JPH092875A - Silicon carbide-based ceramic sintered compact - Google Patents

Silicon carbide-based ceramic sintered compact

Info

Publication number
JPH092875A
JPH092875A JP7157359A JP15735995A JPH092875A JP H092875 A JPH092875 A JP H092875A JP 7157359 A JP7157359 A JP 7157359A JP 15735995 A JP15735995 A JP 15735995A JP H092875 A JPH092875 A JP H092875A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silicon carbide
group
double
carbide
carbonitride
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7157359A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuji Sugita
雄二 杉田
Koichi Kazama
公一 風間
Takeshi Mitsuoka
健 光岡
Hideaki Matsubara
秀彰 松原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
FINE CERAMICS CENTER
Chubu Electric Power Co Inc
Niterra Co Ltd
Original Assignee
FINE CERAMICS CENTER
Chubu Electric Power Co Inc
NGK Spark Plug Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by FINE CERAMICS CENTER, Chubu Electric Power Co Inc, NGK Spark Plug Co Ltd filed Critical FINE CERAMICS CENTER
Priority to JP7157359A priority Critical patent/JPH092875A/en
Publication of JPH092875A publication Critical patent/JPH092875A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE: To obtain the subject sintered compact having a combination of fracture toughness and high-temperature strength. CONSTITUTION: This ceramic sintered compact is obtained by multiplicating silicon carbide with a multiple carbide of at least two kinds of metals among groups IVa, Va and VIa transition metals and/or carbonitride of one kind of metal among the above transition metals and/or multiple carbonitride of at least two kinds of metals among the above transition metals.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、例えば高温用構造部
材として有用な炭化珪素基セラミックス焼結体に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a silicon carbide based ceramics sintered body useful as a structural member for high temperature, for example.

【0002】[0002]

【従来の技術】炭化珪素基は、優れた高温強度を有する
ため、高温用構造材料として有望であるが、破壊靱性が
低いため、構造材としての適用が難しい。破壊靱性を向
上させるため、炭化チタン等のIVa、Va、VIa族
遷移金属炭化物を炭化珪素に複合化させた例が検討され
ており、これらの金属炭化物を複合することにより破壊
靱性の向上が確認されている。
2. Description of the Related Art A silicon carbide group is promising as a structural material for high temperature because it has excellent high temperature strength, but it is difficult to apply it as a structural material because of its low fracture toughness. In order to improve fracture toughness, an example in which IVa, Va, or VIa group transition metal carbide such as titanium carbide is compounded with silicon carbide has been studied, and improvement of fracture toughness has been confirmed by compounding these metal carbides. Has been done.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】このように破壊靱性の
向上に対しては、IVa、Va、VIa族遷移金属炭化
物の添加が有効であるが、このIVa族、Va族、VI
a族遷移金属炭化物は、高温で塑性変形を起こすため、
これを複合した炭化珪素基セラミックスは、高温強度が
顕著に低下する。このため破壊靱性と、高温強度の両立
が困難であった。そこで、本発明は、破壊靱性と高温強
度を併せもつ炭化珪素基セラミックス焼結体を提供する
ことを目的とする。
In order to improve the fracture toughness as described above, it is effective to add a transition metal carbide of group IVa, Va or VIa, which is a group IVa, group Va or group VI.
Since the a-group transition metal carbide causes plastic deformation at high temperature,
The high temperature strength of the silicon carbide based ceramic compounded with this is remarkably reduced. Therefore, it is difficult to achieve both fracture toughness and high temperature strength. Therefore, an object of the present invention is to provide a silicon carbide based ceramics sintered body having both fracture toughness and high temperature strength.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記した
技術的課題を解決するべく、鋭意検討した結果、添加材
としてのIVa、Va、VIa族遷移金属炭化物を、複
炭化物又は複炭窒化物として複合することにより、これ
らの添加材の塑性変形を抑制し、優れた破壊靱性及び高
温強度の炭化珪素基セラミックスを得ることができるの
を見いだし、本発明を完成するに至った。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted extensive studies to solve the above technical problems, and as a result, selected IVa, Va, and VIa group transition metal carbides as additive materials from double carbides or double carbons. It has been found that, by compounding as a nitride, it is possible to suppress the plastic deformation of these additive materials and obtain a silicon carbide based ceramics having excellent fracture toughness and high temperature strength, and completed the present invention.

