JPH09292520A - Diffraction grating type polarizer, optical parts using the same and their production - Google Patents

Diffraction grating type polarizer, optical parts using the same and their production

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JPH09292520A
JPH09292520A JP10724796A JP10724796A JPH09292520A JP H09292520 A JPH09292520 A JP H09292520A JP 10724796 A JP10724796 A JP 10724796A JP 10724796 A JP10724796 A JP 10724796A JP H09292520 A JPH09292520 A JP H09292520A
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JP
Japan
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optical
optical material
birefringent material
birefringent
diffraction grating
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JP10724796A
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Japanese (ja)
Inventor
Shinji Iwatsuka
信治 岩塚
Kenjiro Hata
健次郎 秦
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TDK Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a diffraction grating type polarizer which is easy to manufacture control and design and has high aging stability of performance, optical parts using the same, and methods for manufacturing them. SOLUTION: On the first optical material of this polarizer, a double refraction material 1 and a second optical material 2 are alternatively arranged and joined via an adhering layer 5 and the double refraction material 1 and the second optical material 2 have the same thickness dB. In this case, both main surfaces of the double refraction material 1 and the second optical material 2 have the same ground surfaces and refractive index of the second optical material 2 (nE2 ) and refractive indexes of the double refraction material 1 (nB1 , nB2 ) to two proper linearly polarized light beans nearly satisfy the relations: (nB2 -nE2 ) dB=(M+1/2)λ (M is an arbitary integer and λ is a wavelength of light) and nB1 =nE2 .

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、従来の偏光子もし
くはこれを用いた光学部品に代わる量産性に優れた回折
格子型偏光子、これを用いた光学部品及びそれらの製造
方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a diffraction grating type polarizer excellent in mass productivity, which replaces a conventional polarizer or an optical component using the same, an optical component using the same, and a manufacturing method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
偏光子としては次のような種々のものが知られている。
2. Description of the Related Art
The following various polarizers are known.

【0003】(1)いわゆるポライロイド板と呼ばれる
二色性偏光子: このタイプの偏光子は,消光比が低く
損失が大きいため,光アイソレータのような精密な光部
品には使用するのが困難であった。
(1) Dichroic polarizer known as a so-called polaroid plate: This type of polarizer has a low extinction ratio and a large loss, so that it is difficult to use it for a precision optical component such as an optical isolator. there were.

【0004】(2)複屈折結晶を用いた偏光プリズム:
このタイプの偏光子は,水晶、方解石、フッ化マグネ
シウムなどの複屈折性の材料を用い、それらを結晶軸に
対して所定の角度で切り出してプリズム状に加工しなけ
ればならないため、材料コストが高く且つ製造が容易で
なかった。
(2) Polarizing prism using a birefringent crystal:
This type of polarizer uses a birefringent material such as quartz, calcite, magnesium fluoride, etc., and these must be cut out at a predetermined angle with respect to the crystal axis and processed into a prism shape, so the material cost is low. It was expensive and not easy to manufacture.

【0005】(3)複屈折結晶板: このタイプの偏光
子は,一方の偏光のビームを位置ずれさせることにより
1つの偏光を選択する機能を有するもので、平行ビーム
系で使用するには板厚を厚くする必要があり,薄型にす
ることが困難であった。
(3) Birefringent crystal plate: This type of polarizer has a function of selecting one polarization by shifting the beam of one polarization, and is a plate for use in a parallel beam system. It was necessary to increase the thickness and it was difficult to reduce the thickness.

【0006】(4)偏光ガラス: このタイプの偏光子
は,特性が優れており又薄型にもできるが、製作が難し
く高価であった。
(4) Polarizing glass: This type of polarizer has excellent characteristics and can be made thin, but it is difficult to manufacture and expensive.

【0007】一方,上述の偏光子に代わるものとして,
小形で量産性が高いことを特徴とする複屈折性回折格子
型偏光子が知られている。
On the other hand, as an alternative to the above-mentioned polarizer,
A birefringent diffraction grating type polarizer is known which is small in size and has high mass productivity.

【0008】(5)複屈折性回折格子型偏光子: この
タイプの偏光子は,偏光による回折効率の違いを利用し
て光路を分離するものであり,以下のものが知られてい
る。
(5) Birefringent Diffraction Grating-Type Polarizer: This type of polarizer separates optical paths by utilizing the difference in diffraction efficiency due to polarized light, and the following are known.

【0009】(5−1)特開昭63−55501による
もの: ニオブ酸リチウムにプロトンイオン交換を施す
ことにより回折格子を形成した偏光子である。しかしな
がら,この偏光子は,回折格子を形成するニオブ酸リチ
ウムの単結晶基板が高価なため安価に製造することがで
きないという問題や、偏光の位相差を高精度で制御する
ことが困難なため再現性良く安定的に製造することがで
きないという問題があった。
(5-1) According to JP-A-63-55501: A polarizer having a diffraction grating formed by subjecting lithium niobate to proton ion exchange. However, this polarizer has a problem that it cannot be manufactured at low cost because the single crystal substrate of lithium niobate that forms the diffraction grating is expensive, and it is difficult to control the polarization phase difference with high accuracy. There was a problem that it could not be manufactured stably with good performance.

【0010】(5−2)特開平2−156205号によ
るもの: 光学異方性を持つ結晶板の主面に設けた周期
的な溝の底に誘電体層を設けた偏光子である。しかしな
がら,この偏光子は,安価に製造することはできるが,
溝の深さ及び誘電体層の厚さを精密に制御することが困
難なため,偏光の位相差を高精度で制御することができ
ず,(5−1)と同様に再現性良く安定的に製造するこ
とができなかった。
(5-2) According to Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-156205: A polarizer in which a dielectric layer is provided at the bottom of periodic grooves provided on the main surface of a crystal plate having optical anisotropy. However, although this polarizer can be manufactured at low cost,
Since it is difficult to precisely control the depth of the groove and the thickness of the dielectric layer, it is not possible to control the polarization phase difference with high accuracy, and as with (5-1), it is stable with good reproducibility. Could not be manufactured.

【0011】(5−3)特開平6−308326号によ
るもの: 本発明者による(5−2)の偏光子の改良発
明である。この偏光子は、図9に示したように光学材料
10の上面に接着剤11を用いて接合された均一な厚さ
の複屈折材料1に対して光学材料10へ貫通する溝加工
を施し、その後、この溝を接着性充填剤12で埋めたも
のであるから、溝の深さにかかわらず複屈折材料1の厚
さを一定にすることができる。従って、溝の深さの精度
に対する偏光子の性能の依存性が排除されている。
(5-3) According to Japanese Patent Laid-Open No. 6-308326: It is an improved invention of the polarizer of (5-2) by the present inventor. In this polarizer, as shown in FIG. 9, the birefringent material 1 having a uniform thickness joined to the upper surface of the optical material 10 with an adhesive 11 is grooved to penetrate the optical material 10, After that, since the groove is filled with the adhesive filler 12, the thickness of the birefringent material 1 can be made constant regardless of the depth of the groove. Therefore, the dependence of the polarizer performance on the groove depth accuracy is eliminated.

