JPH09251643A - Optical master disk producing method - Google Patents

Optical master disk producing method

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Publication number
JPH09251643A
JPH09251643A JP8773696A JP8773696A JPH09251643A JP H09251643 A JPH09251643 A JP H09251643A JP 8773696 A JP8773696 A JP 8773696A JP 8773696 A JP8773696 A JP 8773696A JP H09251643 A JPH09251643 A JP H09251643A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
information
track
master
optical disc
glass master
Prior art date
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Pending
Application number
JP8773696A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideyasu Endo
英康 遠藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP8773696A priority Critical patent/JPH09251643A/en
Publication of JPH09251643A publication Critical patent/JPH09251643A/en
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  • Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical master disk producing method capable of producing an optical disk on which information of large capacity are stored by writing the information on tracks with a simple operation without using complex facilities with high accuracy and efficiently. SOLUTION: Information to be applied from a format generator 15 are recorded in a groove part and a land part while movingly controlling a glass master disk 7 within the range of the twice width of a track width in the radial direction on spiral tracks having a prescribed pitch which are formed on the glass master disk 7 by the format generator 15 while by allowing an optical modulator 17 to be controlled according to recording information and in which the groove part and the land part are continuously repeated. Then, the information of large capacity are recorded on the spiral tracks of the glass master disk 7 with high accuracy by shortening an exposure time while controlling the moving of the glass master disk 7, the moving of a laser spot and the emitting of the laser spot corresponding to the information with high accuracy based on the oscillation frequency of a common oscillator in a simple process.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、記録材がコーティ
ングされたガラス原盤から光ディスク原盤を作成する光
ディスク原盤の作成方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of producing an optical disc master from a glass master coated with a recording material.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ディスクは、記録密度が大きく大容量
であり且つランダムアクセスに優れ、非接触状態で記録
再生が行われるので、塵埃や表面汚れの影響を受けない
という特長があり、記録媒体としての主流の座を占めて
いる。
2. Description of the Related Art An optical disk has a large recording density and a large capacity, is excellent in random access, and is recorded and reproduced in a non-contact state. Therefore, it is not affected by dust and surface stains. Occupies the mainstream position.

【0003】現在の光ディスクの記憶容量は、650M
B程度であるが、さらに大容量化が進み、トラック本数
の増加に加えて、従来トラックのランドかグルーブの何
れかに記録していた情報を、ランド及びグルーブの両方
に記録するランド・アンド・グルーブ記録(L/G記
録)も行われ、光ディスクは記憶容量が4.7GBのも
のも提案されている。このように、光ディスクの記憶容
量を増加させると、情報の記録のための露光時間が増加
し、光ディスク原盤の作成効率が低下するという問題が
発生する。
The current storage capacity of an optical disk is 650M.
Although it is about B, the capacity is further increased, and in addition to the increase in the number of tracks, the land and groove which records the information recorded in either the land or the groove of the conventional track in both the land and the groove. Groove recording (L / G recording) is also performed, and an optical disc having a storage capacity of 4.7 GB has been proposed. As described above, when the storage capacity of the optical disc is increased, the exposure time for recording information is increased and the efficiency of producing the optical disc master is reduced.

【0004】この問題を解決するために、特開平7−1
29993号公報で、記録レーザより出射されるレーザ
ビームを、ビーム分割手段で分割し、複数の原盤にそれ
ぞれ対応する信号に応じて変調されたビームとして照射
して、複数の原盤記録を同時に行う原盤記録装置が開示
されている。
To solve this problem, Japanese Patent Laid-Open No.
In Japanese Patent Publication No. 29993, a laser beam emitted from a recording laser is split by a beam splitting unit, and a plurality of masters are irradiated as beams modulated according to signals corresponding to the masters, thereby simultaneously recording a plurality of masters. A recording device is disclosed.

【0005】しかし、開示に係る原盤記録装置では、構
造が複雑になり、製造コスト上で問題があると共に、装
置各部の同期制御が複雑になって、原盤の記録精度を向
上させることが難しい。
However, in the master recording apparatus according to the disclosure, the structure becomes complicated, there is a problem in manufacturing cost, and the synchronization control of each part of the apparatus becomes complicated, and it is difficult to improve the recording accuracy of the master.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】前述のように、光ディ
スク原盤を高精度で作成しようとすると、複雑な装置を
使用し複雑な工程での操作を重ねることが必要になり、
光ディスク原盤の制作効率が犠牲になる。
As described above, in order to produce an optical disk master with high accuracy, it is necessary to use a complicated device and repeat operations in complicated steps.
The production efficiency of the optical disc master is sacrificed.

