JPH09260100A

JPH09260100A - 高周波型荷電粒子加速装置

Info

Publication number: JPH09260100A
Application number: JP7156696A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Fujisawa; 博藤澤
Original assignee: Nissin Electric Co Ltd
Current assignee: Nissin Electric Co Ltd
Priority date: 1996-03-27
Filing date: 1996-03-27
Publication date: 1997-10-03
Anticipated expiration: 2016-03-27
Also published as: JP2932473B2

Abstract

(57)【要約】【課題】小型でエネルギー可変幅の広い高周波型荷電
粒子加速装置を得る。【解決手段】荷電粒子ビームの通過経路のまわりに配
置された４重極電極を備え、高周波電源より高周波電力
の供給を受けて共振し、荷電粒子ビームを集群して加速
する高周波４重極加速手段(12)と、この高周波４重極加
速手段の後段に配置され、高周波電源より高周波電力の
供給を受けて共振し、荷電粒子ビームのエネルギーを可
変する少なくとも一段の後段高周波加速手段(14,16)
と、高周波４重極加速手段及び後段高周波加速手段に供
給する高周波電力の値を切り替えることにより、高エネ
ルギーモードと低エネルギーモードとに切り替える替え
手段(11)とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高エネルギーのイ
オン等の荷電粒子を照射対象物に照射してイオン注入や
表面改質等を行う装置に供される高周波型加速装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】イオン注入装置は、拡散したい不純物を
イオン化し、この不純物イオンを磁界を用いた質量分析
法により選択的に取り出し、電界により加速してイオン
照射対象物に照射することで、イオン照射対象物内に不
純物を注入する装置である。そして、このイオン注入装
置は、半導体プロセスにおいてデバイスの特性を決定す
る不純物を任意の量および深さに制御性良く注入できる
ことから、現在の集積回路の製造に重要な装置になって
いる。近年、半導体デバイスメーカでは、ＭｅＶ級の高
エネルギーイオン注入装置の必要性が高まっている。こ
れは、Ｃ−ＭＯＳデバイス製造プロセスにおけるレトロ
グレイドウエルの形成、ＲＯＭ後書込み等を、高エネル
ギーイオン注入で行う利点が明らかになってきたためで
ある。上記高エネルギーイオン注入装置の一つに、図３
に示すようなイオン加速手段として高周波４重極型線形
加速器（以下、ＲＦＱ加速器とよぶ）３６を用いたもの
がある。この高エネルギーイオン注入装置は、イオンビ
ーム発生部３１を有しており、このイオンビーム発生部
３１は、イオン源物質をイオン化してビームとして引き
出すイオン源３２、質量分析により所望のイオンのみを
選択的に取り出す分析マグネット３３、イオンビームを
シャープに整形するレンズ３４、および上記イオン源３
２に電力を供給する高電圧電源部３５を備えている。そ
して、このイオンビーム発生部３１の後段に上記ＲＦＱ
加速器３６が設けられ、イオンビーム発生部３１から出
射されたイオンがＲＦＱ加速器３６により所定のエネル
ギーまで加速されるようになっている。

