JPH09276680A - 乳化液生成方法及び装置 - Google Patents

乳化液生成方法及び装置

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JPH09276680A
JPH09276680A JP11821296A JP11821296A JPH09276680A JP H09276680 A JPH09276680 A JP H09276680A JP 11821296 A JP11821296 A JP 11821296A JP 11821296 A JP11821296 A JP 11821296A JP H09276680 A JPH09276680 A JP H09276680A
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JP
Japan
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mixed liquid
circular gear
pump
liquid
reciprocating
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JP11821296A
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Inventor
Hirosuke Kawaguchi
宏祐 川口
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Maruyama Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Maruyama Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ノズル装置38の衝突溝114において、混合液2
4を高速、高圧で相互に衝突させて、乳化液46を生成す
る乳化液生成装置10において、単連プランジャポンプ18
の高圧化及び衝突溝114の細径化を緩和する。 【解決手段】 単連プランジャポンプ18は、モータ16か
らの一様回転を駆動側非円形歯車230及び被駆動側非円
形歯車232により変動回転へ変換して、クランク軸212を
回転駆動するものとする。駆動側非円形歯車230及び被
駆動側非円形歯車232における回転変換により、プラン
ジャ234は、吐出行程の移動速度を速められ、混合液24
の吐出力を増大される。一方、単連プランジャポンプ18
から間欠吐出される混合液24は、調圧装置により調圧さ
れることなく、送出力の変動を維持したまま、ノズル装
置38へ供給され、衝突溝114において相互に衝突し合
う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、混合液を相互に
衝突させて乳化液を生成する乳化液生成方法及び装置に
係り、詳しくは圧送ポンプの大型化及び混合液衝突部の
細径化を緩和できる乳化液生成方法及び装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】2個の混合液噴流を正反対方向から相互
に衝突させて、乳化液を生成する従来の乳化液生成装置
では、ポンプの吐出側に調圧装置を設け、この調圧され
た混合液を相互に衝突させている。
【0003】相互に衝突させる混合液噴流の速度は音速
以上を必要とするので、例えば、乳化液の生成量を3.
0リットル/minとする場合、衝突時の混合液の圧力及
び混合液衝突通路の径はそれぞれ例えば約2000kgf
/平方cm、0.26mmとなる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の乳化液生成装置
では、混合液の所定の衝突力を確保する場合、混合液衝
突通路を細径化するか、ポンプを超高圧化しなければな
らない。混合液衝突通路は、サファイヤやダイヤモンド
等の超硬質材に加工して、形成するので、細径化はコス
トの増大に繋がる。また、調圧装置は、高圧のために、
弁の磨耗による損傷が速まり、寿命が低下する。
【0005】この発明の目的は、上述の問題点を克服す
る乳化液生成方法及び装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明の乳化液生成方
法によれば、往復ポンプ(18)の間欠吐出力がそのまま混
合液衝突部(114)へ伝わるように、往復ポンプ(18)から
混合液衝突部(114)へ混合液(24)を供給し、混合液衝突
部(114)において混合液(24)を相互に衝突させ、乳化液
