JP2003110170A - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 送風機内の翼車室とモータ室の圧力差を監視
し、高品質なレーザ発振装置を提供する。 【解決手段】 レーザガスを循環させるための送風機８
の翼車室８ｂおよびモータ室８ｃの圧力差を検出し、上
記差圧下限値を比較し、かつ差圧上限値も比較して、こ
れらの比較時のカウント値が所定値を超えた場合に警報
を発生させる警報手段を有した差圧監視装置５０を具備
する。
し、高品質なレーザ発振装置を提供する。 【解決手段】 レーザガスを循環させるための送風機８
の翼車室８ｂおよびモータ室８ｃの圧力差を検出し、上
記差圧下限値を比較し、かつ差圧上限値も比較して、こ
れらの比較時のカウント値が所定値を超えた場合に警報
を発生させる警報手段を有した差圧監視装置５０を具備
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス配管経路に送
風機を具備したレーザ発振装置に関する。
風機を具備したレーザ発振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、レーザ光の特性を活用する為に、
通信、エレクトロニクス、光技術若しくは精密加工等、
種々の分野において、レーザ発振装置が利用されてい
る。
通信、エレクトロニクス、光技術若しくは精密加工等、
種々の分野において、レーザ発振装置が利用されてい
る。
【０００３】この種のレーザ発振装置として、レーザガ
スをガス配管経路内で高速循環させるための送風機を具
備したガス循環型レーザ発振装置が一般的に使用されて
いる。
スをガス配管経路内で高速循環させるための送風機を具
備したガス循環型レーザ発振装置が一般的に使用されて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のレー
ザ発振装置では、送風機内の翼車室の圧力に比較しモー
タ室の圧力が高くなった場合にモータ室内の潤滑油が翼
車室に流出し、さらにガス配管経路に飛散し、レーザガ
スの高電圧電源による放電励起の安定性低下と、光共振
器を構成する全反射鏡および部分反射鏡の汚染によるレ
ーザ光の出力低下や全反射鏡および部分反射鏡の劣化を
招く可能性があった。
ザ発振装置では、送風機内の翼車室の圧力に比較しモー
タ室の圧力が高くなった場合にモータ室内の潤滑油が翼
車室に流出し、さらにガス配管経路に飛散し、レーザガ
スの高電圧電源による放電励起の安定性低下と、光共振
器を構成する全反射鏡および部分反射鏡の汚染によるレ
ーザ光の出力低下や全反射鏡および部分反射鏡の劣化を
招く可能性があった。
【０００５】また、送風機内の翼車室の圧力に比較しモ
ータ室の圧力が低くなり過ぎた場合にモータの潤滑油が
モータ室より多量に流出し、モータの潤滑油の減少によ
る送風機の寿命の低下を招いたり、モータ室の減圧配管
経路の途中に設置されたオイルトラップではトラップし
きれずにレーザガス排出用電磁弁へと流出したオイルミ
ストがレーザガス排出用電磁弁に固着し、開閉機能を損
ないガス配管経路内の圧力を調整できなくなる問題があ
った。
ータ室の圧力が低くなり過ぎた場合にモータの潤滑油が
モータ室より多量に流出し、モータの潤滑油の減少によ
る送風機の寿命の低下を招いたり、モータ室の減圧配管
経路の途中に設置されたオイルトラップではトラップし
きれずにレーザガス排出用電磁弁へと流出したオイルミ
ストがレーザガス排出用電磁弁に固着し、開閉機能を損
ないガス配管経路内の圧力を調整できなくなる問題があ
った。
【０００６】本発明は、これらの課題を解決するもの
で、送風機内の翼車室とモータ室の圧力差を監視し、高
品質なレーザ発振装置を提供することを目的とする。
で、送風機内の翼車室とモータ室の圧力差を監視し、高
品質なレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１記載の本発明は、レーザガスを循環させる翼
車室とモータ室を有する送風機を備え、翼車室とモータ
室の圧力差を検出する差圧検出手段と、翼車室とモータ
室の最低圧力差を差圧下限基準値として設定する差圧下
限基準値設定部と、差圧検出手段の出力信号と差圧下限
基準値設定部に設定した差圧下限基準値とを比較する差
圧下限比較部と、翼車室とモータ室の最高圧力差を差圧
上限基準値として設定する差圧上限基準値設定部と、差
圧検出手段の出力信号と差圧上限基準値設定部に設定し
た差圧上限基準値とを比較する差圧上限比較部と、差圧
下限比較部および差圧上限比較部の出力をカウントまた
は積分する積分手段と、積分手段の出力が所定値を超え
た場合に警報を発生させる警報手段を有した差圧監視装
置を設けたレーザ発振装置である。
に請求項１記載の本発明は、レーザガスを循環させる翼
車室とモータ室を有する送風機を備え、翼車室とモータ
室の圧力差を検出する差圧検出手段と、翼車室とモータ
室の最低圧力差を差圧下限基準値として設定する差圧下
限基準値設定部と、差圧検出手段の出力信号と差圧下限
基準値設定部に設定した差圧下限基準値とを比較する差
圧下限比較部と、翼車室とモータ室の最高圧力差を差圧
上限基準値として設定する差圧上限基準値設定部と、差
圧検出手段の出力信号と差圧上限基準値設定部に設定し
た差圧上限基準値とを比較する差圧上限比較部と、差圧
下限比較部および差圧上限比較部の出力をカウントまた
は積分する積分手段と、積分手段の出力が所定値を超え
た場合に警報を発生させる警報手段を有した差圧監視装
置を設けたレーザ発振装置である。
【０００８】請求項２記載の本発明は、レーザガスを循
環させる翼車室とモータ室を有する送風機を備え、翼車
室とモータ室の圧力差を検出する差圧検出手段と、翼車
室とモータ室の最低圧力差を差圧下限基準値として設定
