JPH09305910A - Magnetic head and manufacture of the same - Google Patents

Magnetic head and manufacture of the same

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JPH09305910A
JPH09305910A JP9002741A JP274197A JPH09305910A JP H09305910 A JPH09305910 A JP H09305910A JP 9002741 A JP9002741 A JP 9002741A JP 274197 A JP274197 A JP 274197A JP H09305910 A JPH09305910 A JP H09305910A
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JP
Japan
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core
magnetic
thin film
half core
magnetic head
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JP9002741A
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Japanese (ja)
Inventor
Rotaku Boku
魯 澤 朴
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Sansei Denki KK
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Original Assignee
Sansei Denki KK
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
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Publication date
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    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3163Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
    • GPHYSICS
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    • GPHYSICS
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve output of a magnetic head by forming a half core with a thin film to shorten a magnetic path. SOLUTION: A wiring groove 2 and a depth groove are formed at a contact surface between a first half core 101 as a magnetic core and a second half core 102 as a non-magnetic core to be coupled. Next, a core thin film portion 3 is evaporated through sputtering by a magnetic substance to the coupling surface of the second half core 102 where the wiring groove 2 and depth groove are formed. Next, gap is sputtered with silicon dioxide to form a magnetic head gap 5 on the core thin film portion 3 and the second half core 102 and the first half core 101 are welded by glass after the above gap sputtering process. Next, the contact surface which is the sliding surface of the welded second half core 102 and first half core 101 is polished by the rounding polishing method and the side surface of the first half core 101 polished by the rounding polishing method is then polished.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は磁気ヘッド及びその
製造方法に関するものであって、より詳しくは非磁性コ
アに磁性物質を蒸着して磁路を短くすることにより、磁
気ヘッドの出力向上を図るようにした磁気ヘッド及びそ
の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head and a method for manufacturing the same, and more specifically, to improve the output of the magnetic head by depositing a magnetic substance on a non-magnetic core to shorten the magnetic path. The present invention relates to such a magnetic head and a manufacturing method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般的に磁気記録装置は高飽和が加速化
されると共に、媒体単位の面積当たりの記録情報の増
大、即ち高密度化が核心的な改善課題になっており、こ
の高密度化の発展は磁性テープやディスクの媒体性能の
改善に大きな影響を及ぼすことになり、磁性体の保磁力
の増大等の媒体技術の進歩と共に記録、再生の主導的役
割をする磁気ヘッドの磁気記録と再生感度の向上及び出
力改善が高密度化を実現させることに一番重要な課題と
なっている。
2. Description of the Related Art Generally, in magnetic recording devices, high saturation is accelerated, and at the same time, increasing the amount of recorded information per unit area of a medium, that is, increasing the recording density is a core improvement task. The development of the magnetic recording will have a great influence on the improvement of the medium performance of magnetic tapes and disks. With the progress of the medium technology such as the increase of the coercive force of the magnetic material, the magnetic recording of the magnetic head which plays a leading role in recording and reproduction. And improvement of reproduction sensitivity and output improvement are the most important issues for realizing high density.

【0003】図7は従来技術による磁気ヘッドの構造図
である。図7における従来技術による磁気ヘッドはマン
ガン亜鉛フェラシトからなる一対の第1半体コア(101)
と第2半体コア(102) にコイルを巻き、このコイルに信
号電流が流れることにより上記第1半体コア(101) と第
2半体コア(102) に磁束が発生するようになっている
が、このような従来の磁気ヘッドの製造は巻線溝(2) 、
深さ溝、ギャップスパッタ(Gap Sputter) 、コア結合及
び溶着、ラウンディング研磨、スライシングの工程を介
して成されるようになっていた。
FIG. 7 is a structural diagram of a conventional magnetic head. The magnetic head according to the prior art shown in FIG. 7 has a pair of first half cores (101) made of manganese zinc ferrite.
And a coil is wound around the second half core (102), and when a signal current flows through this coil, a magnetic flux is generated in the first half core (101) and the second half core (102). However, the manufacture of such a conventional magnetic head requires winding groove (2),
It has been performed through the steps of depth groove, gap sputter, core bonding and welding, rounding polishing and slicing.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記工程で、平均磁路
の長さ(4) が短いほど、ヘッドの効率が良好になって、
ヘッドの出力を高めることができるが、磁路を短くする
ためにはコアの幅が小さくなるべきである。一方、巻線
溝(2) は少なくともコイルが大略20回程巻線される空
間を必要とする。そこで、コアの幅が小さいと残留応力
による上記コイルの巻線時、巻線溝(2) の破損やクラッ
クなどが発生する恐れがある。上記コアの幅を小型化す
るには限界があるため、磁気ヘッドの小型化を図ること
のできない問題点があった。
In the above process, the shorter the average magnetic path length (4), the better the efficiency of the head.
The head output can be increased, but the core width should be reduced to shorten the magnetic path. On the other hand, the winding groove (2) requires a space for winding the coil at least about 20 times. Therefore, if the width of the core is small, the winding groove (2) may be damaged or cracked when the coil is wound due to residual stress. Since there is a limit to downsizing the width of the core, there is a problem that the magnetic head cannot be downsized.

