JPH09277524A - インクジェットヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 インクジェットヘッドのクロストークの発生
を防止すること。 【解決手段】 ノズル開口２、圧力発生室５２、インク
供給口５４、及びリザーバ５３が形成されたインク流路
形成部材６と、駆動信号に応答し伸縮する縦振動モード
の圧電振動子４６を一定ピッチで列状に配置し、圧電振
動子４６の不活性部ＬＢの第一の面を圧電振動子支持板
に固定してなる振動子ユニットと、インク流路形成部材
６と振動子ユニットを固定するケース８からなり、圧力
発生室５２を圧電振動子４６により膨張、収縮させてイ
ンク滴を吐出させるインクジェットヘッドの、圧電振動
子４６の不活性部ＬＢの第一の面の反対側の第二の面と
ケース８との間に位置し、圧電振動子４６の不活性部Ｌ
Ｂの第二の面とケース８とを接着固定する支持ユニット
６２を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧力発生室の一方
の面に振動板を形成し、この振動板に縦振動型圧電振動
子を取り付け、圧電振動子を伸縮させることにより圧力
発生室を膨張、収縮してインク滴を発生させるインクジ
ェットヘッドとその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】圧電振動子は、他の機械式アクチュエー
タに比較して小型、軽量でしかも高速応答が可能なた
め、いろいろの分野で駆動素子として使用されている。

【０００３】例えば、特開平4-366643号公報や米国特許
第5,453770号明細書に示されたような縦振動モードの圧
電振動子をインクジェットヘッドの駆動素子に使用する
と、圧電振動子と振動板との当接面積を極めて小さくで
きるため、１８０ＤＰＩ以上の解像度を実現できる。

【０００４】圧電振動子を使用したインクジェットヘッ
ドは例えば特開平7-132597号公報にあり、その概要を図
１２に示し説明する。ノズル開口１０１、１０１が形成
されたノズルプレート１０２と、圧力発生室１０５、１
０５やインク供給口、リザーバを区画するスペーサ１０
３、１０３．．．、圧電振動子１１０、１１０により変
形されて圧力発生室１０５、１０５を膨張収縮させる振
動板１０４を接着し一体化したインク流路構成部材１０
６と圧電振動子ユニット１１２、１１２をケース１２
０、１２０に接着することで構成されていて、圧電振動
子１１０、１１０を印字信号に一致させて伸縮させて圧
力発生室体積を拡大、縮小させることにより圧力発生室
へインクを吸引、インク滴吐出の動作を連続的に行うこ
とができる。このような圧電振動子を使用したインクジ
ェットヘッドは、電極と圧電振動材料を積層して構成さ
れた縦振動モードの積層圧電振動子を使用することによ
り、その伸縮により発生する単位面積あたりの応力およ
び単位駆動電圧による伸縮量を大きくできるので、圧電
振動子と振動板との当接面積を極めて小さくでき、ノズ
ル列あたり１８０ＤＰＩの高解像度のインクジェットヘ
ッドを実現できる。

【０００５】このような高い解像度のインクジェットヘ
ッドには、例えば、長さ５ミリ、幅７０μｍ、厚さ０．
５ｍｍ程度の圧電振動子をピッチ０．１４ミリメートル
で圧電振動子を支持板に配置してなる圧電振動子ユニッ
トが組み込まれている。この圧電振動子ユニットは、圧
電材料、電極材料を交互に複数積層して焼結により形成
された圧電振動板を、一方の表面に電極を形成し、その
一端を基台に片持梁状に固定して所定のピッチ、例えば
０．１４ｍｍでダイシングソウやワイヤソーなどにより
短冊状に切分けることにより製作されている。

