JP2805751B2 - Disk-shaped recording medium processing device - Google Patents
Disk-shaped recording medium processing deviceInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 本発明を以下の順序で説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention will be described in the following order.
Ａ 産業上の利用分野 Ｂ 発明の概要 Ｃ 従来の技術 Ｄ 発明が解決しようとする課題 Ｅ 課題を解決するための手段 Ｆ 作用 Ｇ 実施例 Ｇ−１ 全体構成（第１図） Ｇ−２ 光ビーム制御信号形成部（第２図，第３図） Ｇ−３ 記録跡の形成（第１図〜第６図） Ｇ−４ 変形例 Ｈ 発明の効果 Ａ 産業上の利用分野 本発明は、ディスク状記録媒体における中央孔の周囲
の記録面部に、中央孔を包囲する複数の周回記録跡を形
成するディスク状記録媒体加工装置に関する。A Industrial Field of Use B Summary of the Invention C Prior Art D Problems to be Solved by the Invention E Means for Solving the Problems F Function G Example G-1 Overall Configuration (FIG. 1) G-2 Light Beam Control signal forming unit (FIGS. 2 and 3) G-3 Formation of recording mark (FIGS. 1 to 6) G-4 Modification H Effect of the invention A Industrial application Field of the Invention The present invention relates to a disk-shaped recording medium processing apparatus that forms a plurality of circumferential recording traces surrounding a central hole on a recording surface portion around the central hole in a recording medium.
Ｂ 発明の概要 本発明は、中央孔とその周囲に広がる記録面部とを有
するものとされるディスク状記録媒体の記録面部に、中
央孔を包囲する複数の環状ガイド溝を得るための周回記
録跡を形成するディスク状記録媒体加工装置において、
回転するディスク状記録媒体の記録面部に記録用の光ビ
ームを入射させ、記録面部に光ビームによる周回記録跡
が形成されるようになす光ビーム入射手段を、それが対
向する記録面部における回動接線方向に直交する送り方
向に一定の速度で連続的に移動させるとともに、光ビー
ム偏向手段を設けて記録用の光ビームを偏向し、光ビー
ム入射手段により記録面部に入射せしめられる光ビーム
のその記録面部における入射位置を、ディスク状記録媒
体の１回転に要される期間に対応する記録跡の各周回期
間内においては実質的に送り方向における変位をさせ
ず、かつ、記録跡についての各周回期間が完了したと
き、ディスク状記録媒体の１回転に要される期間に比し
て著しく短い期間において、送り方向に所定の短距離だ
け変位させ、その後直ちに記録跡についての次の各周回
期間を開始させることにより、ディスク状記録媒体の記
録面部に複数の同心円をもって形成されるものとされる
記録跡を、寸断部分を伴わない状態で精度良く、しか
も、比較的簡単な制御系のもとに容易に得ることができ
るようにしたものである。B SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a circular recording track for obtaining a plurality of annular guide grooves surrounding a central hole in a recording surface of a disk-shaped recording medium having a central hole and a recording surface extending around the central hole. In a disk-shaped recording medium processing apparatus for forming
A light beam incident means for irradiating a recording light beam on the recording surface of the rotating disk-shaped recording medium and forming a circular recording mark by the light beam on the recording surface is rotated in the recording surface facing the recording surface. While continuously moving at a constant speed in the feed direction orthogonal to the tangential direction, a light beam deflecting means is provided to deflect the light beam for recording, and the light beam incident on the recording surface by the light beam incident means. The incident position on the recording surface portion is not substantially displaced in the feed direction during each rotation period of the recording trace corresponding to a period required for one rotation of the disk-shaped recording medium, and the rotation of the recording trace is not changed. When the period is completed, during a period significantly shorter than the period required for one rotation of the disk-shaped recording medium, the disk-shaped recording medium is displaced by a predetermined short distance in the feed direction. By starting the next orbital period for the recording traces, the recording traces to be formed with a plurality of concentric circles on the recording surface of the disk-shaped recording medium can be obtained with high accuracy without cutting parts, and , Which can be easily obtained under a relatively simple control system.
Ｃ 従来の技術 情報記録媒体としてのディスクにおいて、完成された
ディスクとして形成された後に、光ビームを用いて情報
の書込み，消去及び読取りを行うことができる、所謂、
書込可能光でディスクが提案されている。このような書
込可能光ディスクは、中央孔とその周囲に広がる記録面
部を有するものとされて、記録面部に情報の書込みがな
され、また、記録面部からそこに書き込まれた情報の読
出しが行われるが、通常、記録面部には、中央孔を取り
巻いて設けられて各記録トラックの位置を定める環状ガ
イド溝が予め形成されており、記録面部における情報の
書込は、環状ガイド溝に沿って行われるようにされる。C Prior Art In a disc as an information recording medium, after being formed as a completed disc, writing, erasing and reading of information can be performed using a light beam, so-called,
Discs have been proposed with writable light. Such a writable optical disk has a central hole and a recording surface extending around the central hole. Information is written on the recording surface and information written therefrom is read from the recording surface. However, usually, on the recording surface portion, an annular guide groove which is provided around the central hole and determines the position of each recording track is formed in advance, and writing of information on the recording surface portion is performed along the annular guide groove. To be done.
斯かる書込可能光ディスクも、その製造にあたって
は、ディスク原盤が作成され、そのディスク原盤の複製
がなされて得られるようにされる。そして、ディスク原
盤もその記録面部に環状ガイド溝が設けられたものとさ
れることになるが、ディスク原盤の作成は、例えば、研
磨された平面を有するガラス製の基板上に形成されたフ
ォトレジスト層に、基板が所定の回転速度をもって回転
せしめられたもとで、アドレス情報等を含むものとされ
た所定の信号により変調されたカッティング用の光ビー
ムが入射せしめられ、斯かるカッティング用の光ビーム
によりフォトレジスト層の露光が行われて、フォトレジ
スト層中に、例えば、アドレス情報記録部を含む環状ガ
イド溝用の記録跡が形成され、その後、カッティング用
の光ビームによる記録跡が形成されたフォトレジスト層
に現像処理が施されて、アドレス情報記録部を含んだ環
状ガイド溝が形成され、さらに、その表面に金属メッキ
層が設けられて行われる。In manufacturing such a writable optical disc, a master disc is prepared and a copy of the master disc is made. The disk master is also provided with an annular guide groove on its recording surface, but the disk master is prepared, for example, by forming a photoresist formed on a glass substrate having a polished flat surface. In the layer, a cutting light beam modulated by a predetermined signal including address information and the like is incident upon the substrate being rotated at a predetermined rotation speed, and the cutting light beam is used. Exposure of the photoresist layer is performed, and in the photoresist layer, for example, a recording mark for an annular guide groove including an address information recording portion is formed, and thereafter, a recording mark is formed by a light beam for cutting. The resist layer is developed to form an annular guide groove including an address information recording portion, and a metal mesh is formed on the surface. Layer is performed provided.
このようにして作成されるディスク原盤から複製され
るディスクが、例えば、一般のオーディオ情報信号ある
いはビデオ情報信号の記録及び再生に供されるものとさ
れる場合には、比較的長い時間に亙って連続的に書込み
あるいは読出しが行われることが多く、記録面部に設け
られる環状ガイド溝は、通常、中央孔を包囲する渦巻状
の溝とされ、それに伴って、ディスク原盤をそのフォト
レジスト層に中央孔を包囲する渦巻状の環状ガイド溝が
形成されることになる。これに対して、例えば、ディス
クが、コンピュータのデータ・ストレージ・メモリに供
されるものとされる場合には、比較的短い時間の書込み
あるいは読出しが記録面部の各部に選択的に行われるこ
とが多く、記録面部に設けられる環状ガイド溝は、通
常、中央孔を包囲する同心円状の溝とされ、それに伴っ
て、ディスク原盤もそのフォトレジスト層に中央孔を包
囲する同心円状の環状ガイド溝が形成されることにな
る。For example, when a disc copied from a master disc created in this manner is to be used for recording and reproduction of a general audio information signal or video information signal, it takes a relatively long time. In many cases, writing or reading is performed continuously, and the annular guide groove provided on the recording surface portion is usually a spiral groove surrounding the central hole, and accordingly, the master disk is attached to the photoresist layer. A spiral annular guide groove surrounding the central hole is formed. On the other hand, for example, when the disk is to be used as a data storage memory of a computer, writing or reading for a relatively short time may be selectively performed on each part of the recording surface section. In many cases, the annular guide groove provided on the recording surface portion is usually a concentric groove surrounding the central hole, and accordingly, the disk master also has a concentric annular guide groove surrounding the central hole in its photoresist layer. Will be formed.
