JPH09284087A - Piezoelectric component - Google Patents

Piezoelectric component

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JPH09284087A
JPH09284087A JP8122726A JP12272696A JPH09284087A JP H09284087 A JPH09284087 A JP H09284087A JP 8122726 A JP8122726 A JP 8122726A JP 12272696 A JP12272696 A JP 12272696A JP H09284087 A JPH09284087 A JP H09284087A
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JP
Japan
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electrode
piezoelectric
vibrating element
piezoelectric vibrating
insulating substrate
Prior art date
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JP8122726A
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Japanese (ja)
Inventor
Tetsuo Tatsumi
哲 夫 巽
Michinobu Maesaka
阪 通 伸 前
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the piezoelectric component with high reliability for continuity connection, stable quality and manufactured at a low cost. SOLUTION: One end of a lead electrode 18 connects to a 1st electrode 16a of one major face of a piezoelectric substrate 14 and the other end is led onto a node of the other major face of the piezoelectric substrate 14. First and second conductors 24a, 24b are formed between a piezoelectric vibrator element 12 and an insulation board 20. One end of the 1st conductor 24a is connected to the other end of the lead electrode 18 on a node of the piezoelectric vibrator element 12 and the other end connects to a 1st pattern electrode 22a on the insulation board 20. One end of the 2nd conductor 24b connects to the 2nd electrode 16b on the node of the piezoelectric vibrator element 12 and the other end connects to a 2nd pattern electrode 22b on the insulation board 20.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は圧電部品に関し、
特にたとえば、発振子,フィルタおよび圧電トランスな
どの圧電振動素子を用いた圧電部品に関する。
The present invention relates to a piezoelectric component,
In particular, it relates to a piezoelectric component using a piezoelectric vibrating element such as an oscillator, a filter and a piezoelectric transformer.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4は、この発明の背景となる従来の圧
電部品を示す斜視図である。図4に示す圧電部品1は、
短冊状の圧電振動素子2を含む。圧電振動素子2は、短
冊状の圧電基板3を含む。圧電基板3の両主面には、電
極4aおよび4bが形成され、長さ振動モードで振動す
る。また、この圧電部品1は、圧電振動素子2のノード
部を支持するとともに、圧電振動素子2と外部回路(図
示せず)とを電気的に接続するための絶縁性基板5を含
む。圧電振動素子2は、その他方主面のノード部におい
て、絶縁性基板5の一方主面上に支持される。さらに、
絶縁性基板5の一方主面上には、たとえば略I字状の第
1のパターン電極6aと、たとえば略U字形状の第2の
パターン電極6bとが形成される。圧電振動素子2の一
方主面のノード部上の電極4aには、圧電振動素子2の
幅より長いリード線7の一端部が、はんだ付けや導電接
着剤などで接続される。リード線7の他端部は、絶縁性
基板5上の第1のパターン電極6aと接続される。ま
た、圧電振動素子2の他方主面のノード部上の電極4b
は、絶縁性基板5上の第2のパターン電極6bとはんだ
付けや導電接着剤などで接続される。このように、従
来、圧電振動素子2の電極4aと絶縁性基板5のパター
ン電極6aとの導通接続は、いわゆるワイヤーボンディ
ング方式で行われていた。
2. Description of the Related Art FIG. 4 is a perspective view showing a conventional piezoelectric component which is the background of the present invention. The piezoelectric component 1 shown in FIG.
It includes a strip-shaped piezoelectric vibrating element 2. The piezoelectric vibrating element 2 includes a strip-shaped piezoelectric substrate 3. Electrodes 4a and 4b are formed on both main surfaces of the piezoelectric substrate 3 and vibrate in a length vibration mode. The piezoelectric component 1 also includes an insulating substrate 5 for supporting the node portion of the piezoelectric vibrating element 2 and electrically connecting the piezoelectric vibrating element 2 and an external circuit (not shown). The piezoelectric vibrating element 2 is supported on one main surface of the insulating substrate 5 at the node portion on the other main surface. further,
On one main surface of insulating substrate 5, for example, a substantially I-shaped first pattern electrode 6a and a substantially U-shaped second pattern electrode 6b are formed. One end of the lead wire 7 longer than the width of the piezoelectric vibrating element 2 is connected to the electrode 4a on the node portion on the one main surface of the piezoelectric vibrating element 2 by soldering or a conductive adhesive. The other end of the lead wire 7 is connected to the first pattern electrode 6 a on the insulating substrate 5. In addition, the electrode 4b on the node portion on the other main surface of the piezoelectric vibrating element 2
Are connected to the second pattern electrode 6b on the insulating substrate 5 by soldering or a conductive adhesive. As described above, conventionally, the conductive connection between the electrode 4a of the piezoelectric vibrating element 2 and the pattern electrode 6a of the insulating substrate 5 has been performed by a so-called wire bonding method.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
圧電部品1では、圧電振動素子2の振動やその後の取り
扱いにより、圧電振動素子2または絶縁性基板5からリ
ード線7がはずれるという不具合が生じることがあり、
導通接続の信頼性が低かった。また、従来の圧電部品1
では、リード線7の引き回し形状のばらつきにより、圧
電振動素子2の振動が阻害されることがあるため、圧電
部品1の品質が安定しなかった。さらに、従来の圧電部
品1では、ワイヤーボンディングのための設備コストが
高かったり、工程数がかかるというコスト面の問題があ
った。また、従来の圧電部品1では、絶縁性基板5上の
圧電振動素子2の外側にリード線7を接続するためのパ
ターン電極6aを設ける必要があるので、圧電部品の小
型化が図れない。
However, in the conventional piezoelectric component 1, the lead wire 7 may come off from the piezoelectric vibrating element 2 or the insulating substrate 5 due to the vibration of the piezoelectric vibrating element 2 and the subsequent handling. There is
The reliability of the conductive connection was low. In addition, the conventional piezoelectric component 1
Then, since the vibration of the piezoelectric vibrating element 2 may be hindered by the variation in the lead shape of the lead wire 7, the quality of the piezoelectric component 1 was not stable. Further, in the conventional piezoelectric component 1, there are problems in cost, such as high equipment cost for wire bonding and a large number of steps. Further, in the conventional piezoelectric component 1, since it is necessary to provide the pattern electrode 6a for connecting the lead wire 7 to the outside of the piezoelectric vibrating element 2 on the insulating substrate 5, the piezoelectric component cannot be downsized.

