半田クラック性を大幅に低下させる欠点があっ
た。密着性の低下の原因としては、各種界面へのシリコ
ーンオイルの局在化によるものと考えられる。又、この
シリコーンオイルは、エポキシ樹脂への分子レベルでの
溶解性が不足しているため、あたかも均一分散した様に
見えても、実際は各種界面にシリコーンオイルが局在化
し、各種基材との界面の密着性が低下し、耐半田クラッ
ク性が低下する傾向にある。2. Description of the Related Art Epoxy resin-based resin compositions for semiconductor encapsulation have been developed and manufactured to protect IC bodies from mechanical and chemical actions. In order to satisfy the characteristics required for ICs, various performances are required for semiconductor encapsulating epoxy resin compositions (hereinafter referred to as resin compositions). A recent requirement is to improve solder crack resistance.
In order to improve the solder crack resistance, it is necessary to reduce the water absorption of the sealing resin, but for that purpose, it is necessary to increase the compounding amount of the inorganic filler more than ever. If the amount is too large, it cannot be uniformly dispersed in the resin composition, and voids frequently occur during molding. In order to reduce the generation of voids, various proposals have been made, such as using a resin with high viscosity and changing the particle size distribution of the inorganic filler. One effective for reducing voids is a copolymer of polyethylene oxide and polypropylene oxide grafted onto a silicone chain, and an epoxy group bonded to the side chain (Japanese Patent Publication No.
No. 36,148), the voids are surely eliminated by the surface-active effect, but there is a drawback that the adhesiveness to various base materials is reduced and the solder crack resistance is significantly reduced. It is considered that the cause of the decrease in adhesiveness is the localization of silicone oil to various interfaces. In addition, since this silicone oil lacks solubility at a molecular level in epoxy resin, even if it looks as if it was uniformly dispersed, the silicone oil is actually localized at various interfaces, and the silicone oil does not easily react with various base materials. The adhesion at the interface tends to decrease, and the solder crack resistance tends to decrease.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の欠点
を解決するために鋭意研究をした結果、流動中の樹脂が
不均一である場合、流動先端は非常に不均一となり成形
品中に空隙ができ易く、空隙がボイドへと変化すること
に注目し、内部及び外部のボイドの発生が少なく、且つ
耐半田クラック性に優れたエポキシ樹脂組成物を提供す
るものである。DISCLOSURE OF THE INVENTION In the present invention, as a result of intensive studies to solve the above-mentioned drawbacks, when the resin in the flow is non-uniform, the flow front becomes very non-uniform and It is intended to provide an epoxy resin composition in which voids are easily formed and voids are transformed into voids, generation of internal and external voids is small, and solder crack resistance is excellent.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明は、エポキシ樹
脂、フェノール樹脂硬化剤、硬化促進剤、無機充填材、
及び式(1)で示されるシリコーンオイルからなるエポ
キシ樹脂組成物である。The present invention provides an epoxy resin, a phenol resin curing agent, a curing accelerator, an inorganic filler,
And an epoxy resin composition comprising the silicone oil represented by the formula (1).
【0005】[0005]
【化2】 Embedded image
【0006】以下に各成分について説明する。本発明で
用いるエポキシ樹脂は、分子中に2個以上のエポキシ基
を有するものならば特に限定するものではないが、好ま
しいものとしては、例えばオルソクレゾールノボラック
型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹
脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポ
キシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、トリフェノール
メタン型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメ
タン型エポキシ樹脂等が挙げられ、これらは単独でも混
合して用いても差し支えない。エポキシ当量や軟化点に
関しても特に限定するものではない。Each component will be described below. The epoxy resin used in the present invention is not particularly limited as long as it has two or more epoxy groups in the molecule, but preferred examples thereof include orthocresol novolac type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, and bisphenol. Type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, stilbene type epoxy resin, triphenol methane type epoxy resin, alkyl modified triphenol methane type epoxy resin and the like, and these may be used alone or in combination. The epoxy equivalent and the softening point are not particularly limited.
