JP2959909B2 - Magnetic head - Google Patents

Magnetic head

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JP2959909B2
JP2959909B2 JP4579192A JP4579192A JP2959909B2 JP 2959909 B2 JP2959909 B2 JP 2959909B2 JP 4579192 A JP4579192 A JP 4579192A JP 4579192 A JP4579192 A JP 4579192A JP 2959909 B2 JP2959909 B2 JP 2959909B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気回路の小型化をな
し得るとともに高周波対応性を高めた新規な構造の磁気
ヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head having a novel structure capable of reducing the size of a magnetic circuit and improving high-frequency compatibility.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気テープに磁気記録される信号が高密
度化されてくるに従い、高い残留磁束密度を有する優れ
た磁性層を備えたメタルテープなどの磁気テープが使用
されてきている。このメタルテープなどの高い抗磁力を
有する磁気テープに適用される磁気ヘッドは、その磁気
ギャップにより発生される磁界強度を高くする必要があ
る。また、記録される信号の高密度化に伴い、磁気ヘッ
ドのトラック幅をより狭くする必要がある。
2. Description of the Related Art As signals recorded magnetically on a magnetic tape have become higher in density, a magnetic tape such as a metal tape having an excellent magnetic layer having a high residual magnetic flux density has been used. In a magnetic head applied to a magnetic tape having a high coercive force such as a metal tape, it is necessary to increase the magnetic field intensity generated by the magnetic gap. Further, as the density of signals to be recorded increases, it is necessary to further narrow the track width of the magnetic head.

【0003】従来、このような要求を満たすために提供
されている磁気ヘッドの一従来例として、図12に示す
構造の磁気ヘッドAが知られている。この磁気ヘッドA
は、磁気コア半体1、1をガラスなどの接合材で溶着一
体化してなるもので、各磁気コア半体1は、メタル磁性
膜2を非磁性体からなる板状のサイドコア半体3、3で
挟んで一体化されている。前記メタル磁性膜2は、スパ
ッタなどの成膜法により高透磁率合金の金属磁性薄膜を
層間絶縁層とともに積層してなるもので、メタル磁性膜
2の膜厚はトラック幅に等しい値にされている。なお、
前記磁気ヘッドAの媒体対向面4は磁気テープに摺動す
る際の抵抗などを考慮して曲面状に研摩されている。
Conventionally, a magnetic head A having a structure shown in FIG. 12 is known as a conventional example of a magnetic head provided to satisfy such a demand. This magnetic head A
Are formed by welding and integrating the magnetic core halves 1 and 1 with a bonding material such as glass. Each of the magnetic core halves 1 has a metal magnetic film 2 formed of a plate-shaped side core half 3 made of a non-magnetic material. 3 and are integrated. The metal magnetic film 2 is formed by laminating a metal magnetic thin film of a high magnetic permeability alloy together with an interlayer insulating layer by a film forming method such as sputtering, and the thickness of the metal magnetic film 2 is set to a value equal to the track width. I have. In addition,
The medium facing surface 4 of the magnetic head A is polished into a curved surface in consideration of resistance when sliding on a magnetic tape.

【0004】また、媒体対向面4において、メタル磁性
膜2、2が接合された部分には、非磁性体からなるギャ
ップ層が介在されて磁気ギャップ5が形成されるととも
に、磁気コア半体1、1が接合された部分において、一
方の磁気コア半体1の側部には、巻線窓6が形成されて
いる。
In the medium facing surface 4, a magnetic gap 5 is formed in a portion where the metal magnetic films 2 and 2 are joined with a gap layer made of a non-magnetic material interposed therebetween, and a magnetic core half 1 is formed. 1 is joined to the side of one of the magnetic core halves 1, and a winding window 6 is formed.

【0005】一方、前記要求を満たすために提供されて
いる磁気ヘッドの他の従来例として、図13と図14に
示す構造の磁気ヘッドBが知られている。この磁気ヘッ
ドBは、一対のフェライト製の磁気コア半体11、11
の側部に凸部11aを形成し、凸部11aを覆うように
メタル磁性膜14とギャップ層13を形成し、磁気コア
半体11、11をギャップ層13を介して凸部11aど
うしで突き合わせ、ギャップ層13、13間に主ギャッ
プGを形成し、磁気コア半体11、11をガラス層1
5、15で接合してなる構造であり、MIG(Meta
l In Gap)型と称されている磁気ヘッドであ
る。
On the other hand, as another conventional example of a magnetic head provided to satisfy the above demand, a magnetic head B having a structure shown in FIGS. 13 and 14 is known. The magnetic head B includes a pair of ferrite magnetic core halves 11, 11
Are formed on the sides of the metal core film 11 and the gap layer 13 so as to cover the protrusions 11a, and the magnetic core halves 11, 11 are abutted by the protrusions 11a via the gap layer 13. , A main gap G is formed between the gap layers 13, 13, and the magnetic core halves 11, 11 are
The structure is formed by joining the MIG (Meta)
1 In Gap) type magnetic head.

【0006】このMIG型の磁気ヘッドBは、メタル磁
性膜14を用いていない構成のフェライトヘッドに比較
すると、磁気ギャップから発生される磁界を強く急峻な
ものとすることができるので、磁気記録の高密度化に対
応することができる優れたものであり、VTRの映像記
録用の磁気ヘッド、あるいは、デジタルテープレコーダ
ー用の磁気ヘッドなどとして広く使用されている。
The MIG-type magnetic head B can generate a strong and steep magnetic field from the magnetic gap as compared with a ferrite head having a configuration in which the metal magnetic film 14 is not used. It is an excellent one that can cope with high density, and is widely used as a magnetic head for recording a video of a VTR or a magnetic head for a digital tape recorder.

【0007】また、従来、前記構造の磁気ヘッドBを製
造するには、まず、フェライトなどの磁性体からなる2
個のコアブロックを用意し、これらのコアブロックに溝
加工を施して複数の凹凸部を形成し、これらの凹凸部の
表面にスパッタなどの成膜法でメタル磁性膜を積層し、
次いでスパッタなどの成膜法でメタル磁性膜上にSiO
2層などからなるギャップ層を形成する。
Conventionally, to manufacture a magnetic head B having the above structure, first, a magnetic head B made of a magnetic material such as ferrite is used.
Prepare core blocks, apply groove processing to these core blocks to form a plurality of irregularities, and stack a metal magnetic film on the surface of these irregularities by a film forming method such as sputtering,
Then, a SiO 2 film is formed on the metal magnetic
A gap layer including two layers is formed.

【0008】次に、前記ギャップ層を形成したコアブロ
ックどうしをギャップ層どうしを介して突き合わせ、突
き合わせた部分の凹部を埋めるように、ガラスを流し込
んで、コアブロックどうしを接合する。そして、接合し
たコアブロックを複数の磁気コアに切り出し、各磁気コ
アに仕上加工を施して前記一対のコアブロックから複数
の磁気ヘッドを同時に製造している。
Next, the core blocks on which the gap layers have been formed are butted together via the gap layers, and glass is poured so as to fill the recessed portions at the butted portions, and the core blocks are joined together. Then, the joined core blocks are cut into a plurality of magnetic cores, and each magnetic core is subjected to finish processing, thereby simultaneously manufacturing a plurality of magnetic heads from the pair of core blocks.

【0009】図12に示す従来の磁気ヘッドAにあって
は、製造時において、磁気コア半体1、1をガラスなど
の接合材で接合する工程の他に、サイドコア半体3、3
およびメタル磁性膜2を一体化するために、これらを接
着剤などで接合する工程を行なわなくてはならず、製造
工程が煩雑化する問題があった。また、一般に磁気ヘッ
ドを高周波対応とするためには、磁気回路を小型化する
必要があるが、図12に示す構成の磁気ヘッドAにあっ
ては、メタル磁性膜2がサイドコア半体3、3の一面全
部に形成されているのでこれ以上磁気回路を小型化でき
ない問題がある。
In the conventional magnetic head A shown in FIG. 12, in manufacturing, in addition to the step of joining the magnetic core halves 1, 1 with a joining material such as glass, the side core halves 3, 3
In addition, in order to integrate the metal magnetic films 2, a step of joining them with an adhesive or the like must be performed, and there is a problem that the manufacturing process becomes complicated. In general, in order to make a magnetic head compatible with high frequencies, it is necessary to reduce the size of the magnetic circuit. However, in the magnetic head A having the configuration shown in FIG. There is a problem that the magnetic circuit cannot be further reduced in size because the magnetic circuit is formed on the entire surface.

