JPH09274742A - Inspection standard optical disk, its manufacture and its inspecting method - Google Patents

Inspection standard optical disk, its manufacture and its inspecting method

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JPH09274742A
JPH09274742A JP8108385A JP10838596A JPH09274742A JP H09274742 A JPH09274742 A JP H09274742A JP 8108385 A JP8108385 A JP 8108385A JP 10838596 A JP10838596 A JP 10838596A JP H09274742 A JPH09274742 A JP H09274742A
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JP
Japan
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optical disk
inspection
signal
optical disc
dropout
Prior art date
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Application number
JP8108385A
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Japanese (ja)
Inventor
Makoto Tsukahara
誠 塚原
Yoshihiro Nagao
吉弘 長尾
Yoshihiro Nakamura
芳博 中村
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Sony Music Solutions Inc
Original Assignee
Sony Disc Technology Inc
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Publication date
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Publication of JPH09274742A publication Critical patent/JPH09274742A/en
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  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To attain mass production and to improve reproducibility by providing a track pattern for generating a dropout confirming signal in a part of a track. SOLUTION: This optical disk 10 includes a disk substrate 11 having a center hole 11a in the center and reflection and protective films sequentially formed on the surface of this substrate 11. For the optical disk 10, a track pattern for generating dropouts is formed so as to intentionally form small or shallow information pits 13a and 13b beforehand according to a pulse signal from a modulation device. Thus, an inspection standard optical disk for giving desired dropouts is stably provided.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、コンパクトディス
ク(CD),ミニディスク(MD)等や高密度記録光デ
ィスク等の光ディスクの検査するための基準となる検査
用標準光ディスクと、その製造方法及び検査方法に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a standard optical disk for inspection which serves as a reference for inspecting optical disks such as a compact disk (CD), a mini disk (MD), and a high-density recording optical disk, and a manufacturing method and inspection thereof It is about the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、光ディスクは、半径方向に関して
所定のトラックピッチを有するように構成されたトラッ
クを備えるように、構成されている。そして、このよう
な光ディスクを再生するための光ディスク装置は、例え
ば図9に示すように構成されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an optical disc has been constructed so as to have tracks configured to have a predetermined track pitch in the radial direction. An optical disk device for reproducing such an optical disk is configured as shown in FIG. 9, for example.

【0003】図9において、光ディスク装置1は、回転
駆動される光ディスク2の信号記録面のトラック2aに
対して、光学ピックアップ3の対物レンズ3aにより、
レーザ光等の光ビームを照射する。そして、光ディスク
2の信号記録面からの戻り光を、図10に示すように、
光学ピックアップ3の対物レンズ3aを介して、光学ピ
ックアップ3の光検出器(図示せず)により検出し、光
検出器の出力信号であるHF(高周波)信号に基づい
て、再生信号を生成するようになっている。このHF信
号は、上記トラック2aに沿って並んで形成された情報
ピット2bにより、反射率が異なることにより、Hレベ
ルまたはLレベルとなり、時間軸を縮小することによ
り、所謂エンベロープ信号として観測されるようになっ
ている。
In FIG. 9, an optical disc apparatus 1 uses an objective lens 3a of an optical pickup 3 for a track 2a on a signal recording surface of an optical disc 2 which is rotationally driven.
Irradiate a light beam such as a laser beam. Then, as shown in FIG. 10, the return light from the signal recording surface of the optical disc 2 is
It is detected by a photodetector (not shown) of the optical pickup 3 via the objective lens 3a of the optical pickup 3, and a reproduction signal is generated based on an HF (high frequency) signal which is an output signal of the photodetector. It has become. This HF signal becomes H level or L level due to the different reflectance due to the information pits 2b formed along the track 2a, and is observed as a so-called envelope signal by reducing the time axis. It is like this.

【0004】ここで、光学ピックアップ3の対物レンズ
3aは、図示しないアクチュエータによって、少なくと
もトラッキング方向に関して移動可能に支持されてい
る。そして、対物レンズ3aのトラッキングサーボは、
光学ピックアップ3からの検出信号をアンプ4により増
幅して、トラッキングエラー信号TEを得て、このトラ
ッキングエラー信号TEをローパスフィルタ5を介し
て、高周波成分を除去した後、ドライブアンプ6により
増幅し、対物レンズ駆動電流TDとして、光学ピックア
ップ3のアクチュエータに印加することにより、対物レ
ンズ3aによる光ディスク2の信号記録面上のスポット
とトラックとのずれ量が小さくなるように、対物レンズ
3aをトラッキング方向に駆動制御することにより、行
なわれるようになっている。
The objective lens 3a of the optical pickup 3 is supported by an actuator (not shown) so as to be movable at least in the tracking direction. And the tracking servo of the objective lens 3a is
The detection signal from the optical pickup 3 is amplified by the amplifier 4 to obtain the tracking error signal TE, and the tracking error signal TE is amplified by the drive amplifier 6 after removing the high frequency component through the low pass filter 5. By applying the objective lens drive current TD to the actuator of the optical pickup 3, the objective lens 3a is moved in the tracking direction so that the amount of deviation between the spot and the track on the signal recording surface of the optical disc 2 by the objective lens 3a becomes small. This is performed by controlling the drive.

【0005】ところで、このようにして再生される光デ
ィスク2を製造する場合、その検査工程で光ディスクが
正しく製造されているか否かが検査される。例えば、光
ディスクの製造工程において、図11に示すように、デ
ィスク基板内への不透明な不純物Aの混入や、信号読取
面側への汚れBの付着等に起因して、読取りが阻害さ
れ、再生信号(HF信号)の上限が落ち込んでしまった
り、あるいは図12に示すように、なんらかの原因によ
る情報ピットの欠落によって、再生信号(HF信号)の
下限が持ち上げられてしまうという、所謂欠陥が発生す
ることがある。
When the optical disk 2 reproduced in this way is manufactured, whether or not the optical disk is manufactured correctly is inspected in the inspection process. For example, in an optical disc manufacturing process, as shown in FIG. 11, reading is hindered due to mixing of opaque impurities A into the disc substrate, adhesion of dirt B to the signal reading surface side, and the like, and reproduction. The upper limit of the signal (HF signal) drops, or as shown in FIG. 12, a so-called defect occurs in which the lower limit of the reproduction signal (HF signal) is raised due to the lack of information pits for some reason. Sometimes.

