JPH09244075A - 光リミッタ素子 - Google Patents

光リミッタ素子

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JPH09244075A
JPH09244075A JP4763796A JP4763796A JPH09244075A JP H09244075 A JPH09244075 A JP H09244075A JP 4763796 A JP4763796 A JP 4763796A JP 4763796 A JP4763796 A JP 4763796A JP H09244075 A JPH09244075 A JP H09244075A
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optical
light
optical limiter
port
limiter element
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JP4763796A
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Inventor
Hiroyuki Tsuda
裕之 津田
Akira Hirano
章 平野
Akira Takahashi
亮 高橋
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 導波波長帯域が広く超高速で動作する光リミ
ッタ素子を提供する。 【解決手段】 二つの光反射手段(11、12)の間に
可飽和吸収材料(13)を配置し、その反射率および可
飽和吸収材料の吸収率を適切に選択する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は入射光強度がある光
強度範囲のときにその入射光強度の増加にしたがって反
射率が減少する光リミッタ素子に関する。
【0002】
【従来の技術】図10は従来例の光リミッタ素子の構造
を断面図により示す。この従来例は、Olof Sahlen et a
l., "Optical bistability and gating in metalorgani
c vapor phase epitaxy grown GaAs etalons operating
in reflection", Applied Physics Letters Vol.50, N
o.22 (1987),pp1559-1561 に示されたものであり、Mn
S/MnF2 を3周期積層した誘電体ミラー層21と、
AlGaAs/AlAsを40周期積層したミラー層2
2と、これらの間に配置されたAlGaAs/GaAs
を67周期積層した多重量子井戸光非線形層23とを備
え、これらがGaAs半導体基板24上に形成されてい
る。
【0003】この光リミッタ素子はいわゆる非線形エタ
ロン型の光ゲート素子であり、二つのミラーの間に非線
形材料が配置されたものである。非線形エタロンでは、
動作する光強度を下げるために共振器のフィネスを高く
し、共振器の光強度を増加させる設計がなされる。この
ため、できる限り損失の少ない非線形材料が用いられ
る。すなわち、二つのミラーの反射率は90%以上で、
非線形材料での損失は10%以下である必要がある。ま
た、共振器として機能するために、二つのミラー間の光
学的距離Lは、入射光波長λに対して、 L≒mλ/2(m=0、1、2、…) を満たす必要がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】非線形エタロンを反射
型の素子として用いると、入射光強度を増加するにした
がって反射率が減少する光リミッタ素子として機能す
る。しかし、共振効果を利用しているため狭帯域であ
り、動作する波長の条件も厳しい。また、光非線形材料
中の生成キャリアの緩和時間が一般に数ns以上で、繰
り返し動作速度を1Gbit/s以上にすることはでき
なかった。
【0005】本発明は、このような課題を解決し、動作
波長帯域が広く超高速で動作する光リミッタ素子を提供
することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の光リミッタ素子
は、二つの光反射手段の間に入射光強度に対して吸収率
が飽和する可飽和吸収材料が配置された光ゲート素子に
おいて、二つの光反射手段のうち光入出力側に配置され
た光反射手段の反射率をR1、他方の反射率をR2、可
