JPH09292374A - Ultrasonic flaw detector - Google Patents

Ultrasonic flaw detector

Info

Publication number
JPH09292374A
JPH09292374A JP8107493A JP10749396A JPH09292374A JP H09292374 A JPH09292374 A JP H09292374A JP 8107493 A JP8107493 A JP 8107493A JP 10749396 A JP10749396 A JP 10749396A JP H09292374 A JPH09292374 A JP H09292374A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultrasonic
subject
ultrasonic waves
reflected
flaw detector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP8107493A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hirohisa Yamada
裕久 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel Corp
Original Assignee
Nippon Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Steel Corp filed Critical Nippon Steel Corp
Priority to JP8107493A priority Critical patent/JPH09292374A/en
Publication of JPH09292374A publication Critical patent/JPH09292374A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/04Wave modes and trajectories
    • G01N2291/044Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic flaw detector which improves the S/N ratio by lowering noises as well as enhancing spatial resolution. SOLUTION: This ultrasonic flaw detector is provided with an array probe 1 in which ultrasonic vibrators are arranged in an array and a drive controlling means 3 which controls the delay time of drive pulses to be applied to the ultrasonic vibrators, so that ultrasonic waves generated by the ultrasonic vibrators are focused at one point in a specimen A, to perform an operation of detecting ultrasonic waves reflected from the inside of the specimen multiple times, varying the focusing positions of the ultrasonic waves and a signal processing means 3 in which signals of the reflected ultrasonic waves obtained from the focusing positions in the specimen undergo an arithmetic mean processing to perform a process of fetching signals from a defective part in the specimen.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、林状エコー等のノ
イズが多い被検体において、内部の疵などの欠陥部を検
査する超音波探傷装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic flaw detector for inspecting a defective portion such as an internal flaw in a subject with much noise such as a forest echo.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、鋼材の内部にある疵等の欠陥
部の有無を非破壊検査する装置として、超音波探傷装置
が用いられている。超音波探傷装置は、探触子が発した
超音波を鋼材に加え、欠陥部によって反射されて戻って
きた反射超音波を検出することにより、鋼材内部の欠陥
の有無を検査する。この場合、検出される反射超音波の
なかには、欠陥部からのエコーの他に、電気的ノイズ等
が含まれている。かかるノイズを除去するために、同じ
探触子位置で、複数回の反射超音波を検出し、加算平均
処理する。欠陥部からの反射超音波は、一定位置に検出
されるため、加算平均処理されても変わらずに信号が検
出される。しかし、電気的ノイズはランダムであるの
で、加算平均処理することににより低減されて検出さ
れ、SN比が向上する。
2. Description of the Related Art Conventionally, an ultrasonic flaw detector has been used as a device for nondestructively inspecting the presence or absence of defects such as flaws inside a steel material. The ultrasonic flaw detection device inspects the presence or absence of a defect inside the steel material by applying the ultrasonic wave generated by the probe to the steel material and detecting the reflected ultrasonic wave reflected by the defect portion and returning. In this case, the reflected ultrasonic waves detected include electrical noise and the like in addition to the echo from the defective portion. In order to remove such noise, the reflected ultrasonic waves are detected a plurality of times at the same probe position, and the averaging process is performed. Since the reflected ultrasonic waves from the defective portion are detected at a fixed position, the signal is detected without change even if the averaging process is performed. However, since electrical noise is random, it is reduced and detected by performing the averaging process, and the SN ratio is improved.

