JPH09180115A - Manufacture of magnetic head - Google Patents

Manufacture of magnetic head

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JPH09180115A
JPH09180115A JP33364795A JP33364795A JPH09180115A JP H09180115 A JPH09180115 A JP H09180115A JP 33364795 A JP33364795 A JP 33364795A JP 33364795 A JP33364795 A JP 33364795A JP H09180115 A JPH09180115 A JP H09180115A
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JP
Japan
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magnetic
magnetic core
core half
substrate
magnetic head
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Application number
JP33364795A
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Japanese (ja)
Inventor
Takashi Hirata
昂士 平田
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the workability and to improve the productivity of magnetic head by eliminating the need of a take-out process from a magnetic core half body block jig and a cutting process of both end magnetic core half bodies. SOLUTION: First of all, plural sheets of core substrates 20-21 having a metal magnetic layer formed on the surface of a non-magnetic substrate are joined, and a joint substrate 3 joined alternately leaving the parts not joined at the width of the magnetic core half body blocks whose both end core substrates 21 are cut thereafter is formed. Then, the joint substrate 3 is cut, and a first magnetic core half body block with both end core substrates 21 joined and a second magnetic core half body block having no both end core substrates 21 are formed. Thereafter, the first magnetic core half body block is joined with the second magnetic core half body block, and a magnetic gap is formed between the butting end surfaces of the metal magnetic layer, and the magnetic head is manufactured.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばVTR(ビ
デオテープレコーダ)、デジタルデータレコーダ、DA
T(デジタルオーディオテープレコーダー)等の磁気記
録再生装置に用いて有用な積層型の磁気ヘッドの製造方
法に係わる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to, for example, a VTR (video tape recorder), a digital data recorder, a DA.
The present invention relates to a method for manufacturing a laminated magnetic head useful for a magnetic recording / reproducing apparatus such as a T (digital audio tape recorder).

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、磁気テープ等を磁気記録媒体とし
て用いているVTRあるいはDAT等の磁気記録及び再
生装置は、磁気記録テープに記録された情報信号の読み
とりを行ったり、あるいは磁気記録テープに記録を行う
ため、磁気記録テープの信号記録面からの情報信号の読
みとり再生及び磁気記録テープの信号記録面への情報信
号の書き込み記録を行う磁気ヘッドを備えている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a magnetic recording and reproducing apparatus such as a VTR or DAT which uses a magnetic tape or the like as a magnetic recording medium, reads an information signal recorded on the magnetic recording tape, or uses the magnetic recording tape. For recording, a magnetic head is provided for reading and reproducing information signals from the signal recording surface of the magnetic recording tape and writing and recording the information signals on the signal recording surface of the magnetic recording tape.

【0003】そして、磁気ヘッドは、磁気コアとこの磁
気コアに巻回されたコイルなどの部材により構成されて
おり、磁気コアには微小間隔である磁気ギャップが形成
されている。コイルは記録または再生のための情報信号
を磁気コアへ磁束として伝達する働きをする。また磁気
コアは、記録時にはコイルから磁気記録媒体へ、再生時
には磁気記録媒体からコイルへ、磁束を伝達するための
通路としての働きをする。磁気ギャップは、磁気記録媒
体に情報信号を記録するために磁界の広がりの範囲を絞
る働きと、再生時には磁気記録媒体からの磁束取り入れ
口としての働きをする。
The magnetic head is composed of a magnetic core and a member such as a coil wound around the magnetic core, and a magnetic gap having a minute interval is formed in the magnetic core. The coil serves to transmit an information signal for recording or reproduction as a magnetic flux to the magnetic core. The magnetic core also functions as a passage for transmitting a magnetic flux from the coil to the magnetic recording medium during recording and from the magnetic recording medium to the coil during reproducing. The magnetic gap functions to narrow the spread of the magnetic field in order to record an information signal on the magnetic recording medium, and also functions as a magnetic flux inlet from the magnetic recording medium during reproduction.

【0004】ところで、近年上述の磁気記録媒体として
磁気テープを用いた例えばVTR、DAT等の磁気記録
及び再生装置においては、映像信号等の記録または再生
の高画質化や記録容量の大容量化などを目的として、よ
り多くの情報信号を記録・再生できるようにするため、
情報信号の短波長記録化が進められており、これに対応
して磁性粉に強磁性粉末を用いてこれをベースフィルム
上に塗布したいわゆるメタルテープや、ベースフィルム
上に強磁性金属材料を直接蒸着した蒸着テープ等の高抗
磁力磁気記録媒体が使用されるようになってきている。
By the way, in recent years, in a magnetic recording and reproducing apparatus such as a VTR or DAT which uses a magnetic tape as the above-mentioned magnetic recording medium, the image quality of recording or reproducing a video signal or the like and the increase of recording capacity are increased. For the purpose of enabling to record and reproduce more information signals,
Information signals are being recorded at shorter wavelengths, and in response to this, so-called metal tapes in which ferromagnetic powder is used as magnetic powder and coated on a base film, or ferromagnetic metal materials are directly applied to the base film. A high coercive force magnetic recording medium such as a vapor-deposited tape has been used.