する差圧下限基準値設定部と、差圧検出手段の出力信号
と差圧下限基準値設定部に設定した差圧下限基準値とを
比較する差圧下限比較部と、翼車室とモータ室の最高圧
力差を差圧上限基準値として設定する差圧上限基準値設
定部と、差圧検出手段の出力信号と差圧上限基準値設定
部に設定した差圧上限基準値とを比較する差圧上限比較
部と、差圧下限比較部および差圧上限比較部の出力をカ
ウントまたは積分する積分手段と、積分手段の出力が所
定値を超えた場合に装置本体の運転を停止させるインタ
ーロック動作を行うインターロック手段を有した差圧監
視装置を設けたレーザ発振装置である。
環させる翼車室とモータ室を有する送風機を備え、翼車
室とモータ室の圧力差を検出する差圧検出手段と、翼車
室とモータ室の最低圧力差を差圧下限基準値として設定
する差圧下限基準値設定部と、差圧検出手段の出力信号
と差圧下限基準値設定部に設定した差圧下限基準値とを
比較する差圧下限比較部と、翼車室とモータ室の最高圧
力差を差圧上限基準値として設定する差圧上限基準値設
定部と、差圧検出手段の出力信号と差圧上限基準値設定
部に設定した差圧上限基準値とを比較する差圧上限比較
部と、差圧下限比較部および差圧上限比較部の出力をカ
ウントまたは積分する積分手段と、積分手段の出力が所
定値を超えた場合に装置本体の運転を停止させるインタ
ーロック動作を行うインターロック手段を有した差圧監
視装置を設けたレーザ発振装置である。
【０００９】請求項３記載の本発明は、レーザガスを循
環させるガス配管経路内にレーザガスを供給するレーザ
ガス供給手段と、ガス配管経路からレーザガスを排出す
るレーザガス排出手段と、レーザガスの供排気周期を検
出する給排気周期検出手段と、給排気周期の上限を基準
値に設定する給排気周期上限基準値設定部と、給排気周
期検出手段の出力と給排気周期上限基準設定部の基準値
を比較する給排気周期比較部を設け、給排気周期比較部
の出力により差圧上限比較部を制御する差圧監視装置を
設けた請求項１記載または２記載のレーザ発振装置であ
る。
環させるガス配管経路内にレーザガスを供給するレーザ
ガス供給手段と、ガス配管経路からレーザガスを排出す
るレーザガス排出手段と、レーザガスの供排気周期を検
出する給排気周期検出手段と、給排気周期の上限を基準
値に設定する給排気周期上限基準値設定部と、給排気周
期検出手段の出力と給排気周期上限基準設定部の基準値
を比較する給排気周期比較部を設け、給排気周期比較部
の出力により差圧上限比較部を制御する差圧監視装置を
設けた請求項１記載または２記載のレーザ発振装置であ
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】第１の発明によれば、送風機内の
翼車室とモータ室の圧力差を監視し警報を発生すること
により、送風機内のモータ室の潤滑油がガス配管経路に
飛散することを事前に防止する事ができ、および送風機
内のモータ室よりモータの潤滑油の流出量が増加し、オ
イルトラップのトラップ性能を超えてオイルトラップ以
降に潤滑油が流出することも事前に防止することができ
る。
翼車室とモータ室の圧力差を監視し警報を発生すること
により、送風機内のモータ室の潤滑油がガス配管経路に
飛散することを事前に防止する事ができ、および送風機
内のモータ室よりモータの潤滑油の流出量が増加し、オ
イルトラップのトラップ性能を超えてオイルトラップ以
降に潤滑油が流出することも事前に防止することができ
る。
【００１１】第２の発明によれば、送風機内の翼車室と
モータ室の圧力差を監視し装置の運転を停止することに
より、送風機内のモータ室の潤滑油がガス配管経路に飛
散することを事前に防止する事ができ、および送風機内
のモータ室よりモータの潤滑油の流出量が増加し、オイ
ルトラップのトラップ性能を超えてオイルトラップ以降
に潤滑油が流出することも事前に防止することができ
る。
モータ室の圧力差を監視し装置の運転を停止することに
より、送風機内のモータ室の潤滑油がガス配管経路に飛
散することを事前に防止する事ができ、および送風機内
のモータ室よりモータの潤滑油の流出量が増加し、オイ
ルトラップのトラップ性能を超えてオイルトラップ以降
に潤滑油が流出することも事前に防止することができ
る。
【００１２】第３の発明によれば、ガス配管経路内のレ
ーザガスの給排気周期を一定期間短くする条件下におい
て差圧上限比較部の機能を無効とすることにより、新し
いレーザガスの供給割合を増加させた場合の誤動作を防
止することができる。
ーザガスの給排気周期を一定期間短くする条件下におい
て差圧上限比較部の機能を無効とすることにより、新し
いレーザガスの供給割合を増加させた場合の誤動作を防
止することができる。
【００１３】以下、本発明に係る実施の形態について、
図面を参照しながら詳細に説明する。
図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１４】（実施の形態１）図１は本発明の実施の形
態に係るレーザ発振装置２０の構成図、図２は実施の形
態１に係る差圧保護装置のブロック構成図である。
態に係るレーザ発振装置２０の構成図、図２は実施の形
態１に係る差圧保護装置のブロック構成図である。
【００１５】図において、レーザガスを循環させるため
の送風機８と、上記レーザガスを循環させるためのガス
配管経路３と、上記ガス配管経路３にレーザガスを供給
するレーザガス供給手段である供給側電磁弁１０および
装置外部に配置されるレーザガスボンベ３０と、ガス配
管経路３のレーザガスを排出するレーザガス排出手段で
ある流量制限器１１に直列接続された通常排出側電磁弁
１２と急速排出側電磁弁１３および排気ポンプ１４と、
上記送風機８内のモータ室８ｃの減圧を行うモータ室減