飽和吸収材料の吸収率をA0とするとき、 R1−R2(1−A2)2 >0 を満たすように二つの光反射手段および可飽和吸収材料
が設定されたことを特徴とする。
【0007】二つの光反射手段の間の光学的距離Lが、
入射光波長λに対して、 (1/4+m)λ/2<L<(3/4+m)λ/2(m
=0、1、2、…) の関係を満たすように配置されることが望ましい。
【0008】可飽和吸収材料としては、150℃ないし
400℃で低温成長され、かつドーパントとしてp型元
素またはBeのドーパントが1017cm-3以上添加され
た多重量子井戸層を用いることがよい。また、ドーパン
トとして水素、炭素、酸素、窒素、Beまたはp型元素
をイオン注入法によって注入した多重量子井戸層を用い
てもよい。
【0009】本発明の光リミッタ素子は反射型の素子で
あり、この素子への光の入射およびこの素子からの反射
光の出力を行う光入出力手段を光リミッタ素子と同一の
モジュールに構成することが便利である。
【0010】この場合、光入出力手段は、第一のポート
からの入射光を第二のポートに出力し、この第二のポー
トからの入射光を第一のポートとは異なる第二のポート
に出力する第一の光学手段と、第二のポートからの出力
光を前記光リミッタ素子に集光するとともにその反射光
を第二のポートに入射する第二の光学手段とを含むこと
が望ましい。
【0011】第一の光学手段としては、光サーキュレー
タ、光カップラまたはハーフミラーを用いることができ
る。また、入射光用と反射光用とのラインを少しずらし
て構成を簡略化することもできる。
【0012】入射光が直線偏光の場合には、光入出力手
段として偏光ビームスプリッタを用い、この偏光ビーム
スプリッタと第二の光学手段との間に、直線偏光を円偏
光に変換する1/4波長板を備えることがよい。
【0013】第一の光学手段と第二の光学手段との間
に、光リミッタ素子への入射光を直交する二つの偏光に
分離する手段と、分離された二つの偏光の少なくとも一
方の偏光面を回転させてその二つの偏光の偏光面を一致
させる手段とを備えることもできる。また、光リミッタ
素子への入射光を直交する二つの偏光に分離する手段
と、分離された二つの偏光を同一の偏光状態の円偏光に
変換する手段とを備えることもできる。
【0014】
【発明の実施の形態】図1は本発明の実施形態を示す図
であり、光リミッタ素子の構造を断面図により示す。こ
の光リミッタ素子は、二つの光反射手段としてDBR型
ミラー11およびAuミラー層12を備え、その間に、
可飽和吸収材料として量子井戸層13を備える。Auミ
ラー層12と量子井戸層13との間には位相調整層14
が設けられる。さらに詳しく説明すると、この光リミッ
タ素子は、InP基板10の一方の面に、InGaAs
P/InPのDBR型ミラー11と、200℃で低温成
長しドーパントとしてBeを5×1017cm-3添加した
InGaAsP/InAlAs多重量子井戸であり膜厚
が1ないし5ミクロン程度の量子井戸層13と、InG
aAsP/InPの位相調整層14と、Auミラー層1
2とを積層し、InP基板10の他方の面には低反射コ
ーティング15を設け、Auミラー層12側をIn半田
16によりCuヒートシンク17に取り付けた構造をも
つ。入射光は低反射コーティング15側から入射する。
【0015】ここで、微弱な入射光に対するDBR型ミ
ラー11の反射率R1、Auミラー層12の反射率R2
および量子井戸層13の吸収率A0に対し、R1−R2
(1−A0)2 >0を満たすように、各反射率および量
子井戸層13を設定する。
【0016】図2および図3はこのような構造の光リミ
ッタ素子の動作を説明する図である。入射した光が可飽
和吸収材料(量子井戸層13)で吸収されると、生成キ
ャリアによって位相空間が充填され、吸収係数が減少す
る。図2には、入射光強度に対するDBR型ミラー11
およびAuミラー層12の反射率の依存性を示す。入射
光はDBR型ミラー11およびAuミラー層12から反
射されるが、入射光の光強度が弱い場合は、反射光は主
としてDBR型ミラー11からのものとなる。入射光強
度が高まるにつれて可飽和吸収材料での吸収が少なくな
るので、Auミラー層12からの反射が強くなる。とこ
ろが、DBR型ミラー11とAuミラー層12との光学
距離Lを入射光波長λに対して(1/4+m)λ/2<
L<(3/4+m)λ/2(m=0、1、2、…)とな
るように設定すると、Auミラー層12からの反射光と
DBR型ミラー11からの反射光とが干渉し、部分的に
打ち消し合うようになる。L=(3/4+m)λ/2の
場合にはほぼ完全に打ち消し合う。図3には、光リミッ