【0005】従って、本発明は上記のような従来の問題
点を解決するために案出したものであって、発明の主な
目的は磁路を短くして、磁気ヘッドの出力を増加させ、
磁気ヘッドの小型化を図った磁気ヘッド及びその製造方
法を提供することにある。
Therefore, the present invention has been devised to solve the above-mentioned conventional problems, and the main object of the present invention is to shorten the magnetic path and increase the output of the magnetic head.
It is an object of the present invention to provide a magnetic head having a reduced size and a method for manufacturing the same.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1記載の第1の発明の特徴は、磁性コアであ
る第1半体コアと接合される非磁性コアである第2半体
コアの接合面に巻線溝と深さ溝が形成される工程と、上
記巻線溝と深さ溝が形成された第2半体コアの接合面に
コア薄膜部が磁性物質でスパッタされて蒸着される工程
と、上記コア薄膜部の上に磁気ヘッドギャップである薄
膜が形成されるようにギャップスパッタされる工程と、
上記工程の後に第1半体コアと第2半体コアがガラスで
溶着される工程と、上記溶着された第1半体コアと第2
半体コアの接触面が研磨されるラウンディング研磨工程
と、上記ラウンディング研磨工程の後、上記第1半体コ
アの側面が研磨される工程と、磁気ヘッドがスライシン
グされる工程とから製造されることを要旨とする。従っ
て、磁路を短くして、磁気ヘッドの出力を増加させ、磁
気ヘッドの小型化を図ることができる。
In order to achieve the above-mentioned object, a feature of the first invention according to claim 1 is that a nonmagnetic core is joined to a first half core which is a magnetic core. The step of forming the winding groove and the depth groove on the joint surface of the half core, and the core thin film part is sputtered with a magnetic substance on the joint surface of the second half core on which the winding groove and the depth groove are formed. And vapor deposition, and gap sputtering so that a thin film that is a magnetic head gap is formed on the core thin film portion,
A step of welding the first half core and the second half core with glass after the above step, and the above-mentioned welded first half core and the second half core
It is manufactured by a rounding polishing step of polishing the contact surface of the half core, a step of polishing the side surface of the first half core after the rounding polishing step, and a step of slicing the magnetic head. The main point is that. Therefore, the magnetic path can be shortened, the output of the magnetic head can be increased, and the size of the magnetic head can be reduced.

【0007】請求項2記載の第2の発明は、上記コア薄
膜部はマンガン亜鉛類又はセンダストである磁性物質で
蒸着されることを要旨とする。従って、磁性コア薄膜部
を蒸着できる。
A second aspect of the present invention is characterized in that the core thin film portion is vapor-deposited with a magnetic substance such as manganese zinc or sendust. Therefore, the magnetic core thin film portion can be deposited.

【0008】請求項3記載の第3の発明は、上記コア薄
膜部はその薄膜の厚さが2μm〜50μmになることを
要旨とする。従って、コア薄膜部の薄膜は薄膜の強度保
持と残留応力によるクラック及び破損を防止できる。
A third aspect of the present invention is characterized in that the core thin film portion has a thin film thickness of 2 μm to 50 μm. Therefore, the thin film of the core thin film portion can maintain the strength of the thin film and prevent cracking and damage due to residual stress.

【0009】請求項4記載の第4の発明は、非磁性コア
である第1半体コアと接合される非磁性コアである第2
半体コアの接合面に巻線溝と深さ溝が形成される工程
と、第1半体コアの接合面と上記巻線溝と深さ溝が形成
された第2半体コアの接合面に第1コア薄膜部と第2コ
ア薄膜部が磁性物質でスパッタされて蒸着される工程
と、上記第2コア薄膜部の上に磁気ヘッドギャップであ
る薄膜が形成されるようにギャップスパッタされる工程
と、上記工程の後に第1半体コアと第2半体コアがガラ
スで溶着される工程と、上記溶着された第1半体コアと
第2半体コアの接触面が研磨されるラウンディング研磨
工程と、上記ラウンディング研磨工程の後、上記第1半
体コアの側面が研磨される工程と、磁気ヘッドがスライ
シングされる工程とからなることを要旨とする。従っ
て、第1コア薄膜部と第2コア薄膜部に磁束が流れるこ
とにより磁路が画期的に短くできる。
According to a fourth aspect of the present invention, the second non-magnetic core is joined to the first half core which is the non-magnetic core.
A step of forming a winding groove and a depth groove on the joining surface of the half core, and a joining surface of the joining surface of the first half core and the second half core on which the winding groove and the depth groove are formed And a step of depositing a first core thin film portion and a second core thin film portion by sputtering with a magnetic material, and gap sputtering so that a thin film that is a magnetic head gap is formed on the second core thin film portion. A step, a step in which the first half core and the second half core are welded by glass after the above step, and a lounger in which a contact surface of the welded first half core and the second half core is polished The gist of the present invention is to include a polishing step, a step of polishing the side surface of the first half core after the rounding step, and a step of slicing the magnetic head. Therefore, the magnetic path can be remarkably shortened by the magnetic flux flowing through the first core thin film portion and the second core thin film portion.

【0010】請求項5記載の第5の発明は、上記コア薄
膜部はマンガン亜鉛類又はセンダストである磁性物質で
蒸着されることを要旨とする。従って、磁性コア薄膜部
を蒸着できる。
A fifth aspect of the present invention is characterized in that the core thin film portion is vapor-deposited with a magnetic substance such as manganese zinc or sendust. Therefore, the magnetic core thin film portion can be deposited.

【0011】請求項6記載の第6の発明は、上記コア薄
膜部はその薄膜の厚さが2μm〜50μmになることを
要旨とする。従って、コア薄膜部の薄膜は薄膜の強度保
持と残留応力によるクラック及び破損を防止できる。
A sixth aspect of the present invention is characterized in that the core thin film portion has a thin film thickness of 2 μm to 50 μm. Therefore, the thin film of the core thin film portion can maintain the strength of the thin film and prevent cracking and damage due to residual stress.