圧手段である流量制限器１１および急速排出側電磁弁１
３に接続する配管経路とオイルトラップ１６を有するレ
ーザ発振装置２０において、上記送風機８の翼車室８ｂ
とモータ室８ｃの圧力差を検出する差圧検出手段４５
と、予め上記送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの最
低圧力差を差圧下限基準値ＶＬとして設定された差圧下
限基準値設定部４４と、上記差圧検出手段４５の出力信
号ＶＤＰと上記差圧下限基準値設定部４４に設定された
差圧下限基準値ＶＬとを比較する差圧下限比較部４３
と、予め上記送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの最
高圧力差を差圧上限基準値ＶＨとして設定された差圧上
限基準値設定部４７と、上記差圧検出手段４５の出力信
号ＶＤＰと上記差圧上限基準値設定部４７に設定された
差圧上限基準値ＶＨとを比較する差圧上限比較部４６
と、上記差圧下限比較部４３および差圧上限比較部４６
の出力をカウントまたは積分する積分手段４２と、上記
積分手段４２の出力が所定値を超えた場合に警報を発生
させる警報手段４１を有した差圧監視装置５０を有して
いる。
の送風機８と、上記レーザガスを循環させるためのガス
配管経路３と、上記ガス配管経路３にレーザガスを供給
するレーザガス供給手段である供給側電磁弁１０および
装置外部に配置されるレーザガスボンベ３０と、ガス配
管経路３のレーザガスを排出するレーザガス排出手段で
ある流量制限器１１に直列接続された通常排出側電磁弁
１２と急速排出側電磁弁１３および排気ポンプ１４と、
上記送風機８内のモータ室８ｃの減圧を行うモータ室減
圧手段である流量制限器１１および急速排出側電磁弁１
３に接続する配管経路とオイルトラップ１６を有するレ
ーザ発振装置２０において、上記送風機８の翼車室８ｂ
とモータ室８ｃの圧力差を検出する差圧検出手段４５
と、予め上記送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの最
低圧力差を差圧下限基準値ＶＬとして設定された差圧下
限基準値設定部４４と、上記差圧検出手段４５の出力信
号ＶＤＰと上記差圧下限基準値設定部４４に設定された
差圧下限基準値ＶＬとを比較する差圧下限比較部４３
と、予め上記送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの最
高圧力差を差圧上限基準値ＶＨとして設定された差圧上
限基準値設定部４７と、上記差圧検出手段４５の出力信
号ＶＤＰと上記差圧上限基準値設定部４７に設定された
差圧上限基準値ＶＨとを比較する差圧上限比較部４６
と、上記差圧下限比較部４３および差圧上限比較部４６
の出力をカウントまたは積分する積分手段４２と、上記
積分手段４２の出力が所定値を超えた場合に警報を発生
させる警報手段４１を有した差圧監視装置５０を有して
いる。
【００１６】このように構成されるレーザ発振装置につ
いて、その動作の詳細を図１、図２、図５を参照しなが
ら説明する。
いて、その動作の詳細を図１、図２、図５を参照しなが
ら説明する。
【００１７】図５は送風機８の内部構成を簡略して示し
た図である。送風機８はレーザガスを高速循環させるた
めの翼車８ａを有した翼車室８ｂと、翼車８ａを高速回
転させるためのモータを有したモータ室８ｃに大別され
る。上記翼車室８ｂとモータ室８ｃの間にはシール８ｄ
が挿入されモータ室８ｃ内の潤滑油８ｅが翼車室８ｂに
漏れないように構成されている。
た図である。送風機８はレーザガスを高速循環させるた
めの翼車８ａを有した翼車室８ｂと、翼車８ａを高速回
転させるためのモータを有したモータ室８ｃに大別され
る。上記翼車室８ｂとモータ室８ｃの間にはシール８ｄ
が挿入されモータ室８ｃ内の潤滑油８ｅが翼車室８ｂに
漏れないように構成されている。
【００１８】しかしながら、上記シール８ｄで潤滑油８
ｅの漏れを防止するには翼車室８ｂの圧力をモータ室８
ｃの圧力に比較して、シール８ｄで規定される圧力より
も高くする必要がある。
ｅの漏れを防止するには翼車室８ｂの圧力をモータ室８
ｃの圧力に比較して、シール８ｄで規定される圧力より
も高くする必要がある。
【００１９】図１に示すように、ガス配管経路３内に新
しいレーザガスを所定の割合で供給し、かつ上記ガス配
管経路３内の圧力を所定の圧力に一定に保つため、上記
ガス配管経路３のレーザガスを排出するレーザガス排出
手段内の排気ポンプ１４が一定運転されている状態で流
量制限器１１に直列接続された通常排出側電磁弁１２を
開となし、および急速排出側電磁弁１３を閉となし、上
記ガス配管経路３内の圧力が所定の圧力になるようにレ
ーザガスを供給するレーザガス供給手段内の供給側電磁
弁１０を開閉して装置外部に配置されるレーザガスボン
ベ３０から新しいレーザガスを供給している。
しいレーザガスを所定の割合で供給し、かつ上記ガス配
管経路３内の圧力を所定の圧力に一定に保つため、上記
ガス配管経路３のレーザガスを排出するレーザガス排出
手段内の排気ポンプ１４が一定運転されている状態で流
量制限器１１に直列接続された通常排出側電磁弁１２を
開となし、および急速排出側電磁弁１３を閉となし、上
記ガス配管経路３内の圧力が所定の圧力になるようにレ
ーザガスを供給するレーザガス供給手段内の供給側電磁
弁１０を開閉して装置外部に配置されるレーザガスボン
ベ３０から新しいレーザガスを供給している。
【００２０】上記レーザガス排出手段に送風機８のモー
タ室減圧口８ｆがオイルトラップ１６を通じて接続さ
れ、上記送風機８の翼車室８ｂの圧力に比較してモータ
室８ｃの圧力が低く、かつ所定の圧力差を持つよう構成
されている。
タ室減圧口８ｆがオイルトラップ１６を通じて接続さ
れ、上記送風機８の翼車室８ｂの圧力に比較してモータ