【0004】それゆえに、この発明の主たる目的は、導
通接続の信頼性が高く、安定な品質を有し、しかも低コ
ストで製造できる圧電部品を提供することである。
Therefore, a main object of the present invention is to provide a piezoelectric component having a highly reliable conductive connection, a stable quality, and a low cost.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】この発明の圧電部品は、
一対の電極を有する圧電振動素子と、圧電振動素子と対
向して配置され、一対の電極とそれぞれ接続されるべき
複数のパターン電極を有する絶縁性基板と、圧電振動素
子と絶縁性基板との間に形成され、対応する電極とパタ
ーン電極とを互いに電気的に接続するとともに、圧電振
動素子のノード部を絶縁性基板上に支持するための複数
の接続部とを含む、圧電部品である。
According to the present invention, there is provided a piezoelectric component comprising:
Between the piezoelectric vibrating element having a pair of electrodes, an insulating substrate having a plurality of pattern electrodes arranged to face the piezoelectric vibrating element and connected to the pair of electrodes, respectively, and between the piezoelectric vibrating element and the insulating substrate. And a plurality of connecting portions for electrically connecting the corresponding electrodes and pattern electrodes to each other and supporting the node portion of the piezoelectric vibrating element on the insulating substrate.

【0006】また、この発明の圧電部品において、圧電
振動素子は、圧電基板と、圧電基板の一方主面に形成さ
れる第1の電極と、圧電基板の他方主面に形成される第
2の電極と、一端部が第1の電極に接続され、他端部が
圧電振動素子の他方主面側のノード部に引き出されて形
成される引出電極とを含み、絶縁性基板は、第1の電極
と接続されるべき第1のパターン電極と、第2の電極と
接続されるべき第2のパターン電極とを含み、接続部
は、圧電振動素子と絶縁性基板との間において、一端部
が圧電振動素子のノード部上の引出電極の他端部に接続
され、他端部が第1のパターン電極に接続される第1の
導電体と、圧電振動素子と絶縁性基板との間において、
一端部が圧電振動素子のノード部上の第2の電極に接続
され、他端部が第2のパターン電極に接続される第2の
導電体とを含むことが好ましい。
In the piezoelectric component of the present invention, the piezoelectric vibrating element includes a piezoelectric substrate, a first electrode formed on one main surface of the piezoelectric substrate, and a second electrode formed on the other main surface of the piezoelectric substrate. The insulating substrate includes: an electrode; and an extraction electrode, one end of which is connected to the first electrode and the other end of which is drawn out to a node portion on the other main surface side of the piezoelectric vibrating element. A first pattern electrode to be connected to the electrode and a second pattern electrode to be connected to the second electrode are included, and the connecting portion has one end between the piezoelectric vibrating element and the insulating substrate. Between the piezoelectric vibrating element and the insulating substrate, a first conductor that is connected to the other end of the extraction electrode on the node portion of the piezoelectric vibrating element, and the other end is connected to the first pattern electrode,
It is preferable to include a second conductor having one end connected to the second electrode on the node portion of the piezoelectric vibrating element and the other end connected to the second pattern electrode.