【0012】請求項7記載の第7の発明は、第1半体コ
アと第2半体コアを接合してなる磁気ヘッドにおいて、
磁性コアである第1半体コアと、非磁性コアである第2
半体コアと、上記非磁性コアである第2半体コアの接合
面に磁性物質でスパッタされて形成されたコア薄膜部
と、上記コア薄膜部の上にギャップスパッタされて形成
される酸化珪素膜である薄膜とからなることを要旨とす
る。従って、磁路を短くして、磁気ヘッドの出力を増加
させ、磁気ヘッドの小型化を図ることができる。
According to a seventh aspect of the present invention, in a magnetic head formed by joining a first half core and a second half core,
The first half core, which is a magnetic core, and the second half, which is a non-magnetic core
A core thin film portion formed by sputtering a magnetic substance on the joint surface of the half core and the second half core which is the non-magnetic core, and silicon oxide formed by gap sputtering on the core thin film portion. The gist is that it is composed of a thin film that is a film. Therefore, the magnetic path can be shortened, the output of the magnetic head can be increased, and the size of the magnetic head can be reduced.

【0013】請求項8記載の第8の発明は、上記磁性物
質はマンガン亜鉛フェライト又はセンダストであること
を要旨とする。従って、磁性コア薄膜部を蒸着できる。
An eighth aspect of the present invention is characterized in that the magnetic substance is manganese zinc ferrite or sendust. Therefore, the magnetic core thin film portion can be deposited.

【0014】請求項9記載の第9の発明は、上記非磁性
コアはニッケル亜鉛フェライト又はAlTiCであるこ
とを要旨とする。従って、マンガン亜鉛フェライトと類
似した硬度を有する。
A ninth aspect of the present invention is summarized in that the nonmagnetic core is nickel zinc ferrite or AlTiC. Therefore, it has a hardness similar to that of manganese zinc ferrite.

【0015】請求項10記載の第10の発明は、上記第
1半体コアの幅が第1半体コアの厚さより約1/3以下
になることを要旨とする。従って、磁路短縮の最適化を
図ることができる。
A tenth aspect of the present invention is characterized in that the width of the first half core is about 1/3 or less of the thickness of the first half core. Therefore, the shortening of the magnetic path can be optimized.

【0016】請求項11記載の第11の発明は、第1半
体コアと第2半体コアを接合してなる磁気ヘッドにおい
て、非磁性コアである第1半体コアと、非磁性コアであ
る第2半体コアと、上記第1半体コアと第2半体コアが
接合される第1半体コアの接合面に磁性物質でスパッタ
された第1コア薄膜部と、上記第1半体コアと第2半体
コアが接合される第2半体コアの接合面に磁性物質でス
パッタされた第2コア薄膜部と、上記第2コア薄膜部の
上にギャップスパッタされて形成される薄膜とからなる
ことを要旨とする。従って、第1コア薄膜部と第2コア
薄膜部に磁束が流れることにより磁路が画期的に短くで
きる。
According to an eleventh aspect of the present invention, in a magnetic head formed by joining a first half core and a second half core, the first half core which is a non-magnetic core and the non-magnetic core are used. A second half core, a first core thin film portion sputtered with a magnetic substance on a bonding surface of the first half core where the first half core and the second half core are bonded, and the first half A second core thin film portion sputtered with a magnetic material on a joint surface of the second half core where the body core and the second half core are joined, and gap sputtering is formed on the second core thin film portion. The main point is that it consists of a thin film. Therefore, the magnetic path can be remarkably shortened by the magnetic flux flowing through the first core thin film portion and the second core thin film portion.

【0017】請求項12記載の第12の発明は、上記磁
性物質はマンガン亜鉛フェライト又はセンダストである
ことを要旨とする。従って、磁性コア薄膜部を蒸着でき
る。
A twelfth aspect of the present invention is characterized in that the magnetic substance is manganese zinc ferrite or sendust. Therefore, the magnetic core thin film portion can be deposited.

【0018】請求項13記載の第13の発明は、上記非
磁性コアはニッケル亜鉛フェライト又はAlTiCであ
ることを要旨とする。従って、マンガン亜鉛フェライト
と類似した硬度を有する。
A thirteenth aspect of the present invention is characterized in that the nonmagnetic core is nickel zinc ferrite or AlTiC. Therefore, it has a hardness similar to that of manganese zinc ferrite.

【0019】請求項14記載の第14の発明は、上記第
1半体コアの幅が第1半体コアの厚さより約1/3以下
になることを要旨とする。従って、磁路短縮の最適化を
図ることができる。
A fourteenth aspect of the present invention is characterized in that the width of the first half core is about ⅓ or less of the thickness of the first half core. Therefore, the shortening of the magnetic path can be optimized.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】図1は本発明による磁気ヘッドの
製造方法を示す工程図であって、本発明による磁気ヘッ
ド及びその製造方法は磁気ヘッドを成す磁性コアである
第1半体コア(101) と接合される非磁性コアである第2
半体コア(102) の接合面に巻線溝(2)と深さ溝が形成さ
れる工程(A)と、上記巻線溝(2) と深さ溝が形成され
た第2半体コア(102) の接合面にコア薄膜部(3) が磁性
物質でスパッタされて蒸着される工程(B)と、上記コ
ア薄膜部(3) の上に磁気ヘッドギャップ(5) が形成され
るように酸化珪素でスパッタリングされるギャップスパ
ッタ工程(C)と、上記ギャップスパッタ工程の後に第
2半体コア(102) と第1半体コア(101) がガラスで溶着
される工程(D)と、上記溶着された第2半体コア(10
2) と第1半体コア(101) の褶動面である接触面が研磨
されるラウンディング研磨工程(E)と、上記ラウンデ
ィング研磨工程された上記第1半体コア(101) の側面が
研磨される工程及び磁気ヘッドがスライシングされる工
程(F)とからなるものである。
1 is a process diagram showing a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention. A magnetic head and a method for manufacturing the same according to the present invention include a first half core (a magnetic core forming a magnetic head). The second, which is a non-magnetic core joined to 101)
Step (A) in which the winding groove (2) and the depth groove are formed on the joint surface of the half core (102), and the second half core in which the winding groove (2) and the depth groove are formed. A step (B) in which the core thin film part (3) is sputtered with a magnetic substance and deposited on the bonding surface of the (102), and a magnetic head gap (5) is formed on the core thin film part (3). A gap sputtering step (C) of sputtering with silicon oxide, and a step (D) of welding the second half core (102) and the first half core (101) with glass after the gap sputtering step. The welded second half core (10
2) and a rounding polishing step (E) in which a contact surface which is a sliding surface of the first half core (101) is polished, and a side surface of the first half core (101) subjected to the rounding polishing step. Is polished and the magnetic head is sliced (F).

