JPH09281002A - アフォーカル光学系のｍｔｆ測定装置 - Google Patents
アフォーカル光学系のｍｔｆ測定装置Info
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- JPH09281002A JPH09281002A JP8953696A JP8953696A JPH09281002A JP H09281002 A JPH09281002 A JP H09281002A JP 8953696 A JP8953696 A JP 8953696A JP 8953696 A JP8953696 A JP 8953696A JP H09281002 A JPH09281002 A JP H09281002A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】固体撮像素子の受光エレメントのピッチに起因
する側帯波の影響を除去して、常に正確なＭＴＦ測定を
可能にする。 【解決手段】スリットを通った光束をコリメータ１５に
より平行光束化し、この平行光束を被検アフォーカル光
学系０に入射させ、被検アフォーカル光学系０からの射
出光束を結像レンズ系４１，４３により受光面４５Ａに
結像させ、受光面４５Ａ上の像に基づき被検アフォーカ
ル光学系のＭＴＦを求める装置であって、結像レンズ系
の前側焦点位置に絞りＳを配備し、光源からの光束にお
ける最短波長：λ、結像レンズ系４１．４３の焦点距
離：ｆF、絞りＳの絞り径：Ｄ、測定したい最大角度周
波数：Ｆmaxθ、撮像素子における受光エレメントのピ
ッチ：Ｔが、条件：Ｔ＜λ・ｆF・tan(１/Ｆmaxθ)／
{λ＋Ｄ・tan(１/Ｆmaxθ)}を満足する。
する側帯波の影響を除去して、常に正確なＭＴＦ測定を
可能にする。 【解決手段】スリットを通った光束をコリメータ１５に
より平行光束化し、この平行光束を被検アフォーカル光
学系０に入射させ、被検アフォーカル光学系０からの射
出光束を結像レンズ系４１，４３により受光面４５Ａに
結像させ、受光面４５Ａ上の像に基づき被検アフォーカ
ル光学系のＭＴＦを求める装置であって、結像レンズ系
の前側焦点位置に絞りＳを配備し、光源からの光束にお
ける最短波長：λ、結像レンズ系４１．４３の焦点距
離：ｆF、絞りＳの絞り径：Ｄ、測定したい最大角度周
波数：Ｆmaxθ、撮像素子における受光エレメントのピ
ッチ：Ｔが、条件：Ｔ＜λ・ｆF・tan(１/Ｆmaxθ)／
{λ＋Ｄ・tan(１/Ｆmaxθ)}を満足する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はアフォーカル光学
系のＭＴＦ測定装置に関する。
系のＭＴＦ測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】アフォーカル光学系は望遠鏡、双眼鏡、
カメラのファインダ等に利用される光学系で「１組の物
点と像点が無限遠にある光学系」として定義される。ア
フォーカル光学系のＭＴＦ測定は、スリットを通った光
束をコリメータにより平行光束とし、得られる平行光束
を被検アフォーカル光学系に入射させ、被検アフォーカ
ル光学系からの射出光束を結像レンズ系により固体撮像
素子の受光面に結像させ、結像した像に基づきＭＴＦを
求めることにより行なわれる。
カメラのファインダ等に利用される光学系で「１組の物
点と像点が無限遠にある光学系」として定義される。ア
フォーカル光学系のＭＴＦ測定は、スリットを通った光
束をコリメータにより平行光束とし、得られる平行光束
を被検アフォーカル光学系に入射させ、被検アフォーカ
ル光学系からの射出光束を結像レンズ系により固体撮像
素子の受光面に結像させ、結像した像に基づきＭＴＦを
求めることにより行なわれる。
【０００３】上記受光面に結像する像は「被検アフォー
カル光学系と結像レンズ系との合成系」による像であ
り、上記像から直接に求まるＭＴＦは上記「合成系」の
ＭＴＦであり、被検アフォーカル光学系のＭＴＦは、
「合成系のＭＴＦ」を「結像レンズ系のＭＴＦ」により
除して求める。
カル光学系と結像レンズ系との合成系」による像であ
り、上記像から直接に求まるＭＴＦは上記「合成系」の
ＭＴＦであり、被検アフォーカル光学系のＭＴＦは、
「合成系のＭＴＦ」を「結像レンズ系のＭＴＦ」により
除して求める。
【０００４】上記「合成系のＭＴＦ」を求める演算には
ＦＦＴ（高速フーリエ変換）が含まれているため、フー
リエ変換された結果に、固体撮像素子における受光エレ
メントのピッチに応じた側帯波が生じ、この側帯波が本
来測定の対象となるべきベースバンド成分に重なると測
定誤差の原因となる。
ＦＦＴ（高速フーリエ変換）が含まれているため、フー
リエ変換された結果に、固体撮像素子における受光エレ
メントのピッチに応じた側帯波が生じ、この側帯波が本
来測定の対象となるべきベースバンド成分に重なると測
定誤差の原因となる。
【０００５】また、ＭＴＦを測定すべきアフォーカル光
学系がカメラのファインダ等のように目視用の光学系で
ある場合には、光学系を完全なアフォーカル光学系にす
るのでなく、適当な視度範囲（一般に＋２〜−４ｄｐ
ｔ）で視度を調整して「見やすく」することが行なわれ
ており、このような目視用のアフォーカル光学系では、
上記視度範囲でＭＴＦの測定を行なう必要があるが、上
記視度範囲をカバーしてＭＴＦ測定を行なうためには、
固体撮像素子を結像レンズ系の光軸方向へ変位させなば
ならなず、結像レンズ系によっては、固体撮像素子の変
位量が著しく大きくなってしまう場合がある。
学系がカメラのファインダ等のように目視用の光学系で
ある場合には、光学系を完全なアフォーカル光学系にす
るのでなく、適当な視度範囲（一般に＋２〜−４ｄｐ
ｔ）で視度を調整して「見やすく」することが行なわれ
ており、このような目視用のアフォーカル光学系では、
上記視度範囲でＭＴＦの測定を行なう必要があるが、上