【0003】ところで、被検体が例えばステンレス鋼の
様に結晶粒が比較的大きい鋼材である場合、いわるゆ林
状エコーと呼ばれる結晶粒の界面で反射されて鋼材の表
面に到達するエコーがある。上記の電子的ノイズは位置
が一定していないので、同じ探触子位置で複数回の探触
を行い加算平均処理することにより、低減される。しか
し、林状エコーは位置に依存するノイズであるので、探
触子位置が同じであると、同じように検出され、加算平
均処理しても、低減されない。
By the way, when the object is a steel material having relatively large crystal grains such as stainless steel, there is an echo called a so-called Yubayashi echo that reaches the surface of the steel material by being reflected at the interface of the crystal grains. . Since the position of the electronic noise is not constant, the electronic noise is reduced by performing the averaging process by performing the probe a plurality of times at the same probe position. However, since the forest echo is noise that depends on the position, it is detected in the same way when the probe position is the same, and even if the averaging process is performed, it is not reduced.

【0004】上記の林状エコーを低減するために、特開
平6-207928号の超音波探傷装置の信号処理装置が提案さ
れている。図4はその原理を説明するための図である。
同図(a)において、50は探触子であり、Aは被検体
である。この超音波探傷装置では、探触子50或いは被
検体Aを移動しすることにより、探触子位置を変えて反
射超音波を複数回検出し(図4の場合は3回)、検出し
た信号を加算平均処理することにより、被検体A内部の
欠陥部51を検出する。図4(b)の左側の波形は、3
箇所の各探触子位置において探触子50により検出され
た反射超音波の信号を示しており、同図(b)の右側の
波形は、その3個の反射超音波の信号を加算平均処理し
た信号を示している。超音波のビームは広がりがあるの
で、多少探触子位置がずれても、欠陥部からの反射超音
波を検出することができる。一方、林状エコーは結晶粒
に基づくものであるので、探触子50の位置が僅かにず
れただけでも、林状エコーの出方が変わる。したがっ
て、探触子50の位置をずらして複数回の探傷を行い、
検出した複数の反射超音波を加算平均処理することによ
り、林状エコーを低減して、欠陥部からの反射超音波を
検出することができる。
In order to reduce the above-mentioned forest-like echo, a signal processing device for an ultrasonic flaw detector as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 6-207928 has been proposed. FIG. 4 is a diagram for explaining the principle.
In FIG. 1A, 50 is a probe and A is a subject. In this ultrasonic flaw detector, by moving the probe 50 or the subject A, the probe position is changed to detect reflected ultrasonic waves a plurality of times (three times in the case of FIG. 4), and the detected signal is detected. The defective portion 51 inside the subject A is detected by performing the averaging process. The waveform on the left side of FIG.
The signals of the reflected ultrasonic waves detected by the probe 50 at each position of the probe are shown, and the waveform on the right side of FIG. The signal is shown. Since the ultrasonic beam has a spread, the ultrasonic waves reflected from the defect can be detected even if the probe position is slightly displaced. On the other hand, since the forest echo is based on crystal grains, the appearance of the forest echo changes even if the position of the probe 50 is slightly deviated. Therefore, the position of the probe 50 is shifted to perform flaw detection a plurality of times,
By performing an averaging process on the plurality of detected reflected ultrasonic waves, it is possible to reduce the forest echo and detect the reflected ultrasonic waves from the defect portion.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来の
超音波探傷装置では、林状エコーを低減するために、少
しずつ探触子位置をずらして反射超音波を複数回検出
し、その複数検出した反射超音波の信号を加算平均処理
しているため、空間分解能が低下するという問題があ
る。すなわち、探触子の位置をずらして探傷するので、
欠陥部がそのずらした範囲内にあることは分かるが、そ
のうちのどこの位置にあるのかは不明であり、したがっ
て空間分解能は低下する。
However, in the above-described conventional ultrasonic flaw detector, in order to reduce the forest echo, the probe position is gradually shifted and the reflected ultrasonic waves are detected a plurality of times. Since the signals of the detected reflected ultrasonic waves are added and averaged, there is a problem that the spatial resolution is lowered. That is, since the position of the probe is shifted to detect flaws,
It can be seen that the defect is within the displaced range, but it is unknown where it is located, and thus the spatial resolution is reduced.