【0021】上記製造方法において、非磁性コアである
第2半体コア(102) が磁性コアである第1半体コア(10
1) と接合される接合面に磁性材質であるマンガン亜鉛
物質でスパッタリングされることにより、磁性コア薄膜
部(3) が蒸着される。上記コア薄膜部(3) の薄膜は薄膜
の強度保持と残留応力によるクラック及び破損を防止す
るために2μm〜50μmの厚さになることが望まし
い。
In the above manufacturing method, the second half core (102) which is a non-magnetic core is the first half core (10) which is a magnetic core.
The magnetic core thin film part (3) is deposited by sputtering a manganese-zinc material, which is a magnetic material, on the bonding surface to be bonded with 1). It is desirable that the thin film of the core thin film portion (3) has a thickness of 2 μm to 50 μm in order to maintain the strength of the thin film and prevent cracking and damage due to residual stress.

【0022】Al22 3 、Ca系酸化物(Oxide) から
なる非磁性コアである第2半体コア(102) に上記コア薄
膜部(3) が成形されるようにするコアスパッタは磁性物
質であるマンガン亜鉛のフェライト又はFe−Si−A
l合金であるセンダスト(sendust) からなり、103 to
rrのAr雰囲気でスパッタリングしてなるものである。
The core sputtering for forming the core thin film part (3) on the second half core (102) which is a non-magnetic core made of Al 2 2 O 3 and Ca-based oxide (Oxide) is a magnetic substance. Manganese Zinc Ferrite or Fe-Si-A
It is composed of sendust which is an alloy of 10 3 to
It is formed by sputtering in an Ar atmosphere of rr.

【0023】また、上記磁性コアである第1半体コア(1
01) は従来のようなバルク(Bulk)マンガン亜鉛フェライ
トからなり、上記非磁性コアである第2半体コア(102)
はマンガン亜鉛フェライトと類似した硬度を有する非磁
性ニッケル亜鉛フェライト又はAlTiCからなるもの
である。
In addition, the first half core (1
01) is made of conventional bulk manganese zinc ferrite, and is the non-magnetic core of the second half core (102).
Is a non-magnetic nickel zinc ferrite or AlTiC having a hardness similar to that of manganese zinc ferrite.

【0024】図2は本発明による磁気ヘッドの平面図で
あり、図3は図2におけるIII −III 線の断面図であ
る。
FIG. 2 is a plan view of the magnetic head according to the present invention, and FIG. 3 is a sectional view taken along the line III--III in FIG.

【0025】図3のように本発明による磁気ヘッドは、
磁性コアである第1半体コア(101)と、非磁性コアであ
る第2半体コア(102) と、上記非磁性コアである第2半
体コア(102) の接合面に磁性物質でスパッタされて形成
されたコア薄膜部(3) と、上記コア薄膜部(3) の上に酸
化珪素でギャップスパッタされて形成される磁気ヘッド
ギャップ(5) 及び第2半体コア(102) と第1半体コア(1
01) が溶着されたものであって、上記非磁性コアである
第2半体コア(102) に蒸着されたコア薄膜部(3) と磁性
コアである第1半体コア(101) を通じて短くなった磁路
(4a)が形成されるものである。
The magnetic head according to the present invention as shown in FIG.
The first half core (101) which is a magnetic core, the second half core (102) which is a non-magnetic core, and the second half core (102) which is a non-magnetic core are bonded to each other with a magnetic substance. A core thin film portion (3) formed by sputtering, a magnetic head gap (5) and a second half core (102) formed by gap sputtering of silicon oxide on the core thin film portion (3), First half core (1
01) is welded, and the core thin film part (3) deposited on the second half core (102) which is the non-magnetic core and the first half core (101) which is the magnetic core are short. Magnetic path
(4a) is formed.

【0026】従って、本発明による磁気ヘッドは第2半
体コア(102) を使用するにおいて、磁性コアを使用せ
ず、非磁性コアである第2半体コア(102) に磁束が通過
できるように磁性コア薄膜部(3) が形成され当該磁束が
第2半体コア(102) を経由しないで、上記コア薄膜部
(3) を通じて流れるため、画期的に短くなった磁路(4a)
が形成されるものである。
Therefore, in the magnetic head according to the present invention, when the second half core (102) is used, the magnetic flux can pass through the second half core (102) which is a non-magnetic core without using the magnetic core. The magnetic core thin film part (3) is formed on the core and the magnetic flux does not pass through the second half core (102).
Since it flows through (3), the magnetic path (4a) is remarkably shortened.
Is formed.