記視度範囲をカバーしてＭＴＦ測定を行なうためには、
固体撮像素子を結像レンズ系の光軸方向へ変位させなば
ならなず、結像レンズ系によっては、固体撮像素子の変
位量が著しく大きくなってしまう場合がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上述した事
情に鑑み、アフォーカル光学系のＭＴＦ測定において、
固体撮像素子の受光エレメントのピッチによる側帯波に
起因する誤差の発生無しに適正なＭＴＦ測定を可能なら
しむることを課題とする。
情に鑑み、アフォーカル光学系のＭＴＦ測定において、
固体撮像素子の受光エレメントのピッチによる側帯波に
起因する誤差の発生無しに適正なＭＴＦ測定を可能なら
しむることを課題とする。
【０００７】この発明の別の課題は、目視用のアフォー
カル光学系の所望の視度範囲におけるＭＴＦ測定に伴う
固体撮像素子の変位量を有効に小さくすることにある。
カル光学系の所望の視度範囲におけるＭＴＦ測定に伴う
固体撮像素子の変位量を有効に小さくすることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明のア
フォーカル光学系のＭＴＦ測定装置は「スリットを通っ
た光束をコリメータにより平行光束化し、この平行光束
を被検アフォーカル光学系に入射させ、被検アフォーカ
ル光学系からの射出光束を結像レンズ系により固体撮像
素子の受光面に結像させ、固体撮像素子の出力に対して
ＦＦＴを含む所定の演算を行なって被検アフォーカル光
学系のＭＴＦを求める装置」であって、以下の点を特徴
とする。
フォーカル光学系のＭＴＦ測定装置は「スリットを通っ
た光束をコリメータにより平行光束化し、この平行光束
を被検アフォーカル光学系に入射させ、被検アフォーカ
ル光学系からの射出光束を結像レンズ系により固体撮像
素子の受光面に結像させ、固体撮像素子の出力に対して
ＦＦＴを含む所定の演算を行なって被検アフォーカル光
学系のＭＴＦを求める装置」であって、以下の点を特徴
とする。
【０００９】即ち、結像レンズ系の前側焦点位置に絞り
が配備される。また、上記光束における最短波長をλ、
結像レンズ系の焦点距離をｆF、絞りの絞り径をＤ、測
定したい最大角度周波数をＦmaxθ、撮像素子における
受光エレメントのピッチをＴとするとき、これらは条
件： Ｔ＜λ・ｆF・tan(１/Ｆmaxθ)／{λ＋Ｄ・tan(１/Ｆmaxθ)} （１） を満足する。
が配備される。また、上記光束における最短波長をλ、
結像レンズ系の焦点距離をｆF、絞りの絞り径をＤ、測
定したい最大角度周波数をＦmaxθ、撮像素子における
受光エレメントのピッチをＴとするとき、これらは条
件： Ｔ＜λ・ｆF・tan(１/Ｆmaxθ)／{λ＋Ｄ・tan(１/Ｆmaxθ)} （１） を満足する。
【００１０】請求項２記載の発明のアフォーカル光学系
のＭＴＦ測定装置は、光源装置と、回転ステージと、Ｙ
方向ステージおよびＸ方向ステージと、固体撮像素子
と、結像レンズ系と、絞りと、保持手段と、回転機構
と、演算手段とを有する。「光源装置」は、光源と、こ
の光源からの光束を通過させるスリット部材と、このス
リット部材のスリットを通過した光束を平行光束化する
コリメートレンズとを有する。上記光源は、最短波長：
λの光を放射する。
のＭＴＦ測定装置は、光源装置と、回転ステージと、Ｙ
方向ステージおよびＸ方向ステージと、固体撮像素子
と、結像レンズ系と、絞りと、保持手段と、回転機構
と、演算手段とを有する。「光源装置」は、光源と、こ
の光源からの光束を通過させるスリット部材と、このス
リット部材のスリットを通過した光束を平行光束化する
コリメートレンズとを有する。上記光源は、最短波長：
λの光を放射する。
【００１１】「回転ステージ」は、光源装置を保持し、
ＸＹ平面内で回転可能である。「Ｙ方向ステージ」は、
回転ステージをＹ方向へ移動可能に保持する。「Ｘ方向
ステージ」は、Ｙ方向ステージに直交し、被検アフォー
カル光学系を、その光軸がＸＹ面内でＸ方向に平行にな
るように保持する。
ＸＹ平面内で回転可能である。「Ｙ方向ステージ」は、
回転ステージをＹ方向へ移動可能に保持する。「Ｘ方向
ステージ」は、Ｙ方向ステージに直交し、被検アフォー
カル光学系を、その光軸がＸＹ面内でＸ方向に平行にな
るように保持する。
【００１２】「固体撮像素子」は、受光エレメントのピ
ッチ：Ｔを有する。「結像レンズ系」は、焦点距離：ｆ
Fを有し、被検アフォーカル光学系からの射出光束を固
体撮像素子の受光面上に結像させる。「絞り」は、結像
レンズ系の前側焦点位置に配備され、絞り径：Ｄを有す
る。
ッチ：Ｔを有する。「結像レンズ系」は、焦点距離：ｆ
Fを有し、被検アフォーカル光学系からの射出光束を固
体撮像素子の受光面上に結像させる。「絞り」は、結像
レンズ系の前側焦点位置に配備され、絞り径：Ｄを有す
る。
【００１３】「保持手段」は、固体撮像素子と結像レン
ズ系と絞りとを保持する。
ズ系と絞りとを保持する。
【００１４】「回転機構」は、保持手段を絞りの位置を
中心としてＸＹ面に直交する軸の回りに回転可能ならし
める機構である。「演算手段」は、固体撮像素子の出力
に基づきＦＦＴを含む所定の演算を行なって、被検アフ
ォーカル光学系のＭＴＦを演算算出する。
中心としてＸＹ面に直交する軸の回りに回転可能ならし
める機構である。「演算手段」は、固体撮像素子の出力
に基づきＦＦＴを含む所定の演算を行なって、被検アフ
ォーカル光学系のＭＴＦを演算算出する。
【００１５】請求項２記載の発明のＭＴＦ測定装置は、
測定したい最大角度周波数：Ｆmaxθに対し、上記λ、
Ｔ、ｆF、Ｄが条件： Ｔ＜λ・ｆF・tan(１/Ｆmaxθ)／{λ＋Ｄ・tan(１/Ｆmaxθ)} （１） を満足することを特徴とする。
測定したい最大角度周波数：Ｆmaxθに対し、上記λ、