【0007】本発明は、前述したようなこの種の光ディ
スク原盤作成の現状に鑑みてなされたものであり、その
目的は、複雑な設備を使用せずに、簡単な操作によって
情報をトラックに高精度で且つ効率的に書込んで、大容
量の情報を格納した高ディスク原盤を作成可能な高ディ
スク原盤の作成方法を提供することにある。
The present invention has been made in view of the present situation of producing such an optical disk master as described above, and an object thereof is to transfer information to a track by a simple operation without using complicated equipment. It is an object of the present invention to provide a method for creating a high-disk master that enables accurate and efficient writing to create a high-disk master that stores a large amount of information.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項1記載の発明は、グルーブ部及びランド部か
らなり、情報が記録されるトラックがスパイラル状に形
成され、前記情報が、前記グルーブ部及び前記ランド部
に記録される光ディスク原盤を、記録材がコーティング
されたガラス原盤から作成する光ディスク原盤の作成方
法であり、レーザ光源からのレーザ光の入射位置に、前
記トラックを位置合わせするように、前記ガラス原盤を
半径方向に移動し、且つ前記ガラス原盤を回転する駆動
ステップと、前記レーザ光の入射位置を、目的のトラッ
クの中心線上に保持する偏向動作を行う偏向ステップ
と、前記駆動ステップと前記偏向ステップとにより、目
的のトラックの中心線上に前記入射位置が設定され、前
記ガラス原盤が回転された状態で、前記レーザ光源を前
記情報に対応してON−OFF制御する変調ステップ
と、前記駆動ステップにおいて、前記光ディスク原盤を
半径方向に前記トラックの幅の2倍の範囲で移動させな
がら、前記変調ステップでの前記情報の記録を行わせる
制御ステップとを有することを特徴とするものである。
In order to achieve the above-mentioned object, the invention according to claim 1 comprises a groove portion and a land portion, a track on which information is recorded is formed in a spiral shape, and the information is A method for producing an optical disc master in which an optical disc master recorded on the groove portion and the land portion is made from a glass master disc coated with a recording material, and the track is aligned with an incident position of a laser beam from a laser light source. As described above, a driving step of moving the glass master disk in the radial direction and rotating the glass master disk, and a deflection step of performing a deflection operation of holding the incident position of the laser light on the center line of the target track, By the driving step and the deflecting step, the incident position is set on the center line of the target track, and the glass master disk rotates. In a state where the laser light source is ON-OFF controlled corresponding to the information, and in the driving step, the optical disc master is moved in the radial direction within a range of twice the width of the track, And a control step of causing the recording of the information in the modulation step.

【0009】同様に前記目的を達成するために、請求項
2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記ト
ラックの情報はCAV方式のフォーマットで形成される
ことを特徴とするものである。
Similarly, in order to achieve the above object, the invention according to claim 2 is characterized in that, in the invention according to claim 1, the information of the track is formed in a CAV format. .

【0010】同様に前記目的を達成するために、請求項
3記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記ト
ラックの情報はCLV方式のフォーマットで形成される
ことを特徴とするものである。
Similarly, in order to achieve the above object, the invention according to claim 3 is the invention according to claim 1, characterized in that the information of the track is formed in a CLV format. .

【0011】同様に前記目的を達成するために、請求項
4記載の発明は、グルーブ部及びランド部からなり、情
報が記録されるトラックがスパイラル状に形成され、前
記情報が、前記グルーブ部及び前記ランド部に記録され
る光ディスク原盤を、記録材がコーティングされたガラ
ス原盤から作成する光ディスク原盤の作成方法であり、
レーザ光源からのレーザ光の入射位置に、前記トラック
を位置合わせするように、前記ガラス原盤を半径方向に
移動し、且つ前記ガラス原盤を回転する駆動ステップ
と、前記レーザ光の入射位置を、目的のトラックの中心
線上に保持する偏向動作を行う偏向ステップと、前記駆
動ステップと前記偏向ステップとにより、目的のトラッ
クの中心線上に前記入射位置が設定され、前記ガラス原
盤が回転された状態で、前記レーザ光源を前記情報に対
応してON−OFF制御する変調ステップと、前記駆動
ステップにおいて、前記光ディスク原盤を半径方向に前
記トラックの幅の範囲で移動させながら、前記変調ステ
ップでの前記情報の記録を行わせる制御ステップとを有
することを特徴とするものである。
[0011] Similarly, in order to achieve the above-mentioned object, the invention according to claim 4 comprises a groove portion and a land portion, and a track on which information is recorded is formed in a spiral shape, and the information is recorded in the groove portion and the land portion. A method for producing an optical disc master in which an optical disc master recorded on the land portion is made from a glass master coated with a recording material,
The driving step of moving the glass master disk in the radial direction and rotating the glass master disk so that the track is aligned with the incident position of the laser light from the laser light source, and the laser light incident position, In the state where the incident position is set on the center line of the target track by the deflection step of performing the deflection operation of holding on the center line of the track, the driving step and the deflection step, and the glass master is rotated, In the modulation step of ON / OFF controlling the laser light source in accordance with the information, and in the driving step, the information of the information in the modulation step is changed while moving the optical disc master in the radial direction within the range of the track width. And a control step for performing recording.

【0012】同様に前記目的を達成するために、請求項
5記載の発明は、請求項4記載の発明において、前記ト
ラックの情報はCAV方式のフォーマットで形成される
ことを特徴とするものである。
[0012] Similarly, in order to achieve the above object, the invention of claim 5 is characterized in that, in the invention of claim 4, the information of the track is formed in a CAV format. .

