JPH09266342A

JPH09266342A - ガスレ−ザ発振器

Info

Publication number: JPH09266342A
Application number: JP9925996A
Authority: JP
Inventors: Tetsushi Akagi; 哲士赤木
Original assignee: Daihen Corp
Current assignee: Daihen Corp
Priority date: 1996-03-27
Filing date: 1996-03-27
Publication date: 1997-10-07
Anticipated expiration: 2016-03-27
Also published as: JP3694359B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ガスレーザ発振器の運転中に、ガス循環路に
残留されるブロワからのオイルミスト等に起因したレー
ザ出力の低下により、加工不良となることを防止する【解決手段】レーザ出力の低下の要因となる、レーザ
ガスに混在されるオイルミスト等に着目したガス排気弁
の開閉デューティ値を予め設定する開閉デューティ値設
定器と、ガス排気弁の実際の開閉デューティ値を演算す
る演算器と、実際の開閉デューティ値と設定開閉デュー
ティ値とを比較して実際の開閉デューティ値が設定値以
上になったときに信号を出力する比較器と、上記比較器
の出力信号により作動される表示手段とを設け、上記表
示手段が作動されることにより、ガスレーザ発振器が加
工不良を起す状態となったことを作業者に自動的に知得
させて、加工不良の状態を未然に防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス循環型のガス
レーザ発振器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ガス排気ポンプによってレーザ
ガスを排気すると共に、新しいレーザガスを供給しつつ
運転するタイプのガスレーザ発振器が提言されている
が、この場合、ガス排気量とガス供給量とのバランスを
とることによって、ガスレーザ発振器のガス圧力を所望
の範囲内に保持させてレーザ出力の安定化を図ってい
る。

【０００３】図３は、従来のガスレーザ発振器を例示し
たブロック図である。以下、図３を参照して、従来のガ
スレーザ発振器について説明する。１はレーザ共振器、
２はレーザ共振器１に連通されたガス循環路にレーザガ
スを循環させるためのブロワであって、ブロワ２を出入
りするレーザガスの流れを矢印Ｉで示し、２_OUTはブロ
ワ２のガス吐出側、２_INはブロワ２のガス吸込側を示し
ている。３はアノード電極、４はカソード電極、５は全
反射鏡、６は半透過鏡、７はアノード電極３とカソード
電極４との間に高電圧を印加する高電圧電源、８はガス
循環路中のレーザガスを冷却する冷却器、９はブロワ２
を起動するブロワ起動回路である。１０はガスノズル、
１１はガス供給源、例えばガスボンベ、１２は供給ガス
の圧力を調整するレギュレータ、１３はガス供給路を開
閉するガス供給用開閉弁、例えば電磁弁、１４はガス供
給量を調整する調整弁である。１５はガス排気ポンプ、
例えば真空ポンプ、１６は所望時に多量のガスを排気さ
せて、ガス吸込側のガス圧力を制御するためのガス排気
弁、例えば電磁弁、１７は供給ガス量よりも少ないガス
を常時外気にリークさせるリーク弁、１８は排気配管で
ある。１９はブロワのガス吸込側２_INのガス圧力を検出
するガス圧力センサ、２０はガス排気弁１６を開閉制御
するガス圧力制御器である。

【０００４】上記構成において、アノード電極３とカソ
ード電極４との間に高電圧電源７による高電圧を印加す
ることにより、アノード電極３とカソード電極４との間
にグロー放電３４が発生し、ＣＯ₂，Ｎ₂，Ｈｅ等から
なるレーザガスがアノード電極３からカソード電極４に
向かって矢印Ｉで示す方向に高速で流される。このよう
にグロー放電３４を発生してレーザの励起が行われる。
全反射鏡５と半透過鏡６との間で繰返して増幅されたレ
ーザ光Ｌが半透過鏡６を透過して外部に放出される。

【０００５】次にガスレーザ発振器を稼動中のガスの給
排気について説明する。ガスレーザ発振器が稼動中は、
ガス供給用開閉弁１３が開となり、レギュレータ１２お
よび調整弁１４によってガスの供給圧力および供給量が
適宜に調整される。又、ガスの排気はガス排気ポンプ１
５を動作させて、ガス排気弁１６を閉としリーク弁１７
によって常時排気量を調整するが、リーク弁１７の排気
量はガスの供給量よりも僅かに少なく設定されている。