Ｔ、ｆF、Ｄが条件： Ｔ＜λ・ｆF・tan(１/Ｆmaxθ)／{λ＋Ｄ・tan(１/Ｆmaxθ)} （１） を満足することを特徴とする。
【００１６】上記請求項１または２記載のアフォーカル
光学系のＭＴＦ測定装置において、「絞りの配備位置」
は、被検アフォーカル光学系を覗くときの目の瞳と同位
置とすることができる（請求項３）。即ち、請求項３記
載の発明においては、被検アフォーカル光学系はファイ
ンダ等の「目視用のアフォーカル光学系」である。
光学系のＭＴＦ測定装置において、「絞りの配備位置」
は、被検アフォーカル光学系を覗くときの目の瞳と同位
置とすることができる（請求項３）。即ち、請求項３記
載の発明においては、被検アフォーカル光学系はファイ
ンダ等の「目視用のアフォーカル光学系」である。
【００１７】この請求項３記載の「目視用のアフォーカ
ル光学系」のＭＴＦ測定装置においては、結像レンズ系
を「結像レンズと拡大レンズ」で構成し、被検アフォー
カル光学系からの射出光束を、結像レンズにより一旦結
像させ、さらに拡大レンズにより拡大して固体撮像素子
の受光面に結像させるように、かつ「拡大レンズと固体
撮像素子とを一体として、結像レンズ系の光軸方向へ移
動可能」とすることができる（請求項４）。この請求項
４記載の発明の場合において、絞りの絞り径：Ｄを略３
ｍｍ、光源の最短波長：λを略４００ｎｍとし、拡大レ
ンズの倍率を４倍以上とすることができる（請求項
５）。
ル光学系」のＭＴＦ測定装置においては、結像レンズ系
を「結像レンズと拡大レンズ」で構成し、被検アフォー
カル光学系からの射出光束を、結像レンズにより一旦結
像させ、さらに拡大レンズにより拡大して固体撮像素子
の受光面に結像させるように、かつ「拡大レンズと固体
撮像素子とを一体として、結像レンズ系の光軸方向へ移
動可能」とすることができる（請求項４）。この請求項
４記載の発明の場合において、絞りの絞り径：Ｄを略３
ｍｍ、光源の最短波長：λを略４００ｎｍとし、拡大レ
ンズの倍率を４倍以上とすることができる（請求項
５）。
【００１８】上記請求項２または３または４または５記
載のＭＴＦ測定装置において、光源装置の保持するスリ
ット部材が、スリット幅の異なる２以上のスリットを選
択可能であるようにすることができる（請求項６）。
載のＭＴＦ測定装置において、光源装置の保持するスリ
ット部材が、スリット幅の異なる２以上のスリットを選
択可能であるようにすることができる（請求項６）。
【００１９】上記のように、この発明のアフォーカル光
学系のＭＴＦ測定装置では、「結像レンズ系の前側焦点
位置に絞り」が配備される。このように「絞り」が前側
焦点位置に配備される結果、結像レンズ系は「テレセン
トリックレンズ」となる。
学系のＭＴＦ測定装置では、「結像レンズ系の前側焦点
位置に絞り」が配備される。このように「絞り」が前側
焦点位置に配備される結果、結像レンズ系は「テレセン
トリックレンズ」となる。
【００２０】一般に結像レンズ系の「有効Ｆナンバ」
は、「倍率」をｍ、「射出瞳径／入射瞳径」をψ、「物
体位置無限遠におけるＦナンバ」をＦ／Ｎｏ．として、 「有効Ｆナンバ」＝｛１＋ｍ×（１／ψ）｝×Ｆ／Ｎ
ｏ． で表される。上記のように結像レンズ系の前側焦点位置
に「絞り」を置くと、結像レンズ系はテレセントリック
レンズとなって「入射瞳径は絞り径」となり「射出瞳径
は無限大」となる。従って、１／ψ＝０となって有効Ｆ
ナンバはＦ／Ｎｏ．に固定され、倍率：ｍに依存しなく
なる。従って、被検アフォーカル光学系の性能によりス
リット像の位置が変動しても、結像レンズ系の性能は影
響を受けず、全系のＭＴＦを除する除数としての「結像
レンズ系のＭＴＦ」が変動しないので、良好なＭＴＦ測
定が可能である。
は、「倍率」をｍ、「射出瞳径／入射瞳径」をψ、「物
体位置無限遠におけるＦナンバ」をＦ／Ｎｏ．として、 「有効Ｆナンバ」＝｛１＋ｍ×（１／ψ）｝×Ｆ／Ｎ
ｏ． で表される。上記のように結像レンズ系の前側焦点位置
に「絞り」を置くと、結像レンズ系はテレセントリック
レンズとなって「入射瞳径は絞り径」となり「射出瞳径
は無限大」となる。従って、１／ψ＝０となって有効Ｆ
ナンバはＦ／Ｎｏ．に固定され、倍率：ｍに依存しなく
なる。従って、被検アフォーカル光学系の性能によりス
リット像の位置が変動しても、結像レンズ系の性能は影
響を受けず、全系のＭＴＦを除する除数としての「結像
レンズ系のＭＴＦ」が変動しないので、良好なＭＴＦ測
定が可能である。
【００２１】
【発明の実施の形態】図１にこの発明の実施の１形態を
示す。光源装置１０は、光源ランプ１とフィルタ２、ス
リット部材３と、コリメータとしてのコリメートレンズ
４とを相互に所定の位置関係に配備してハウジングによ
り一体化したものである。スリット部材３は「円板状」
であって互いに幅の異なる複数のスリットを有し、スリ
ット部材３を回転させることにより、測定に適した所定
の幅のスリットを選択して使用位置へ設定できるように
なっている（請求項６）。勿論、簡易な測定装置に於い
ては「スリットが１個のもの」を用いることができる。
示す。光源装置１０は、光源ランプ１とフィルタ２、ス
リット部材３と、コリメータとしてのコリメートレンズ
４とを相互に所定の位置関係に配備してハウジングによ
り一体化したものである。スリット部材３は「円板状」
であって互いに幅の異なる複数のスリットを有し、スリ
ット部材３を回転させることにより、測定に適した所定
の幅のスリットを選択して使用位置へ設定できるように
なっている（請求項６）。勿論、簡易な測定装置に於い
ては「スリットが１個のもの」を用いることができる。
【００２２】光源ランプ１は白色光源であり、これを点
灯させると、放射された白色光はフィルタ２を透過し、
スリット部材３のスリットを通過し、コリメートレンズ
４により平行光束化されて射出する。フィルタ２は測定
光の「スペクトル調整」を行なうために設けられてお
り、主として最短波長：λを設定するのに用いられる。