【0007】本発明で用いるフェノール樹脂硬化剤は、
分子中に水酸基を有するものならば特に限定するもので
はないが、好ましいものとしては、例えば、フェノール
ノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ジシクロ
ペンタジエン変性フェノール樹脂、パラキシリレン変性
フェノール樹脂、トリフェノールメタン型フェノール樹
脂、テルペン変性フェノール樹脂等が挙げられ、これら
は単独でも混合して用いても差し支えない。更に水酸基
当量や軟化点、オルソ/パラ比に関しても特に限定する
ものではない。本発明で用いる硬化促進剤は、エポキシ
基と水酸基の硬化反応を促進させるものならばよく、一
般に封止用樹脂組成物に使用されているものを広く利用
することができる。例えば、1,8−ジアザビシクロ
(5,4,0)ウンデセン−7、トリフェニルホスフィ
ン、テトラフェニルホスフォニウム・テトラフェニルボ
レート、ベンジルジメチルアミン、2−メチルイミダゾ
ール等が挙げられ、これらは単独でも混合して用いても
差し支えない。The phenolic resin curing agent used in the present invention comprises:
It is not particularly limited as long as it has a hydroxyl group in the molecule, but preferable examples include, for example, phenol novolac resin, cresol novolac resin, dicyclopentadiene modified phenol resin, paraxylylene modified phenol resin, triphenol methane type phenol resin. , Terpene-modified phenolic resins, etc., and these may be used alone or in combination. Further, the hydroxyl equivalent, softening point, ortho / para ratio are not particularly limited. The curing accelerator used in the present invention may be any one as long as it accelerates the curing reaction between the epoxy group and the hydroxyl group, and those generally used in the encapsulating resin composition can be widely used. For example, 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7, triphenylphosphine, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, benzyldimethylamine, 2-methylimidazole and the like can be mentioned, and these can be used alone or as a mixture. You can use it later.
【0008】本発明で用いる無機充填材としては、例え
ば、溶融シリカ粉末、球状シリカ粉末、結晶シリカ粉
末、2次凝集シリカ粉末、アルミナ等が挙げられ、特に
封止用樹脂組成物の流動性の向上の点から、球状シリカ
粉末が望ましい。球状シリカ粉末の形状は、流動性改善
のために、粒子自体の形状は限りなく真球状であること
が望ましく、更に粒度分布がブロードであることが望ま
しい。無機充填材の添加量に関しては特に限定しない。Examples of the inorganic filler used in the present invention include fused silica powder, spherical silica powder, crystalline silica powder, secondary agglomerated silica powder, alumina and the like. From the viewpoint of improvement, spherical silica powder is desirable. As for the shape of the spherical silica powder, it is desirable that the shape of the particles themselves is infinitely spherical and the particle size distribution is broad in order to improve the fluidity. The amount of the inorganic filler added is not particularly limited.
【0009】本発明で用いる式(1)のシリコーンオイ
ルについて詳細に説明する。式(1)のシリコーンオイ
ルは、ポリジメチルシロキサン構造の主鎖にポリエーテ
ルとアルキルを含む側鎖をグラフトした構造となってい
る。このうちシリコーン部とアルキル部は疎水基、ポリ
エーテルは親水基であり、式(1)のシリコーンオイル
は両親媒性、即ち界面活性剤の構造を有している。即
ち、本発明者は、ボイド低減と耐半田クラック性の向上
に適するシリコーンオイルについて種々検討し、ボイド
低減には無機充填材とエポキシ樹脂を均一分散させるに
は、シリコーンオイルは界面活性剤として最適な両親媒
性を有し、シリコーンオイル分子の親水基と疎水基の割
合を適正に設計する必要があり、また、耐半田クラック
性向上にはシリコーンオイルが分子レベルでもエポキシ
樹脂に十分に相溶することが必要であり、シリコーンオ
イルはエポキシ樹脂に相溶し易い基を多く含むことが望
ましいことを見いだした。その結果、式(1)のシリコ
ーンオイルが低ボイド性と耐半田クラック性の両立に最
適であることが判明した。シリコーン鎖は、エポキシ樹
脂には全く相溶しないがアルキル鎖はわずかに溶解す
る。一方、ポリエーテル鎖は良く溶解する。この様に、
エポキシ樹脂に対する溶解性が、シリコーン鎖とポリエ
ーテル鎖の中間であるアルキル鎖を導入することによ
り、エポキシ樹脂に対する溶解性と親水/疎水のバラン
スを自由自在に変更できる。更に、本発明のシリコーン
オイルの主鎖には、エポキシ樹脂と反応性のあるエポキ
シ基やアミノ基等の官能基を導入する必要がなく界面へ