【0006】このような欠陥による戻り光の変動によ
り、HF信号の上限の落ち込みや下限の持ち上がりは、
ドロップアウトと呼ばれており、このようなドロップア
ウトが発生した領域では、情報ピットの読取が不可能に
なることがある。さらに、場合によっては、光学ピック
アップ3を光ディスク2のトラックに追従させるための
トラッキングサーボが困難になることがあり、トラック
ジャンプが発生する等の重大な不具合の原因ともなって
いる。
Due to the fluctuation of the returning light due to such a defect, the upper limit of the HF signal falls and the lower limit rises.
This is called a dropout, and it may be impossible to read the information pits in the area where such a dropout occurs. Further, in some cases, tracking servo for causing the optical pickup 3 to follow the track of the optical disk 2 may become difficult, which causes a serious problem such as a track jump.

【0007】従って、光ディスクの製造工程における検
査では、光学ピックアップ2からのHF信号を、エンベ
ロープ検出回路7により、その上限電圧V1及び下限電
圧V2を取り出して、減算器8により、その出力差V0
を得る。この出力差V0を監視・定量化手段9によって
監視することにより、HF信号のドロップアウト即ち振
幅の減衰や欠落が観察されると共に、その波形に基づい
て、ドロップアウトの定量化測定が行われることにな
る。従って、検査工程において、上記出力差V0が所定
値を越える場合に、ドロップアウト発生と判断されるこ
とになる。
Therefore, in the inspection in the manufacturing process of the optical disc, the envelope detection circuit 7 extracts the upper limit voltage V1 and the lower limit voltage V2 of the HF signal from the optical pickup 2 and the subtracter 8 outputs the output difference V0.
Get. By monitoring the output difference V0 by the monitoring / quantification means 9, the dropout of the HF signal, that is, the attenuation or loss of the amplitude is observed, and the dropout is quantified and measured based on the waveform. become. Therefore, in the inspection process, if the output difference V0 exceeds a predetermined value, it is determined that a dropout has occurred.

【0008】さらに、上述のような光ディスクの検査に
あっては、製造された光ディスクを再生した場合に、デ
ィスク基板内への不透明な不純物Aの混入や、信号読取
面側への汚れBの付着等に起因して、上述のようなドロ
ップアウトが発生することを確認できることが前提とな
る。即ち、このようなドロップアウトを検出するための
前提として、図8のようなシステムを含む光ディスク装
置もしくは検査機において、所定の欠陥がある光ディス
クを再生した場合、この欠陥に対応して正しくドロップ
アウトを検出できるように、これら光ディスク装置や検
査機が正しく機能するようにしなければならない。
Further, in the inspection of the optical disk as described above, when the manufactured optical disk is reproduced, the opaque impurities A are mixed into the disk substrate and the dirt B is attached to the signal reading surface side. It is premised that it is possible to confirm that the above-mentioned dropout occurs due to the above. That is, as a premise for detecting such a dropout, when an optical disk having a predetermined defect is reproduced in an optical disk device or an inspection machine including the system as shown in FIG. The optical disk device and the inspection machine must function properly so that the optical disk device can be detected.

【0009】したがって、光ディスクが正しく製造され
ているか否かを検査するに先立って、光ディスク装置や
検査機が正しく機能するように調整等行うため(検査工
程の校正)、再生によりドロップアウトが発生するよう
な欠陥ディスクを用意して、これを再生してみる必要が
ある。そして、従来、このような検査工程においては、
光ディスクの検査校正のために、検査用欠陥ディスクを
使用している。この検査用欠陥ディスクは、光ディスク
の量産工程で実際に発生した欠陥ディスクを利用してい
る。このため、検査工程の日常点検等において、多数の
欠陥ディスクが必要な場合には、光ディスクの原盤とな
るスタンパに対して、故意に傷を付けたり、あるいは正
常に製造された光ディスクの読取面側を故意に汚染する
等の手段によって、必要な欠陥ディスクを得るようにし
ていた。
Therefore, before inspecting whether or not the optical disc is manufactured correctly, adjustment is performed so that the optical disc device and the inspection machine function properly (calibration of the inspection process), so that dropout occurs due to reproduction. It is necessary to prepare such a defective disc and play it back. And conventionally, in such an inspection process,
An inspection defective disk is used for inspection and calibration of the optical disk. The defective disk for inspection uses a defective disk actually generated in the mass production process of optical disks. For this reason, if a large number of defective discs are required in the daily inspection of the inspection process, etc., the stamper, which is the master disc of the optical disc, is intentionally scratched or the reading surface side of the normally manufactured optical disc. The desired defective disk was obtained by means such as intentionally contaminating the.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
欠陥ディスクは、原盤に傷つけるような場合には、同じ
欠陥が再現されるが、欠陥自体がランダムになってしま
うことから、所望の欠陥が得られないことがあるという
問題があった。また、光ディスクの読取面側を故意に汚
染する場合には、光ディスク毎に欠陥のバラツキが生じ
てしまうことから、欠陥の再現性が実質的に得られず、
量産性の点で問題があると共に、光ディスクドライブ装
置毎に再生される欠陥信号が異なってしまうことがあ
り、検査工程の正確な校正が行なわれ得なくなってしま
うという問題があった。さらに、光ディスクの汚染によ
る欠陥は、光ディスクの使用に伴って、経時変化するこ
とから、定期的な交換やクリーニングの後再度の汚染が
必要になる等、実用的ではないという問題があった。
By the way, in such a defective disc, when the original disc is scratched, the same defect is reproduced, but since the defect itself becomes random, a desired defect is not produced. There was a problem that it could not be obtained. Further, when the reading surface side of the optical disc is intentionally contaminated, the defect reproducibility varies from optical disc to optical disc.
There is a problem in terms of mass productivity, and there is a problem in that a reproduced defect signal may be different for each optical disk drive device, making it impossible to perform accurate calibration in the inspection process. Further, the defects due to contamination of the optical disc change over time as the optical disc is used, and therefore, there is a problem that it is not practical because it needs to be re-contaminated after periodical replacement or cleaning.