【0010】一方、図13と図14に示す従来の磁気ヘ
ッドBにあっては、フェライト製の磁気コア半体11を
用いているがために、フェライト材自体の磁気特性の限
界がメタル磁性膜14の磁気特性を抑制するので高周波
対応には限界があり、また、磁気コアの大半をフェライ
ト材が占めるため、磁気ヘッドのコイルインダクタンス
を小さくできない問題がある。
On the other hand, in the conventional magnetic head B shown in FIGS. 13 and 14, since the magnetic core half 11 made of ferrite is used, the magnetic characteristics of the ferrite material itself are limited. Since the magnetic characteristics of the magnetic head 14 are suppressed, there is a limit in supporting high frequencies, and since the ferrite material occupies most of the magnetic core, there is a problem that the coil inductance of the magnetic head cannot be reduced.

【0011】更に、図13と図14に示す構成の磁気ヘ
ッドにあっては、主ギャップGとメタル磁性膜14と
の平行部分、および、主ギャップGとギャップ層13と
の平行部分が長く、しかもそれらが主ギャップGの両側
に配置されているので、これらが疑似ギャップを形成し
て再生出力の周波数依存特性にうねりを生じる、いわゆ
るコンター効果を生じてしまう問題がある。
Further, in the magnetic head B having the configuration shown in FIGS. 13 and 14, the parallel portion between the main gap G and the metal magnetic film 14 and the parallel portion between the main gap G and the gap layer 13 are long. In addition, since they are arranged on both sides of the main gap G, there is a problem that they form a pseudo gap and cause a swell in the frequency dependence characteristic of the reproduced output, that is, a so-called contour effect occurs.

【0012】そこで、本願発明者らは上記課題を解決す
べく、平成4年2月26日に、以下に示すような構成か
らなる磁気ヘッドについて出願している。以下、図面を
参照しつつこの磁気ヘッドの構成について説明する。図
9〜図11は、この磁気ヘッドの第一構成例の構造を示
すものであり、この第一構成例の磁気ヘッドCは、左右
一対の磁気コア半体120、120をそれらの側面部に
おいてガラス部121、128により一体に接合してな
るもので、磁気コア半体120、120の図9における
上面側が媒体対向面122とされている。前記磁気コア
半体120は、結晶化ガラスあるいはセラミックスなど
の非磁性体からなる略長方形板状のハーフコア123
と、このハーフコア123の側部側に形成されたメタル
磁性膜124とを主体として構成されている。
In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors filed an application on February 26, 1992 for a magnetic head having the following configuration. Hereinafter, the configuration of the magnetic head will be described with reference to the drawings. 9 to 11 show the structure of a first configuration example of this magnetic head. The magnetic head C of this first configuration example has a pair of left and right magnetic core halves 120, 120 on their side surfaces. The upper surfaces of the magnetic core halves 120, 120 in FIG. 9 serve as the medium facing surface 122. The magnetic core half 120 has a substantially rectangular plate-like half core 123 made of a nonmagnetic material such as crystallized glass or ceramics.
And a metal magnetic film 124 formed on the side of the half core 123.

【0013】前記ハーフコア123がそれぞれ接合され
ている側面部には、溝部125が形成され、この溝部1
25は、ハーフコア123の側面に平行な底面125a
とこの底面125aに対して傾斜された内側面125
b、125bとからなり、2つの内側面125bのうち
の一方は、傾斜状態で媒体対向面122に到達されてい
る。また、ハーフコア123の側面において、溝部12
5を除いた部分には、対向する他方のハーフコア123
側に膨出するように表面が弓形に湾曲された凸部123
aが形成されている。
A groove 125 is formed in a side surface to which the half cores 123 are joined, respectively.
25 is a bottom surface 125 a parallel to the side surface of the half core 123.
And an inner side surface 125 inclined with respect to the bottom surface 125a.
b, 125b, and one of the two inner side surfaces 125b reaches the medium facing surface 122 in an inclined state. Further, on the side surface of the half core 123, the groove 12
5 except for the other half core 123
Convex portion 123 whose surface is curved in an arc shape so as to bulge to the side
a is formed.

【0014】前記ハーフコア123の側部全域、即ち、
ハーフコア123の側面と、溝部125の底面125a
と、溝部125の内側面125bの各々には、高透磁率
で飽和磁束密度の高い軟磁性合金薄膜などからなるメタ
ル磁性膜124が形成されている。このメタル磁性膜1
24は、図11に示すように複数の金属磁性薄膜130
を個々に層間絶縁層131を介し積層して形成されてい
る。
The entire side of the half core 123, that is,
The side surface of the half core 123 and the bottom surface 125a of the groove 125
In addition, a metal magnetic film 124 made of a soft magnetic alloy thin film or the like having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density is formed on each of the inner side surfaces 125b of the groove 125. This metal magnetic film 1
24 denotes a plurality of metal magnetic thin films 130 as shown in FIG.
Are individually laminated with an interlayer insulating layer 131 interposed therebetween.

【0015】前記金属磁性薄膜130を形成する軟磁性
材料は、飽和磁束密度で10000G以上のFe-Al-
Si系合金のセンダスト、Fe-Al-Ta-C系などの
軟磁性合金、アモルファス合金など、通常知られている
フェライトよりも飽和磁束密度の高い軟磁性材料を適宜
用いれば良い。
The soft magnetic material forming the metal magnetic thin film 130 is made of Fe-Al- having a saturation magnetic flux density of 10,000 G or more.
A soft magnetic material having a higher saturation magnetic flux density than commonly known ferrite, such as a soft magnetic alloy such as a Si-based alloy sendust, a Fe-Al-Ta-C-based soft magnetic alloy, or an amorphous alloy, may be used as appropriate.

【0016】また、図10に示すように一対の磁気コア
半体123のメタル磁性膜124、124の間には、S
iO2、Al23、CrSiO2などの非磁性層からなる
ギャップ層が形成されて磁気ギャップGが形成されてい
る。そして、媒体対向面122に露出された各メタル磁
性膜124の表面部は、磁気ギャップG側に向けて膨出
するような弓形に湾曲されて、各メタル磁性膜124、
124の形成する湾曲部分の先端部で磁気ギャップGに
最も接近している。また、磁気ギャップ側に湾曲してい
るメタル磁性膜124の先端部分は、磁気ギャップGの
中央部分で磁気ギャップGに最も接近するようになって
いる。更に、ハーフコア123、123の側部側の接合
部には前記溝部125、125を突き合わせることによ
り6角形状の巻線窓126が形成され、この巻線窓12
6の磁気ギャップ側にガラスが充填されてガラス部12
1が形成されている。
Further, as shown in FIG. 10, a metal magnetic film 124 of the pair of magnetic core halves 123 has an S
A gap layer composed of a nonmagnetic layer such as iO 2 , Al 2 O 3 , CrSiO 2 is formed to form a magnetic gap G. Then, the surface portion of each metal magnetic film 124 exposed on the medium facing surface 122 is curved in an arc shape so as to bulge toward the magnetic gap G side, and each metal magnetic film 124
The tip of the curved portion formed by 124 is closest to the magnetic gap G. Further, the tip portion of the metal magnetic film 124 curved toward the magnetic gap is closest to the magnetic gap G at the center of the magnetic gap G. Further, a hexagonal winding window 126 is formed at the joint on the side of the half cores 123, 123 by abutting the grooves 125, 125.
6 is filled with glass on the magnetic gap side,
1 is formed.