室８ｃの圧力が低く、かつ所定の圧力差を持つよう構成
されている。
【００２１】上記送風機８の翼車室８ｂの圧力を上記送
風機８の吐出口８ｇの配管経路から取り出し、モータ室
８ｃの圧力を上記送風機８のモータ室減圧口８ｆから取
り出し、これらを差圧保護装置５０内の差圧検出手段４
５へ配管している。
風機８の吐出口８ｇの配管経路から取り出し、モータ室
８ｃの圧力を上記送風機８のモータ室減圧口８ｆから取
り出し、これらを差圧保護装置５０内の差圧検出手段４
５へ配管している。
【００２２】ここで上記送風機８の翼車室８ｂの圧力を
送風機８の吐出口８ｇの配管経路より取っているが、こ
れに限定するものではなく、他の場所から上記送風機８
の翼車室８ｂの圧力を取る場合もある。
送風機８の吐出口８ｇの配管経路より取っているが、こ
れに限定するものではなく、他の場所から上記送風機８
の翼車室８ｂの圧力を取る場合もある。
【００２３】図２では上記の配管接続により送風機８の
翼車室８ｂおよびモータ室８ｃの圧力が差圧監視装置５
０における差圧検出手段４５に入力され、上記差圧検出
手段４５は送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力
の差に応じた電圧ＶＤＰを出力する。
翼車室８ｂおよびモータ室８ｃの圧力が差圧監視装置５
０における差圧検出手段４５に入力され、上記差圧検出
手段４５は送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力
の差に応じた電圧ＶＤＰを出力する。
【００２４】予め送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃ
との間のシール８ｄで規定される差圧よりも若干高めと
した差圧下限基準値ＶＬが差圧下限基準値設定部４４に
設定されている。
との間のシール８ｄで規定される差圧よりも若干高めと
した差圧下限基準値ＶＬが差圧下限基準値設定部４４に
設定されている。
【００２５】差圧下限比較部４３では差圧下限基準値設
定部４４の基準値ＶＬと上記差圧検出手段４５からの出
力電圧ＶＤＰとが比較され、比較結果がＶＬ＞ＶＤＰで
ある場合に、積分手段４２に信号が出力される。
定部４４の基準値ＶＬと上記差圧検出手段４５からの出
力電圧ＶＤＰとが比較され、比較結果がＶＬ＞ＶＤＰで
ある場合に、積分手段４２に信号が出力される。
【００２６】また、予め上記送風機８のモータ室８ｃの
潤滑油８ｅの流出量が上記オイルトラップにて確保され
得るか否かで規定される差圧よりも若干低めとした差圧
上限基準値ＶＨが差圧上限基準値設定部４７に設定され
ている。
潤滑油８ｅの流出量が上記オイルトラップにて確保され
得るか否かで規定される差圧よりも若干低めとした差圧
上限基準値ＶＨが差圧上限基準値設定部４７に設定され
ている。
【００２７】差圧上限比較部４６では差圧上限基準値設
定部４７の基準値ＶＨと上記差圧検出手段４５からの出
力電圧ＶＤＰとが比較され、比較結果がＶＨ＜ＶＤＰで
ある場合に、積分手段４２に信号が出力される。
定部４７の基準値ＶＨと上記差圧検出手段４５からの出
力電圧ＶＤＰとが比較され、比較結果がＶＨ＜ＶＤＰで
ある場合に、積分手段４２に信号が出力される。
【００２８】上記積分手段４２への信号はそれぞれ時間
の関数としてカウントまたは積分し、積分手段４２の出
力が所定値を超えた場合に警報手段４１において警報を
発生する機能を持たせている。
の関数としてカウントまたは積分し、積分手段４２の出
力が所定値を超えた場合に警報手段４１において警報を
発生する機能を持たせている。
【００２９】以上のように本実施の形態によれば、送風
機８内の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力差を監視し警
報を発生することにより、送風機８内のモータ室８ｃの
潤滑油８ｅがガス配管経路に飛散することを事前に防止
する事ができ、および送風機８内のモータ室８ｃよりモ
ータの潤滑油８ｅの流出量が増加してオイルトラップの
トラップ性能を超えてオイルトラップ以降に潤滑油が流
出することも事前に防止することができる。
機８内の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力差を監視し警
報を発生することにより、送風機８内のモータ室８ｃの
潤滑油８ｅがガス配管経路に飛散することを事前に防止
する事ができ、および送風機８内のモータ室８ｃよりモ
ータの潤滑油８ｅの流出量が増加してオイルトラップの
トラップ性能を超えてオイルトラップ以降に潤滑油が流
出することも事前に防止することができる。
【００３０】（実施の形態２）図３は実施の形態２に係
る差圧監視装置のブロック構成図で、実施の形態１と異
なるのは、差圧監視装置５０の内部構成であり、この部
分を以下説明する。
る差圧監視装置のブロック構成図で、実施の形態１と異
なるのは、差圧監視装置５０の内部構成であり、この部
分を以下説明する。
【００３１】本実施の形態の差圧監視装置は、上記送風
機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力差を検出する差
圧検出手段５５と、予め上記送風機８の翼車室８ｂとモ
ータ室８ｃの最低圧力差を差圧下限基準値ＶＬとして設
定された差圧下限基準値設定部５４と、上記差圧検出手
段５５の出力信号ＶＤＰと上記差圧下限基準値設定部５
４に設定された差圧下限基準値ＶＬとを比較する差圧下
限比較部５３と、予め上記送風機８の翼車室８ｂとモー
タ室８ｃの最高圧力差を差圧上限基準値ＶＨとして設定
した差圧上限基準値設定部５７と、上記差圧検出手段５
５の出力信号ＶＤＰと上記差圧上限基準値設定部５７に
設定された差圧上限基準値ＶＨとを比較する差圧上限比