【0005】一方、これらの高抗磁力磁気記録媒体に記
録またはこれを再生することを可能とするために、磁気
ヘッドの磁気コア材料に高透磁率かつ高飽和磁束密度を
有する金属磁性層、例えば鉄系合金、鉄−ニッケル系合
金、鉄−コバルト系合金等の材料からなる層を用いた積
層型磁気ヘッド、あるいはMIG(メタルインギャッ
プ)型磁気ヘッドなどが提案されている。
On the other hand, in order to make it possible to record on or reproduce from these high coercive force magnetic recording media, the magnetic core material of the magnetic head has a metal magnetic layer having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density, for example, A stacked magnetic head using a layer made of a material such as an iron-based alloy, an iron-nickel-based alloy, or an iron-cobalt-based alloy, or a MIG (metal-in-gap) magnetic head has been proposed.

【0006】積層型磁気ヘッドは、金属磁性層を非磁性
材料からなるガード材により挟み込んで磁気コア半体を
構成し、この磁気コア半体を互いに突き合わせて、ガラ
ス融着等により接合一体化して構成した磁気ヘッドであ
る。
In the laminated magnetic head, a metal magnetic layer is sandwiched by guard materials made of a non-magnetic material to form a magnetic core half body, and the magnetic core half bodies are butted against each other and joined together by glass fusion or the like. It is a configured magnetic head.

【0007】上述の積層型磁気ヘッドとしては、非磁性
材料からなる基板(ガード材)に、高透磁率かつ高飽和
磁束密度を有する金属磁性層を挟み込んだ構造の、いわ
ゆるラミネートタイプの磁気ヘッドが知られている。
As the above-mentioned laminated magnetic head, there is a so-called laminate type magnetic head having a structure in which a metal magnetic layer having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density is sandwiched between a substrate (guard material) made of a non-magnetic material. Are known.

【0008】従来の積層型磁気ヘッドの製造は、次のよ
うにして行われていた。
The conventional laminated magnetic head has been manufactured as follows.

【0009】まず、図9に示すように、両主面が鏡面加
工された、非磁性ガード材となる短冊状の非磁性基板5
1を用意し、この非磁性基板51の一方の主面上にスパ
ッタ法などの真空薄膜形成法により金属磁性層52を成
膜してなるコア基板70を形成する。
First, as shown in FIG. 9, a strip-shaped non-magnetic substrate 5 serving as a non-magnetic guard material having both principal surfaces mirror-polished.
1 is prepared, and a core substrate 70 is formed by forming a metal magnetic layer 52 on one main surface of the non-magnetic substrate 51 by a vacuum thin film forming method such as a sputtering method.

【0010】次に、図10に示すように、複数枚のコア
基板70を重ね合わせて、これらを加圧固定し、熱処理
を施し接合一体化して接合基板53を形成する。
Next, as shown in FIG. 10, a plurality of core substrates 70 are superposed on each other, fixed under pressure, heat-treated, and joined together to form a joined substrate 53.

【0011】この接合基板53を、図10中のA−A
´,B−B´,C−C´で示す面に沿って切断し、図1
1に示すように互いに略対称な一対の磁気コア半体ブロ
ック54および55を作製する。
This bonded substrate 53 is referred to as AA in FIG.
1 ', B-B', C-C '
As shown in FIG. 1, a pair of magnetic core half blocks 54 and 55 which are substantially symmetrical to each other are produced.

【0012】次に、図12に示すように、この磁気コア
半体ブロック54および55に対し、それぞれ磁気コア
半体ブロック54,55の長手方向に沿って伸びる巻線
溝56および57を略コ字状の断面形状となるように形
成する。同時に、磁気コア半体ブロック54,55の、
後に磁気ギャップgを形成する側と反対側の端面(すな
わち図12中の底面)にそれぞれガラス挿入溝58およ
び59を形成する。
Next, as shown in FIG. 12, winding grooves 56 and 57 extending along the longitudinal direction of the magnetic core half blocks 54 and 55, respectively, are formed on the magnetic core half blocks 54 and 55 so as to be substantially co-shaped. It is formed to have a V-shaped cross section. At the same time, in the magnetic core half blocks 54, 55,
Later, glass insertion grooves 58 and 59 are formed on the end surface (that is, the bottom surface in FIG. 12) opposite to the side on which the magnetic gap g is formed.

【0013】次に、図13に示すように、一方の磁気コ
ア半体ブロック55に対して、その両端のコア基板70
の1枚分に相当する磁気コア半体55aを図中D−D′
およびE−E′で示す面で切断して、磁気コア半体ブロ
ック55から両端の磁気コア半体55aを除去する。
Next, as shown in FIG. 13, one magnetic core half block 55 is provided with core substrates 70 at both ends thereof.
The magnetic core half body 55a corresponding to one sheet of
Then, the magnetic core halves 55a at both ends are removed from the magnetic core half block 55 by cutting along the planes indicated by EE 'and EE'.