【0027】図4は本発明による他の実施形態の磁気ヘ
ッドの平面図であり、図5は図4におけるV−V線の断
面図であり、図6は本発明による他の実施形態の磁気ヘ
ッドの製造過程を示した工程図である。
FIG. 4 is a plan view of a magnetic head according to another embodiment of the present invention, FIG. 5 is a sectional view taken along line VV in FIG. 4, and FIG. 6 is a magnetic view of another embodiment of the present invention. FIG. 6 is a process diagram showing a manufacturing process of the head.

【0028】図6の本発明による他の実施形態の磁気ヘ
ッド製造方法を示す工程図である。同図において、第1
半体コア(101) と第2半体コア(102) が接合してなる磁
気ヘッドは、非磁性コアである第1半体コア(101) と、
非磁性コアである第2半体コア(102) と、上記第1半体
コア(101) と第2半体コア(102) が接合される第1半体
コア(101) の接合面に磁束が通過できるように磁性物質
でスパッタされた第1コア薄膜部(3a)と、上記第1半体
コア(101) と第2半体コア(102) が接合される第2半体
コア(102) の接合面に当該磁束が通過できるように磁性
物質でスパッタされた第2コア薄膜部(3b)及び上記第2
コア薄膜部(3b)の上に酸化珪素でギャップスパッタされ
て形成される薄膜である磁気ヘッドギャップ(5) とから
なる。上記磁気ヘッドは第1コア薄膜部(3a)と第2コア
薄膜部(3b)に磁束が流れるため、画期的に短くなった磁
路 (4a´) が形成されるものである。
FIG. 9 is a process diagram showing a magnetic head manufacturing method of another embodiment according to the present invention in FIG. 6. In the figure, the first
The magnetic head in which the half core (101) and the second half core (102) are joined together has a first half core (101) which is a non-magnetic core,
The magnetic flux is applied to the joint surface of the second half core (102) which is a non-magnetic core and the first half core (101) where the first half core (101) and the second half core (102) are joined. The second core (102) in which the first core thin film part (3a) sputtered with a magnetic material so that the first half core (101) and the second half core (102) are joined to each other ) The second core thin film portion (3b) sputtered with a magnetic substance so that the magnetic flux can pass to the joint surface of
The magnetic head gap (5) is a thin film formed by gap sputtering with silicon oxide on the core thin film portion (3b). In the above magnetic head, since magnetic flux flows through the first core thin film portion (3a) and the second core thin film portion (3b), a magnetic path (4a ') which is remarkably shortened is formed.

【0029】上記のように製造される本発明による磁気
ヘッド及びその製造方法はコア幅(図1において、側面
研磨されて減らされたコア幅を示す)の縮小によるコア
断面積の減少を図ることができ、これにより、出力減少
の要因と図7の磁路(4) より図3の磁路(4a)及び図6の
磁路 (4a´) が短くなるため、磁気ヘッドの出力が増加
し、この時のコア幅の縮小による出力減少はコア(core)
の厚さ(巻線溝方向へのコアの厚さである)を大きくし
て、コア断面積の減少を抑制することにより、磁路短縮
による出力増加効率を極大化させることができる。
The magnetic head according to the present invention manufactured as described above and the method for manufacturing the same are intended to reduce the core cross-sectional area by reducing the core width (in FIG. 1, the core width reduced by side polishing). As a result, the output decreases and the magnetic path (4a) in FIG. 3 and the magnetic path (4a ′) in FIG. 6 become shorter than the magnetic path (4) in FIG. 7, and the output of the magnetic head increases. , The output reduction due to the reduction of the core width at this time is the core
By increasing the thickness of the core (which is the thickness of the core in the winding groove direction) and suppressing the decrease in the core cross-sectional area, the output increasing efficiency due to the shortening of the magnetic path can be maximized.

【0030】また、本発明による磁気ヘッド及びその製
造方法は上記のようなコア断面積の減少において、望ま
しくはコアの幅がコアの厚さより約1/3以下になっ
て、磁路短縮の最適化を図ることができる特徴を有する
ものである。
Further, in the magnetic head and the method for manufacturing the same according to the present invention, in the reduction of the core cross-sectional area as described above, the width of the core is preferably about 1/3 or less than the thickness of the core, and the optimum magnetic path shortening is achieved. It has a feature that can be realized.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上説明したように、第1の発明は、磁
性コアである第1半体コアと接合される非磁性コアであ
る第2半体コアの接合面に巻線溝と深さ溝が形成される
工程と、上記巻線溝と深さ溝が形成された第2半体コア
の接合面にコア薄膜部が磁性物質でスパッタされて蒸着
される工程と、上記コア薄膜部の上に磁気ヘッドギャッ
プである薄膜が形成されるようにギャップスパッタされ
る工程と、上記工程の後に第1半体コアと第2半体コア
がガラスで溶着される工程と、上記溶着された第1半体
コアと第2半体コアの接触面が研磨されるラウンディン
グ研磨工程と、上記ラウンディング研磨工程の後、上記
第1半体コアの側面が研磨される工程と、磁気ヘッドが
スライシングされる工程とから製造されるので、磁路を
短くして、磁気ヘッドの出力を増加させ、磁気ヘッドの
小型化を図ることができる。
As described above, according to the first invention, the winding groove and the depth are formed on the joint surface of the second half core which is the non-magnetic core and which is joined to the first half core which is the magnetic core. A step of forming a groove, a step of depositing a core thin film portion by sputtering a magnetic material on a bonding surface of the second half core in which the winding groove and the depth groove are formed, and a step of forming the core thin film portion. A step of gap sputtering to form a thin film of a magnetic head gap thereon; a step of welding the first half core and the second half core with glass after the above step; A rounding polishing step of polishing the contact surface between the first half core and the second half core, a step of polishing the side surface of the first half core after the rounding polishing step, and a slicing of the magnetic head. Since it is manufactured from the process of Increasing the output of the de, it is possible to reduce the size of the magnetic head.