較部５６と、上記差圧下限比較部５３および差圧上限比
較部５６の出力をカウントまたは積分する積分手段５２
と、上記積分手段５２の出力が所定値を超えた場合に装
置本体の運転を停止させるインターロック動作を行うイ
ンターロック手段５１を有している。
機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力差を検出する差
圧検出手段５５と、予め上記送風機８の翼車室８ｂとモ
ータ室８ｃの最低圧力差を差圧下限基準値ＶＬとして設
定された差圧下限基準値設定部５４と、上記差圧検出手
段５５の出力信号ＶＤＰと上記差圧下限基準値設定部５
４に設定された差圧下限基準値ＶＬとを比較する差圧下
限比較部５３と、予め上記送風機８の翼車室８ｂとモー
タ室８ｃの最高圧力差を差圧上限基準値ＶＨとして設定
した差圧上限基準値設定部５７と、上記差圧検出手段５
５の出力信号ＶＤＰと上記差圧上限基準値設定部５７に
設定された差圧上限基準値ＶＨとを比較する差圧上限比
較部５６と、上記差圧下限比較部５３および差圧上限比
較部５６の出力をカウントまたは積分する積分手段５２
と、上記積分手段５２の出力が所定値を超えた場合に装
置本体の運転を停止させるインターロック動作を行うイ
ンターロック手段５１を有している。
【００３２】このように構成されるレーザ発振装置につ
いて、その動作の詳細を図３を参照しながら説明する。
いて、その動作の詳細を図３を参照しながら説明する。
【００３３】図３では上記の配管接続により送風機８の
翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力が差圧監視装置６０に
おける差圧検出手段５５に入力され、上記差圧検出手段
５５は送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力の差
に応じた電圧ＶＤＰを出力する。
翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力が差圧監視装置６０に
おける差圧検出手段５５に入力され、上記差圧検出手段
５５は送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力の差
に応じた電圧ＶＤＰを出力する。
【００３４】予め送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃ
との間のシール８ｄで規定される差圧よりも若干高めと
した差圧下限基準値ＶＬが差圧下限基準値設定部５４に
設定されている。
との間のシール８ｄで規定される差圧よりも若干高めと
した差圧下限基準値ＶＬが差圧下限基準値設定部５４に
設定されている。
【００３５】差圧下限比較部５３では差圧下限基準値設
定部５４の基準値ＶＬと上記差圧検出手段５５からの出
力電圧ＶＤＰとが比較され、比較結果がＶＬ＞ＶＤＰで
ある場合に、積分手段５２に信号が出力される。
定部５４の基準値ＶＬと上記差圧検出手段５５からの出
力電圧ＶＤＰとが比較され、比較結果がＶＬ＞ＶＤＰで
ある場合に、積分手段５２に信号が出力される。
【００３６】また、予め上記送風機８のモータ室８ｃの
潤滑油８ｅの流出量が上記オイルトラップにて確保され
得るか否かで規定される差圧よりも若干低めとした差圧
上限基準値ＶＨが差圧上限基準値設定部５７に設定され
ている。
潤滑油８ｅの流出量が上記オイルトラップにて確保され
得るか否かで規定される差圧よりも若干低めとした差圧
上限基準値ＶＨが差圧上限基準値設定部５７に設定され
ている。
【００３７】差圧上限比較部５６では差圧上限基準値設
定部５７の基準値ＶＨと上記差圧検出手段５５からの出
力電圧ＶＤＰとが比較され、比較結果がＶＨ＜ＶＤＰで
ある場合に、積分手段５２に信号が出力される。
定部５７の基準値ＶＨと上記差圧検出手段５５からの出
力電圧ＶＤＰとが比較され、比較結果がＶＨ＜ＶＤＰで
ある場合に、積分手段５２に信号が出力される。
【００３８】上記積分手段５２への信号はそれぞれ時間
の関数としてカウントまたは積分し、積分手段５２の出
力が所定値を超えた場合にインターロック手段５１にお
いて、装置の運転を強制的に停止する等のインターロッ
ク機能を持たせている。
の関数としてカウントまたは積分し、積分手段５２の出
力が所定値を超えた場合にインターロック手段５１にお
いて、装置の運転を強制的に停止する等のインターロッ
ク機能を持たせている。
【００３９】以上のように本実施の形態によれば、送風
機８内の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力差を監視し装
置の運転を停止することにより、送風機８内のモータ室
８ｃの潤滑油８ｅがガス配管経路に飛散することを事前
に防止する事ができ、および送風機８内のモータ室８ｃ
よりモータの潤滑油８ｅの流出量が増加してオイルトラ
ップのトラップ性能を超えてオイルトラップ以降に潤滑
油８ｅが流出することも事前に防止することができる。
機８内の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力差を監視し装
置の運転を停止することにより、送風機８内のモータ室
８ｃの潤滑油８ｅがガス配管経路に飛散することを事前
に防止する事ができ、および送風機８内のモータ室８ｃ
よりモータの潤滑油８ｅの流出量が増加してオイルトラ
ップのトラップ性能を超えてオイルトラップ以降に潤滑
油８ｅが流出することも事前に防止することができる。
【００４０】（実施の形態３）図４は実施の形態３に係
る差圧監視装置のブロック構成図で、実施の形態１と異
なるのは、差圧監視装置５０の内部構成であり、この部
分を以下、説明する。
る差圧監視装置のブロック構成図で、実施の形態１と異
なるのは、差圧監視装置５０の内部構成であり、この部