【０００６】一般的なインクジェットヘッドでは１走査
で３６０ＤＰＩの記録密度の印字を行うために前記の圧
電振動子ユニットを図１２のように対向する形で２つ組
み込まれている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このような構造をもつ
インクジェットヘッドでは圧電振動子１１０が駆動信号
に応じて縮んだ場合、振動板に加わる下向きの応力１３
０、１３０によりインク流路構成部材の中央部が変形
し、ケース中央部材１２１に下向きの応力１３１が加わ
り変形することになる。この変形は実質的に圧電振動子
の変位量を減少する方向に働く、またこの変形は、駆動
する圧電振動子の本数が多いほど大きくなるので、吐出
するノズル数により、吐出状態（インク滴のインク重量
や、吐出するインク速度）が変化してしまう、いわゆる
インク吐出のクロストークを発生する原因となる。この
ケース中央部材１２１はインク流路構成部材１０６の変
形を最小限にするために出来るだけ幅を大きくしてある
が、高速印字のために多ノズル化し、例えば２５６ノズ
ルや５１２ノズルといった大型のインクジェットヘッド
を製造した場合、従来の構造ではケース中央部材１２１
の梁の長さが長くなるため、その中央部でのインク流路
構成部材１０６の変形量は極端に大きくなって、許容ク
ロストーク量を越えてしまう。またケース中央部材１２
１の幅を許容クロストークを満足出来るほど大きくした
場合、ケース中央部材１２１の幅の増大はそのままイン
クジェットヘッドの幅を大きくすることであり、特に３
色から４色のインクを使うカラーインクジェットプリン
ターの場合ではインクジェットヘッドが非常に大きくな
ってしまう。またケース中央部材１２１の幅が広がるに
伴いノズル１０１、１０１のノズル列の間隔が広くな
る。このノズル列の間隔の増大はインクジェットヘッド
の傾きによるインクの着弾位置のずれ量を拡大するた
め、インクジェットヘッドのプリンター本体への固定精
度の要求水準が高くなる。また、ノズル列間が離れるだ
けその印字タイミングをずらすために必要なメモリー量
も増大するため、プリンター全体のコストを引き上げる
ことにもなってしまう。

【０００８】本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであって、その目的とするところは、ヘッドの幅
や、ノズル列の間隔を従来どうりとしながら、クロスト
ークの発生原因であるインク流路構成部材の変形を抑制
することで、インク吐出のクロストークを防止し、２５
６ノズルを越える大型のインクジェットヘッドを提供す
ることである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明のインクジェットヘッドにおいては、ノ
ズル開口、圧力発生室、インク供給口、及びリザーバが
形成されたインク流路形成部材と、駆動信号に応答し伸
縮する縦振動モードの圧電振動子を一定ピッチで列状に
配置し、前記圧電振動子の不活性部の第一の面を圧電振
動子支持板に固定してなる振動子ユニットと、前記イン
ク流路形成部材と前記振動子ユニットを固定するケース
からなり、前記圧力発生室を前記圧電振動子により膨
張、収縮させてインク滴を吐出させるインクジェットヘ
ッドにおいて、前記圧電振動子の不活性部の第一の面と
平行な第二の面と前記ケースとの間に位置し、前記圧電
振動子の不活性部の第二の面と前記ケースとを接着固定
する支持ユニットを有する構造とした。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下に本発明の詳細を図示した実
施例に基づいて説明する。図１は、本発明のインクジェ
ットヘッドの一実施例の概要を示すものであって、図中
符号１はノズルプレートで、所定のピッチ、例えば１８
０ＤＰＩとなるようにノズル開口２、２、２‥‥が穿設
されている。

【００１１】４は、前述のノズルプレート１と振動板５
との間に挟まれるスペーサで、ノズル開口に連通するよ
うに圧力発生室、リザーバ、これらを接続するインク供
給口を区画するための通孔が形成されており、これら３
者を一体に接着してインク流路形成部材６が構成され
る。

【００１２】７、７、７‥‥は、圧電振動子ユニット
で、ケース８の振動子ユニット収容孔９、９、９‥‥
に、自由端が流路形成部材６の振動板５に当接するよう
に挿入されて、枠体３により一体に纏められ、インクジ
ェットヘッドに構成されている。

【００１３】図２は、本発明のインクジェットヘッドの
圧電振動子ユニットの一実施例を示すものであって、図
中符号２０は、圧電振動子で、圧電材料層２２と電極層
２３、２４とを交互に複数積層して、その先端側だけが
伸縮する活性部ＬＡと、振動に寄与しない不活性部ＬＢ
とが形成されている。

【００１４】２５は、振動子支持板で、これの表面に形
成された薄膜電極層２６を介して接着剤により圧電振動
子２０、２０、２０‥‥の不活性部ＬＢが固定されてい
る。このように接着剤により圧電振動子と固定された振
動子支持板２６は、圧電振動板を切分ける際に、圧電振
動子２０、２０、２０‥‥と同一のピッチで電極層２６
を貫通して振動子支持板２５に至る深さのスリット２
７、２７、２７‥‥が形成され、電極層２６が駆動電極
２８、２８、２８‥‥と、共通電極２９、２９とに分割
される。