【0006】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、空間分解能を高めるとともに、ノイズを低減し
て、SN比の向上を図ることができる超音波探傷装置を
提供することを目的とするものである。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide an ultrasonic flaw detector capable of enhancing the spatial resolution and reducing noise to improve the SN ratio. It is a thing.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明に係る超音波探傷装置は、被検体内部に超音
波を発生させ、被検体内部からの反射超音波を検出する
ことにより被検体中の欠陥を検出する超音波探傷装置に
おいて、超音波振動子がアレイ状に配列されたアレイ状
探触子と、前記各超音波振動子に与える駆動パルスの遅
延時間を制御して、前記各超音波振動子が発する超音波
を被検体中の一点に集束させ、被検体内部からの反射超
音波を検出する動作を超音波の集束位置を変えて複数回
行う駆動制御手段と、前記被検体中の各々の集束位置か
ら得られた反射超音波の信号を加算平均処理して被検体
中の欠陥部からの信号を取り出す処理を行う信号処理手
段と、を設けたことを特徴とするものである。
An ultrasonic flaw detector according to the present invention for achieving the above object generates ultrasonic waves inside a subject and detects reflected ultrasonic waves from the inside of the subject. In an ultrasonic flaw detector for detecting defects in a subject, an array transducer in which ultrasonic transducers are arranged in an array, and controlling the delay time of a drive pulse given to each ultrasonic transducer, Drive control means for focusing the ultrasonic waves emitted by the ultrasonic transducers at one point in the subject and performing a plurality of operations for detecting reflected ultrasonic waves from the inside of the subject by changing the focusing position of the ultrasonic waves, Signal processing means for performing processing for taking out the signal from the defective portion in the subject by averaging the signals of the reflected ultrasonic waves obtained from the respective focusing positions in the subject, and It is a thing.

【0008】[0008]

【作用】超音波振動子がアレイ状に配列されたアレイ状
探触子を用いて、各超音波振動子に供給するパルス信号
のタイミングを制御することにより、各超音波振動子が
発する超音波を被検体中の一点に集束させて、反射超音
波を検出する。このような検出動作を、集束位置を変え
て複数回行い、その検出結果を加算平均処理することに
より、電気的エコーや林状エコーを低減して欠陥部から
の反射超音波の信号を取り出す。アレイ状探触子の位置
を固定して、超音波の集束位置を被検体の深さ方向に変
えて複数回の測定を行うことにより、高い空間分解能で
被検体内部の欠陥部を検出することができる。
[Operation] By using the arrayed probe in which the ultrasonic transducers are arranged in an array, the timing of the pulse signal supplied to each ultrasonic transducer is controlled, and the ultrasonic waves emitted by each ultrasonic transducer are controlled. Is focused on one point in the subject to detect reflected ultrasonic waves. The detection operation is performed a plurality of times by changing the focusing position, and the detection results are added and averaged to reduce electrical echoes and forest echoes, and a signal of reflected ultrasonic waves from the defect portion is extracted. Detecting a defective part inside the subject with high spatial resolution by fixing the position of the arrayed probe and changing the ultrasonic focus position in the depth direction of the subject and performing multiple measurements. You can

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下に本発明の一実施形態につい
て図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施形態
である超音波探傷装置の概略構成図、図2はその超音波
探傷装置の原理を説明するための図、図3は超音波振動
子の駆動方法を説明するための図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an ultrasonic flaw detector which is an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram for explaining the principle of the ultrasonic flaw detector, and FIG. 3 is a diagram for explaining a method of driving an ultrasonic transducer. FIG.