分を以下、説明する。
【００４１】ガス配管経路内３のレーザガスの供排気周
期を検出する給排気周期検出手段６６と、予め給排気周
期の上限を基準値ＶＦＨに設定した給排気周期上限基準
値設定部７０と、上記給排気周期検出手段６６の主力Ｖ
Ｆと給排気周期上限基準値設定部７０の基準値ＶＦＨを
比較する給排気周期比較部６９が設けられ、上記給排気
周期比較部６９の出力により差圧上限比較部６７の機能
有効、若しくは無効とする差圧監視装置を有している。
期を検出する給排気周期検出手段６６と、予め給排気周
期の上限を基準値ＶＦＨに設定した給排気周期上限基準
値設定部７０と、上記給排気周期検出手段６６の主力Ｖ
Ｆと給排気周期上限基準値設定部７０の基準値ＶＦＨを
比較する給排気周期比較部６９が設けられ、上記給排気
周期比較部６９の出力により差圧上限比較部６７の機能
有効、若しくは無効とする差圧監視装置を有している。
【００４２】このように構成されるレーザ発振装置につ
いて、その動作の詳細を図１、図４を参照しながら説明
する。
いて、その動作の詳細を図１、図４を参照しながら説明
する。
【００４３】図１に示すように、ガス配管経路３内の新
しいレーザガスを所定の割合で供給し、かつ上記配管経
路３内の圧力を所定の圧力に一定に保っているが、レー
ザ発振装置が一定期間運転停止となった場合などは、運
転開始後の一定期間は通常時より、新しいレーザガスの
供給割合を増加させ出力レーザ光１の安定性を維持する
方法がとられる場合がある。
しいレーザガスを所定の割合で供給し、かつ上記配管経
路３内の圧力を所定の圧力に一定に保っているが、レー
ザ発振装置が一定期間運転停止となった場合などは、運
転開始後の一定期間は通常時より、新しいレーザガスの
供給割合を増加させ出力レーザ光１の安定性を維持する
方法がとられる場合がある。
【００４４】この方法は、まず上記ガス配管経路３のレ
ーザガスを排出するレーザガス排出手段内の排気ポンプ
１４が一定運転されている状態で流量制限器１１に直列
接続された通常排出側電磁弁１２を開となし、かつ急速
排出側電磁弁１３も開として上記ガス配管経路３内のレ
ーザガス排出量を増加させる。
ーザガスを排出するレーザガス排出手段内の排気ポンプ
１４が一定運転されている状態で流量制限器１１に直列
接続された通常排出側電磁弁１２を開となし、かつ急速
排出側電磁弁１３も開として上記ガス配管経路３内のレ
ーザガス排出量を増加させる。
【００４５】レーザガスを供給するレーザガス供給手段
内の供給側電磁弁１０を上記ガス配管経路３内の圧力の
増減に基づいて開閉して装置外部に配置されるレーザガ
スボンベ３０から新しいレーザガスを供給している。
内の供給側電磁弁１０を上記ガス配管経路３内の圧力の
増減に基づいて開閉して装置外部に配置されるレーザガ
スボンベ３０から新しいレーザガスを供給している。
【００４６】この場合は上記供給側電磁弁１０の開閉周
期が短くなり、レーザガス排出量の増加を補い、結果的
に新しいレーザガスの供給割合を増加させることとな
る。
期が短くなり、レーザガス排出量の増加を補い、結果的
に新しいレーザガスの供給割合を増加させることとな
る。
【００４７】同時に、上記レーザガス排出手段に送風機
８のモータ室減圧口８ｆが接続されているため、モータ
室８ｃの圧力も通常時より低くなる。
８のモータ室減圧口８ｆが接続されているため、モータ
室８ｃの圧力も通常時より低くなる。
【００４８】新しいレーザガスの供給割合を増加させる
期間は通常運転時間に比較して短く上記送風機８のモー
タ室８ｃから流出する潤環油８ｅは少量であるためオイ
ルトラップ１６のトラップ性能を超えることはない。
期間は通常運転時間に比較して短く上記送風機８のモー
タ室８ｃから流出する潤環油８ｅは少量であるためオイ
ルトラップ１６のトラップ性能を超えることはない。
【００４９】図４の給排気周期検出手段６６には供給側
電磁弁１０の開閉信号が入力され、供給側電磁弁１０の
開閉周期に比例した電圧ＶＦが出力される。
電磁弁１０の開閉信号が入力され、供給側電磁弁１０の
開閉周期に比例した電圧ＶＦが出力される。
【００５０】予め給排気周期上限基準値設定部７０には
上記の新しいレーザガスの供給割合を増加させる場合で
の上記供給側電磁弁１０の開閉周期に相当する基準電圧
ＶＦＨが設定されている。
上記の新しいレーザガスの供給割合を増加させる場合で
の上記供給側電磁弁１０の開閉周期に相当する基準電圧
ＶＦＨが設定されている。
【００５１】給排気周期上限比較部６９では給排気周期
上限基準値設定部７０基準値ＶＦＨと上記給排気周期検
出手段６６からの出力電圧ＶＦとが比較され、比較結果
がＶＦＨ≦ＶＦである場合に、差圧上限比較部６７に機
能無効信号が出力される。
上限基準値設定部７０基準値ＶＦＨと上記給排気周期検
出手段６６からの出力電圧ＶＦとが比較され、比較結果
がＶＦＨ≦ＶＦである場合に、差圧上限比較部６７に機
能無効信号が出力される。
【００５２】以上のように本実施の形態によれば、ガス
配管経路内のレーザガスの給排出周期を一定期間短くす
る条件下において差圧上限比較部の機能を無効とするこ
とにより、新しいレーザガスの供給割合を増加させた場
合の誤動作を防止することができる。
配管経路内のレーザガスの給排出周期を一定期間短くす
る条件下において差圧上限比較部の機能を無効とするこ
とにより、新しいレーザガスの供給割合を増加させた場
合の誤動作を防止することができる。
【００５３】なお、上記各実施の形態を組み合した場合
は、より一層の効果を奏するものである。
は、より一層の効果を奏するものである。
【００５４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、第１の
発明によれば、送風機内の翼車室とモータ室の圧力差を
監視し警報を発生することにより、送風機内のモータ室