Ｄ 発明が解決しようとする課題 上述の如くに、書込可能光ディスク用のディスク原盤
は、例えば、その基板上に設けられたフォトレジスト層
に渦巻状の環状ガイド溝、もしくは、複数の同心円状の
環状ガイド溝が形成されるものとなされる。そして、こ
のようなディスク原盤の作成にあたり、フォトレジスト
層に渦巻状の環状ガイド溝を形成する場合には、フォト
レジスト層が設けられた基板を一定の回転速度をもって
回転させたもとで、フォトレジスト層にカッティング用
の光ビームを入射させる対物レンズ等の光ビーム入射手
段を基板の半径方向に一定の速度で連続的に移動させ
て、フォトレジスト層に対するカッティング用の光ビー
ムの入射位置を基板の半径方向に一定の速度で連続的に
移動させることにより、フォトレジスト層に中央孔を包
囲する渦巻状の記録跡を一定のピッチをもって形成で
き、斯かる記録跡に基づいて渦巻状の環状ガイド溝を得
ることができることになり、渦巻状の環状ガイド溝の形
成を、光ビーム入射手段等に対する比較的容易な制御の
もとに精度良く行える。これに対して、フォトレジスト
層に複数の同心円状の環状ガイド溝を形成する場合に
は、フォトレジスト層に中央孔を包囲する同心円状の記
録跡を一定のピッチをもって形成すべき、例えば、フォ
トレジスト層が設けられた基板を一定の回転速度をもっ
て回転させたもとで、フォトレジスト層にカッティング
用の光ビームを入射させる光ビーム入射手段を、基板の
１回転毎に環状ガイド溝の１ピッチ分ずつ基板の半径方
向に間歇的に移動させて、フォトレジスト層に対するカ
ッティング用の光ビームの入射位置を基板の各回転に同
期させて移動させるとともに維持することが必要とされ
ることになる。D Problems to be Solved by the Invention As described above, a disk master for a writable optical disk has, for example, a spiral annular guide groove or a plurality of concentric circular guide grooves formed in a photoresist layer provided on the substrate. An annular guide groove is formed. When a spiral annular guide groove is formed in the photoresist layer in producing such a master disc, the photoresist layer is formed by rotating the substrate provided with the photoresist layer at a constant rotation speed. The light beam incident means, such as an objective lens, which causes a light beam for cutting to enter the substrate, is continuously moved at a constant speed in the radial direction of the substrate, and the incident position of the light beam for cutting on the photoresist layer is adjusted to the radius of the substrate. By continuously moving at a constant speed in the direction, a spiral recording trace surrounding the central hole can be formed at a constant pitch in the photoresist layer, and a spiral annular guide groove is formed based on the recording trace. The formation of the spiral annular guide groove can be performed with accuracy under relatively easy control of the light beam incident means and the like. Ku can be performed. On the other hand, when a plurality of concentric annular guide grooves are formed in the photoresist layer, concentric recording marks surrounding the central hole should be formed at a constant pitch in the photoresist layer. A light beam incident means for injecting a light beam for cutting into the photoresist layer while rotating the substrate provided with the resist layer at a constant rotation speed is provided by one pitch of the annular guide groove for each rotation of the substrate. It is necessary to intermittently move the substrate in the radial direction and move and maintain the incident position of the cutting light beam on the photoresist layer in synchronization with each rotation of the substrate.
斯かる場合、環状ガイド溝のピッチは、通常、例え
ば、1.6μ程度の極めて小なるものとされるので、上述
の如くのフォトレジスト層に対するカッティング用の光
ビームの入射位置の間歇移動及び維持には、非常に複雑
で高感度な制御系が必要とされ、フォトレジスト層に一
定のピッチを有した複数の同心円状の記録跡を精度よく
得るのは容易なことではない。In such a case, the pitch of the annular guide groove is usually extremely small, for example, about 1.6 μm, so that the intermittent movement and maintenance of the incident position of the light beam for cutting with respect to the photoresist layer as described above. However, a very complicated and highly sensitive control system is required, and it is not easy to accurately obtain a plurality of concentric recording traces having a constant pitch in a photoresist layer.
そこで、フォトレジスト層に中央孔を包囲する複数の
同心円状の周回記録跡を一定のピッチをもって形成する
にあたって、フォトレジスト層に対するカッティング用
の光ビームの入射位置の制御を容易にすべく、フォトレ
ジスト層が設けられた基板を一定の回転速度をもって回
転させるとともに、フォトレジスト層にカッティング用
の光ビームを入射させる光ビーム入射手段を基板の半径
方向に一定の速度で連続的に移動させ、斯かるもとで、
基板の各回転期間において、先ず光ビーム入射手段によ
りフォトレジスト層に入射せしめられるカッティング用
の光ビームの入射位置を光ビーム入射手段の移動に従っ
て環状ガイド溝の１ピッチ分ずつ基板の半径方向に移動
させ、その後光ビーム入射手段によりフォトレジスト層
に入射せしめられるカッティング用の光ビームを光ビー
ム入射手段の移動方向とは反対方向に次第に偏向角が大
となるように偏向することにより、フォトレジスト層に
対するカッティング用の光ビームの入射位置を一定位置
に維持するようになすことが考えられている。しかしな
がら、斯かる場合には、基板の各回転毎に行われるフォ
トレジスト層に対するカッティング用の光ビームの入射
位置の移動に要する時間に対応して、フォトレジスト層
に形成される複数の同心円状の記録跡の夫々に寸断部分
が生じることになり、その結果、フォトレジスト層に形
成される中央孔を包囲する複数の同心円状の環状ガイド
溝の夫々も寸断部分を有するものとなってしまう不都合
が生じる。Therefore, in forming a plurality of concentric circular recording traces surrounding the central hole in the photoresist layer at a fixed pitch, in order to easily control the incident position of the light beam for cutting with respect to the photoresist layer, the photoresist is formed. While rotating the substrate provided with the layer at a constant rotation speed, the light beam incident means for applying a light beam for cutting to the photoresist layer is continuously moved at a constant speed in the radial direction of the substrate. By the way,
During each rotation period of the substrate, first, the incident position of the cutting light beam that is made incident on the photoresist layer by the light beam incident means is moved in the radial direction of the substrate by one pitch of the annular guide groove according to the movement of the light beam incident means. Then, the light beam for cutting, which is made incident on the photoresist layer by the light beam incident means, is deflected so as to gradually increase the deflection angle in the direction opposite to the moving direction of the light beam incident means, thereby forming the photoresist layer. It has been considered to keep the incident position of the cutting light beam at a constant position. However, in such a case, a plurality of concentric circles formed in the photoresist layer correspond to the time required to move the incident position of the light beam for cutting with respect to the photoresist layer performed for each rotation of the substrate. Each of the recording traces has a cut portion, and as a result, each of the plurality of concentric annular guide grooves surrounding the central hole formed in the photoresist layer also has a disadvantage of having a cut portion. Occurs.