【0017】一方、図10に示すように、ハーフコア1
23、123の接合部における厚さ方向両端部には、ハ
ーフコア123、123の凸部123aにより挟まれて
形成された接合溝123bが形成されていて、この接合
溝123bにガラスが充填されてガラス部128が形成
されている。なお、図9に示す磁気ヘッドCの両側部に
は、前記巻線窓126に対応する高さ位置に巻線溝12
9が形成され、一方の巻線溝129と巻線窓126の一
端部側を介して巻線コイルが設けられるように、また、
他方の巻線溝129と巻線窓126の他端部側を介して
巻線コイルが設けられるようになっている。
On the other hand, as shown in FIG.
At both ends in the thickness direction of the joining portion of the joining portions 23 and 123, a joining groove 123b formed by being sandwiched between the convex portions 123a of the half cores 123 and 123 is formed, and the joining groove 123b is filled with glass. A portion 128 is formed. Note that, on both sides of the magnetic head C shown in FIG.
9 is formed, and a winding coil is provided through one winding groove 129 and one end of the winding window 126.
A winding coil is provided through the other winding groove 129 and the other end of the winding window 126.

【0018】前記構成の磁気ヘッドCは、磁気ヘッド
A、Bと同様に、磁気テープなどの磁気記録媒体に対す
る磁気記録と再生を行うために使用する。それには、前
記磁気ヘッドCに設けた巻線コイルに通電して磁気ギャ
ップGの外方に磁束の勾配を形成してこれにより磁気記
録媒体の所用の箇所の磁化を行えばよい。この場合、高
透磁率で飽和磁束密度の高い金属磁性薄膜130が磁気
ギャップGの外方に急峻な磁界を発生させるので、抗磁
力の高い磁性層を備えた磁気記録媒体であっても余裕を
持って磁気記録を行うことが可能となり、磁気記録の高
密度化に対応することが可能となる
The magnetic head C having the above structure is a magnetic head.
Like A and B , it is used to perform magnetic recording and reproduction on a magnetic recording medium such as a magnetic tape. To do so, a current is applied to the winding coil provided on the magnetic head C to form a magnetic flux gradient outside the magnetic gap G, thereby magnetizing a desired portion of the magnetic recording medium. In this case, the metal magnetic thin film 130 having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density generates a steep magnetic field outside the magnetic gap G, so that even a magnetic recording medium having a magnetic layer with a high coercive force has room. it is possible to perform magnetic recording with, it is possible to correspond to the density of magnetic recording.

【0019】また、溝部125に沿って形成されたメタ
ル磁性膜124、124が巻線窓126の周囲を囲むよ
うな環状の磁気回路を形成するので、図12に示す構造
の磁気ヘッドA、あるいは、図13と図14に示す構造
のMIG型の磁気ヘッドBと比較して磁気回路を小型化
することが可能となる従って磁気ヘッドA、Bよりも
高周波対応に有利な特徴があり、磁気回路の小型化によ
り磁気記録媒体に記録された磁気情報読み取り易くな
り、再生時の効率も向上させることが可能となる
Since the metal magnetic films 124 formed along the groove 125 form an annular magnetic circuit that surrounds the periphery of the winding window 126, the magnetic structure shown in FIG. head a or, it is possible to reduce the size of the magnetic circuit compared to the magnetic head B of the structure <br/> MIG type shown in FIGS. 13 and 14. Thus the magnetic head A, there is an advantageous feature in the high frequency response than B, easily read magnetic information recorded on the magnetic recording medium by the miniaturization of the magnetic circuit, it is possible to also improve the efficiency at the time of reproduction.

【0020】また、前記構造の磁気ヘッドCにあって
は、媒体対向面122に露出しているメタル磁性膜12
4、124の表面部が個々に湾曲して磁気ギャップGに
接近し、徐々に磁気ギャップGから離間しているので、
この構成のメタル磁性膜124、124では、図13と
図14に示す磁気ヘッドBとは異なり、磁気ギャップと
平行に配置されるメタル磁性膜部分が存在しないので、
疑似ギャップを生じることはなく、コンター効果による
波形歪の発生現象を生じることがない。
In the magnetic head C having the above structure, the metal magnetic film 12 exposed on the medium facing surface 122 is formed.
4 and 124 are curved individually, approach the magnetic gap G, and gradually separate from the magnetic gap G.
Unlike the magnetic head B shown in FIGS. 13 and 14, in the metal magnetic films 124 and 124 having this configuration, there is no metal magnetic film portion arranged in parallel with the magnetic gap.
There is no generation of a pseudo gap, and no occurrence of waveform distortion due to the contour effect.

【0021】[0021]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成から
なる磁気ヘッドCは、図11に示すように、その媒体対
向面にメタル磁性膜が露出し、これらのメタル磁性膜の
間に挟まれた形状で磁気ギャップが形成されているた
め、このような磁気ヘッドを長期間使用すると、磁気テ
ープの摺動によって前記磁気ギャップを直接挟んでいる
前記メタル磁性膜における金属磁性薄膜の媒体対向面側
が摩耗して擦り減り、前記磁気ギャップを形成している
金属磁性薄膜が摩耗変形し、場合によっては、この金属
磁性薄膜の下地層を構成している層間絶縁膜が露出し
て、この層間絶縁層と磁気ギャップが一体化し磁気ギャ
ップの幅が変化してしまうおそれがあった。
However, in the magnetic head C having the above structure, as shown in FIG. 11, a metal magnetic film is exposed on the medium facing surface, and is sandwiched between these metal magnetic films. When such a magnetic head is used for a long period of time, the magnetic tape slides on the medium facing surface of the metal magnetic thin film in the metal magnetic film directly sandwiching the magnetic gap due to the magnetic gap being formed. And the metal magnetic thin film forming the magnetic gap is abraded and deformed, and in some cases, the interlayer insulating film constituting the underlayer of the metal magnetic thin film is exposed, There is a possibility that the magnetic gap is integrated and the width of the magnetic gap changes.

【0022】よって、本発明は前記事情に鑑みてなされ
たものであり、磁気ギャップ幅の変形を防ぎ、磁気回路
を小型化して高周波対応を容易にする磁気ヘッドを提供
することを目的とする。
Accordingly, the present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a magnetic head which prevents deformation of a magnetic gap width, reduces the size of a magnetic circuit, and facilitates high frequency operation.

【0023】[0023]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは上
記課題を解決するために、非磁性体からなる一対のハー
フコアが、それらの側部に形成された金属磁性膜及び層
間絶縁層からなるメタル磁性膜をギャップ層を介して突
き合わせ、前記メタル磁性膜どうしの間に磁気ギャップ
を形成して一体化されてなり、前記ハーフコアの側面に
隣接するハーフコアの一面が、媒体対向面にされてなる
磁気ヘッドにおいて、ハーフコアの接合部分に巻線窓が
形成され、この巻線窓の周囲にこれを囲む環状のメタル
磁性膜が形成され、前記1対のメタル磁性膜は、複数の
金属磁性膜からなると共に、巻線窓側からギャップ表面
部にかけてギャップ層に対して傾斜して相互に接近しつ
つ媒体対向面に到達するように設けられ、このメタル磁
性膜における少なくとも1対の金属磁性膜が媒体対向面
に露出されて前記磁気ギャップが形成され、かつ最内周
の金属磁性膜がギャップ表面部から最深部まで達する厚
さに形成されてなることを特徴とするものである。
In order to solve the above-mentioned problems, a magnetic head according to the present invention comprises a pair of half-cores made of a non-magnetic material and a metal magnetic film and an interlayer insulating layer formed on their side portions. The metal magnetic films are abutted with a gap layer interposed therebetween to form a magnetic gap between the metal magnetic films and are integrated, and one surface of a half core adjacent to a side surface of the half core is formed as a medium facing surface. In the magnetic head, a winding window is formed at a joining portion of the half core, an annular metal magnetic film surrounding the winding window is formed around the winding window, and the pair of metal magnetic films includes a plurality of metal magnetic films .
It is made of metal magnetic film and the gap surface from the winding window side
To the gap layer and approach each other
This metal magnet is provided to reach the medium facing surface.
At least one pair of metal magnetic films in the conductive film is a medium facing surface.
To form the magnetic gap, and
Wherein the metal magnetic film is formed to a thickness that extends from the surface of the gap to the deepest portion.