【0014】次に、図14に示すように、2つの磁気コ
ア半体ブロック54および55を、それぞれの金属磁性
層52同士がギャップ材を介して相対向するように突き
合わせ、巻線溝56,57およびガラス挿入溝58,5
9内にそれぞれガラス棒60および61を挿入配置し、
このガラス棒60,61を溶融させて、図中巻線溝5
6,57内の下部およびガラス挿入溝58,59に充填
させ補強ガラス68とし、2つの磁気コア半体ブロック
54,55を接合一体化する。
Next, as shown in FIG. 14, the two magnetic core half blocks 54 and 55 are butted so that the metal magnetic layers 52 face each other with a gap material interposed therebetween, and the winding grooves 56, 57 and glass insertion grooves 58, 5
Glass rods 60 and 61 are inserted and arranged in 9 respectively,
The glass rods 60 and 61 are melted to form the winding groove 5 in the figure.
The lower part of 6, 57 and the glass insertion grooves 58, 59 are filled with the reinforcing glass 68 to join and integrate the two magnetic core half blocks 54, 55.

【0015】この結果、各磁気コア半体ブロック54お
よび55にそれぞれ形成された金属磁性層52の突き合
わせ端面間に、記録再生ギャップとして動作する磁気ギ
ャップgが形成された磁気コアブロック63が形成され
る。また、巻線溝56,57により巻線窓62が形成さ
れる。
As a result, a magnetic core block 63 having a magnetic gap g acting as a recording / reproducing gap is formed between the abutting end faces of the metal magnetic layers 52 formed on the magnetic core half blocks 54 and 55, respectively. It A winding window 62 is formed by the winding grooves 56 and 57.

【0016】このとき、図13で切断を行わない磁気コ
ア半体ブロック54の両端の磁気コア半体54aは、接
合される相手の磁気コア半体がなく、この磁気コア半体
54aの部分が両端にはみ出した形で形成される。
At this time, the magnetic core halves 54a at both ends of the magnetic core half block 54 which is not cut in FIG. 13 do not have the magnetic core halves to be joined, and the portion of the magnetic core halves 54a does not exist. It is formed in a shape protruding to both ends.

【0017】そして、図15に示すように、磁気コアブ
ロック63の外面にそれぞれ所要曲率をもった磁気記録
媒体との摺動面66をラッピング等により形成する。こ
のとき、両端のはみ出した磁気コア半体54aを利用し
てデプスDpを確認しながら、所定のデプスDpを有す
るように摺動面66を形成する。
Then, as shown in FIG. 15, a sliding surface 66 with the magnetic recording medium having a required curvature is formed on the outer surface of the magnetic core block 63 by lapping or the like. At this time, the sliding surface 66 is formed so as to have a predetermined depth Dp while confirming the depth Dp by utilizing the protruding magnetic core halves 54a at both ends.

【0018】さらに図16に示すように、磁気コアブロ
ック63の外面の巻線を施す部分に巻線ガイド溝65を
形成する。また摺動面66に、磁気記録媒体への当たり
幅規制溝64を形成する。
Further, as shown in FIG. 16, a winding guide groove 65 is formed in the portion of the outer surface of the magnetic core block 63 where the winding is applied. Further, on the sliding surface 66, a contact width regulation groove 64 for contacting the magnetic recording medium is formed.

【0019】その後、図中点線で示すF−F´,G−G
´の各線に沿う面において磁気コアブロック63を切断
して、図17に示すような非磁性基板(非磁性ガード
材)51で金属磁性層52を挟み込んだ磁気コア半体6
9a,69bが突き合わされ、突き合わせ端面間に磁気
ギャップgが形成された構造の磁気ヘッド67が形成さ
れる。
After that, FF 'and GG shown by dotted lines in the figure
The magnetic core half body 6 in which the magnetic core block 63 is cut on the surface along each line of ‘′ and the metal magnetic layer 52 is sandwiched between the nonmagnetic substrates (nonmagnetic guard materials) 51 as shown in FIG.
A magnetic head 67 having a structure in which 9a and 69b are butted and a magnetic gap g is formed between the butted end faces is formed.

【0020】[0020]

【発明が解決しようとする課題】従来の積層型磁気ヘッ
ドの製法においては、前述のように、図15において、
磁気ヘッドの摺動面66を所定の曲率を持たせながら、
所定のデプスDpまでラッピングを行う場合に、デプス
Dpを測定するために、図13に示したように、一方の
磁気コア半体ブロック55の両端の磁気コア半体55a
を切断する工程が必要であった。
In the conventional method of manufacturing a laminated magnetic head, as described above, in FIG.
While giving the sliding surface 66 of the magnetic head a predetermined curvature,
In order to measure the depth Dp when lapping up to a predetermined depth Dp, as shown in FIG. 13, the magnetic core halves 55a at both ends of one magnetic core half block 55a are measured.
A step of cutting the was required.

【0021】この工程を行う場合には、磁気コア半体ブ
ロック54,55に巻線溝56,57およびガラス挿入
溝58,59を形成した後に、一旦磁気コア半体ブロッ
ク54,55を治具から取り外して、再度、切断すべき
磁気コア半体ブロック55を貼り付けて、切断を行わな
ければならない。
When this step is performed, the winding grooves 56, 57 and the glass insertion grooves 58, 59 are formed in the magnetic core half blocks 54, 55, and then the magnetic core half blocks 54, 55 are temporarily jigged. Then, the magnetic core half block 55 to be cut must be attached again and then cut.