【0013】同様に前記目的を達成するために、請求項
6記載の発明は、請求項4記載の発明において、前記ト
ラックの情報はCLV方式のフォーマットで形成される
ことを特徴とするものである。
Similarly, to achieve the above object, the invention according to claim 6 is characterized in that, in the invention according to claim 4, the information of the track is formed in a CLV format. .

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

[第1の実施の形態]本発明の第1の実施の形態を、図
1ないし図3を参照して説明する。図1は本実施の形態
の実施に使用される原盤記録装置の構成を示すブロック
図、図2は図1の偏向器コントローラの構成を示すブロ
ック図、図3は本実施の形態で作成される光ディスク原
盤の説明図である。
[First Embodiment] A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a master recording apparatus used for carrying out the present embodiment, FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the deflector controller of FIG. 1, and FIG. 3 is created in the present embodiment. It is an explanatory view of an optical disc master.

【0015】本実施の形態では、光感光性フォトレジス
トがコーティングされ、情報の記録が行われるガラス原
盤7が、ターンテーブル8上に搭載され、真空吸着によ
りターンテーブル8に固定される。そして、全体の動作
を制御するMPU1によって、パルスジェネレータ2が
制御され、パルスジェネレータ2からは、共通の水晶発
振器の出力信号に分周などの信号処理がそれぞれ施され
て得られる基本クロックFPG、トラックパルスTP、
指令パルスTPG、SPGが出力される。
In this embodiment, a glass master 7 coated with a photosensitive photoresist and recording information is mounted on a turntable 8 and fixed to the turntable 8 by vacuum suction. A pulse generator 2 is controlled by the MPU 1 that controls the overall operation, and a basic clock FPG and a track obtained by subjecting the output signal of the common crystal oscillator to signal processing such as frequency division, respectively, from the pulse generator 2. Pulse TP,
Command pulses TPG and SPG are output.

【0016】ここで、指令パルスSPGは、ガラス原盤
7の横送りを行うパルス、指令パルスTPGは、ガラス
原盤7の回転を行うパルスで、1回転に4000パルス
出力され、トラックパルスTPは、トラックを検知する
パルスで、指令パルスTPGの4000パルス毎に1パ
ルス出力され、基本クロックFPGは、フォーマットジ
ェネレータ15の動作を、指令パルスTPG、SPGと
同期して行わせるクロックである。
Here, the command pulse SPG is a pulse for laterally feeding the glass master disk 7, the command pulse TPG is a pulse for rotating the glass master disk 7, and 4000 pulses are output per rotation, and the track pulse TP is a track. One pulse is output for every 4000 pulses of the command pulse TPG, and the basic clock FPG is a clock for operating the format generator 15 in synchronization with the command pulses TPG and SPG.

【0017】ところで、本実施の形態では、ガラス原盤
7の光感光性フォトレジストには、グルーブとランドが
交互に連続するスパイラル状のトラックが形成されてい
る。そして、パルスジェネレータ2から指令パルスSP
Gが出力されると、この指令パルスSPGによって横送
りモータコントローラ3が作動し、横送りモータコント
ローラ3から制御信号F1が出力され、この制御信号F
1によって、横送りモータ5が回転して横送りステージ
6が駆動されてガラス原盤7が半径方向に移動される。
By the way, in this embodiment, a spiral track in which grooves and lands are alternately continuous is formed in the photosensitive photoresist of the glass master 7. Then, the command pulse SP from the pulse generator 2
When G is output, the lateral feed motor controller 3 is activated by this command pulse SPG, and the lateral feed motor controller 3 outputs a control signal F1.
1, the lateral feed motor 5 rotates to drive the lateral feed stage 6 and the glass master 7 is moved in the radial direction.

【0018】また、パルスジェネレータから指令パルス
TPGが出力されると、この指令パルスTPGによっ
て、スピンドルモータコントローラ11から制御信号F
2が出力され、この制御信号F2によってスピンドルモ
ータ10が回転し、ガラス原盤7が軸芯を中心にPLL
制御によって回転する。
When the command pulse TPG is output from the pulse generator, the control signal F is output from the spindle motor controller 11 by the command pulse TPG.
2 is output, the spindle motor 10 is rotated by the control signal F2, and the glass master 7 is PLL with the shaft center as the center.
Rotate by control.

【0019】一方、レーザ発振器18からはレーザ光が
出射され、このレーザ光はミラー20で反射されて光変
調器17に入力される。そして、パルスジェネレータ2
から、基本クロックFPGとトラックパルスTPとが出
力されると、フォーマットジェネレータ15から、記録
情報に対応する制御信号F3が出力され、この制御信号
F3によって、変調器ドライバ16が駆動され、変調器
ドライバ16によつて、光変調器17が記録情報に対応
してレーザ光出力のON−OFF動作を行う。
On the other hand, laser light is emitted from the laser oscillator 18, and this laser light is reflected by the mirror 20 and input to the optical modulator 17. And the pulse generator 2
When the basic clock FPG and the track pulse TP are output from the format generator 15, the format generator 15 outputs the control signal F3 corresponding to the recording information. The control signal F3 drives the modulator driver 16 and the modulator driver. 16, the optical modulator 17 performs ON-OFF operation of the laser light output in accordance with the recorded information.