【０００３】上記ＲＦＱ加速器３６は、真空チャンバ３
６ａ内にモジュレーション（波構造）を有する４重極電
極３６ｂを備えている。また、上記ＲＦＱ加速器３６の
ビーム入射部には、後続の加速部でビームを加速し易い
ように集群（バンチ）するバンチ部が形成されている。
上記ＲＦＱ加速器３６には、図示しない高周波電源によ
り所定周波数の高周波電力を供給され、ＲＦＱ加速器３
６が共振し、これにより、イオンの進行方向と直角な方
向に４重極電界が形成される。同時に、４重極電極３６
ｂのモジュレーションにより進行方向（長手方向）の電
界が形成される。この結果、ＲＦＱ加速器３６により、
ビーム入射部でバンチされたビームが集束されながら加
速される。尚、上記ＲＦＱ加速器３６では、その共振周
波数が、その構造によって一定のものに固定されている
ため、同一イオン種の加速エネルギーを可変できないと
いう欠点がある。この解決法として、ＲＦＱ加速器３６
の後段に高周波加速器（以下、後段ＲＦ加速器とよぶ）
３７が付加されている。即ち、上記ＲＦＱ加速器３６か
ら出射された所定エネルギーのビームを、後段ＲＦ加速
器３７でさらに加速、あるいは減速して、所望のエネル
ギーに調整するのである。上記後段ＲＦ加速器３７とし
ては、例えば、真空容器３７ａ内にドリフトチューブ３
７ｂを備えた２ギャップのλ／４共振器を用いることが
できる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記構成の場合、ビー
ムのエネルギー可変幅は、上記後段ＲＦ加速器３７の構
成および特徴で決まる。よりエネルギー可変幅を広くし
ようとする場合、複数の後段ＲＦ加速器を多段につなぐ
ことが考えられるが、これでは加速部全体の長さが長く
なってしまい装置の大型化を招来するという問題があ
る。一方、高周波加速装置は、一般に、高いエネルギ
（半導体への応用では２００ｋｅＶ〜３ＭｅＶ）のみで
運転できるように設計されており、低いエネルギ（０〜
２００ｋｅＶ）では時に効率よく（ビームのロスを少な
くなるよう）装置の運転が出来るようになっていない。
したがって特に高いドーズ量での注入（あるいは照射）
では処理時間がいちじるしく長くなり実用的でない。又
ビームロスが多くなると言うことは、ビームが輸送路の
どこかに当たっていることを意味し、その衝突から発生
する金属、その他の固体のコンタミネーション、あるい
はガス放出による真空度悪化等のイオン注入装置ではあ
ってはならない問題が発生する可能性がでてくる。半導
体工場では、現在のところ高エネルギー機を量産に使う
ことは、全イオン注入使用回数から見ると少なく、装置
を遊ばせないよう、低エネルギー領域でも使用可能であ
ることが、ユーザーから強く求められている。即ち、イ
オン入射系から出てくるイオンエネルギー（ＲＦ主加速
に入る前のエネルギ）を高周波加速器系（高周波４重
極、高周波加速器）の中で加速あるいは減速させること
なく照射室へ効率良くみちびくことが求められている。
さらに、用途によって、中エネルギー領域での使用も求
められている。

【０００５】本発明の目的は、小型でエネルギー可変幅
の広い高周波型荷電粒子加速装置を提供することにあ
る。本発明の他の目的は、低エネルギー領域でも使用可
能な高周波型荷電粒子加速装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、中エネルギー領域でも使用可能な
高周波型荷電粒子加速装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の高周波型荷電粒子加速装置の第１の発明
は、荷電粒子ビームの通過経路のまわりに配置された４
重極電極を備え、高周波電源より高周波電力の供給を受
けて共振し、荷電粒子ビームを集群して加速する高周波
４重極加速手段と、この高周波４重極加速手段の後段に
配置され、高周波電源より高周波電力の供給を受けて共
振し、荷電粒子ビームのエネルギーを可変する少なくと
も一段の後段高周波加速手段と、高周波４重極加速手段
に所定の加速電力を供給して荷電粒子ビームを加速させ
ると共に後段高周波加速手段に所定の高周波電力を供給
する高エネルギーモードと、高周波４重極加速手段に加
速電力よりも弱い非加速電力を供給して荷電粒子ビーム
の加速を行わせないようにすると共に後段高周波加速手
段への高周波電力の供給を停止する低エネルギーモード
とに切り替える供給電力切り替え手段段と、を有するこ
とを特徴としている。本発明の高周波型荷電粒子加速装
置の第２の発明は、荷電粒子ビームの通過経路のまわり
に配置された４重極電極を備え、高周波電源より高周波
電力の供給を受けて共振し、荷電粒子ビームを集群して
加速する高周波４重極加速手段と、この高周波４重極加
速手段の後段に配置され、高周波電源より高周波電力の
供給を受けて共振し、荷電粒子ビームのエネルギーを可
変する第１段高周波加速装置と第２段高周波加速装置を
有する後段高周波加速手段と、高周波４重極加速手段に
所定の加速電力を供給して荷電粒子ビームを加速させる
と共に後段高周波加速手段に所定の高周波電力を供給す
る高エネルギーモードと、高周波４重極加速手段に加速
電力よりも弱い非加速電力を供給して荷電粒子ビームの
加速を行わせないようにすると共に後段高周波加速手段
への高周波電力の供給を停止する低エネルギーモード
と、高周波４重極加速手段に加速電力よりも弱い非加速
電力を供給して荷電粒子ビームの加速を行わせないよう
にすると共に後段高周波加速手段の第１段高周波加速装
置にバンチャーとして機能するような所定の値の高周波
電力を供給し且つ第２高周波加速装置に加速器として機
能するような所定の値の高周波電力を供給する中エネル
ギーモードとに切り替える供給電力切り替え手段と、を
有することを特徴としている。