【0010】本実施形態の超音波探傷装置10は、多数
の超音波振動子1aをアレイ状に配列したアレイ状探触
子1と、被検体Aとアレイ状探触子1とを水を介して結
合するために内部にアレイ状探触子1を収納するカップ
リング部2と、アレイ状探触子1の駆動等を制御する制
御部3とを有する。制御部3は駆動制御手段や信号処理
手段しての機能を有するだけでなく、本装置の全ての電
気的な制御を行う。なお、制御部3には、図示していな
いが、従来の装置と同様に各種のスイッチや表示装置等
が設けられている。また、本実施形態では、被検体であ
る鋼材Aは、図1の左右方向に搬送されるものとする。
The ultrasonic flaw detector 10 of this embodiment has an arrayed probe 1 in which a large number of ultrasonic transducers 1a are arranged in an array, an object A and the arrayed probe 1 through water. The array unit 1 has a coupling unit 2 for accommodating the array-shaped probe 1 and a control unit 3 for controlling driving of the array-shaped probe 1 and the like. The control unit 3 not only has a function as a drive control unit and a signal processing unit, but also performs all electrical control of this device. Although not shown, the control unit 3 is provided with various switches, a display device, and the like as in the conventional device. Further, in the present embodiment, the steel material A that is the subject is assumed to be transported in the left-right direction in FIG.

【0011】制御部3は、水を介して被検体Aとカップ
リングされたアレイ状探触子1の各超音波振動子1aに
パルス信号を発する。各超音波振動子1aは、このパル
ス信号を受けると、被検体Aに超音波を発する。ここ
で、各超音波振動子1aが発した超音波を特定の位置、
例えば図1の位置に集束させるには、各超音波振動子
1aから発せられた超音波が位置に同時刻に到達する
ように、各超音波振動子1aを振動させる必要がある。
そこで、本実施形態では、各超音波振動子1aに送るパ
ルス信号のタイミングを、図3に示すように、少しずつ
づらして略円弧状にしている。これにより、各超音波振
動子1が発する超音波を略一点に集束させることができ
る。集束された超音波は集束点を過ぎた後、再び広がっ
て、被検体Aの裏面に到達し、ここで反射されて被検体
Aの表面に戻る。被検体A表面に戻った反射超音波は、
アレイ状探触子1で受波され、各超音波振動子1aによ
って電気信号に変換されて制御部3に送られる。
The control unit 3 issues a pulse signal to each ultrasonic transducer 1a of the arrayed probe 1 coupled to the subject A via water. Upon receiving the pulse signal, each ultrasonic transducer 1a emits ultrasonic waves to the subject A. Here, the ultrasonic waves emitted by each ultrasonic transducer 1a are set at a specific position,
For example, in order to focus the ultrasonic waves on the position shown in FIG. 1, it is necessary to vibrate each ultrasonic vibrator 1a so that the ultrasonic waves emitted from each ultrasonic vibrator 1a reach the position at the same time.
Therefore, in the present embodiment, the timing of the pulse signal to be sent to each ultrasonic transducer 1a is gradually changed to a substantially arc shape as shown in FIG. As a result, the ultrasonic waves emitted by each ultrasonic transducer 1 can be focused on one point. After passing the focus point, the focused ultrasonic wave spreads again, reaches the back surface of the subject A, is reflected here, and returns to the front surface of the subject A. The reflected ultrasonic waves returning to the surface of the subject A are
The ultrasonic waves are received by the array-shaped probe 1, converted into an electric signal by each ultrasonic transducer 1 a, and sent to the control unit 3.