【0007】さらに、この発明の圧電部品において、圧
電振動素子は、圧電基板と、圧電基板の一方主面に形成
される第1の電極と、圧電基板の他方主面に形成される
第2の電極と、一端部が第1の電極に接続され、他端部
が第1の電極の形成された一方主面と隣接する面の圧電
振動素子のノード部に引き出されて形成される引出電極
とを含み、絶縁性基板は、第1の電極と接続されるべき
第1のパターン電極と、第2の電極と接続されるべき第
2のパターン電極とを含み、接続部は、圧電振動素子と
絶縁性基板との間において、一端部が圧電振動素子のノ
ード部上の引出電極の他端部に接続され、他端部が第1
のパターン電極に接続される第1の導電体と、圧電振動
素子と絶縁性基板との間において、一端部が圧電振動素
子のノード部上の第2の電極に接続され、他端部が第2
のパターン電極に接続される第2の導電体とを含んでも
よい。
Further, in the piezoelectric component of the present invention, the piezoelectric vibrating element includes a piezoelectric substrate, a first electrode formed on one main surface of the piezoelectric substrate, and a second electrode formed on the other main surface of the piezoelectric substrate. An electrode and an extraction electrode formed by extracting one end of the piezoelectric vibrating element to the first electrode, the other end of which is connected to the one principal surface on which the first electrode is formed and which is adjacent to the node. The insulating substrate includes a first pattern electrode to be connected to the first electrode and a second pattern electrode to be connected to the second electrode, and the connecting portion is a piezoelectric vibrating element. Between the insulating substrate and the insulating substrate, one end is connected to the other end of the extraction electrode on the node portion of the piezoelectric vibration element, and the other end is the first end.
Between the first conductor connected to the pattern electrode of, and the piezoelectric vibrating element and the insulating substrate, one end is connected to the second electrode on the node portion of the piezoelectric vibrating element, and the other end is the first electrode. Two
A second conductor connected to the pattern electrode of.

【0008】[0008]

【作用】この発明の圧電部品では、複数の接続部によっ
て、圧電振動素子が絶縁性基板上に支持される。同時
に、それらの接続部によって、圧電振動素子の一対の電
極と、絶縁性基板の複数のパターン電極とがそれぞれ電
気的に接続される。
In the piezoelectric component of the present invention, the piezoelectric vibrating element is supported on the insulating substrate by the plurality of connecting portions. At the same time, the pair of electrodes of the piezoelectric vibrating element and the plurality of pattern electrodes of the insulating substrate are electrically connected by the connecting portions.

【0009】また、引出電極によって、圧電部品の一方
主面の第1の電極を他方主面側のノード部に引き出した
場合には、引出電極および第1の導電体を介して、第1
の電極と第1のパターン電極とが電気的に接続される。
また、第2の導電体を介して、第2の電極と第2のパタ
ーン電極とが電気的に接続される。同時に、第1および
第2の導電体によって、圧電振動部品は絶縁性基板上に
支持される。
When the first electrode on the one main surface of the piezoelectric component is drawn out to the node portion on the other main surface side by the extraction electrode, the first electrode is formed via the extraction electrode and the first conductor.
And the first pattern electrode are electrically connected.
In addition, the second electrode and the second pattern electrode are electrically connected via the second conductor. At the same time, the piezoelectric vibrating component is supported on the insulating substrate by the first and second conductors.

【0010】また、引出電極によって、圧電部品の一方
主面の第1の電極を隣接する面のノード部に引き出した
場合には、引出電極および第1の導電体を介して、第1
の電極と第1のパターン電極とが電気的に接続される。
また、第2の導電体を介して、第2の電極と第2のパタ
ーン電極とが電気的に接続される。同時に、第1および
第2の導電体によって、圧電振動部品は絶縁性基板上に
支持される。
When the first electrode on the one main surface of the piezoelectric component is drawn out to the node portion on the adjacent surface by the lead electrode, the first electrode is formed via the lead electrode and the first conductor.
And the first pattern electrode are electrically connected.
In addition, the second electrode and the second pattern electrode are electrically connected via the second conductor. At the same time, the piezoelectric vibrating component is supported on the insulating substrate by the first and second conductors.