【0024】[0024]

【作用】ハーフコアを非磁性体で構成し、巻線窓の周囲
部分に環状のメタル磁性膜を形成すると共に、このメタ
ル磁性膜を、巻線窓側からギャップ表面部にかけてギャ
ップ層に対して傾斜して相互に接近しつつ媒体対向面に
到達するように設け、かつ最内周の金属磁性膜がギャッ
プ表面部から最深部まで達する厚さに形成されてなるこ
とにより、前記磁気ギャップ部周辺が磁気テープの摺動
によって多少摩耗しても、従来構造の磁気ヘッドのよう
に前記磁気ギャップを形成する金属磁性膜が摩耗するこ
とにより、層間絶縁層が露出することがなく、結果的に
磁気ギャップ幅が変化してしまうといった不具合が回避
される。従って、磁気ギャップ幅を一定の値に保つこと
によって、磁気記録特性の劣化及びスペーシングロスの
発生が回避される。
The half core is made of a non-magnetic material, and an annular metal magnetic film is formed around the winding window.
The magnetic film from the winding window side to the gap surface.
To the medium facing surface while approaching each other at an angle to the
And the innermost metal magnetic film is formed to have a thickness from the gap surface portion to the deepest portion. Even if it is slightly worn, the metal magnetic film forming the magnetic gap is worn as in the magnetic head of the conventional structure, so that the interlayer insulating layer is not exposed, resulting in a change in the magnetic gap width. Such a problem is avoided. Therefore, by keeping the magnetic gap width at a constant value, deterioration of magnetic recording characteristics and occurrence of spacing loss can be avoided.

【0025】また、非磁性体のハーフコアの接合部に形
成された巻線窓を囲むようにメタル磁性膜による環状の
磁気回路が形成されているので、磁気回路が従来構造よ
りも小さくなる。また、この小型化した磁気回路により
記録再生ができるので、高周波に対応した記録再生特性
が得られる。更に、メタル磁性膜のみで記録再生ができ
るので、フェライト部分の存在により高周波対応に限界
を生じていた従来のMIG型の磁気ヘッドよりも有利に
なる。
Further, since an annular magnetic circuit is formed by the metal magnetic film so as to surround the winding window formed at the junction of the non-magnetic half core, the magnetic circuit is smaller than the conventional structure. In addition, since recording and reproduction can be performed by the miniaturized magnetic circuit, recording and reproduction characteristics corresponding to high frequencies can be obtained. Further, since recording / reproduction can be performed only by the metal magnetic film, it is more advantageous than the conventional MIG type magnetic head in which the presence of the ferrite portion limits the high frequency response.

【0026】[0026]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の磁気ヘッドに
ついて説明する。図1〜図3は本発明に係わる磁気ヘッ
ドの実施例を示すものであり、この実施例の磁気ヘッド
Dは、左右一対の磁気コア半体20、20をそれらの側
面部においてガラス部21、28により一体に接合して
なるもので、磁気コア半体20、20の図1における上
面側が媒体対向面22とされている。前記磁気コア半体
20は、結晶化ガラスあるいはセラミックスなどの非磁
性体からなる略長方形板状のハーフコア23と、このハ
ーフコア23の側部側に形成されたメタル磁性膜24と
を主体として構成されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A magnetic head according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIGS. 1 to 3 show an embodiment of a magnetic head according to the present invention. A magnetic head D of this embodiment has a pair of left and right magnetic core halves 20, 20 with glass portions 21 on their side portions. The upper surface side of the magnetic core halves 20, 20 in FIG. 1 is a medium facing surface 22. The magnetic core half 20 is mainly composed of a substantially rectangular plate-shaped half core 23 made of a nonmagnetic material such as crystallized glass or ceramics, and a metal magnetic film 24 formed on the side of the half core 23. ing.

【0027】前記ハーフコア23がそれぞれ接合されて
いる側面部には、溝部25が形成され、この溝部25
は、ハーフコア23の側面に平行な底面25aとこの底
面25aに対して傾斜された内側面25b、25bとか
らなり、2つの内側面25bのうちの一方は、傾斜状態
で媒体対向面22に到達されている。また、ハーフコア
23の側面において、溝部25を除いた部分には、対向
する他方のハーフコア23側に膨出するように表面が弓
形に湾曲された凸部23aが形成されている。
A groove 25 is formed in the side surface to which the half cores 23 are joined, respectively.
Consists of a bottom surface 25a parallel to the side surface of the half core 23 and inner surfaces 25b, 25b inclined with respect to the bottom surface 25a. One of the two inner surfaces 25b reaches the medium facing surface 22 in an inclined state. Have been. On the side surface of the half core 23, except for the groove 25, a convex portion 23a whose surface is curved in an arc shape is formed so as to bulge toward the other half core 23 facing the other half core.

【0028】前記ハーフコア23の側部全域、即ち、ハ
ーフコア23の側面と、溝部25の底面25aと、溝部
25の内側面25bの各々には、高透磁率で飽和磁束密
度の高い軟磁性合金薄膜などからなるメタル磁性膜24
が形成されている。そして、各ハーフコア23、23が
突き合わされて溝部25、25により6角形状の巻線窓
26が形成され、これにより各メタル磁性膜24、24
がこの巻線窓26の周囲に環状に配置される。 図2及び
図3に示すように媒体摺動面22付近においては、各メ
タル磁性膜24、24が、SiO 2 、Al 2 3 、CrS
iO 2 などの非磁性層からなるギャップ層27を挟んで
突き合わされると共に磁気ギャップGが形成されてい
る。ギャップ層27は、媒体摺動面22(ギャップ表面
部G1)から露出すると共にこのギャップ表面部G1から
最深部G2まで延在している。 メタル磁性膜24、24
は、図3に示すように、複数の金属磁性膜30、30
30aを個々に層間絶縁層31、31を介し積層して形
成され、かつ最内周の金属磁性膜30a、30aが、
ャップ層27に接して磁気ギャップGのギャップ表面部
G1から最深部G2まで達している。更にこのメタル磁性
膜24、24は、巻線窓26側からギャップ表面部G1
にかけてギャップ層27に対して傾斜して相互に接近し
つつ媒体対向面22に到達するように設けられている。
そして、このメタル磁性膜24、24を構成する最内周
の金属磁性膜30a、30aが、媒体対向面22に露出
されて磁気ギャップGが形成されている。そして、前記
最内周の金属磁性膜30aの膜厚tは、ギャップ深さ方
向と前記最内周の金属磁性膜30aとのなす角であるθ
に左右され、前記θと磁気ギャップ深さGdとの間で以
下のような関係を満足している。 t>Gdsinθ
A soft magnetic alloy thin film having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density is provided on the entire side portion of the half core 23, that is, on the side surface of the half core 23, the bottom surface 25a of the groove portion 25, and the inner side surface 25b of the groove portion 25. Metal magnetic film 24 made of, for example,
Are formed. And each half core 23, 23
Hexagonal winding window with butted grooves 25, 25
26 are formed, whereby each metal magnetic film 24, 24
Are arranged annularly around the winding window 26. FIG. 2 and
As shown in FIG.
The tall magnetic films 24, 24 are made of SiO 2 , Al 2 O 3 , CrS
A gap layer 27 made of a nonmagnetic layer such as iO 2 is sandwiched therebetween.
But the magnetic gap G is formed
You. The gap layer 27 is formed on the medium sliding surface 22 (the gap surface).
Portion G1) and from the gap surface portion G1.
It extends to the deepest part G2. Metal magnetic films 24, 24
Is, as shown in FIG. 3, a plurality of metal magnetic films 30 , 30 ,
30a is formed by laminating an interlayer insulating layer 31 to individually and the innermost metallic magnetic films 30a, 30a are, formic
Gap surface of magnetic gap G in contact with gap layer 27
From G1 to the deepest part G2 . Furthermore, this metal magnetism
The membranes 24, 24 are arranged on the gap surface G1 from the winding window 26 side.
Toward the gap layer 27 and approach each other.
It is provided so as to reach the medium facing surface 22.
Then, the innermost periphery of the metal magnetic films 24, 24
Metal magnetic films 30a, 30a are exposed on the medium facing surface 22.
Thus, a magnetic gap G is formed. Then, the thickness t of the innermost metal magnetic layer 30a is the angle between the gap depth direction and the innermost metallic magnetic film 30a theta
And the following relationship is satisfied between θ and the magnetic gap depth Gd. t> Gdsinθ