【0012】このような探傷を、集束させる位置(図2
の場合は深さ)を5段階に変化させて行う。各超音波振
動子1aに供給するパルス信号のタイミングのずれを調
節することにより、すなわち図3の一点鎖線で示す円弧
状の曲率を小さくすることにより集束位置を深くするこ
とができ、逆にその曲率を大きくすることにより、集束
位置を浅くすることができる。したがって、本実施形態
によれば、簡単に超音波の集束位置を変えることができ
る。図2(a)はこのようにして、集束位置を変えて5
回探傷を行う様子を示しており、図2(b)の左側の波
形は各位置〜に集束させたときに検出された反射超
音波の信号を示している。図2(a)の場合、集束位置
に欠陥部が在るので、位置に超音波を集束させたと
きに、欠陥部からの反射超音波が一番大きく検出され
る。他の位置、、、に集束させた場合も、欠陥
部からはずれているが、欠陥部に当たった超音波の強さ
に応じたエコーを得ることができる。
A position for focusing such flaw detection (see FIG. 2).
In the case of, the depth is changed in 5 steps. The focusing position can be deepened by adjusting the timing shift of the pulse signal supplied to each ultrasonic transducer 1a, that is, by reducing the arcuate curvature shown by the one-dot chain line in FIG. By increasing the curvature, the focus position can be made shallow. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to easily change the focus position of ultrasonic waves. In this way, FIG. 2 (a) changes the focusing position to 5
FIG. 2B shows a state in which the flaw detection is performed, and the waveform on the left side of FIG. 2B shows the signal of the reflected ultrasonic wave detected when the beam is focused at each position to. In the case of FIG. 2A, since the defective portion exists at the focus position, the reflected ultrasonic wave from the defective portion is detected most when the ultrasonic wave is focused at the position. Even when focused at other positions ,,, although it is deviated from the defective portion, it is possible to obtain an echo according to the intensity of the ultrasonic wave hitting the defective portion.

【0013】被検体Aの裏面や欠陥部等で反射されて、
被検体Aの表面に戻ってきた反射超音波を取り出すとき
にも、超音波振動子1aの検出のタイミングをずらして
行う。この場合のずらし方は、超音波を発生させたとき
と同じ遅延時間だけ各超音波振動子からの受信信号を遅
延させた上で加算する。制御部3は、このようにして取
り出した反射超音波の信号を加算平均処理することによ
り、各種のノイズを低減して欠陥部からの信号を検出す
る。図2に示す場合、欠陥部からの反射超音波は、位置
に超音波を集束させたときが一番大きなものとなり、
他の探傷における欠陥部からの反射超音波は、その振幅
が小さくなる。しかし、欠陥部からの反射超音波は、各
探傷毎にその振幅は異なるが、位相は全て同じであるの
で、図2(b)の左側の波形で示すように出力信号波形
の同じ位置にでる。これに対して林状エコーは、5回行
う各探傷毎に発生する超音波が異なるので、各探傷毎
に、その出方が変わる。したがって、5回の各探傷にお
ける信号波形を加算平均処理することにより、電気的ノ
イズや林状エコーを低減して、欠陥部からの反射超音波
を取り出すことができる。これにより、SN比が向上す
る。
Reflected by the back surface of the object A, a defective portion, etc.,
Also when extracting the reflected ultrasonic waves returning to the surface of the subject A, the detection timing of the ultrasonic transducer 1a is shifted. In this case, the method of shifting is to add the signals after delaying the received signals from the ultrasonic transducers by the same delay time as when the ultrasonic waves were generated. The control unit 3 reduces various kinds of noise and detects a signal from the defective portion by performing an averaging process on the signals of the reflected ultrasonic waves thus extracted. In the case shown in FIG. 2, the reflected ultrasonic wave from the defect becomes the largest when the ultrasonic wave is focused on the position,
The amplitude of the reflected ultrasonic wave from the defect portion in other flaw detection becomes small. However, the ultrasonic waves reflected from the defect portion have the same phase, although the amplitudes thereof are different for each flaw detection, so that they appear at the same position of the output signal waveform as shown by the waveform on the left side of FIG. 2B. . On the other hand, in the forest echo, the ultrasonic wave generated differs for each flaw detection performed five times, and therefore the appearance thereof changes for each flaw detection. Therefore, it is possible to reduce electrical noise and forest echoes and extract reflected ultrasonic waves from the defective portion by performing averaging processing on the signal waveforms at each of the five flaw detections. This improves the SN ratio.