(46)を生成する。
【0007】往復ポンプ(18)は、その間欠的な吐出行程
において混合液(24)を吐出するので、混合液(24)は往復
ポンプ(18)から間欠的に吐出されることになる。この間
欠吐出された混合液(24)は、調圧装置により調圧される
ことなく、往復ポンプ(18)からの送出力を維持したま
ま、混合液衝突部(114)へ供給されて、混合液衝突部(11
4)において相互に衝突し、これにより、乳化液(46)が生
成される。この乳化液生成方法では、混合液(24)は、往
復ポンプ(18)からの混合液(24)の強い圧送力のまま、衝
突することになるので、混合液(24)の衝突力が高まり、
結果、ポンプの高圧化及び混合液衝突通路の細径化を緩
和できる。
【0008】この発明の乳化液生成装置(10)は次の
(a)及び(b)の要素を有している。 (a)混合液(24)を間欠的に吐出する往復ポンプ(18) (b)往復ポンプ(18)の間欠吐出力をそのまま伝えられ
つつ往復ポンプ(18)から混合液(24)を供給されこの供給
された混合液(24)を相互に衝突させて乳化液(46)を生成
する混合液衝突部(114)
【0009】混合液(24)は、往復ポンプ(18)の間欠的な
吐出行程に従って、往復ポンプ(18)より間欠的に吐出さ
れる。混合液(24)は、往復ポンプ(18)からの吐出力、特
にピーク時の吐出力を、調圧装置によりカットされるこ
となく、ほぼ維持されたまま、混合液衝突部(114)へ供
給されて、混合液衝突部(114)において衝突し、乳化液
(46)となる。この乳化液生成装置(10)では、混合液(24)
は、往復ポンプ(18)からの混合液(24)の強い圧送力のま
ま、衝突することになるので、混合液(24)の衝突力が高
まり、結果、ポンプの高圧化及び混合液衝突通路の細径
化を緩和できる。
【0010】この発明の他の乳化液生成装置(10)によれ
ば、往復ポンプ(18)においてポンプ室(246)の容積を増
減する往復動部材(234)は、吐出行程の移動速度を吸入
行程の移動速度より速められるように、往復駆動され
る。
【0011】往復ポンプ(18)は、吐出行程及び吸入行程
における往復動部材(234)の移動速度を相互に等しくさ
れることなく、吐出行程では吸入行程より往復動部材(2
34)の移動速度を増大させられる。これにより、往復ポ
ンプ(18)からの混合液(24)の吐出力は一層増大し、混合
液衝突部(114)における混合液(24)の衝突力をさらに増
大することができる。一方、吸入行程の期間の増大によ
り、往復ポンプ(18)への混合液(24)の吸引効率を高める
ことができる。
【0012】この発明の他の乳化液生成装置(10)によれ
ば、往復動部材(234)は、吸入行程中間範囲の移動速度
を等速化されて、往復駆動される。
【0013】吸入行程中の往復動部材(234)の移動速度
の等速化により、すなわち、往復動部材(234)の移動速
度の変動が抑制されることにより、往復ポンプ(18)の混
合液(24)の吸引効率を高めることができる。
【0014】この発明の他の乳化液生成装置(10)によれ
ば、さらに、往復動部材(234)は、移動速度を増大させ
る期間を吐出行程中にもつように、往復駆動される。
【0015】往復ポンプ(18)の往復動部材(234)が、吐
出行程中、移動速度を増大させる結果、この期間では、
混合液衝突部(114)における混合液(24)は、衝突力を増
大しつつ、衝突し合うことになる。このように、衝突力
を増大しつつ混合液(24)の衝突は、衝突力を等しくした
ままの混合液(24)の衝突に比して、乳化液(46)の生成状
態を良好にさせる。
【0016】この発明の他の乳化液生成装置(10)によれ
ば、さらに、往復動部材(234)は、相互にかみ合う駆動
側非円形歯車(230)及び被駆動側非円形歯車(232)を経
て、動力を受け、駆動側非円形歯車(230)及び被駆動側
非円形歯車(232)は、往復動部材(234)が設定された移動
速度となるように、周輪郭を設定されている。
【0017】駆動側非円形歯車(230)及び被駆動側非円
形歯車(232)の周輪郭の変更は駆動側非円形歯車(230)及
び被駆動側非円形歯車(232)における回転速度の変換パ
ターンを変更する。こうして、駆動側非円形歯車(230)
及び被駆動側非円形歯車(232)の周輪郭を適切に設定し
て、往復動部材(234)の所望の移動速度を達成できる。
【0018】この発明の他の乳化液生成装置(10)によれ
ば、さらに、駆動側非円形歯車(230)は、回転速度を調
整自在である原動機(16)により回転駆動される。
【0019】駆動側非円形歯車(230)及び被駆動側非円