の局在化も起こさない。The silicone oil of the formula (1) used in the present invention will be described in detail. The silicone oil of the formula (1) has a structure in which a main chain of a polydimethylsiloxane structure is grafted with a side chain containing polyether and alkyl. Of these, the silicone part and the alkyl part are hydrophobic groups, and the polyether is a hydrophilic group, and the silicone oil of the formula (1) has an amphipathic property, that is, a surfactant structure. That is, the present inventor has variously studied silicone oils suitable for reducing voids and improving solder crack resistance, and in order to uniformly disperse the inorganic filler and the epoxy resin for reducing voids, silicone oil is most suitable as a surfactant. It is necessary to properly design the ratio of hydrophilic groups and hydrophobic groups of silicone oil molecules, and to improve solder crack resistance, silicone oil is sufficiently compatible with epoxy resin even at the molecular level. It has been found that it is desirable that the silicone oil contains a large number of groups that are easily compatible with the epoxy resin. As a result, it was found that the silicone oil of the formula (1) is optimal for achieving both low void resistance and solder crack resistance. The silicone chain is completely incompatible with the epoxy resin, but the alkyl chain is slightly soluble. On the other hand, the polyether chains dissolve well. Like this
By introducing an alkyl chain whose solubility in the epoxy resin is between the silicone chain and the polyether chain, the solubility in the epoxy resin and the hydrophilic / hydrophobic balance can be freely changed. Furthermore, it is not necessary to introduce a functional group such as an epoxy group or an amino group, which is reactive with an epoxy resin, into the main chain of the silicone oil of the present invention, and localization at the interface does not occur.
【0010】式(1)中のシリコーン主鎖の重合度N
(=m+n+2)は、3〜250であることが望まし
い。重合度が3未満であると、親水基であるポリエーテ
ルを1分子中に全く含有しないシリコーンオイルがある
ことになり、このシリコーンオイルは界面活性効果がな
いためにボイドが多くなる。一方、重合度が250を越
えると、シリコーンオイルの粘度が高くなり、樹脂組成
物に溶解することが困難になり、同様にボイドが発生す
る。nは1以上が望ましい。nが1未満であると、親水
基であるポリエーテルを1分子中に全く含有しないシリ
コーンオイルとなり、このシリコーンオイルは界面活性
効果がないためにボイドが多くなる。a+bは2以上が
望ましい。a+bが2未満であると、十分に親水性を得
ることができず界面活性効果がなくなるためにボイドが
多くなる。cは2以上が望ましい。cが2未満であると
シリコーンオイルとポリエーテルの単なるグラフトコポ
リマーと類似構造となり、シリコーンオイルの良好な特
徴が発現しない。R1はメチル基、又は水酸基である。The degree of polymerization N of the silicone main chain in the formula (1)
(= M + n + 2) is preferably 3 to 250. If the degree of polymerization is less than 3, there is a silicone oil that does not contain a polyether, which is a hydrophilic group, in one molecule at all, and since this silicone oil has no surface-active effect, voids increase. On the other hand, when the degree of polymerization exceeds 250, the viscosity of the silicone oil becomes high and it becomes difficult to dissolve it in the resin composition, and voids are similarly generated. n is preferably 1 or more. When n is less than 1, a silicone oil containing no hydrophilic polyether is present in one molecule, and since this silicone oil has no surface-active effect, voids increase. It is desirable that a + b be 2 or more. When a + b is less than 2, sufficient hydrophilicity cannot be obtained and the surfactant effect is lost, resulting in increased voids. c is preferably 2 or more. When c is less than 2, the structure is similar to a mere graft copolymer of silicone oil and polyether, and good characteristics of silicone oil are not exhibited. R 1 is a methyl group or a hydroxyl group.