【0011】そして、特にドロップアウトに関する欠陥
ディスクに関しては、種々の不純物,汚れや情報ピット
の欠落が必要となるが、実際に製造工程で発生する欠陥
ディスクを利用するとすれば、その数量や種類が限られ
てしまうので、検査工程に必要とされる個々の種類のド
ロップアウトに関して多数の欠陥ディスクを用意するこ
とも困難であるという問題があった。
In particular, regarding a defective disk related to dropout, various impurities, stains, and lack of information pits are required. However, if defective disks actually generated in the manufacturing process are used, the number and types thereof are different. There is a problem in that it is difficult to prepare a large number of defective discs for each type of dropout required for the inspection process because the number of defective discs is limited.

【0012】本発明は、以上の点に鑑み、検査の基準と
する所望のドロップアウトに関する欠陥を備えていて、
大量生産可能で且つ再現性の良好な、検査用標準光ディ
スクとその製造方法及び検査方法を提供することを目的
としている。
In view of the above points, the present invention has a defect related to a desired dropout as a reference of inspection,
An object of the present invention is to provide a standard optical disc for inspection, which can be mass-produced and has good reproducibility, and a manufacturing method and an inspection method thereof.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、半径方向に関して所定のトラックピッチを有する
ように構成されたトラックを備えた光ディスクにおい
て、前記トラックの少なくとも一部に、予め意図的に形
成された、ドロップアウト確認用信号を発生させるトラ
ックパターンを有する、検査用標準光ディスクにより、
達成される。
According to the present invention, the above-mentioned object is intended in advance in at least a part of the track in an optical disk provided with a track configured to have a predetermined track pitch in the radial direction. By a standard optical disc for inspection, which has a track pattern that generates a dropout confirmation signal
Achieved.

【0014】また、上記目的は、本発明によれば、表面
にフォトレジストが塗布された原盤に対して、カッティ
ングマシンにより、半径方向に関して所定のトラックピ
ッチを有するように構成されたトラックに沿って、情報
ピットに対応する位置にレーザ光を照射する、第一の工
程と、第一の工程により露光されたフォトレジストを現
像して除去することにより、情報ピットを備えた原盤を
作成する、第二の工程と、第二の工程により得られた原
盤の表面に、金属薄膜を形成し、その上に電鋳等により
金属層を形成して、スタンパを作成する、第三の工程
と、電鋳工程により得られたスタンパ表面に、透明樹脂
を射出成形して、基板を作成する、第四の工程と、第四
の工程で得られた基板表面に、反射膜及び保護膜を形成
して、光ディスクを作成する、第五の工程と、を含んで
おり、前記第一の工程において、予め意図的に形成され
た、ドロップアウト確認用信号を発生させるトラックパ
ターンを生成するように、カッティングマシンに入力す
る原信号を変調して、前記トラックの少なくとも一部を
ハーフカット状態でカッティングを行なうようにした、
検査用標準光ディスクの製造方法により、達成される。
Further, according to the present invention, according to the present invention, a master machine having a photoresist coated on its surface is cut along a track formed by a cutting machine so as to have a predetermined track pitch in the radial direction. Irradiating a position corresponding to the information pit with laser light, and developing and removing the photoresist exposed in the first step and the first step to create a master disc having the information pit. A metal thin film is formed on the surface of the master obtained in the second step and the second step, and a metal layer is formed thereon by electroforming or the like to form a stamper. A transparent resin is injection-molded on the stamper surface obtained by the casting step to form a substrate. A fourth step is performed, and a reflective film and a protective film are formed on the substrate surface obtained in the fourth step. , Optical disc And a fifth step, which is input to the cutting machine so as to generate a track pattern for intentionally forming a dropout confirmation signal in advance in the first step. The original signal is modulated so that at least a part of the track is cut in a half-cut state,
This is achieved by a method of manufacturing a standard optical disk for inspection.

【0015】上記構成によれば、ドロップアウトを発生
させるトラックパターンが、前以て故意にトラックの所
定の情報ピットの領域またはその間の領域が、例えば、
小さくまたは浅い情報ピットとして形成されているの
で、所望のドロップアウトを与える検査用標準光ディス
クが安定的に得られることになる。
According to the above arrangement, the track pattern that causes the dropout has a predetermined information pit area on the track or an area between the predetermined information pits, which is intentionally set beforehand.
Since it is formed as a small or shallow information pit, a standard optical disc for inspection which gives a desired dropout can be stably obtained.

【0016】また、上記トラックパターンは、原盤への
カッティングの際にカッティングマシンを制御すること
より、原盤に記録されることになるので、スタンパを介
して形成される各標準光ディスク間のバラツキが殆どな
いと共に、上記ドロップアウトを与えるトラックパター
ンは、信号記録面に形成される情報ピットの形状によっ
て構成されている。
Further, since the track pattern is recorded on the master by controlling the cutting machine during cutting on the master, there is almost no variation among the standard optical disks formed via the stamper. In addition, the track pattern that gives the dropout is formed by the shape of the information pit formed on the signal recording surface.