【0012】しかしながら,この偏光子の場合,その性
能が溝に充填された接着性充填剤の屈折率に依存するた
め,一定の性能を有する偏光子を安定的に製造するため
には接着性充填剤の混合比(接着性充填剤の成分である
混合物の混合比)及び硬化条件等を一定に管理する必要
があり、その管理が容易でなかった。又,この偏光子に
は次のような問題点もあった。
However, in the case of this polarizer, its performance depends on the refractive index of the adhesive filler filled in the groove, and therefore, in order to stably manufacture a polarizer having a certain performance, the adhesive filler is used. The mixing ratio of the agents (mixing ratio of the mixture which is a component of the adhesive filler), the curing conditions, and the like need to be constantly controlled, which is not easy to control. In addition, this polarizer has the following problems.

【0013】(1)所望の性能を有する偏光子を得るた
めには,接着性充填剤の屈折率を高精度で調整する必要
があり,その調整の精度が良くなかった。例えば特公昭
63−28448に示されているエポキシ樹脂硬化物の
屈折率調整方法に於いては、屈折率の調整可能な精度は
0.001程度である。
(1) In order to obtain a polarizer having desired performance, it is necessary to adjust the refractive index of the adhesive filler with high precision, and the precision of the adjustment is not good. For example, in the method of adjusting the refractive index of the epoxy resin cured product disclosed in JP-B-63-28448, the accuracy with which the refractive index can be adjusted is about 0.001.

【0014】(2)硬化前に硬化後の屈折率を正確に予
想することが困難なため,偏光子の設計効率が良くなか
った(相当回数の、試作が必要だった)。
(2) Since it is difficult to accurately predict the refractive index after curing before curing, the design efficiency of the polarizer was not good (a considerable number of trials were required).

【0015】(3)接着性充填剤が樹脂材料であるた
め、耐環境性が悪く経時的に接着性充填剤の屈折率が変
化し、偏光子の性能が低下(消光比の低下)することが
あった。
(3) Since the adhesive filler is a resin material, the environment resistance is poor and the refractive index of the adhesive filler changes over time, and the performance of the polarizer deteriorates (the extinction ratio decreases). was there.

【0016】(4)接着性充填剤の屈折率の精度が悪い
と溝部の底面の荒れが散乱の原因となって特性が劣化す
ることがあった。
(4) If the accuracy of the refractive index of the adhesive filler is poor, the roughness of the bottom surface of the groove portion may cause scattering and the characteristics may be deteriorated.

【0017】そこで、本発明は(5−3)の偏光子の上
記問題点を改善し、製造管理及び設計が容易で、経時的
な性能の安定性の高い回折格子型偏光子、これを用いた
光学部品及びその製造方法を提供することを目的とす
る。
Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems of the polarizer of (5-3), facilitates manufacturing control and design, and has high stability of performance with time. It is an object of the present invention to provide a conventional optical component and a manufacturing method thereof.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の回折格子
型偏光子は、第1の光学材料上に、複屈折材料と第2の
光学材料とが接着層を介して交互に配列、接合され、該
複屈折材料と第2の光学材料が同一の厚さdB を有する
回折格子型偏光子に於いて、上記複屈折材料と第2の光
学材料の両主面が同一の研磨面を有し、且つ、前記第2
の光学材料の屈折率nE2と、複屈折材料の2つの固有の
直線偏光に対する屈折率nB1、nB2が、 (nB2−nE2)dB =(M+1/2)λ(ここにMは任
意の整数、λは光の波長) 及び nB1=nE2 をほぼ満足すること特徴とするものである。
A diffraction grating type polarizer according to claim 1, wherein a birefringent material and a second optical material are alternately arranged and bonded on a first optical material via an adhesive layer. In the diffraction grating type polarizer in which the birefringent material and the second optical material have the same thickness d B , both main surfaces of the birefringent material and the second optical material have the same polishing surface. And second
The refractive index n E2 of the optical material and the refractive indices n B1 and n B2 of the birefringent material with respect to two unique linearly polarized light are (n B2 −n E2 ) d B = (M + 1/2) λ (where M Is an arbitrary integer, λ is the wavelength of light), and n B1 = n E2 is substantially satisfied.

【0019】請求項2記載の回折格子型偏光子は、請求
項1記載の回折格子型偏光子に於いて、上記第2の光学
材料が光学ガラスであり、且つ、上記複屈折材料が水晶
であることを特徴とするものである。
A diffraction grating type polarizer according to a second aspect is the diffraction grating type polarizer according to the first aspect, wherein the second optical material is optical glass and the birefringent material is quartz. It is characterized by being.

【0020】請求項3記載の回折格子型偏光子の製造方
法は、2つの固有の直線偏光に対する屈折率nB1、nB2
を有する複屈折材料に一定間隔を有する複数個の第1の
溝を形成する工程と、屈折率nE2を有する第2の光学材
料に一定間隔を有する複数個の第2の溝を形成する工程
と、前記第1の溝を形成した部材と前記第2の溝を形成
した部材のそれぞれの凹凸部を接着剤を介在して嵌合、
接合させて複合体を形成する工程と前記複合体の一方の
面を複屈折材料と第2の光学材料の双方の面が現れる厚
さまで研磨し第1の研磨面を形成する工程と、前記複合
体の第1の研磨面に第1の光学材料を接着剤を介在して
接合する工程と、前記複合体の第1の研磨面の反対面を
複屈折材料と第2の光学材料の双方の面が現れる所定の
厚さまで研磨する工程とからなることを特徴とするもの
である。
A method of manufacturing a diffraction grating type polarizer according to a third aspect of the present invention is such that the refractive indexes n B1 and n B2 for two unique linearly polarized lights.
Forming a plurality of first grooves having a constant spacing in the birefringent material having a refractive index n E2 , and forming a plurality of second grooves having a constant spacing in the second optical material having a refractive index n E2 And fitting the respective concave and convex portions of the member having the first groove and the member having the second groove with an adhesive interposed therebetween,
Bonding to form a composite, polishing one surface of the composite to a thickness at which both surfaces of the birefringent material and the second optical material appear to form a first polished surface; Bonding the first optical material to the first polishing surface of the body with an adhesive interposed between the first polishing surface and the second polishing surface of the composite. And a step of polishing the surface to a predetermined thickness.