【0022】このように磁気コア半体ブロックを治具か
ら一旦取り外し、また貼り付けることから、作業性が低
下し、また工程数も多くなり製造コストがかかる要因と
もなっているという問題があった。
As described above, since the magnetic core half block is once removed from the jig and then attached, there is a problem that the workability is lowered, the number of steps is increased, and the manufacturing cost is increased.

【0023】本発明は、上述の磁気コア半体ブロック治
具からの取り外し工程および両端の磁気コア半体の切断
工程を不要として、作業性を改善し、磁気ヘッドの生産
性を向上させることができる磁気ヘッドの製造方法を提
供するものである。
The present invention can improve workability and productivity of magnetic heads by eliminating the steps of removing the magnetic core half block jig and cutting the magnetic core halves at both ends. The present invention provides a method of manufacturing a magnetic head that can be performed.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドの製
造方法は、非磁性基板の表面に金属磁性層を形成してな
るコア基板を複数枚接合し、両端のコア基板がその後切
断される磁気コア半体ブロックの幅で交互に接合されな
い部分を有して接合された接合基板を形成する工程と、
接合基板を切断して両端のコア基板が接合されている第
1の磁気コア半体ブロックと、両端のコア基板を有しな
い第2の磁気コア半体ブロックとを形成する工程と、第
1の磁気コア半体ブロック及び第2の磁気コア半体ブロ
ックとを接合し、金属磁性層の突き合わせ端面間で磁気
ギャップを形成する工程とを有するものである。
According to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, a plurality of core substrates each having a metal magnetic layer formed on the surface of a non-magnetic substrate are bonded together, and the core substrates at both ends are then cut. A step of forming a joined substrate having portions that are not joined alternately in the width of the magnetic core half block,
A step of cutting the bonded substrate to form a first magnetic core half block having the core substrates bonded at both ends, and a second magnetic core half block having no core substrate at both ends; And a step of joining the magnetic core half block and the second magnetic core half block together to form a magnetic gap between the abutting end faces of the metal magnetic layer.

【0025】上述の本発明製法によれば、所定のデプス
を測定するために磁気コア半体ブロックの両端部の磁気
コア半体の切断を行う工程を削除し、この工程がなくと
もデプスの測定を行うことができる。
According to the above-described manufacturing method of the present invention, the step of cutting the magnetic core halves at both ends of the magnetic core half block in order to measure the predetermined depth is eliminated, and the depth measurement can be performed without this step. It can be performed.

【0026】[0026]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
る磁気ヘッドの製造方法の実施例について説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a magnetic head manufacturing method according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0027】まず、本実施例の積層型磁気ヘッドの構成
について説明する。図8Aおよび図8Bにこのラミネー
トタイプ積層型の磁気ヘッドの例を示す。
First, the structure of the laminated magnetic head of this embodiment will be described. 8A and 8B show an example of this laminated type laminated type magnetic head.

【0028】本例の積層型磁気ヘッド17は、図8Aお
よび図8B(図8Aの磁気記録媒体との摺動面の拡大
図)に示すように、閉磁路を構成する一対の磁気コア半
体19aおよび19bを突き合わして接合一体化し、磁
気記録媒体との摺動面16に臨んで磁気ギャップgを形
成して構成される。
As shown in FIGS. 8A and 8B (enlarged view of the sliding surface with the magnetic recording medium of FIG. 8A), the laminated magnetic head 17 of this example has a pair of magnetic core halves forming a closed magnetic path. 19a and 19b are butted and joined together to form a magnetic gap g facing the sliding surface 16 with the magnetic recording medium.

【0029】磁気コア半体19aおよび19bは、金属
磁性層2がその両側を非磁性基板(非磁性ガード材)1
によってそれぞれ挟み込まれてなる。
In the magnetic core halves 19a and 19b, the metal magnetic layer 2 has a nonmagnetic substrate (nonmagnetic guard material) 1 on both sides thereof.
It is sandwiched by each.

【0030】そして、磁気コア半体19aおよび19b
同士の突き合わせ端面においては、その金属磁性層2の
端部が突き合わされることによりその突き合わせ端面間
に磁気ギャップgが構成されている。従って、この磁気
ギャップgのトラック幅Twは、金属磁性層2の膜厚に
よって設定される。
Then, the magnetic core halves 19a and 19b
At the abutting end faces of each other, the ends of the metal magnetic layers 2 are abutted to form a magnetic gap g between the abutting end faces. Therefore, the track width Tw of the magnetic gap g is set by the film thickness of the metal magnetic layer 2.

【0031】また、磁気コア半体19aおよび19bの
突き合わせ面には、磁気ギャップgのデプスDpを規制
するとともにコイルを巻装するための巻線窓12が形成
され、巻線窓12の摺動面16側には補強ガラス18が
充填されている。
A winding window 12 for restricting the depth Dp of the magnetic gap g and winding the coil is formed on the abutting surfaces of the magnetic core halves 19a and 19b, and the winding window 12 slides. A reinforcing glass 18 is filled on the surface 16 side.

【0032】一方、磁気コア半体1,2の外側面に、上
述の巻線溝19に巻装されるコイルの巻装状態を確保す
るための例えば断面略コ字状の巻線ガイド溝15が設け
られている。
On the other hand, on the outer surface of the magnetic core halves 1 and 2, for example, a winding guide groove 15 having a substantially U-shaped cross section for ensuring the winding state of the coil wound in the winding groove 19 described above. Is provided.