灯させると、放射された白色光はフィルタ２を透過し、
スリット部材３のスリットを通過し、コリメートレンズ
４により平行光束化されて射出する。フィルタ２は測定
光の「スペクトル調整」を行なうために設けられてお
り、主として最短波長：λを設定するのに用いられる。
【００２３】光源装置１０は回転ステージ２０に保持さ
れており、図面に平行なＸＹ面内で正・逆任意の方向に
回転可能となっている。符号３０で示すステージは、Ｙ
方向ステージ３１とＸ方向ステージ３２とを「十字架」
状に組み合わせて成り、回転ステージ２０は、Ｙ方向ス
テージ３１上をガイドライン３１１に沿ってＹ方向へ移
動可能になっている。
れており、図面に平行なＸＹ面内で正・逆任意の方向に
回転可能となっている。符号３０で示すステージは、Ｙ
方向ステージ３１とＸ方向ステージ３２とを「十字架」
状に組み合わせて成り、回転ステージ２０は、Ｙ方向ス
テージ３１上をガイドライン３１１に沿ってＹ方向へ移
動可能になっている。
【００２４】Ｘ方向ステージ３２は被検体保持部３２１
を有し、この被検体保持部３２１により適宜の保持方法
で、被検アフォーカル光学系０を、その光軸が「ＸＹ面
内でＸ方向に平行」になるように保持する。
を有し、この被検体保持部３２１により適宜の保持方法
で、被検アフォーカル光学系０を、その光軸が「ＸＹ面
内でＸ方向に平行」になるように保持する。
【００２５】Ｘ方向ステージ３２にはまた、第２の回転
ステージ３２２が設けられ、この回転ステージ３２２に
保持手段４０の一端部側が固定されている。保持手段４
０は「細長い板状」であって、その表面側に、絞りＳ
と、結像レンズ４１および拡大レンズ４３と、固体撮像
素子４５とを保持している。固体撮像素子４５は「少な
くともＹ方向の走査機能」を持つラインセンサもしくは
エリアセンサ（例えばＣＣＤ）である。
ステージ３２２が設けられ、この回転ステージ３２２に
保持手段４０の一端部側が固定されている。保持手段４
０は「細長い板状」であって、その表面側に、絞りＳ
と、結像レンズ４１および拡大レンズ４３と、固体撮像
素子４５とを保持している。固体撮像素子４５は「少な
くともＹ方向の走査機能」を持つラインセンサもしくは
エリアセンサ（例えばＣＣＤ）である。
【００２６】結像レンズ４１はレンズ保持体４２に保持
され、拡大レンズ４３は別のレンズ保持体４４に保持さ
れる。結像レンズ４１と拡大レンズ４３は「結像レンズ
系」を構成し、光軸合わせされた状態で保持される。
され、拡大レンズ４３は別のレンズ保持体４４に保持さ
れる。結像レンズ４１と拡大レンズ４３は「結像レンズ
系」を構成し、光軸合わせされた状態で保持される。
【００２７】絞りＳは「結像レンズ系の前側焦点位置」
に固定的に配備され、回転ステージ３２２の回転軸Ｐは
絞りＳの配備位置を通る。Ｘ方向ステージの端部側に
は、ガイドレール３３が上記回転軸Ｐの位置を中心とす
る円弧状に設けられ、保持手段４０の自由端部側の裏面
に設けられた「回転コロ（図示されず）」と係合してい
る。第２の回転ステージ３２２とガイドレール３３と上
記図示されない回転コロとは「保持手段４０を、絞りＳ
の位置を中心としてＸＹ面に直交する軸Ｐの回りに回転
可能ならしめる回転機構」を構成している。
に固定的に配備され、回転ステージ３２２の回転軸Ｐは
絞りＳの配備位置を通る。Ｘ方向ステージの端部側に
は、ガイドレール３３が上記回転軸Ｐの位置を中心とす
る円弧状に設けられ、保持手段４０の自由端部側の裏面
に設けられた「回転コロ（図示されず）」と係合してい
る。第２の回転ステージ３２２とガイドレール３３と上
記図示されない回転コロとは「保持手段４０を、絞りＳ
の位置を中心としてＸＹ面に直交する軸Ｐの回りに回転
可能ならしめる回転機構」を構成している。
【００２８】図１は被検アフォーカル光学系０の「光軸
に対して角：θin傾いた方向のＭＴＦ」を測定する状態
を示している。被検アフォーカル光学系０を図の如くセ
ットして光源ランプ１を点灯すると、放射された光はフ
ィルタ２を透過してスペクトル調整され、スリット部材
３のスリット（測定に適した幅のものが選択されてお
り、その長手方向は図１の図面に直交する方向である）
を通り、コリメートレンズ４により平行光束化されて光
源装置１０から射出し、被検アフォーカル光学系０に、
光軸に対し角：θin傾いて入射する。
に対して角：θin傾いた方向のＭＴＦ」を測定する状態
を示している。被検アフォーカル光学系０を図の如くセ
ットして光源ランプ１を点灯すると、放射された光はフ
ィルタ２を透過してスペクトル調整され、スリット部材
３のスリット（測定に適した幅のものが選択されてお
り、その長手方向は図１の図面に直交する方向である）
を通り、コリメートレンズ４により平行光束化されて光
源装置１０から射出し、被検アフォーカル光学系０に、
光軸に対し角：θin傾いて入射する。
【００２９】被検アフォーカル光学系０から射出した光
束は絞りＳを通過し、結像レンズ４１により一旦結像
し、拡大レンズ４３によるその拡大像が固体撮像素子５
４の受光面４５Ａに結像される。固体撮像素子４５の受
光面４５Ａと結像レンズ系との位置関係は、予め上記結
像が行なわれるように位置調整されている。この位置調
整は、図示されないビュワー（半透鏡）により結像光束
を分離して結像状態を目視もしくはモニタにより観察し
ながら行なわれる。
束は絞りＳを通過し、結像レンズ４１により一旦結像
し、拡大レンズ４３によるその拡大像が固体撮像素子５
４の受光面４５Ａに結像される。固体撮像素子４５の受
光面４５Ａと結像レンズ系との位置関係は、予め上記結
像が行なわれるように位置調整されている。この位置調
整は、図示されないビュワー（半透鏡）により結像光束
を分離して結像状態を目視もしくはモニタにより観察し
ながら行なわれる。
【００３０】固体撮像素子４５は、結像された像の光強
度分布を走査して出力し、この出力は演算手段１００
（マイクロコンピュータである）へ送られる。演算手段