【0017】従って、このような検査用標準光ディスク
を再生することにより、戻り光を光学ピックアップの光
検出器により検出して得られる再生信号(HF信号)に
基づいて、上述したドロップアウト確認用信号を検出す
ることにより、ドロップアウトが発生したことが検出さ
れる。この場合、ドロップアウトを発生させるトラック
パターンは、前以て厳密に決定されていることから、例
えば検査工程における光ディスクのドロップアウトに関
する検査基準の調整、あるいは光ディスク再生装置等の
ドロップアウトに対する動作確認が正確に且つ容易に行
われることになる。
Therefore, by reproducing such a standard optical disk for inspection, the above-mentioned dropout confirmation signal is obtained based on the reproduction signal (HF signal) obtained by detecting the return light by the photodetector of the optical pickup. It is detected that a dropout has occurred by detecting. In this case, since the track pattern that causes the dropout is strictly determined in advance, for example, it is necessary to adjust the inspection standard for the optical disc dropout in the inspection process or to confirm the operation of the optical disc playback device against the dropout. It will be done accurately and easily.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を図1乃至図7を参照しながら、詳細に説明する。尚、
以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例である
から、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、
本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定
する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもの
ではない。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. still,
The embodiments described below are preferable specific examples of the present invention, and therefore, various technically preferable limitations are given,
The scope of the present invention is not limited to these embodiments unless otherwise specified in the following description.

【0019】図1は、本発明による光ディスクの第一の
実施形態を示している。図1において、光ディスク10
は、中心にセンターホール11aを有する円板状のディ
スク基板11と、ディスク基板11の表面に順次に形成
された反射膜及び保護膜(図示せず)とから構成されて
いる。
FIG. 1 shows a first embodiment of an optical disc according to the present invention. In FIG. 1, an optical disk 10
Is composed of a disk-shaped disk substrate 11 having a center hole 11a in the center, and a reflective film and a protective film (not shown) sequentially formed on the surface of the disk substrate 11.

【0020】上記ディスク基板11は、その表面に信号
記録面(図示せず)が形成されていると共に、信号記録
面には、半径方向に関して所定のトラックピッチを有す
るように形成されたトラック12を備えている。これに
より、上記トラック12は、図2に示すように、半径方
向に互いに所定のトラックピッチで並ぶと共に、周方向
に関して実質的に平行に延びるようになっている。この
トラック12は、トラック12を中心線として並んで配
設された情報ピット13から構成されている。情報ピッ
ト13は、記録すべき情報に基づいて、その長さ及び/
または間隔が決定されている。
The disk substrate 11 has a signal recording surface (not shown) formed on the surface thereof, and the signal recording surface has tracks 12 formed so as to have a predetermined track pitch in the radial direction. I have it. Accordingly, the tracks 12 are arranged at a predetermined track pitch in the radial direction and extend substantially parallel to the circumferential direction, as shown in FIG. The track 12 is composed of information pits 13 arranged side by side with the track 12 as a center line. The information pit 13 has a length and / or a length based on the information to be recorded.
Or the interval is determined.

【0021】図3に示すように、上記トラック12は、
その少なくとも一部分、図示の場合には、半径方向に関
して右側から二番目のトラック12aに関して、それぞ
れ情報ピット(異常情報ピット)13aが、予め意図的
に、正常な情報ピット13に比較して小さくまたは浅く
形成されている。このような情報ピット13aは、光デ
ィスク10の再生時に、HF信号が、図3の下段に示す
ように、エンベロープ信号の下限信号が持ち上げられる
ことになり、ドロップアップを発生させることになる。
As shown in FIG. 3, the track 12 is
At least a part thereof, in the illustrated case, the information pits (abnormal information pits) 13a of the second track 12a from the right side in the radial direction are intentionally made smaller or shallower than the normal information pits 13 in advance. Has been formed. Such an information pit 13a causes drop-up when the HF signal is raised and the lower limit signal of the envelope signal is raised when the optical disc 10 is reproduced, as shown in the lower part of FIG.

【0022】あるいは、本発明による光ディスク10に
おいては、図4に示すように、上記トラック12は、そ
の少なくとも一部分、図示の場合には、半径方向に関し
て右側から三番目のトラック12bに関して、本来の情
報ピット13の間の領域に、正常な情報ピット13に比
較して小さくまたは浅く形成された異常情報ピット13
bが形成されている。このような情報ピット13bは、
光ディスク10の再生時に、HF信号が、図4の下段に
示すように、エンベロープ信号の上限信号が落ち込むこ
とになり、ドロップアップを発生させることになる。
Alternatively, in the optical disc 10 according to the present invention, as shown in FIG. 4, the track 12 has at least a part thereof, in the case of the figure, the original information about the third track 12b from the right side in the radial direction. An abnormal information pit 13 formed in a region between the pits 13 is smaller or shallower than the normal information pit 13.
b is formed. Such information pit 13b is
When the optical disk 10 is reproduced, the HF signal has a drop in the upper limit signal of the envelope signal, as shown in the lower part of FIG. 4, which causes drop-up.

【0023】ここで、上記異常情報ピット13a,13
bは、光ディスク10の種々のドロップアウトに関する
検査に対応し得るように、種々の大きさ及び/または深
さに設定されるようになっている。
Here, the above-mentioned abnormality information pits 13a, 13
b is set to various sizes and / or depths so as to be able to deal with various dropout inspections of the optical disc 10.

