JPH09274740A - Standard optical disk for inspection, its manufacture and inspecting method - Google Patents

Standard optical disk for inspection, its manufacture and inspecting method

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JPH09274740A
JPH09274740A JP8108383A JP10838396A JPH09274740A JP H09274740 A JPH09274740 A JP H09274740A JP 8108383 A JP8108383 A JP 8108383A JP 10838396 A JP10838396 A JP 10838396A JP H09274740 A JPH09274740 A JP H09274740A
Authority
JP
Japan
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track
tracking
inspection
optical disc
error signal
Prior art date
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Application number
JP8108383A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Makoto Tsukahara
誠 塚原
Yoshihiro Nagao
吉弘 長尾
Yoshihiro Nakamura
芳博 中村
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Sony Music Solutions Inc
Original Assignee
Sony Disc Technology Inc
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Publication date
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Publication of JPH09274740A publication Critical patent/JPH09274740A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a defect related to required tracking abnormality, to make possible mass production and to enhance reproducibility by providing a confirming tracking pattern on a part of a track. SOLUTION: An optical disk 10 is provided with a disk like disk substrate 11 having a central hole 11a, and a reflection film, a protection film successively formed on the surface of the substrate 11. Then, a cutting machine 30 shifts a spot of a cutting beam in the radial direction from an original track answering to a signal waveform from an optional waveform generator 32, and makes meander the track. Thus, the track pattern generating a confirming tracking driving current or a tracking error signal is formed beforehand and intentionally based on the signal waveform from the optional waveform generator 32.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、コンパクトディス
ク(CD),ミニディスク(MD)等や高密度記録光デ
ィスク等の光ディスクの検査をするための基準となる検
査用標準光ディスクと、その製造方法及び検査方法に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a standard optical disk for inspection, which serves as a standard for inspecting an optical disk such as a compact disk (CD), a mini disk (MD), a high density recording optical disk, etc., and a manufacturing method thereof. It relates to the inspection method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、光ディスクは、半径方向に関して
所定のトラックピッチを有するように構成されたトラッ
クを備えるように、構成されている。そして、このよう
な光ディスクを再生するための光ディスク装置は、例え
ば図8に示すように構成されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an optical disc has been constructed so as to have tracks configured to have a predetermined track pitch in the radial direction. An optical disk device for reproducing such an optical disk is configured as shown in FIG. 8, for example.

【0003】図8において、光ディスク装置1は、回転
駆動される光ディスク2の信号記録面に対して、光学ピ
ックアップ3の対物レンズ3aにより、レーザ光等の光
ビームを照射する。そして、光ディスク2の信号記録面
からの戻り光を光学ピックアップ3の対物レンズ3aを
介して、光学ピックアップ3の光検出器(図示せず)に
より検出し、光検出器の出力信号に基づいて、再生信号
を生成するようになっている。
In FIG. 8, an optical disk device 1 irradiates a signal recording surface of a rotationally driven optical disk 2 with a light beam such as a laser beam by an objective lens 3a of an optical pickup 3. Then, the return light from the signal recording surface of the optical disc 2 is detected by a photodetector (not shown) of the optical pickup 3 via the objective lens 3a of the optical pickup 3, and based on the output signal of the photodetector, It is designed to generate a reproduction signal.

【0004】この光学ピックアップ3の対物レンズ3a
は、図示しないアクチュエータによって、少なくともト
ラッキング方向に関して移動可能に支持されている。そ
して、対物レンズ3aのトラッキングサーボは、次のよ
うに行われる。即ち、光学ピックアップ3からの検出信
号をアンプ4により増幅して、トラッキングエラー信号
TEを得る。このトラッキングエラー信号TEをローパ
スフィルタ5を介して、高周波成分を除去した後、ドラ
イブアンプ6により増幅し、対物レンズ駆動電流(トラ
ッキング駆動電流)TDとして、光学ピックアップ3の
アクチュエータの駆動用コイルに与えられる。これによ
って、対物レンズ3aによる光ディスク2の信号記録面
上のスポットとトラックとのずれ量が小さくなるよう
に、対物レンズ3aがトラッキング方向に駆動制御され
る。
The objective lens 3a of the optical pickup 3
Are movably supported at least in the tracking direction by an actuator (not shown). The tracking servo of the objective lens 3a is performed as follows. That is, the detection signal from the optical pickup 3 is amplified by the amplifier 4 to obtain the tracking error signal TE. This tracking error signal TE is passed through a low pass filter 5 to remove high frequency components, then amplified by a drive amplifier 6 and given to a drive coil of an actuator of an optical pickup 3 as an objective lens drive current (tracking drive current) TD. To be As a result, the objective lens 3a is drive-controlled in the tracking direction so that the amount of deviation between the spot and the track on the signal recording surface of the optical disc 2 by the objective lens 3a becomes small.