１００は入力される上記「像の光強度分布」に対し以下
の演算を行なう。即ち、先ず光強度分布をＦＦＴにより
フーリエ変換する。フーリエ変換の結果は「被検アフォ
ーカル光学系と結像レンズ系との合成系のＯＴＦ」であ
る。この結果が、予め測定されて既知となっている「結
像レンズ系のＯＴＦ」で除算される。除算の結果は「被
検アフォーカル光学系のＯＴＦ」であり、このＯＴＦの
「絶対値」が求めるＭＴＦとして算出される。このよう
にして、被検アフォーカル光学系０のＭＴＦが得られ
る。
度分布を走査して出力し、この出力は演算手段１００
（マイクロコンピュータである）へ送られる。演算手段
１００は入力される上記「像の光強度分布」に対し以下
の演算を行なう。即ち、先ず光強度分布をＦＦＴにより
フーリエ変換する。フーリエ変換の結果は「被検アフォ
ーカル光学系と結像レンズ系との合成系のＯＴＦ」であ
る。この結果が、予め測定されて既知となっている「結
像レンズ系のＯＴＦ」で除算される。除算の結果は「被
検アフォーカル光学系のＯＴＦ」であり、このＯＴＦの
「絶対値」が求めるＭＴＦとして算出される。このよう
にして、被検アフォーカル光学系０のＭＴＦが得られ
る。
【００３１】アフォーカル光学系は前述の如く望遠鏡や
顕微鏡、カメラのファインダ等に用いられるから通常そ
の使用状態は「アフォーカル光学系を覗く」ことであ
る。
顕微鏡、カメラのファインダ等に用いられるから通常そ
の使用状態は「アフォーカル光学系を覗く」ことであ
る。
【００３２】図１の実施の形態において、絞りＳの配備
位置は「被検アフォーカル光学系０を覗くときの目の瞳
と同位置」に設定され（請求項３）、さらに絞りＳの
「径」は「被検アフォーカル光学系を覗くときの目の瞳
径（予め標準的な測定光強度における瞳径を実測して定
める）と同じ」に定められている。
位置は「被検アフォーカル光学系０を覗くときの目の瞳
と同位置」に設定され（請求項３）、さらに絞りＳの
「径」は「被検アフォーカル光学系を覗くときの目の瞳
径（予め標準的な測定光強度における瞳径を実測して定
める）と同じ」に定められている。
【００３３】このようにして測定を行なうと、被検アフ
ォーカル光学系０の「実使用に近い状態」でＭＴＦの測
定ができて都合が良い。一般に、「目」はものを見る場
合、見ようとするものの方向に瞳を向けている。光学系
を覗く場合も同様であり、軸外の対象物を見ようとする
ときは、瞳（絞りＳに対応する）から網膜（固体撮像素
子４５の受光面４５Ａが対応する）までを像方向に向け
て見ている。そこで、図１に示すように軸外のＭＴＦを
測定するときは、「被検アフォーカル光学系０の軸外の
対象物を見る時の目の状態」を図１のようにして再現し
ている。回転ステージ２０を図のようにＹ方向ステージ
３１に沿ってＹ方向へ移動させ（このときの移動量（Ｌ
Ｙとする）は、Ｙ方向ステージ３１の一方の側縁部３１
０に印されたスケールで知ることができる）、回転ステ
ージ２０を回転させ、光源装置１０からの平行光束が被
検アフォーカル光学系０に入射するようにする。
ォーカル光学系０の「実使用に近い状態」でＭＴＦの測
定ができて都合が良い。一般に、「目」はものを見る場
合、見ようとするものの方向に瞳を向けている。光学系
を覗く場合も同様であり、軸外の対象物を見ようとする
ときは、瞳（絞りＳに対応する）から網膜（固体撮像素
子４５の受光面４５Ａが対応する）までを像方向に向け
て見ている。そこで、図１に示すように軸外のＭＴＦを
測定するときは、「被検アフォーカル光学系０の軸外の
対象物を見る時の目の状態」を図１のようにして再現し
ている。回転ステージ２０を図のようにＹ方向ステージ
３１に沿ってＹ方向へ移動させ（このときの移動量（Ｌ
Ｙとする）は、Ｙ方向ステージ３１の一方の側縁部３１
０に印されたスケールで知ることができる）、回転ステ
ージ２０を回転させ、光源装置１０からの平行光束が被
検アフォーカル光学系０に入射するようにする。
【００３４】ガイドライン３１１と被検アフォーカル光
学系０の配備位置との距離（ＬＸとする）は一定である
ので、入射平行光束と被検アフォーカル光学系０の光軸
との成す角：θinは、ｔａｎθin＝ＬＹ／ＬＸの関係か
ら知ることができる。説明中の実施の形態において角：
θinは最大４０度まで設定可能である。
学系０の配備位置との距離（ＬＸとする）は一定である
ので、入射平行光束と被検アフォーカル光学系０の光軸
との成す角：θinは、ｔａｎθin＝ＬＹ／ＬＸの関係か
ら知ることができる。説明中の実施の形態において角：
θinは最大４０度まで設定可能である。
【００３５】一方、絞りＳの位置を中心として保持手段
４０を図２のように回転させることにより「絞りＳから
固体撮像素子４５の受光面４５Ａに到る構成」を、絞り
Ｓを中心として回転させ、被検アフォーカル光学系０か
ら射出した光束が結像レンズ系によって固体撮像素子４
５の受光面４５Ａに結像させるようにする。この状態
で、上記の如くＭＴＦの測定を行なうことにより、実使
用に近い状態で軸外のＭＴＦ測定を行なうことができ
る。
４０を図２のように回転させることにより「絞りＳから
固体撮像素子４５の受光面４５Ａに到る構成」を、絞り
Ｓを中心として回転させ、被検アフォーカル光学系０か
ら射出した光束が結像レンズ系によって固体撮像素子４
５の受光面４５Ａに結像させるようにする。この状態
で、上記の如くＭＴＦの測定を行なうことにより、実使
用に近い状態で軸外のＭＴＦ測定を行なうことができ
る。
【００３６】さて、固体撮像素子４５の出力に対してＦ
ＦＴを行なうと、図２に示す如く、フーリエ変換：Ｘ
（Ｆ）には、受光面４５Ａ上の強度分布のフーリエ変換
である「ベースバンド成分」とともに、固体撮像素子４
５における受光エレメントのピッチ：Ｔに起因して、上
記ベースバンド成分と１／Ｔだけずれた「側帯波」が現
れる。ピッチ：Ｐが大きいと、図２の横軸の１／Ｔは小