【0011】[0011]

【発明の効果】この発明の圧電部品では、接続部によっ
て圧電振動素子を絶縁性基板上に支持するとともに、両
者を電気的に接続するので、リード線のように導通接続
が振動などではずれることがない。そのため、この圧電
部品は、圧電振動素子と絶縁性基板との導通接続の信頼
性が高い。また、この圧電部品では、導通接続にリード
線を用いないので、リード線の引き回し形状のばらつき
による圧電振動素子の振動の阻害等の不具合が生じな
い。そのため、この圧電部品は、安定した品質を有し、
製造時の歩留りも向上する。さらに、この圧電部品で
は、ワイヤーボンディング方式に比べて導通接続のため
の工数および設備コストが低減できる。そのため、この
圧電部品は、ワイヤーボンディング方式の圧電部品に比
べて安価に製造することができる。さらに、この圧電部
品では、絶縁性基板上の圧電振動素子の外側にリード線
を接続するためのパターン電極を設ける必要がないの
で、圧電振動素子と絶縁性基板とを略同じ大きさに形成
することができる。したがって、従来のワイヤーボンデ
ィング方式の圧電部品に比べて、絶縁性基板のサイズを
小さくすることができ、圧電部品を小型化できる。
According to the piezoelectric component of the present invention, since the piezoelectric vibrating element is supported on the insulating substrate by the connecting portion and both are electrically connected, the conductive connection may be deviated due to vibration or the like like a lead wire. There is no. Therefore, in this piezoelectric component, the conductive connection between the piezoelectric vibrating element and the insulating substrate is highly reliable. Further, in this piezoelectric component, since the lead wire is not used for the conductive connection, the trouble such as the inhibition of the vibration of the piezoelectric vibrating element due to the variation in the lead wire leading shape does not occur. Therefore, this piezoelectric component has stable quality,
The production yield is also improved. Further, in this piezoelectric component, the number of steps and facility cost for conducting connection can be reduced as compared with the wire bonding method. Therefore, this piezoelectric component can be manufactured at a lower cost than the wire bonding type piezoelectric component. Furthermore, in this piezoelectric component, since it is not necessary to provide a pattern electrode for connecting a lead wire to the outside of the piezoelectric vibrating element on the insulating substrate, the piezoelectric vibrating element and the insulating substrate are formed to have substantially the same size. be able to. Therefore, the size of the insulating substrate can be reduced and the piezoelectric component can be miniaturized as compared with the conventional wire-bonding type piezoelectric component.

【0012】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
The above-mentioned objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of the embodiments of the invention with reference to the drawings.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

【実施例】図1は、この発明の一実施例を示す分解斜視
図である。図2は、図1に示す圧電振動素子の他方主面
を示す斜視図である。図3は、図1に示す圧電部品の要
部を示す断面図解図である。図1に示す圧電部品10
は、短冊状の圧電振動素子12を含む。この圧電振動素
子12は、長さ振動の振動モードを利用するものであ
る。この場合、圧電振動素子12の長手方向の中央部が
ノード部となる。ノード部Nは、図1および図2に二点
鎖線で示すように圧電振動素子12の表面においては線
状であり面積を持たない。
1 is an exploded perspective view showing an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing the other main surface of the piezoelectric vibrating element shown in FIG. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a main part of the piezoelectric component shown in FIG. Piezoelectric component 10 shown in FIG.
Includes a strip-shaped piezoelectric vibrating element 12. This piezoelectric vibrating element 12 utilizes a vibration mode of length vibration. In this case, the central portion in the longitudinal direction of the piezoelectric vibrating element 12 becomes the node portion. The node portion N is linear and has no area on the surface of the piezoelectric vibrating element 12, as indicated by the chain double-dashed line in FIGS. 1 and 2.