【0020】また、パルスジェネレータ2から、トラッ
クパルスTPと指令パルスTPGとが出力されると、偏
向器コントローラ12から制御信号F4が出力され、こ
の制御信号F4によって、偏向器ドライバ13が光偏向
器14を駆動し、対物レンズ15を介してガラス原盤7
に入射するレーザ光のスポットが、感光性フォトレジス
トのトラックの中心位置に照射されるように、レーザビ
ームの偏向制御が行われる。
When the pulse generator 2 outputs the track pulse TP and the command pulse TPG, the deflector controller 12 outputs a control signal F4. The control signal F4 causes the deflector driver 13 to output the optical deflector. 14 to drive the glass master 7 through the objective lens 15.
The deflection control of the laser beam is performed so that the spot of the laser light incident on is irradiated to the center position of the track of the photosensitive photoresist.

【0021】本実施の形態において、偏向器コントロー
ラ12は、図2に示すように構成されていて、ターンテ
ーブル8の一回転に4000パルス発生する指令パルス
TPGが、分周器21で分周されて、トラックパルスT
Pでリセットされるカウンタ22でカウントされ、計数
値に応じて得られる計数信号が、DA変換器23でアナ
ログ信号に変換され、増幅器24で増幅されてスイッチ
回路25を介して加減算器26に入力され、中立位置信
号を設定する参照信号Vrefとの間での減算によって
制御信号が演算される。
In the present embodiment, the deflector controller 12 is constructed as shown in FIG. 2, and the command pulse TPG which generates 4000 pulses for one rotation of the turntable 8 is divided by the frequency divider 21. Track pulse T
A count signal that is counted by the counter 22 that is reset by P and obtained according to the count value is converted into an analog signal by the DA converter 23, amplified by the amplifier 24, and input to the adder / subtractor 26 via the switch circuit 25. Then, the control signal is calculated by subtraction from the reference signal Vref that sets the neutral position signal.

【0022】偏向器ドライバ13は、制御信号F4が
2.5Vの時、光偏向器14をレーザスポットが中立位
置を取るように制御し、制御信号F4が2.5Vより大
きいとレーザスポットは外周側に、制御信号が2.5V
より小さくなると内周側に移動する。
The deflector driver 13 controls the optical deflector 14 so that the laser spot takes a neutral position when the control signal F4 is 2.5V, and when the control signal F4 is larger than 2.5V, the laser spot is outside. On the side, the control signal is 2.5V
When it becomes smaller, it moves to the inner circumference side.

【0023】そこで、本実施の形態では、トラックパル
スTPで偏向器コントローラ12がリセットされ、新し
いトラック対する情報の記録が開始されると、ガラス原
盤7の回転位置に応じて、制御信号が2.5Vから次第
に小さくなり、レーザスポットが、スパイラル状のトラ
ックの中心位置に位置するように制御され、ガラス原盤
7が1回転すると、トラックピッチが1.6μmの場
合、レーザスポットが0.8μm移動する。
Therefore, in the present embodiment, when the deflector controller 12 is reset by the track pulse TP and the recording of information for a new track is started, the control signal becomes 2. When the glass master 7 is rotated. The laser spot gradually decreases from 5 V, and the laser spot is controlled to be located at the center position of the spiral track. When the glass master 7 makes one rotation, the laser spot moves 0.8 μm when the track pitch is 1.6 μm. .

【0024】このようにして、本実施の形態では、偏向
器コントローラ12の制御によって、偏向器ドライバ1
3による光偏向器14の駆動が行われ、レーザスポット
は常にスパイラル状のトラックの中心位置に追従位置決
めされる。
In this way, in the present embodiment, the deflector driver 1 is controlled by the deflector controller 12.
The optical deflector 14 is driven by 3 and the laser spot is always positioned so as to follow the center position of the spiral track.

【0025】この場合、本実施の形態では、参照信号V
refを、セクタ毎に発生するプリフォーマット信号と
同期させて変化することにより、中立点を変化させるこ
とが可能である。
In this case, in the present embodiment, the reference signal V
The neutral point can be changed by changing ref in synchronization with the preformat signal generated for each sector.

【0026】本実施の形態でガラス原盤7をCAV駆動
させて情報の記録を行う場合には、実行するCAV駆動
に対応して、ガラス原盤7を一定角速度で回転し、また
一定速度で横送りするための指令パルスTPG、SPG
が出力され、例えば回転数300rpm、トラックピッ
チ1.6μmの時は、指令パルスTPGとしては20K
Hz、指令パルスSPGとしては1KHzと一定の周波
数のバルスが出力される。
In the present embodiment, when the glass master disk 7 is driven by CAV to record information, the glass master disk 7 is rotated at a constant angular velocity and laterally fed at a constant speed in accordance with the CAV driving to be performed. Command pulse TPG, SPG for
Is output. For example, when the rotation speed is 300 rpm and the track pitch is 1.6 μm, the command pulse TPG is 20 K.
A pulse having a constant frequency of 1 KHz is output as the Hz and the command pulse SPG.