【0029】また、前記構造の磁気ヘッドDにあって
は、ギャップ深さGdを3〜30μm程度、層間絶縁層
31の厚さを0.1〜0.4μm程度、前記金属磁性膜
0の最内周以外の膜厚を3〜5μm程度、ギャップ層2
の厚さを0.2〜0.5μm程度とすることができる。
Further, in the magnetic head D of the structure, the order of 3~30μm the gap depth Gd, 0.1 to 0.4 [mu] m about the thickness of the interlayer insulating layer 31, the metal magnetic film 3
0 is about 3 to 5 μm except for the innermost periphery of the gap layer 2.
7 can be about 0.2 to 0.5 μm.

【0030】そして、前記金属磁性膜30を形成する軟
磁性材料は、上記図9〜図11に示した従来例と同様
に、飽和磁束密度で10000G以上のFe−Al−S
i系合金、Fe−Ta−C系などの軟磁性合金、アモル
ファス合金など、通常知られているフェライトよりも飽
和磁束密度の高い軟磁性材料を適宜用いれば良い。
The soft magnetic material forming the metal magnetic film 30 is made of Fe-Al-S having a saturation magnetic flux density of 10,000 G or more, as in the conventional example shown in FIGS.
A soft magnetic material having a higher saturation magnetic flux density than commonly known ferrite, such as an i-based alloy, a soft magnetic alloy such as an Fe-Ta-C system, and an amorphous alloy, may be used as appropriate.

【0031】また、この金属磁性膜30を形成する材料
として好ましくは、Fe−Ta−C系、Fe−M−O系
(MはZrとHfのうち、少なくとも1種以上を示
す)、Fe−Co−M−O系、Fe−Co−M−O−X
系の軟磁性薄膜などを用いることができる。これらの軟
磁性薄膜の内、好ましくは、本発明の出願人が先に、特
願平2−268051号明細書、特願平3−31503
6号明細書などにおいて特許出願しているものを用い
る。これらの軟磁性薄膜の組成範囲として好ましくは、
Fe50-96−M2-30−C0.5-25(M=Ti、Zr、H
f、Nb、Ta、Mo、W)Fe70-961-123-25
Fe13-86Co10-501-123-25、Fe13-85Co10-50
1-123-250.1-26などであるが、これらの組成以外
のものを用いても良いのは勿論である。(なお、前記組
成式において、Fe70-96とは、Feの含有量が原子%
で70%≦Fe≦96%であることを示す。)
The material for forming the metal magnetic film 30 is preferably an Fe-Ta-C-based material, an Fe-MO-based material (M represents at least one of Zr and Hf), and a Fe-Ta-C-based material. Co-MO system, Fe-Co-MOX
A soft magnetic thin film or the like can be used. Of these soft magnetic thin films, preferably, the applicant of the present invention firstly discloses Japanese Patent Application Nos. 2-26851 and 3-31503.
A patent application is used in the specification of No. 6, etc. Preferably, the composition range of these soft magnetic thin films is
Fe 50-96 -M 2-30 -C 0.5-25 (M = Ti, Zr, H
f, Nb, Ta, Mo, W) Fe 70-96 M 1-12 O 3-25 ,
Fe 13-86 Co 10-50 M 1-12 O 3-25 , Fe 13-85 Co 10-50
M 1-12 O 3-25 X 0.1-26 and the like, but it goes without saying that materials other than these compositions may be used. (In the above composition formula, Fe 70-96 means that the content of Fe is atomic%.
Indicates that 70% ≦ Fe ≦ 96%. )

【0032】また、図2に示すように、媒体対向面22
に露出された各メタル磁性膜24の表面部は、磁気ギャ
ップG側に向けて膨出するような弓形に湾曲されて、各
メタル磁性膜24、24の形成する湾曲部分の先端部分
で磁気ギャップGに最も接近している。そして、磁気ギ
ャップ側に湾曲しているメタル磁性膜24の先端部で磁
気ギャップGに最も接近している。そして、磁気ギャッ
プ側に湾曲している先端部分は、磁気ギャップGの中央
部分で磁気ギャップGに最も接近するようになってい
る。なお、前記メタル磁性膜24の最内周の層は、前記
磁気ギャップGを形成するために、前記磁気ギャップG
に平行な状態に設けられている。更にまた、巻線窓26
の磁気ギャップG側にガラスが充填されてガラス部21
が形成されている。
Further, as shown in FIG. 2, the medium facing surface 22
The surface portion of each metal magnetic film 24 exposed to the magnetic field is curved in an arc shape so as to bulge toward the magnetic gap G side, and the magnetic gap is formed at the tip of the curved portion formed by each metal magnetic film 24. Closest to G. The tip of the metal magnetic film 24 curved toward the magnetic gap is closest to the magnetic gap G. The distal end portion curved toward the magnetic gap is closest to the magnetic gap G at the center of the magnetic gap G. The innermost layer of the metal magnetic film 24 is formed with the magnetic gap G in order to form the magnetic gap G.
Are provided in a state parallel to. Furthermore, the winding window 26
Is filled with glass on the magnetic gap G side of
Are formed.

【0033】一方、図2に示すように、ハーフコア2
3、23の接合部における厚さ方向両端部には、ハーフ
コア23、23の凸部23aにより挟まれて形成された
接合溝23bが形成されていて、この接合溝23bにガ
ラスが充填されてガラス部28が形成されている。な
お、図1に示す磁気ヘッドDの両側部には、前記巻線窓
26に対応する高さ位置に巻線溝29が形成され、一方
の巻線溝29と巻線窓26の一端部側を介して巻線コイ
ルが設けられるように、また、他方の巻線溝29と巻線
窓26の他端部側を介して巻線コイルが設けられるよう
になっている。
On the other hand, as shown in FIG.
At both ends in the thickness direction of the joints 3 and 23, a joining groove 23b formed by being sandwiched between the convex portions 23a of the half cores 23 and 23 is formed, and the joining groove 23b is filled with glass. A part 28 is formed. A winding groove 29 is formed at a height position corresponding to the winding window 26 on both sides of the magnetic head D shown in FIG. , And a winding coil is provided through the other winding groove 29 and the other end of the winding window 26.

【0034】前記構成の磁気ヘッドDは、従来の磁気ヘ
ッドと同様に、磁気テープなどの磁気記録媒体に対する
磁気記録と再生を行なうために使用する。それには、前
記磁気ヘッドDに設けた巻線コイルに通電して磁気ギャ
ップGの外方に磁束の勾配を形成してこれにより磁気記
録媒体の所用の箇所の磁化を行なえば良い。この場合、
高透磁率で飽和磁束密度の高い金属磁性膜30が磁気ギ
ャップGの外方に急峻な磁界を発生させるので、抗磁力
の高い磁性層を備えた磁気記録媒体であっても余裕をも
って磁気記録を行なうことができ、磁気記録の高密度化
に対応することができる。また、フェライト部分と金属
磁性薄膜を用いた従来のMIG型の磁気ヘッドに比較す
ると、フェライト部分が無いため高周波磁気記録に有利
である。
The magnetic head D having the above-described structure is used for performing magnetic recording and reproduction on a magnetic recording medium such as a magnetic tape, like the conventional magnetic head. In order to do so, the winding coil provided on the magnetic head D may be energized to form a magnetic flux gradient outside the magnetic gap G, thereby magnetizing a desired portion of the magnetic recording medium. in this case,
Since the metal magnetic film 30 having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density generates a steep magnetic field outside the magnetic gap G, even a magnetic recording medium having a magnetic layer with a high coercive force can perform magnetic recording with a margin. It is possible to cope with high density of magnetic recording. Further, as compared with a conventional MIG type magnetic head using a ferrite portion and a metal magnetic thin film, there is no ferrite portion, which is advantageous for high-frequency magnetic recording.