の潤滑油がガス配管経路に飛散することを事前に防止す
る事ができ、および送風機内のモータ室よりモータの潤
滑油の流出量が増加し、オイルトラップのトラップ性能
を超えてオイルトラップ以降に潤滑油が流出することも
事前に防止することができる。
発明によれば、送風機内の翼車室とモータ室の圧力差を
監視し警報を発生することにより、送風機内のモータ室
の潤滑油がガス配管経路に飛散することを事前に防止す
る事ができ、および送風機内のモータ室よりモータの潤
滑油の流出量が増加し、オイルトラップのトラップ性能
を超えてオイルトラップ以降に潤滑油が流出することも
事前に防止することができる。
【００５５】第２の発明によれば、送風機内の翼車室と
モータ室の圧力差を監視し装置の運転を停止することに
より、送風機内のモータ室の潤滑油がガス配管経路に飛
散することを事前に防止する事ができ、および送風機内
のモータ室よりモータの潤滑油の流出量が増加し、オイ
ルトラップのトラップ性能を超えてオイルトラップ以降
に潤滑油が流出することも事前に防止することができ
る。
モータ室の圧力差を監視し装置の運転を停止することに
より、送風機内のモータ室の潤滑油がガス配管経路に飛
散することを事前に防止する事ができ、および送風機内
のモータ室よりモータの潤滑油の流出量が増加し、オイ
ルトラップのトラップ性能を超えてオイルトラップ以降
に潤滑油が流出することも事前に防止することができ
る。
【００５６】第３の発明によれば、ガス配管経路内のレ
ーザガスの給排気周期を一定期間短くする条件下におい
て差圧上限比較部の機能を無効とすることにより、新し
いレーザガスの供給割合を増加させた場合の誤動作を防
止することができる。
ーザガスの給排気周期を一定期間短くする条件下におい
て差圧上限比較部の機能を無効とすることにより、新し
いレーザガスの供給割合を増加させた場合の誤動作を防
止することができる。
【図１】本発明の実施の形態に係るレーザ発振装置の構
成図
成図
【図２】本発明の実施の形態１に係る差圧監視装置のブ
ロック構成図
ロック構成図
【図３】本発明の実施の形態２に係る差圧監視装置のブ
ロック構成図
ロック構成図
【図４】本発明の実施の形態３に係る差圧監視装置のブ
ロック構成図
ロック構成図
【図５】送風機の内部構成簡略図
１ 出力レーザ光
２ 部分反射鏡
３ ガス配管経路
８ 送風機
９ 全反射鏡
１０ 供給側電磁弁
１１ 流量制限器
１２ 通常排出側電磁弁
１３ 急速排出側電磁弁
１４ 排気ポンプ
１６ オイルトラップ
２０ レーザ発振装置
３０ レーザガスボンベ
４１ 警報手段
４２ 積分手段
４３ 差圧下限比較部
４４ 差圧下限基準値設定部
４５ 差圧検出手段
４６ 差圧上限比較部
４７ 差圧上限基準値設定部
５０ 差圧監視装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 本宮 均
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器
産業株式会社内
Ｆターム(参考） 5F071 EE02 HH01 HH02 JJ05
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザガスを循環させる翼車室とモータ
室を有する送風機を備え、翼車室とモータ室の圧力差を
検出する差圧検出手段と、翼車室とモータ室の最低圧力
差を差圧下限基準値として設定する差圧下限基準値設定
部と、差圧検出手段の出力信号と差圧下限基準値設定部
に設定した差圧下限基準値とを比較する差圧下限比較部
と、翼車室とモータ室の最高圧力差を差圧上限基準値と
して設定する差圧上限基準値設定部と、差圧検出手段の
出力信号と差圧上限基準値設定部に設定した差圧上限基
準値とを比較する差圧上限比較部と、差圧下限比較部お
よび差圧上限比較部の出力をカウントまたは積分する積
分手段と、積分手段の出力が所定値を超えた場合に警報
を発生させる警報手段を有した差圧監視装置を設けたレ
ーザ発振装置。 - 【請求項２】 レーザガスを循環させる翼車室とモータ
室を有する送風機を備え、翼車室とモータ室の圧力差を
検出する差圧検出手段と、翼車室とモータ室の最低圧力
差を差圧下限基準値として設定する差圧下限基準値設定
部と、差圧検出手段の出力信号と差圧下限基準値設定部
に設定した差圧下限基準値とを比較する差圧下限比較部
と、翼車室とモータ室の最高圧力差を差圧上限基準値と
して設定する差圧上限基準値設定部と、差圧検出手段の
出力信号と差圧上限基準値設定部に設定した差圧上限基
準値とを比較する差圧上限比較部と、差圧下限比較部お
よび差圧上限比較部の出力をカウントまたは積分する積
分手段と、積分手段の出力が所定値を超えた場合に装置
本体の運転を停止させるインターロック動作を行うイン
ターロック手段を有した差圧監視装置を設けたレーザ発
振装置。 - 【請求項３】 レーザガスを循環させるガス配管経路内
にレーザガスを供給するレーザガス供給手段と、ガス配
管経路からレーザガスを排出するレーザガス排出手段
と、レーザガスの供排気周期を検出する給排気周期検出
手段と、給排気周期の上限を基準値に設定する給排気周
期上限基準値設定部と、給排気周期検出手段の出力と給
排気周期上限基準設定部の基準値を比較する給排気周期
比較部を設け、給排気周期比較部の出力により差圧上限
比較部を制御する差圧監視装置を設けた請求項１記載ま
たは２記載のレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001300648A JP3601494B2 (ja) | 2001-09-28 | 2001-09-28 | レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001300648A JP3601494B2 (ja) | 2001-09-28 | 2001-09-28 | レーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003110170A true JP2003110170A (ja) | 2003-04-11 |