【0021】請求項4記載の回折格子型偏光子の製造方
法は、請求項3記載の回折格子型偏光子の製造方法に於
いて、上記第2の光学材料が光学ガラスであり、且つ、
上記複屈折材料が水晶であることを特徴とするものであ
る。
A method of manufacturing a diffraction grating type polarizer according to a fourth aspect is the method of manufacturing a diffraction grating type polarizer according to the third aspect, wherein the second optical material is optical glass, and
The birefringent material is quartz.

【0022】請求項5記載の光学部品は、磁気光学素子
もしくは電気光学素子の少なくとも一方の面上に、複屈
折材料と第2の光学材料とが接着層を介して交互に配
列、接合され、該複屈折材料と第2の光学材料が同一の
厚さdB を有する光学部品に於いて、上記複屈折材料と
第2の光学材料の両主面が同一の研磨面を有し、且つ、
前記第2の光学材料の屈折率nE2と、複屈折材料の2つ
の固有の直線偏光に対する屈折率nB1、nB2が、 (nB2−nE2)dB =(M+1/2)λ(ここにMは任
意の整数、λは光の波長) 及び nB1=nE2 をほぼ満足すること特徴とするものである。
In the optical component according to a fifth aspect, the birefringent material and the second optical material are alternately arranged and bonded via an adhesive layer on at least one surface of the magneto-optical element or the electro-optical element. In the optical component in which the birefringent material and the second optical material have the same thickness d B , both main surfaces of the birefringent material and the second optical material have the same polishing surface, and
The refractive index n E2 of the second optical material and the refractive indices n B1 and n B2 of the birefringent material with respect to two unique linearly polarized lights are (n B2 −n E2 ) d B = (M + 1/2) λ ( Here, M is an arbitrary integer, λ is the wavelength of light), and n B1 = n E2 is substantially satisfied.

【0023】請求項6記載の光学部品は、請求項5記載
の光学部品に於いて、上記第2の光学材料が光学ガラス
であり、且つ、上記複屈折材料が水晶であることを特徴
とするものである。
An optical component according to a sixth aspect is the optical component according to the fifth aspect, wherein the second optical material is optical glass and the birefringent material is quartz. It is a thing.

【0024】請求項7記載の光学部品の製造方法は、2
つの固有の直線偏光に対する屈折率nB1、nB2を有する
複屈折材料に一定間隔を有する複数個の第1の溝を形成
する工程と、屈折率nE2を有する第2の光学材料に一定
間隔を有する複数個の第2の溝を形成する工程と、前記
第1の溝を形成した部材と前記第2の溝を形成した部材
のそれぞれの凹凸部を接着剤を介在して嵌合、接合させ
て複合体を形成する工程と前記複合体の一方の面を複屈
折材料と第2の光学材料の双方の面が現れる厚さまで研
磨し第1の研磨面を形成する工程と、前記複合体の第1
の研磨面に磁気光学素子もしくは電気光学素子を接着剤
を介在して接合する工程と、前記複合体の第1の研磨面
の反対面を複屈折材料と第2の光学材料の双方の面が現
れる所定の厚さまで研磨する工程とからなることを特徴
とするものである。
The method of manufacturing an optical component according to claim 7 is 2
Forming a plurality of first grooves having a constant spacing in a birefringent material having refractive indices n B1 and n B2 for two unique linearly polarized lights; and having a constant spacing in a second optical material having a refractive index n E2. Forming a plurality of second grooves having a groove, and fitting and joining the concave and convex portions of the member having the first groove and the member having the second groove with an adhesive agent interposed therebetween. Forming a composite body, polishing one surface of the composite body to a thickness at which both surfaces of the birefringent material and the second optical material appear to form a first polished surface, and the composite body First of
A step of bonding a magneto-optical element or an electro-optical element to the polishing surface of the composite with an adhesive interposed, and a surface opposite to the first polishing surface of the composite is coated with both surfaces of the birefringent material and the second optical material. And a step of polishing to a predetermined thickness that appears.

【0025】請求項8記載の光学部品の製造方法は、請
求項7記載の光学部品の製造方法に於いて、上記第2の
光学材料が光学ガラスであり、且つ、上記複屈折材料が
水晶であることを特徴とするものである。
An optical component manufacturing method according to claim 8 is the optical component manufacturing method according to claim 7, wherein the second optical material is optical glass and the birefringent material is quartz. It is characterized by being.

【0026】[0026]

【作用】請求項1記載の回折格子型偏光子について、回
折格子型偏光子の動作原理と合わせて説明する。
The diffraction grating type polarizer according to claim 1 will be described together with the operation principle of the diffraction grating type polarizer.

【0027】図1のように第1の領域8と第2の領域9
を有する偏光子に於いて第1の領域8を透過する光と第
2の領域9を透過する光の位相差をφとすると0次回折
光の強度、すなわち直進する光の透過率Tは偏光子の厚
さが充分薄い場合、次の近似式で与えられる。
As shown in FIG. 1, a first area 8 and a second area 9
If the phase difference between the light passing through the first region 8 and the light passing through the second region 9 is φ, the intensity of the 0th-order diffracted light, that is, the transmittance T of the light traveling straight ahead is Is sufficiently thin, it is given by the following approximate expression.

【0028】T=cos2(φ/2)・・・(1) ここで、2つの直交する直線偏光の一方の直線偏光に対
する位相差をφ1、透過率をT1、他方の直線偏光に対
する位相差をφ2、透過率をT2とすれば、T1がほぼ
1(φ1がほぼ0deg)で、T2がほぼ0(φ2がほ
ぼ180deg)の場合に偏光子として動作する。つま
り、消光比T2/T1の値が小さい場合に、偏光子とし
て動作する。
T = cos 2 (φ / 2) (1) Here, the phase difference between one of the two linearly polarized light beams orthogonal to each other is φ1, the transmittance is T1, and the phase difference between the other linearly polarized light is Is φ2 and the transmittance is T2, it operates as a polarizer when T1 is approximately 1 (φ1 is approximately 0 deg) and T2 is approximately 0 (φ2 is approximately 180 deg). That is, when the extinction ratio T2 / T1 is small, it operates as a polarizer.

【0029】尚、上記T1の制御は比較的容易なので、
消光比の値が小さい偏光子を得るためにはT2を制御す
る精度が問題となる。ここで、T1の制御とは、式
(1)におけるT(T1)の値が1に近づくようにφ
(φ1)の値を制御することであり、T2の制御とは、
式(1)におけるT(T2)の値が0に近づくようにφ
(φ2)の値を制御することである。
Since the control of T1 is relatively easy,
In order to obtain a polarizer having a small extinction ratio value, the accuracy of controlling T2 becomes a problem. Here, the control of T1 means φ so that the value of T (T1) in Expression (1) approaches 1.
It is to control the value of (φ1), and the control of T2 is
Φ so that the value of T (T2) in equation (1) approaches 0
It is to control the value of (φ2).