【００１５】３０は、振動子支持板２５の他方の面に接
着剤により固定された基台で、振動子２０、２０、２０
‥‥の先端側が振動子支持板２５よりΔＬだけ突出する
ようにその長さが選択されている。３１は、共通電極接
合部材で、圧電振動子２０、２０、２０‥‥の表面に形
成された電極とそれぞれ並列に接続され、その端部が振
動子支持板２５の共通電極２９、２９に接続されてい
る。駆動電極２８、２８、２８‥‥と共通電極２９、２
９はＦＰＣ等により駆動ＩＣ回路（図示せず）に接続さ
れている。

【００１６】このような電極構造を採ることにより、共
通電極２９と、駆動電極２８、２８、２８‥‥とに駆動
信号を印加すると、選択された圧電振動子２０だけが伸
縮し、圧力発生室を収縮、膨張させることになる。

【００１７】図３は、圧電振動板の製造方法の一実施例
を示すものであって、基盤３３の表面に圧電振動材料を
粘土状にした、いわゆるグリーンシート３４を固定し
（ａ）、これの表面に一方の極となる電極層３５を形成
する（ｂ）。ついで電極層３５とグリーンシート３４と
の段差３６を埋めるようにしてグリーンシート３７を積
層し、これの表面に他方の極となる電極層３８を形成す
る（ｃ）。以下、このような工程を必要な層数となるま
で繰返す。

【００１８】グリーンシート３４、３７を所定の乾燥度
まで乾燥させた後、圧力を加えながら焼成することによ
り所定厚、所定層数の圧電振動板を得ることができる。

【００１９】このように構成した圧電振動板４０の先端
面４０ａ、及び裏面に電極層４１を形成して電極層３５
を並列に接続し、また後端面４０ｂ、及び表面の不活性
領域Ｌｂとなる部分に電極層４２を形成して圧電振動子
４０の電極３８、３８、３８‥‥を並列に接続する（図
４（ａ））。

【００２０】切分けられて駆動電極となる電極層４１
と、表面に電極層４３が形成された快削性材料、たとえ
ば圧電振動子と同様な圧電材料、ガラスなどで形成され
た振動子支持板４４に導電性接着剤により固定する
（ｂ）。そして振動子支持板４４の他方の面には、圧電
振動子支持板４４よりも剛性の高い材料、例えば炭素治
具鋼、不錆鋼や軟鉄、亜鉛ダイキャスト材、高剛性セラ
ミック材等により形成され、先端４５ａが圧電振動子支
持板４４の先端４４ａよりも圧電振動子４０の先端面４
０ａ側に突出する基台４５を接着剤により固定する
（ｃ）。なお、基台４５と圧電振動子支持板４４との接
合後に、圧電振動板４０を固定した方が、振動板４０を
保護する上からは好ましい。

【００２１】この状態で、基台４５を、ダイシングソウ
やワイヤソウ等の切断装置のベッドに取り付けて、圧電
振動板４０の先端面４０ａから後端面４０ｂに向けて所
定のピッチ、例えば１４０μｍで切断を開始する。この
切断の工程で、切削領域が振動子支持板４４にまで進む
と、刀具が振動子支持板４４に接触するが、振動子支持
板４４は快削性材料により構成されているため、刀具は
圧電振動板４０だけを切断していた場合と何等変りなく
ほぼ同一の負荷状態で切断動作を継続する。このように
して圧電振動板４０の切断が終了した後もさらに同一の
高さを保って圧電振動子支持板４４の他端まで切断作業
を継続する。これにより、圧電振動板４０は、所定のサ
イズの圧電振動子４６に切分けられ、また電極層４３が
共通電極４７と、圧電振動子４６の駆動電極４８とにス
リット４９で分離される（ｄ）。

【００２２】このような切断作業を刀具もしくは基台４
５を所定ピッチずらせて所定回数実行すると、圧電振動
板４０が必要な本数の圧電振動子４６に分離され、また
電極層４３が圧電振動子４６、４６、４６‥‥に対応し
てスリット４９、４９、４９により分離される。この段
階で切分けられてしまった電極層４２の表面を共通電極
接合部材５０により接続して、その両端を圧電振動子支
持板４４の共通電極４７、４７に導電関係を維持させて
固定することにより、基台４５に固定された振動子ユニ
ット５１ができあがる。