【0005】ここで、光学ピックアップ3は、一般に対
物レンズ3aの慣性モーメントやローパスフィルタ5等
によって決まる固有周波数を有している。従って、光デ
ィスクの欠陥がトラッキング異常である場合には、光デ
ィスクのトラックが少なくとも一部で本来の位置から半
径方向にずれて蛇行していることになる。ここで、トラ
ックの蛇行は大別して2種類ある。トラックの蛇行が上
記固有周波数による周期より長い周期である場合と、ト
ラックの蛇行が上記固有周波数による周期より短い周期
である場合である。この蛇行が上記固有周波数による周
期より長い周期である場合には、光ディスク装置1によ
り光ディスク2を再生するとき、図9に示すように、光
学ピックアップ3は、トラックの蛇行に追従することに
より、対物レンズ駆動電流TDが、トラックの蛇行に対
応して大きく変動し、制御されることになるので、トラ
ッキングエラー信号TEは、あまり大きく変動しない。
Here, the optical pickup 3 generally has a natural frequency determined by the moment of inertia of the objective lens 3a, the low-pass filter 5 and the like. Therefore, when the defect of the optical disk is abnormal tracking, at least a part of the track of the optical disk meanders in a radial direction from the original position. Here, the meandering of the truck is roughly classified into two types. There are a case where the track meandering is longer than the natural frequency and a case where the track meandering is shorter than the natural frequency. When the meandering has a period longer than the period of the natural frequency, when the optical disc device 1 reproduces the optical disc 2, the optical pickup 3 follows the meandering of the track, as shown in FIG. Since the lens drive current TD largely changes and is controlled in accordance with the meandering of the track, the tracking error signal TE does not change very much.

【0006】これに対して、前記蛇行が上記固有周波数
による周期より短い周期である場合には、光ディスク装
置1により光ディスク2を再生するとき、図10に示す
ように、光学ピックアップ3は、トラックの蛇行に追従
し得なくなってしまうので、対物レンズ駆動電流TDが
変動せず、トラッキングエラー信号TEは、蛇行に従っ
て大きく変動してしまうことになる。このため、光ディ
スクの再生等の際に、音飛びや再生不能等の再生不具合
が発生してしまうことになる。
On the other hand, when the meandering has a cycle shorter than the cycle of the natural frequency, when the optical disk 2 is reproduced by the optical disk device 1, the optical pickup 3 causes the optical pickup 3 to track the track, as shown in FIG. Since it becomes impossible to follow the meandering, the objective lens drive current TD does not fluctuate, and the tracking error signal TE largely fluctuates according to the meandering. For this reason, when the optical disk is reproduced, reproduction problems such as skipping of sounds and reproduction failure occur.

【0007】ところで、上述した光ディスク2を製造す
る場合、その検査工程で光ディスクが正しく製造されて
いるか否かが検査される。このような検査においては、
光ディスクのトラックに上記のようなトラッキング異状
がないかどうかを判断する必要がある。このため、この
ような検査を行う検査機には、図8のような光ディスク
装置1と同様のシステムが含まれており、これにより、
トラッキング異状を判断している。
By the way, when the above-mentioned optical disc 2 is manufactured, whether or not the optical disc is manufactured correctly is inspected in the inspection process. In such inspection,
It is necessary to judge whether the track of the optical disc has the above tracking abnormality. Therefore, an inspection machine that performs such an inspection includes a system similar to the optical disc device 1 as shown in FIG.
Tracking abnormality is judged.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】一方、このような図8
のシステムを含む(光ディスクの)検査機は、光ディス
クを再生する際にそのトラッキング異状を正確に検出で
きる必要がある。そのチェックのためには、トラッキン
グに異状のある検査用欠陥ディスクを再生し、所定のト
ラッキング異状を検出するかどうかを確認し、その結果
に基づいて必要な検査機の調整をしていた。この検査用
欠陥ディスクは、光ディスクの量産工程で実際に発生し
た欠陥ディスクを利用している。このため、検査工程の
日常点検等において、多数の欠陥ディスクが必要な場合
には、光ディスクの原盤となるスタンパに対して、故意
に傷を付けたり、あるいは正常に製造された光ディスク
の読取面側を故意に汚染する等の手段によって、必要な
欠陥ディスクを得るようにしていた。
On the other hand, as shown in FIG.
An inspection machine (of an optical disk) including the above system must be able to accurately detect the tracking abnormality when reproducing the optical disk. For the check, a defective inspection disk having an abnormal tracking is reproduced, whether or not a predetermined tracking abnormality is detected is confirmed, and necessary inspection machines are adjusted based on the result. The defective disk for inspection uses a defective disk actually generated in the mass production process of optical disks. For this reason, if a large number of defective discs are required in the daily inspection of the inspection process, etc., the stamper, which is the master disc of the optical disc, is intentionally scratched or the reading surface side of the normally manufactured optical disc. The desired defective disk was obtained by means such as intentionally contaminating the.

【0009】ところで、このような欠陥ディスクは、原
盤に傷つけるような場合には、同じ欠陥が再現される
が、欠陥自体がランダムになってしまうことから、所望
の欠陥が得られないことがあるという問題があった。ま
た、光ディスクの読取面側を故意に汚染する場合には、
光ディスク毎に欠陥のバラツキが生じてしまうことか
ら、欠陥の再現性が実質的に得られず、量産性の点で問
題があると共に、光ディスクドライブ装置毎に再生され
る欠陥信号が異なってしまうことがあり、検査工程の正
確な校正が行なわれ得なくなってしまうという問題があ
った。さらに、光ディスクの汚染による欠陥は、光ディ
スクの使用に伴って、経時変化することから、定期的な
交換やクリーニングの後再度の汚染が必要になる等、実
用的ではないという問題があった。
By the way, in such a defective disk, when the original disk is scratched, the same defect is reproduced, but since the defect itself becomes random, a desired defect may not be obtained. There was a problem. In addition, if the reading surface side of the optical disk is intentionally contaminated,
Since the defects vary from optical disc to optical disc, the reproducibility of defects is not substantially obtained, and there is a problem in terms of mass productivity, and the reproduced defect signal differs for each optical disc drive device. However, there is a problem that accurate calibration of the inspection process cannot be performed. Further, the defects due to contamination of the optical disc change over time as the optical disc is used, and therefore, there is a problem that it is not practical because it needs to be re-contaminated after periodical replacement or cleaning.