【0014】圧電振動素子12は、短冊状の圧電基板1
4を含む。圧電基板14の一方主面の全面には、第1の
電極16aが形成される。圧電基板14の他方主面に
は、第2の電極16bが形成される。圧電基板14の幅
方向に対向する両側面には、たとえばそれぞれ帯状の引
出電極18,18がノード部に沿って形成される。引出
電極18,18のそれぞれの一端部は、圧電基板14の
一方主面の第1の電極16aに接続され、他端部は、図
2に示すように、圧電基板14の他方主面のノード部上
に引き出される。この圧電基板14の他方主面は、引出
電極18,18と第2の電極16bとを絶縁するため
に、引出電極18,18の他端部に対応する部分が、略
矩形に切り欠かれている。この場合、他方主面の第2の
電極16bの面積の損失を最小限に抑えるために、切り
欠かれる面積を極力小さくする必要がある。そのため、
引出電極18,18の他端部は、圧電基板14の他方主
面のノード部上において、できるだけ小さく形成され
る。なお、圧電振動素子12の第1の電極16a,第2
の電極16b、および引出電極18,18は、たとえば
Ag電極により形成され、このAg電極は、スパッタま
たは蒸着などの方法で形成される。
The piezoelectric vibrating element 12 is a strip-shaped piezoelectric substrate 1.
Including 4. A first electrode 16a is formed on the entire one main surface of the piezoelectric substrate 14. The second electrode 16b is formed on the other main surface of the piezoelectric substrate 14. For example, strip-shaped extraction electrodes 18, 18 are formed along the node portion on both side surfaces of the piezoelectric substrate 14 that face each other in the width direction. One end of each of the extraction electrodes 18, 18 is connected to the first electrode 16a on one main surface of the piezoelectric substrate 14, and the other end thereof is a node on the other main surface of the piezoelectric substrate 14, as shown in FIG. It is pulled out to the department. The other main surface of the piezoelectric substrate 14 is cut out into a substantially rectangular shape at a portion corresponding to the other end of the extraction electrodes 18 and 18 in order to insulate the extraction electrodes 18 and 18 from the second electrode 16b. There is. In this case, in order to minimize the loss of the area of the second electrode 16b on the other main surface, it is necessary to make the cutout area as small as possible. for that reason,
The other ends of the lead electrodes 18, 18 are formed as small as possible on the node part on the other main surface of the piezoelectric substrate 14. The first electrode 16a and the second electrode 16a of the piezoelectric vibrating element 12
The electrode 16b and the extraction electrodes 18 and 18 are formed of, for example, Ag electrodes, and the Ag electrodes are formed by a method such as sputtering or vapor deposition.

【0015】また、この圧電部品10は、圧電振動素子
12のノード部を支持するとともに、圧電振動素子12
と外部回路(図示せず)とを電気的に接続するための絶
縁性基板20を含む。絶縁性基板20は、たとえば96
%アルミナを用いて形成される。絶縁性基板20の一方
主面上には、たとえば略U字形状の第1のパターン電極
22aと、たとえば略T字状の第2のパターン電極22
bとが形成される。第1および第2のパターン電極22
aおよび22bは、絶縁性基板20の側面ないし他方主
面に引き出され、図示しない外部回路と電気的に接続さ
れる。第1および第2のパターン電極22aおよび22
bは、それぞれ、たとえばAg電極により形成される。
このAg電極は、たとえばガラスベースの導電ペースト
を絶縁性基板20上に塗布後、焼き付けて形成される。
なお、この明細書において、電極が互いに電気的に接続
されることを導通接続という。
Further, the piezoelectric component 10 supports the node portion of the piezoelectric vibrating element 12, and at the same time, the piezoelectric vibrating element 12
And an insulating substrate 20 for electrically connecting an external circuit (not shown). The insulating substrate 20 is, for example, 96.
% Alumina. On the one main surface of the insulating substrate 20, for example, a substantially U-shaped first pattern electrode 22a and a substantially T-shaped second pattern electrode 22 are provided.
b are formed. First and second pattern electrodes 22
a and 22b are drawn out to the side surface or the other main surface of the insulating substrate 20 and electrically connected to an external circuit (not shown). First and second pattern electrodes 22a and 22
Each b is formed of, for example, an Ag electrode.
The Ag electrode is formed, for example, by applying a glass-based conductive paste on the insulating substrate 20 and then baking it.
In this specification, the electrical connection between electrodes is referred to as conductive connection.