【0014】図4に示す従来の超音波探傷装置は、探傷
子位置をずらし、複数の探傷信号を得て、これらの複数
の探傷信号を加算平均処理することにより、林状エコー
を低減してSN比の向上を図っている。しかし、探触子
位置をずらして探傷しているので、検出した欠陥部がそ
のずらした範囲内にあることは分かるが、そのうちのど
の位置にあるのかは不明であり、したがって空間分解能
が低下する。これに対して、本実施形態では、複数回の
探傷をアレイ探触子の位置が固定されているとみなせる
程度に早く行なうことができるので、高い空間分解能で
被検体内部の欠陥部を検出することができる。例えば、
鋼材の板厚が200mmの場合、往復距離は400mm
となり、鋼材中の縦波音速は5900m/sであるか
ら、この鋼材中の超音波の伝播時間は、 400mm÷5900m/s=68μs となる。すなわち、超音波は非常に高速で被検体中を伝
播するので、被検体が搬送されていても、超音波の伝播
中における被検体の移動距離は極僅かであり、無視する
ことができる。また、探傷繰返し周波数は、約1kHz
(一回の探傷に1ms必要となる。)程度である。した
がって、5回の探傷における被検体の移動距離を無視で
きる程度、例えば0.5mmとするには、被検体の移動
速度は (0.5mm÷1ms)÷5=100mm/s となる。すなわち、被検体の移動速度が100mm/s
であるときには、0.5mmという高い精度で被検体内
部の欠陥部を検出することができる。
The conventional ultrasonic flaw detector shown in FIG. 4 reduces the forest echo by shifting the flaw detector position, obtaining a plurality of flaw detection signals, and subjecting the plurality of flaw detection signals to an averaging process. We are trying to improve the SN ratio. However, since the flaw is detected by shifting the probe position, it can be seen that the detected defect is within the shifted range, but it is unknown at which position it is, and therefore the spatial resolution is reduced. . On the other hand, in the present embodiment, it is possible to perform flaw detection a plurality of times as quickly as it can be considered that the position of the array probe is fixed, so that the defective portion inside the subject is detected with high spatial resolution. be able to. For example,
If the steel plate thickness is 200 mm, the reciprocating distance is 400 mm
Since the longitudinal wave sound velocity in the steel material is 5900 m / s, the ultrasonic wave propagation time in this steel material is 400 mm / 5900 m / s = 68 μs. That is, since the ultrasonic wave propagates through the subject at a very high speed, even if the subject is transported, the moving distance of the subject during the propagation of the ultrasonic wave is extremely small and can be ignored. The flaw repetition frequency is about 1 kHz.
(1 ms is required for one flaw detection). Therefore, in order to make the moving distance of the object in five flaw detections negligible, for example, 0.5 mm, the moving speed of the object is (0.5 mm ÷ 1 ms) / 5 = 100 mm / s. That is, the moving speed of the subject is 100 mm / s.
In this case, the defective portion inside the subject can be detected with high accuracy of 0.5 mm.

【0015】尚、本発明は上記の実施形態に限定される
ものではなく、その要旨の範囲内において種々の変形が
可能である。例えば、上記の実施形態では、各超音波振
動子が直線状に配列されている場合について説明した
が、超音波振動子は環状に配列したものを同心円状に複
数個配置するようにしてもよい。これにより、直線状に
配列したときよりも、効率よく超音波を一点に集束させ
ることができる。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made within the scope of the invention. For example, in the above embodiment, the case where the ultrasonic transducers are linearly arranged has been described, but the ultrasonic transducers may be arranged in a ring and arranged in a concentric circle. . As a result, the ultrasonic waves can be focused on one point more efficiently than when they are arranged linearly.