【0010】そして、特にトラッキング異常に関する欠
陥ディスクに関しては、種々の周期や振幅を有する蛇行
が必要となるが、実際に製造工程で発生する欠陥ディス
クを利用するとすれば、その数量や種類が限られてしま
うので、検査工程に必要とされる個々の種類に関して多
数の欠陥ディスクを用意することも困難であるという問
題があった。
[0010] Particularly, regarding a defective disk relating to tracking abnormality, meandering having various periods and amplitudes is required, but if defective disks actually generated in the manufacturing process are used, the number and types thereof are limited. Therefore, it is difficult to prepare a large number of defective discs for each type required for the inspection process.

【0011】本発明は、以上の点に鑑み、検査の基準と
する所望のトラッキング異常に関する欠陥を備えてい
て、大量生産可能で且つ再現性の良好な、検査用標準光
ディスクとその製造方法及び検査方法を提供することを
目的としている。
In view of the above points, the present invention has a defect relating to a desired tracking abnormality as a reference for inspection, can be mass-produced, and has good reproducibility, a standard optical disk for inspection, a method of manufacturing the same, and an inspection. It is intended to provide a way.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、半径方向に関して所定のトラックピッチを有する
ように構成されたトラックを備えた光ディスクにおい
て、前記トラックの一部が、確認用のトラッキング駆動
用電流またはトラッキングエラー信号を発生させるよう
に予め意図的に形成された、トラックパターンを備え
る、検査用標準光ディスクにより、達成される。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, the above object is to provide an optical disc provided with a track having a predetermined track pitch in the radial direction, wherein a part of the track is used for confirmation. This is achieved by a standard optical disc for inspection, which is provided with a track pattern that is intentionally formed in advance so as to generate a tracking drive current or a tracking error signal.

【0013】また、上記目的は、本発明によれば、表面
にフォトレジストが塗布された原盤に対して、カッティ
ングマシンにより、半径方向に関して所定のトラックピ
ッチを有するように構成されたトラックに沿って、情報
ピットに対応する位置にレーザ光を照射する、第一の工
程と、第一の工程により露光されたフォトレジストを現
像して除去することにより、情報ピットを備えた原盤を
作成する、第二の工程と、第二の工程により得られた原
盤の表面に、金属薄膜を形成し、その上に電鋳等により
金属層を形成して、スタンパを作成する、第三の工程
と、電鋳工程により得られたスタンパ表面に、透明樹脂
を射出成形して、基板を作成する、第四の工程と、第四
の工程で得られた基板表面に、反射膜及び保護膜を形成
して、光ディスクを作成する、第五の工程とを含んでお
り、前記第一の工程において、予め設定した、確認用の
トラッキング駆動用電流またはトラッキングエラー信号
を発生させるトラックパターンを生成するように、カッ
ティングマシンの露光用のレーザ光をガラス原盤の半径
方向に蛇行させるために、カッティングマシンに対して
蛇行信号を与える、検査用標準光ディスクの製造方法に
より、達成される。
Further, according to the present invention, the above object is to provide a master having a surface coated with a photoresist along a track configured to have a predetermined track pitch in a radial direction by a cutting machine. Irradiating a position corresponding to the information pit with laser light, and developing and removing the photoresist exposed in the first step and the first step to create a master disc having the information pit. A metal thin film is formed on the surface of the master obtained in the second step and the second step, and a metal layer is formed thereon by electroforming or the like to form a stamper. A transparent resin is injection-molded on the stamper surface obtained by the casting step to form a substrate. A fourth step is performed, and a reflective film and a protective film are formed on the substrate surface obtained in the fourth step. , Optical disc Exposing the cutting machine so as to generate a track pattern that generates a preset tracking drive current for confirmation or a tracking error signal in the first step. This is achieved by a method of manufacturing a standard optical disc for inspection, in which a serpentine signal is given to a cutting machine in order to cause the laser light for use to meander in the radial direction of the glass master.

【0014】上記構成によれば、トラッキング異常の検
査のためのトラックパターンが、前以て故意に所定の振
幅・周期の蛇行を有するように形成されているので、所
望のトラッキング異常を確認できる検査用標準光ディス
クが安定的に得られることになる。
According to the above structure, the track pattern for the inspection of the tracking abnormality is intentionally formed in advance so as to have the meandering of the predetermined amplitude and period. Therefore, the inspection for confirming the desired tracking abnormality can be performed. The standard optical disc for use can be stably obtained.

【0015】また、上記トラックパターンは、原盤への
カッティングの際にカッティングマシンを制御すること
より、原盤に記録されることになるので、スタンパを介
して形成される各標準光ディスク間のバラツキが殆どな
い。
Further, since the track pattern is recorded on the master by controlling the cutting machine during cutting on the master, there is almost no variation among the standard optical disks formed via the stamper. Absent.