【0016】圧電振動素子12は、接続部によって絶縁
性基板20上に支持される。この実施例の接続部は、2
つの第1の導電体24a,24aと1つの第2の導電体
24bとを含む。第1および第2の導電体24aおよび
24bは、半田または導電性接着剤などからなり、図3
に示すように、それぞれ圧電振動素子12の他方主面と
絶縁性基板20の一方主面との間に所定の間隔が開くよ
うに所定の高さをもって形成される。圧電振動素子12
の他方主面と絶縁性基板20の一方主面との間に所定の
間隔を開けることにより、圧電振動素子12の振動が阻
害されない。また、ノード部は線状で面積を持たないの
で、圧電振動素子12の振動の阻害を防止する観点か
ら、第1および第2の導電体24aおよび24bの大き
さは、圧電振動素子12の支持に支障のない範囲ででき
るだけ小さく形成される。圧電部品12と絶縁性基板2
0とを接続する方法としては、たとえばバンプ接続法な
どを採用することができる。なお、バンプ接続法とは、
一方の電極に半田などの導電体をあらかじめ突起状に付
与した後、その導電体と他方の電極とを接続する方法を
いう。
The piezoelectric vibrating element 12 is supported on the insulating substrate 20 by the connecting portion. The connection part of this embodiment is 2
It includes one first conductor 24a, 24a and one second conductor 24b. The first and second conductors 24a and 24b are made of solder, a conductive adhesive, or the like.
As shown in FIG. 5, each of the piezoelectric vibrating elements 12 is formed with a predetermined height such that a predetermined gap is formed between the other main surface and the one main surface of the insulating substrate 20. Piezoelectric vibration element 12
A predetermined gap is provided between the other main surface of the piezoelectric substrate and the one main surface of the insulating substrate 20, so that the vibration of the piezoelectric vibrating element 12 is not hindered. Further, since the node portion is linear and has no area, the size of the first and second conductors 24a and 24b is set so as to support the piezoelectric vibrating element 12 from the viewpoint of preventing the vibration of the piezoelectric vibrating element 12 from being hindered. It is formed as small as possible within the range that does not interfere with. Piezoelectric component 12 and insulating substrate 2
As a method of connecting with 0, for example, a bump connection method or the like can be adopted. The bump connection method is
This is a method in which a conductor such as solder is applied in advance to one electrode in the form of a protrusion and then the conductor is connected to the other electrode.

【0017】第1の導電体24a,24aは、図1およ
び図2に黒点で示すように、圧電振動素子12のノード
部上において、引出電極18,18のそれぞれの他端部
と第1のパターン電極22aとをそれぞれ導通接続する
位置に形成される。また、第2の導電体24bは、図1
および図2に黒点で示すように、圧電振動素子12のノ
ード部上において、第2の電極16bと第2のパターン
電極22bとを導通接続する位置に形成される。したが
って、圧電振動素子12の第1の電極16aは、引出電
極18,18および第1の導電体24a,24aを介し
て、第1のパターン電極22aに導通接続される。ま
た、圧電振動素子12の第2の電極16bは、第2の導
電体24bを介して、第2のパターン電極22bに導通
接続される。
As shown by the black dots in FIGS. 1 and 2, the first conductors 24a, 24a are provided on the node portion of the piezoelectric vibrating element 12 and the other ends of the lead electrodes 18, 18 and the first conductors 24a, 24a, respectively. The pattern electrodes 22a are formed at positions where they are electrically connected to each other. Also, the second conductor 24b is the same as in FIG.
Further, as indicated by black dots in FIG. 2, it is formed on the node portion of the piezoelectric vibrating element 12 at a position where the second electrode 16b and the second pattern electrode 22b are electrically connected. Therefore, the first electrode 16a of the piezoelectric vibrating element 12 is conductively connected to the first pattern electrode 22a via the extraction electrodes 18, 18 and the first conductors 24a, 24a. Further, the second electrode 16b of the piezoelectric vibrating element 12 is electrically connected to the second pattern electrode 22b via the second conductor 24b.