【0032】第2の発明は、上記コア薄膜部はマンガン
亜鉛類又はセンダストである磁性物質で蒸着されるの
で、磁性コア薄膜部を蒸着できる。
In the second aspect of the invention, the core thin film portion can be deposited because the core thin film portion is deposited with a magnetic substance such as manganese zinc or sendust.

【0033】第3の発明は、上記コア薄膜部はその薄膜
の厚さが2μm〜50μmになるので、コア薄膜部の薄
膜は薄膜の強度保持と残留応力によるクラック及び破損
を防止できる。
In the third invention, the core thin film portion has a thickness of 2 μm to 50 μm, so that the thin film of the core thin film portion can maintain strength of the thin film and prevent cracks and damages due to residual stress.

【0034】第4の発明は、非磁性コアである第1半体
コアと接合される非磁性コアである第2半体コアの接合
面に巻線溝と深さ溝が形成される工程と、第1半体コア
の接合面と上記巻線溝と深さ溝が形成された第2半体コ
アの接合面に第1コア薄膜部と第2コア薄膜部が磁性物
質でスパッタされて蒸着される工程と、上記第2コア薄
膜部の上に磁気ヘッドギャップである薄膜が形成される
ようにギャップスパッタされる工程と、上記工程の後に
第1半体コアと第2半体コアがガラスで溶着される工程
と、上記溶着された第1半体コアと第2半体コアの接触
面が研磨されるラウンディング研磨工程と、上記ラウン
ディング研磨工程の後、上記第1半体コアの側面が研磨
される工程と、磁気ヘッドがスライシングされる工程と
からなるので、第1コア薄膜部と第2コア薄膜部に磁束
が流れることにより磁路が画期的に短くできる。
A fourth invention is a step of forming a winding groove and a depth groove on a joint surface of a second half core which is a non-magnetic core joined to a first half core which is a non-magnetic core. , The first core thin film portion and the second core thin film portion are sputtered with a magnetic substance and deposited on the joint surface of the first half core and the joint surface of the second half core on which the winding groove and the depth groove are formed. And a step of performing gap sputtering so that a thin film which is a magnetic head gap is formed on the second core thin film portion, and the first half core and the second half core are made of glass after the above step. Of the first half core and the rounding polishing step of polishing the contact surfaces of the welded first half core and the second half core, and after the rounding polishing step, Since it consists of the step of polishing the side surface and the step of slicing the magnetic head, Magnetic path by the magnetic flux flows through the core thin film portion and the second core thin section can be remarkably shortened.

【0035】第5の発明は、上記コア薄膜部はマンガン
亜鉛類又はセンダストである磁性物質で蒸着されるの
で、磁性コア薄膜部を蒸着できる。
In the fifth aspect of the invention, the core thin film portion can be deposited because the core thin film portion is deposited with a magnetic substance such as manganese zinc or sendust.

【0036】第6の発明は、上記コア薄膜部はその薄膜
の厚さが2μm〜50μmになるので、コア薄膜部の薄
膜は薄膜の強度保持と残留応力によるクラック及び破損
を防止できる。
In the sixth invention, the core thin film portion has a thickness of 2 μm to 50 μm, so that the thin film of the core thin film portion can maintain strength of the thin film and prevent cracks and damages due to residual stress.

【0037】第7の発明は、第1半体コアと第2半体コ
アを接合してなる磁気ヘッドにおいて、磁性コアである
第1半体コアと、非磁性コアである第2半体コアと、上
記非磁性コアである第2半体コアの接合面に磁性物質で
スパッタされて形成されたコア薄膜部と、上記コア薄膜
部の上にギャップスパッタされて形成される酸化珪素膜
である薄膜とからなるので、磁路を短くして、磁気ヘッ
ドの出力を増加させ、磁気ヘッドの小型化を図ることが
できる。
According to a seventh aspect of the invention, in a magnetic head formed by joining a first half core and a second half core, a first half core which is a magnetic core and a second half core which is a non-magnetic core. A core thin film portion formed by sputtering a magnetic substance on the bonding surface of the second half core which is the non-magnetic core, and a silicon oxide film formed by gap sputtering on the core thin film portion. Since it is made of a thin film, the magnetic path can be shortened, the output of the magnetic head can be increased, and the size of the magnetic head can be reduced.

【0038】第8の発明は、上記磁性物質はマンガン亜
鉛フェライト又はセンダストであるので、磁性コア薄膜
部を蒸着できる。
In the eighth invention, since the magnetic substance is manganese zinc ferrite or sendust, the magnetic core thin film portion can be deposited.

【0039】第9の発明は、上記非磁性コアはニッケル
亜鉛フェライト又はAlTiCであるので、マンガン亜
鉛フェライトと類似した硬度を有する。
In the ninth invention, since the nonmagnetic core is nickel zinc ferrite or AlTiC, it has a hardness similar to that of manganese zinc ferrite.

【0040】第10の発明は、上記第1半体コアの幅が
第1半体コアの厚さより約1/3以下になるので、磁路
短縮の最適化を図ることができる。
In the tenth aspect of the invention, the width of the first half core is about 1/3 or less of the thickness of the first half core, so that the shortening of the magnetic path can be optimized.