【0016】このような検査用標準光ディスクを再生す
ることにより、戻り光を光学ピックアップの光検出器に
より検出して上述した確認用のトラッキング駆動用電流
やトラッキングエラー信号を得ることができる。この場
合、トラッキング異常を発生させるトラックパターンの
蛇行は、前以て厳密に決定されていることから、上記確
認用のトラッキング駆動用電流やトラッキングエラー信
号の波形を確認することで、例えば検査工程における光
ディスクのトラッキング異常に関する検査機の調整、あ
るいは光ディスク再生装置のトラッキング異常に対する
動作確認等が正確に且つ容易に行われることになる。
By reproducing such a standard optical disk for inspection, it is possible to detect the return light by the photodetector of the optical pickup and obtain the above-mentioned tracking drive current and tracking error signal for confirmation. In this case, since the meandering of the track pattern that causes the tracking abnormality is strictly determined in advance, it is possible to confirm the waveform of the tracking drive current or the tracking error signal for confirmation, for example, in the inspection process. Adjustment of the inspection device regarding the tracking abnormality of the optical disk, operation check for the tracking abnormality of the optical disk reproducing device, etc. can be accurately and easily performed.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を図1乃至図7を参照しながら、詳細に説明する。尚、
以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例である
から、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、
本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定
する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもの
ではない。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. still,
The embodiments described below are preferable specific examples of the present invention, and therefore, various technically preferable limitations are given,
The scope of the present invention is not limited to these embodiments unless otherwise specified in the following description.

【0018】図1は、本発明による光ディスクの第一の
実施形態を示している。図1において、光ディスク10
は、中心にセンターホール11aを有する円板状のディ
スク基板11と、ディスク基板11の表面に順次に形成
された反射膜及び保護膜(図示せず)とから構成されて
いる。
FIG. 1 shows a first embodiment of an optical disc according to the present invention. In FIG. 1, an optical disk 10
Is composed of a disk-shaped disk substrate 11 having a center hole 11a in the center, and a reflective film and a protective film (not shown) sequentially formed on the surface of the disk substrate 11.

【0019】上記ディスク基板11は、その表面に信号
記録面(図示せず)が形成されていると共に、信号記録
面には、半径方向に関して所定のトラックピッチを有す
るように形成されたトラック12を備えている。これに
より、上記トラック12は、図2の上段に示すように、
半径方向に互いに所定のトラックピッチで並ぶと共に、
周方向に関して実質的に平行に延びるようになってい
る。このトラック12は、実際には、図2の下段に示す
ように、トラック12を中心線として並んで配設された
情報ピット13から構成されている。
The disc substrate 11 has a signal recording surface (not shown) formed on the surface thereof, and the signal recording surface has tracks 12 formed so as to have a predetermined track pitch in the radial direction. I have it. As a result, the track 12 is, as shown in the upper part of FIG.
While lining up at a predetermined track pitch in the radial direction,
It extends substantially parallel to the circumferential direction. The track 12 is actually composed of information pits 13 arranged side by side with the track 12 as a center line, as shown in the lower part of FIG.

【0020】図3に示すように、上記トラック12は、
その少なくとも一部分、図示の場合には、半径方向に関
して一つのトラック領域12aのみが、予め意図的に所
定のトラック位置から半径方向にずれて蛇行するように
構成されている。尚、上記トラック領域の蛇行は、図4
に示すように、半径方向に関して複数のトラック領域1
2bが、所定のトラック位置から半径方向にずれるよう
に構成されていてもよい。
As shown in FIG. 3, the track 12 is
At least a part thereof, in the case of the drawing, only one track region 12a in the radial direction is configured to meander in advance intentionally in the radial direction from a predetermined track position. The meandering of the track area is shown in FIG.
As shown in FIG.
2b may be configured to be radially displaced from a predetermined track position.

【0021】ここで、上記トラック領域の蛇行は、光デ
ィスク10の種々の品質項目の検査に対応し得るよう
に、任意の周期及び振幅に設定されるようになってい
る。図5は、上述した光ディスク10の製造工程の一実
施形態を示している。図5において、先づステップST
1において、ガラス基板でなる原盤20が用意される。
そして、ステップST2にて、このガラス基板20の表
面に、フォトレジスト溶液が塗布されることにより、薄
いフォトレジスト膜21が形成される。尚、原盤20は
ガラス以外のものでもよく、例えば透明な合成樹脂の原
盤等を用いてもよい。
Here, the meandering of the track area is set to an arbitrary period and amplitude so as to be able to correspond to the inspection of various quality items of the optical disc 10. FIG. 5 shows an embodiment of the manufacturing process of the optical disc 10 described above. In FIG. 5, first step ST
In 1, a master 20 made of a glass substrate is prepared.
Then, in step ST2, a thin photoresist film 21 is formed by applying a photoresist solution to the surface of the glass substrate 20. The master 20 may be made of a material other than glass, for example, a transparent synthetic resin master may be used.

【0022】続いて、ステップST3にて、フォトレジ
スト膜21が形成されたガラス原盤20に対して、カッ
ティングマシンによりカッティングが行なわれる。即
ち、先づガラス原盤20は、カッティングマシン(図6
参照)のターンテーブルに装着され、回転駆動される。
そして、回転駆動されるガラス原盤20の表面のフォト
レジスト膜21に対して、レーザ光Lが照射される。こ
のとき、カッティングマシンのレーザ光Lを照射するた
めの対物レンズ22が、ガラス原盤20の内周側から外
周側に向かってゆっくり移動すると共に、対物レンズを
介して照射されるレーザ光は、後述する原信号発生器か
らの信号に基づいて、照射/非照射を繰り返す。
Then, in step ST3, the glass master 20 on which the photoresist film 21 is formed is cut by a cutting machine. That is, first, the glass master 20 is a cutting machine (see FIG. 6).
It is mounted on a turntable (see) and driven to rotate.
Then, the laser light L is applied to the photoresist film 21 on the surface of the glass master 20 that is rotationally driven. At this time, the objective lens 22 for irradiating the laser beam L of the cutting machine slowly moves from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the glass master 20, and the laser beam emitted through the objective lens is described later. The irradiation / non-irradiation is repeated based on the signal from the original signal generator.