斯かる点に鑑み、本発明は、中央孔とその周囲に広が
る記録面部とを有するものとされる、書込可能光ディス
ク用のディスク原盤等のディスク状記録媒体における記
録面部に、中央孔を包囲する複数の同心円状の環状ガイ
ド溝を得るための同心円状の記録跡を、寸断部分を伴わ
ない状態で精度良く、しかも、比較的簡単な制御系のも
とに容易に得ることができるようにしたディスク状記録
媒体加工装置を提供することを目的とする。In view of such a point, the present invention is directed to a recording surface portion of a disc-shaped recording medium such as a disc master for a writable optical disc, which has a central hole and a recording surface portion extending therearound. In order to obtain concentric recording traces for obtaining a plurality of concentric annular guide grooves with high accuracy without cutting parts, and easily under a relatively simple control system. It is an object of the present invention to provide a disk-shaped recording medium processing apparatus.
Ｅ 課題を解決するための手段 上述の目的を達成すべく、本発明に係るディスク状記
録媒体加工装置は、光ビーム発生手段と、光ビーム発生
手段からの光ビームを所定の信号に基づいて変調する光
ビーム変調手段と、ディスク状記録媒体を所定の回転速
度をもって回転させる記録媒体駆動部と、記録媒体駆動
部により回転せしめられるディスク状記録媒体における
中央孔の周囲の記録面部に対向して配され、光ビーム変
調手段により変調された光ビームを回転するディスク状
記録媒体の記録面部に入射させて、記録面部に変調され
た光ビームによる記録跡が中央孔を包囲して周回形成さ
れるようになす光ビーム入射手段と、光ビーム入射手段
をそれが対向する記録面部における回動接線方向に直交
する送り方向に一定の速度で連続的に移動させる光ビー
ム位置制御手段と、光ビーム発生手段と光ビーム入射手
段との間に形成される光ビーム通路上に配された光ビー
ム偏向手段とを備えて構成され、光ビーム偏向手段が、
光ビーム位置制御手段により光ビーム入射手段が移動せ
しめられているもとで、光ビーム入射手段に向かう光ビ
ームを、ディスク状記録媒体の１回転に要される期間に
対応する記録跡についての各周回期間においては送り方
向とは反対の方向に偏向し、記録跡についての各周回期
間が完了したとき、ディスク状記録媒体の１回転に要さ
れる期間に比して著しく短い期間において送り方向と同
方向に偏向することに伴って、光ビーム入射手段により
記録面部に入射せしめられる光ビームの記録面部におけ
る入射位置を、ディスク状記録媒体の１回転に要される
期間に対応する記録跡の各周回期間内においては実質的
に送り方向における変位をさせず、記録跡についての各
周回期間が完了したとき、ディスク記録媒体の１回転に
要される期間に比して著しく短い期間において、送り方
向に所定の短距離だけ変位させることにより、記録跡を
複数の同心円をもって形成されるものとなすようにされ
る。E Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, a disk-shaped recording medium processing apparatus according to the present invention comprises a light beam generating means, and a light beam from the light beam generating means, which is modulated based on a predetermined signal. A light beam modulating means, a recording medium driving unit for rotating the disk-shaped recording medium at a predetermined rotation speed, and a recording surface portion around a central hole in the disk-shaped recording medium rotated by the recording medium driving unit. Then, the light beam modulated by the light beam modulating means is made incident on the recording surface of the rotating disk-shaped recording medium, so that the recording mark by the light beam modulated on the recording surface surrounds the central hole and is formed around the center hole. The light beam incident means and the light beam incident means are continuously moved at a constant speed in a feed direction orthogonal to a rotational tangential direction on a recording surface portion facing the light beam incident means. That the light beam position control means is configured by a light beam deflecting means disposed on the optical beam path formed between the light beam generating means and the light beam incidence means, the light beam deflection means,
Under the condition that the light beam incident means is moved by the light beam position control means, the light beam directed to the light beam incident means is changed for each of the recording marks corresponding to the period required for one rotation of the disk-shaped recording medium. During the orbital period, the recording medium is deflected in the direction opposite to the feed direction, and when each orbital period for the recording trace is completed, the direction of the feed direction is remarkably shorter than the period required for one rotation of the disk-shaped recording medium. Along with the deflection in the same direction, the incident position of the light beam incident on the recording surface by the light beam incident means on the recording surface is changed to each of the recording marks corresponding to the period required for one rotation of the disk-shaped recording medium. During the rotation period, the displacement in the feed direction is not substantially performed, and when each rotation period for the recording trace is completed, the displacement is shorter than the period required for one rotation of the disk recording medium. In significantly shorter period Te, by displacing the feeding direction by a predetermined short distance, it is so formed as to be formed by recording marks having a plurality of concentric circles.
Ｆ 作用 このように構成される本発明に係るディスク状記録媒
体加工装置においては、記録媒体駆動部によって回転せ
しめられるディスク状記録媒体の記録面部に光ビーム変
調手段により変調された光ビームを入射させて記録面部
に光ビームによる周回記録跡が形成されるようになす光
ビーム入射手段が、それに対向する記録面部における回
転接線方向に直交する送り方向に一定の速度で連続的に
移動せしめられるとともに、光ビーム入射手段により記
録面部に入射せしめられる光ビームが、光ビーム偏向手
段によって、ディスク状記録媒体の１回転に要される期
間に対応する記録跡についての各周回期間においては光
ビーム入射手段の移動を打ち消すように偏向され、か
つ、記録面部に形成される記録跡についての各周回期間
が完了したとき、光ビーム入射手段の移動に従って、デ
ィスク状記録媒体の１回転に要される期間に比して著し
く短い期間において、送り方向に移動せしめられるよう
にされる。それに伴い、その結果、光ビームの記録面部
における入射位置が、ディスク状記録媒体の１回転に要
される期間に対応する記録跡についての各周回期間にお
いては実質的に送り方向における変位をせず、また、記
録面部に形成される記録跡についての各周回期間が完了
したとき、ディスク状記録媒体の１回転に要される期間
に比して著しく短い期間において、送り方向に所定の短
距離だけ変位せしめられることになり、記録面部に形成
される記録跡が複数の同心円状をなすものとされること
になる。In the disk-shaped recording medium processing apparatus according to the present invention configured as described above, the light beam modulated by the light beam modulating means is incident on the recording surface of the disk-shaped recording medium rotated by the recording medium driving unit. A light beam incident means for forming a circular recording mark by a light beam on the recording surface portion is continuously moved at a constant speed in a feed direction orthogonal to a rotational tangent direction on a recording surface portion opposed thereto, The light beam incident on the recording surface portion by the light beam incident means is deflected by the light beam deflecting means during each orbital period of the recording trace corresponding to the period required for one rotation of the disk-shaped recording medium. It is deflected so as to cancel the movement, and each round period for the recording trace formed on the recording surface portion is completed. , According to the movement of the light beam projecting means, in significantly shorter period than the period requiring one rotation of the disk-shaped recording medium, it is adapted to be moved in the feed direction. Accordingly, as a result, the incident position of the light beam on the recording surface portion does not substantially displace in the feed direction during each rotation period of the recording trace corresponding to the period required for one rotation of the disk-shaped recording medium. Further, when each rotation period of the recording trace formed on the recording surface portion is completed, a predetermined short distance in the feed direction is provided in a period significantly shorter than a period required for one rotation of the disk-shaped recording medium. As a result, the recording marks formed on the recording surface are formed into a plurality of concentric circles.
斯かるもとでは、記録面部に形成される複数の同心円
状の記録跡の夫々が完全に周回するものとされ、また、
ディスク状記録媒体が所定の回転速度をもって回転せし
められるとともに、光ビーム入射手段が記録面部におけ
る回転接線方向に直交する送り方向に一定の速度で連続
的に移動せしめられるものとされるので、それらに対す
る制御が比較的簡単な制御系をもって精度よく行われ
る。従って、ディスク状記録媒体の記録面部に複数の同
心円をもって形成されるものとなされる記録跡が、寸断
部分を伴わない状態で精度良く、しかも、比較的簡単な
制御系のもとに容易に得られることになる。Under such circumstances, it is assumed that each of the plurality of concentric recording traces formed on the recording surface portion completely circulates,
Since the disc-shaped recording medium is rotated at a predetermined rotational speed, and the light beam incident means is continuously moved at a constant speed in a feed direction orthogonal to the rotational tangent direction on the recording surface, it is assumed that The control is performed accurately with a relatively simple control system. Therefore, a recording mark formed on the recording surface portion of the disk-shaped recording medium with a plurality of concentric circles can be easily obtained with a relatively simple control system with high accuracy without a cut portion. Will be done.