【０００７】

【作用】上記のように構成された本発明の第１の発明に
よれば、高エネルギーモードにおいて、高周波４重極加
速手段に加速電力を供給してイオンビームを加速し、後
段高周波加速手段でこのイオンビームをさらに加減速さ
せることにより、高エネルギー領域においても、イオン
ビームのエネルギー可変幅を広げることができる。これ
に加えて、低エネルギーモードにおいて、高周波４重極
加速手段に非加速電力を供給してイオンビームを入射し
たエネルギーと同一のエネルギーで出射させ、さらに、
後段高周波加速手段に電力を供給しないようにしてい
る。この結果、高周波型荷電粒子加速装置を高エネルギ
ー領域でのみ使用するのではなく、ＲＦ加速方式では通
常困難な低エネルギー領域でも使用可能となる。また、
上記のように構成された本発明の第２の発明によれば、
上記の高エネルギーモード及び低エネルギーモードに加
えて、中エネルギーモードにおいて、高周波４重極加速
手段に加速電力よりも弱い非加速電力を供給すると共に
後段高周波加速手段の第１段高周波加速装置にバンチャ
ーとして機能するような所定の値の高周波電力を供給し
第２高周波加速装置に加速器として機能するような所定
の値の高周波電力を供給するようにしている。この結
果、高周波型荷電粒子加速装置が中エネルギーでも使用
可能となる。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図１
及び図２を参照して説明する。先ず、本発明の一実施形
態を図１及び図２により説明する。この本発明の一実施
形態における高周波型荷電粒子加速装置としての高周波
型イオン加速装置（以下、ＲＦ加速装置と称する）は、
高エネルギーイオン注入装置に用いられるものであり、
図１に示すように、高エネルギーイオン注入装置のイオ
ンビーム発生部１の後段に設置されている。このイオン
ビーム発生部１は、イオン源物質をイオン化してビーム
として引き出すイオン源２、質量分析により所望のイオ
ンのみを選択的に取り出す分析マグネット３、ＲＦ加速
装置１０へ入射するビーム量の効率を高めるためにイオ
ンビームをシャープに整形する電磁型４重極レンズ４、
およびイオン源２に電力を供給する高電圧電源部５を有
している。このＲＦ加速装置１０は、高周波４重極型線
形加速器（以下、ＲＦＱ加速器とよぶ）１２と、このＲ
ＦＱ加速器１２の後段に配置される第１段高周波加速器
１４（以下、第１ＲＦ加速器とよぶ）及び第２段高周波
加速器１６（以下、第２ＲＦ加速器とよぶ）から構成さ
れている。

【０００９】このＲＦＱ加速器１２は、真空チャンバ１
２ａ内に設けられ、荷電粒子ビームとしてのイオンビー
ムの通過経路のまわりに配置された４重極電極１２ｂを
備えている。この４重極電極１２ｂにおける各電極の対
向面には、イオンの進行方向と同一の方向に加速電界を
形成するためのモジュレーション（波構造）が形成され
ている。このＲＦＱ加速器１２のビーム入射部側には、
ビームを加速し易いように集束（バンチ）するバンチ部
が形成されており、このバンチ部以降の部分が加速部と
なっている。第１ＲＦ加速器１４は、３ギャップλ／４
（λは共振周波数）の線形加速器であり、入射されたビ
ームの加速及び減速させることが可能である。この第１
段ＲＦ加速器１４は、ドリフトチューブを構成する円筒
状の一対の加速電極１４ａ，１４ｂと、これらの加速電
極１４ａ，１４ｂの両側に配置された円筒状の接地電極
１４ｃ，１４ｄと、加速電極１４ａ，１４ｂに一端が接
続され他端が接地され共振波長λの１／４倍の長さを有
するコイル１４ｅ，１４ｆを備えている。また、これら
の電極の間には、ギャップｇ１，ｇ２，ｇ３がそれぞれ
形成されている。また、第２ＲＦ加速器１６の構成は、
第１ＲＦ加速器１４の構成と同一であり、その説明は省
略する。