【0023】かくして、ガラス原盤20上のフォトレジ
スト膜21は、半径方向に関して所定のトラックピッチ
で露光が行なわれると共に、レーザ光の照射/非照射に
対応して感光部/非感光部が形成されることになる。こ
こで、上記カッティングに際して、カッティングマシン
のレーザ光の照射は、図6に関して後述するように、少
なくとも一部の領域で、ガラス原盤の半径方向に関して
蛇行するように、行なわれる。
Thus, the photoresist film 21 on the glass master 20 is exposed at a predetermined track pitch in the radial direction, and a photosensitive portion / non-photosensitive portion is formed corresponding to irradiation / non-irradiation of laser light. Will be. Here, in the above-mentioned cutting, the irradiation of the laser beam of the cutting machine is performed so as to meander in the radial direction of the glass master in at least a part of the area, as described later with reference to FIG.

【0024】次に、ステップST4にて、フォトレジス
ト膜21の現像処理が行なわれ、レーザ光による感光部
が除去されることになる。これにより、感光部が除去さ
れることにより、情報ピットとしての凹部21aが形成
されることになる。尚、この情報ピット21aは、前述
したように並んでおり、その中心線がトラックを画成す
ることになる。
Next, in step ST4, the photoresist film 21 is developed to remove the photosensitive portion due to the laser light. As a result, the photosensitive portion is removed, so that the concave portion 21a as an information pit is formed. The information pits 21a are arranged as described above, and the center line thereof defines a track.

【0025】その後、ステップST5にて、金属薄膜2
3が形成されることにより、導電化処理が行なわれた
後、ステップST6にて、電鋳処理によって、金属層2
4が形成され、さらにステップST7にて、ガラス原盤
20及びフォトレジスト膜21が除去されることによ
り、金属薄膜23及び金属層24によるスタンパ25が
得られる。このスタンパ25は、その表面に、上記現像
工程(ステップST4)にて形成された情報ピット21
aが凹凸逆転した形状で転写されている。
Thereafter, in step ST5, the metal thin film 2
After formation of the metal layer 3, the conductive layer is formed, and then in step ST6, the metal layer 2 is formed by electroforming.
4 is formed, and further, in step ST7, the glass master 20 and the photoresist film 21 are removed, so that the stamper 25 including the metal thin film 23 and the metal layer 24 is obtained. The stamper 25 has information pits 21 formed on the surface thereof in the developing process (step ST4).
a is transferred in a shape in which unevenness is reversed.

【0026】次に、ステップST8にて、上記スタンパ
25を射出成形機の金型内に取り付けて、高温で溶融し
た例えばポリカーボネート樹脂等の透明樹脂26を金型
内に射出・冷却する。そして、ステップST9にて、射
出成形された透明樹脂26が金型から取り出されること
により、前記情報ピット21aの形状が転写された情報
ピット27aを有するディスク基板27が得られる。
Next, in step ST8, the stamper 25 is mounted in the mold of the injection molding machine, and the transparent resin 26 such as polycarbonate resin melted at high temperature is injected and cooled in the mold. Then, in step ST9, the injection-molded transparent resin 26 is taken out of the mold to obtain the disk substrate 27 having the information pits 27a to which the shape of the information pits 21a is transferred.

【0027】最後に、ステップST10にて、ディスク
基板27の表面に、スパッタリングまたは蒸着等によっ
て、反射膜28が形成され、さらにステップST11に
て、その上から樹脂皮膜の塗布等により、保護膜29が
形成されることにより、光ディスク10が完成すること
になる。
Finally, in step ST10, a reflective film 28 is formed on the surface of the disk substrate 27 by sputtering or vapor deposition, and in step ST11, a protective film 29 is formed by coating a resin film thereon. The optical disc 10 is completed by forming the optical disc.

【0028】この場合、光ディスク10の情報ピット1
3(27a)は、ガラス原盤20上のフォトレジスト膜
21の現像により得られる情報ピット21aとほぼ同じ
形状になり、ステップST8の射出成形によるスタンパ
25の摩耗や損傷が殆どないことから、ステップST8
乃至ST11を繰返し実行することによって、同じ情報
ピット13の配列を有する光ディスク10が大量に製造
されることになる。
In this case, the information pit 1 on the optical disc 10
3 (27a) has almost the same shape as the information pit 21a obtained by developing the photoresist film 21 on the glass master 20, and there is almost no wear or damage to the stamper 25 due to the injection molding of step ST8.
By repeating the processes from ST11 to ST11, a large number of optical discs 10 having the same array of information pits 13 are manufactured.

【0029】ところで、上記光ディスク10の製造工程
において、ガラス原盤20のカッティングに使用される
カッティングマシンは、図6に示すように、構成されて
いる。即ち、図6において、カッティングマシン30
は、所定回転数で回転駆動されるターンテーブルに装着
されたガラス原盤20に対して、レーザ光(カッティン
グビーム)を対物レンズ(図示せず)を介して照射する
ようになっており、原信号発生器31からの原信号に基
づいて、レーザ光の照射/非照射を制御すると共に、ガ
ラス原盤回転同期信号に基づいて、対物レンズがガラス
原盤20の内周側から外周側に向かってゆっくり移動す
るようになっている。
By the way, in the manufacturing process of the optical disc 10, the cutting machine used for cutting the glass master 20 is constructed as shown in FIG. That is, in FIG. 6, the cutting machine 30
Is configured to irradiate a glass master disk 20 mounted on a turntable which is rotationally driven at a predetermined rotation speed with a laser beam (cutting beam) through an objective lens (not shown). Irradiation / non-irradiation of laser light is controlled based on the original signal from the generator 31, and the objective lens is slowly moved from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the glass master 20 based on the glass master rotation synchronization signal. It is supposed to do.