【0035】そして更に、ハーフコアを非磁性体で構成
し、巻線窓26の周囲部分に複数のメタル磁性膜24、
24を環状に形成し、このメタル磁性膜24、24にお
ける最内周の金属磁性膜30aが媒体対向面に露出され
て磁気ギャップが形成され、この金属磁性膜30aがギ
ャップ表面部G1から最深部G2まで達する厚さに形成さ
れてなることにより、前記磁気ギャップG周辺が磁気テ
ープの摺動によって多少摩耗しても、従来構造の磁気ヘ
ッドのように前記磁気ギャップGを形成する金属磁性膜
が摩耗及び摩耗変形することにより、層間絶縁層が露出
してしまい、結果的に磁気ギャップ幅が変化してしまう
といった不具合を回避することができる。従って、本発
明による磁気ヘッドのように磁気ギャップ幅を一定の値
に保つことによって、磁気記録特性の劣化及びスペーシ
ングロスの発生を回避することが可能である。
Further, the half core is made of a non-magnetic material, and a plurality of metal magnetic films 24 are formed around the winding window 26 .
24 , the innermost metal magnetic film 30a of the metal magnetic films 24, 24 is exposed to the medium facing surface to form a magnetic gap, and the metal magnetic film 30a extends from the gap surface portion G1 to the deepest portion. Even if the periphery of the magnetic gap G wears a little due to the sliding of the magnetic tape, the metal magnetic film forming the magnetic gap G like the magnetic head of the conventional structure can be formed by forming the thickness to reach G2. It is possible to avoid a problem that the interlayer insulating layer is exposed due to abrasion and abrasion deformation, resulting in a change in the magnetic gap width. Therefore, by maintaining the magnetic gap width at a constant value as in the magnetic head according to the present invention, it is possible to avoid deterioration of magnetic recording characteristics and occurrence of spacing loss.

【0036】また、溝部25に沿って形成されたメタル
磁性膜24、24が巻線窓26の周囲を囲むような環状
の磁気回路を形成するので、図12に示す従来構造の磁
気ヘッドA、あるいは、図13と図14に示す従来構造
のMIG型の磁気ヘッドBと比較して磁気回路を小型化
することができる。従って、従来の磁気ヘッドよりも高
周波対応に有利な特徴があり、磁気回路の小型化により
磁気記録媒体に記録された磁気情報を読み取り易くな
り、再生時の効率も向上させることができる。更に、巻
線窓26の周囲に設けたメタル磁性膜24、24が磁気
ギャップGに向けて傾斜しつつ相互に接近しているの
で、磁気ギャップGでの磁界発生に有利な形状になって
いる。
Since the metal magnetic films 24, 24 formed along the groove 25 form an annular magnetic circuit surrounding the periphery of the winding window 26, the magnetic head A of the conventional structure shown in FIG. Alternatively, the size of the magnetic circuit can be reduced as compared with the conventional MIG type magnetic head B shown in FIGS. Therefore, the magnetic head has a feature that is more advantageous in supporting high frequencies than the conventional magnetic head, and the magnetic information recorded on the magnetic recording medium can be easily read by reducing the size of the magnetic circuit, and the efficiency at the time of reproduction can be improved. Further, since the metal magnetic films 24 provided around the winding window 26 are close to each other while being inclined toward the magnetic gap G, the metal magnetic films 24 have a shape advantageous for generating a magnetic field in the magnetic gap G. .

【0037】前記構造の磁気ヘッドDにあっては、媒体
対向面22に露出しているメタル磁性膜24、24の表
面部が個々に湾曲して磁気ギャップGに接近し、一点で
最接近し、他の部分では徐々に磁気ギャップGから離間
しているので、この構成のメタル磁性膜24、24で
は、図13と図14に示す従来の磁気ヘッドBとは異な
り、磁気ギャップと平行に配置されるメタル磁性膜部分
が存在しないので、疑似ギャップを生じることはなく、
コンター効果による波形歪の発生現象を生じることがな
い。
In the magnetic head D having the above-described structure, the surface portions of the metal magnetic films 24, 24 exposed on the medium facing surface 22 are individually curved and approach the magnetic gap G, and approach at one point. Since the other portions are gradually separated from the magnetic gap G, unlike the conventional magnetic head B shown in FIGS. 13 and 14, the metal magnetic films 24 and 24 having this configuration are arranged in parallel with the magnetic gap G. Since there is no metal magnetic film portion to be formed, there is no pseudo gap,
There is no occurrence of waveform distortion due to the contour effect.

【0038】次に図1〜図3に示す構造の磁気ヘッドC
を製造する方法の一例について説明する。磁気ヘッドD
を製造するには、まず、結晶化ガラスあるいはセラミッ
クなどの非磁性体からなる平面長方形状の板状のブロッ
ク38を用い、このブロック38の上面に砥石などを用
いて研削加工を施して図4に示すようなV字溝39を複
数互いに平行に形成する。これにより各V字溝39の間
には側面三角形状の細長い突部40が形成される。続い
て前記各突部40の先端部をレーザビーム加工、逆スパ
ッタ、ドライエッチング、パッドポリッシングなどの手
法により図5に示すように曲面状に加工する。
Next, the magnetic head C having the structure shown in FIGS.
An example of a method for manufacturing the will be described. Magnetic head D
First, a flat rectangular plate-shaped block 38 made of a non-magnetic material such as crystallized glass or ceramic is used, and the upper surface of the block 38 is subjected to a grinding process using a grindstone or the like. A plurality of V-shaped grooves 39 as shown in FIG. Thereby, between the V-shaped grooves 39, elongated protrusions 40 each having a triangular side surface are formed. Subsequently, the tip of each projection 40 is processed into a curved surface as shown in FIG. 5 by a technique such as laser beam processing, reverse sputtering, dry etching, and pad polishing.

【0039】次に、砥石などを用いてブロック38に溝
加工を施し、図6に示すような溝部41を前記V字溝3
9に対して直角方向に形成する。この溝部41は、ブロ
ック40の上面に対して平行に形成した底面41aと、
この底面41aの両側に、底面41aに対して斜めに形
成した内側面41bとからなるものである。
Next, a groove is formed in the block 38 using a grindstone or the like, and a groove 41 as shown in FIG.
9 is formed in a direction perpendicular to the direction. The groove 41 has a bottom surface 41 a formed parallel to the top surface of the block 40,
On both sides of the bottom surface 41a, an inner side surface 41b is formed obliquely with respect to the bottom surface 41a.

【0040】続いて図7に示すようにブロック40の上
面全部に、スパッタあるいは真空蒸着などの成膜手段に
より、金属磁性膜を複数、層間絶縁層とともに交互に積
層してメタル磁性膜45を形成する。この際に最上層の
金属磁性膜の膜厚tは、ギャップ深さ方向と前記最内周
金属磁性膜30aとのなす角θと磁気ギャップ深さG
dの間に t>Gdsinθ の関係を満たすように形成する。
Subsequently, as shown in FIG. 7, a plurality of metal magnetic films and an interlayer insulating layer are alternately laminated on the entire upper surface of the block 40 by a film forming means such as sputtering or vacuum evaporation to form a metal magnetic film 45. I do. At this time, the thickness t of the uppermost metal magnetic film is determined by the angle θ between the gap depth direction and the innermost metal magnetic film 30a and the magnetic gap depth G.
It is formed so as to satisfy the relationship of t> Gdsinθ between d.