さくなり、ベースバンド成分と側帯波との重なりが大き
くなり、高空間周波数に対するＭＴＦの誤差が大きくな
る。
ＦＴを行なうと、図２に示す如く、フーリエ変換：Ｘ
（Ｆ）には、受光面４５Ａ上の強度分布のフーリエ変換
である「ベースバンド成分」とともに、固体撮像素子４
５における受光エレメントのピッチ：Ｔに起因して、上
記ベースバンド成分と１／Ｔだけずれた「側帯波」が現
れる。ピッチ：Ｐが大きいと、図２の横軸の１／Ｔは小
さくなり、ベースバンド成分と側帯波との重なりが大き
くなり、高空間周波数に対するＭＴＦの誤差が大きくな
る。
【００３７】図２に示すように、受光面４５Ａ上の強度
分布のフーリエ変換における最大の周波数をＦCとする
と、上記側帯波による誤差なしに計れる周波数範囲は、
図２の周波数：ＦL（側帯波が０となる周波数）までで
ある。従って、測定したい最高周波数をＦmaxとする
と、測定値に側帯波による誤差が入らない条件は、 Ｆmax＜ＦL＝（１／Ｔ）−ＦC （２） 即ち、 Ｔ＜１／（Ｆmax＋ＦC） （３） であることになる。
分布のフーリエ変換における最大の周波数をＦCとする
と、上記側帯波による誤差なしに計れる周波数範囲は、
図２の周波数：ＦL（側帯波が０となる周波数）までで
ある。従って、測定したい最高周波数をＦmaxとする
と、測定値に側帯波による誤差が入らない条件は、 Ｆmax＜ＦL＝（１／Ｔ）−ＦC （２） 即ち、 Ｔ＜１／（Ｆmax＋ＦC） （３） であることになる。
【００３８】周波数：ＦCは、被検アフォーカル光学系
０と結像レンズ系との「遮断周波数」で、被検アフォー
カル光学系０と結像レンズ系４１，４３との合成のＦ
値：Ｆ/ＮｏTOTALと光源装置１０から放射される光束中
の最短波長：λとを用いて、 ＦC＝１／（λ・Ｆ/ＮｏTOTAL） （４） と書ける。
０と結像レンズ系との「遮断周波数」で、被検アフォー
カル光学系０と結像レンズ系４１，４３との合成のＦ
値：Ｆ/ＮｏTOTALと光源装置１０から放射される光束中
の最短波長：λとを用いて、 ＦC＝１／（λ・Ｆ/ＮｏTOTAL） （４） と書ける。
【００３９】「Ｆ/ＮｏTOTAL」は、アフォーカル光学系
０と結像レンズ系４１，４３との合成焦点距離：ｆFF、
上記合成系の入射瞳径：ＤFF、絞りＳの絞り径：Ｄ、ア
フォーカル光学系０の倍率：Ｍ、結像レンズ系４１，４
３の焦点距離：ｆFを用いて Ｆ/ＮｏTOTAL＝ｆFF／ＤFF＝（ｆF／Ｍ）／（Ｄ／Ｍ）＝ｆF／Ｄ （５） となる。一般に、アフォーカル光学系のＭＴＦは「角度
周波数」に対して示されるから、測定したい最高角度周
波数を「Ｆmaxθ」とすると、Ｆmaxθと上記Ｆmaxとの
間には、 １／Ｆmax＝ｆF・tan(１／Ｆmaxθ） （６） 成る関係があり、式（４）〜（６）を用いると上記
（３）は、 Ｔ＜λ・ｆF・tan(１/Ｆmaxθ)／{λ＋Ｄ・tan(１/Ｆ
maxθ)} 即ち（１）式になる。従って、条件（１）満足すること
により（請求項１〜６）、上記側帯波に伴う誤差を発生
させることなく適正なＭＴＦ測定を行なうことができ
る。
０と結像レンズ系４１，４３との合成焦点距離：ｆFF、
上記合成系の入射瞳径：ＤFF、絞りＳの絞り径：Ｄ、ア
フォーカル光学系０の倍率：Ｍ、結像レンズ系４１，４
３の焦点距離：ｆFを用いて Ｆ/ＮｏTOTAL＝ｆFF／ＤFF＝（ｆF／Ｍ）／（Ｄ／Ｍ）＝ｆF／Ｄ （５） となる。一般に、アフォーカル光学系のＭＴＦは「角度
周波数」に対して示されるから、測定したい最高角度周
波数を「Ｆmaxθ」とすると、Ｆmaxθと上記Ｆmaxとの
間には、 １／Ｆmax＝ｆF・tan(１／Ｆmaxθ） （６） 成る関係があり、式（４）〜（６）を用いると上記
（３）は、 Ｔ＜λ・ｆF・tan(１/Ｆmaxθ)／{λ＋Ｄ・tan(１/Ｆ
maxθ)} 即ち（１）式になる。従って、条件（１）満足すること
により（請求項１〜６）、上記側帯波に伴う誤差を発生
させることなく適正なＭＴＦ測定を行なうことができ
る。
【００４０】次に、図１の実施の形態で、アフォーカル
光学系１が目視用の光学系（ファインダ等）である場合
（すでに説明したように、このような場合を想定して、
絞りＳを目の位置に配備している）には、光源装置１０
から放射させるべき光束の分光特性は肉眼の視感度曲線
に合わせるのがよく、その場合、前記最短波長：λは略
４００ｎｍが適切である。
光学系１が目視用の光学系（ファインダ等）である場合
（すでに説明したように、このような場合を想定して、
絞りＳを目の位置に配備している）には、光源装置１０
から放射させるべき光束の分光特性は肉眼の視感度曲線
に合わせるのがよく、その場合、前記最短波長：λは略
４００ｎｍが適切である。
【００４１】絞りＳは目の位置に設けられるから、絞り
径：Ｄは平均的な目の瞳系：略３ｍｍが適切である。固
体撮像素子として一般的なＣＣＤは、標準的なものでは
受光エレメントのピッチ：Ｔ＝１４μｍである。最高角
度周波数はファインダ等では一般に３０（本／ｄｅｇ）
が適当である。
径：Ｄは平均的な目の瞳系：略３ｍｍが適切である。固
体撮像素子として一般的なＣＣＤは、標準的なものでは
受光エレメントのピッチ：Ｔ＝１４μｍである。最高角
度周波数はファインダ等では一般に３０（本／ｄｅｇ）
が適当である。
【００４２】このような数値を条件式（１）に代入する
と、結像レンズ系の焦点距離：ｆFはｆF＞１２９ｍｍに
なる。仮に、焦点距離：１３０ｍｍのレンズのみで「結
像レンズ系」を構成し、被検アフォーカル光学系０から
の光束を、この結像レンズ系で固体撮像素子の受光面に
結像させた場合を想定してみる。
と、結像レンズ系の焦点距離：ｆFはｆF＞１２９ｍｍに
なる。仮に、焦点距離：１３０ｍｍのレンズのみで「結
像レンズ系」を構成し、被検アフォーカル光学系０から
の光束を、この結像レンズ系で固体撮像素子の受光面に
結像させた場合を想定してみる。
【００４３】この想定において、目視用のアフォーカル