形歯車(232)の周輪郭により決まる所定の回転速度変換
パターンにおいて、原動機(16)の回転速度を増減する
と、吐出行程及び吸入行程時の往復動部材(234)の移動
速度が変化し、混合液衝突部(114)における混合液(24)
の衝突圧も変化する。こうして、原動機(16)の回転速度
の変更により混合液(24)の衝突圧を適宜調整できる。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明を
説明する。図1は乳化液生成装置10の全体の構成図であ
る。インバータ制御起動盤12は、交流電源14から一定の
交流電力を供給され、モータ16のインバータの制御を介
してモータ16の回転速度を調整しつつ、モータ16を回転
駆動する。単連プランジャポンプ18(単連往復ポンプと
は、クランク軸を共通として例えば3個のポンプ部が駆
動される三連往復ポンプ等の複連往復ポンプに対比した
用語として使用しており、クランク軸1個に対してポン
プ部が1個のものを言う。)は、ベルト20を介してモー
タ16から伝達されて来る回転動力により運転される。原
料タンク22は、混合液24貯留するとともに、貯留してい
る混合液24を撹拌する翼式撹拌機26を装備する。単連プ
ランジャポンプ18は、原料タンク22内の混合液24を、開
閉コック28及び吸入管30を介して、吸入し、吐出管32へ
吐出する。安全弁34は、吐出管32内の液圧が許容値を超
えたとき、開いて、吐出管32内の混合液24を、バイパス
ホース36を介して原料タンク22へ戻す。ノズル装置38
は、分岐管40を介して2つに等分配されて吐出管32から
送られて来る混合液24の供給を受ける。混合液24は、ノ
ズル装置38内で乳化処理されて、乳化液46となり、この
乳化液46は、ノズル装置38から送液管42を経て貯留タン
ク44へ導かれ、貯留タンク44に貯留される。開閉コック
48は、貯留タンク44の下側に配設され、貯留タンク44内
の乳化液46を貯留タンク44から導出する際に、開かれ
る。
【0021】図2はノズル装置38の縦断面図である。受
けブロック60及びノズルライナケース62は、端面同士を
相互に当てられ、外筒64内に嵌挿される。2個の供給ノ
ズル66はノズルライナケース62とは反対側から受けブロ
ック60に挿入される。フロントライナ70及びバックライ
ナ72は、それぞれ奥側及び入口側となるように、受けノ
ズルライナケース62内へブロック60とは反対側から嵌挿
される。押さえブロック74は、ノズルライナケース62内
へボス部を嵌挿しつつ、フランジ部をノズルライナケー
ス62の端に当てて、フロントライナ70及びバックライナ
72をノズルライナケース62内へ押し込む。ナット76,78
は、外筒64の両端部外周部に螺合し、外筒64内の受けブ
ロック60等の嵌挿物が外筒64から抜けるのを阻止してい
る。ノズル装置38は、分岐管40へ接続される2個の供給
口100と、送液管42へ接続される1個の排出口102を、そ
れぞれ供給ノズル66及び押さえブロック74において備
え、各Oリング104は、外筒64内の受けブロック60の嵌
挿物の各接合部に介在し、それらの接合部におけるシー
ルを行っている。各軸方向通路106は、各供給口100の中
心線に沿って各供給口100から延び、連絡通路108は、軸
方向通路106の上流端同士を相互に接続している。2個
の通孔110は、相互に平行にノズルライナケース62の端
壁の中央部に穿設され、その端壁を貫通している。
【0022】図3はフロントライナ70及びバックライナ
72の接触状態の詳細図、図4はフロントライナ70を図3
の左側から見た図、図5はバックライナ72を図3の右側
から見た図である。2個の流入孔112は、フロントライ
ナ70を貫通して、相互に平行にフロントライナ70の中央
部に穿設されている。衝突溝114は、フロントライナ70
のバックライナ72側の面に形成され、両流入孔112を接
続している。合流溝116は、フロントライナ70の衝突溝1
14と直行するように、バックライナ72のフロントライナ
70側の面に形成されている。2個の流出孔118は、バッ
クライナ72を貫通するように、相互に平行にバックライ
ナ72に穿設されている。
【0023】図2に戻り、フロントライナ70の流入孔11
2は上流端において連絡通路108へ臨み、流出孔118は下
流端において合流通路120へ臨む。合流通路120は、押さ
えブロック74の中心線に沿って押さえブロック74内に形
成され、両流出孔118を排出口102へ接続している。各供
給口100へ供給された混合液24は、軸方向通路106を経て
連絡通路108の両端へ至り、連絡通路108の中心部付近で