【００１０】また、第１ＲＦ加速器１４と第２ＲＦ加速
器１６の下流側には、電磁型４重極レンズ１３，１７が
それぞれ設けられ、これらの電磁型４重極レンズ１３，
１７は直流電源１５，１９にそれぞれ接続されている。
また、ＲＦ加速装置１０は、ＲＦＱ加速器１２、第１Ｒ
Ｆ加速器１４及び第２ＲＦ加速器１６にそれぞれ高周波
電力を供給する高周波電源１１を備えている。また、こ
の高周波電源１１は、ＲＦＱ加速器１２へ供給する高周
波電力の強弱を調節すると共に第１ＲＦ加速器１４及び
第２ＲＦ加速器１６への供給電力のオン・オフ及び高周
波電力の値を調整することにより、ＲＦＱ加速器１２を
加速管として使用する（高エネルギーモード）か、ＲＦ
Ｑ加速器１２を単なる輸送管として使用する（低エネル
ギーモード）か、又は、中エネルギー領域で使用する
（中エネルギーモード）かに切り替える供給電力切り替
え手段として機能するコントロールユニット２８（図２
参照）を有している。図２は、本発明の実施形態の制御
内容を示すためのブロック図である。この図２に示すよ
うに、高周波電源１１は、標準信号発生源２９、可変電
力増幅器１８，２０，２２、位相シフター２４，２６、
及びコントロールユニット２８により構成されている。
可変電力増幅器１８，２０，２２は、ＲＦＱ加速器１
２、第１ＲＦ加速器１４及び第２ＲＦ加速器１６に、そ
れぞれ接続されている。また、これらの可変電力増幅器
１８，２０，２２には、標準信号発生源２９から、標準
高周波信号が供給される。位相シフタ２４，２６は、第
１ＲＦ加速器１４及び第２ＲＦ加速器１６に、それぞれ
接続されている。コントロールユニット２８は、オペレ
ータにより任意に設定された目標エネルギーが得られる
ように、位相、高周波電力のそれぞれの値を所定のプロ
グラムされたアルゴリズムに基づき設定する。即ち、各
可変電力増幅器１８，２０，２２には、高周波電力に関
する信号がコントロールユニット２８から送られ、これ
により、出力電力（即ち電界の振幅）の値が調整され
る。各位相シフタ２４，２６には、位相に関する信号が
コントロールユニット２８から送られ、これにより、通
過するイオンビームが加速されるように各加速器の位相
のシフト量が設定される。さらに、ＲＦＱ加速器１２、
第１ＲＦＱ加速器１４及び第２ＲＦ加速器１６から、電
力と位相に関する情報がコントロールユニット２８に戻
され、これにより、コントロールユニット２８は、設定
値と実際の値とのずれ量をフィードバック制御により補
正する。

【００１１】さらに、コントロールユニット２８は、Ｒ
ＦＱ加速器１２の可変電力増幅器１８に送る電力の値
を、例えば、２０〜３０ｋＷの電力が供給される高エネ
ルギーモード（このモードにおいては、ＲＦＱ加速器１
２を加速管として使用する）と、例えば、１ｋＷから２
ｋＷ程度の低い電力が供給される低エネルギーモード及
び中エネルギーモード（これらの両モードにおいては、
ＲＦＱ加速器１２を単なる輸送管として使用する）に切
り換えている。また、低エネルギーモードのとき、第１
ＲＦ加速器１４及び第２ＲＦ加速器１６への電力の供給
を停止する。さらに、中エネルギーモードのとき、第１
ＲＦ加速器１４には、バンチャーとして機能するような
所定の値の高周波電力が供給され、第２ＲＦ加速器１６
には、加速器として機能するような所定の値の高周波電
力が供給される。このように構成された本発明の実施形
態におけるＲＦ加速装置１０の動作を以下に説明する。
高エネルギーモードの場合、ＲＦ加速装置１０のＲＦＱ
加速器１２には、高周波電源１１より所定周波数の高周
波電力が供給されており、ＲＦＱ加速器１２内のイオン
ビーム通過経路には、ビーム進行方向と直角な方向に４
重極電界が形成されている。イオンビーム発生部１から
出射されたイオンビームは、先ず、このＲＦＱ加速器１
２に入射し、ＲＦＱ加速器１２のバンチ部でバンチされ
る。即ち、イオンの位相が所定範囲内なるように揃えら
れる。そして、バンチ部でバンチされたビームが、上記
４重極電界により集束されながら加速される。ＲＦＱ加
速器１２で所定エネルギーに加速されたバンチ構造のビ
ームは、第１ＲＦ加速器１４に入射し、加速又は減速さ
れる。この後、このバンチ構造のビームは、電磁型４重
極レンズ１３を経由して、次の第２ＲＦ加速器１６に入
射し、加速又は減速され、さらに、電磁型４重極レンズ
１７を経由して、最終的に、照射室へ入射される。