【0005】すなわち、請求項1に記載の発明は、炭化
珪素基セラミックス焼結体であって、炭化珪素に、元素
の周期表のIVa族、Va族、VIa族の遷移金属のう
ち2種以上の金属の複炭化物及び/又はIVa族、Va
族、VIa族の遷移金属のうち1種類の金属の炭窒化物
及び/又はIVa族、Va族、VIa族の遷移金属のう
ち2種以上の金属の複炭窒化物を複合してなることを特
徴とする炭化珪素基セラミックス焼結体である。また、
請求項2に記載の発明は、前記複炭化物が(Ti,M
o)Cあるいは(Ti,W)Cであり、前記炭窒化物が
Ti(C,N)であり、前記複炭窒化物が(Ti,M
o)(C,N)あるいは(Ti,W)(C,N)である
請求項1に記載の炭化珪素基セラミックス焼結体であ
る。
That is, the invention according to claim 1 is a silicon carbide-based ceramics sintered body, wherein silicon carbide contains two or more kinds of transition metals of group IVa, group Va and group VIa of the periodic table of elements. Double Carbide and / or Group IVa, Va
A complex carbonitride of one kind of a transition metal of Group VIa group and / or a double carbonitride of a metal of two or more kinds of transition metal of group IVa, Va, VIa. It is a characteristic silicon carbide based ceramics sintered body. Also,
In the invention according to claim 2, the double carbide is (Ti, M
o) C or (Ti, W) C, the carbonitride is Ti (C, N), and the double carbonitride is (Ti, M).
o) (C, N) or (Ti, W) (C, N) is the silicon carbide based ceramics sintered body according to claim 1.

【0006】以下、本発明を詳細に説明する。本発明
は、炭化珪素に、元素の周期表IVa族、Va族、VI
a族の複炭化物系、炭窒化物系あるいは複炭窒化物系の
固溶体粒子を複合して、高温強度、破壊靱性に優れた炭
化珪素基複合材料を得ようとするものである。IVa族
の遷移金属としては、チタン、ジルコニウム、ハフニウ
ムを挙げることができる。また、Va族の遷移金属とし
ては、バナジウム、ニオブ、タンタルを挙げることがで
きる。また、VIa族の遷移金属としては、クロム、モ
リブデン、タングステンを挙げることができる。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. The present invention provides silicon carbide with the periodic table of elements IVa, Va, and VI.
An object of the present invention is to obtain a silicon carbide based composite material excellent in high temperature strength and fracture toughness by compounding a group a double carbide-based, carbonitride-based or double carbonitride-based solid solution particles. Examples of Group IVa transition metals include titanium, zirconium, and hafnium. Moreover, vanadium, niobium, and tantalum can be mentioned as a Va group transition metal. Further, as the VIa group transition metal, chromium, molybdenum, and tungsten can be cited.

【0007】前記複炭化物は、IVa族、Va族、VI
a族の遷移金属から2種以上の金属と炭素との固溶体で
ある。かかる前記複炭化物としては、(Ti,Mo)
C、(Ti,W)Cが好適である。
The above-mentioned double carbides are group IVa, group Va, and group VI.
It is a solid solution of at least two metals selected from the group a transition metals and carbon. Such double carbides include (Ti, Mo)
C and (Ti, W) C are preferred.

【0008】前記炭窒化物は、IVa族、Va族、VI
a族の遷移金属から1種以上の金属と炭素及び窒素との
固溶体である。かかる固溶体としては、Ti(C,N)
が好適である。また、前記複炭窒化物は、IVa族、V
a族、VIa族の遷移金属から2種以上の金属と炭素と
の固溶体である。かかる固溶体としては、(Ti,M
o)(C,N)あるいは(Ti,W)(C,N)が好適
である。
The carbonitrides are IVa group, Va group, and VI group.
It is a solid solution of one or more metals selected from Group a transition metals and carbon and nitrogen. As such a solid solution, Ti (C, N)
Is preferred. Further, the double carbonitride is a group IVa, V
It is a solid solution of at least two metals selected from the group a and VIa transition metals and carbon. As such a solid solution, (Ti, M
o) (C, N) or (Ti, W) (C, N) are preferred.