光学系の視度範囲：＋２〜−４ｄｐｔでＭＴＦ測定を行
なおうとすると、結像レンズ系の後側焦点と受光面との
間の距離：ｌと、結像レンズ系の前側焦点から物体（ア
フォーカル光学系による虚像の位置）までの距離：ξ
と、結像レンズ系の焦点距離（１３０ｍｍ）：ｆFとの
間には関係： ξ・ｌ＝ｆF 2 （７） が成り立つから、視度：＋２ｄｐｔのとき、ξ＝＋５０
０ｍｍ，ｆF＝１３０ｍｍからｌ＝−３３．８ｍｍ、視
度：−４ｄｐｉのとき、ξ＝−２５０ｍｍ，ｆF＝１３
０ｍｍからｌ＝６７．６ｍｍになる。
光学系の視度範囲：＋２〜−４ｄｐｔでＭＴＦ測定を行
なおうとすると、結像レンズ系の後側焦点と受光面との
間の距離：ｌと、結像レンズ系の前側焦点から物体（ア
フォーカル光学系による虚像の位置）までの距離：ξ
と、結像レンズ系の焦点距離（１３０ｍｍ）：ｆFとの
間には関係： ξ・ｌ＝ｆF 2 （７） が成り立つから、視度：＋２ｄｐｔのとき、ξ＝＋５０
０ｍｍ，ｆF＝１３０ｍｍからｌ＝−３３．８ｍｍ、視
度：−４ｄｐｉのとき、ξ＝−２５０ｍｍ，ｆF＝１３
０ｍｍからｌ＝６７．６ｍｍになる。
【００４４】即ち、視度範囲：＋２〜−４ｄｐｔでＭＴ
Ｆ測定を行なおうとすると、視度の変化に応じて、固体
撮像素子の受光面は３３．８＋６７．６＝１０１．４ｍ
ｍ変位する必要があり、固体撮像素子の移動機構が大型
化し、このような大きな距離を精度良く変位させるには
高価なスケールが必要となる。
Ｆ測定を行なおうとすると、視度の変化に応じて、固体
撮像素子の受光面は３３．８＋６７．６＝１０１．４ｍ
ｍ変位する必要があり、固体撮像素子の移動機構が大型
化し、このような大きな距離を精度良く変位させるには
高価なスケールが必要となる。
【００４５】そこで請求項４記載のように、結像レンズ
系を「結像レンズと拡大レンズ」で構成し、被検アフォ
ーカル光学系からの射出光束を結像レンズにより一旦結
像させ、さらに拡大レンズにより拡大して固体撮像素子
に受光面に結像させるようにし、かつ、拡大レンズと固
体撮像素子とを一体として、結像レンズ系の光軸方向へ
移動可能にする（図１の形態では、拡大レンズ系４３と
固体撮像素子４５とは一体として、保持手段４０に対し
て変位するようになっている）と、結像レンズの焦点距
離を有効に縮小でき、結像レンズによる結像位置の「視
度変化に伴う変位量」を有効に小さくできるので、固体
撮像素子の変位量を有効に縮小できる。
系を「結像レンズと拡大レンズ」で構成し、被検アフォ
ーカル光学系からの射出光束を結像レンズにより一旦結
像させ、さらに拡大レンズにより拡大して固体撮像素子
に受光面に結像させるようにし、かつ、拡大レンズと固
体撮像素子とを一体として、結像レンズ系の光軸方向へ
移動可能にする（図１の形態では、拡大レンズ系４３と
固体撮像素子４５とは一体として、保持手段４０に対し
て変位するようになっている）と、結像レンズの焦点距
離を有効に縮小でき、結像レンズによる結像位置の「視
度変化に伴う変位量」を有効に小さくできるので、固体
撮像素子の変位量を有効に縮小できる。
【００４６】１例として、図１における上記拡大レンズ
４３の倍率を４倍とすると、合成焦点距離：１３０ｍｍ
の結像レンズ系を構成するには、結像レンズ４１として
焦点距離：３２．５ｍｍのものを用いれば良く、この結
像レンズ４１を用いると、前記距離：ｌは、視度：＋２
ｄｐｉに対して−２．１ｍｍ、視度：−４に対して＋
４．２ｍｍとなるから、拡大レンズ４３と一体に変位さ
せるべき固体撮像素子４５の変位量は６．３ｍｍですむ
ことに成り、変位機構を有効に小型化できると共に、精
度のよい変位が可能になる。
４３の倍率を４倍とすると、合成焦点距離：１３０ｍｍ
の結像レンズ系を構成するには、結像レンズ４１として
焦点距離：３２．５ｍｍのものを用いれば良く、この結
像レンズ４１を用いると、前記距離：ｌは、視度：＋２
ｄｐｉに対して−２．１ｍｍ、視度：−４に対して＋
４．２ｍｍとなるから、拡大レンズ４３と一体に変位さ
せるべき固体撮像素子４５の変位量は６．３ｍｍですむ
ことに成り、変位機構を有効に小型化できると共に、精
度のよい変位が可能になる。
【００４７】
【発明の効果】以上に説明したように、この発明によれ
ばアフォーカル光学系の新規なＭＴＦ測定装置を実現で
きる。
ばアフォーカル光学系の新規なＭＴＦ測定装置を実現で
きる。
【００４８】請求項１〜６記載の発明によれば、アフォ
ーカル光学系のＭＴＦを、アフォーカル光学系の性能に
拘り無く、また固体撮像素子における受光エレメントの
ピッチに起因する側帯波による誤差の発生無く、常に適
正に測定することが可能である。請求項３〜６記載の発
明によれば、目視用のアフォーカル光学系のＭＴＦを、
実使用に近い状態で所望の視度範囲にわたって測定する
ことができ、所望の視度範囲にわたるＭＴＦ測定の際の
固体撮像素子の変位量を有効に小さくできる。
ーカル光学系のＭＴＦを、アフォーカル光学系の性能に
拘り無く、また固体撮像素子における受光エレメントの
ピッチに起因する側帯波による誤差の発生無く、常に適
正に測定することが可能である。請求項３〜６記載の発
明によれば、目視用のアフォーカル光学系のＭＴＦを、
実使用に近い状態で所望の視度範囲にわたって測定する
ことができ、所望の視度範囲にわたるＭＴＦ測定の際の
固体撮像素子の変位量を有効に小さくできる。
【００４９】また請求項６記載の発明によれば、被検ア
フォーカル光学系に応じた適正な幅のスリットを選択で
きる。
フォーカル光学系に応じた適正な幅のスリットを選択で
きる。
【図１】この発明の実施の１形態を示す図である。
【図２】固体撮像素子の受光エレメントのピッチに起因
する側帯波とベースバンドとの関係を説明するための図
である。
する側帯波とベースバンドとの関係を説明するための図
である。
０ 被検アフォーカル光学系 １０ 光源装置 Ｓ 絞り ４１ 結像レンズ ４３ 拡大レンズ（結像レンズ４１とともに結像レ