【0030】さらに、この実施形態においては、カッテ
ィングマシン30は、上記レーザ光のスポットをターン
テーブルに装着されたガラス原盤20の半径方向に対し
て数μmづつ高速に動かす光学系を備えており、制御電
圧入力端子30aに印加された電圧に基づいてこの光学
系を移動させることにより、レーザ光のスポットをこの
電圧に比例した距離だけ移動させ得るようになってい
る。この制御電圧入力端子30aには、任意波形発生器
32が接続されており、この任意波形発生器32は、カ
ッティングマシン30の出力端子30bからのガラス原
盤回転同期信号に基づいて、任意の波形の信号を発生す
る。
Further, in this embodiment, the cutting machine 30 is provided with an optical system for moving the spot of the laser light at high speed by several μm in the radial direction of the glass master disk 20 mounted on the turntable, By moving this optical system based on the voltage applied to the control voltage input terminal 30a, the spot of the laser light can be moved by a distance proportional to this voltage. An arbitrary waveform generator 32 is connected to the control voltage input terminal 30a. The arbitrary waveform generator 32 generates an arbitrary waveform based on the glass master disc rotation synchronizing signal from the output terminal 30b of the cutting machine 30. Generate a signal.

【0031】このような構成によれば、カッティングマ
シン30は、任意波形発生器32からの信号波形に対応
して、カッティングビームのスポットを、本来のトラッ
クから半径方向にずらして、トラックを蛇行させること
ができる。従って、確認用トラックング駆動用電流また
はトラッキングエラー信号を発生させるトラックパター
ンが、任意波形発生器32からの信号波形に基づいて、
予め意図的に形成されることになる。尚、任意波形発生
器32が発生させる任意波形の信号は、カッティングマ
シン30のカッティングビームのスポットの移動によ
り、ガラス原盤上に形成されるカッティングビームの移
動軌跡即ちトラックが、種々の周期及び振幅の蛇行を行
なうように設定される。
According to such a configuration, the cutting machine 30 causes the spot of the cutting beam to be displaced in the radial direction from the original track in accordance with the signal waveform from the arbitrary waveform generator 32 so that the track meanders. be able to. Therefore, based on the signal waveform from the arbitrary waveform generator 32, the track pattern for generating the checking tracking driving current or the tracking error signal is
It is intentionally formed beforehand. The arbitrary waveform signal generated by the arbitrary waveform generator 32 has a movement trajectory of the cutting beam formed on the glass master disk, that is, a track having various periods and amplitudes due to the movement of the spot of the cutting beam of the cutting machine 30. It is set to perform meandering.

【0032】本実施形態による光ディスク10は、以上
のように構成されており、光ディスク10は、トラッキ
ング異常の検査のためのトラックパターンが、カッティ
ングマシン30の制御電圧入力端子30aに印加される
任意波形発生器32からの信号波形に従って、前以て故
意に所定の振幅・周期の蛇行を有するように形成される
ので、所望のトラッキング異常を与える検査用標準光デ
ィスクが安定的に得られることになる。
The optical disc 10 according to the present embodiment is configured as described above, and the optical disc 10 has an arbitrary waveform in which the track pattern for the inspection of the tracking abnormality is applied to the control voltage input terminal 30a of the cutting machine 30. According to the signal waveform from the generator 32, the standard optical disc for inspection giving a desired tracking abnormality can be stably obtained because it is intentionally formed so as to have a meandering of a predetermined amplitude and period.

【0033】そして、このように構成された光ディスク
10を光ディスク装置40で検査する場合、図7に示す
ように、ターンテーブル(図示せず)上に載置された光
ディスク10をスピンドルモータ41により回転駆動す
ると共に、光学ピックアップ42から対物レンズ42a
を介して光ディスク10の信号記録面に光ビームを照射
する。そして、光ディスク10の信号記録面からの戻り
光を、光学ピックアップ42の光検出器(図示せず)に
より検出して、再生信号,トラッキングエラー信号等を
生成するようになっている。
When inspecting the optical disk 10 thus constructed by the optical disk device 40, as shown in FIG. 7, the optical disk 10 placed on the turntable (not shown) is rotated by the spindle motor 41. The optical pickup 42 is driven and the objective lens 42a is driven.
A light beam is irradiated onto the signal recording surface of the optical disc 10 via the. Then, the return light from the signal recording surface of the optical disc 10 is detected by a photodetector (not shown) of the optical pickup 42 to generate a reproduction signal, a tracking error signal and the like.

【0034】ここで、光ディスク装置40には、測定回
路43,制御部44及びコンピュータ45が接続されて
いる。測定回路43は、光ディスク装置40からの各種
信号を取り出して、光ディスク10の品質を検査するた
めの測定を行なう。制御部44は、コンピュータ45か
らの指示に基づいて、光ディスク装置40,測定回路4
3を制御し、種々の品質項目に関する測定の結果を、コ
ンピュータ45に送出する。
Here, a measuring circuit 43, a control unit 44 and a computer 45 are connected to the optical disk device 40. The measurement circuit 43 takes out various signals from the optical disc device 40 and performs measurement for inspecting the quality of the optical disc 10. The control unit 44 controls the optical disk device 40 and the measuring circuit 4 based on an instruction from the computer 45.
3 and sends the result of the measurement regarding various quality items to the computer 45.