【００２３】図５は本発明の実施例のインクジェットヘ
ッドの特徴となる支持ユニット６２の構造を示す図であ
る。支持ユニットは圧電振動子に接着される振動子ユニ
ット支持板６０とケース中央部材に接着される支持基台
６１の２枚の板材を接着して形成されている。振動子ユ
ニット支持板の端面６０ａは圧電振動子と接着されたと
きに振動子支持板４４ａ（図４（ｃ））の端面と振動子
の先端からの距離が同じくなるように寸法が調整されて
いる。振動子ユニット支持板および支持基台は圧電振動
子よりも剛性の高い材料が好ましく、例えば炭素治具
鋼、不錆鋼や軟鉄、亜鉛ダイキャスト材、高剛性セラミ
ック材等の基台４５と同様の材料により形成される。図
５の実施例では２枚の板材を接着する事で支持ユニット
を実現しているが、接着によらず例えばセラミクス材を
用いて、２枚のグリーンシートを焼成して形成すること
も、また射出形成等によりに一体で形成することも可能
である。

【００２４】このように構成された振動子ユニット５１
と支持ユニット６２は、図６に示したように一端にノズ
ルプレート、スペーサ、及び振動板からなるインク流路
形成部材６が取り付けられたケース８の、ユニット収容
孔９、９に圧電振動子ユニット５１と支持ユニット６２
を落とし込む。このとき振動子ユニットの基台４５と支
持ユニットの支持基台と圧電振動子のインク流路構成部
材６側の端面ａにはあらかじめ接着剤を塗布してあり、
図７に示したように圧電振動子４６、４６の先端が、振
動板５の、インク流路構成部材６に形成されている圧力
発生室５２、５２に対向する位置に当接し、接着され、
また基台および支持基台の端面ａはケースおよびケース
中央部材にあらかじめ形成してある端面ｂと当接し、接
着固定される。

【００２５】振動子ユニット５１と支持ユニット６２の
ケース８およびケース中央部材１０への接着が行われた
後に圧電振動子４６、４６と支持ユニット６２、６２の
振動子ユニット支持板との間のギャップに後端ｃから低
粘度接着材を流し込み、毛細管現象を利用してギャップ
へ接着材を充填し接着を行う。このようにして接着を行
うことにより、切り分けられた圧電振動子の間に不必要
な接着剤が流れ込むことなく圧電振動子の不活性部と支
持ユニットを接着することができる。ただし、圧電振動
子と振動子ユニット支持板の間のギャップの量はあらか
じめ組み立て可能な最少な量とし、特に前述の切断によ
り生じた振動子間の距離より小さくしておく必要があ
る。また、使用する低粘度の接着材の粘度も不必要箇所
に流れ込まないよう最適な粘度に調整する必要がある。

【００２６】この状態で、共通電極４７と駆動電極４８
（図４（ｅ））とに図８に示したような台形波の印字信
号を印加すると、その立ち上がりにより圧電振動子４６
が縦方向に収縮する。これにより圧力発生室５２が拡大
してリザーバ５３からインク供給口５４を経由してイン
クが流れ込む。時間ａが経過した時点で、最大電圧、こ
の実施例では３０Ｖを所定時間ｂの期間維持してメニス
カスが所定位置に到達した段階で、時間ｃで立ち下げる
と、圧電振動子４６が伸長する。これにより圧力発生室
５２が収縮してインク滴がノズル開口２から吐出され
る。以下、このような工程を繰返すことにより印字デー
タに一致したインク滴によるドットを形成することがで
きる。

【００２７】本実施例の構成では、圧電振動子４６が伸
長、収縮した場合、圧電振動子がケースとケース中央部
材の両側から保持されているため、従来の構造のように
ケース中央部材上のインク流路構成部材は変形すること
がなく、圧電振動子の変位は圧力室体積の収縮、膨張の
ために効率よく使われる。このため、従来例で問題とな
ったクロストークの発生を防止することができる。特に
印字の高速化のためにノズル数を増加させた場合でも、
本実施例の構造ではノズル位置によらず全ての圧電振動
子がケースおよびケース中央部材の両側から支持されて
いるので、圧電振動子の幅を長尺化する事でクロストー
クが増大するといった従来例の問題点を解消することが
できる。

【００２８】また従来例ではインク流路構成部材中央部
の剛性を確保するために、ケース中央部材はできるだけ
幅をもつ必要があった。しかし、本実施例の場合にはそ
の役割を支持ユニットの支持基台が行い、また支持基台
には従来ケース中央部材に用いていた液晶ポリマー等よ
りも剛性の高い材料を用いることができるので、ケース
中央部材の幅は支持ユニットを接着しうる最小限の厚さ
とする事ができる。