【0009】これら固溶体は、例えば、複炭化物の場
合、IVa族、Va族、VIa族の遷移金属の単一炭化
物にこれらの族の他の遷移金属の単一炭化物を固溶化し
て形成する。また、これらの固溶体は、固溶限界内で配
合されて、完全に固溶体を形成しているものの他、部分
的に固溶化され、一部、単一炭化物や単一窒化物を有し
ているものも含まれる。なお、炭化珪素基セラミックス
焼結体の原料となる炭化珪素やこれら固溶体等に含まれ
る不純物を排除することにより、本発明の効果を顕著に
得ることができる。かかる不純物として、例えばFe系
不純物を挙げることができる。原料中からFe系不純物
を排除するには、塩酸等による酸処理を経ることによる
ことができる。
In the case of a double carbide, for example, these solid solutions are formed by solid solution of a single carbide of a transition metal of IVa group, Va group and VIa group with a single carbide of another transition metal of these groups. Further, these solid solutions are compounded within the solid solution limit to form a complete solid solution, or partially solidified and partially have a single carbide or a single nitride. Things are also included. It should be noted that the effects of the present invention can be remarkably obtained by eliminating the impurities contained in silicon carbide, which is a raw material of the silicon carbide-based ceramics sintered body, and these solid solutions. Examples of such impurities include Fe-based impurities. The Fe-based impurities can be removed from the raw material by performing an acid treatment with hydrochloric acid or the like.

【0010】これらの複炭化物、炭窒化物、複炭窒化物
は、ぞれぞれ単独で炭化珪素と複合化することもでき、
複数種類の複炭化物等で複合化することもできる。さら
に、複炭化物、炭窒化物、複炭窒化物のうちから2種類
以上組み合わせて複合化することもできる。また、炭化
珪素に対する複炭化物等の割合は、焼結条件、要求する
強度等の点から適宜選択することができるが、20vo
l%以上50vol%以下の割合が好ましい。20vo
l%未満では、破壊靱性向上の不十分であり、50vo
l%を越えては、高温強度が不十分となるからである。
本発明における複合化は、固溶体を複合化するものであ
るため、金型プレスやラバープレスあるいはCIPによ
る予備成形体を用いた常圧焼成法、ホットプレスやHI
Pのような加圧焼結法を用いることができる。また、予
備成形体の作製に先立って振動混合法、乾式ボールミル
法、湿式ボールミル法、ターボミル法等を用いることも
できる。
Each of these double carbides, carbonitrides and double carbonitrides can be independently compounded with silicon carbide,
It is also possible to form a composite with a plurality of types of double carbides. Further, two or more kinds of compound carbides, carbonitrides, and compound carbonitrides may be combined to form a composite. Further, the ratio of the compound carbide or the like to silicon carbide can be appropriately selected from the viewpoints of sintering conditions, required strength, etc., but is 20 vo
A ratio of 1% or more and 50 vol% or less is preferable. 20 vo
If it is less than 1%, improvement of fracture toughness is insufficient, and 50 vo
This is because if it exceeds 1%, the high temperature strength becomes insufficient.
Since the compounding in the present invention is to compound a solid solution, it is a normal pressure firing method using a die press, a rubber press, or a preformed body by CIP, a hot press or a HI.
A pressure sintering method such as P can be used. Further, a vibration mixing method, a dry ball mill method, a wet ball mill method, a turbo mill method, or the like can be used before the preparation of the preformed body.