Ｇ 実施例 Ｇ−１ 全体構成（第１図） 第１図は、本発明に係るディスク状記録媒体加工装置
の一例を示す。G. Example G-1 Overall Configuration (FIG. 1) FIG. 1 shows an example of a disk-shaped recording medium processing apparatus according to the present invention.
この例においては、円板状のガラス基板の研磨された
上面にフォトレジスト層が設けられ、フォトレジスト層
による記録面部が形成されるものとされたディスク原盤
33が、ディスク状記録媒体として、モータ34により、所
定の一定回転数をもって回転駆動せしめられるターンテ
ーブル35に、その回転軸に中央孔を嵌合させて装着され
る。In this example, a disc master is provided with a photoresist layer provided on a polished upper surface of a disc-shaped glass substrate, and a recording surface portion formed by the photoresist layer.
A disk 33 is mounted as a disk-shaped recording medium on a turntable 35, which is driven to rotate at a predetermined constant rotational speed by a motor 34, with a central hole fitted on a rotation shaft thereof.
また、レーザ光源11が設けられており、このレーザ光
源11は、例えば、ヘリウム・ネオン・レーザやアルゴン
・レーザ等で構成される。レーザ光源11からの平行ビー
ムとされたレーザ光ビーム12aが、ノイズ低減器13及び
ミラー14を経た後、変調部15に入射せしめられる。変調
部15においては、ミラー14からのレーザ光ビーム12a
が、レンズ16により屈折されて光ビーム変調器17に入射
し、光ビーム変調器17から得られる被変調レーザ光ビー
ム12bが、レンズ18により屈折され、不要成分を除去す
るスリット19を通過して導出される。Further, a laser light source 11 is provided, and this laser light source 11 is formed of, for example, a helium-neon laser or an argon laser. The laser light beam 12a, which has been converted into a parallel beam from the laser light source 11, passes through the noise reducer 13 and the mirror 14, and then enters the modulation unit 15. In the modulation section 15, the laser light beam 12a from the mirror 14
Is refracted by the lens 16 and enters the light beam modulator 17, and the modulated laser light beam 12b obtained from the light beam modulator 17 is refracted by the lens 18 and passes through the slit 19 for removing unnecessary components. Derived.
一方、記録信号送出部30と光ビーム制御信号形成部31
とが設けられており、記録信号送出部30は、ディスク原
盤33の記録面部に環状ガイド溝を形成するための信号と
アドレス・データ信号等とを含むものとされた記録信号
Srを送出し、また、光ビーム制御信号形成部31は、後述
される如くの、光ビーム遮断信号Spと光ビーム偏向制御
信号Sdとを発生する。そして、記録信号Srと光ビーム遮
断信号Spとが加算部32において加算され、光ビーム変調
信号Smとして光ビーム変調器17の制御端子17aに供給さ
れる。On the other hand, the recording signal sending section 30 and the light beam control signal forming section 31
The recording signal sending section 30 is a recording signal transmitting section that includes a signal for forming an annular guide groove in the recording surface portion of the disc master 33, an address data signal, and the like.
Sr is sent out, and the light beam control signal forming section 31 generates a light beam cutoff signal Sp and a light beam deflection control signal Sd as described later. Then, the recording signal Sr and the light beam cutoff signal Sp are added in the adder 32, and are supplied to the control terminal 17a of the light beam modulator 17 as a light beam modulation signal Sm.
光ビーム変調器17は、例えば、音響光学変調器で構成
され、レンズ16により屈折せしめられて入射するレーザ
光ビーム12aが、光ビーム変調器17における音響光学効
果により光ビーム変調信号Smに応じた強度変調を受け、
被変調レーザ光ビーム12bとされる。そして、変調部15
からスリット19を通過して導出される被変調レーザ光ビ
ーム12bは、ミラー20を経て、偏向部21に入射せしめら
れる。偏向部21においては、ミラー20からの被変調レー
ザ光ビーム12bが、レンズ22により屈折されて光ビーム
偏向器23に入射し、光ビーム偏向器23から得られる被変
調偏向レーザ光ビーム12cが、レンズ24により屈折さ
れ、不要成分を除去するスリット25を通過して導出され
る。The light beam modulator 17 includes, for example, an acousto-optic modulator. Undergoes intensity modulation,
The modulated laser light beam 12b is used. Then, the modulation unit 15
The modulated laser light beam 12b guided through the slit 19 through the mirror 20 is incident on the deflection unit 21 via the mirror 20. In the deflecting unit 21, the modulated laser light beam 12b from the mirror 20 is refracted by the lens 22, enters the light beam deflector 23, and the modulated deflection laser light beam 12c obtained from the light beam deflector 23 is The light is refracted by the lens 24 and passes through a slit 25 for removing unnecessary components.
光ビーム偏向器23も、光ビーム変調器17と同様に音響
光学変調器で構成され、その制御端子23aに、光ビーム
制御信号形成部31から得られる光ビーム偏向制御信号Sd
が供給されて、レンズ22により屈折せしめられて入射す
る被変調レーザ光ビーム12bの光軸方向が、光ビーム偏
向器23における音響光学効果により、光ビーム偏向制御
信号Sdのレベル変化に応じて変化せしめられる。即ち、
被変調レーザ光ビーム12bが、光ビーム偏向器23によ
り、光ビーム偏向制御信号Sdのレベル変化に対応し、微
小変位量をもって往復偏向するものとされるのであり、
それにより、被変調偏向レーザ光ビーム12cとされるの
である。The light beam deflector 23 is also formed of an acousto-optic modulator similarly to the light beam modulator 17, and its control terminal 23a has a light beam deflection control signal Sd obtained from the light beam control signal forming unit 31.
Is supplied, and the direction of the optical axis of the modulated laser light beam 12b which is refracted and incident by the lens 22 changes according to the level change of the light beam deflection control signal Sd due to the acousto-optic effect in the light beam deflector 23. I'm sick. That is,
The modulated laser light beam 12b is reciprocally deflected by the light beam deflector 23 according to the level change of the light beam deflection control signal Sd with a small displacement amount.
Thus, the modulated deflection laser light beam 12c is obtained.
そして、光ビーム偏向器23からスリット25を通過して
導出される被変調偏向レーザ光ビーム12cが、ターンテ
ーブル35に装着されて回転駆動されるディスク原盤33の
記録面部に対向して配され、送り駆動部36からの送り駆
動信号Ssに従って、ディスク原盤33の径方向、即ち、デ
ィスク原盤33における記録面部の回動接線方向に直交す
る方向に一定の速度で連続的に移動するものとされた光
ビーム入射部26を介して、ディスク原盤33の記録面部に
入射せしめられる。光ビーム入射部26は、光ビーム偏向
器23からの被変調偏向レーザ光ビーム12cを受けるレン
ズ27,レンズ27を通じた被変調偏向レーザ光ビーム12cを
反射するミラー28、及び、ミラー28からの被変調偏向レ
ーザ光ビーム12cをディスク原盤33の記録面部に集束状
態を持って到達させる対物レンズ29を備えて形成されて
いる。斯かる際、光ビーム偏向器23により生ぜしめられ
る被変調偏向レーザ光ビーム12cの往復偏向方向が、デ
ィスク原盤33の径方向に一致するものとされる。Then, the modulated deflection laser light beam 12c derived from the light beam deflector 23 through the slit 25 is arranged facing the recording surface of the disk master 33 that is mounted on the turntable 35 and driven to rotate, According to the feed drive signal Ss from the feed drive unit 36, the disk drive 33 continuously moves at a constant speed in the radial direction of the disc master 33, that is, in a direction orthogonal to the rotation tangent direction of the recording surface of the disc master 33. The light is incident on the recording surface of the master disc 33 via the light beam incident section 26. The light beam incident unit 26 includes a lens 27 that receives the modulated deflection laser light beam 12c from the light beam deflector 23, a mirror 28 that reflects the modulated deflection laser light beam 12c through the lens 27, and an illumination light that is reflected from the mirror 28. It is provided with an objective lens 29 that allows the modulated deflection laser light beam 12c to reach the recording surface of the master disk 33 in a focused state. In this case, the reciprocating deflection direction of the modulated deflection laser light beam 12c generated by the light beam deflector 23 matches the radial direction of the master disk 33.