【００２９】さらに、従来の構成では振動子ユニットを
ケースに接着する際には基台の端面の接着とさらに基台
背面の接着が不可欠であった。それは圧電振動子が一方
の面からのみ支持されているため、圧電振動子が縮んだ
際に基台をケースから引きはがす回転応力が働くためで
ある。しかし本実施例の構造では振動子は両面から支持
されているため、回転応力は働かず、従来必要不可欠で
あった背面接着を省略することが可能となる。

【００３０】図９は本発明の実施例のインクジェットヘ
ッドの第２の実施例を示す断面図である。７１がケース
中央部材、７２が支持ユニットである。

【００３１】本実施例では第１の実施例で２個使用して
いた支持ユニットを１体化したものである。部品点数が
減少するため組み立て工程が簡略化でき、またケース中
央部により剛性の高い材料を使用することになるためノ
ズル列間の距離を従来より狭くする事も可能となる。

【００３２】図１０は本発明の実施例のインクジェット
ヘッドの第３の実施例を示す断面図である。８１がケー
ス中央部材、８２、８２が支持ユニット、８３がインサ
ート材である。この実施例の支持ユニット８２、８２
は、第１の実施例における振動子ユニット支持板からだ
けなってる。この実施例の構成ではケース中央部材８１
側の剛性がケース８側に比べて劣るため、ケース中央部
材８１のなかに剛性の高いインサート材８３例えば炭素
治具鋼、不錆鋼や軟鉄、亜鉛ダイキャスト材、高剛性セ
ラミック材等を挿入することで剛性のバランスをとって
いる。ただしインサート材８１を用いずとも圧電振動子
は両面から保持されているので、それだけでも従来の構
造よりクロストークを減少する事ができる。また第１、
２の実施例に比べ支持ユニットの形状も単純な板形状と
できるメリットがある。

【００３３】図１１は本発明の実施例のインクジェット
ヘッドの第４の実施例を示す断面図である。９１がケー
ス中央部材である。この実施例ではこれまでの実施例で
支持ユニットとして独立した部品となっていた部分をケ
ース中央部材９１の形状を工夫することで一体化して実
現している。この場合はケース中央部材と圧電振動子が
直接接着されることになる。

【００３４】以上の実施例では主に振動子ユニットを２
個使い、ノズル列を２つ持つ構造のインクジェットヘッ
ドの説明をしているが、振動子ユニット１個の構造、３
個以上を使う構造のインクジェットヘッドでも同様の方
法でクロストーク防止の効果が得られる。

【００３５】

【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、本発明のインクジェットヘッドにおいては、ノズル
開口、圧力発生室、インク供給口、及びリザーバが形成
されたインク流路形成部材と、駆動信号に応答し伸縮す
る縦振動モードの圧電振動子を一定ピッチで列状に配置
し、前記圧電振動子の不活性部の第一の面を圧電振動子
支持板に固定してなる振動子ユニットと、前記インク流
路形成部材と前記振動子ユニットを固定するケースから
なり、前記圧力発生室を前記圧電振動子により膨張、収
縮させてインク滴を吐出させるインクジェットヘッドに
おいて、前記圧電振動子の不活性部の第一の面と平行な
第二の面と前記ケースとの間に位置し、前記圧電振動子
の不活性部の第二の面と前記ケースとを接着固定する支
持ユニットを有する構造とすることで、インク流路構成
部材の変形を抑制し、クロストークの発生を防止でき
る。また、この構造をとることにより従来インク流路構
成部材の変形を抑制していたケース中央部材より剛性の
高い材料を支持ユニットとして使用できるため、ケース
中央部材の厚さが薄くなり、ヘッド外形を小型化できる
と言うメリットもある。さらに本発明の構成ではヘッド
の多ノズル化のため、長尺の幅の振動子ユニットを使用
してもクロストークの増加を招かないので、記録密度３
６０ＤＰＩで２５６ノズル、５１２ノズルといった大型
のヘッドの製造を実質的に可能とすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のインクジェットヘッドの一実施例を示
す分解斜視図である。