【0016】また、上記の実施形態では、被検体の深さ
方向において超音波の集束位置を変える場合について説
明したが、集束位置は被検体の搬送方向において変える
ことも可能である。
In the above embodiment, the case where the focus position of the ultrasonic waves is changed in the depth direction of the subject has been described, but the focus position can be changed in the transport direction of the subject.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、超
音波振動子がアレイ状に配列されたアレイ状探触子を用
いて、各超音波振動子が発する超音波を被検体中の一点
に集束させてその超音波の反射超音波を検出するという
動作を、集束位置を変えて複数回行い、その測定結果を
加算平均処理することにより、電気的エコーや林状エコ
ーを低減して欠陥部からの信号を取り出すことができ、
また、アレイ状探触子の位置を固定して、超音波の集束
位置を被検体の深さ方向に変えて複数回の測定を行うこ
とにより、高い空間分解能で被検体内部の欠陥部を検出
することができる超音波探傷装置を提供することができ
る。
As described above, according to the present invention, the ultrasonic wave generated by each ultrasonic transducer is transmitted to the inside of the subject by using the arrayed probe in which the ultrasonic transducers are arrayed. The operation of focusing on one point and detecting the reflected ultrasonic wave of the ultrasonic wave is performed multiple times by changing the focusing position, and the measurement results are added and averaged to reduce electrical echoes and forest echoes. The signal from the defective part can be taken out,
In addition, by fixing the position of the arrayed probe and changing the focus position of ultrasonic waves in the depth direction of the subject and performing multiple measurements, the defect inside the subject can be detected with high spatial resolution. It is possible to provide an ultrasonic flaw detector that can do the above.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施形態である超音波探傷装置の概
略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an ultrasonic flaw detector according to an embodiment of the present invention.

【図2】本実施形態の超音波探傷装置の原理を説明する
ための図である。
FIG. 2 is a diagram for explaining the principle of the ultrasonic flaw detector according to the present embodiment.

【図3】超音波振動子の駆動方法を説明するための図で
ある。
FIG. 3 is a diagram for explaining a driving method of an ultrasonic transducer.

【図4】従来の超音波探傷装置の原理を説明するための
図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining the principle of a conventional ultrasonic flaw detector.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 アレイ状探触子 2 カップリング部 3 制御部 1a 超音波振動子 10 超音波探傷装置 A 被検体 1 Array-shaped probe 2 Coupling part 3 Control part 1a Ultrasonic transducer 10 Ultrasonic flaw detector A A subject

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被検体内部に超音波を発生させ、被検体
内部からの反射超音波を検出することにより被検体中の
欠陥を検出する超音波探傷装置において、 超音波振動子がアレイ状に配列されたアレイ状探触子
と、 前記各超音波振動子に与える駆動パルスの遅延時間を制
御して、前記各超音波振動子が発する超音波を被検体中
の一点に集束させ、被検体内部からの反射超音波を検出
する動作を超音波の集束位置を変えて複数回行う駆動制
御手段と、 前記被検体中の各々の集束位置から得られた反射超音波
の信号を加算平均処理して被検体中の欠陥部からの信号
を取り出す処理を行う信号処理手段と、 を設けたことを特徴とする超音波探傷装置。
1. An ultrasonic flaw detector for detecting defects in a subject by generating ultrasonic waves inside the subject and detecting reflected ultrasonic waves from the inside of the subject. By arraying arrayed probes and controlling the delay time of the drive pulse given to each of the ultrasonic transducers, the ultrasonic waves generated by each of the ultrasonic transducers are focused on one point in the subject, Drive control means for performing a plurality of operations of detecting reflected ultrasonic waves from the inside by changing the focal position of the ultrasonic waves, and adding and averaging the signals of the reflected ultrasonic waves obtained from the respective focusing positions in the subject. An ultrasonic flaw detection apparatus comprising: a signal processing unit that performs a process of extracting a signal from a defective portion in a subject.
【請求項2】 前記被検体は、鋼材であることを特徴と
する請求項1記載の超音波探傷装置。
2. The ultrasonic flaw detector according to claim 1, wherein the subject is a steel material.
【請求項3】 超音波振動子がアレイ状に配列されたア
レイ状探触子を用いて、前記各超音波振動子の駆動の順
序を制御することにより各超音波振動子が発する超音波
を被検体中の一点に集束させ、その超音波の反射超音波
を検出する動作を前記集束させる位置を変えて複数回行
い、得られた複数の反射超音波を加算平均処理して、欠
陥部からの信号を取り出すことを特徴とする超音波探傷
方法。
3. An ultrasonic wave is generated by each ultrasonic transducer by controlling the driving order of the ultrasonic transducers by using an array probe in which the ultrasonic transducers are arranged in an array. Focusing on one point in the subject, the operation of detecting the reflected ultrasonic waves of the ultrasonic waves is performed multiple times by changing the focusing position, and the obtained multiple reflected ultrasonic waves are averaged and processed from the defective portion. The ultrasonic flaw detection method characterized by extracting the signal of
JP8107493A 1996-04-26 1996-04-26 Ultrasonic flaw detector Withdrawn JPH09292374A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8107493A JPH09292374A (en) 1996-04-26 1996-04-26 Ultrasonic flaw detector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8107493A JPH09292374A (en) 1996-04-26 1996-04-26 Ultrasonic flaw detector