【0027】そして、偏向器コントローラ12によつ
て、レーザスポットがトラツクの中心線上に位置制御さ
れた状態で、フォーマットジェネレータ15から記録情
報に対応する制御信号が出力されると、変調器ドライバ
16で駆動される光変調器17によつて、ガラス原盤7
に、レーザ光が対物レンズ15を介して、記録情報に対
応するレーザスポットとして入射される。このレーザス
ポットに対応する記録情報は、フォトレジスタのトラッ
クのグルーブ部及びランド部にそれぞれ露光されるが、
例えば、アドレスをガラス原盤7の全面に割り付けるプ
リフォーマットビット情報は、グルーブ部に露光されて
潜像が形成される。
When the deflector controller 12 controls the position of the laser spot on the center line of the track, the format generator 15 outputs a control signal corresponding to the recording information. By the driven optical modulator 17, the glass master 7
Then, the laser light is incident as a laser spot corresponding to the recorded information via the objective lens 15. The recorded information corresponding to the laser spot is exposed on the groove portion and the land portion of the track of the photoresistor, respectively.
For example, the preformatted bit information for allocating an address to the entire surface of the glass master 7 is exposed on the groove portion to form a latent image.

【0028】本実施の形態では、この情報の書込みに際
して、指令パルスSPGによつて横送りモータ5が駆動
され、横送りステージ6によりガラス原盤7が、トラッ
クの幅の2倍の範囲で移動制御された状態で、光変調器
17によつて、前述の情報の記録が露光時間を短縮して
行われる。
In the present embodiment, when writing this information, the transverse feed motor 5 is driven by the command pulse SPG, and the transverse feed stage 6 controls the movement of the glass master 7 within a range twice the width of the track. In this state, the above-mentioned information recording is performed by the optical modulator 17 while shortening the exposure time.

【0029】また、本実施の形態でガラス原盤7をCL
V駆動させて、情報の記録を行う場合には、レーザスポ
ットのガラス原盤7への入射点で、ガラス原盤7の線速
が一定となるように、指令パルスTPG、SPGが出力
される。例えば、レーザスポットが、ガラス原盤7の半
径20mmの点から外周へ、線速1.2mm/sec、
トラックピッチ1.6μmでCLV駆動される場合、ガ
ラス原盤7の回転は573rmp(TPG;38.2K
Hz)、ガラス原盤7の横送りは15.3μm/sec
(SPG;1.91KHz)でスタートするように、フ
ォーマットジェネレータ15から指令パルスTSG、S
PGが出力される。
Further, in this embodiment, the glass master disk 7 is CL
When V driving is performed to record information, command pulses TPG and SPG are output so that the linear velocity of the glass master 7 becomes constant at the incident point of the laser spot on the glass master 7. For example, the laser spot has a linear velocity of 1.2 mm / sec from the point of the radius of 20 mm of the glass master 7 to the outer periphery.
When the CLV drive is performed at a track pitch of 1.6 μm, the rotation of the glass master 7 is 573 rpm (TPG; 38.2K).
Hz), the lateral feed of the glass master 7 is 15.3 μm / sec.
The command pulse TSG, S from the format generator 15 is set so as to start at (SPG; 1.91 KHz).
PG is output.

【0030】そして、フォーマットジェネレータ15に
よって、ガラス原盤7の1回転ごとに、指令パルスTP
G、SPGが見直され、1回目にはレーザスポットが半
径20.0016mmの位置で線速が一定になるよう
に、指令パルスTPG、SPGが出力され、2回目はレ
ーザスポットが半径20.0032mmの位置で線速が
一定になるように、指令パルスTPG、SPGが出力さ
れ、次第に周波数が低下されるように制御が行われる。
Then, the format generator 15 issues a command pulse TP for each revolution of the glass master disk 7.
G and SPG are reviewed, command pulses TPG and SPG are output at the first time so that the linear velocity is constant at the position of the radius of 20.016 mm, and the second time the laser spot has a radius of 20.0032 mm. The command pulses TPG and SPG are output so that the linear velocity becomes constant at the position, and control is performed so that the frequency is gradually lowered.

【0031】このような制御下で、CAV駆動の場合と
同様に、偏向器コントローラ12によつて、レーザスポ
ットがトラツクの中心線上に位置制御され、フォーマッ
トジェネレータ15から制御信号が出力されると、変調
器ドライバ16が駆動され、光変調器17によつて、ガ
ラス原盤7にレーザ光が対物レンズ15を介して、記録
情報に対応するレーザスポットとして入射される。この
レーザスポットに対応する情報は、フォトレジスタのト
ラックのグルーブ部及びランド部にそれぞれ露光される
が、例えば、アドレスをガラス原盤7の全面に割り付け
るプリフォーマットビット情報は、グルーブ部に露光さ
れて潜像が形成される。
Under such control, as in the case of the CAV driving, the deflector controller 12 controls the position of the laser spot on the center line of the track, and when the format generator 15 outputs a control signal, The modulator driver 16 is driven, and the optical modulator 17 causes the laser light to enter the glass master 7 through the objective lens 15 as a laser spot corresponding to the recorded information. The information corresponding to the laser spot is exposed to the groove portion and the land portion of the track of the photoresist, respectively. For example, the preformatted bit information for allocating the address to the entire surface of the glass master 7 is exposed to the groove portion and is hidden. An image is formed.