【図２】圧電振動子ユニットの一実施例を示す斜視図で
ある。

【図３】（ａ）乃至（ｃ）は、それぞれ圧電振動板の製
作工程を示す図である。

【図４】（ａ）乃至（ｅ）は、それぞれ振動子ユニット
の製造工程を示す図である。

【図５】本発明のインクジェットヘッドの支持振動子ユ
ニットの一実施例を示す図である。

【図６】インクジェットヘッドを構成するケースに圧電
振動子ユニットと支持ユニットを組み込む工程を示す図
である。

【図７】本発明のインクジェットヘッドの一実施例を示
す断面図である。

【図８】圧電振動子駆動信号の一例を示す線図である。

【図９】本発明のインクジェットヘッドの第二の実施例
を示す断面図である。

【図１０】本発明のインクジェットヘッドの第三の実施
例を示す断面図である。

【図１１】本発明のインクジェットヘッドの第四の実施
例を示す断面図である。

【図１２】従来例のインクジェットヘッドを示す断面図
である。

【符号の説明】

１ ノズルプレート ２ ノズル開口 ６ インク流路構成部材 ７ 圧電振動子ユニット ８ ケース ９ 圧電振動子ユニット収容孔 １０ ケース中央部材 ２０ 圧電振動子 ２５ 圧電振動子支持板 ２７ スリット ６２ 支持ユニット

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノズル開口、圧力発生室、インク供給
   口、及びリザーバが形成されたインク流路形成部材と、
   駆動信号に応答し伸縮する縦振動モードの圧電振動子を
   一定ピッチで列状に配置し、前記圧電振動子の不活性部
   の第一の面を圧電振動子支持板に固定してなる振動子ユ
   ニットと、前記インク流路形成部材と前記振動子ユニッ
   トを固定するケースからなり、前記圧力発生室を前記圧
   電振動子により膨張、収縮させてインク滴を吐出させる
   インクジェットヘッドにおいて、前記圧電振動子の不活
   性部の第一の面と反対側の第二の面と前記ケースとの間
   に位置し、前記圧電振動子の不活性部の第二の面と前記
   ケースとを接着固定する支持ユニットを有するインクジ
   ェットヘッド。
2. 【請求項２】 前記支持ユニットと前記振動子ユニット
   は前記インク流路形成部材と相対する面で前記ケースと
   接着固定する請求項１記載のインクジェットヘッド。
3. 【請求項３】 前記支持ユニットの前記圧電振動子と隣
   接する前記圧電振動子先端側の端面の位置が前記圧電振
   動子の活性部と不活性部の境界と一致している請求項１
   記載のインクジェットヘッド。
4. 【請求項４】 前記支持ユニットと前記振動子ユニット
   を前記ケースに接着固定した後に、前記圧電振動子と前
   記支持ユニットのギャップに低粘度接着剤を毛細管現象
   により充填し、前記支持ユニットと前記圧電振動子を接
   着する請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方
   法。
5. 【請求項５】 ノズル開口、圧力発生室、インク供給
   口、及びリザーバが形成されたインク流路形成部材と、
   駆動信号に応答し伸縮する縦振動モードの圧電振動子を
   一定ピッチで列状に配置し、前記圧電振動子の不活性部
   の第一の面を圧電振動子支持板に固定してなる振動子ユ
   ニットと、前記インク流路形成部材と前記振動子ユニッ
   トを固定するケースからなり、前記圧力発生室を前記圧
   電振動子により膨張、収縮させてインク滴を吐出させる
   インクジェットヘッドにおいて、 前記圧電振動子の不活性部の第一の面の反対側の第二の
   面前記ケースとを接着固定する支持ユニットを有するイ
   ンクジェットヘッド。
6. 【請求項６】 前記支持ユニットが、炭素治具鋼、不錆
   鋼、軟鉄、亜鉛ダイキャスト材、セラミクスのいずれか
   または組み合わせにより構成されている請求項１のイン
   クジェットヘッド。
7. 【請求項７】 ノズル開口、圧力発生室、インク供給
   口、及びリザーバが形成されたインク流路形成部材と、
   駆動信号に応答し伸縮する縦振動モードの圧電振動子
   と、前記圧電振動子の不活性部の一方の面が、快削性を
   有する圧電振動子支持板に一定ピッチで列状に配置固定
   されてなる振動子ユニットと、前記インク流路形成部材
   と前記振動子ユニットをケースに固定し、前記圧力発生
   室を前記圧電振動子により膨張、収縮させてインク滴を
   吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記圧電振
   動子の不活性部の他の面と前記ケースとを接着固定する
   インクジェットヘッド。