【０００６】すなわち、ガスレーザ発振器の組立時に混
入したダスト、配管内に付着していたダスト、ガスレー
ザ発振器の運転中にガス循環路に流出するブロワ２から
のオイルミスト等は、レーザガスを汚染してレーザ出力
の低下をきたす。このため、ガス循環路に供給されるガ
ス量に対して、少ないガスをリーク弁１７から常時リー
クさせて、ガス循環路内のダストやオイルミスト等を器
外に排出させている。この状態でレーザ発振器を稼動さ
せると、リーク弁１７からリークさせるガス量よりも供
給されるガス量の方が多いため、発振器の稼動とともに
ガス循環路内のガス圧力が徐々に増加する。ガス圧力セ
ンサ１９はこのブロワのガス吸込側２_INのガス圧力を検
出して、ガス圧力制御器２０に信号を出力する。

【０００７】ガス圧力制御器２０にはブロワのガス吸込
側２_INとブロワのガス吐出側２_OUTとの差圧を所望の状
態に維持するための設定範囲、すなわち設定圧力上限値
ＰＨおよび設定圧力下限値ＰＬからなるガス圧力設定値
が予め定められている。例えば、ブロワのガス吸込側２
_INのガス圧力が設定圧力上限値ＰＨになったときには、
ガス圧力センサ１９がその値を検出してガス圧力制御器
２０に信号を出力する。この信号が入力されたガス圧力
制御器２０はガス排気弁１６を開とする。ガス排気弁１
６はリーク弁１７よりも多量のガスを排気するため、ガ
ス排気弁１６が開となると、ブロワのガス吸込側２_INの
ガスが多量に排気されて、ブロワのガス吸込側２_INのガ
ス圧力は短時間で低下する。これにより、ブロワのガス
吸込側２_INのガス圧力が設定圧力下限値ＰＬとなったと
きに、ガス排気弁１６が閉に制御されて、ガスを多量に
排気する排気路が閉鎖される。この後、リーク弁１７か
ら微量のガスが継続して排気されるが、上記したごとく
ガスの供給量の方が大きいためブロワのガス吸込側２_IN
の圧力が再び徐々に上昇する。この後、上記したごと
く、ガス排気弁１６が適宜に開閉制御されて、ガスレー
ザ発振器のガスの給排気が繰り返される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ガス循環路
内のガス圧力が設定圧力上限値ＰＨに達したときに、ガ
ス排気弁１６を開にしてガスを排気するが、リーク弁１
７に対してガス排気弁１６の排気量が多いため、ガス排
気弁１６を開にした後には、短時間でガス循環路内のガ
ス圧力が設定圧力下限値ＰＬとなる。このため、ガス排
気弁１６は、開から短時間で閉に切替制御される。この
ように、ガス排気弁１６を開にしたガスを排気する時間
が短いため、ガス排気弁１６から器外に排出されるダス
トやオイルミスト等が極めて少ない。すなわち、ダスト
やオイルミスト等を混入したレーザガスは、実質的には
リーク弁１７から器外に常時取出される状態となってい
る。ところで、ガスレーザ発振器の初期使用時には、ガ
ス排気弁１６が開閉制御される１サイクルの間にリーク
弁１７から常時リークさせているリークガス量は所望の
状況であって、このように所望のリークガス量を取出す
ことにより、すなわち、ダストやオイルミスト等を混入
したレーザガスを長時間に亘ってリークさせて器外に所
望量取出すことにより、器内のレーザガスに混在するオ
イルミスト等を僅少量に維持させている。

【０００９】勿論、ガスレーザ発振器内に混入したダス
トや、ガスレーザ発振器の運転中にガス循環路に徐々に
流入するブロワ２からのオイルミスト等を混入したレー
ザガスがリーク弁１７から器外に取出されているが、ガ
スレーザ発振器の稼動に伴なって、レーザガスに混入し
たダストやオイルミスト等によりリーク弁１７の目詰り
が徐々に生起し、これによりリークガス量が徐々に減少
して、器内のレーザガス圧力の微増加化が徐々に進行す
る。

【００１０】このように、リーク弁１７の目詰りが徐々
に生起すると、器内のガス圧力の微増加化により、器内
のガス圧力が設定圧力上限値ＰＨに到達するまでの時
間、すなわち、ガス排気弁１６の閉に保たれている時間
が徐々に短縮化される。ガス排気弁１６を開閉制御する
１サイクル時間において、ガス排気弁１６が開に保たれ
る時間、すなわち器内のガス圧力を設定圧力下限値ＰＬ
までに下げる時間は、所望とするレーザ出力値や使用す
るガスレーザ発振器等によって一義的には断言はできな
いが略一定の時間であるが、リーク弁１７の目詰りが徐
々に生起すると、ガス排気弁１６の閉に保たれている時
間が徐々に短縮化されるために、ガス排気弁１６が開閉
制御する１サイクル時間が短縮化する。