【0041】第11の発明は、第1半体コアと第2半体
コアを接合してなる磁気ヘッドにおいて、非磁性コアで
ある第1半体コアと、非磁性コアである第2半体コア
と、上記第1半体コアと第2半体コアが接合される第1
半体コアの接合面に磁性物質でスパッタされた第1コア
薄膜部と、上記第1半体コアと第2半体コアが接合され
る第2半体コアの接合面に磁性物質でスパッタされた第
2コア薄膜部と、上記第2コア薄膜部の上にギャップス
パッタされて形成される薄膜とからなるので、第1コア
薄膜部と第2コア薄膜部に磁束が流れることにより磁路
が画期的に短くできる。
An eleventh invention is a magnetic head in which a first half core and a second half core are joined, and a first half core which is a non-magnetic core and a second half body which is a non-magnetic core. A core and a first half core to which the first half core and the second half core are joined
The first core thin film portion sputtered with a magnetic substance on the joint surface of the half core and the joint surface of the second half core with which the first half core and the second half core are joined are sputtered with a magnetic substance. Since the second core thin film portion and the thin film formed by gap sputtering on the second core thin film portion are formed, the magnetic path is formed by the magnetic flux flowing through the first core thin film portion and the second core thin film portion. It can be shortened epoch-making.

【0042】第12の発明は、上記磁性物質はマンガン
亜鉛フェライト又はセンダストであるので、磁性コア薄
膜部を蒸着できる。
In the twelfth aspect of the invention, since the magnetic substance is manganese zinc ferrite or sendust, the magnetic core thin film portion can be deposited.

【0043】第13の発明は、上記非磁性コアはニッケ
ル亜鉛フェライト又はAlTiCであるので、マンガン
亜鉛フェライトと類似した硬度を有する。
In the thirteenth invention, since the nonmagnetic core is nickel zinc ferrite or AlTiC, it has a hardness similar to that of manganese zinc ferrite.

【0044】第14の発明は、上記第1半体コアの幅が
第1半体コアの厚さより約1/3以下になるので、磁路
短縮の最適化を図ることができる。
In the fourteenth aspect of the invention, the width of the first half core is about 1/3 or less of the thickness of the first half core, so that the magnetic path can be optimized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による磁気ヘッドの製造過程を示す工程
図である。
FIG. 1 is a process drawing showing a manufacturing process of a magnetic head according to the present invention.

【図2】本発明による磁気ヘッドの平面図である。FIG. 2 is a plan view of a magnetic head according to the present invention.

【図3】図2におけるIII −III 線の断面図である。3 is a sectional view taken along line III-III in FIG.

【図4】本発明による他の実施形態の磁気ヘッドの平面
図である。
FIG. 4 is a plan view of a magnetic head according to another embodiment of the present invention.

【図5】図4におけるV−V線の断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line VV in FIG. 4;

【図6】本発明による他の実施形態の磁気ヘッドの製造
過程を示した工程図である。
FIG. 6 is a process diagram showing a manufacturing process of a magnetic head according to another embodiment of the present invention.

【図7】従来の技術による磁気ヘッドの構造図である。FIG. 7 is a structural diagram of a conventional magnetic head.

【符号の説明】 2 巻線溝 3 コア薄膜部 3a 第1コア薄膜部 3b 第2コア薄膜部 4a 磁路 5 磁気ヘッドギャップ 101 第1半体コア 102 第2半体コア[Description of Reference Signs] 2 winding groove 3 core thin film portion 3a first core thin film portion 3b second core thin film portion 4a magnetic path 5 magnetic head gap 101 first half core 102 second half core