なお、送り駆動部36からの送り駆動信号Ssは、光ビー
ム制御信号形成部31にも供給されている。The feed drive signal Ss from the feed drive unit 36 is also supplied to the light beam control signal forming unit 31.
Ｇ−２ 光ビーム制御信号形成部（第２図，第３図） 第２図は、上述の光ビーム制御形成部31の具体構成例
を示す。G-2 Light Beam Control Signal Forming Unit (FIGS. 2 and 3) FIG. 2 shows a specific configuration example of the light beam control forming unit 31 described above.
斯かる具体構成例においては、クロック信号発生部41
から、第３図Ａに示される如くの、一定周波数を有した
クロックパルス信号Scが送出される。斯かるクロックパ
ルス信号Scは、例えば、ディスク原盤33の１回転あたり
4,200個のパルスが得られるものとなるように、その周
波数が選定される。In such a specific configuration example, the clock signal generator 41
As a result, a clock pulse signal Sc having a constant frequency as shown in FIG. 3A is transmitted. Such a clock pulse signal Sc is, for example, per one rotation of the master disc 33.
The frequency is selected so that 4,200 pulses are obtained.
クロック信号発生部41からのクロックパルス信号Sc
は、カウンタ42に供給されて計数される。カウンタ42
は、第３図Ｂに示される如くに、クロックパルス信号Sc
を０〜4,200まで計数するとともに、4,200を計数する毎
に第３図Ｃに示される如くのクリアーパルス信号Stによ
ってクリアーされ、その計数データDtをエンコーダ43に
供給する。また、カウンタ42は、これとともに、０を計
数する毎に第３図Ｄに示される如くのパルスSp′をレベ
ル調整部51に送出する。Clock pulse signal Sc from clock signal generator 41
Is supplied to the counter 42 and counted. Counter 42
Is the clock pulse signal Sc as shown in FIG. 3B.
Is cleared from 0 to 4,200, and every time 4,200 is counted, the signal is cleared by a clear pulse signal St as shown in FIG. 3C, and the count data Dt is supplied to the encoder 43. In addition, the counter 42 sends a pulse Sp 'as shown in FIG. 3D to the level adjusting section 51 every time it counts 0.
カウンタ42からのパルスSp′が供給されるレベル調整
部51は、パルスSp′のレベルを調整して上述の光ビーム
遮断信号Spを形成し、それを出力端子52に導出する。こ
のようにして出力端子52に得られる光ビーム遮断信号Sp
が、加算部32に供給される。The level adjuster 51, to which the pulse Sp 'from the counter 42 is supplied, adjusts the level of the pulse Sp' to form the above-described light beam cutoff signal Sp, and guides it to the output terminal 52. The light beam cutoff signal Sp obtained at the output terminal 52 in this manner is
Is supplied to the adder 32.
また、エンコーダ43は、カウンタ42から供給される計
数データDtを所定ビット数を用いてコード化してディジ
タル・データ信号Deを形成し、それをディジタル／アナ
ログ変換部（D/A変換部）44に供給する。そして、D/A変
換部44に供給されたディジタル・データ信号Deは、カウ
ンタ42の計数値に対応して変化する電圧信号に変換さ
れ、D/A変換部44からは、第３図Ｅにおいて実線で示さ
れる如くの、そのレベルが、カウンタ42が１〜4,200を
計数する期間T1にカウンタ42の計数値に応じて基準レベ
ルLbから徐々に増大していき、カウンタ42が０を計数す
る期間T2において急激に基準レベルLbに戻るものとされ
る信号Sd″が得られる。そして、斯かる信号Sd″が、レ
ベルシフト部45においてレベルシフトされ、第３図Ｅに
おいて一点鎖線で示される如くの、その振幅の中央部が
基準レベルLbに一致するものとなる信号Sd′とされて、
ゲイン制御部46に供給される。Further, the encoder 43 encodes the count data Dt supplied from the counter 42 using a predetermined number of bits to form a digital data signal De, and sends the digital data signal De to a digital / analog converter (D / A converter) 44. Supply. Then, the digital data signal De supplied to the D / A conversion unit 44 is converted into a voltage signal that changes in accordance with the count value of the counter 42, and from the D / A conversion unit 44 in FIG. As shown by the solid line, the level gradually increases from the reference level Lb according to the count value of the counter 42 during the period T1 in which the counter 42 counts 1 to 4,200, and the counter 42 counts 0. period T signal is assumed to rapidly return to the reference level Lb in 2 Sd "is obtained. Then, such a signal Sd" is, is level-shifted in the level shift unit 45, as shown by a one-dot chain line in FIG. 3 E The signal Sd 'is such that the central portion of the amplitude coincides with the reference level Lb, as shown in FIG.
The signal is supplied to the gain controller 46.
ゲイン制御部46においては、信号Sd′に対する振幅調
整がなされて、上述の光ビーム偏向制御信号Sdが形成さ
れ、それが出力端子50に導出される。斯かるゲイン制御
部46における信号Sd′に対する振幅調整、従って、光ビ
ーム偏向制御信号Sdの振幅調整は、出力端子50に導出さ
れる光ビーム偏向制御信号Sdが、微分回路部47に供給さ
れて得られる微分出力、即ち、光ビーム偏向制御信号Sd
の変化分と端子49から供給される送り駆動信号Ssとが比
較部48において比較され、その結果、比較部48から得ら
れる比較出力信号Sgに基づいて行われる。In the gain control unit 46, the amplitude of the signal Sd 'is adjusted, and the above-described light beam deflection control signal Sd is formed. The amplitude adjustment of the signal Sd ′ in the gain control unit 46, and thus the amplitude adjustment of the light beam deflection control signal Sd, is performed by supplying the light beam deflection control signal Sd led to the output terminal 50 to the differentiation circuit unit 47. The obtained differential output, that is, the light beam deflection control signal Sd
Is compared with the feed drive signal Ss supplied from the terminal 49 in the comparison section 48, and as a result, the comparison is performed based on the comparison output signal Sg obtained from the comparison section 48.
そして、このようにして、出力端子50に導出される光
ビーム偏向制御信号Sdが、偏向部21における光ビーム偏
向器23の制御端23aに供給される。Then, in this manner, the light beam deflection control signal Sd led to the output terminal 50 is supplied to the control end 23a of the light beam deflector 23 in the deflecting unit 21.
Ｇ−３ 記録跡の形成（第１図〜第６図） 上述の如くの構成のもとに、ディスク原盤33における
記録面部に、中央孔を取り巻く複数の同心円状の環状ガ
イド溝を得べく、光ビームによる記録跡を形成する記録
動作が行われる。G-3 Formation of Recording Traces (FIGS. 1 to 6) In order to obtain a plurality of concentric annular guide grooves surrounding the central hole in the recording surface portion of the disc master 33 under the above-described configuration, A recording operation for forming a recording trace by the light beam is performed.