【００１１】このように、ガス排気弁１６を開閉制御す
る１サイクル時間の短縮化によりリーク弁１７からオイ
ルミスト等を排出する時間が短縮化することと合せて、
リーク弁１７の目詰りが徐々に進行するために、リーク
弁１７からリークされるガス量が徐々に低下して、器外
に排出されるダストやオイルミスト等が少なくなる。こ
のため、ガスレーザ発振器の運転中にガス循環路に流出
するブロワ２からのオイルミスト等が徐々にガス循環路
内に残留されていくこととなり、ガスレーザ発振器の長
期使用時にはレーザ出力の低下を招いて加工不良の原因
となっていた。

【００１２】そこで本発明の目的は、前述した従来技術
の課題を解消するために、発振器の配管内のダスト、オ
イルミスト等によるリーク弁１７の目詰り状態を知得し
て、加工不良を解消することができるガスレーザ発振器
を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ共振器
と、レーザ共振器に接続されたガス循環路と、ガスを循
環させるためにガス循環路中に設けられたブロワと、ブ
ロワの吐出側のガス循環路に接続されたガス供給源と、
ブロワの吸込側のガス循環路に接続されたガス排気ポン
プと、ガス供給路に夫々設けられた流量・圧力調整弁お
よび開閉弁と、ガス排気路に設けられたガス排気弁と、
ブロワの吸込側に夫々接続された流量調整自在なリーク
弁およびガス圧力センサと、予め定められた圧力上限値
および下限値からなるガス圧力設定値と前記ガス圧力セ
ンサの検出値とを比較して、ガス循環路のガス圧力を前
記ガス圧力設定値の範囲内となるように前記ガス排気弁
を開閉制御するガス圧力制御器とからなるガスレーザ発
振器に適用される。その特徴とするところは、ガス排気
弁の開閉デューティ値を予め設定する開閉デューティ値
設定器と、前記ガス排気弁の実際の開閉デューティ値を
演算する演算器と、前記実際の開閉デューティ値と前記
設定開閉デューティ値とを比較して前記実際の開閉デュ
ーティ値が前記設定値以上になったときに信号を出力す
る比較器と、前記出力信号により作動される表示手段と
を設けたことである。

【００１４】上記ガス排気弁の開閉デューティ値；ＴＤ
とは、ガスレーザ発振器の稼動中にガス排気弁が閉に作
動される時点から、開を経て次に閉に作動される時点ま
でを１サイクルと見倣し、この１サイクル時間に対する
ガス排気弁の開時間の割合を言い、例えばパーセントで
取扱う。なお、前記ガス圧力設定値およびガス排気弁の
設定開閉デューティ値は、所望とするレーザ出力値や使
用する高電圧電源等によって一義的には断言はできない
が、実施するガスレーザ発振器が特定されれば、加工状
況の仕様をセッティングすることにより、実験あるいは
経験により適宜に選定することができる。

【００１５】一方、ガスレーザ発振器内に混入したオイ
ルミスト等は、レーザガスを汚染してレーザ出力の低下
をきたす要因となるため、ブロワの吸込側のガス循環路
に接続されたリーク弁からオイルミスト等を混入したレ
ーザガスが器外に常時取出されており、前記表示手段が
作動される迄は、ガス排気弁が開閉制御される１サイク
ル時間の間にリーク弁から常時リークさせているリーク
ガス量は所望の状況である。このように所望のリークガ
ス量を取出すことにより、すなわち、オイルミスト等を
混入したレーザガスを長時間に亘ってリークさせて器外
に所望量取出すことにより、器内のレーザガスに混在す
るオイルミスト等を僅少量に維持することができる。

【００１６】上記のごとく、前記表示手段が作動される
迄の間は、リーク弁から所望量のリークガス量を取出し
て、器内のレーザガスに混在するオイルミスト等を僅少
量に維持されていることと相侯って、ガス圧力センサの
検出値がガス圧力設定値の範囲内となるように、ガス排
気弁の開閉制御が行なわれて、ガス圧力が制御されて、
結果としてブロワの吸込側のガス循環路内が所望のガス
圧力状態に維持されているため、所望とするレーザ出力
により加工不良のないレーザ加工が行なえる、ガスレー
ザ発振器を実現することができる。