【0032】この情報の書込みに際しては、指令パルス
SPGによつて、横送りモータ5が駆動され、横送りス
テージ6によりガラス原盤7が、トラックの幅の2倍の
範囲で移動制御された状態で、光変調器17によつて、
情報の記録が、露光時間を短縮して行われる。
At the time of writing this information, the lateral feed motor 5 is driven by the command pulse SPG, and the glass master 7 is controlled by the lateral feed stage 6 to move within a range twice the width of the track. , By the optical modulator 17,
Recording of information is performed by shortening the exposure time.

【0033】このようにして、本実施の形態によると、
図3に示すように、フォーマットジェネレータ15によ
って、記録情報に対応して制御される光変調器17の動
作により、ガラス原盤7上において、グルーブ部30と
ランド部31が連続して繰り返されるピッチdが0.8
μmのスパイラル状のトラック32に、フォーマットジ
ェネレータ15から与えられる情報が、ガラス原盤7の
半径方向でのトラック幅の2倍の範囲での移動制御下で
L/G記録される。
In this way, according to the present embodiment,
As shown in FIG. 3, by the operation of the optical modulator 17 controlled by the format generator 15 in accordance with the recording information, the pitch d in which the groove portion 30 and the land portion 31 are continuously repeated on the glass master disk 7. Is 0.8
The information given from the format generator 15 is L / G-recorded on the μm spiral track 32 under the movement control in the range of twice the track width of the glass master disk 7 in the radial direction.

【0034】従って、本実施の形態によると、簡単なプ
ロセスで、共通の発振器の発振周波数に基づいて、ガラ
ス原盤7の移動、レーザスポットの移動、及び情報に対
応するレーザスポツトの出射を高精度に制御しながら、
ガラス原盤7のスパイラル状のトラックのグルーブ部及
びランド部に、大容量の情報を精度よく露出時間を短縮
して記録することが可能になる。
Therefore, according to the present embodiment, the movement of the glass master disk 7, the movement of the laser spot, and the emission of the laser spot corresponding to the information can be performed with high accuracy by a simple process based on the oscillation frequency of the common oscillator. While controlling to
It becomes possible to accurately record a large amount of information in the groove portion and the land portion of the spiral track of the glass master 7 while shortening the exposure time.

【0035】[第2の実施の形態]本発明の第2の実施
の形態を説明する。本実施の形態では、ガラス原盤7を
CAV駆動或いはCLV駆動させて、記録情報をガラス
原盤7のスパイラル状のトラックに書込む場合、指令パ
ルスSPGによつて、横送りモータ5が駆動され、横送
りステージ6によりガラス原盤7が、トラックの幅の範
囲で移動制御された状態で、光変調器17によつて、情
報の記録が行われる。
[Second Embodiment] A second embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, when the glass master 7 is CAV-driven or CLV-driven to write the recording information on the spiral track of the glass master 7, the lateral feed motor 5 is driven by the command pulse SPG, Information is recorded by the optical modulator 17 while the glass master 7 is controlled to move within the width of the track by the feed stage 6.

【0036】本実施の形態の光ディスク原盤の作成方法
のその他の部分は、すでに説明した第1の実施の形態の
場合と同一なので重複する説明は行わない。
The other parts of the method of producing the optical disk master according to the present embodiment are the same as those in the first embodiment already described, and therefore a duplicate description will not be given.

【0037】このように、本実施の形態によると、簡単
なプロセスで、共通の発振器の発振周波数に基づいて、
ガラス原盤7の移動、レーザスポットの移動、及び情報
に対応するレーザスポツトの出射を高精度に制御しなが
ら、ガラス原盤7のスパイラル状のトラックのグルーブ
部及びランド部に、大容量の情報を精度よく記録するこ
とが可能になる。
As described above, according to the present embodiment, a simple process is performed based on the oscillation frequency of the common oscillator.
While accurately controlling the movement of the glass master 7, the movement of the laser spot, and the emission of the laser spot corresponding to the information, a large amount of information can be accurately recorded in the groove and land of the spiral track of the glass master 7. It becomes possible to record well.

【0038】[0038]

【発明の効果】請求項1記載の発明によると、駆動ステ
ップでは、ガラス原盤が、トラック位置をレーザ光源か
らのレーザ光の入射位置に一致させるように、半径方向
に移動されながら回転され、偏向ステップでは、レーザ
光の入射位置が、目的のトラックの中心線上に保持制御
され、制御ステップでは、駆動ステップに対して、光デ
ィスク原盤を半径方向にトラックの幅の2倍の範囲で移
動させながら、変調ステップに対して、記録情報に対応
してレーザ光をON−OFF制御させるので、大容量の
情報が、スパイラル状のトラックのグルーブ部及びラン
ド部に、高精度で記録される光ディスク原盤を、簡単な
プロセスで効率的に且つ露光速度を短縮して作成するこ
とが可能になる。
According to the first aspect of the invention, in the driving step, the glass master is rotated while being moved in the radial direction so as to match the track position with the incident position of the laser light from the laser light source, and is deflected. In the step, the incident position of the laser beam is held and controlled on the center line of the target track, and in the control step, the optical disc master is moved in the radial direction within a range twice the width of the track with respect to the driving step. Since the laser beam is ON-OFF controlled corresponding to the recording information in the modulation step, an optical disc master in which a large amount of information is recorded with high accuracy in the groove portion and the land portion of the spiral track, It is possible to efficiently and easily create the exposure film by a simple process.