【0024】図5は、上述した光ディスク10の製造工
程の一実施形態を示している。図5において、先づステ
ップST1において、ガラス基板でなる原盤20が用意
される。そして、ステップST2にて、このガラス基板
20の表面に、フォトレジスト溶液が塗布されることに
より、薄いフォトレジスト膜21が形成される。尚、原
盤20は、ガラスに限らず、他の透明材料,例えば合成
樹脂の基板等が適宜利用できる。続いて、ステップST
3にて、フォトレジスト膜21が形成されたガラス原盤
20に対して、カッティングマシンによりカッティング
が行なわれる。即ち、先づガラス原盤20は、カッティ
ングマシン(図6参照)のターンテーブルに装着され、
回転駆動される。そして、回転駆動されるガラス原盤2
0の表面のフォトレジスト膜21に対して、レーザ光L
が照射される。
FIG. 5 shows an embodiment of the manufacturing process of the optical disk 10 described above. In FIG. 5, first, in step ST1, a master 20 made of a glass substrate is prepared. Then, in step ST2, a thin photoresist film 21 is formed by applying a photoresist solution to the surface of the glass substrate 20. The master 20 is not limited to glass, but other transparent materials such as a synthetic resin substrate can be used as appropriate. Then, step ST
At 3, the glass master 20 having the photoresist film 21 formed thereon is cut by a cutting machine. That is, first, the glass master 20 is mounted on the turntable of the cutting machine (see FIG. 6),
It is driven to rotate. Then, the glass master 2 that is rotationally driven.
Laser light L to the photoresist film 21 on the surface of
Is irradiated.

【0025】このとき、カッティングマシンのレーザ光
Lを照射するための対物レンズ22が、ガラス原盤20
の内周側から外周側に向かってゆっくり移動すると共
に、対物レンズを介して照射されるレーザ光は、後述す
る原信号発生器からの信号に基づいて、照射/非照射を
繰り返す。かくして、ガラス原盤20上のフォトレジス
ト膜21は、半径方向に関して所定のトラックピッチで
露光が行なわれると共に、レーザ光の照射/非照射に対
応して感光部/非感光部が形成されることになる。ここ
で、上記カッティングに際して、カッティングマシンの
レーザ光の照射は、図6に関して後述するように、少な
くとも一部の領域で、不完全な異常情報ピット13a,
13bが形成されるように、行なわれる。
At this time, the objective lens 22 for irradiating the laser beam L of the cutting machine is the glass master 20.
While moving slowly from the inner peripheral side to the outer peripheral side, the laser light emitted through the objective lens repeats irradiation / non-irradiation based on a signal from an original signal generator described later. Thus, the photoresist film 21 on the glass master 20 is exposed at a predetermined track pitch in the radial direction, and a photosensitive portion / non-photosensitive portion is formed corresponding to irradiation / non-irradiation of laser light. Become. Here, in the above-mentioned cutting, the irradiation of the laser beam of the cutting machine, as will be described later with reference to FIG.
13b is formed.

【0026】次に、ステップST4にて、フォトレジス
ト膜21の現像処理が行なわれ、レーザ光による感光部
が除去されることになる。これにより、感光部が除去さ
れることにより、情報ピットとしての凹部21aが形成
されることになる。尚、この情報ピット21aは、前述
したように螺旋状に並んでおり、その中心線がトラック
を画成することになる。
Next, in step ST4, the photoresist film 21 is developed, and the photosensitive portion due to the laser light is removed. As a result, the photosensitive portion is removed, so that the concave portion 21a as an information pit is formed. The information pits 21a are arranged in a spiral shape as described above, and the center line thereof defines a track.

【0027】その後、ステップST5にて、金属薄膜2
3が形成されることにより、導電化処理が行なわれた
後、ステップST6にて、電鋳処理によって、金属層2
4が形成され、さらにステップST7にて、ガラス原盤
20及びフォトレジスト膜21が除去されることによ
り、金属薄膜23及び金属層24によるスタンパ25が
得られる。このスタンパ25は、その表面に、上記現像
工程(ステップST4)にて形成された情報ピット21
aが凹凸逆転した形状で転写されている。
Thereafter, in step ST5, the metal thin film 2
After formation of the metal layer 3, the conductive layer is formed, and then in step ST6, the metal layer 2 is formed by electroforming.
4 is formed, and further, in step ST7, the glass master 20 and the photoresist film 21 are removed, so that the stamper 25 including the metal thin film 23 and the metal layer 24 is obtained. The stamper 25 has information pits 21 formed on the surface thereof in the developing process (step ST4).
a is transferred in a shape in which unevenness is reversed.

【0028】次に、ステップST8にて、上記スタンパ
25を射出成形機の金型内に取り付けて、高温で溶融し
た例えばポリカーボネート樹脂等の透明樹脂26を金型
内に射出・冷却する。そして、ステップST9にて、射
出成形された透明樹脂26が金型から取り出されること
により、前記情報ピット21aの形状が転写された情報
ピット27aを有するディスク基板27が得られる。
Next, in step ST8, the stamper 25 is mounted in the mold of the injection molding machine, and the transparent resin 26 such as polycarbonate resin melted at a high temperature is injected and cooled in the mold. Then, in step ST9, the injection-molded transparent resin 26 is taken out of the mold to obtain the disk substrate 27 having the information pits 27a to which the shape of the information pits 21a is transferred.

【0029】最後に、ステップST10にて、ディスク
基板27の表面に、スパッタリングまたは蒸着等によっ
て、反射膜28が形成され、さらにステップST11に
て、その上から樹脂皮膜の塗布等により、保護膜29が
形成されることにより、光ディスク10が完成すること
になる。
Finally, in step ST10, a reflective film 28 is formed on the surface of the disk substrate 27 by sputtering or vapor deposition, and in step ST11, a protective film 29 is formed by coating a resin film thereon. The optical disc 10 is completed by forming the optical disc.

【0030】この場合、光ディスク10の情報ピット1
3(27a)は、ガラス原盤20上のフォトレジスト膜
21の現像により得られる情報ピット21aとほぼ同じ
形状になり、ステップST8の射出成形によるスタンパ
25の摩耗や損傷が殆どないことから、ステップST8
乃至ST11を繰返し実行することによって、同じ情報
ピット13の配列を有する光ディスク10が大量に製造
されることになる。
In this case, the information pit 1 of the optical disk 10
3 (27a) has almost the same shape as the information pit 21a obtained by developing the photoresist film 21 on the glass master 20, and there is almost no wear or damage to the stamper 25 due to the injection molding of step ST8.
By repeating the processes from ST11 to ST11, a large number of optical discs 10 having the same array of information pits 13 are manufactured.