【0035】このような構成によれば、光ディスク10
を再生することにより、光ディスク10から種々の周期
及び振幅によるトラック蛇行に基づいて、図9のような
トラッキング駆動電流TDの変動や、トラッキングエラ
ー信号TEの変動等の前以て故意に設定された多様なト
ラッキング異常が発生することになる。従って、例えば
予め設定されたトラックに対応して、忠実に図9のよう
なトラッキング駆動電流TDの変動や、トラッキングエ
ラー信号TEの変動が検出されるかどうかを確認するこ
とによって、光ディスク装置40を含む検査機や測定回
路43の調整または校正を行うことができる。これによ
り、光ディスク量産工程における検査基準が一定に保持
されることになる。従って、光ディスクの再生に関する
トラッキング異常に対する光ディスク装置の検査が行わ
れるので、光ディスクのトラッキング異常に関する定量
的な検査が可能となる。
According to such a configuration, the optical disk 10
Is reproduced from the optical disk 10 based on the track meandering with various periods and amplitudes, and the tracking drive current TD as shown in FIG. 9 and the tracking error signal TE are intentionally set in advance. Various tracking abnormalities will occur. Therefore, for example, by checking whether the fluctuation of the tracking drive current TD or the fluctuation of the tracking error signal TE as shown in FIG. It is possible to adjust or calibrate the inspecting machine and the measuring circuit 43 including it. As a result, the inspection standard in the mass-production process of optical disks is kept constant. Therefore, since the optical disc device is inspected for the tracking abnormality relating to the reproduction of the optical disc, the quantitative inspection for the tracking abnormality of the optical disc becomes possible.

【0036】上述した実施形態においては、光ディスク
装置40によるトラッキング異常の検査が行なわれる場
合について説明したが、これに限らず、光ディスク装置
40の動作確認のために、光ディスク10を使用するこ
とも可能である。
In the above embodiment, the case where the tracking abnormality inspection is performed by the optical disc device 40 has been described, but the present invention is not limited to this, and the optical disc 10 can be used to check the operation of the optical disc device 40. Is.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、検
査の基準とする所望のトラッキング異常に関する欠陥を
備えた、大量生産可能で且つ再現性の良好な、検査用標
準光ディスクとその製造方法及び検査方法が提供される
ことになる。
As described above, according to the present invention, a standard optical disk for inspection, which has a defect relating to a desired tracking anomaly serving as an inspection reference, can be mass-produced, and has good reproducibility, and its manufacture. Methods and inspection methods will be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による光ディスクの一実施形態の全体を
示す概略斜視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an entire optical disc according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の光ディスクにおける通常のトラックの領
域を示す概略図及びトラックを構成する情報ピットの部
分拡大図である。
FIG. 2 is a schematic view showing a region of a normal track in the optical disc of FIG. 1 and a partially enlarged view of information pits constituting the track.

【図3】図1の光ディスクにおける確認用トラックング
駆動用電流のトラッキングエラー信号を発生させるトラ
ックパターンの領域を示す概略図である。
FIG. 3 is a schematic diagram showing an area of a track pattern for generating a tracking error signal of a checking tracking driving current in the optical disc of FIG.

【図4】図3のトラックパターンの変形例を示す概略図
である。
FIG. 4 is a schematic view showing a modified example of the track pattern of FIG.

【図5】図1の光ディスクの製造工程を順次に示すフロ
ーチャートである。
5 is a flowchart sequentially showing a manufacturing process of the optical disc of FIG.

【図6】図5の製造工程における原盤のカッティング工
程で使用されるカッティングマシンを示す概略図であ
る。
6 is a schematic view showing a cutting machine used in a master disc cutting process in the manufacturing process of FIG. 5;

【図7】図1の光ディスクによるトラッキング異常の検
出方法を実施するためのシステムを示す概略図である。
FIG. 7 is a schematic diagram showing a system for implementing the method for detecting tracking abnormality by the optical disc of FIG.

【図8】従来の光ディスク装置の構成を示す概略図であ
る。
FIG. 8 is a schematic diagram showing a configuration of a conventional optical disc device.

【図9】図8の光ディスク装置にてトラッキング異常
(比較的周期の長い蛇行)がある光ディスクを再生した
場合のトラック,トラッキングエラー信号及び対物レン
ズ駆動電流を示すタイムチャートである。
9 is a time chart showing a track, a tracking error signal, and an objective lens drive current when an optical disc having tracking abnormality (meandering with a relatively long cycle) is reproduced by the optical disc device of FIG.