【0030】例えば、T1がほぼ1のときに、消光比を
0.0005以下にするためには、φ2が180±2.
6degの範囲内となるように制御する必要がある。
For example, when T1 is almost 1, in order to keep the extinction ratio below 0.0005, φ2 is 180 ± 2.
It is necessary to control so as to be within the range of 6 deg.

【0031】ところで、本発明にかかる回折格子型偏光
子於いては、複屈折材料の屈折率nB1、nB2と第2の光
学材料の屈折率nE2との差によって上述の位相差φが生
じさせており、上記φ1、φ2は次式で与えられる。
By the way, in the diffraction grating type polarizer according to the present invention, the above-mentioned phase difference φ is caused by the difference between the refractive indices n B1 and n B2 of the birefringent material and the refractive index n E2 of the second optical material. .Phi.1 and .phi.2 are given by the following equations.

【0032】 φ1={360deg×(nB1−nE2)d }/λ・・・(2) φ2={360deg×(nB2−nE2)d }/λ・・・(3) ここで、φ1については、 nB1=nE2 をほぼ満足すれば、式(2)のφ1がほぼ0degとな
り、更に、φ2については、 (nB2−nE2)dB =(M+1/2)λ・・・(4) (ここにMは任意の整数、λは光の波長)をほぼ満足す
れば、式(3)のφ2がほぼ180degの奇数倍とな
り回折格子型偏光子として動作する。
Φ1 = {360 deg × (n B1 −n E2 ) d} / λ (2) φ2 = {360 deg × (n B2 −n E2 ) d} / λ ... (3) where For φ1, if n B1 = n E2 is substantially satisfied, then φ1 in equation (2) becomes approximately 0 deg. Further, for φ2, (n B2 −n E2 ) d B = (M + 1/2) λ ·· If (4) (where M is an arbitrary integer and λ is the wavelength of light) is substantially satisfied, φ2 in equation (3) becomes an odd multiple of approximately 180 deg, and the diffraction grating polarizer operates.

【0033】本発明にかかる回折格子型偏光子に於いて
は、複屈折材料の屈折率nB1と第2の光学材料の屈折率
E2をほぼ同一にしているので、φ1については,特に
制御を必要としない。又、複屈折材料の屈折率nB2と第
2の光学材料の屈折率nE2はその材質よって定まるの
で、φ2を高精度で制御するためには、厚さdの精度を
高くするだけでよく、本発明に於いては、複屈折材料と
第2の光学材料が交互に配列された部分の両面を研磨面
とすることにより、両研磨面に挟まれた部分の厚さdの
高精度化を図っている。
In the diffraction grating type polarizer according to the present invention, since the refractive index n B1 of the birefringent material and the refractive index n E2 of the second optical material are substantially the same, φ1 is particularly controlled. Does not need Further, since the refractive index n B2 of the birefringent material and the refractive index n E2 of the second optical material are determined by the materials thereof, in order to control φ2 with high accuracy, it is sufficient to increase the accuracy of the thickness d. In the present invention, by making the both surfaces of the portion in which the birefringent material and the second optical material are alternately arranged as the polishing surface, the accuracy of the thickness d of the portion sandwiched between both polishing surfaces can be improved. I am trying to

【0034】又、本発明にかかる回折格子型偏光子に於
いては、第2の光学材料の屈折率nE2と複屈折材料の一
方の屈折率nB2とを作製前に精密に測定することができ
るので、偏光子の設計(厚さdの設定等)が容易とな
り、製品の歩留も向上する。
Further, in the diffraction grating type polarizer according to the present invention, the refractive index n E2 of the second optical material and the refractive index n B2 of one of the birefringent materials should be precisely measured before production. Therefore, the design of the polarizer (setting of the thickness d, etc.) is facilitated, and the product yield is improved.

【0035】又、第2の光学材料として光学ガラスを用
いれば、より精密(実用レベルで±0.0002の精
度)な屈折率の制御が可能となる。更に、光学ガラスの
屈折率は、水晶の屈折率と一致させ易いため、φ1が0
degになるように光学ガラスの屈折率を制御すること
が、より容易となる。
If optical glass is used as the second optical material, the refractive index can be controlled more precisely (accuracy of ± 0.0002 at a practical level). Further, since the refractive index of optical glass is easily matched with that of quartz, φ1 is 0
It becomes easier to control the refractive index of the optical glass so that it becomes deg.

【0036】又、光学ガラス及び水晶は耐環境性も優れ
ているため、経時的に屈折率が変化し偏光子の性能が低
下(消光比の低下)することがほとんどない。
Further, since the optical glass and the crystal are excellent in environmental resistance, the refractive index does not change with time and the performance of the polarizer is hardly deteriorated (the extinction ratio is decreased).

【0037】[0037]

【発明の実施の態様】 [回折格子型偏光子の構成について]本発明にかかる回
折格子型偏光子の構成について、その製造工程に従って
説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION [Structure of Diffraction Grating Polarizer] The structure of the diffraction grating polarizer according to the present invention will be described according to the manufacturing process thereof.

【0038】工程1:2つの固有の直線偏光に対する屈
折率nB1、nB2を有する複屈折材料1を用意し、図2の
ように、ダイシングソ−や外周切断機等により複屈折材
料1に間隔w1で幅w2の第1の溝6を複数個形成す
る。ここで、w1はw2よりわずかに狭くすることが好
ましい。又、第1の溝6の深さは最終的な複屈折材料1
の厚さdより深くなるように定める。
Step 1: Prepare a birefringent material 1 having refractive indexes n B1 and n B2 for two unique linearly polarized lights, and as shown in FIG. 2, space the birefringent material 1 with a dicing saw or a peripheral cutting machine. A plurality of first grooves 6 having a width w2 and having a width w1 are formed. Here, it is preferable that w1 be slightly narrower than w2. Also, the depth of the first groove 6 is determined by the final birefringent material 1.
The thickness is determined to be deeper than the thickness d.

【0039】工程2:nB1とほぼ同一の屈折率nE2を有
する第2の光学材料2を用意し、図3のように、ダイシ
ングソ−や外周切断機等により第2の光学材料2に間隔
w3で幅w4の第2の溝7を複数個形成する。ここで、
w3はw1と、w4はw2とほぼ等しくし、w3はw4
よりわずかに狭くすることが好ましい。又、第2の溝7
の深さは最終的な第2の光学材料2の厚さdより深くな
るように定める。
Step 2: Prepare a second optical material 2 having a refractive index n E2 which is almost the same as n B1 and, as shown in FIG. 3, use a dicing saw or an outer peripheral cutting machine to space the second optical material 2. A plurality of second grooves 7 having a width w4 are formed with a width w3. here,
w3 and w4 are almost equal to w1, w3 is w4
It is preferable to make it slightly narrower. Also, the second groove 7
Is set to be deeper than the final thickness d of the second optical material 2.