【0033】この金属磁性層2の材料は、各種強磁性材
料の他に、例えば高飽和磁束密度を有し、かつ軟磁気特
性に優れた強磁性合金材料が使用されるが、このような
強磁性合金材料としては、合金が結晶質であるか非晶質
であるかを問わず、公知のものを使用することができ
る。
As the material of the metal magnetic layer 2, a ferromagnetic alloy material having a high saturation magnetic flux density and excellent soft magnetic characteristics is used in addition to various ferromagnetic materials. As the magnetic alloy material, known materials can be used regardless of whether the alloy is crystalline or amorphous.

【0034】例えば、Fe−Al−Si,Fe−Si−
Co,Fe−Ni,Fe−Ga−Ge,Fe−Ga−S
i,Fe−Al−Ge,Fe−Si−Ga−Ru,Fe
−Co−Si−Al等の系の合金、およびそれらに耐蝕
性や耐摩耗性の向上を図るために、Ti,Cr,Mn,
Zr,Nb,Ta,W,Ru,Os,Rh,Ir,R
e,Ni,Pd,Pt,Hf,V等を1種または数種添
加した材料であってもよい。
For example, Fe-Al-Si, Fe-Si-
Co, Fe-Ni, Fe-Ga-Ge, Fe-Ga-S
i, Fe-Al-Ge, Fe-Si-Ga-Ru, Fe
-Co-Si-Al based alloys, and in order to improve their corrosion resistance and wear resistance, Ti, Cr, Mn,
Zr, Nb, Ta, W, Ru, Os, Rh, Ir, R
The material may be one or several kinds of e, Ni, Pd, Pt, Hf, V, etc. added.

【0035】また、強磁性非晶質合金、いわゆるアモル
ファス合金、例えばFe,Ni,Coの内の1種以上の
元素とP,C,B,Siの内の1種以上の元素とからな
る合金、またはこれらを主成分としてAl,Ge,B
e,Sn,In,Mo,W,Ti,Mn,Cr,Zr,
Hf,Nb等を含んだ合金などのメタル−メタロイド系
アモルファス合金、あるいはCo,Hf,Zr等の遷移
元素や希土類元素などを主成分とするメタル−メタル系
アモルファス合金等が挙げられる。
A ferromagnetic amorphous alloy, a so-called amorphous alloy, for example, an alloy composed of one or more elements of Fe, Ni and Co and one or more elements of P, C, B and Si. , Or Al, Ge, B containing these as main components
e, Sn, In, Mo, W, Ti, Mn, Cr, Zr,
Examples thereof include metal-metalloid type amorphous alloys such as alloys containing Hf and Nb, and metal-metal type amorphous alloys containing transition elements such as Co, Hf and Zr and rare earth elements as main components.

【0036】これら金属磁性層2の成膜方法としては、
膜厚の制御性に優れるスパッタ装置によるスパッタリン
グ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、イオンビ
ーム法などに代表される真空薄膜形成技術をもちいるこ
とができる。
As a method for forming these metal magnetic layers 2,
It is possible to use a vacuum thin film forming technique typified by a sputtering method, a vacuum deposition method, an ion plating method, an ion beam method, or the like, which is excellent in controllability of the film thickness.

【0037】なお、この金属磁性層2は、高周波帯域で
の渦電流発生を回避させ、またヘッドの効率を向上させ
るために、金属磁性層2とSiO2 ,Al2 3 ,Si
3 4 等の酸化物や窒化物などの電気的絶縁膜とを交互
に積層させた金属磁性積層膜とすることが好ましい。
The metal magnetic layer 2 has a high frequency band.
Eddy current generation and improve head efficiency
For the purpose of the metal magnetic layer 2 and SiOTwo, AlTwoOThree, Si
ThreeN FourAlternate with electrical insulating film such as oxide or nitride
It is preferable that the metal magnetic laminated film is formed by laminating.

【0038】また、非磁性基板1には、加工性、耐摩耗
性、金属磁性材料との熱膨張係数などを考慮した材料で
かつ高強度を有するセラミックス系材料が望ましい。
For the non-magnetic substrate 1, it is desirable to use a ceramic material having high strength, which is a material in consideration of workability, wear resistance, coefficient of thermal expansion with a metal magnetic material, and the like.

【0039】次に、本実施例の製造方法を説明する。図
1に示すように、両主面が鏡面加工された非磁性ガード
材となる短冊状の非磁性基板1を用意し、この非磁性基
板1の一方の主面上にスパッタ法などの真空薄膜形成法
により金属磁性層2を成膜してなるコア基板20を形成
する。
Next, the manufacturing method of this embodiment will be described. As shown in FIG. 1, a strip-shaped non-magnetic substrate 1 serving as a non-magnetic guard material having both main surfaces mirror-finished is prepared, and one main surface of the non-magnetic substrate 1 is provided with a vacuum thin film such as a sputtering method. The core substrate 20 formed by depositing the metal magnetic layer 2 is formed by the forming method.