【００１２】次に、低エネルギーモードの場合には、Ｒ
ＦＱ加速器１２には、高周波電源１１から通常の加速電
力（２０ｋ〜３０ｋＷ）より１／１０〜１／２０程度の
低い非加速電力が供給される。このとき、ＲＦＱ加速器
１２内のイオンビーム通過経路には、ビーム進行方向に
弱い高周波４重極電界が形成されるが、加速電界が弱い
ためイオンを逐次加速することができない。この結果、
ＲＦＱ加速器１２全体でみれば、イオンは、加速も減速
もされず、入射されたエネルギーと同一のエネルギー
で、第１ＲＦ加速器１４へ入射される。このビームは勿
論バンチされておらず直流である。この後、ビームは、
第１ＲＦ加速器１４と第２ＲＦ加速器１６、電磁型４重
極レンズ１３と電磁型４重極レンズ１７を通過する。こ
のとき、第１ＲＦ加速器１４と第２ＲＦ加速器１６には
電力が供給されていないため、これらの両加速器１４，
１６により加速されることも減速されることもなく、両
レンズ１３，１７のみが作動している。ここで、この実
施形態では、レンズとして、静電型でなく電磁型４重極
レンズを使用しているため、大電流・低エネルギーイオ
ンの空間電荷効果が小さくなり、これにより、ビームの
発散が押さえられ、なるべく多くのビームを照射室へ導
くことができる。

【００１３】さらに、中エネルギーモードの場合には、
低エネルギーモードの場合と同様に、ＲＦＱ加速器１２
には、高周波電源１１から低い非加速電力が供給され
る。このとき、ＲＦＱ加速器１２は加速電界が弱いため
イオンを逐次加速することができない。このようにし
て、イオンは、加速も減速もされず、入射されたエネル
ギーと同一のエネルギーで、第１ＲＦ加速器１４へ入射
される。次に、ビームは、第１ＲＦ加速器１４によりバ
ンチされ、電磁型４重極レンズ１３を経由して、第第２
ＲＦ加速器１６に入射する。この第２ＲＦ加速器１６
で、ビームは、所定のエネルギーまで加速され、さら
に、電磁型４重極レンズ１７を経由して、最終的に、照
射室へ入射される。このように構成された本発明の実施
形態によれば、高エネルギーモード（領域）において、
ＲＦＱ加速器１２に加速電力を供給してイオンビームを
加速し、第１ＲＦ加速器１４及び第２ＲＦ加速器１６で
このイオンビームをさらに加減速させることにより、高
エネルギー領域においても、イオンビームのエネルギー
可変幅を広げることができる。また、低エネルギーモー
ド（領域）において、ＲＦＱ加速器１２に非加速電力を
供給してイオンビームを入射したエネルギーと同一のエ
ネルギーで出射させ、さらに、第１ＲＦ加速器１４と第
２ＲＦ加速器１６に電力を供給しないようにして、ビー
ムをこれら両加速器１４，１６を通過するようにしてい
る。さらに、中エネルギーモード（領域）において、Ｒ
ＦＱ加速器１２に非加速電力を供給してイオンビームを
入射したエネルギーと同一のエネルギーで出射させ、さ
らに、第１ＲＦ加速器１４でビームをバンチし、このバ
ンチされたビームを第２ＲＦ加速器１６により、所定の
値まで加速するようにしている。この結果、この本発明
の実施形態によれば、ＲＦ加速器１０を高エネルギー領
域でのみ使用するのではなく、ＲＦ加速方式では通常困
難な低エネルギー領域でも使用可能となり、さらに、中
エネルギー領域でも使用可能となる。