斯かる記録動作においては、ターンテーブル35に装着
されて一定回転数をもって回転駆動されるディスク原盤
33の記録面部に、光ビーム入射部26により、レーザ光源
11から発したレーザ光ビーム12aが、変調部15において
光ビーム変調信号Smに基づいて変調され、さらに、偏向
部21において光ビーム偏向制御信号Sdに基づいて偏向さ
れて得られる被変調偏向レーザ光ビーム12cが入射せし
められ、それにより、ディスク原盤33の記録面部に被変
調偏向レーザ光ビーム12cによる記録跡が形成される状
態がとられる。その際、光ビーム入射部26は、送り駆動
部36からの送り駆動信号Ssに応じて、ディスク原盤33の
径方向、即ち、ディスク原盤33における記録面部の回動
接線方向に直交する方向に一定の速度で、例えば、ディ
スク原盤33の内周部側から外周部側へと連続的に移動せ
しめられるが、同時に、ディスク原盤33の記録面部に入
射する被変調偏向レーザ光ビーム12cが、偏向部21によ
り光ビーム偏向制御信号Sdに基づいてディスク原盤33の
径方向に偏向せしめられる。そして、光ビーム偏向制御
信号Sdは、第３図Ｅに示される信号Sd′と同様な波形を
有するものとされてカウンタ42が１〜4,200を計数する
期間T1に徐々に増大していき、また、カウンタ42が０を
計数する期間T2において急激に低下するレベルを有する
ものとなり、被変調偏向レーザ光ビーム12cは、偏向部2
1により、光ビーム偏向制御信号SdにおけるT1に対応す
る部分に応じて光ビーム入射部26の移動方向とは反対の
方向に偏向され、また、光ビーム偏向制御信号Sdにおけ
る期間T2に対応する部分に応じて光ビーム入射部26の移
動方向と同方向に偏向される。そして、ゲイン制御部46
により光ビーム偏向制御信号Sdが適正な振幅を有するも
のとされて、被変調偏向レーザ光ビーム12cの偏向が、
期間T1においては、光ビーム入射部26のディスク原盤33
の径方向における移動を打ち消すようにされ、また、期
間T2においては、光ビーム入射部26のディスク原盤33の
径方向における移動に従って移動するようにされる。In such a recording operation, a disc master mounted on a turntable 35 and driven to rotate at a constant rotation speed
A laser light source is provided on the recording surface of the
The modulated light beam 12a emitted from 11 is modulated by the modulation unit 15 based on the light beam modulation signal Sm, and further deflected by the deflection unit 21 based on the light beam deflection control signal Sd. The beam 12c is made incident, whereby a state is formed in which a recording mark by the modulated deflection laser light beam 12c is formed on the recording surface of the master disc 33. At that time, the light beam incident portion 26 is fixed in the radial direction of the disc master 33, that is, in the direction orthogonal to the rotational tangent direction of the recording surface portion of the disc master 33 according to the feed drive signal Ss from the feed drive section 36. At the speed, for example, the disk master 33 is continuously moved from the inner peripheral side to the outer peripheral side, but at the same time, the modulated deflected laser light beam 12c incident on the recording surface of the disk master 33 is deflected. 21 deflects the disk master 33 in the radial direction based on the light beam deflection control signal Sd. The light beam deflection control signal Sd is assumed to have the same waveform as the signal Sd ′ shown in FIG. 3E, and gradually increases during a period T1 in which the counter 42 counts 1 to 4,200. Further, it shall have a level counter 42 decreases rapidly in the period T 2 for counting the 0, modulated deflected laser beam 12c is deflected portion 2
According to 1, the light beam deflection control signal Sd is deflected in the direction opposite to the moving direction of the light beam incident part 26 according to the portion corresponding to T 1 in the light beam deflection control signal Sd, and also corresponds to the period T 2 in the light beam deflection control signal Sd The light beam incident part 26 is deflected in the same direction as the moving direction of the light beam incident part 26 according to the part to be moved. Then, the gain control unit 46
As a result, the light beam deflection control signal Sd has an appropriate amplitude, and the deflection of the modulated deflection laser light beam 12c is
In a period T 1, the master disc 33 of the light beam incident portion 26
Is to counteract the movement in the radial direction, in a period T 2, is adapted to move according to the movement in the radial direction of the master disc 33 of the light beam incident portion 26.
光ビーム入射部26を通じてディスク原盤33の記録面部
に入射する被変調偏向レーザ光ビーム12cが、このよう
に偏向されることにより、ディスク原盤33の記録面部に
おける被変調偏向レーザ光ビーム12cの入射位置は、期
間T1、即ち、カウンタ42が１〜4,200を計数することに
なるディスク原盤33が１回転要される期間において、デ
ィスク原盤33の径方向における実質的な移動を生じるこ
となく一箇所に維持されるとともに、期間T2、即ち、カ
ウンタ42が０を計数することになるディスク原盤33の各
一周が完了した直後のディスク原盤33の１回転に要され
る期間に比して著しく短い期間において、ディスク原盤
33の径方向に、例えば、内周部側から外周部側へと極め
て短い距離だけ移動せしめられて、再び一箇所に維持さ
れることになる。それにより、ディスク原盤33の記録面
部においては、例えば、第４図に示される如くに、或る
期間T1において、被変調偏向レーザ光ビーム12cによる
記録跡が、所定の点P1から始まって点P1で終了する、デ
ィスク原盤33の中央孔を包囲する円形の記録跡t1として
形成され、続く期間T2に、被変調偏向レーザ光ビーム12
cの入射位置が点P1からその外側の点P2に移動して、そ
れに続く期間T1において、被変調偏向レーザ光ビーム12
cによる記録跡が、所定の点P2から始まって点P2で終了
する、ディスク原盤33の中央孔を包囲する円形の記録跡
t2として形成され、その後の期間T2に、被変調偏向レー
ザ光ビーム12cの入射位置が点P2からその外側の点P3に
移動して、それに続く期間T1において、被変調偏向レー
ザ光ビーム12cによる記録跡が、所定の点P3から始まっ
て点P3で終了する、ディスク原盤33の中央孔を包囲する
円形の記録跡t3として形成され、さらに、その後の期間
T2に、被変調偏向レーザ光ビーム12cの入射位置が点P3
からその外側の点P4に移動して、それに続く期間T1にお
いて、被変調偏向レーザ光ビーム12cによる記録跡が、
所定の点P4から始まるディスク原盤33の中央孔を包囲す
る円形の記録跡t4として形成されるという態様をもっ
て、期間T2において被変調偏向レーザ光ビーム12cの入
射位置が外側に移動し、期間T1において被変調偏向レー
ザ光ビーム12cによる記録跡が中央孔を包囲する円形の
記録跡として形成される状態が繰り返される。その際、
被変調偏向レーザ光ビーム12cの入射位置の、点P1から
点P2へ，点P2から点P3へ，点P3から点P4へというように
行われる外側への移動により、複数の円形の記録跡・・
・t1,t2,t3,t4,・・・におけるピッチが一定に設定され
る。斯かる動作の結果、ディスク原盤33の記録面部に
は、被変調偏向レーザ光ビーム12cによる記録跡が、デ
ィスク原盤33の中央孔を包囲し、ディスク原盤33の内周
部側から外周部側へと所定のピッチをもって広がる複数
の同心円状をなすものとして形成されることになる。The modulated deflection laser light beam 12c incident on the recording surface of the disk master 33 through the light beam incident part 26 is deflected in this way, and the incident position of the modulated deflection laser light beam 12c on the recording surface of the disk master 33 During the period T 1 , i.e., during the period in which the disc master 33 for which the counter 42 counts from 1 to 4,200 requires one rotation, the disc master 33 does not substantially move in the radial direction at one place. The time period T 2 , that is, a period significantly shorter than the period required for one revolution of the disk master 33 immediately after each round of the disk master 33 in which the counter 42 counts 0, is maintained. In the master disc
In the radial direction of 33, for example, it is moved by an extremely short distance from the inner peripheral side to the outer peripheral side, and is again maintained at one place. Thereby, in the recording surface of the disc master 33, for example, in as shown in FIG. 4, in a period T 1, a recording mark by modulated deflection laser beam 12c is, starting from P 1 given point ends at the point P 1, is formed as a circular recorded traces t 1 surrounding the central hole of the disc master 33, the subsequent period T 2, the modulated deflected laser beam 12
incident position of c is moved from point P 1 to point P 2 of the outer, in the period T 1 that follows, the modulated deflected laser beam 12
recorded traces by c is terminated at point P 2, starting from a predetermined point P 2, a circular recording marks surrounding the central hole of the disc master 33
It is formed as t 2, the subsequent period T 2, moving from the incident position the point P 2 of the modulated deflected laser beam 12c to the point P 3 of the outer, in the period T 1 that follows, the modulated deflection laser recorded traces by the light beam 12c is terminated at point P 3, starting from a predetermined point P 3, it is formed as a circular recording mark t 3 when surrounding the central hole of the disc master 33, further subsequent period
To T 2, modulated deflection laser beam incident position is a point of the beam 12c P 3
To a point P 4 outside thereof, and in the subsequent period T 1 , a recording trace by the modulated deflection laser light beam 12 c
With the aspect of being formed as a circular recording mark t 4 when surrounding the central hole of the disc master 33 that starts from a predetermined point P 4, the incident position of the modulated deflected laser beam 12c is moved outward in the period T 2, state formed as a circular recording traces recorded traces by modulated deflection laser light beam 12c surrounds the central hole is repeated in the period T 1. that time,
The incident position of the modulated deflected laser beam 12c, from the point P 1 to point P 2, from the point P 2 to the point P 3, the outward movement of the carried out so as to say from point P 3 to the point P 4, a plurality Circular record trace of ...