【0039】請求項2記載の発明によると、請求項1記
載の発明で得られる効果に加えて、ガラス円盤が、等速
度で半径方向に移動され、且つ等角速度で回転されるの
で、同期制御が簡単に行われ、アクセス時間やシークタ
イム上で有利に、光ディスク原盤を作成することが可能
になる。
According to the invention described in claim 2, in addition to the effect obtained by the invention described in claim 1, since the glass disk is moved in the radial direction at a constant velocity and rotated at a constant angular velocity, the synchronous control is performed. Is easily performed, and an optical disc master can be produced advantageously in terms of access time and seek time.

【0040】請求項3記載の発明によると、請求項1記
載の発明で得られる効果に加えて、ガラス円盤が、レー
ザ光の入射位置での線速度が一定に制御されるので、情
報の記録密度を高めることが可能になる。
According to the invention of claim 3, in addition to the effect obtained by the invention of claim 1, since the linear velocity of the glass disk at the incident position of the laser light is controlled to be constant, recording of information is performed. It is possible to increase the density.

【0041】請求項4記載の発明によると、駆動ステッ
プでは、ガラス原盤が、トラック位置をレーザ光源から
のレーザ光の入射位置に一致させるように、半径方向に
移動されながら回転され、偏向ステップでは、レーザ光
の入射位置が、目的のトラックの中心線上に保持制御さ
れ、制御ステップでは、駆動ステップに対して、光ディ
スク原盤を半径方向にトラック幅の範囲で移動させなが
ら、変調ステップに対して、記録情報に対応してレーザ
光をON−OFF制御させるので、大容量の情報が、ス
パイラル状のトラックのグルーブ部及びランド部に、高
精度で記録される光ディスク原盤を、簡単なプロセスで
効率的に作成することが可能になる。
According to the invention described in claim 4, in the driving step, the glass master is rotated while being moved in the radial direction so that the track position coincides with the incident position of the laser light from the laser light source, and in the deflection step. , The incident position of the laser beam is controlled to be held on the center line of the target track, and in the control step, the optical disc master is moved in the radial direction within the track width range while the modulation step is performed with respect to the drive step. Since the laser light is controlled to be turned on and off according to the recorded information, a large amount of information is recorded on the groove portion and the land portion of the spiral track with high accuracy, and the optical disc master can be efficiently processed by a simple process. Can be created in.

【0042】請求項5記載の発明によると、請求項4記
載の発明で得られる効果に加えて、ガラス円盤が、等速
度で半径方向に移動され、且つ等角速度で回転されるの
で、同期制御が簡単に行われ、アクセス時間やシークタ
イム上で有利に、光ディスク原盤を作成することが可能
になる。
According to the invention described in claim 5, in addition to the effect obtained by the invention described in claim 4, since the glass disk is moved in the radial direction at a constant velocity and rotated at a constant angular velocity, the synchronous control is performed. Is easily performed, and an optical disc master can be produced advantageously in terms of access time and seek time.

【0043】請求項6記載の発明によると、請求項4記
載の発明で得られる効果に加えて、ガラス円盤が、レー
ザ光の入射位置での線速度が一定に制御されるので、情
報の記録密度を高めることが可能になる。
According to the invention described in claim 6, in addition to the effect obtained in the invention described in claim 4, since the linear velocity of the glass disk at the incident position of the laser light is controlled to be constant, the recording of information is performed. It is possible to increase the density.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態の実施に使用される
原盤記録装置の構成を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a master recording device used for carrying out a first embodiment of the present invention.

【図2】■図1の偏向器コントローラの構成を示すブロ
ック図である。
2 is a block diagram showing the configuration of the deflector controller shown in FIG. 1. FIG.

【図3】本実施の形態で作成される光ディスク原盤の説
明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of an optical disc master created in the present embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 マイクロプロセッサ 2 パルスジェネレータ 3 横送りモータコントローラ 5 横送りモータ 6 横送りステージ 7 ガラス原盤 12 偏向器コントローラ 13 偏向器ドライバ 14 光偏向器 15 フォーマットジェネレータ 16 変調器ドライバ 17 光変調器 18 レーザ発振器 1 Microprocessor 2 Pulse Generator 3 Traverse Motor Controller 5 Traverse Motor 6 Traverse Stage 7 Glass Master 12 Deflector Controller 13 Deflector Driver 14 Optical Deflector 15 Format Generator 16 Modulator Driver 17 Optical Modulator 18 Laser Oscillator