【0031】ところで、上記光ディスク10の製造工程
において、ガラス原盤20のカッティングに使用される
カッティングマシンは、図6に示すように、構成されて
いる。即ち、図5において、カッティングマシン30
は、実質的に公知の構成のものであって、所定回転数で
回転駆動されるターンテーブルに装着されたガラス原盤
20に対して、レーザ光(カッティングビーム)を対物
レンズ(図示せず)を介して照射するようになってお
り、原信号発生器31から変調装置32を介して入力さ
れる原信号に基づいて、レーザ光の照射/非照射を制御
すると共に、ガラス原盤回転同期信号に基づいて、対物
レンズがガラス原盤20の内周側から外周側に向かって
ゆっくり移動するようになっている。
By the way, in the manufacturing process of the optical disk 10, the cutting machine used for cutting the glass master 20 is constructed as shown in FIG. That is, in FIG. 5, the cutting machine 30
Has a substantially known structure, and a laser beam (cutting beam) is passed through an objective lens (not shown) to a glass master disk 20 mounted on a turntable that is rotationally driven at a predetermined rotational speed. The irradiation / non-irradiation of the laser light is controlled based on the original signal input from the original signal generator 31 through the modulator 32, and also based on the glass master disc rotation synchronization signal. Thus, the objective lens slowly moves from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the glass master 20.

【0032】ここで、上記変調装置32は、例えば図7
に示すように、原信号発生器31からの原信号に対し
て、非常に短い周期でオンオフを繰り返すパルス信号を
重畳して、パルス幅変調を行なうことにより、カッティ
ングマシン30のレーザ光を制御する。そして、変調装
置32は、原信号の情報ピットに対応するHレベルの信
号に対してパルス幅変調を行なう場合には、図7に示す
ように、出力信号S1を出力することになる。これによ
り、情報ピットは、カッティングマシン30のレーザ照
射時間が実質的に短くなり、フォトレジストの露光量が
少なくなるので、図3に示す情報ピット13aのよう
に、ハーフカットされることによって、小さく及び/ま
たは浅く形成されることになる。
Here, the modulator 32 is, for example, as shown in FIG.
As shown in FIG. 5, the laser signal of the cutting machine 30 is controlled by superimposing a pulse signal that repeatedly turns on and off with an original signal from the original signal generator 31 and performing pulse width modulation. . Then, the modulator 32 outputs the output signal S1 as shown in FIG. 7 when performing pulse width modulation on the H level signal corresponding to the information pits of the original signal. As a result, the information pits are made smaller by half-cutting like the information pits 13a shown in FIG. 3 because the laser irradiation time of the cutting machine 30 is substantially shortened and the exposure amount of the photoresist is reduced. And / or will be shallowly formed.

【0033】これに対して、変調装置32は、原信号の
情報ピット間のミラー部に対応するLレベルの信号に対
してパルス幅変調を行なう場合には、図7に示すよう
に、出力信号S2を出力することになる。これにより、
同様にして、情報ピット間のミラー部は、図4に示す情
報ピット13bのように、ハーフカットされることによ
って、小さくまたは浅く形成されることになる。かくし
て、変調装置32によるパルス変調の切換えによって、
不完全な情報ピット13aまたは不完全なミラー部とな
る情報ピット13bが、予め意図的に形成されることに
なる。尚、変調装置32は、そのパルス幅が調整される
ことにより、形成される情報ピット13a,13bが、
本来の情報ピット13またはその間のミラー部に比較し
て、種々の大きさまたは深さに設定される。
On the other hand, when the modulator 32 performs pulse width modulation on the L level signal corresponding to the mirror portion between the information pits of the original signal, as shown in FIG. S2 will be output. This allows
Similarly, the mirror portion between the information pits is formed to be small or shallow by half-cutting like the information pit 13b shown in FIG. Thus, by switching the pulse modulation by the modulator 32,
The incomplete information pit 13a or the incomplete information pit 13b serving as an incomplete mirror portion is intentionally formed in advance. In the modulator 32, the information pits 13a and 13b formed by adjusting the pulse width thereof are
Various sizes or depths are set as compared with the original information pit 13 or the mirror portion between them.

【0034】本実施形態による光ディスク10は、以上
のように構成されており、光ディスク10は、ドロップ
アウトを発生させるためのトラックパターンが、変調装
置32のパルス信号に基づいて、前以て故意に小さくま
たは浅い情報ピット13a,13bを形成することによ
り、構成されるので、所望のドロップアウトを与える検
査用標準光ディスクが安定的に得られることになる。
The optical disc 10 according to the present embodiment is configured as described above, and the optical disc 10 has a track pattern for causing dropout intentionally intentionally based on the pulse signal of the modulator 32. Since it is formed by forming the small or shallow information pits 13a and 13b, a standard optical disc for inspection which gives a desired dropout can be stably obtained.

【0035】そして、このように構成された光ディスク
10を光ディスク装置40で検査する場合、図7に示す
ように、ターンテーブル(図示せず)上に載置された光
ディスク10をスピンドルモータ41により回転駆動す
ると共に、光学ピックアップ42から対物レンズ42a
を介して光ディスク10の信号記録面に光ビームを照射
する。そして、光ディスク10の信号記録面からの戻り
光を、光学ピックアップ42の光検出器(図示せず)に
より検出して、再生信号(HF信号),トラッキングエ
ラー信号等を生成するようになっている。
When inspecting the optical disc 10 thus constructed by the optical disc device 40, as shown in FIG. 7, the optical disc 10 placed on the turntable (not shown) is rotated by the spindle motor 41. The optical pickup 42 is driven and the objective lens 42a is driven.
A light beam is irradiated onto the signal recording surface of the optical disc 10 via the. Then, the return light from the signal recording surface of the optical disc 10 is detected by a photodetector (not shown) of the optical pickup 42 to generate a reproduction signal (HF signal), a tracking error signal and the like. .