タ素子の干渉後の反射率の入射光強度依存性を示す。光
リミッタ素子は、比較的低強度の入射光に対してR1−
R2(1−A0)2>0を満たすので、入射光強度が強
くなるにつれて反射率が低下する光リミッタ動作をす
る。
【0017】図4は光パルスに対するリミッタ動作を説
明する図であり、入射光パルス波形、反射率の変化およ
び反射パルス波形を並べて示す。入射パルスが弱い場合
には波形はほとんど変化せず、入射パルス強度を増大す
ると反射率が低減して波高値がリミットされる。ただ
し、入射パルス強度がさらに増大すると、反射率が反転
し、パルスが二つのパルスに分離してしまう。したがっ
て、この素子は、光強度が反射率の反転を起こさない範
囲で光リミッタ動作する。
【0018】本実施形態は、非線形エタロンと異なり、
二つの光反射手段から構成される共振器の反共振条件波
長で用いること、および共振器内損失が大きいことか
ら、動作帯域は極めて広くなる。具体的には、30〜5
0nmの光波長帯域で動作可能である。動作信号帯域は
ほぼ二つの光反射手段からの反射光の位相遅れがパルス
幅に対して無視できる範囲であり、可飽和吸収材料が厚
さ4μmの素子では500GHz程度である。この値は
材料の応答時間に比較して短いので、素子の動作帯域は
主として材料のキャリア緩和時間で定まり、最大200
GHzが期待される。
【0019】本実施形態では可飽和吸収材料として低温
成長したBeドープのInGaAs/InAlAs系の
多重量子井戸層を用いたが、InGaAs/In(G
a)AlAs系、AlGaAs/GaAs系、InGa
As/GaAs歪超格子系、InGaAs/InGaA
sP歪超格子系の多重量子井戸を用いても本発明を同様
に実施できる。また、高速の緩和時間を得るために、ド
ーパントとして、他のp型元素を1017cm-3以上添加
してもよい。あるいは、低温成長をせずに、ドーパント
として水素、炭素、酸素、窒素、Beまたはp型元素を
イオン注入法によって注入してもよい。
【0020】本発明の光リミッタ素子は反射型の素子で
あり、光の入射方向と反射方向とが互いに重なってい
る。このため、入射光と反射光とを分離するための光入
出力手段が必要となるが、これを光リミッタ素子と同一
のモジュール内に設けておくことが望ましい。そのよう
なモジュール化された光リミッタ装置の例を以下に示
す。
【0021】図5はモジュール化された光リミッタ装置
の第一の構成例を示す。この装置は、入射用光ファイバ
から第一のポートに入射した光を第二のポートに出力し
第二のポートから入射した光を第三のポートから出力用
光ファイバに出力する光サーキュレータ201と、この
光サーキュレータ201の第二のポートに光ファイバを
介して接続されこの光ファイバとの間で光の入出力を行
うコリメータレンズ202と、コリメータレンズ202
からの光を光リミッタ素子100に集光するとともにそ
の反射光をコリメータレンズ202に入射する集光レン
ズ203とにより構成される。この構成では、集光レン
ズ203により光を絞り込むことで、動作エネルギーを
低減できる。コリメータレンズ202および集光レンズ
203に替えて、多数のレンズを組み合わせた組レンズ
を用いることもできる。また、球面レンズ、非球面レン
ズ、フレネルレンズ、あるいはホログラムを用いること
もできる。光サーキュレータ201、コリメータレンズ
202、集光レンズ203を一体化することも可能であ
る。挿入損失は増大するが、光サーキュレータ201に
替えて光カップラあるいはハーフミラーを用いることも
できる。
【0022】図6はモジュール化された光リミッタ装置
の第二の構成例を示す。この例は、光の入出射ラインを
少しずらしたものであり、入射用と反射光とで別々のコ
リメータレンズ301、302と、これらのコリメータ
レンズ301、302と光リミッタ素子100との間に
配置された共通の集光レンズ303とを備える。この構
成もまた、集光レンズ303により光を絞り込むこと
で、動作エネルギーを低減できる。また、光サーキュレ
ータが不要なので、モジュールが簡易で低コストとな
る。
【0023】図7はモジュール化された光リミッタ装置
の第三の構成例を示す。この例は、入射光が直線偏光で
ある場合に挿入損失を低減するための構成例であり、入
射用光ファイバからの入射光をコリメートするコリメー
タレンズ401と、コリメータレンズ401から入射す
る光の偏光を光リミッタ素子100の方向に導く偏光ビ
ームスプリッタ402と、偏光ビームスプリッタ402
と光リミッタ素子100との間に配置された1/4波長