【００１４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
小型でエネルギー可変幅の広い高周波型荷電粒子加速装
置を得ることができる。また、本発明によれば、低エネ
ルギー領域でも使用可能となり、さらに、中エネルギー
領域でも使用可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示すものであり、高周
波型イオン加速装置を用いた低エネルギー領域及び中エ
ネルギー領域でも使用可能な高エネルギーイオン注入装
置の要部の構成を示す概略構成図

【図２】本発明の図１に示す実施形態の制御内容を示
すブロック図

【図３】従来例を示すものであり、高周波型イオン加
速装置を用いた高エネルギーイオン注入装置の要部の構
成を示す概略構成図

【符号の説明】

１イオンビーム発生部２イオン源３分析マグネット４電磁型４重極レンズ５高電圧電源部１０ＲＦ加速装置１１高周波電源１２ＲＦＱ加速器１２ａ真空チャンバ１２ｂ４重極電極１３電磁型４重極レンズ１７電磁型４重極レンズ１５直流電源１４第１ＲＦ加速器１４ａ加速電極１４ｂ加速電極１４ｃ接地電極１４ｄ接地電極１４ｅコイル１４ｆコイル１６第２ＲＦ加速器１８可変電力増幅器１９直流電源２０可変電力増幅器２２可変電力増幅器２４位相シフター２６位相シフター２８コントロールユニット２９標準信号発生源ｇ１，ｇ２，ｇ３ギャップ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】荷電粒子ビームの通過経路のまわりに配
置された４重極電極を備え、高周波電源より高周波電力
の供給を受けて共振し、上記荷電粒子ビームを集群して
加速する高周波４重極加速手段と、この高周波４重極加速手段の後段に配置され、高周波電
源より高周波電力の供給を受けて共振し、荷電粒子ビー
ムのエネルギーを可変する少なくとも一段の後段高周波
加速手段と、上記高周波４重極加速手段に所定の加速電力を供給して
荷電粒子ビームを加速させると共に上記後段高周波加速
手段に所定の高周波電力を供給する高エネルギーモード
と、高周波４重極加速手段に上記加速電力よりも弱い非
加速電力を供給して荷電粒子ビームの加速を行わせない
ようにすると共に上記後段高周波加速手段への高周波電
力の供給を停止する低エネルギーモードとに切り替える
供給電力切り替え手段段と、を有することを特徴とする高周波型荷電粒子加速装置。
【請求項２】荷電粒子ビームの通過経路のまわりに配
置された４重極電極を備え、高周波電源より高周波電力
の供給を受けて共振し、上記荷電粒子ビームを集群して
加速する高周波４重極加速手段と、この高周波４重極加速手段の後段に配置され、高周波電
源より高周波電力の供給を受けて共振し、荷電粒子ビー
ムのエネルギーを可変する第１段高周波加速装置と第２
段高周波加速装置を有する後段高周波加速手段と、上記高周波４重極加速手段に所定の加速電力を供給して
荷電粒子ビームを加速させると共に上記後段高周波加速
手段に所定の高周波電力を供給する高エネルギーモード
と、上記高周波４重極加速手段に上記加速電力よりも弱
い非加速電力を供給して荷電粒子ビームの加速を行わせ
ないようにすると共に上記後段高周波加速手段への高周
波電力の供給を停止する低エネルギーモードと、上記高
周波４重極加速手段に上記加速電力よりも弱い非加速電
力を供給して荷電粒子ビームの加速を行わせないように
すると共に上記後段高周波加速手段の第１段高周波加速
装置にバンチャーとして機能するような所定の値の高周
波電力を供給し且つ第２高周波加速装置に加速器として
機能するような所定の値の高周波電力を供給する中エネ
ルギーモードとに切り替える供給電力切り替え手段と、を有することを特徴とする高周波型荷電粒子加速装置。
【請求項３】上記後段高周波加速手段は、上記高周波
４重極加速手段から出射された荷電粒子ビームのエネル
ギーをさらに加速するか又は減速することにより可変す
る請求項１又は請求項２のいずれかに記載の高周波型荷
電粒子加速装置。
【請求項４】更に、上記高周波４重極加速手段の上流側
に配置されたイオン収束レンズとしての電磁型４重極レ
ンズと、上記後段高周波加速手段の下流側に配置された
電磁型４重極レンズとを有する請求項１記載の高周波型
荷電粒子加速装置。