【0011】式(1)のシリコーンオイルの全樹脂組成
物中に配合する量は、特に限定するものではないが、
0.02〜3.0重量%が好ましい。0.02重量%未
満であるとシリコーンオイルの効果が発現せず、添加し
ない場合と同様に多くのボイドが発生する。3.0重量
%を越えるとエポキシ樹脂に十分に溶けずブリードアウ
トし、成形品のリードフレームに対する密着性を低減さ
せ、耐半田クラック性を低下させる。式(1)のシリコ
ーンオイルは、他の種類のシリコーンオイルと併用して
もよい。ただし、併用する他のシリコーンオイルが、全
シリコーンオイルの50重量%を越えるとボイドの発生
と耐半田クラック性の低下等が生じるので好ましくな
い。The amount of the silicone oil of the formula (1) to be added to the total resin composition is not particularly limited,
0.02-3.0% by weight is preferable. If it is less than 0.02% by weight, the effect of silicone oil will not be exhibited, and many voids will be generated as in the case of not adding. If it exceeds 3.0% by weight, it does not sufficiently dissolve in the epoxy resin and bleeds out, the adhesion of the molded product to the lead frame is reduced, and the solder crack resistance is reduced. The silicone oil of formula (1) may be used in combination with other types of silicone oil. However, if the other silicone oil used in combination exceeds 50% by weight of the total silicone oil, voids are generated and solder crack resistance is deteriorated, which is not preferable.
【0012】本発明の樹脂組成物には、必要に応じてカ
ーボンブラック等の着色剤、ブロム化エポキシ樹脂、三
酸化アンチモン等の難燃剤、γ−グリシドキシプロピル
トリメトキシシラン等のカップリング剤、ゴム等の低応
力成分を添加することもできる。本発明の樹脂組成物
は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂硬化剤、硬化促進
剤、無機充填材、シリコーンオイル、その他添加剤をミ
キサーで常温混合し、ロール、押し出し機等の一般混練
機を用いて混練し、冷却後粉砕し成形材料とすることが
できる。If necessary, the resin composition of the present invention contains a coloring agent such as carbon black, a brominated epoxy resin, a flame retardant such as antimony trioxide, and a coupling agent such as γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane. It is also possible to add low stress components such as rubber. The resin composition of the present invention is an epoxy resin, a phenol resin curing agent, a curing accelerator, an inorganic filler, silicone oil, and other additives are mixed at room temperature with a mixer, and kneaded using a general kneader such as a roll or an extruder. Then, it can be cooled and pulverized to obtain a molding material.
【0013】以下本発明を実施例で具体的に説明する。
配合割合は重量部とする。 実施例1 ビフェニル型エポキシ樹脂(YX400H(油化シェルエポキシ(株)、融点 105℃、エポキシ当量195) 10.5重量部 フェノールノボラック樹脂(H−1) 7.3重量部 シリコーンオイル(S−1:構造を表4に示す) 0.5重量部 球状シリカ(平均粒径15μm) 80重量部 カルナバワックス 0.3重量部 カーボンブラック 0.2重量部 臭素化フェノールノボラック型エポキシ樹脂(BrE) 0.5重量部 三酸化アンチモン 0.5重量部 トリフェニルホスフィン 0.2重量部 をミキサーで常温混合し、100℃で二軸ロールを用い
て混練し、冷却後粉砕し、ドライエアーで乾燥させて得
られた成形材料を成形し、ボイド、耐半田クラックの評
価を行った。評価結果を表1に示す。The present invention will be specifically described below with reference to examples.
The mixing ratio is by weight. Example 1 Biphenyl type epoxy resin (YX400H (Okaka Shell Epoxy Co., Ltd., melting point 105 ° C., epoxy equivalent 195) 10.5 parts by weight Phenol novolac resin (H-1) 7.3 parts by weight Silicone oil (S-1 : Structure is shown in Table 4. 0.5 parts by weight Spherical silica (average particle size 15 μm) 80 parts by weight Carnauba wax 0.3 parts by weight Carbon black 0.2 parts by weight Brominated phenol novolac type epoxy resin (BrE) 0. 5 parts by weight Antimony trioxide 0.5 parts by weight Triphenylphosphine 0.2 parts by weight are mixed at room temperature in a mixer, kneaded at 100 ° C. using a biaxial roll, cooled, pulverized, and dried by dry air to obtain The obtained molding material was molded and evaluated for voids and solder crack resistance, and the evaluation results are shown in Table 1.