【0040】次に、図2に示すように、複数枚のコア基
板20を所定のアジマス角度をもって接合材を介して重
ね合わせ、これらを加圧固定し、熱処理を施し接合一体
化して接合基板3を形成する。
Next, as shown in FIG. 2, a plurality of core substrates 20 are superposed on each other with a predetermined azimuth angle therebetween via a bonding material, and these are pressure-fixed and heat-treated to integrally bond the bonded substrates 3. To form.

【0041】この接合基板3の形成に際して、複数のコ
ア基板20を接合材を介して重ね合わせ、その両側にさ
らに、その接合面25において、その後切断する磁気コ
ア半体ブロックの幅で交互に接合材30が付着しないよ
うマスクを施して接合材30を塗布した同様のコア基板
21を重ね合わせて後、加圧固定し、熱処理して一体化
する。
When forming the bonded substrate 3, a plurality of core substrates 20 are superposed on each other with a bonding material interposed therebetween, and on both sides thereof, the bonded surfaces 25 are bonded alternately with the width of the magnetic core half block to be cut thereafter. A similar core substrate 21 on which a bonding material 30 is applied by masking so that the material 30 does not adhere is superposed, then fixed under pressure and heat-treated to be integrated.

【0042】これにより、マスクを施した箇所には接合
材が付着せず、図2に示すように、両端のコア基板21
とこの両端のコア基板21と隣接したコア基板20との
間に、接合材30を有する部分と接合材30を有しない
部分とがそれぞれ交互に形成された接合基板3が得られ
る。
As a result, the bonding material does not adhere to the masked portion, and as shown in FIG.
A joint substrate 3 is obtained in which the portions having the bonding material 30 and the portions having no bonding material 30 are alternately formed between the core substrates 21 on both ends and the adjacent core substrate 20.

【0043】この接合基板3を図1中H−H′、J−
J′、K−K′で示す断面、すなわち接合材30を有す
る部分と接合材30を有しない部分との境界において切
断することにより、図3に示すように、2つの磁気コア
半体ブロック4および5を得る。
This bonded substrate 3 is referred to as H-H ', J- in FIG.
By cutting at the cross sections indicated by J ′ and KK ′, that is, at the boundary between the portion having the bonding material 30 and the portion not having the bonding material 30, as shown in FIG. And get 5.

【0044】このとき、一方の磁気コア半体ブロック5
については、両端の磁気コア半体5aと隣接する磁気コ
ア半体5bとの間に、接合材30を有していないため、
両端の磁気コア半体5aが容易に剥がれ落ち、前述の図
13に示した切断工程を省略することができる。
At this time, one magnetic core half block 5
With regard to, since the bonding material 30 is not provided between the magnetic core halves 5a at both ends and the adjacent magnetic core halves 5b,
The magnetic core halves 5a at both ends are easily peeled off and the cutting step shown in FIG. 13 can be omitted.

【0045】次に、図4に示すように、この磁気コア半
体ブロック4および5に対し、それぞれ磁気コア半体ブ
ロック4,5の長手方向に沿って伸びる巻線溝6および
7を略コ字状の断面形状となるように形成する。同時
に、磁気コア半体ブロック4,5の、後に磁気ギャップ
gを形成する側と反対側の端面(すなわち図7中の底
面)にそれぞれガラス挿入溝8および9を形成する。
Next, as shown in FIG. 4, winding grooves 6 and 7 extending along the longitudinal direction of the magnetic core half blocks 4 and 5 are formed on the magnetic core half blocks 4 and 5, respectively. It is formed to have a V-shaped cross section. At the same time, glass insertion grooves 8 and 9 are formed on the end faces of the magnetic core half blocks 4 and 5 on the side opposite to the side where the magnetic gap g will be formed later (that is, the bottom face in FIG. 7).

【0046】そして、2つの磁気コア半体ブロック4お
よび5を、それぞれの金属磁性層2同士がギャップ材を
介して相対向するように突き合わせる。このとき、一方
の磁気コア半体ブロック4の両端の磁気コア半体4a
は、接合される相手の磁気コア半体がなく、この磁気コ
ア半体4aの部分が両端にはみ出した形で形成される。
Then, the two magnetic core half blocks 4 and 5 are butted so that the respective metal magnetic layers 2 face each other via the gap material. At this time, the magnetic core halves 4a at both ends of one magnetic core half block 4 are
Is formed such that there is no magnetic core half body to be joined, and the magnetic core half body 4a protrudes at both ends.

【0047】次に、図5に示すように、巻線溝6,7お
よびガラス挿入溝8,9内にそれぞれガラス棒10およ
び11を挿入配置し、このガラス棒10,11を溶融さ
せて、図中巻線溝6,7内の下部およびガラス挿入溝
8,9に充填させ補強ガラス18とし、2つの磁気コア
半体ブロック4,5を接合一体化する。
Next, as shown in FIG. 5, glass rods 10 and 11 are inserted and arranged in the winding grooves 6 and 7 and the glass insertion grooves 8 and 9, respectively, and the glass rods 10 and 11 are melted, In the drawing, the lower part of the winding grooves 6 and 7 and the glass insertion grooves 8 and 9 are filled to form a reinforcing glass 18, and the two magnetic core half blocks 4 and 5 are joined and integrated.