2個の通孔110に分流し、さらに、それぞれ流入孔112へ
分流してから、衝突溝114で衝突し、微細粒子に破砕、
分散、乳化され、合流溝116で放射方向両側へ分かれ、
2個の流出孔118から共通の合流通路120へ流入し、最後
に、排出口102へ到達する。衝突溝114は、供給口100か
ら排出口102までのノズル装置38内の通路中の最小径部
分とされ。混合液24を衝突させて、乳化液46を生成する
混合液衝突通路として機能する。
【0024】図8及び図9は単連プランジャポンプ18を
それぞれ上方及び側方から見た断面で示す構造図であ
る。単連プランジャポンプ18は回転速度変換部202及び
プランジャポンプ部204を備える。ポンプ部204のクラン
ク軸212は、中心がクランク軸212の中心線から偏倚する
円形のクランクピン214を有し、クランクピン214の両側
においてクランクケース216のケース本体218へベアリン
グ220を介して回転自在に軸支されている。ケース本体2
18は、クランク軸212の軸方向両側においてそれぞれ蓋2
22,224により開口を封鎖されている。回転速度変換部2
02において、入力軸226は、ポンプ部204のクランク軸21
2に対して平行に延び、軸方向の2個所においてベアリ
ング228を介してそれぞれ蓋222及びケース本体218に回
転自在に軸支されている。駆動側非円形歯車230及び被
駆動側非円形歯車232は、非円形のピッチ曲線を有し、
それぞれ入力軸226及びクランク軸212に回転方向へ一体
的に嵌合し、相互にかみ合っている。
【0025】プランジャ234は、クランクケース216の案
内238に嵌合して案内238の軸方向へ案内されるクロスヘ
ッド236を基端側に有している。コンロッド239は、大端
部を円形のクランクピン214に周方向へ相対回転自在に
嵌合しているとともに、小端部を、クロスピン237を介
してクロスヘッド236へ連結している。
【0026】マニホールド240は、クランクケース216に
接合され、下面側に吸入口242を有し、先端面の上部に
吐出口244を有している。ポンプ室246は、マニホールド
240内に形成され、吸入口242及び吐出口244へ連通して
いる。吸入弁248は、吸入口242とポンプ室246との間に
組込まれて、プラグ250によりマニホールド240からの抜
けを阻止され、ポンプ室246から吸入口242への液体の逆
流を阻止する。吐出弁252は、ポンプ室246と吐出口244
との間に組込まれて、プラグ254によりマニホールド240
からの抜けを阻止され、吐出口244からポンプ室246への
液体の逆流を阻止する。シール保持器255,256は、クラ
ンクケース216とマニホールド240との接合部に嵌挿さ
れ、軸方向両側の内周側にカラー257を介装されてオイ
ルシール258,260を保持し、クランクケース216内の潤
滑油がプランジャ234の周部を介して漏出して来るのを
阻止する。Vパッキン262は、シール保持器256によりマ
ニホールド240の段部に押圧されて、放射方向へ膨ら
み、内周側においてプランジャ234の周部に摺接して、
ポンプ室246のシールを保持する。
【0027】プランジャ234は、コンロッド239を介して
クランク軸212のクランクピン214へ連結しており、クラ
ンク軸212の回転に伴って、クランク軸212の一方の半回
転では、吸入行程となって、ポンプ室246の容積を減少
し、クランク軸212の他方の半回転では、吐出行程とな
って、ポンプ室246の容積を増大する。この単連プラン
ジャポンプ18では、モータ16から伝達されて来る回転
は、入力軸226へ入力され、駆動側非円形歯車230及び被
駆動側非円形歯車232を介してクランク軸212へ伝達され
る。駆動側非円形歯車230及び被駆動側非円形歯車232
は、特定の周輪郭に設定され、駆動側非円形歯車230の
等速回転を被駆動側非円形歯車232へ所定の変動速度回
転で伝達する。
【0028】図6は入力軸226の回転角とプランジャ234
の移動速度との関係を示している。入力軸226の1回
転、すなわち360°の回転角範囲に対し、吐出行程は
約80〜90°範囲を占め、吸入行程は270〜280
°範囲を占める。プランジャ234の移動速度は、吐出行
程では正弦波形的に変化し、吸入行程では、最初の立ち
下がり及び最後の立ち上がりを除く中間範囲において、
フラットになっている。そして、図6のような入力軸22
6の回転角とプランジャ234の移動速度との関係が得られ
るように、駆動側非円形歯車230及び被駆動側非円形歯
車232の周輪郭が設定される。なお、単連プランジャポ