【0036】ここで、光ディスク装置40には、測定回
路43,制御部44及びコンピュータ45が接続されて
いる。測定回路43は、光ディスク装置40からの各種
信号を取り出して、光ディスク10の品質を検査するた
めの測定を行なう。制御部44は、コンピュータ45か
らの指示に基づいて、光ディスク装置40,測定回路4
3を制御し、種々の品質項目に関する測定の結果を、コ
ンピュータ45に送出する。
Here, a measuring circuit 43, a control section 44 and a computer 45 are connected to the optical disk device 40. The measurement circuit 43 takes out various signals from the optical disc device 40 and performs measurement for inspecting the quality of the optical disc 10. The control unit 44 controls the optical disk device 40 and the measuring circuit 4 based on an instruction from the computer 45.
3 and sends the result of the measurement regarding various quality items to the computer 45.

【0037】このような構成によれば、光ディスク10
を再生することにより、光ディスク10からのHF信号
に基づいて、前以て故意に設定された多様なドロップア
ウトが発生することになる。従って、どの程度のドロッ
プアウトにより、実際に光ディスク装置40が再生不能
となるかを検出することにより、光ディスク装置40の
ドロップアウトに関する検査基準の確認あるいは調整が
行われることになる。これにより、光ディスク装置40
または測定回路43,これらを利用した検査機の調整ま
たは校正を行なうことにより、光ディスク量産工程にお
けるドロップアウトに関する検査基準が一定に保持され
ることになる。従って、光ディスクの再生に関するドロ
ップアウトに対する光ディスク装置の検査が行われるの
で、光ディスクのドロップアウトに関する定性的な検査
が可能となる。
According to such a configuration, the optical disk 10
By reproducing, the various intentionally set dropouts are generated based on the HF signal from the optical disk 10. Therefore, by detecting how much dropout actually causes the optical disk device 40 to become unreproducible, the inspection standard for the dropout of the optical disk device 40 is confirmed or adjusted. As a result, the optical disk device 40
Alternatively, by adjusting or calibrating the measuring circuit 43 and the inspection machine using these, the inspection standard for dropout in the optical disk mass production process can be kept constant. Therefore, since the optical disc device is inspected for the dropout relating to the reproduction of the optical disc, it is possible to perform the qualitative inspection regarding the dropout of the optical disc.

【0038】上述した実施形態においては、光ディスク
装置40によるドロップアウトの検査が行なわれる場合
について説明したが、これに限らず、光ディスク装置4
0のドロップアウトに関する動作確認のために、光ディ
スク10を使用することも可能である。
In the above-described embodiment, the case where the dropout inspection is performed by the optical disc device 40 has been described, but the present invention is not limited to this, and the optical disc device 4 can be used.
It is also possible to use the optical disc 10 to confirm the operation regarding the 0 dropout.

【0039】[0039]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、検
査の基準とする所望のドロップアウトに関する欠陥を備
えていて、大量生産可能で且つ再現性の良好な、検査用
標準光ディスクとその製造方法及び検査方法が提供され
ることになる。
As described above, according to the present invention, a standard optical disk for inspection, which has a defect related to a desired dropout to be used as an inspection standard, can be mass-produced, and has good reproducibility, is provided. A manufacturing method and an inspection method will be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による光ディスクの一実施形態の全体を
示す概略斜視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an entire optical disc according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の光ディスクにおけるトラックを構成する
本来の情報ピットを示す部分拡大図及びその再生時のH
F信号を示すグラフである。
FIG. 2 is a partially enlarged view showing original information pits constituting a track in the optical disc of FIG. 1 and H during reproduction thereof.
It is a graph which shows F signal.

【図3】図1の光ディスクにおけるドロップアウト確認
用信号を発生させる比較的小さくまたは浅く形成された
情報ピットを示す部分拡大図である。
FIG. 3 is a partially enlarged view showing relatively small or shallowly formed information pits for generating a dropout confirmation signal in the optical disc of FIG.

【図4】図1の光ディスクにおけるドロップアウト確認
用信号を発生させる情報ピット以外の部分に形成された
比較的小さくまたは浅く形成された情報ピットを示す部
分拡大図である。
FIG. 4 is a partially enlarged view showing relatively small or shallowly formed information pits formed in a portion other than the information pits for generating the dropout confirmation signal in the optical disc of FIG.

【図5】図1の光ディスクの製造工程を順次に示すフロ
ーチャートである。
5 is a flowchart sequentially showing a manufacturing process of the optical disc of FIG.

【図6】図5の製造工程における原盤のカッティング工
程で使用されるカッティングマシンを示す概略図であ
る。
6 is a schematic view showing a cutting machine used in a master disc cutting process in the manufacturing process of FIG. 5;

【図7】図6のカッティングマシンにおける原信号,変
調信号及び出力信号の例示するタイムチャートである。
7 is a time chart exemplifying an original signal, a modulation signal, and an output signal in the cutting machine of FIG.

【図8】図1の光ディスクによるトラッキング異常の検
出方法を実施するためのシステムを示す概略図である。
FIG. 8 is a schematic diagram showing a system for carrying out the method for detecting tracking abnormality by the optical disc of FIG.

【図9】従来の光ディスク装置の構成を示す概略図であ
る。
FIG. 9 is a schematic diagram showing a configuration of a conventional optical disc device.

【図10】図9の光ディスク装置における光ディスクの
トラックを構成する情報ピットと光学ピックアップによ
るHF信号を示す概略図である。
10 is a schematic diagram showing an information pit forming an optical disk track in the optical disk device of FIG. 9 and an HF signal from an optical pickup.

【図11】光ディスクの不純物や汚れによるドロップア
ウトの例を示す光ディスクの概略断面図及びその再生時
のHF信号を示すグラフである。
FIG. 11 is a schematic cross-sectional view of an optical disc showing an example of dropout due to impurities and dirt on the optical disc, and a graph showing an HF signal at the time of reproduction thereof.