【0011】[0011]

【発明の効果】本発明の炭化珪素基セラミックス焼結体
によれば、複炭化物、炭窒化物、あるいは複炭窒化物の
固溶体を炭化珪素のマトリックス中に有するため、炭化
珪素中の炭化物の高温での塑性変形が固溶により抑制さ
れ、焼結体の高温強度の低下を抑制できる。
EFFECTS OF THE INVENTION According to the silicon carbide-based ceramics sintered body of the present invention, since the solid solution of double carbide, carbonitride, or double carbonitride is contained in the matrix of silicon carbide, the temperature of the carbide in silicon carbide is high. The plastic deformation at 1 is suppressed by the solid solution, and the high temperature strength of the sintered body can be prevented from lowering.

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明を具現化した実施例について説
明する。本実施例では、炭化珪素を主たるマトリックス
とする炭化珪素系マトリックス原料(SiC98重量
部、B0.5重量部、C1.5重量部)と、2種類の複
炭化物(Ti0.9 ,Mo0.1 )C、(Ti0.9
0.1 )C、あるいは炭窒化物Ti(C0.7 ,N0.3
を原料とし、図1に示す製造工程により焼結体を得た。
すなわち、表1に示すように、この炭化珪素系マトリッ
クス原料に対して、SiCに対する内部割合で40又は
50vol%となるように各種複炭化物あるいは炭窒化
物を、SiCボール、SiCポット及びエタノールを用
いて湿式混合粉砕を行った。
Embodiments Embodiments embodying the present invention will be described below. In this example, a silicon carbide-based matrix raw material containing silicon carbide as a main matrix (SiC 98 parts by weight, B 0.5 parts by weight, C 1.5 parts by weight), two kinds of double carbides (Ti 0.9 , Mo 0.1 ) C, (Ti 0.9 ,
W 0.1 ) C, or carbonitride Ti (C 0.7 , N 0.3 ).
Using as a raw material, a sintered body was obtained by the manufacturing process shown in FIG.
That is, as shown in Table 1, various double carbides or carbonitrides were used in this silicon carbide-based matrix raw material so that the internal ratio to SiC was 40 or 50 vol%, using SiC balls, SiC pots, and ethanol. Wet pulverization was performed.

【0013】[0013]

【表1】 *:但し、SiCとしてのvol% この混合粉砕物を、440メッシュで篩通し、振動減圧
下で乾燥・回収した後、最終的に60メッシュを篩通
し、造粒粉末とした。これを42mm×47mm金型に
て、一軸加圧成形し、各種予備成形体(42mm×47
mm)を得た。
[Table 1] *: However, vol% as SiC This mixed pulverized product was sieved with 440 mesh, dried and collected under vibration reduced pressure, and finally 60 mesh was sieved to obtain a granulated powder. This is uniaxially pressure-molded with a 42 mm x 47 mm mold to obtain various preforms (42 mm x 47 mm).
mm).

【0014】これらの各種予備成形体につき、2150
℃、1時間、Ar雰囲気下、軸荷重40MPaにてホッ
トプレス焼結を行い、各種実施例1〜5を得た。なお、
対照として、同様の炭化珪素系マトリックスに対して炭
化チタン(TiC)をSiCに対する内部割合で0〜5
0vol%(0、20、34、40及び50vol%)
となるように配合し、同様に成形・焼結して比較例1〜
5を作製した。これらの実施例1〜5及び比較例1〜5
について、常温及び高温(試験温度1500℃)で3点
曲げ試験(JIS R1601 JISハンドブック1
991セラミックス)及び破壊靱性(IF法、JISR
1607、JISハンドブック1991 セラミック
ス)の測定を行った。
For each of these preforms, 2150
Various examples 1 to 5 were obtained by performing hot press sintering under an Ar atmosphere at a temperature of 1 ° C. for 1 hour under an axial load of 40 MPa. In addition,
As a control, titanium carbide (TiC) was added to the same silicon carbide-based matrix at an internal ratio of 0 to 5 with respect to SiC.
0 vol% (0, 20, 34, 40 and 50 vol%)
Comparative Example 1
5 was produced. These Examples 1-5 and Comparative Examples 1-5
The three-point bending test (JIS R1601 JIS Handbook 1) at room temperature and high temperature (test temperature 1500 ° C)
991 ceramics) and fracture toughness (IF method, JISR
1607, JIS Handbook 1991 Ceramics) was measured.