【００１７】勿論、ガスレーザ発振器の稼動に伴なっ
て、レーザガスに混入したオイルミスト等によりリーク
弁の目詰りが徐々に生起し、リークガス量が徐々に減少
して、器内のレーザガス圧力の微増加化が徐々に進行す
る。

【００１８】このように、器内のガス圧力の微増加化に
より、器内のガス圧力が設定圧力上限値ＰＨに到達する
までの時間、すなわち、ガス排気弁を開閉制御する１サ
イクルにおいて、リーク弁の目詰りが徐々に生起すると
ガス排気弁の閉に保たれている時間が徐々に短縮化され
て、ガス排気弁の開閉デューティ値が微増となる。

【００１９】従って、レーザ出力の低下の要因となるレ
ーザガスに混在されるオイルミスト等に着目したガス排
気弁の開閉デューティ値を予め設定しておき、ガス排気
弁の実際の開閉デューティ値が前記設定値以上となった
ときに表示手段を作動させることにより、ガスレーザ発
振器が加工不良を起す状態となったことを作業者に自動
的に知得させることができる。

【００２０】なお、表示手段としては、ブザー、点滅表
示器あるいは回転表示器等適宜のものを選定することが
できる。勿論、表示手段が作動した時点以降は加工不良
の状態であるため、表示手段が作動した時に、高電圧電
源、ブロワおよび冷却器を同時に停止させたり、あるい
はブロワおよび冷却器を高電圧電源の停止後、適宜に遅
延して順次停止させることも有効である。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施例によ
り詳細に説明する。図１は、本発明の実施例を示すブロ
ック図であって、図３と同じ構成部品には同じ符号を付
してあるが、説明は省略する。

【００２２】図１において、２１はガス圧力制御器２０
の信号によってガス排気弁１６の実際の開閉デューティ
値を演算する演算器、２２はガス排気弁１６の開閉デュ
ーティ値を予め設定する開閉デューティ値設定器、２３
は実際の開閉デューティ値と設定開閉デューティ値とを
比較して、実際の開閉デューティ値が設定開閉デューテ
ィ値以上になったときに信号を出力する比較器、２４は
比較器２３の出力信号により作動される表示手段であ
る。

【００２３】上記ガス排気弁１６の開閉デューティ値；
ＴＤとは、ガスレーザ発振器の稼動中にガス排気弁１６
が閉に作動される時点から、開を経て次に閉に作動され
る時点までを１サイクルと見倣し、この１サイクル時間
に対するガス排気弁１６の開時間の割合を言い、例えば
パーセントで取扱う。

【００２４】図１に示される構成において、１乃至２０
は図３に示される構成と同一であって、これら１乃至２
０の各部の調整および動作は図３における説明と同一で
ある。

【００２５】すなわち、概略的にはガスレーザ発振器の
稼動中には、ガス圧力および供給量が適宜に調整された
レーザガスがガス供給源１１からガス循環路に供給され
る。他方、排気量がガス供給量よりも僅かに少なく設定
されたレーザガスが、リーク弁１７を介して常時器外に
排出されている。勿論、リーク弁１７からリークさせる
ガス量よりも供給されるガス量の方が多いため、発振器
の稼動とともにガス循環路内のガス圧力が徐々に増加す
るが、ガス循環路内のガス圧力をガス圧力センサ１９に
より検出し、この検出値が設定圧力上限値ＰＨに達した
ときに、ガス圧力制御器２０によりガス排気弁１６が開
に作動されて多量のガスがガス排気弁１６を経て器外に
排出される。ガス排気弁１６が開にされた後には、ガス
圧力センサ１９の検出値が短時間で設定圧力下限値ＰＬ
となるため、ガス圧力制御器２０によりガス排気弁１６
が閉に作動される。このようにガス循環路内のガス圧力
が設定範囲内となるように、ガス圧力制御器２０により
ガス排気弁１６が開閉制御される。

【００２６】ところで、ガスレーザ発振器の稼動に伴な
って、リーク弁１７の目詰りが徐々に生起するが、この
状況を以下に説明する。図２はリーク弁１７の目詰りが
徐々に生起していく状況を過渡的に説明するための図で
あって、ガス排気弁１６の開閉状態とブロワのガス吸込
側２_INのガス圧力との関係を示すタイムチャートであ
る。図２においてＴ_1a乃至Ｔ_1kは、ガスレーザ発振器の
稼動中にガス排気弁１６が閉に作動される時点から、開
を経て次に閉に作動される時点までの夫々１サイクル時
間、ｔ_1a乃至ｔ_1kはガス排気弁１６が夫々開に継持され
ている時間、ｔ_2a乃至ｔ_2kは上記開の前にガス排気弁１
６が閉に継持されている時間である。