【0048】この結果、各磁気コア半体ブロック4およ
び5にそれぞれ形成された金属磁性層2の突き合わせ端
面間に、記録再生ギャップとして動作する磁気ギャップ
gが形成された磁気コアブロック13が形成される。ま
た、巻線溝6,7により巻線窓12が形成される。
As a result, a magnetic core block 13 having a magnetic gap g which operates as a recording / reproducing gap is formed between the abutting end faces of the metal magnetic layers 2 formed on the magnetic core half blocks 4 and 5, respectively. It A winding window 12 is formed by the winding grooves 6 and 7.

【0049】そして、図6に示すように、磁気コアブロ
ック13の外面にそれぞれ所要曲率をもった磁気記録媒
体との摺動面16をラッピング等により形成する。この
とき、両端のはみ出した磁気コア半体4aを利用して、
デプスDpを測定しながら、所定のデプスDpを有する
ように摺動面16を形成する。
Then, as shown in FIG. 6, a sliding surface 16 with the magnetic recording medium having a required curvature is formed on the outer surface of the magnetic core block 13 by lapping or the like. At this time, by utilizing the protruding magnetic core halves 4a at both ends,
While measuring the depth Dp, the sliding surface 16 is formed so as to have the predetermined depth Dp.

【0050】さらに図7に示すように、磁気コアブロッ
ク13の外面の巻線を施す部分に巻線ガイド溝15を形
成する。また摺動面16に、磁気記録媒体への当たり幅
規制溝14を形成する。
Further, as shown in FIG. 7, a winding guide groove 15 is formed on the outer surface of the magnetic core block 13 where the winding is to be formed. Further, the contact width regulation groove 14 for contacting the magnetic recording medium is formed on the sliding surface 16.

【0051】その後、図中点線で示すF−F´,G−G
´の各線に沿う面において磁気コアブロック13を切断
して、図8Aおよび図8Bに示すような非磁性基板1で
金属磁性層2を挟み込んだ磁気コア半体19a,19b
が突き合わされ、突き合わせ端面間に磁気ギャップgが
形成された目的の積層型磁気ヘッド17を得る。
After that, FF 'and GG shown by dotted lines in the figure
Magnetic core halves 19a and 19b in which the magnetic core block 13 is cut along the planes along each line of ′ and the metal magnetic layer 2 is sandwiched between the non-magnetic substrates 1 as shown in FIGS. 8A and 8B.
Are abutted to each other, and the intended laminated magnetic head 17 in which the magnetic gap g is formed between the abutting end faces is obtained.

【0052】上述した実施例によれば、接合基板3を形
成する際に、図2に示すように、その両端のコア基板2
1をその接合面25において、その後切断されるコアブ
ロック半体の幅で交互に接合材30が付着しないよう
に、マスクを施すようにして、接合基板3を形成したこ
とにより、接合基板3を図2中H−H′、J−J′、K
−K′で示す断面、すなわち接合材30を有する部分と
接合材30を有しない部分との境界において切断したと
き、一方の磁気コア半体ブロック5については、両端の
磁気コア半体5aが容易に剥がれ落ち、前述の図13に
示した切断工程を省略することができる。
According to the above-described embodiment, when the bonding substrate 3 is formed, as shown in FIG.
The bonding substrate 3 is formed by masking 1 to the bonding surface 25 so that the bonding material 30 does not alternately adhere to the width of the core block half to be cut thereafter. 2, H-H ', JJ', K
When cut at the cross section indicated by -K ', that is, at the boundary between the portion having the bonding material 30 and the portion not having the bonding material 30, the magnetic core halves 5a at both ends of the one magnetic core half block 5 are easily formed. Then, the cutting step shown in FIG. 13 can be omitted.

【0053】そして、前述の切断工程を省略しても、両
端の磁気コア半体の残った磁気コア半体ブロック23に
おいて、その両端の磁気コア半体においてデプスDpを
測定することができるので、製造工程を簡略化すること
ができる。
Even if the cutting step is omitted, the depth Dp can be measured in the magnetic core halves at both ends of the magnetic core half block 23 in which the magnetic core halves at both ends remain. The manufacturing process can be simplified.

【0054】各工程における接合方法には、従来公知の
接合方法、例えば貴金属層同士の熱拡散による低温熱拡
散接合やガラス融着等を用いることができる。
As a joining method in each step, a conventionally known joining method, for example, low temperature thermal diffusion joining by heat diffusion of noble metal layers, glass fusion or the like can be used.

【0055】本発明の磁気ヘッドは、上述の例に限定さ
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でそ
の他様々な構成が取り得る。
The magnetic head of the present invention is not limited to the above-mentioned example, and various other structures can be adopted without departing from the gist of the present invention.

【0056】[0056]

【発明の効果】上述の本発明による磁気ヘッドの製造方
法によれば、所定の曲率を有する摺動面を、所定のデプ
スまでラッピングする際に、デプスを測定できるよう
に、両端の磁気コア半体を切断する前工程を設けなくと
もデプスの測定ができることにより、作業性を向上し、
工程数の削減および製造コストの低減を図って磁気ヘッ
ドを製造することができる。
According to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention described above, when lapping a sliding surface having a predetermined curvature up to a predetermined depth, the depth of the magnetic core half at both ends can be measured. Improves workability by enabling depth measurement without the need for a pre-cutting step
The magnetic head can be manufactured by reducing the number of steps and manufacturing cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
FIG. 1 is a process chart showing an example of a manufacturing process of an example of a method for manufacturing a magnetic head of the present invention.