ンプ18の駆動側非円形歯車230及び被駆動側非円形歯車2
32のピッチ曲線の設計・製作については、例えば機械設
計第29巻第11号(1985年9月号)第13頁〜第
18頁「非円形歯車の設計・製作とその応用(執筆者:
(株)長岡歯車製作所 山崎隆氏)」に詳しく紹介され
ている。
【0029】乳化液生成装置10の作用について説明す
る。モータ16の回転動力はベルト20を介して単連プラン
ジャポンプ18の入力軸226へ伝達され、入力軸226は等速
一様(一様とは回転速度が時々刻々変化しないことを言
う。)の回転速度で回転駆動される。入力軸226の等速
一様回転は、駆動側非円形歯車230及び被駆動側非円形
歯車232により変動回転へ変換されて、クランク軸212
は、吐出行程に相当する半回転では速く、吸入行程に相
当する残りの半回転では遅く回転され、プランジャ234
の移動速度は図6のようになる。吸入行程は、その期間
を長くされつつ、プランジャ234の移動速度をフラット
にされるので、単連プランジャポンプ18への混合液24の
吸入効率は増大する。
【0030】単連プランジャポンプ18からの混合液24の
吐出は、間欠的に行われ、かつ吸入行程に比して時間を
短縮される。これにより、単連プランジャポンプ18から
の混合液24の吐出力は増大する。吐出管32へ吐出された
混合液24は、分岐管40において2つに分流して、ノズル
装置38へ供給され、ノズル装置38の衝突溝114の両端へ
達し、衝突溝114において両端から中心の方へ高速、高
圧で流れ、中心部で相互に衝突し合って、乳化液46とな
る。単連プランジャポンプ18から衝突溝114の両端への
混合液24の供給は、単連プランジャポンプ18からの吐出
力がそのまま衝突溝114の両端へ伝達されるようになっ
ているので、衝突溝114の両端の混合液24の圧力は、図
6の吐出行程時の正弦波形と同様な正弦波形となるとと
もに、ピーク圧が非常に強まる。したがって、衝突溝11
4における混合液24の衝突力も増大して、この衝突力増
大により良好な乳化液46を生成できる。さらに、衝突溝
114における混合液24の衝突力は、正弦波形の前半部の
期間では、等しくなく、急激に増大していく。したがっ
て、これによっても、乳化液46の生成状態が向上する。
こうして生成された乳化液46は、送液管42を介して貯留
タンク44へ導かれて、貯留タンク44に貯留される。
【0031】図7は単連プランジャポンプ18及びノズル
130における諸元の計算式に用いられる各記号を説明す
る図である。ノズル130は、図2の衝突溝114に相当し、
衝突溝114では、衝突溝114の両端から混合液24が衝突溝
114の中心へ噴射されるようになっているので、図2の
ノズル装置38では、ノズル130が2個存在することにな
る。図7において、各記号の定義は次のとおりである。
なお、図7には示されていない記号も下記に定義されて
いるとともに、後述の計算式には使用されない記号も下
記に示してある。
【0032】r:クランクピン214の回転半径 a1:駆動側非円形歯車230における中心から周までの
長さ a2:被駆動側非円形歯車232における中心から周まで
の長さ θ:クランクピン214の回転角 D:プランジャ234の径(単位mm) d:ノズル130の径(単位mm) d’:ノズル130の2個分に相当するオリフィス径(単
位:mm) V:プランジャ234の移動速度(単位m/s) v:ノズル130における噴流速度(単位m/s) S:プランジャ234のストローク(単位mm) N:クランク軸212の回転速度(=入力軸226の回転速
度)(単位rpm)
【0033】以下の説明における計算式をまとめて示
す。
【数1】
【0034】吐出行程では(1)式が成り立つ。吸入行
程では(2)式が成り立つ。連続の式から(3)式が成
り立つ。(3)式を整理すると、(4)式になる。図2
の衝突溝114の実際の加工性を考慮して、衝突溝114の径
をφ0.7mmとすると、図7では、φ0.7mmの径のノ
ズル130が2個、設けられたことになるから、d’は
(5)式のように、約1mmになる。一方、D=20mmと
すると、(6)式が成り立つ。(1)式と(6)式とか
ら(7)式が成り立つ。(7)式を整理すると、N×S
=16875となる。こうして、例えば、S=60mmと
すると、N=280rpmとなる。
【0035】乳化液生成装置10における諸元の値を整理
すると、次のとおりである。 プランジャ234の径D=20mm プランジャ234のストロークS=60mm 入力軸226の回転速度N=280rpm 単連プランジャポンプ18の吐出流量Q=4.5リットル