【0015】なお、試験に際しては、実施例1〜5及び
比較例1〜5を各試験法に応じた形状に加工して用い
た。具体的には、常温3点曲げ試験は、試料形状3mm
×4mm×40mmとし、スパン30mm、クロスヘッ
ドスピード0.5mm/minにて試験を行った。ま
た、高温3点曲げ試験は、Ar雰囲気1500℃で、試
料形状、スパン及びクロスヘッドスピードは常温曲げ試
験と同様に行った。また、IF法は、試験面を0.5μ
mダイヤモンドスラリーにて研磨仕上げし、98N、1
5秒にて試験を行った。これらの結果を図2ないし図4
に示す。
In the test, Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 5 were used after being processed into a shape according to each test method. Specifically, the room temperature three-point bending test, the sample shape 3mm
The test was carried out at a span of 30 mm and a crosshead speed of 0.5 mm / min with a size of 4 mm x 40 mm. Further, the high temperature three-point bending test was performed in an Ar atmosphere at 1500 ° C., and the sample shape, span and crosshead speed were the same as those in the room temperature bending test. In addition, the IF method uses a test surface of 0.5μ.
Polished with m diamond slurry, 98N, 1
The test was conducted in 5 seconds. These results are shown in FIGS.
Shown in

【0016】図2には、比較例1〜5についての、3点
曲げ試験及び破壊靱性の測定結果を示す。この結果から
明らかなように、破壊靱性は、TiCの添加量の増加と
ともに、増大する。一方、3点曲げ試験における強度
は、常温では、600〜900MPaの範囲で変化し、
TiCが20vol%のとき最大値を呈し、高温強度
は、TiCの添加量の増大とともに、顕著に低下し、T
iCの添加量がプロットでは34vol%の点から、各
プロットを結んで描いたグラフ上では25〜26vol
%の点から常温強度を下回る結果となっている。
FIG. 2 shows the results of three-point bending test and fracture toughness measurement for Comparative Examples 1-5. As is clear from this result, the fracture toughness increases with an increase in the amount of TiC added. On the other hand, the strength in the three-point bending test changes in the range of 600 to 900 MPa at room temperature,
When TiC is 20 vol%, the maximum value is exhibited, and the high temperature strength is remarkably lowered with an increase in the amount of TiC added.
From the point where the amount of iC added is 34 vol% in the plot, it is 25-26 vol in the graph drawn by connecting the plots.
From the point of%, the result is lower than room temperature strength.

【0017】これに対し、実施例1及び2についての3
点曲げ試験及び破壊靱性の測定結果を図3に示すととも
に、比較例4の測定結果を併せて示す。この図から明ら
かなように、比較例4では、常温強度に対して高温強度
が顕著に低下(470MPa)しているのに対し、実施
例1及び2では、比較例4と同様の常温強度を維持する
とともに、高温強度がそれぞれおおよそ600、750
MPaを呈しており、複炭化物(Ti0.9 ,Mo0.1
Cあるいは(Ti0.9 、W0.1 )Cの添加により、高温
強度の増大が観察された。
On the other hand, in the first and second embodiments,
The point bending test and the fracture toughness measurement results are shown in FIG. 3, and the measurement results of Comparative Example 4 are also shown. As is clear from this figure, in Comparative Example 4, the high temperature strength is significantly reduced (470 MPa) with respect to the room temperature strength, whereas in Examples 1 and 2, the same room temperature strength as in Comparative Example 4 is obtained. While maintaining, high temperature strength is about 600 and 750 respectively
It exhibits MPa and double carbides (Ti 0.9 , Mo 0.1 )
An increase in high temperature strength was observed with the addition of C or (Ti 0.9 , W 0.1 ) C.

【0018】また、破壊靱性については、実施例1及び
2のいずれも、比較例4よりも高い値を呈し、破壊靱性
の増大の効果も観察された。
Regarding fracture toughness, both Examples 1 and 2 exhibited higher values than Comparative Example 4, and the effect of increasing fracture toughness was also observed.