【0040】工程3:図4に示したように、工程1で作
製した複屈折材料1(図2)と、工程2で作製した第2
の光学材料2からなる部分(図3)にそれぞれ設けられ
ている凹凸部分を、接着層4を介在して嵌合させ接合し
複合体8を作製する。ここで、接着剤としては、使用波
長に於いて透明な有機接着剤、低融点ガラス等を用いる
ことができる。
Step 3: As shown in FIG. 4, the birefringent material 1 (FIG. 2) produced in step 1 and the second birefringent material produced in step 2
The concavo-convex portions provided on the portion made of the optical material 2 (FIG. 3) are fitted and joined with the adhesive layer 4 interposed therebetween to produce the composite body 8. Here, as the adhesive, it is possible to use a transparent organic adhesive, a low melting point glass, or the like at the wavelength used.

【0041】工程4:図5のように、複合体8の片面を
研磨し、複屈折材料1と第2の光学材料2が交互に配列
された面が現れる厚さまで研磨し研磨面9を形成する。
尚、図5では複屈折材料1の側から研磨しているが、第
2の光学材料側2から研磨してもよい。
Step 4: As shown in FIG. 5, one surface of the composite 8 is polished and polished to a thickness at which a surface in which the birefringent material 1 and the second optical material 2 are alternately arranged appears to form a polished surface 9. To do.
In FIG. 5, polishing is performed from the birefringent material 1 side, but polishing may be performed from the second optical material side 2.

【0042】工程5:図6に示したように、工程4で作
製した複合体の研磨面9と第1の光学材料3とを接着層
5を介在して接合する。ここで、接着剤としては、使用
波長に於いて透明な有機接着剤、低融点ガラス等を用い
ることができる。尚、接着層5は、第1の領域13及び
第2の領域14(図1)の双方に均一に設けられている
ため、接着性充填剤の屈折率が変化しても、偏光子の性
能が低下(消光比の低下)することがない。
Step 5: As shown in FIG. 6, the polishing surface 9 of the composite body produced in Step 4 and the first optical material 3 are bonded with the adhesive layer 5 interposed. Here, as the adhesive, it is possible to use a transparent organic adhesive, a low melting point glass, or the like at the wavelength used. Since the adhesive layer 5 is uniformly provided in both the first region 13 and the second region 14 (FIG. 1), the performance of the polarizer is improved even if the refractive index of the adhesive filler changes. Does not decrease (the extinction ratio decreases).

【0043】工程6:図7のように、工程4で研磨した
面の反対面を、 (nB2−nE2)dB =(M+1/2)λ・・・(4) (ここにMは任意の整数、λは光の波長)をほぼ満足す
る厚さdまで研磨する。ここで、複屈折材料1と第2の
光学材料2が交互に配列された部分の厚さdB は、第
1の溝6(図2)及び第2の溝7(図3)より小さくな
るように設定されているため、厚さdまで研磨すると、
複屈折材料1と第2の光学材料2の双方の面が現れる。
Step 6: As shown in FIG. 7, the surface opposite to the surface polished in Step 4 is (n B2 -n E2 ) d B = (M + 1/2) λ (4) (where M is Polish to a thickness d that substantially satisfies an arbitrary integer, λ is the wavelength of light. Here, the thickness d B of the portion where the birefringent material 1 and the second optical material 2 are alternately arranged is smaller than that of the first groove 6 (FIG. 2) and the second groove 7 (FIG. 3). Since it is set as follows, when polishing to thickness d,
Both surfaces of the birefringent material 1 and the second optical material 2 appear.

【0044】本発明にかかる製造方法では、溝加工を施
した凹部の底面の粗さがあっても、最終的には研磨によ
りこの部分を除去するので、面の粗さに起因する散乱損
失は問題とならない。但し、凹部の側面、すなわち複屈
折材料と第2の光学材料の境界面は極力荒れのない面に
加工することが望ましい。
In the manufacturing method according to the present invention, even if there is roughness on the bottom surface of the grooved recess, since this portion is finally removed by polishing, the scattering loss due to the surface roughness will not occur. It doesn't matter. However, it is desirable to process the side surface of the recess, that is, the boundary surface between the birefringent material and the second optical material, to a surface that is as rough as possible.

【0045】又、図4〜図7には記載されていないが、
境界面には接着剤が介在していてもよく、この場合、接
着剤の屈折率は第2の光学材料の屈折率に近い方が好ま
しい。
Although not shown in FIGS. 4 to 7,
An adhesive may be present on the boundary surface, and in this case, it is preferable that the refractive index of the adhesive be close to the refractive index of the second optical material.

【0046】なお工程5の第1の光学材料との接合を省
略し、複屈折材料と第2の光学材料のみで偏光子とする
ことも原理的には考えられるが、通常、厚さdB は非
常に薄いため、割れ易く実用的なものとはならない。
Although it is theoretically possible to omit the step 5 of joining the first optical material and use only the birefringent material and the second optical material as the polarizer, the thickness d B is usually used. Is so thin that it breaks and is not practical.

【0047】[回折格子型偏光子の動作について]この
ようにして得られた偏光子は、2つの固有の直線偏光に
対し次のように動作する。
[Operation of Diffraction Grating Polarizer] The polarizer thus obtained operates as follows for two unique linearly polarized lights.

【0048】(1)nB1に対する直線偏光 複屈折材料1の一方の屈折率nB1と第2の光学材料2の
屈折率nE2はほぼ同一なので、第1の領域13と第2の
領域14を通過する光の位相差φ1はほぼ0degとな
り光は回折せず損失なく直進する。
(1) Linearly polarized light with respect to n B1 Since the refractive index n B1 of one of the birefringent materials 1 and the refractive index n E2 of the second optical material 2 are almost the same, the first region 13 and the second region 14 are The phase difference φ1 of the light passing through is 0 deg, and the light does not diffract and travels straight without loss.