【0018】このように、この実施例の圧電部品10に
よれば、接続部の第1および第2の導電体24aおよび
24bによって圧電振動素子12を絶縁性基板20上に
支持するとともに、両者を電気的に接続するので、従来
のリード線のように導通接続が振動などではずれること
がない。そのため、この圧電部品10は、圧電振動素子
12と絶縁性基板20との導通接続の信頼性が高い。ま
た、この圧電部品10では、導通接続にリード線を用い
ないので、リード線の引き回し形状のばらつきによる圧
電振動素子12の振動の阻害等の不具合が生じない。そ
のため、この圧電部品10は、安定した品質を有し、製
造時の歩留りも向上する。さらに、この圧電部品10を
製造する際には、引出電極18は、スパッタまたは蒸着
などの方法により、第1および第2の電極16aおよび
16bと同時に形成することができる。そして、圧電振
動素子12と絶縁性基板20とは、バンプ接続法によ
り、ワイヤーボンディングに比べて容易に接続すること
ができる。このため、この圧電部品10は、従来の圧電
部品に比べて工数が低減でき設備コストも低減できるの
で、安価に製造することができる。さらに、この圧電部
品10では、絶縁性基板20上の圧電振動素子12の外
側にリード線を接続するためのパターン電極を設ける必
要がないので、圧電振動素子12と絶縁性基板20とを
略同じ大きさに形成することができる。したがって、従
来のワイヤーボンディング方式の圧電部品10に比べ
て、絶縁性基板20のサイズを小さくすることができ、
圧電部品10を小型化できる。
As described above, according to the piezoelectric component 10 of this embodiment, the piezoelectric vibrating element 12 is supported on the insulating substrate 20 by the first and second conductors 24a and 24b of the connecting portion, and both are connected. Since they are electrically connected, the conductive connection does not come off due to vibration unlike the conventional lead wire. Therefore, in the piezoelectric component 10, the conductive connection between the piezoelectric vibrating element 12 and the insulating substrate 20 has high reliability. Further, in this piezoelectric component 10, since the lead wire is not used for the conductive connection, the trouble such as the inhibition of the vibration of the piezoelectric vibrating element 12 due to the variation in the lead wire leading shape does not occur. Therefore, the piezoelectric component 10 has stable quality and the yield at the time of manufacturing is improved. Further, when manufacturing the piezoelectric component 10, the extraction electrode 18 can be formed simultaneously with the first and second electrodes 16a and 16b by a method such as sputtering or vapor deposition. Then, the piezoelectric vibrating element 12 and the insulating substrate 20 can be connected more easily by the bump connection method than by wire bonding. Therefore, the piezoelectric component 10 can be manufactured at low cost because the number of steps and the facility cost can be reduced as compared with the conventional piezoelectric component. Furthermore, in this piezoelectric component 10, since it is not necessary to provide a pattern electrode for connecting a lead wire to the outside of the piezoelectric vibrating element 12 on the insulating substrate 20, the piezoelectric vibrating element 12 and the insulating substrate 20 are substantially the same. It can be formed in a size. Therefore, the size of the insulating substrate 20 can be reduced as compared with the conventional wire bonding type piezoelectric component 10.
The piezoelectric component 10 can be miniaturized.

【0019】なお、この実施例では、引出電極18を2
つ形成したが、これに限らず、たとえば一つだけでもよ
い。また、この実施例では、引出電極18を圧電基板1
4の側面に形成したが、これに限らず、たとえばスルー
ホールを通じて圧電基板14の他方主面に引き出すよう
にしてもよい。さらに、この実施例では、引出電極18
の他端部を圧電基板14の他方主面上にまで引き出して
形成したが、これに限らず、たとえば圧電基板14の側
面のみに形成してもよい。
In this embodiment, the extraction electrode 18 has two electrodes.
However, the present invention is not limited to this and may be, for example, only one. In addition, in this embodiment, the extraction electrode 18 is connected to the piezoelectric substrate 1.
Although it is formed on the side surface of No. 4, it is not limited to this and may be drawn to the other main surface of the piezoelectric substrate 14 through a through hole, for example. Further, in this embodiment, the extraction electrode 18
Although the other end of the piezoelectric substrate 14 is drawn out to the other main surface of the piezoelectric substrate 14, the present invention is not limited to this and may be formed only on the side surface of the piezoelectric substrate 14, for example.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例を示す分解斜視図である。FIG. 1 is an exploded perspective view showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示す圧電部品の圧電振動素子の他方主面
を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing the other main surface of the piezoelectric vibrating element of the piezoelectric component shown in FIG.

【図3】図1に示す圧電部品の要部を示す断面図解図で
ある。
FIG. 3 is a schematic sectional view showing a main part of the piezoelectric component shown in FIG.

【図4】この発明の背景となる従来の圧電部品を示す斜
視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing a conventional piezoelectric component which is the background of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 圧電部品 12 圧電振動素子 14 圧電基板 16a 第1の電極 16b 第2の電極 18 引出電極 20 絶縁性基板 22a 第1のパターン電極 22b 第2のパターン電極 24a 第1の導電体 24b 第2の導電体 10 piezoelectric component 12 piezoelectric vibrating element 14 piezoelectric substrate 16a first electrode 16b second electrode 18 extraction electrode 20 insulating substrate 22a first pattern electrode 22b second pattern electrode 24a first conductor 24b second conductivity body