【図12】光ディスクの情報ピット欠落によるドロップ
アウトの例を示す光ディスクの概略断面図及びその再生
時のHF信号を示すグラフである。
FIG. 12 is a schematic cross-sectional view of an optical disc showing an example of dropout due to a lack of information pits of the optical disc, and a graph showing an HF signal during reproduction thereof.

【図13】従来の光ディスクのドロップアウトの検出方
法の一例を示す概略図である。
FIG. 13 is a schematic diagram showing an example of a conventional optical disc dropout detection method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・・光ディスク、11・・・ディスク基板、12
・・・トラック、13・・・情報ピット、13a,13
b・・・異常情報ピット、20・・・ガラス原盤、21
・・・フォトレジスト膜、21a・・・情報ピット、2
2・・・カッティングマシンの対物レンズ、23・・・
金属薄膜、24・・・金属層、25・・・スタンパト、
26・・・透明樹脂、27・・・ディスク基板、27a
・・・情報ピット、28・・・反射膜、29・・・保護
膜、30・・・カッティングマシン、31・・・原信号
発生器、32・・・変調装置、40・・・光ディスク装
置、41・・・スピンドルモータ、42・・・光学ピッ
クアップ、43・・・測定回路、44・・・制御部、4
5・・・コンピュータ。
10 optical disk, 11 disk substrate, 12
... Tracks, 13 ... Information pits, 13a, 13
b ... Abnormality information pit, 20 ... Glass master, 21
... Photoresist film, 21a ... Information pit, 2
2 ... Objective of cutting machine, 23 ...
Metal thin film, 24 ... metal layer, 25 ... stamp pad,
26 ... Transparent resin, 27 ... Disk substrate, 27a
... information pit, 28 ... reflective film, 29 ... protective film, 30 ... cutting machine, 31 ... original signal generator, 32 ... modulation device, 40 ... optical disk device, 41 ... Spindle motor, 42 ... Optical pickup, 43 ... Measuring circuit, 44 ... Control unit, 4
5 ... Computer.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 芳博 神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134番地 株式会社ソニー・ディスクテクノロジー 内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Yoshihiro Nakamura 134, Kobe-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Sony Disk Technology Co., Ltd.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半径方向に関して所定のトラックピッチ
を有するように構成されたトラックを備えた光ディスク
において、 前記トラックの少なくとも一部に、予め意図的に形成さ
れた、ドロップアウト確認用信号を発生させるトラック
パターンを有することを特徴とする検査用標準光ディス
ク。
1. An optical disc comprising tracks configured to have a predetermined track pitch in the radial direction, wherein a dropout confirmation signal intentionally formed in advance is generated on at least a part of the tracks. A standard optical disc for inspection having a track pattern.
【請求項2】 表面にフォトレジストが塗布された原盤
に対して、カッティングマシンにより、半径方向に関し
て所定のトラックピッチを有するように構成されたトラ
ックに沿って、情報ピットに対応する位置にレーザ光を
照射する、第一の工程と、 第一の工程により露光されたフォトレジストを現像して
除去することにより、情報ピットを備えた原盤を作成す
る、第二の工程と、 第二の工程により得られた原盤の表面に、金属薄膜を形
成し、その上に電鋳等により金属層を形成して、スタン
パを作成する、第三の工程と、 電鋳工程により得られたスタンパ表面に、透明樹脂を射
出成形して、基板を作成する、第四の工程と、 第四の工程で得られた基板表面に、反射膜及び保護膜を
形成して、光ディスクを作成する、第五の工程と、を含
んでおり、 前記第一の工程において、予め意図的に形成された、ド
ロップアウト確認用信号を発生させるトラックパターン
を生成するように、カッティングマシンに入力する原信
号を変調して、前記トラックの少なくとも一部をハーフ
カット状態でカッティングを行なうようにした、ことを
特徴とする検査用標準光ディスクの製造方法。
2. A laser beam is applied to a position corresponding to an information pit along a track configured to have a predetermined track pitch in a radial direction by a cutting machine with respect to a master having a photoresist coated on its surface. The first step of irradiating the substrate and the photoresist exposed in the first step are developed and removed to form a master disc having information pits. The second step and the second step On the surface of the obtained master, a metal thin film is formed, a metal layer is formed on it by electroforming, etc., to create a stamper, the third step, and the stamper surface obtained by the electroforming step, Fourth step of injection-molding transparent resin to form a substrate, and fifth step of forming an optical disk by forming a reflection film and a protective film on the surface of the substrate obtained in the fourth step And includes In the first step, at least one of the tracks is modulated by modulating the original signal input to the cutting machine so as to generate a track pattern for intentionally forming a dropout confirmation signal in advance. A method for producing a standard optical disc for inspection, characterized in that a part is cut in a half-cut state.
【請求項3】 半径方向に関して所定のトラックピッチ
を有するように構成されたトラックを備えると共に、前
記トラックの少なくとも一部に、予め意図的に形成され
た、ドロップアウト確認用信号を発生させるトラックパ
ターンを有する検査用標準光ディスクを再生して、 前記検査用標準光ディスクからの戻り光に基づいて、再
生信号を生成し、 再生信号から、前記ドロップアウト確認用信号を検出す
ることを特徴とする検査用標準光ディスクによる検査方
法。
3. A track pattern, which comprises tracks configured to have a predetermined track pitch in the radial direction, and intentionally formed on at least a part of the tracks to generate a dropout confirmation signal. A standard optical disk for inspection having the following, a reproduction signal is generated based on the return light from the standard optical disk for inspection, and the dropout confirmation signal is detected from the reproduction signal. Inspection method with standard optical disk.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006300928A (en) * 2005-03-22 2006-11-02 Murata Mfg Co Ltd Sample for corrected data acquisition, measured error correction method, electronic component characteristic measuring device

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