ンズ系を構成する） ４５ 固体撮像素子 ４５Ａ 受光面
ンズ系を構成する） ４５ 固体撮像素子 ４５Ａ 受光面
Claims (6)
- 【請求項１】スリットを通った光束をコリメータにより
平行光束化し、この平行光束を被検アフォーカル光学系
に入射させ、上記被検アフォーカル光学系からの射出光
束を結像レンズ系により固体撮像素子の受光面に結像さ
せ、上記固体撮像素子の出力に対してＦＦＴを含む所定
の演算を行なって被検アフォーカル光学系のＭＴＦを求
める装置であって、 上記結像レンズ系の前側焦点位置に絞りを配備し、 上記光束における最短波長をλ、上記結像レンズ系の焦
点距離をｆF、上記絞りの絞り径をＤ、測定したい最大
角度周波数をＦmaxθ、撮像素子における受光エレメン
トのピッチをＴとするとき、これらが条件： Ｔ＜λ・ｆF・tan(１/Ｆmaxθ)／{λ＋Ｄ・tan(１/Ｆ
maxθ)} を満足することを特徴とするアフォーカル光学系のＭＴ
Ｆ測定装置。 - 【請求項２】最短波長：λの光を放射する光源と、この
光源からの光束を通過させるスリット部材と、このスリ
ット部材のスリットを通過した光束を平行光束化するコ
リメートレンズとを有する光源装置と、 この光源装置を保持し、ＸＹ平面内で回転可能な回転ス
テージと、 この回転ステージをＹ方向へ移動可能に保持するＹ方向
ステージと、 Ｙ方向ステージに直交し、被検アフォーカル光学系を、
その光軸がＸＹ面内でＸ方向に平行になるように保持す
るＸ方向ステージと、 受光エレメントのピッチ：Ｔを有する固体撮像素子と、 焦点距離：ｆFを有し、上記被検アフォーカル光学系か
らの射出光束を上記固体撮像素子の受光面上に結像させ
る結像レンズ系と、 この結像レンズ系の前側焦点位置に配備され、絞り径：
Ｄを有する絞りと、 上記固体撮像素子と結像レンズ系と絞りとを保持する保
持手段と、 この保持手段を上記絞りの位置を中心としてＸＹ面に直
交する軸の回りに回転可能ならしめる回転機構と、 上記固体撮像素子の出力に基づきＦＦＴを含む所定の演
算を行なって、被検アフォーカル光学系のＭＴＦを演算
算出する演算手段とを有し、 測定したい最大角度周波数：Ｆmaxθに対し、上記λ、
Ｔ、ｆF、Ｄが条件： Ｔ＜λ・ｆF・tan(１/Ｆmaxθ)／{λ＋Ｄ・tan(１/Ｆ
maxθ)} を満足することを特徴とするアフォーカル光学系のＭＴ
Ｆ測定装置。 - 【請求項３】請求項１または２記載のアフォーカル光学
系のＭＴＦ測定装置において、 絞りの配備位置を、被検アフォーカル光学系を覗くとき
の目の瞳と同位置とすることを特徴とするアフォーカル
光学系のＭＴＦ測定装置。 - 【請求項４】請求項３記載のアフォーカル光学系のＭＴ
Ｆ測定装置において、 結像レンズ系を、結像レンズと拡大レンズとで構成し、
被検アフォーカル光学系からの射出光束を上記結像レン
ズにより一旦結像させ、さらに上記拡大レンズにより拡
大して固体撮像素子の受光面に結像させるように、か
つ、上記拡大レンズと固体撮像素子とを一体として、上
記結像レンズ系の光軸方向へ移動可能としたことを特徴
とするアフォーカル光学系のＭＴＦ測定装置。 - 【請求項５】請求項４記載のアフォーカル光学系のＭＴ
Ｆ測定装置において、 絞りの絞り径：Ｄが略３ｍｍ、光源の最短波長：λが略
４００ｎｍであり、拡大レンズの倍率が４倍以上である
ことを特徴とするアフォーカル光学系のＭＴＦ測定装
置。 - 【請求項６】請求項２または３または４または５記載の
ＭＴＦ測定装置において、 光源装置の保持するスリット部材は、スリット幅の異な
る２以上のスリットを選択可能であることを特徴とする
アフォーカル光学系のＭＴＦ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8953696A JPH09281002A (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | アフォーカル光学系のｍｔｆ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8953696A JPH09281002A (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | アフォーカル光学系のｍｔｆ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09281002A true JPH09281002A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=13973545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8953696A Pending JPH09281002A (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | アフォーカル光学系のｍｔｆ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09281002A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110320009A (zh) * | 2019-06-25 | 2019-10-11 | 歌尔股份有限公司 | 光学性能检测方法及检测装置 |
-
1996
- 1996-04-11 JP JP8953696A patent/JPH09281002A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110320009A (zh) * | 2019-06-25 | 2019-10-11 | 歌尔股份有限公司 | 光学性能检测方法及检测装置 |
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