板403および集光レンズ404と、出力用のコリメー
タレンズ405とを備える。この構成例もまた、集光レ
ンズ404により光を絞り込むことで、動作エネルギー
を低減できる。また、1/4波長板403により光リミ
ッタ素子100に入射される偏光を円偏光とすることが
でき、可飽和吸収材料の励起準位の一方のスピンに対応
する励起準位のみを励起できるので、動作エネルギーを
半減できる。1/4波長板403については、第一およ
び第二のモジュール例の場合にも同様に利用できる。
【0024】図8はモジュール化された光リミッタ装置
の第四の構成例を示す。この例は、第一の例と同様の光
サーキュレータ501、コリメータレンズ502および
集光レンズ506を備え、さらに、コリメータレンズ5
02と集光レンズ506との間に、カルサイト結晶50
3、1/2波長板504および位相調整板505を備え
る。この構成例もまた、集光レンズ506により光を絞
り込むことで、動作エネルギーを低減できる。この実施
例ではさらに、カルサイト結晶503により入射光を直
交する二つの偏光に分離し、1/2波長板504により
一方の偏光面を90度回転させる。このため、光リミッ
タ素子100への入射時に同一の偏光面の直線偏光とし
て入射されるので、可飽和吸収材料のスピン緩和時間が
光パルスに比較して長い場合でも、偏波依存性のない動
作が可能となる。位相調整板505は、分離された二つ
の偏光の光パルスがほぼ同時に光リミッタ素子100に
到達するように位相を調整する。光リミッタ素子100
から反射した光は、カルサイト結晶503によって再び
合波され、光サーキュレータ501を介して出力され
る。
【0025】図9はモジュール化された光リミッタ装置
の第五の構成例を示す。この例は、第四の例と同様の光
サーキュレータ601、コリメータレンズ602、カル
サイト結晶603、位相調整板606および集光レンズ
607を備え、1/2波長板の替わりに、二つの1/4
波長板604、605を備える。この構成例もまた、集
光レンズ607により光を絞り込むことで、動作エネル
ギーを低減できる。この実施例ではさらに、カルサイト
結晶603により入射光を直交する二つの偏光に分離
し、それぞれを1/4波長板604、605により偏光
にする。このため、光リミッタ素子100への入射時に
同一の偏光状態の円偏光として入射されるので、可飽和
吸収材料のスピン緩和時間が光パルスに比較して長い場
合でも、偏波依存性のない動作が可能となる。さらに、
可飽和吸収材料の励起準位の一方のスピンに対応する励
起準位のみ励起できるので、動作エネルギーを半減でき
る。位相調整板606は、第四の例と同様に、分離され
た二つの偏光の光パルスがほぼ同時に光リミッタ素子1
00に到達するように位相を調整する。光リミッタ素子
100から反射した光は、カルサイト結晶603によっ
て再び合波され、光サーキュレータ601を介して出力
される。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の光リミッ
タ素子は、超高速かつ広帯域で動作する。また、モジュ
ール化することで取り扱いが容易になり、低光強度で動
作が可能で偏波依存性を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態を示す図。
【図2】光リミッタ素子の動作を説明する図であり、入
射光強度に対するDBR型ミラーおよびAuミラー層の
反射率の依存性を示す図。
【図3】光リミッタ素子の動作を説明する図であり、干
渉後の反射率の入射光強度依存性を示す図。
【図4】光パルスに対するリミッタ動作を説明する図。
【図5】モジュール化された光リミッタ装置の第一の構
成例を示す図。
【図6】モジュール化された光リミッタ装置の第二の構
成例を示す図。
【図7】モジュール化された光リミッタ装置の第三の構
成例を示す図。
【図8】モジュール化された光リミッタ装置の第四の構
成例を示す図。
【図9】モジュール化された光リミッタ装置の第五の構
成例を示す図。
【図10】従来例の光リミッタ素子を示す図。
【符号の説明】
10 基板 11 DBR型ミラー 12 Auミラー層 13 量子井戸層 14 位相調整層 15 低反射コーティング 16 In半田 17 Cuヒートシンク 21 誘電体ミラー層 22 ミラー層 23 多重量子井戸光非線形層 24 GaAs半導体基板 100 光リミッタ素子 201、501、601 光サーキュレータ 202、301、302、401、405、502、6