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一対の電極を有する圧電振動素子、 前記圧電振動素子と対向して配置され、前記一対の電極
とそれぞれ接続されるべき複数のパターン電極を有する
絶縁性基板、および前記圧電振動素子と前記絶縁性基板
との間に形成され、対応する前記電極と前記パターン電
極とを互いに電気的に接続するとともに、前記圧電振動
素子のノード部を前記絶縁性基板上に支持するための複
数の接続部を含む、圧電部品。
1. A piezoelectric vibrating element having a pair of electrodes, an insulating substrate having a plurality of pattern electrodes which are arranged so as to face the piezoelectric vibrating element and are to be connected to the pair of electrodes, respectively, and the piezoelectric vibrating element. And a plurality of electrodes for electrically connecting the corresponding electrodes and the pattern electrodes to each other and supporting the node portion of the piezoelectric vibrating element on the insulating substrate. Piezoelectric components, including connections.
【請求項2】 前記圧電振動素子は、圧電基板と、 前記圧電基板の一方主面に形成される第1の電極と、 前記圧電基板の他方主面に形成される第2の電極と、 一端部が前記第1の電極に接続され、他端部が圧電振動
素子の他方主面側のノード部に引き出されて形成される
引出電極とを含み、 前記絶縁性基板は、前記第1の電極と接続されるべき第
1のパターン電極と、前記第2の電極と接続されるべき
第2のパターン電極とを含み、 前記接続部は、前記圧電振動素子と前記絶縁性基板との
間において、一端部が前記圧電振動素子のノード部上の
前記引出電極の他端部に接続され、他端部が前記第1の
パターン電極に接続される第1の導電体と、 前記圧電振動素子と前記絶縁性基板との間において、一
端部が前記圧電振動素子のノード部上の前記第2の電極
に接続され、他端部が前記第2のパターン電極に接続さ
れる第2の導電体とを含む、請求項1に記載の圧電部
品。
2. The piezoelectric vibrating element, a piezoelectric substrate, a first electrode formed on one main surface of the piezoelectric substrate, a second electrode formed on the other main surface of the piezoelectric substrate, one end A part connected to the first electrode, and the other end part drawn out to a node part on the other main surface side of the piezoelectric vibrating element to be formed, wherein the insulating substrate is the first electrode. A first pattern electrode to be connected with, and a second pattern electrode to be connected to the second electrode, the connection portion between the piezoelectric vibrating element and the insulating substrate, A first conductor whose one end is connected to the other end of the extraction electrode on the node part of the piezoelectric vibrating element, and the other end is connected to the first pattern electrode; Between the insulating substrate and one end on the node portion of the piezoelectric vibrating element The piezoelectric component according to claim 1, further comprising a second conductor that is connected to the second electrode and has the other end connected to the second pattern electrode.
【請求項3】 前記圧電振動素子は、圧電基板と、 前記圧電基板の一方主面に形成される第1の電極と、 前記圧電基板の他方主面に形成される第2の電極と、 一端部が前記第1の電極に接続され、他端部が前記第1
の電極の形成された一方主面と隣接する面の圧電振動素
子のノード部に引き出されて形成される引出電極とを含
み、 前記絶縁性基板は、前記第1の電極と接続されるべき第
1のパターン電極と、前記第2の電極と接続されるべき
第2のパターン電極とを含み、 前記接続部は、前記圧電振動素子と前記絶縁性基板との
間において、一端部が前記圧電振動素子のノード部上の
前記引出電極の他端部に接続され、他端部が前記第1の
パターン電極に接続される第1の導電体と、 前記圧電振動素子と前記絶縁性基板との間において、一
端部が前記圧電振動素子のノード部上の前記第2の電極
に接続され、他端部が前記第2のパターン電極に接続さ
れる第2の導電体とを含む、請求項1に記載の圧電部
品。
3. The piezoelectric vibrating element includes: a piezoelectric substrate; a first electrode formed on one principal surface of the piezoelectric substrate; a second electrode formed on the other principal surface of the piezoelectric substrate; Part is connected to the first electrode, and the other end part is the first electrode.
A lead electrode formed by being drawn to a node portion of the piezoelectric vibrating element on a surface adjacent to the one main surface on which the electrode is formed, the insulating substrate being connected to the first electrode. One pattern electrode and a second pattern electrode to be connected to the second electrode, wherein the connection portion has one end between the piezoelectric vibrating element and the insulating substrate. A first conductor connected to the other end of the extraction electrode on the node part of the element, the other end connected to the first pattern electrode; and between the piezoelectric vibrating element and the insulating substrate. The second conductor according to claim 1, wherein one end is connected to the second electrode on the node portion of the piezoelectric vibrating element, and the other end is connected to the second pattern electrode. The piezoelectric component described.
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