【0041】また、前記最内周の金属磁性膜上には、ギ
ャップ層を被覆する。なお、突部40の上面とV字溝3
9の上面を除く部分に形成された積層膜を突部40の先
端に形成された積層膜と同一高さになるまで研摩して除
去する。
A gap layer is coated on the innermost metal magnetic film. Note that the upper surface of the protrusion 40 and the V-shaped groove 3
The laminated film formed on the portion excluding the upper surface of 9 is polished and removed until it reaches the same height as the laminated film formed on the tip of the projection 40.

【0042】図7に示す状態のブロック40を一対形成
したならば、図8に示すようにメタル磁性膜45、45
どうし、更には溝部41、41どうしを位置合わしてブ
ロック40、40を突き合わせ、突き合わせ部分に形成
された空洞部に溶融ガラスを流入させてブロック40、
40を接合する。この接合作業は、接合用のガラス棒を
前記空洞部に収納し、これを溶融してブロック40、4
0の各部に流し込むことによって行う。
After forming a pair of blocks 40 in the state shown in FIG. 7, the metal magnetic films 45, 45 are formed as shown in FIG.
In addition, the grooves 41, 41 are aligned with each other to butt the blocks 40, 40, and the molten glass is caused to flow into the cavity formed in the butt portion, so that the blocks 40, 40 are aligned.
40 are joined. In this joining operation, a glass rod for joining is housed in the hollow portion, which is melted and
It is performed by pouring into each part of 0.

【0043】次に、図8に示す状態で接合したブロック
40、40を図8の鎖線に沿って切り出すとともに、ブ
ロック40、40の媒体対向面側を研摩してゆくことで
図1に示す構造の磁気ヘッドCをブロック40、40か
ら多数同時に製造することができる。
Next, the blocks 40, 40 joined in the state shown in FIG. 8 are cut out along the chain line in FIG. 8, and the medium facing surfaces of the blocks 40, 40 are polished to form the structure shown in FIG. Can be simultaneously manufactured from the blocks 40 and 40 in large numbers.

【0044】以上説明した方法を実施して磁気ヘッドD
を製造することで、ブロック40、40から多数の磁気
ヘッドDを同時に製造することができる。また、前記の
方法によれば、図13と図14を基に先に説明したMI
G型の磁気ヘッドBと同様に、ブロックの切出加工工程
金属磁性膜の形成工程とガラス溶着工程と切断工程を
行なうことで磁気ヘッドCを大量に製造できるので、従
来と同様の製造設備で同様の手順で磁気ヘッドDを製造
することができる。従って新規な構造の高性能の磁気ヘ
ッドDを従来の磁気ヘッドB用の製造設備で製造するこ
とができる。なお、前記の方法では、ガラスにより溶着
する工程が一度で済むので溶着工程を2回以上必要とす
る図12に示す構造の磁気ヘッドAよりも溶着工程が少
なくなり、製造しやすくなるので低コストで製造できる
ようになる。
By performing the above-described method, the magnetic head D
, A large number of magnetic heads D can be manufactured simultaneously from the blocks 40 and 40. According to the above method, the MI described above with reference to FIGS.
As in the case of the G-type magnetic head B, a large number of magnetic heads C can be manufactured by performing a block cutting process, a metal magnetic film forming process, a glass welding process, and a cutting process. Thus, the magnetic head D can be manufactured in a similar procedure. Therefore, a high-performance magnetic head D having a novel structure can be manufactured by the conventional manufacturing equipment for the magnetic head B. In the above method, the step of welding with glass is only required once, so that the number of welding steps is smaller than that of the magnetic head A having the structure shown in FIG. It can be manufactured with.

【0045】また、得られた磁気ヘッドDにおいて、ハ
ーフコア23の凸部23aは磁気ギャップGに向かって
弓形に突出されているが、この突出部分の形状は、ブロ
ック38に形成する三角山型の突部40の先端部を湾曲
加工する際の曲率によって自由に設定することができ
る。したがってコンター効果を抑制するためのメタル薄
膜24の特殊な形状をブロック40に形成する突部40
の先端部加工により容易に決定することができる。
In the obtained magnetic head D, the convex portion 23a of the half core 23 projects in an arc shape toward the magnetic gap G. The shape of the projecting portion is a triangular mountain shape formed in the block 38. It can be set freely according to the curvature at the time of bending the tip of the projection 40. Therefore, the protrusion 40 for forming the special shape of the metal thin film 24 on the block 40 for suppressing the contour effect.
Can be easily determined by processing the tip portion of.

【0046】ところで、前記実施例においては、メタル
磁性膜24を弓形に湾曲させて形成したが、メタル磁性
膜24が媒体対向面22において円弧状に湾曲されるよ
うに形成されていても良い。また、ハーフコア23、2
3に形成される各メタル磁性膜24は、磁気ギャップG
の中央部分で互いに最接近し、その他の部分では磁気ギ
ャップGから徐々に離間していればコンター効果を抑制
できるので、メタル磁性膜24の湾曲状態は種々の形状
をとることができる。よって、本発明においてメタル磁
性膜24が湾曲しているというのは、平面状の複数のメ
タル磁性膜が、微小角度ずつ傾斜しながら接続されて全
体として湾曲している状態をも含むものとする。
In the above-described embodiment, the metal magnetic film 24 is formed to be curved in an arc shape. However, the metal magnetic film 24 may be formed to be curved in an arc on the medium facing surface 22. Half cores 23, 2
3 has a magnetic gap G
The contour effect can be suppressed if the metal magnetic film 24 is closest to each other at the center portion of the metal film 24 and is gradually separated from the magnetic gap G at the other portions, so that the curved state of the metal magnetic film 24 can take various shapes. Therefore, the term “the metal magnetic film 24 is curved” in the present invention includes a state in which a plurality of planar metal magnetic films are connected while being inclined at a small angle and are curved as a whole.

【0047】そして更に、ハーフコア23を非磁性体で
構成し、巻線窓26の周囲部分に複数のメタル磁性膜
4、24を環状に形成し、このメタル磁性膜24におけ
る最内周の金属磁性膜30aが媒体対向面22に露出さ
れて磁気ギャップGが形成され、この金属磁性膜30a
がギャップ表面部G1から最深部G2まで達する厚さに形
成されてなることにより、前記磁気ギャップG周辺が磁
気テープの摺動によって摩耗しても、従来構造の磁気ヘ
ッドのように前記磁気ギャップGを形成する金属磁性膜
が摩耗及び摩耗変形することにより、層間絶縁層が露出
してしまい、結果的に磁気ギャップ幅が変化してしまう
といった不具合を回避することができる。従って、本発
明による磁気ヘッドのように磁気ギャップ幅を一定の値
に保つことによって、磁気記録特性の劣化及びスペーシ
ングロスの発生を回避することが可能である。
Further, the half core 23 is made of a non-magnetic material, and a plurality of metal magnetic films 2 are formed around the winding window 26.
4 and 24 are formed in an annular shape, and the innermost metal magnetic film 30a of the metal magnetic film 24 is exposed to the medium facing surface 22 to form a magnetic gap G.
By but made is formed to a thickness reaching to the deepest G2 from the gap surface portion G1, the even magnetic gap G around worn by sliding of the magnetic tape, the magnetic gap G as the magnetic head of the conventional structure It is possible to avoid a problem that the interlayer insulating layer is exposed due to wear and deformation of the metal magnetic film that forms the magnetic layer, resulting in a change in the magnetic gap width. Therefore, by maintaining the magnetic gap width at a constant value as in the magnetic head according to the present invention, it is possible to avoid deterioration of magnetic recording characteristics and occurrence of spacing loss.