【００２７】図１および図２において、１サイクルにお
けるガス排気弁１６の開の値、すなわち、開閉デューテ
ィ値ＴＤは、ガス排気弁１６が開閉制御される最初の１
サイクルにおいて、１サイクル時間をＴ_1a、ガス排気弁
１６が開のときと閉のときとをそれぞれｔ_1a，ｔ_2aとす
ると、演算器２１はこのガス排気弁１６の開閉時間をガ
ス圧力制御器２０から入力して、開閉デューティ値ＴＤ
₁を演算する。すなわちＴＤ₁＝ｔ_1a／Ｔ_1a 又はＴ
Ｄ₁＝ｔ_1a／（ｔ_1a＋ｔ_2a）となる。上式において、ガ
ス排気弁１６が閉となっている時間ｔ_2aは、開となって
いる時間ｔ_1aに比べて充分に長い時間であり、ガスレー
ザ発振器を稼動中は、ガスレーザ発振器内に混入したダ
ストやガスレーザ発振器の運転中にガス循環路に徐々に
流入するブロワ２からのオイルミスト等を混入したレー
ザガスは、実質的にリーク弁１７を介して器外に取出さ
れている。このため、ガスレーザ発振器の稼動に伴なっ
て、レーザガスに混入したダストやオイルミスト等によ
りリーク弁１７の目詰りが徐々に生起し、リークガス量
が徐々に減少して、器内のレーザガス圧力の微増加化が
徐々に進行する。

【００２８】このようにリーク弁１７の目詰りが徐々に
生起すると、器内のガス圧力の微増加化により、器内の
ガス圧力が設定圧力上限値ＰＨに到達するまでの時間、
すなわち、ガス排気弁１６の閉に保たれている時間が徐
々に短縮される。すなわち、図２に示されるごとく、ガ
ス排気弁１６が閉に保たれている時間ｔ_2a，ｔ_2b，……
…ｔ_2kは時間の経過と共に徐々に短縮されて、例えば、
時間ｔ_2kはｔ_2aに比べて短かい時間となるため、ガス排
気弁１６の夫々の開閉デューティ値ＴＤ₁，ＴＤ₂，…
……が微増となる。

【００２９】従って、開閉デューティ値設定器２２にお
いて、レーザ出力の低下の要因となるレーザガスに混在
されるオイルミスト等に着目した、ガス排気弁１６の設
定開閉デューティ値ＴＤ₀は、所望とするレーザ出力値
や使用する高電圧電源７等によって一義的には断言はで
きないが、実施するガスレーザ発振器が特定されれば、
加工状況の仕様をセッティングすることにより、実験あ
るいは経験により適宜に選定することができる。ところ
で、演算器２１において演算されたガス排気弁１６の実
際の開閉デューティ値、例えばＴＤ_kと上記設定開閉デ
ューティ値ＴＤ₀とが比較器２３により比較されて、実
際の開閉デューティ値ＴＤ_kが上記設定開閉デューティ
値ＴＤ₀以上となったとき、すなわち、ＴＤ₀≦ＴＤ_k
となったときに、表示手段２４を作動させることによ
り、ガスレーザ発振器が加工不良を起す状態となったこ
とを作業者に自動的に知得させることができる。

【００３０】勿論、１サイクルにおけるガス排気弁１６
の設定開閉デューティ値はガス排気弁１６の閉時間、す
なわち換言すれば、リーク弁１７の目詰り状態に寄因す
る時間に関与する。すなわち上記表示手段２４が作動す
るまでの間は、リーク弁１７からリークされるガス量が
狙いとする容量であり、このため器外に排出されるオイ
ルミスト等が所望の状態となっていることが理解でき
る。なお、表示手段２４としては、ブザー、点滅表示器
あるいは回転表示器等適宜のものを選定することができ
る。勿論、表示手段２４が作動した時点以降は加工不良
の状態であるため、表示手段２４が作動した時に、高電
圧電源７、ブロワ２および冷却器８を同時に停止させた
り、あるいはブロワ２および冷却器８を高電圧電源７の
停止後、適宜に遅延して順次停止させることも有効であ
る。