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09292374A true JPH09292374A (en) 1997-11-11

Family

ID=14460616

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8107493A Withdrawn JPH09292374A (en) 1996-04-26 1996-04-26 Ultrasonic flaw detector

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09292374A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7454973B2 (en) 2005-04-01 2008-11-25 Hitachi, Ltd. Ultrasonic inspection method and ultrasonic inspection equipment
EP2251685A1 (en) * 2009-05-15 2010-11-17 intelligeNDT Systems & Services GmbH Method and device for ultrasound inspection

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7454973B2 (en) 2005-04-01 2008-11-25 Hitachi, Ltd. Ultrasonic inspection method and ultrasonic inspection equipment
EP2251685A1 (en) * 2009-05-15 2010-11-17 intelligeNDT Systems & Services GmbH Method and device for ultrasound inspection
US8291766B2 (en) 2009-05-15 2012-10-23 Intelligendt Systems & Services Gmbh Method and device for ultrasound testing

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009540311A (en) Ultrasonic testing equipment with array probe
JPH0257268B2 (en)
JP2002248566A (en) Method and device for underwater welding
JP3635453B2 (en) Ultrasonic shear wave oblique angle flaw detection method and apparatus
CN113994204B (en) Ultrasonic flaw detection method, ultrasonic flaw detection device, and steel manufacturing method
JP6598045B2 (en) Ultrasonic inspection method
US5046363A (en) Apparatus for rapid non-destructive measurement of die attach quality in packaged integrated circuits
JPH09292374A (en) Ultrasonic flaw detector
JP4633268B2 (en) Ultrasonic flaw detector
JP3036387B2 (en) Ultrasonic flaw detection method and device
JP2001255308A (en) Method and apparatus for ultrasonic flaw detection
JP2007327747A (en) Ultrasonic flaw inspection method and device
JP3653785B2 (en) C-scan ultrasonic flaw detection method and apparatus
JPH0545346A (en) Ultrasonic probe
JPH09133657A (en) Method and apparatus for ultrasonic flaw detection
JP2001004602A (en) Ultrasonic flaw detecting method and apparatus
JPH09257759A (en) C-scanning ultrasonic flaw detecting method and apparatus therefor
JPH10111281A (en) Ultrasonic flaw detection and ultrasonic probe
SU538289A1 (en) Echo method of ultrasonic control
SU1527576A1 (en) Method of ultrasonic inspection of laminated articles
SU1295326A1 (en) Method of ultrasonic quality control of articles
JPH11118769A (en) Device for evaluating depth of hardened layer
JPS59216051A (en) Ultrasonic flaw detector using on-line variable convergent
JPS597260A (en) Method and device for ultrasonic flaw detection
JPH08327613A (en) Method and system for electron scanning ultrasonic inspection

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20030701