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁性コアである第1半体コアと接合され
る非磁性コアである第2半体コアの接合面に巻線溝と深
さ溝が形成される工程と、 上記巻線溝と深さ溝が形成された第2半体コアの接合面
にコア薄膜部が磁性物質で蒸着される工程と、 上記コア薄膜部の上に薄膜が形成されるようにギャップ
スパッタされる工程と、 上記工程の後に第2半体コアと第1半体コアがガラスで
溶着される工程と、 上記溶着された第2半体コアと第1半体コアの接触面が
研磨されるラウンディング研磨工程と、 上記ラウンディング研磨工程の後、上記第1半体コアの
側面が研磨される工程;及び磁気ヘッドがスライシング
されて製造されることを特徴とする磁気ヘッドの製造方
法。
1. A step of forming a winding groove and a depth groove on a joining surface of a second half core which is a non-magnetic core joined to a first half core which is a magnetic core, and the winding groove. And a step of depositing a core thin film portion with a magnetic material on the joining surface of the second half core having the depth groove formed therein, and a step of gap sputtering so that a thin film is formed on the core thin film portion. A step of welding the second half core and the first half core with glass after the above step, and rounding polishing for polishing the contact surface of the welded second half core and the first half core And a step of polishing the side surface of the first half core after the rounding polishing step; and a method of manufacturing a magnetic head by slicing the magnetic head.
【請求項2】 上記コア薄膜部はマンガン亜鉛類又はセ
ンダストである磁性物質で蒸着されることを特徴とする
請求項第1記載の磁気ヘッドの製造方法。
2. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein the core thin film portion is deposited with a magnetic substance such as manganese zinc or sendust.
【請求項3】 上記コア薄膜部はその薄膜の厚さが2μ
m〜50μmになることを特徴とする請求項第1記載の
磁気ヘッドの製造方法。
3. The core thin film portion has a thin film thickness of 2 μm.
The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein the thickness is from m to 50 μm.
【請求項4】 非磁性コアである第1半体コアと接合さ
れる非磁性コアである第2半体コアの接合面に巻線溝と
深さ溝が形成される工程と、 上記巻線溝と深さ溝が形成された第2半体コアの接合面
と第1半体コアの接合面に第1コア薄膜部と第2コア薄
膜部が磁性物質で蒸着される工程と、 上記第2コア薄膜部の上に薄膜が形成されるようにギャ
ップスパッタされる工程と、 上記工程の後に第2半体コアと第1半体コアがガラスで
溶着される工程と、 上記溶着された第2半体コアと第1半体コアの接触面が
研磨されるラウンディング研磨工程と、 上記ラウンディング研磨工程の後、上記第1半体コアの
側面が研磨される工程と、 磁気ヘッドがスライシングされて製造されることを特徴
とする磁気ヘッドの製造方法。
4. A step of forming a winding groove and a depth groove on a joint surface of a second half core which is a non-magnetic core joined to a first half core which is a non-magnetic core, and the above winding. A step of depositing a first core thin film portion and a second core thin film portion with a magnetic material on the joint surface of the second half core and the joint surface of the first half core in which the groove and the depth groove are formed; A step of gap sputtering so that a thin film is formed on the two-core thin film part, a step of welding the second half core and the first half core with glass after the above step, and the step of welding the above A rounding polishing step in which the contact surface between the second half core and the first half core is polished, a step in which the side surface of the first half core is polished after the rounding polishing step, and a magnetic head is sliced. A method of manufacturing a magnetic head, which is manufactured by the following method.
【請求項5】 上記コア薄膜部はマンガン亜鉛類又はセ
ンダストである磁性物質で蒸着されることを特徴とする
請求項第4記載の磁気ヘッドの製造方法。
5. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 4, wherein the core thin film portion is deposited with a magnetic substance such as manganese zinc or sendust.
【請求項6】 上記コア薄膜部はその薄膜の厚さが2μ
m〜50μmになることを特徴とする請求項第4記載の
磁気ヘッドの製造方法。
6. The core thin film portion has a thin film thickness of 2 μm.
The method of manufacturing a magnetic head according to claim 4, wherein the thickness is from m to 50 μm.
【請求項7】 第2半体コアと第1半体コアを接合して
なる磁気ヘッドにおいて、 磁性コアである第1半体コアと、 非磁性コアである第2半体コアと、 上記非磁性コアである第2半体コアの接合面に磁性物質
でスパッタされて形成されたコア薄膜部、 上記コア薄膜部の上にギャップスパッタされて形成され
る薄膜とからなることを特徴とする磁気ヘッド。
7. A magnetic head comprising a second half core and a first half core joined together, the first half core being a magnetic core, the second half core being a non-magnetic core, and the non-magnetic core. A magnetic film, comprising: a core thin film portion formed by sputtering a magnetic substance on a bonding surface of a second half core, which is a magnetic core; and a thin film formed by gap sputtering on the core thin film portion. head.
【請求項8】 上記磁性物質はマンガン亜鉛フェライト
又はセンダストであることを特徴とする請求項第7記載
の磁気ヘッド。
8. The magnetic head according to claim 7, wherein the magnetic substance is manganese zinc ferrite or sendust.
【請求項9】 上記非磁性コアはニッケル亜鉛フェライ
ト又はAlTiCであることを特徴とする請求項第7記
載の磁気ヘッド。
9. The magnetic head according to claim 7, wherein the non-magnetic core is nickel zinc ferrite or AlTiC.
【請求項10】 上記第1半体コアの幅が第1半体コア
の厚さより約1/3以下になることを特徴とする請求項
第7記載の磁気ヘッド。
10. The magnetic head according to claim 7, wherein the width of the first half core is about ⅓ or less of the thickness of the first half core.
【請求項11】 第2半体コアと第1半体コアを接合し
てなる磁気ヘッドにおいて、 非磁性コアである第1半体コアと、 非磁性コアである第2半体コアと、 上記第1半体コアと第2半体コアが接合される第1半体
コアの接合面に磁性物質でスパッタされた第1コア薄膜
部と、 上記第1半体コアと第2半体コアが接合される第2半体
コアの接合面に磁性物質でスパッタされた第2コア薄膜
部と、 上記第2コア薄膜部の上にギャップスパッタされて形成
される薄膜とからなることを特徴とする磁気ヘッド。
11. A magnetic head comprising a second half core and a first half core joined together, wherein the first half core is a non-magnetic core, the second half core is a non-magnetic core, and The first core thin film portion sputtered with a magnetic substance is formed on the bonding surface of the first half core where the first half core and the second half core are bonded, and the first half core and the second half core are A second core thin film portion sputtered with a magnetic substance on the joint surface of the second half core to be joined, and a thin film formed by gap sputtering on the second core thin film portion. Magnetic head.
【請求項12】 上記磁性物質はマンガン亜鉛フェライ
ト又はセンダストであることを特徴とする請求項第11
記載の磁気ヘッド。
12. The magnetic material according to claim 11, wherein the magnetic material is manganese zinc ferrite or sendust.
The magnetic head as described.
【請求項13】 上記非磁性コアはニッケル亜鉛フェラ
イト又はAlTiCであることを特徴とする請求項第1
1記載の磁気ヘッド。
13. The non-magnetic core is nickel zinc ferrite or AlTiC.
1. The magnetic head according to 1.
【請求項14】 上記第1半体コアの幅が第1半体コア
の厚さより約1/3以下になることを特徴とする請求項
第11記載の磁気ヘッド。
14. The magnetic head according to claim 11, wherein the width of the first half core is about 1/3 or less of the thickness of the first half core.
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