【0048】[0048]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ハ
ーフコアを非磁性体で構成し、巻線窓の周囲部分に複数
のメタル磁性膜を環状に形成し、このメタル磁性膜にお
ける少なくとも1つの金属磁性膜が媒体対向面に露出さ
れて磁気ギャップが形成され、この金属磁性膜がギャッ
プ表面部から最深部まで達する厚さに形成されてなるこ
とにより、磁気ギャップ周辺が磁気テープの摺動によっ
て摩耗しても、従来構造の磁気ヘッドのように磁気ギャ
ップを形成する金属磁性膜が摩耗及び摩耗変形すること
により、層間絶縁層が露出してしまい、結果的に磁気ギ
ャップ幅が変化してしまうといった不具合を回避するこ
とができる。従って、本発明の磁気ヘッドは、磁気ギャ
ップ幅を一定の値に保つことができ、磁気記録特性の劣
化及びスペーシングロスの発生を回避することが可能で
ある。また、巻線窓の周囲に設けたメタル磁性膜が磁気
ギャップに向けて傾斜しつつ相互に接近しているので、
磁気ギャップでの磁界発生を効率よく行うことができ
る。
As described above, according to the present invention, the half core is made of a non-magnetic material, and a plurality of metal magnetic films are formed in a ring around the winding window. The two metal magnetic films are exposed on the medium facing surface to form a magnetic gap, and the metal magnetic film is formed to a thickness that extends from the surface of the gap to the deepest portion, so that the magnetic tape slides around the magnetic gap. Even if it is worn by the magnetic head, the magnetic
By the metal magnetic film forming the-up to wear and abrasion deformation, it will be exposed interlayer insulating layer, resulting in it is possible to avoid the problem such as a magnetic gap width is changed. Therefore, the magnetic head of the present invention can keep the magnetic gap width at a constant value, and can avoid deterioration of magnetic recording characteristics and occurrence of spacing loss. The metal magnetic film provided around the winding window is magnetic.
Because they are close to each other while leaning toward the gap,
A magnetic field can be generated efficiently in the magnetic gap.
You.

【0049】更に、メタル磁性膜による磁気回路のみで
磁気記録再生ができるので、フェライト部分の存在によ
り高周波対応に限界を生じていた従来のMIG型の磁気
ヘッドよりも有利になる。
Further, since magnetic recording and reproduction can be performed only by a magnetic circuit using a metal magnetic film, the present invention is more advantageous than a conventional MIG type magnetic head in which the presence of a ferrite portion has a limit in supporting high frequencies.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は本発明の実施例の磁気ヘッドの断面図で
ある。
FIG. 1 is a sectional view of a magnetic head according to an embodiment of the present invention.

【図2】図2は図1に示す磁気ヘッドの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the magnetic head shown in FIG.

【図3】図3は図1に示す磁気ヘッドの要部拡大図であ
る。
FIG. 3 is an enlarged view of a main part of the magnetic head shown in FIG. 1;

【図4】図4は本発明方法の実施に用いる非磁性体ブロ
ックにV字溝を形成した状態を示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing a state in which a V-shaped groove is formed in a non-magnetic block used for carrying out the method of the present invention.

【図5】図5は図4に示すV字溝の先端部を加工した状
態を示す側面図である。
FIG. 5 is a side view showing a state in which a tip portion of the V-shaped groove shown in FIG. 4 is processed.

【図6】図6は図5に示すブロックに溝部を形成した状
態を示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing a state in which a groove is formed in the block shown in FIG. 5;

【図7】図7は同ブロックに金属磁性膜を積層した状態
を示す正面図である。
FIG. 7 is a front view showing a state where a metal magnetic film is laminated on the same block.

【図8】図8は図7に示すブロックを突き合わせた状態
を示す平面図である。
FIG. 8 is a plan view showing a state where the blocks shown in FIG. 7 are butted.

【図9】図9は従来の磁気ヘッドの一構成例を示す斜視
図である。
FIG. 9 is a perspective view showing one configuration example of a conventional magnetic head.

【図10】図10は図9に示す磁気ヘッドの平面図であ
る。
FIG. 10 is a plan view of the magnetic head shown in FIG. 9;

【図11】図11は図9に示す磁気ヘッドの要部拡大図
である。
FIG. 11 is an enlarged view of a main part of the magnetic head shown in FIG. 9;

【図12】図12は従来の磁気ヘッドの一構造例を示す
斜視図である。
FIG. 12 is a perspective view showing an example of a structure of a conventional magnetic head.

【図13】図13は従来のMIG型の磁気ヘッドの一構
造例を示す斜視図である。
FIG. 13 is a perspective view showing a structural example of a conventional MIG type magnetic head.

【図14】図14は図13に示す磁気ヘッドの平面図で
ある。
FIG. 14 is a plan view of the magnetic head shown in FIG. 13;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

D 磁気ヘッド G ギャップG1 ギャップ表面部 G2 最深部 20 磁気コア半体 21 ガラス部 28 ガラス部 22 媒体対向面 23 ハーフコア 23a 突部 24 メタル磁性膜 25 溝部 25a 底面 25b 内側面 26 巻線窓 27 ギャップ層30 金属磁性膜 30a 最内周の金属磁性膜 31 層間絶縁膜 38 ブロック 39 V字溝 40 凸部 41 溝部 45 メタル磁性膜D Magnetic head G Gap G1 Gap surface portion G2 Deepest portion 20 Magnetic core half 21 Glass portion 28 Glass portion 22 Medium facing surface 23 Half core 23a Projection 24 Metal magnetic film 25 Groove 25a Bottom surface 25b Inner side surface 26 Winding window 27 Gap layer Reference Signs List 30 metal magnetic film 30a innermost metal magnetic film 31 interlayer insulating film 38 block 39 V-shaped groove 40 convex part 41 groove part 45 metal magnetic film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−170014(JP,A) 特開 平2−162505(JP,A) 特開 平1−92908(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 5/127 - 5/255 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-60-170014 (JP, A) JP-A-2-162505 (JP, A) JP-A-1-92908 (JP, A) (58) Investigation Field (Int.Cl. 6 , DB name) G11B 5/127-5/255

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 非磁性体からなる一対のハーフコアが、
それらの側部に形成された金属磁性膜及び層間絶縁層か
らなるメタル磁性膜をギャップ層を介して突き合わせ、
前記メタル磁性膜どうしの間に磁気ギャップを形成して
一体化されてなり、前記ハーフコアの側面に隣接するハ
ーフコアの一面が、媒体対向面にされてなる磁気ヘッド
において、 ハーフコアの接合部分に巻線窓が形成され、この巻線窓
の周囲にこれを囲む環状のメタル磁性膜が形成され、
記1対のメタル磁性膜は、複数の金属磁性膜からなると
共に、巻線窓側からギャップ表面部にかけてギャップ層
に対して傾斜して相互に接近しつつ媒体対向面に到達す
るように設けられ、このメタル磁性膜における少なくと
も1対の金属磁性膜が媒体対向面に露出されて前記磁気
ギャップが形成され、かつ最内周の金属磁性膜がギャッ
プ表面部から最深部まで達する厚さに形成されてなるこ
とを特徴とする磁気ヘッド。
1. A pair of half cores made of a non-magnetic material,
A metal magnetic film formed on those side portions and a metal magnetic film including an interlayer insulating layer are abutted through a gap layer,
In a magnetic head in which a magnetic gap is formed between the metal magnetic films so as to be integrated and one surface of a half core adjacent to a side surface of the half core is formed as a medium facing surface, a winding is formed around a joint portion of the half core. windows are formed, an annular metal magnetic film surrounding it around the winding window is formed, prior to
Details 1. pair of metal magnetic film, and ing from a plurality of metal magnetic film
In both cases, the gap layer extends from the winding window side to the gap surface.
Approaching the medium facing surface while approaching each other
It provided so that said magnetic at least one pair of magnetic metal film is exposed in the medium facing surface in the metal magnetic film
A magnetic head, wherein a gap is formed, and an innermost metal magnetic film is formed so as to have a thickness from a surface portion of the gap to a deepest portion.
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