【図10】図8の光ディスク装置にてトラッキング異常
(比較的周期の短い蛇行)がある光ディスクを再生した
場合のトラック,トラッキングエラー信号及び対物レン
ズ駆動電流を示すタイムチャートである。
10 is a time chart showing a track, a tracking error signal, and an objective lens drive current when an optical disk having tracking abnormality (meandering with a relatively short cycle) is reproduced by the optical disk device of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・・光ディスク、11・・・ディスク基板、12
・・・トラック、13・・・情報ピット、12a,12
b・・・トラック蛇行、20・・・ガラス原盤、21・
・・フォトレジスト膜、21a・・・情報ピット、22
・・・カッティングマシンの対物レンズ、23・・・金
属薄膜、24・・・金属層、25・・・スタンパト、2
6・・・透明樹脂、27・・・ディスク基板、27a・
・・情報ピット、28・・・反射膜、29・・・保護
膜、30・・・カッティングマシン、31・・・原信号
発生器、32・・・任意波形発生器、40・・・光ディ
スク装置、41・・・スピンドルモータ、42・・・光
学ピックアップ、43・・・測定回路、44・・・制御
部、45・・・コンピュータ。
10 optical disk, 11 disk substrate, 12
... Tracks, 13 ... Information pits, 12a, 12
b ... track meandering, 20 ... glass master, 21 ...
..Photoresist film, 21a ... Information pits, 22
... Objective lens of cutting machine, 23 ... Metal thin film, 24 ... Metal layer, 25 ... Stampato, 2
6 ... Transparent resin, 27 ... Disk substrate, 27a ...
..Information pits, 28 ... Reflective film, 29 ... Protective film, 30 ... Cutting machine, 31 ... Original signal generator, 32 ... Arbitrary waveform generator, 40 ... Optical disk device , 41 ... Spindle motor, 42 ... Optical pickup, 43 ... Measuring circuit, 44 ... Control unit, 45 ... Computer.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 芳博 神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134番地 株式会社ソニー・ディスクテクノロジー 内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Yoshihiro Nakamura 134, Kobe-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Sony Disk Technology Co., Ltd.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半径方向に関して所定のトラックピッチ
を有するように構成されたトラックを備えた光ディスク
において、 前記トラックの一部が、確認用のトラッキング駆動用電
流またはトラッキングエラー信号を発生させるように予
め意図的に形成された、トラックパターンを備えること
を特徴とする検査用標準光ディスク。
1. An optical disc having tracks arranged to have a predetermined track pitch in the radial direction, wherein a part of the tracks is previously generated so as to generate a tracking drive current or a tracking error signal for confirmation. A standard optical disc for inspection, which is provided with a track pattern intentionally formed.
【請求項2】 表面にフォトレジストが塗布された原盤
に対して、カッティングマシンにより、半径方向に関し
て所定のトラックピッチを有するように構成されたトラ
ックに沿って、情報ピットに対応する位置にレーザ光を
照射する、第一の工程と、 第一の工程により露光されたフォトレジストを現像して
除去することにより、情報ピットを備えた原盤を作成す
る、第二の工程と、 第二の工程により得られた原盤の表面に、金属薄膜を形
成し、その上に電鋳等により金属層を形成して、スタン
パを作成する、第三の工程と、 電鋳工程により得られたスタンパ表面に、透明樹脂を射
出成形して、基板を作成する、第四の工程と、 第四の工程で得られた基板表面に、反射膜及び保護膜を
形成して、光ディスクを作成する、第五の工程とを含ん
でおり、 前記第一の工程において、 予め設定した、確認用のトラッキング駆動用電流または
トラッキングエラー信号を発生させるトラックパターン
を生成するように、カッティングマシンの露光用のレー
ザ光をガラス原盤の半径方向に蛇行させるために、カッ
ティングマシンに対して蛇行信号を与えることを特徴と
する検査用標準光ディスクの製造方法。
2. A laser beam is applied to a position corresponding to an information pit along a track configured to have a predetermined track pitch in a radial direction by a cutting machine with respect to a master having a photoresist coated on its surface. The first step of irradiating the substrate and the photoresist exposed in the first step are developed and removed to form a master disc having information pits. The second step and the second step On the surface of the obtained master, a metal thin film is formed, a metal layer is formed on it by electroforming, etc., to create a stamper, the third step, and the stamper surface obtained by the electroforming step, Fourth step of making a substrate by injection molding a transparent resin, and a fifth step of forming an optical disk by forming a reflection film and a protective film on the surface of the substrate obtained in the fourth step Including and In the first step, the laser light for exposure of the cutting machine is set in the radial direction of the glass master so as to generate a preset tracking drive current for confirmation or a track pattern for generating a tracking error signal. A method of manufacturing a standard optical disk for inspection, which comprises applying a meandering signal to a cutting machine to cause the cutting machine to meander.
【請求項3】 半径方向に関して所定のトラックピッチ
を有するように構成されたトラックを備えると共に、こ
のトラック一部に予め意図的に形成された、確認用トラ
ッキング駆動用電流またはトラッキングエラー信号を発
生させるトラックパターンを有する検査用標準光ディス
クを再生して、 前記検査用標準光ディスクからの戻り光に基づいて、ト
ラッキング制御することで、トラッキング駆動用電流ま
たはトラッキングエラー信号を得て、 トラッキング駆動用電流またはトラッキングエラー信号
から確認用の信号波形を検出することを特徴とする検査
用標準光ディスクによる検査方法。
3. A track tracking drive current or a tracking error signal, which is provided on a part of this track and has a track configured to have a predetermined track pitch in the radial direction, is generated. By reproducing a standard optical disc for inspection having a track pattern and performing tracking control based on the return light from the standard optical disc for inspection, a tracking drive current or a tracking error signal is obtained, and a tracking drive current or tracking is obtained. An inspection method using a standard optical disc for inspection, which comprises detecting a confirmation signal waveform from an error signal.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003063147A1 (en) * 2002-01-23 2003-07-31 Sony Corporation Disc-shaped optical recording medium and reproduction limit method thereof

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