【００３１】

【本発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明
のガスレーザ発振器は、レーザ共振器１と、レーザ共振
器１に接続されたガス循環路と、ガスを循環させるため
にガス循環路中に設けられたブロワ２と、ブロワ２の吐
出側のガス循環路に接続されたガス供給源１１と、ブロ
ワ２の吸込側のガス循環路に接続されたガス排気ポンプ
１５と、ガス供給路に夫々設けられた流量・圧力調整弁
１４および開閉弁１３と、ガス排気路に設けられたガス
排気弁１６と、ブロワの吸込側に夫々接続された流量調
整自在なリーク弁１７およびガス圧力センサ１９と、予
め定められた圧力上限値ＰＨおよび下限値ＰＬからなる
ガス圧力設定値とガス圧力センサ１９の検出値とを比較
して、ガス循環路のガス圧力をガス圧力設定値の範囲内
となるようにガス排気弁１６を開閉制御するガス圧力制
御器２０とからなるガスレーザ発振器において、ガス排
気弁１６の開閉デューティ値を予め設定する開閉デュー
ティ値設定器２２と、ガス排気弁１６の実際の開閉デュ
ーティ値を演算する演算器２１と、実際の開閉デューテ
ィ値と設定開閉デューティ値とを比較して実際の開閉デ
ューティ値が設定値以上になったときに信号を出力する
比較器２３と、出力信号により作動される表示手段２４
とを設けてなるため、表示手段２４が作動されることに
より、ガスレーザ発振器が加工不良を起こす状態となっ
たことを作業者に自動的に知得させることができる。

【００３２】さらに、表示手段２４が作動した時点以降
は加工不良の状態であるため、表示手段２４が作動した
ときに、高電圧電源７、ブロワ２および冷却器８を同時
に停止させたり、あるいはブロワ２および冷却器８を高
電圧電源７の停止後、適宜に遅延して順次停止させるこ
とにより、加工不良の状態を未然に防止することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す図。

【図２】図１の使用状況説明図。

【図３】従来例を示す図。

【符号の説明】

１レーザ共振器２ブロワ２_IN ブロワのガス吸込側１１ガス供給源１２レギュレータ１３ガス供給用開閉弁１４調整弁１５ガス排気ポンプ１６ガス排気弁１７リーク弁１９ガス圧力センサ２０ガス圧力制御器２１開閉デューティ値の演算器２２開閉デューティ値設定器２３比較器２４表示手段ＰＨ設定圧力上限値ＰＬ設定圧力下限値

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レーザ共振器と、レーザ共振器に接続さ
れたガス循環路と、ガスを循環させるためにガス循環路
中に設けられたブロワと、ブロワの吐出側のガス循環路
に接続されたガス供給源と、ブロワの吸込側のガス循環
路に接続されたガス排気ポンプと、ガス供給路に夫々設
けられた流量・圧力調整弁および開閉弁と、ガス排気路
に設けられたガス排気弁と、ブロワの吸込側に夫々接続
された流量調整自在なリーク弁およびガス圧力センサ
と、予め定められた圧力上限値および下限値からなるガ
ス圧力設定値と前記ガス圧力センサの検出値とを比較し
て、ガス循環路のガス圧力を前記ガス圧力設定値の範囲
内となるように前記ガス排気弁を開閉制御するガス圧力
制御器とからなるガスレーザ発振器において、前記ガス
排気弁の開閉デューティ値を予め設定する開閉デューテ
ィ値設定器と、前記ガス排気弁の実際の開閉デューティ
値を演算する演算器と、前記実際の開閉デューティ値と
前記設定開閉デューティ値とを比較して前記実際の開閉
デューティ値が前記設定値以上になったときに信号を出
力する比較器と、前記出力信号により作動される表示手
段とを設けたことを特徴とするガスレーザ発振器。
【請求項２】前記設定開閉デューティ値をＴＤ₀、実
際のガス排気弁が開に保たれている時間をｔ_1iおよび該
ガス排気弁が開の前の閉に保たれている時間をｔ_2iとし
たときに下記で表わされる場合に前記表示手段が作動さ
れてなる請求項１記載のガスレーザ発振器。ＴＤ₀≦ｔ_1i／（ｔ_1i＋ｔ_2i）
【請求項３】前記設定開閉デューティ値をＴＤ₀、実
際のガス排気弁が開に保たれている時間をｔ_1iおよび該
ガス排気弁が閉になった時点から、開を経て次に閉とな
った時点までの時間をＴ_iとしたときに下記で表わされ
る場合に前記表示手段が作動されてなる請求項１記載の
ガスレーザ発振器。ＴＤ₀≦ｔ_1i／Ｔ_i