The pitches at t 1 , t 2 , t 3 , t 4 ,... Are set constant. As a result of such an operation, on the recording surface portion of the disc master 33, the recording trace by the modulated deflection laser light beam 12c surrounds the center hole of the disc master 33, and moves from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the disc master 33. And a plurality of concentric circles spreading at a predetermined pitch.
一方、斯かる状態において、変調部15において光ビー
ム変調信号Smに基づいてなされるレーザ光ビーム12aの
変調は、記録信号送出部30からの記録信号Srに応じた変
調を、光ビーム制御信号形成部31から期間T2毎に供給さ
れる光ビーム遮断信号Spに応じた変調が加えられて行わ
れることになる。そして、記録信号Srに応じた変調は、
被変調偏向レーザ光ビーム12cが、ディスク原盤33の記
録面部に適正な記録跡を形成するものとなるように行わ
れるものとされ、それに対し、期間T2毎に行われる光ビ
ーム遮断信号Spによる変調は、変調部15における光ビー
ム変調器17からの被変調レーザ光ビーム12bが、スリッ
ト19を通過できないものとなるように行われる。従っ
て、各期間T2においては、実際には、被変調偏向レーザ
光ビーム12cがディスク原盤33の記録面部に入射せしめ
られないものとされ、その結果、各期間T2は、ディスク
原盤33の記録面部に被変調偏向レーザ光ビーム12cによ
る記録跡が形成されない期間とされる。即ち、例えば、
第４図に示される、点P1から点P2までの間，点P2から点
P3までの間，点P3から点P4までの間等には、被変調偏向
レーザ光ビーム12cによる記録跡は形成されないのであ
る。On the other hand, in such a state, the modulation of the laser light beam 12a performed based on the light beam modulation signal Sm in the modulation unit 15 performs the modulation corresponding to the recording signal Sr from the recording signal transmitting unit 30, and forms the light beam control signal. modulation is is that made be added in accordance with the section 31 to the light beam interruption signal Sp supplied in each period T 2. Then, the modulation according to the recording signal Sr is
Modulated deflected laser beam 12c is, is intended to be performed such that as forming appropriate recording marks on the recording surface of the disc master 33, whereas, according to the optical beam blocking signal Sp is performed in each period T 2 The modulation is performed such that the modulated laser light beam 12b from the light beam modulator 17 in the modulation unit 15 cannot pass through the slit 19. Thus, in each period T 2, in fact, it is assumed to be modulated deflected laser beam 12c is not allowed to enter the recording surface of the disc master 33, so that each period T 2 are, recording original disc 33 This is a period during which no recording trace is formed on the surface by the modulated deflection laser light beam 12c. That is, for example,
Fourth shown in the figure, between the points P 1 to the point P 2, the point from the point P 2
Until P 3, the period from the point P 3 to the point P 4 and the like, a recording mark by modulated deflection laser beam 12c is not formed.
なお、上述の動作にあたり、光ビーム入射部26を通じ
てディスク原盤33の記録面部に入射する被変調偏向レー
ザ光ビーム12cが、光ビーム偏向制御信号Sdにおける期
間T1に対応する部分に応じて光ビーム入射部26の移動方
向とは反対の方向に偏向されて、期間T1においては、光
ビーム入射部26のディスク原盤33の径方向における移動
を打ち消すようにされ、それにより期間T1において、デ
ィスク原盤33の記録面部における被変調偏向レーザ光ビ
ーム12cの入射位置が、ディスク原盤33の径方向におけ
る実質的な移動を生じることなく一箇所に維持されるよ
うになすべく、光ビーム偏向制御信号Sdについての振幅
調整がゲイン制御部46において行われるが、斯かる振幅
調整は、前述の如く、送り駆動信号Ssに応じて行われる
ものとされているので、送り駆動部36による光ビーム入
射部26の送り速度が偏向される場合にも、期間T1におい
て、ディスク原盤33の記録面部における被変調偏向レー
ザ光ビーム12cの入射位置が、ディスク原盤33の径方向
における実質的な移動を生じることなく一箇所に維持さ
れる状態が自動的に得られることになる。Incidentally, when the above-described operation, the modulated deflected laser beam 12c which through the optical beam incident portion 26 is incident on the recording surface of the disc master 33, the light beam in accordance with the portion corresponding to the period T 1 in the light beam deflection control signal Sd the moving direction of the incident portion 26 is deflected in the opposite direction, in a period T 1, is to cancel the movement in the radial direction of the master disc 33 of the light beam incident portion 26, whereby the period T 1, the disk In order that the incident position of the modulated deflection laser light beam 12c on the recording surface portion of the master 33 is maintained at one place without substantially moving the disk master 33 in the radial direction, the light beam deflection control signal Sd Is performed in the gain control unit 46, and the amplitude adjustment is performed according to the feed drive signal Ss as described above. Even if the feeding speed of the light beam incident portion 26 by section 36 is deflected, in the period T 1, the incident position of the modulated deflected laser beam 12c in the recording surface of the disc master 33 is, in the radial direction of the master disc 33 A state that is maintained in one place without causing substantial movement is automatically obtained.
このようにして、第５図に示される如く、中央孔60の
周囲に広がる記録面部を形成するフォトレジスト層33R
に、中央孔60を包囲する複数の同心円状をなすものとさ
れた、被変調偏向レーザ光ビーム12cによる記録跡61が
形成されたディスク原盤33が得られる。そして、斯かる
ディスク原盤33における基板33B上に配されたフォトレ
ジスト層33Rに、現像処理及びその他の処理が施され
て、第６図に示される如くの、フォトレジスト層33Rに
おける記録跡61が設けられた位置に、中央孔60を包囲す
る複数の同心円状をなす環状ガイド溝61が形成されるこ
とになる。In this way, as shown in FIG. 5, the photoresist layer 33R forming the recording surface extending around the central hole 60 is formed.
Then, a master disc 33 having a plurality of concentric circles surrounding the central hole 60 and having recording marks 61 formed by the modulated deflection laser light beam 12c is obtained. Then, a development process and other processes are performed on the photoresist layer 33R disposed on the substrate 33B of the disc master 33, and as shown in FIG. 6, recording traces 61 on the photoresist layer 33R are formed. At the provided position, a plurality of concentric annular guide grooves 61 surrounding the central hole 60 are formed.