【0049】(2)nB2に対する直線偏光 図7に示した複屈折材料1と第2の光学材料2が交互に
配列された部分の厚さdB は、複屈折材料1の一方の
屈折率nB2と第2の光学材料4の屈折率nE2に対して、
式(4)をほぼ満足するように作製されているので、第
1の領域と第2の領域を通過する光の位相差φ2はほぼ
180degとなり光は回折する。
(2) Linearly polarized light with respect to n B2 The thickness d B of the portion in which the birefringent material 1 and the second optical material 2 shown in FIG. For n B2 and the refractive index n E2 of the second optical material 4,
Since it is manufactured so as to substantially satisfy the expression (4), the phase difference φ2 of the light passing through the first region and the second region becomes approximately 180 deg, and the light is diffracted.

【0050】[回折格子型偏光子を構成する光学材料に
ついて]回折格子型偏光子を構成する複屈折材料として
は、透明な複屈折材料であればあらゆるものを使用する
ことができる。代表的な材料として水晶、方解石、サフ
ァイア、ADP、KDP、ルチルなどがあるが,特に安
価で加工が容易な水晶は,本発明の複屈折材料として好
適である。
[Optical Material Constituting Diffraction Grating Polarizer] As the birefringent material constituting the diffraction grating polarizer, any transparent birefringent material can be used. Typical materials include quartz, calcite, sapphire, ADP, KDP, rutile, and the like. Particularly, quartz that is inexpensive and easy to process is suitable as the birefringent material of the present invention.

【0051】又、第2の光学材料としては透明な等方性
材料であればあらゆるものを使用できるが、屈折率を高
精度で制御することができる光学ガラスを使用すること
が好ましい。
Although any transparent isotropic material can be used as the second optical material, it is preferable to use optical glass capable of controlling the refractive index with high accuracy.

【0052】尚、複屈折材料として水晶を使用し、第2
の光学材料として光学ガラスを使用すれば、光学ガラス
の屈折率nE2は、水晶の一方の屈折率nB1に一致させ易
いため、位相差φを0degにすることがより容易とな
る。
It should be noted that quartz is used as the birefringent material, and the second
If optical glass is used as the optical material of (3), the refractive index n E2 of the optical glass can be easily matched with the refractive index n B1 of one of the crystals, so that it is easier to set the phase difference φ to 0 deg.

【0053】第1の光学材料としては光学材料であれば
あらゆるものを使用できる。
Any optical material can be used as the first optical material.

【0054】例えば、第1の光学材料として磁気光学素
子(ファラデ−回転子)を用いれば、光アイソレ−タ、
光サーキュレータ、光スイッチ、光磁界センサー等の磁
気光学部品を作製することができる。
For example, if a magneto-optical element (Faraday rotator) is used as the first optical material, an optical isolator,
Magneto-optical components such as optical circulators, optical switches, and optical magnetic field sensors can be manufactured.

【0055】又、第1の光学材料として電気光学素子を
用いれば、光変調器、光スイッチ、光電界センサー等の
電気光学部品を作製することができる。
If an electro-optical element is used as the first optical material, electro-optical parts such as an optical modulator, an optical switch and an optical electric field sensor can be manufactured.

【0056】[0056]

【実施例】【Example】

[実施例1]複屈折材料としてxカット水晶板を、第2
の光学材料として材質FEL1の光学ガラスを用いた場
合について具体的数値を示し説明する。ここで、波長1
550nmにおいて水晶の常光の屈折率はnB1=1.5
2781、異常光の屈折率はnB2=1.53630、F
EL1の屈折率はnE2=1.52854であった。加工
前の水晶と第2の光学材料の厚さはを600μmであっ
た。又、第1の光学材料としても材質FEL1の光学ガ
ラスを用いた。
[Example 1] An x-cut quartz plate was used as a birefringent material.
The case where the optical glass of the material FEL1 is used as the optical material will be described by showing specific numerical values. Where wavelength 1
At 550 nm, the refractive index of ordinary light of quartz is n B1 = 1.5
2781, the refractive index of extraordinary light is n B2 = 1.53630, F
The refractive index of EL1 was n E2 = 1.52854. The thickness of the crystal and the second optical material before processing was 600 μm. Further, as the first optical material, the optical glass of the material FEL1 was used.

【0057】工程1、2:w1、w2、w3、w4を約
100μm、溝の深さを約300μmとして、水晶板
(複屈折材料)及び第2の光学材料(光学ガラス)に溝
を設けた。
Steps 1, 2: w1, w2, w3, w4 were set to about 100 μm and the depth of the groove was set to about 300 μm, and grooves were formed in the quartz plate (birefringent material) and the second optical material (optical glass). .

【0058】工程3:光学接着剤を用いて水晶板(複屈
折材料)と第2の光学材料(光学ガラス)を接合し、複
合体とした。
Step 3: A quartz plate (birefringent material) and a second optical material (optical glass) were bonded together using an optical adhesive to form a composite.

【0059】工程4:この複合体を、水晶板の側から、
水晶板(複屈折材料)と第2の光学材料(光学ガラス)
の双方の面が現れるように、約400μm研磨した。
Step 4: From the side of the quartz plate,
Crystal plate (birefringent material) and second optical material (optical glass)
About 400 μm was polished so that both surfaces were exposed.

【0060】工程5:この複合体の研磨面に、光学接着
剤を用いて、第1の光学材料(光学ガラス)を接合し
た。
Step 5: The first optical material (optical glass) was bonded to the polished surface of this composite using an optical adhesive.

【0061】工程6:最後に、第1の光学材料(光学ガ
ラス)を接合した複合体を、第2の光学材料側から研磨
し、水晶板(複屈折材料)と第2の光学材料(光学ガラ
ス)の厚さが100μmとなるようにした。
Step 6: Finally, the composite in which the first optical material (optical glass) is bonded is polished from the second optical material side, and the quartz plate (birefringent material) and the second optical material (optical) are polished. The thickness of the glass) was set to 100 μm.

【0062】このようにして作製した回折格子型偏光子
の光学特性を評価したところ、消光比0.0001の優
れた特性が得られた。
When the optical characteristics of the diffraction grating type polarizer produced in this way were evaluated, excellent characteristics with an extinction ratio of 0.0001 were obtained.

【0063】尚、光学ガラスの屈折率はロットにより多
少のばらつきがあるため、ロットごとに屈折率を測定
し、測定した光学ガラスの屈折率に応じて厚さdを決定
するのが望ましい。 又、上記実施例1では、式(4)
におけるMの値をM=0としたが、通常は、nB2>nE2
の場合はM=0とし、nB2<nE2の場合はM=−1とす
ることが望ましく、このように設定することにより、偏
光子として動作する波長帯域が最も広くなる。
Since the refractive index of the optical glass varies somewhat depending on the lot, it is desirable to measure the refractive index for each lot and determine the thickness d according to the measured refractive index of the optical glass. Further, in the first embodiment, the formula (4)
The value of M in M was set to M = 0, but normally n B2 > n E2
In this case, it is preferable to set M = 0, and in the case of n B2 <n E2 , set M = −1. By setting in this way, the wavelength band that operates as a polarizer becomes the widest.