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 グルーブ部及びランド部からなり、情報
が記録されるトラックがスパイラル状に形成され、前記
情報が、前記グルーブ部及び前記ランド部に記録される
光ディスク原盤を、記録材がコーティングされたガラス
原盤から作成する光ディスク原盤の作成方法であり、 レーザ光源からのレーザ光の入射位置に、前記トラック
を位置合わせするように、前記ガラス原盤を半径方向に
移動し、且つ前記ガラス原盤を回転する駆動ステップ
と、 前記レーザ光の入射位置を、目的のトラックの中心線上
に保持する偏向動作を行う偏向ステップと、 前記駆動ステップと前記偏向ステップとにより、目的の
トラックの中心線上に前記入射位置が設定され、前記ガ
ラス原盤が回転された状態で、前記レーザ光源を前記情
報に対応してON−OFF制御する変調ステップと、 前記駆動ステップにおいて、前記光ディスク原盤を半径
方向に前記トラックの幅の2倍の範囲で移動させなが
ら、前記変調ステップでの前記情報の記録を行わせる制
御ステップとを有することを特徴とする光ディスク原盤
の作成方法。
1. A track having a groove portion and a land portion, on which information is recorded, is formed in a spiral shape, and a recording material is coated on an optical disc master in which the information is recorded on the groove portion and the land portion. A method for producing an optical disc master that is made from a glass master disc, wherein the glass master disc is moved in the radial direction and the glass master disc is rotated so that the track is aligned with the incident position of the laser light from the laser light source. Driving step, a deflection step of performing a deflection operation for holding the incident position of the laser light on the center line of the target track, and the incident position on the center line of the target track by the driving step and the deflection step. Is set and the glass master is rotated, the laser light source is turned on and off according to the information. A modulation step, and a control step, in the driving step, for recording the information in the modulation step while moving the optical disc master in a range of twice the width of the track in the radial direction. A method for producing an optical disc master characterized by.
【請求項2】 請求項1記載の光ディスク原盤の作成方
法において、前記トラックの情報はCAV方式のフォー
マットで形成されることを特徴とする光ディスク原盤の
作成方法。
2. The method for producing an optical disc master according to claim 1, wherein the track information is formed in a CAV format.
【請求項3】 請求項1記載の光ディスク原盤の作成方
法において、前記トラックの情報はCLV方式のフォー
マットで形成されることを特徴とする光ディスク原盤の
作成方法。
3. The method for producing an optical disc master according to claim 1, wherein the track information is formed in a CLV format.
【請求項4】 グルーブ部及びランド部からなり、情報
が記録されるトラックがスパイラル状に形成され、前記
情報が、前記グルーブ部及び前記ランド部に記録される
光ディスク原盤を、記録材がコーティングされたガラス
原盤から作成する光ディスク原盤の作成方法であり、 レーザ光源からのレーザ光の入射位置に、前記トラック
を位置合わせするように、前記ガラス原盤を半径方向に
移動し、且つ前記ガラス原盤を回転する駆動ステップ
と、 前記レーザ光の入射位置を、目的のトラックの中心線上
に保持する偏向動作を行う偏向ステップと、 前記駆動ステップと前記偏向ステップとにより、目的の
トラックの中心線上に前記入射位置が設定され、前記ガ
ラス原盤が回転された状態で、前記レーザ光源を前記情
報に対応してON−OFF制御する変調ステップと、 前記駆動ステップにおいて、前記光ディスク原盤を半径
方向に前記トラックの幅の範囲で移動させながら、前記
変調ステップでの前記情報の記録を行わせる制御ステッ
プとを有することを特徴とする光ディスク原盤の作成方
法。
4. A track composed of a groove portion and a land portion, on which information is recorded, is formed in a spiral shape, and a recording material is coated on an optical disc master in which the information is recorded on the groove portion and the land portion. A method for producing an optical disc master that is made from a glass master disc, wherein the glass master disc is moved in the radial direction and the glass master disc is rotated so that the track is aligned with the incident position of the laser light from the laser light source. Driving step, a deflection step of performing a deflection operation for holding the incident position of the laser light on the center line of the target track, and the incident position on the center line of the target track by the driving step and the deflection step. Is set and the glass master is rotated, the laser light source is turned on and off according to the information. A modulation step for controlling the optical disc master and a control step for recording the information in the modulation step while moving the optical disc master in a radial direction within a range of the track width in the driving step. How to make an optical disc master.
【請求項5】 請求項4記載の光ディスク原盤の作成方
法において、前記トラックの情報はCAV方式のフォー
マットで形成されることを特徴とする光ディスク原盤の
作成方法。
5. The method for producing an optical disc master according to claim 4, wherein the track information is formed in a CAV format.
【請求項6】 請求項4記載の光ディスク原盤の作成方
法において、前記トラックの情報はCLV方式のフォー
マットで形成されることを特徴とする光ディスク原盤の
作成方法。
6. The method for producing an optical disc master according to claim 4, wherein the track information is formed in a CLV format.
JP8773696A 1996-03-14 1996-03-14 Optical master disk producing method Pending JPH09251643A (en)

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