Ｇ−４ 変形例 上述の例は、ガラス製の基板上にフォトレジスト層が
設けられたディスク原盤に、その中央孔を包囲する複数
の同心円状の環状ガイド溝を得るための記録跡を形成す
るものとされるが、本発明に係るディスク状記録媒体加
工装置は、このような例に限られることなく、ガラス製
の基板上にフォトレジスト層が設けられたディスク原盤
以外の各種のディスク状記録媒体に対して、その記録面
部に中央孔を包囲する複数の同心円状の記録跡を形成す
るにあたって適用することができるものである。G-4 Modification In the above-described example, a recording mark for obtaining a plurality of concentric annular guide grooves surrounding a central hole is formed on a disk master in which a photoresist layer is provided on a glass substrate. However, the disk-shaped recording medium processing apparatus according to the present invention is not limited to such an example, and various types of disk-shaped recording media other than a master disk in which a photoresist layer is provided on a glass substrate can be used. The present invention can be applied to forming a plurality of concentric recording traces surrounding a central hole in a recording surface of a medium.
Ｈ 発明の効果 以上の説明から明らかな如く、本発明に係るディスク
状記録媒体加工装置によれば、中央孔とその周囲に広が
る記録面部とを有するものとされる、例えば、書込可能
光ディスク用のディスク原盤等の、ディスク状記録媒体
における記録面部に、中央孔を包囲する複数の同心円状
の環状ガイド溝を得るための光ビームによる複数の同心
円状の記録跡を、各々が寸断部分を伴わず完全に周回す
るものとされる状態で精度良く形成することができる。
しかも、斯かる複数の同心円状の記録跡は、ディスク状
記録媒体が所定の回転速度をもって回転せしめられると
ともに、ディスク状記録媒体に対する光ビーム入射手段
が記録面部における回動接線方向に直交する送り方向に
一定の速度で連続的に移動せしめられるものとされたも
とで形成されるので、比較的簡単な制御系のもとに容易
に得られるものとされることになる。H Effects of the Invention As is apparent from the above description, the disk-shaped recording medium processing apparatus according to the present invention has a central hole and a recording surface portion extending around the central hole. A plurality of concentric recording traces by a light beam for obtaining a plurality of concentric annular guide grooves surrounding a central hole are formed on a recording surface portion of a disc-shaped recording medium such as a disc master disk, each of which has a cut portion. It can be formed with high accuracy in a state where it is completely circulated.
In addition, the plurality of concentric recording marks are formed in such a manner that the disk-shaped recording medium is rotated at a predetermined rotation speed, and the light beam incident means on the disk-shaped recording medium is fed in a feed direction orthogonal to a rotational tangential direction on the recording surface. Since it is formed under the condition that it can be continuously moved at a constant speed, it can be easily obtained under a relatively simple control system.
第１図は本発明に係るディスク状記録媒体加工装置の一
例を示す構成図、第２図は第１図に示される例に用いら
れる光ビーム制御信号形成部の具体構成例を示すブロッ
ク図、第３図は第２図に示される光ビーム制御信号形成
部の具体構成例における各部の波形図、第４図は第１図
に示される例の動作説明に供される図、第５図は同心円
状の記録跡が形成されたディスク原盤の平面図、第６図
はディスク原盤上に形成された環状ガイド溝の一部分を
示す斜視図である。 図中、11はレーザ光源、15は変調部、21は偏向部、26は
光ビーム入射部、30は記録信号送出部、31は光ビーム制
御信号形成部、32は加算部、33はディスク原盤、33Rは
フォトレジスト層、34はモータ、35はターンテーブル、
36は送り駆動部、41はクロック信号発生部、42はカウン
タ、44はD/A変換部、45はレベルシフト部、46はゲイン
調整部、51はレベル調整部、61は記録跡である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an example of a disk-shaped recording medium processing apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a block diagram showing a specific configuration example of a light beam control signal forming unit used in the example shown in FIG. FIG. 3 is a waveform diagram of each unit in the specific configuration example of the light beam control signal forming unit shown in FIG. 2, FIG. 4 is a diagram provided for explaining the operation of the example shown in FIG. 1, and FIG. FIG. 6 is a plan view of a disk master on which concentric recording marks are formed, and FIG. 6 is a perspective view showing a part of an annular guide groove formed on the disk master. In the figure, 11 is a laser light source, 15 is a modulation unit, 21 is a deflection unit, 26 is a light beam incidence unit, 30 is a recording signal transmission unit, 31 is a light beam control signal formation unit, 32 is an addition unit, and 33 is a master disk. , 33R is a photoresist layer, 34 is a motor, 35 is a turntable,
36 is a feed driver, 41 is a clock signal generator, 42 is a counter, 44 is a D / A converter, 45 is a level shifter, 46 is a gain adjuster, 51 is a level adjuster, and 61 is a recording trace.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 7/26 G11B 7/085──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G11B 7/26 G11B 7/085
Claims (1)
づいて変調する光ビーム変調手段と、 ディスク状記録媒体を所定の回転速度をもって回転させ
る記録媒体駆動部と、 該記録媒体駆動部により回転せしめられるディスク状記
録媒体における中央孔の周囲の記録面部に対向して配さ
れ、上記光ビーム変調手段により変調された光ビームを
回転する上記ディスク状記録媒体の記録面部に入射させ
て、該記録面部に上記変調された光ビームによる記録跡
が上記中央孔を包囲して周回形成されるようになす光ビ
ーム入射手段と、 該光ビーム入射手段を、該光ビーム入射手段が対向する
上記記録面部における回動接線方向に直交する送り方向
に一定の速度で連続的に移動させる光ビーム位置制御手
段と、 上記光ビーム発生手段と上記光ビーム入射手段との間に
形成される光ビーム通路上に配され、上記光ビーム位置
制御手段により上記光ビーム入射手段が移動せしめられ
ているもとで、該光ビーム入射手段に向かう光ビーム
を、上記ディスク状記録媒体の１回転に要される期間に
対応する上記記録跡についての各周回期間においては上
記送り方向とは反対の方向に偏向し、上記記録跡につい
ての各周回期間が完了したとき、上記ディスク状記録媒
体の１回転に要される期間に比して著しく短い期間にお
いて上記送り方向と同方向に偏向することに伴って、上
記光ビーム入射手段により上記記録面部に入射せしめら
れる光ビームの該記録面部における入射位置を、上記記
録跡についての各周回期間においては実質的に上記送り
方向における変位をさせず、上記著しく短い期間におい
て上記送り方向に所定の短距離だけ変位させ、上記記録
跡を複数の同心円をもって形成されるものとなす光ビー
ム偏向手段と、 を具備して構成されるディスク状記録媒体加工装置。1. A light beam generating means, a light beam modulating means for modulating a light beam from the light beam generating means based on a predetermined signal, and a recording medium drive for rotating a disk-shaped recording medium at a predetermined rotation speed And a disc-shaped recording medium that is arranged to face a recording surface around a central hole in the disc-shaped recording medium rotated by the recording medium driving unit, and that rotates a light beam modulated by the light beam modulating means. A light beam incident means for causing the recording surface of the modulated light beam to be formed around the center hole around the recording surface, and the light beam incident means; Light beam position control means for continuously moving at a constant speed in a feed direction orthogonal to a rotational tangent direction on the recording surface portion facing the light beam incident means; The light beam incident means is disposed on a light beam path formed between the beam generating means and the light beam incident means, and the light beam incident means is moved by the light beam position control means. The light beam directed to the means is deflected in a direction opposite to the feed direction during each rotation period of the recording trace corresponding to a period required for one rotation of the disk-shaped recording medium, When each rotation period is completed, the light beam incident means deflects the light in the same direction as the feed direction in a period significantly shorter than the period required for one rotation of the disk-shaped recording medium. The incident position of the light beam incident on the recording surface portion on the recording surface portion is substantially not displaced in the feed direction during each rotation period of the recording trace. A light beam deflecting means for displacing the recording mark with a plurality of concentric circles in the feed direction for a predetermined short distance in the extremely short time period. apparatus.
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|---|---|---|---|
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|---|---|
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-
1988
- 1988-03-14 JP JP63059677A patent/JP2805751B2/en not_active Expired - Fee Related
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