【図2】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
FIG. 2 is a process diagram showing one example of a manufacturing process of a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention.

【図3】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
FIG. 3 is a process diagram showing one example of a manufacturing process of a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention.

【図4】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
FIG. 4 is a process diagram showing one example of a manufacturing process of a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention.

【図5】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
FIG. 5 is a process chart showing one example of a manufacturing process of a method for manufacturing a magnetic head of the present invention.

【図6】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
FIG. 6 is a process diagram showing one example of a manufacturing process of a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention.

【図7】本発明の磁気ヘッドの製法の一例の一製造工程
を示す工程図である。
FIG. 7 is a process chart showing an example of a manufacturing process of a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention.

【図8】A 本発明製法を適用する積層型磁気ヘッドの
一例の斜視図である。B 図8Aの磁気ヘッドの磁気記
録媒体との摺動面の拡大正面図である。
8A is a perspective view of an example of a laminated magnetic head to which the manufacturing method of the present invention is applied. FIG. 8B is an enlarged front view of the sliding surface of the magnetic head of FIG. 8A with respect to the magnetic recording medium. FIG.

【図9】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す工
程図である。
FIG. 9 is a process drawing showing one manufacturing process of a conventional magnetic head manufacturing method.

【図10】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
FIG. 10 is a process chart showing a manufacturing step of a conventional magnetic head manufacturing method.

【図11】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
FIG. 11 is a process drawing showing one manufacturing process of a conventional magnetic head manufacturing method.

【図12】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
FIG. 12 is a process drawing showing one manufacturing process of a conventional magnetic head manufacturing method.

【図13】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
FIG. 13 is a process chart showing one manufacturing process of a conventional magnetic head manufacturing method.

【図14】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
FIG. 14 is a process chart showing one manufacturing process of a conventional magnetic head manufacturing method.

【図15】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
FIG. 15 is a process diagram showing one manufacturing process of a conventional magnetic head manufacturing method.

【図16】従来の磁気ヘッドの製法の一製造工程を示す
工程図である。
FIG. 16 is a process chart showing one manufacturing process of a conventional magnetic head manufacturing method.

【図17】積層型磁気ヘッドの一例の斜視図である。FIG. 17 is a perspective view of an example of a laminated magnetic head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、51 非磁性基板(非磁性ガード材) 2、52 金属磁性層 3、53 接合基板 4、5、54、55 磁気コア半体ブロック 4a、5a、54a、55a 磁気コア半体 6、7、56、57 巻線溝 8、9、58、59 ガラス挿入溝 10、11、60、61 ガラス棒 12、62 巻線窓 13、63 磁気コアブロック 14、64 当たり幅規制溝 15、65 巻線ガイド溝 16、66 摺動面 17、67 磁気ヘッド 18、68 補強ガラス 19a、19b,69a、69b 磁気コア半体 20、21、70 コア基板 25 接合面 30 接合材 Tw トラック幅 g 磁気ギャップ Dp デプス 1, 51 Non-magnetic substrate (non-magnetic guard material) 2, 52 Metal magnetic layer 3, 53 Bonding substrate 4, 5, 54, 55 Magnetic core half block 4a, 5a, 54a, 55a Magnetic core half 6, 7, 56, 57 Winding groove 8, 9, 58, 59 Glass insertion groove 10, 11, 60, 61 Glass rod 12, 62 Winding window 13, 63 Magnetic core block 14, 64 Width regulation groove 15, 65 Winding guide Grooves 16, 66 Sliding surfaces 17, 67 Magnetic heads 18, 68 Reinforced glass 19a, 19b, 69a, 69b Magnetic core halves 20, 21, 70 Core substrate 25 Bonding surface 30 Bonding material Tw Track width g Magnetic gap Dp depth

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非磁性基板の表面に金属磁性層を形成し
てなるコア基板を複数枚接合し、両端のコア基板がその
後切断される磁気コア半体ブロックの幅で交互に接合さ
れない部分を有して接合された接合基板を形成する工程
と、 上記接合基板を切断して、上記両端のコア基板が接合さ
れている第1の磁気コア半体ブロックと、上記両端のコ
ア基板を有しない第2の磁気コア半体ブロックとを形成
する工程と、 上記第1の磁気コア半体ブロック及び上記第2の磁気コ
ア半体ブロックとを接合し、上記金属磁性層の突き合わ
せ端面間で磁気ギャップを形成する工程とを有すること
を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
1. A plurality of core substrates, each having a metal magnetic layer formed on the surface of a non-magnetic substrate, are joined together, and the core substrates at both ends are formed into portions which are not joined alternately by the width of a magnetic core half block to be cut thereafter. A step of forming a bonded bonded substrate having, a first magnetic core half block to which the core substrates at both ends are bonded by cutting the bonded substrate, and a core substrate at both ends Forming a second magnetic core half block, joining the first magnetic core half block and the second magnetic core half block, and forming a magnetic gap between the abutting end faces of the metal magnetic layer. A method of manufacturing a magnetic head, comprising:
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