| JP3601494B2 JP3601494B2 (ja) | 2004-12-15 |
Family
ID=19121187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001300648A Expired - Fee Related JP3601494B2 (ja) | 2001-09-28 | 2001-09-28 | レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3601494B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006038451A1 (ja) | 2004-10-07 | 2006-04-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | ガスレーザ発振装置 |
| WO2010103777A1 (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-16 | パナソニック株式会社 | レーザ発振装置およびレーザ加工機 |
| JP2010212551A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Panasonic Corp | レーザ発振装置およびレーザ加工機 |
| WO2013136644A1 (ja) | 2012-03-12 | 2013-09-19 | パナソニック株式会社 | ガスレーザ発振装置およびレーザガス置換方法 |
-
2001
- 2001-09-28 JP JP2001300648A patent/JP3601494B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US7580439B2 (en) | 2004-10-07 | 2009-08-25 | Panasonic Corporation | Gas laser oscillator |
| CN102341976A (zh) * | 2009-03-12 | 2012-02-01 | 松下电器产业株式会社 | 激光振荡装置及激光加工机 |
| JP2010212551A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Panasonic Corp | レーザ発振装置およびレーザ加工機 |
| EP2388870A1 (en) * | 2009-03-12 | 2011-11-23 | Panasonic Corporation | Laser oscillator and laser material processing machine |
| US20120006798A1 (en) * | 2009-03-12 | 2012-01-12 | Panasonic Corporation | Laser oscillator and laser machining apparatus |
| WO2010103777A1 (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-16 | パナソニック株式会社 | レーザ発振装置およびレーザ加工機 |
| JP5218639B2 (ja) * | 2009-03-12 | 2013-06-26 | パナソニック株式会社 | レーザ発振装置およびレーザ加工機 |
| EP2388870A4 (en) * | 2009-03-12 | 2014-12-24 | Panasonic Corp | LASEROSCILLATOR AND LASER MATERIAL PROCESSING MACHINE |
| US9379511B2 (en) | 2009-03-12 | 2016-06-28 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser oscillator and laser machining apparatus |
| WO2013136644A1 (ja) | 2012-03-12 | 2013-09-19 | パナソニック株式会社 | ガスレーザ発振装置およびレーザガス置換方法 |
| CN103430403A (zh) * | 2012-03-12 | 2013-12-04 | 松下电器产业株式会社 | 气体激光振荡装置及激光气体置换方法 |
| US8811446B2 (en) | 2012-03-12 | 2014-08-19 | Panasonic Corporation | Gas laser oscillator apparatus and laser gas replacement method |
| EP2827460A4 (en) * | 2012-03-12 | 2015-06-24 | Panasonic Ip Man Co Ltd | GAS LASER LOCATION AND LASER GAS EXCHANGE METHOD |
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| JP3601494B2 (ja) | 2004-12-15 |
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