【0019】さらに、実施例3〜5についての強度の測
定結果を図4に示すとともに、比較例5の測定結果を併
せて示す。この結果によれば、比較例5は、比較例4と
同様に高温強度が顕著に低下しているのに対し、実施例
3〜5では、高温強度はいずれも比較例5を上回る結果
となっており、複炭化物(Ti0.9 ,Mo0.1 )C,
(Ti0.9 ,W0.1 )Cあるいは炭窒化物Ti
(C0.7 ,N0.3 )の添加により、高温強度増大の効果
を確認できた。一方、常温強度については、実施例3〜
5は、それぞれおおよそ650MPa,800MPa,
650MPaであり、比較例1〜5の650〜800M
Paの変動範囲とほぼ一致しており、常温強度について
は、同程度に維持されていた。
Further, the measurement results of the strength of Examples 3 to 5 are shown in FIG. 4 and the measurement results of Comparative Example 5 are also shown. According to this result, in Comparative Example 5, the high temperature strength is remarkably reduced as in Comparative Example 4, while in Examples 3 to 5, the high temperature strength is higher than that of Comparative Example 5. And double carbide (Ti 0.9 , Mo 0.1 ) C,
(Ti 0.9 , W 0.1 ) C or carbonitride Ti
It was confirmed that the addition of (C 0.7 , N 0.3 ) increased the high temperature strength. On the other hand, regarding the room temperature strength, Example 3 to
5 is approximately 650 MPa, 800 MPa,
650 MPa, 650-800 M of Comparative Examples 1-5
It almost coincided with the fluctuation range of Pa, and the room temperature strength was maintained at the same level.

【0020】なお、上記実施例においては、元素周期表
のIVa,VIa族遷移金属複炭化物、炭窒化物、につ
いて試験した結果を示したが、同族の他の遷移金属及び
Va族遷移金属の複炭化物、炭窒化物、複炭窒化物にお
いて、さらにこれらの組み合わせにおいて同様の結果を
確認することができる。
In the above examples, the results of testing IVa and VIa group transition metal double carbides and carbonitrides of the periodic table of elements are shown. However, other transition metals of the same family and Va group transition metal compounds are shown. Similar results can be confirmed for carbides, carbonitrides, double carbonitrides, and combinations thereof.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例及び比較例の試料の製造プロセスを示す
図である。
FIG. 1 is a diagram showing a manufacturing process of samples of Examples and Comparative Examples.

【図2】比較例1〜5の破壊靱性及び強度の測定結果を
示すグラフ図である。
FIG. 2 is a graph showing the results of measurement of fracture toughness and strength of Comparative Examples 1-5.

【図3】実施例1及び2の破壊靱性及び強度の測定結果
を示すグラフ図である。
FIG. 3 is a graph showing the results of measuring fracture toughness and strength in Examples 1 and 2.

【図4】実施例3〜5の強度の測定結果を示すグラフ図
である。
FIG. 4 is a graph showing the strength measurement results of Examples 3-5.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 風間 公一 愛知県名古屋市緑区大高町字北関山20番地 の1 中部電力株式会社電力技術研究所内 (72)発明者 光岡 健 愛知県名古屋市熱田区六野二丁目4番1号 財団法人ファインセラミックスセンター 内 (72)発明者 松原 秀彰 愛知県名古屋市熱田区六野二丁目4番1号 財団法人ファインセラミックスセンター 内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Koichi Kazama Inventor Koichi Kazama 1 20-20 Kitakanyama, Odaka-cho, Midori-ku, Nagoya-shi, Aichi Chubu Electric Power Co., Inc. Electric Power Research Laboratory (72) Inventor Ken Mitsuoka Nagoya, Aichi 2-4-1, Rokuno, Atsuta-ku In the Fine Ceramics Center (72) Inventor Hideaki Matsubara 2-4-1, Rokuno, Atsuta-ku, Nagoya, Aichi Prefecture Inside the Fine Ceramics Center