【0014】評価方法 ボイドの評価:160pQFP(28×28mmボディ
サイズ)を下記条件で成形した。 成形温度:175℃、注入時間:15秒、硬化時間:1
20秒(注入時間を含む)、予熱時間:80℃。 成形品の内部ボイドの数は超音波探傷機により確認し
た。4個のパッケージ中の外部及び内部のボイド数
(0.5mmφ以上のサイズのもの)を合計し、1パッ
ケージ当たりに換算してボイド数とした。 耐半田クラックの評価:80pQFP(厚み1.5m
m)を成形し、ポストキュア後、85℃/85%の恒温
恒室槽中で168時間処理した。処理直後、IRリフロ
ー炉を用いて240℃、10秒の処理を行い、リフロー
処理の後の外部クラックを目視で観察し、8パッケージ
中でパッケージにクラックが発生しているかを評価し
た。 実施例2〜15 表1、表2に従い、実施例1と同様にして成形材料を
得、同様に評価した。評価結果を表1、表2に示す。 比較例1〜8 表3に従い、実施例1と同様にして成形材料を得、同様
に評価した。評価結果を表3に示す。実施例、比較例で
用いた(E−1)、(E−2)、(H−1)〜(H−
3)、(S−11)について下記に示す。更に(S−
1)〜(S−10)、(S−12)〜(S−16)の構
造を表4に示す。Evaluation method Evaluation of void: 160 pQFP (28 × 28 mm body size) was molded under the following conditions. Molding temperature: 175 ° C, injection time: 15 seconds, curing time: 1
20 seconds (including injection time), preheating time: 80 ° C. The number of internal voids in the molded product was confirmed by an ultrasonic flaw detector. The number of voids inside and outside the four packages (having a size of 0.5 mmφ or more) was totaled and converted into one package to obtain the number of voids. Evaluation of solder crack resistance: 80 pQFP (thickness 1.5 m
m) was molded, post-cured, and then treated in a thermostatic chamber at 85 ° C./85% for 168 hours. Immediately after the treatment, treatment was carried out at 240 ° C. for 10 seconds using an IR reflow furnace, and external cracks after the reflow treatment were visually observed to evaluate whether or not cracks had occurred in the package among the 8 packages. Examples 2 to 15 According to Table 1 and Table 2, molding materials were obtained in the same manner as in Example 1 and evaluated in the same manner. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2. Comparative Examples 1 to 8 According to Table 3, a molding material was obtained and evaluated in the same manner as in Example 1. Table 3 shows the evaluation results. (E-1), (E-2), (H-1) to (H-) used in Examples and Comparative Examples.
3) and (S-11) are shown below. Furthermore (S-
Table 4 shows the structures of 1) to (S-10) and (S-12) to (S-16).
【0015】[0015]
【化3】 Embedded image
【0016】[0016]
【化4】 Embedded image
【0017】[0017]
【化5】 Embedded image
【0018】[0018]
【表1】 [Table 1]
【0019】[0019]
【表2】 [Table 2]
【0020】[0020]
【表3】 [Table 3]
【0021】[0021]
【表4】 [Table 4]
【0022】[0022]
【発明の効果】本発明の樹脂組成物を用いて半導体素子
を封止することにより、ボイドが少なく、且つ耐半田ク
ラック性に優れた信頼性の高い半導体装置を得ることが
できる。従って、ドライパックが不要となり工数削減、
コスト削減に大きな効果がある。By encapsulating a semiconductor element using the resin composition of the present invention, a highly reliable semiconductor device having few voids and excellent solder crack resistance can be obtained. Therefore, a dry pack is not required and the number of steps is reduced.
It has a great effect on cost reduction.
Claims (2)
硬化促進剤、無機充填材、及び式(1)で示されるシリ
コーンオイルからなることを特徴とするエポキシ樹脂組
成物。 【化1】 An epoxy resin, a phenol resin curing agent,
An epoxy resin composition comprising a curing accelerator, an inorganic filler, and a silicone oil represented by the formula (1). Embedded image
配合量が、全樹脂組成物中に0.02〜3.0重量%で
ある請求項1記載のエポキシ樹脂組成物。2. The epoxy resin composition according to claim 1, wherein the amount of the silicone oil represented by the formula (1) is 0.02 to 3.0% by weight based on the total resin composition.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13910696A JPH09316305A (en) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | Epoxy resin composition |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13910696A JPH09316305A (en) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | Epoxy resin composition |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09316305A true JPH09316305A (en) | 1997-12-09 |
Family
ID=15237632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13910696A Withdrawn JPH09316305A (en) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | Epoxy resin composition |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH09316305A (en) |
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1996
- 1996-05-31 JP JP13910696A patent/JPH09316305A/en not_active Withdrawn
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