【0064】[実施例2]複屈折材料としてxカット水
晶板を、第2の光学材料として材質FEL1の光学ガラ
ス、第1の光学材料として使用波長1.3μmにおいて
45°の回転角を有するファラデ−回転子を用いた。
尚、作製方法は実施例1と同じとした。
[Embodiment 2] An x-cut quartz plate as a birefringent material, an optical glass of material FEL1 as a second optical material, and a Faraday having a rotation angle of 45 ° at a wavelength of 1.3 μm used as a first optical material. -With a rotor.
The manufacturing method was the same as in Example 1.

【0065】この第1の光学材料としてファラデ−回転
子を用いた回折格子型偏光子の反対側に図8に示したよ
うに偏光ガラスを配置し光アイソレ−タとした。ここ
で、偏光ガラスは、水晶板(複屈折材料)を常光として
透過する光の偏光面に対して、その透過偏光面を45°
回転(ファラデ−回転子における回転方向に回転)させ
た状態で配置されている。
A polarizing glass is arranged on the opposite side of the diffraction grating type polarizer using a Faraday rotator as the first optical material as shown in FIG. 8 to form an optical isolator. Here, the polarizing glass has a transmission polarization plane of 45 ° with respect to the polarization plane of light that passes through a quartz plate (birefringent material) as ordinary light.
It is arranged in a rotated state (rotated in the rotation direction of the Faraday rotator).

【0066】この光アイソレ−タの特性を測定したとこ
ろ、挿入損失0.15dB、アイソレ−ションは43d
Bという良好な特性が得られた。
When the characteristics of this optical isolator were measured, the insertion loss was 0.15 dB and the isolation was 43 d.
A good characteristic of B was obtained.

【0067】尚、偏光ガラスを用いずに、ファラデ−回
転子の両側に本発明の回折格子型偏光子を配置しても光
アイソレ−タとして動作する。この場合、光アイソレ−
タを非常に薄型にすることができる。
Even if the diffraction grating type polarizer of the present invention is arranged on both sides of the Faraday rotator without using the polarizing glass, it operates as an optical isolator. In this case, the optical isolation
Can be very thin.

【0068】[0068]

【発明の効果】本発明は,上述のとおり構成されている
ので、次に記載する効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, it has the following effects.

【0069】(1)複屈折材料と第2の光学材料の厚さ
B を精度良く製作することが可能なので、特性の良
い理想的な回折格子型偏光子を再現性良く安定的に製造
することができる。
(1) Since the thickness d B of the birefringent material and the second optical material can be accurately manufactured, an ideal diffraction grating type polarizer having good characteristics can be manufactured with good reproducibility and stability. be able to.

【0070】また第1の光学材料として磁気光学素子や
電気光学素子を用いれば、薄型の磁気光学部品や電気光
学部品を再現性良く安定的に製造できる。
If a magneto-optical element or an electro-optical element is used as the first optical material, a thin magneto-optical element or electro-optical element can be stably manufactured with good reproducibility.

【0071】(2)製作前に,主要構成部材である光学
材料及び複屈折材料の屈折率を精密に測定することがで
きるため、回折格子型偏光子の設計及び位相差の制御が
容易となる。
(2) Since the refractive indexes of the optical material and the birefringent material, which are the main constituent members, can be precisely measured before fabrication, it is easy to design the diffraction grating type polarizer and control the phase difference. .

【0072】(3)主要構成部材として、耐環境性の優
れた光学材料及び複屈折材料を使用しているため、経時
的な変化により回折格子型偏光子の性能が低下すること
がほとんどない。
(3) Since the optical material and the birefringent material having excellent environment resistance are used as the main constituent members, the performance of the diffraction grating type polarizer hardly deteriorates due to changes with time.

【0073】(4)光学材料として光学ガラス、複屈折
材料として水晶を用いれば、回折格子型偏光子の設計及
び位相差の制御がより容易となる。又、耐環境性もより
向上する。
(4) If optical glass is used as the optical material and quartz is used as the birefringent material, it becomes easier to design the diffraction grating type polarizer and control the phase difference. Also, the environmental resistance is further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】回折格子型偏光子の動作原理を示す説明図であ
る。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing the operating principle of a diffraction grating type polarizer.

【図2】本発明の偏光子の製造例の工程1を示す断面図
である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing step 1 of a production example of a polarizer of the present invention.

【図3】本発明の偏光子の製造例の工程2を示す断面図
である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing step 2 of the production example of the polarizer of the present invention.

【図4】本発明の偏光子の製造例の工程3を示す断面図
である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing step 3 of a production example of a polarizer of the present invention.

【図5】本発明の偏光子の製造例の工程4を示す断面図
である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing step 4 of the production example of the polarizer of the present invention.

【図6】本発明の偏光子の製造例の工程5を示す断面図
である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing step 5 of a production example of a polarizer of the present invention.

【図7】本発明の偏光子の製造例の工程6を示す断面図
である。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing step 6 of a production example of a polarizer of the present invention.

【図8】本発明の実施例2の光アイソレ−タの構成図で
ある。
FIG. 8 is a configuration diagram of an optical isolator according to a second embodiment of the present invention.

【図9】従来の偏光子を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing a conventional polarizer.

【符号の説明】 1 複屈折材料 2 第2の光学材料 3 第1の光学材料 4 接着層 5 接着層 6 第1の溝 7 第2の溝 8 複合体 9 研磨面 13 第1の領域 14 第2の領域 15 ファラデ−回転子 16 偏光ガラス[Description of Reference Signs] 1 birefringent material 2 second optical material 3 first optical material 4 adhesive layer 5 adhesive layer 6 first groove 7 second groove 8 complex 9 polishing surface 13 first region 14th Region 2 15 Faraday rotator 16 Polarizing glass