/min ノズル130(=衝突溝114)の径d=0.7mm ただし、単連プランジャポンプ18の吐出流量Qは、
(8)式において体積効率η=85%として算出した。
従来の乳化液生成装置では、ノズル装置38の衝突溝114
における適正速度v(=350m/s)を確保するため
に、ポンプ吐出圧は約2000kgf/平方cmが必要とな
り、大型のポンプか必要となる。また、適正速度vで乳
化液46の処理量3.0リットル/minを得るために、d
=0.26mmとなり、極めて細径となり、加工が難しく
なる。
【図面の簡単な説明】
【図1】乳化液生成装置の全体の構成図である。
【図2】ノズル装置の縦断面図である。
【図3】フロントライナ及びバックライナの接触状態の
詳細図である。
【図4】フロントライナを図3の左側から見た図であ
る。
【図5】バックライナを図3の右側から見た図である。
【図6】入力軸の回転角とプランジャの移動速度との関
係を示している。
【図7】単連プランジャポンプ及びノズルにおける諸元
の計算式に用いられる各記号を説明する図である。
【図8】単連プランジャポンプを上方から見た断面で示
す構造図である。
【図9】単連プランジャポンプを側方から見た断面で示
す構造図である。
【符号の説明】
10 乳化液生成装置(乳化液生成装置) 16 モータ(原動機) 18 単連プランジャポンプ(往復ポンプ) 24 混合液 46 乳化液 114 衝突溝(混合液衝突部) 230 駆動側非円形歯車 232 被駆動側非円形歯車 234 プランジャ(往復動部材) 246 ポンプ室(ポンプ室)

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 往復ポンプ(18)の間欠吐出力がそのまま
    混合液衝突部(114)へ伝わるように、前記往復ポンプ(1
    8)から前記混合液衝突部(114)へ混合液(24)を供給し、
    前記混合液衝突部(114)において混合液(24)を相互に衝
    突させ、乳化液(46)を生成することを特徴とする乳化液
    生成方法。
  2. 【請求項2】 (a)混合液(24)を間欠的に吐出する往
    復ポンプ(18)、及び(b)前記往復ポンプ(18)の間欠吐
    出力をそのまま伝えられつつ前記往復ポンプ(18)から混
    合液(24)を供給されこの供給された混合液(24)を相互に
    衝突させて乳化液(46)を生成する混合液衝突部(114)、
    を有していることを特徴とする乳化液生成装置。
  3. 【請求項3】 前記往復ポンプ(18)においてポンプ室(2
    46)の容積を増減する往復動部材(234)は、吐出行程の移
    動速度を吸入行程の移動速度より速められるように、往
    復駆動されることを特徴とする請求項2記載の乳化液生
    成装置。
  4. 【請求項4】 前記往復動部材(234)は、吸入行程中間
    範囲の移動速度を等速化されて、往復駆動されることを
    特徴とする請求項2又は3記載の乳化液生成装置。
  5. 【請求項5】 前記往復動部材(234)は、移動速度を増
    大させる期間を吐出行程中にもつように、往復駆動され
    ることを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載の乳
    化液生成装置。
  6. 【請求項6】 前記往復動部材(234)は、相互にかみ合
    う駆動側非円形歯車(230)及び被駆動側非円形歯車(232)
    を経て、動力を受け、前記駆動側非円形歯車(230)及び
    前記被駆動側非円形歯車(232)は、前記往復動部材(234)
    が設定された移動速度となるように、周輪郭を設定され
    ていることを特徴とする請求項3〜5のいずれかに記載
    の乳化液生成装置。
  7. 【請求項7】 前記駆動側非円形歯車(230)は、回転速
    度を調整自在である原動機(16)により回転駆動されるこ
    とを特徴とする請求項6記載の乳化液生成装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000265945A (ja) * 1998-11-10 2000-09-26 Uct Kk 薬液供給ポンプ、薬液供給装置、薬液供給システム、基板洗浄装置、薬液供給方法、及び基板洗浄方法
WO2002030683A1 (en) * 2000-10-13 2002-04-18 Cps Color Group Oy Paint toning machine

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