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】炭化珪素基セラミックス焼結体であって、 炭化珪素に、元素の周期表のIVa族、Va族、VIa
族の遷移金属のうち2種以上の金属の複炭化物及び/又
はIVa族、Va族、VIa族の遷移金属のうち1種類
の金属の炭窒化物及び/又はIVa族、Va族、VIa
族の遷移金属のうち2種以上の金属の複炭窒化物を複合
してなることを特徴とする炭化珪素基セラミックス焼結
体。
1. A silicon carbide-based ceramics sintered body, wherein silicon carbide contains silicon carbide of group IVa, group Va, or group VIa of the periodic table of elements.
Double carbides of two or more kinds of group transition metals and / or carbonitrides of one kind of group IVa, Va, or VIa transition metals and / or groups IVa, Va, VIa
A silicon carbide-based ceramics sintered body, which is obtained by compounding a double carbonitride of two or more kinds of group M transition metals.
【請求項2】前記複炭化物が(Ti,Mo)Cあるいは
(Ti,W)Cであり、前記炭窒化物がTi(C,N)
であり、前記複炭窒化物が(Ti,Mo)(C,N)あ
るいは(Ti,W)(C,N)である請求項1に記載の
炭化珪素基セラミックス焼結体。
2. The double carbide is (Ti, Mo) C or (Ti, W) C, and the carbonitride is Ti (C, N).
The silicon carbide based ceramics sintered body according to claim 1, wherein the double carbonitride is (Ti, Mo) (C, N) or (Ti, W) (C, N).
JP7157359A 1995-06-23 1995-06-23 Silicon carbide-based ceramic sintered compact Pending JPH092875A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7157359A JPH092875A (en) 1995-06-23 1995-06-23 Silicon carbide-based ceramic sintered compact

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7157359A JPH092875A (en) 1995-06-23 1995-06-23 Silicon carbide-based ceramic sintered compact

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH092875A true JPH092875A (en) 1997-01-07

Family

ID=15647948

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7157359A Pending JPH092875A (en) 1995-06-23 1995-06-23 Silicon carbide-based ceramic sintered compact

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH092875A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115572878A (en) * 2022-09-30 2023-01-06 蒋孟瑶 Hard alloy material and preparation method and application thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115572878A (en) * 2022-09-30 2023-01-06 蒋孟瑶 Hard alloy material and preparation method and application thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR910005053B1 (en) High toughness zro2 sintered body and method of producing the same
JPH08239270A (en) Superplastic silicon carbide sintered product and its production
JPS58213679A (en) Composite ceramic cutting tool and manufacture
JP2507479B2 (en) SiC-Al Lower 2 O Lower 3 Composite Sintered Body and Manufacturing Method Thereof
JPH0627036B2 (en) High strength and high toughness TiB ▲ Bottom 2 ▼ Ceramics
JP2507480B2 (en) SiC-Al Lower 2 O Lower 3 Composite Sintered Body and Manufacturing Method Thereof
JPH092875A (en) Silicon carbide-based ceramic sintered compact
JPH11139874A (en) Silicon nitride-base ceramics and its production
JPH08176696A (en) Production of diamond dispersed ceramic composite sintered compact
JPH07157362A (en) Aluminum oxide-based ceramic having high strength and high toughness
JPH01203260A (en) Production of silicon carbide whisker reinforced ceramics
JP3152783B2 (en) Titanium compound whisker, its production method and composite material
JP2001019550A (en) Crystallite granule silicon carbide sintered compact having superplasticity and its production
JP2004114163A (en) Alumina group ceramic tool and production method for the same
JPH01183460A (en) Production of sintered ceramic material
JPH02307862A (en) Production of high-hardness al2o3-base composite
JP2581128B2 (en) Alumina-sialon composite sintered body
JPH1017365A (en) Silicon carbide sintered compact and its production
JPH0640770A (en) Alumina-based combined sintered compact and its production
JPH04132658A (en) Ceramic sintered compact and production thereof
JPH07157365A (en) Silicon carbide composite sintered compact
JPH05339045A (en) Nonlinear ceramics
JPH09100167A (en) Ceramic nano composite crystalline substance
JPH0667782B2 (en) Al (2) O (3) Base ceramic material and manufacturing method thereof
JPH09249456A (en) Boride complex ceramic and its production

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050408

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050927

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060711