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1の光学材料上に、複屈折材料と第2
の光学材料とが接着層を介して交互に配列、接合され、
該複屈折材料と第2の光学材料が同一の厚さdB を有す
る回折格子型偏光子に於いて、上記複屈折材料と第2の
光学材料の両主面が同一の研磨面を有し、且つ、前記第
2の光学材料の屈折率nE2と、複屈折材料の2つの固有
の直線偏光に対する屈折率nB1、nB2が、 (nB2−nE2)dB =(M+1/2)λ(ここにMは任
意の整数、λは光の波長) 及び nB1=nE2 をほぼ満足すること特徴とする回折格子型偏光子。
1. A birefringent material and a second optical material on the first optical material.
The optical materials of and are alternately arranged and bonded through the adhesive layer,
In a diffraction grating type polarizer in which the birefringent material and the second optical material have the same thickness d B , both main surfaces of the birefringent material and the second optical material have the same polishing surface. Further, the refractive index n E2 of the second optical material and the refractive indexes n B1 and n B2 of the birefringent material for two unique linearly polarized lights are (n B2 −n E2 ) d B = (M + 1/2) ) Λ (where M is an arbitrary integer, λ is the wavelength of light) and n B1 = n E2 is substantially satisfied.
【請求項2】 請求項1記載の回折格子型偏光子に於い
て、上記第2の光学材料が光学ガラスであり、且つ、上
記複屈折材料が水晶であることを特徴とする請求項1記
載の回折格子型偏光子。
2. The diffraction grating type polarizer according to claim 1, wherein the second optical material is optical glass, and the birefringent material is quartz. Diffraction grating type polarizer.
【請求項3】 2つの固有の直線偏光に対する屈折率n
B1、nB2を有する複屈折材料に一定間隔を有する複数個
の第1の溝を形成する工程と、屈折率nE2を有する第2
の光学材料に一定間隔を有する複数個の第2の溝を形成
する工程と、前記第1の溝を形成した部材と前記第2の
溝を形成した部材のそれぞれの凹凸部を接着剤を介在し
て嵌合、接合させて複合体を形成する工程と前記複合体
の一方の面を複屈折材料と第2の光学材料の双方の面が
現れる厚さまで研磨し第1の研磨面を形成する工程と、
前記複合体の第1の研磨面に第1の光学材料を接着剤を
介在して接合する工程と、前記複合体の第1の研磨面の
反対面を複屈折材料と第2の光学材料の双方の面が現れ
る所定の厚さまで研磨する工程とからなることを特徴と
する回折格子型偏光子の製造方法。
3. Refractive index n for two unique linearly polarized lights
Forming a plurality of first grooves at regular intervals in a birefringent material having B1 and n B2, and a second having a refractive index n E2
And a step of forming a plurality of second grooves having a constant interval in the optical material, and an adhesive agent intervenes between the uneven portions of the member having the first groove and the member having the second groove. And fitting and joining to form a composite body, and one surface of the composite body is polished to a thickness at which both surfaces of the birefringent material and the second optical material appear to form a first polished surface. Process,
A step of bonding a first optical material to the first polishing surface of the composite body with an adhesive interposed; and a step of forming a surface opposite to the first polishing surface of the composite body with a birefringent material and a second optical material. A method of manufacturing a diffraction grating type polarizer, comprising a step of polishing to a predetermined thickness where both surfaces appear.
【請求項4】 請求項3記載の回折格子型偏光子の製造
方法に於いて、上記第2の光学材料が光学ガラスであ
り、且つ、上記複屈折材料が水晶であることを特徴とす
る請求項3記載の回折格子型偏光子の製造方法。
4. The method for manufacturing a diffraction grating type polarizer according to claim 3, wherein the second optical material is optical glass, and the birefringent material is quartz. Item 4. A method of manufacturing a diffraction grating type polarizer according to item 3.
【請求項5】 磁気光学素子もしくは電気光学素子の少
なくとも一方の面上に、複屈折材料と第2の光学材料と
が接着層を介して交互に配列、接合され、該複屈折材料
と第2の光学材料が同一の厚さdB を有する光学部品に
於いて、上記複屈折材料と第2の光学材料の両主面が同
一の研磨面を有し、且つ、前記第2の光学材料の屈折率
E2と、複屈折材料の2つの固有の直線偏光に対する屈
折率nB1、nB2が、 (nB2−nE2)dB =(M+1/2)λ(ここにMは任
意の整数、λは光の波長) 及び nB1=nE2 をほぼ満足すること特徴とする光学部品。
5. The birefringent material and the second optical material are alternately arranged and bonded on at least one surface of the magneto-optical element or the electro-optical element via an adhesive layer, and the birefringent material and the second optical material are bonded together. In the optical component having the same thickness d B , the both major surfaces of the birefringent material and the second optical material have the same polishing surface, and the optical material of the second optical material The index of refraction n E2 and the indices of refraction n B1 and n B2 for the two unique linearly polarized lights of the birefringent material are (n B2 −n E2 ) d B = (M + 1/2) λ (where M is any integer) , Λ is the wavelength of light) and n B1 = n E2 .
【請求項6】 請求項5記載の光学部品に於いて、上記
第2の光学材料が光学ガラスであり、且つ、上記複屈折
材料が水晶であることを特徴とする請求項5記載の光学
部品。
6. The optical component according to claim 5, wherein the second optical material is optical glass, and the birefringent material is quartz. .
【請求項7】 2つの固有の直線偏光に対する屈折率n
B1、nB2を有する複屈折材料に一定間隔を有する複数個
の第1の溝を形成する工程と、屈折率nE2を有する第2
の光学材料に一定間隔を有する複数個の第2の溝を形成
する工程と、前記第1の溝を形成した部材と前記第2の
溝を形成した部材のそれぞれの凹凸部を接着剤を介在し
て嵌合、接合させて複合体を形成する工程と前記複合体
の一方の面を複屈折材料と第2の光学材料の双方の面が
現れる厚さまで研磨し第1の研磨面を形成する工程と、
前記複合体の第1の研磨面に磁気光学素子もしくは電気
光学素子を接着剤を介在して接合する工程と、前記複合
体の第1の研磨面の反対面を複屈折材料と第2の光学材
料の双方の面が現れる所定の厚さまで研磨する工程とか
らなることを特徴とする光学部品の製造方法。
7. A refractive index n for two unique linearly polarized lights.
Forming a plurality of first grooves at regular intervals in a birefringent material having B1 and n B2, and a second having a refractive index n E2
And a step of forming a plurality of second grooves having a constant interval in the optical material, and an adhesive agent intervenes between the uneven portions of the member having the first groove and the member having the second groove. And fitting and joining to form a composite body, and one surface of the composite body is polished to a thickness at which both surfaces of the birefringent material and the second optical material appear to form a first polished surface. Process,
A step of bonding a magneto-optical element or an electro-optical element to the first polishing surface of the composite body with an adhesive interposed; and a surface opposite to the first polishing surface of the composite body with a birefringent material and second optical And a step of polishing to a predetermined thickness where both surfaces of the material are exposed.
【請求項8】 請求項7記載の光学部品の製造方法に於
いて、上記第2の光学材料が光学ガラスであり、且つ、
上記複屈折材料が水晶であることを特徴とする請求項7
記載の光学部品の製造方法。
8. The method of manufacturing an optical component according to claim 7, wherein the second optical material is optical glass, and
8. The birefringent material is quartz crystal.
A method for manufacturing the described optical component.
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