02 コリメータレンズ 203、303、404、506、607 集光レンズ 402 偏光ビームスプリッタ 403、604、605 1/4波長板 503、603 カルサイト結晶 504 1/2波長板 505、606 位相調整板
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成8年4月10日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0006
【補正方法】変更
【補正内容】
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の光リミッタ素子
は、二つの光反射手段の間に入射光強度に対して吸収率
が飽和する可飽和吸収材料が配置された光ゲート素子に
おいて、二つの光反射手段のうち光入出力側に配置され
た光反射手段の反射率をR1、他方の反射率をR2、可
飽和吸収材料の吸収率をA0とするとき、 R1−R2(1−A02 >0 を満たすように二つの光反射手段および可飽和吸収材料
が設定されたことを特徴とする。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0010
【補正方法】変更
【補正内容】
【0010】この場合、光入出力手段は、第一のポート
からの入射光を第二のポートに出力し、この第二のポー
トからの入射光を第一のポートとは異なる第のポート
に出力する第一の光学手段と、第二のポートからの出力
光を前記光リミッタ素子に集光するとともにその反射光
を第二のポートに入射する第二の光学手段とを含むこと
が望ましい。
【手続補正3】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図2
【補正方法】変更
【補正内容】
【図2】

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 二つの光反射手段の間に入射光強度に対
    して吸収率が飽和する可飽和吸収材料が配置された光ゲ
    ート素子において、 前記二つの光反射手段のうち光入出力側に配置された光
    反射手段の反射率をR1、他方の反射率をR2、前記可
    飽和吸収材料の吸収率をA0とするとき、 R1−R2(1−A2)2 >0 を満たすように前記二つの光反射手段および前記可飽和
    吸収材料が設定されたことを特徴とする光リミッタ素
    子。
  2. 【請求項2】 前記二つの光反射手段の間の光学的距離
    Lが、入射光波長λに対して、 (1/4+m)λ/2<L<(3/4+m)λ/2(m
    =0、1、2、…) の関係を満たすように配置された請求項1記載の光リミ
    ッタ素子。
  3. 【請求項3】 前記可飽和吸収材料は150℃ないし4
    00℃で低温成長された多重量子井戸層を含み、 この多重量子井戸層にはp型元素およびBeからなる群
    より選択された一以上のドーパントが1017cm-3以上
    添加された請求項1または2記載の光リミッタ素子。
  4. 【請求項4】 前記可飽和吸収材料は多重量子井戸層を
    含み、 この多重量子井戸層には、水素、炭素、酸素、窒素、B
    eおよびp型元素からなる群より選択された一以上のド
    ーパントがイオン注入法によって注入された請求項1ま
    たは2記載の光リミッタ素子。
  5. 【請求項5】 請求項1ないし4のいずれか記載の光リ
    ミッタ素子と、この光リミッタ素子への光の入射および
    この光リミッタ素子からの反射光の出力を行う光入出力
    手段とを備え、これらが同一のモジュールとして構成さ
    れた光リミッタ装置。
  6. 【請求項6】 前記光入出力手段は、第一のポートから
    の入射光を第二のポートに出力し、この第二のポートか
    らの入射光を前記第一のポートとは異なる第三のポート
    に出力する第一の光学手段と、前記第二のポートからの
    出力光を前記光リミッタ素子に集光するとともにその反
    射光を前記第二のポートに入射する第二の光学手段とを
    含む請求項5記載の光リミッタ装置。
  7. 【請求項7】 前記光入出力手段は偏光ビームスプリッ
    タを含み、 この偏光ビームスプリッタと前記第二の光学手段との間
    に、直線偏光を円偏光に変換する1/4波長板を備えた
    請求項6記載の光リミッタ装置。
  8. 【請求項8】 前記第一の光学手段と前記第二の光学手
    段との間に、前記光リミッタ素子への入射光を直交する
    二つの偏光に分離する手段と、分離された二つの偏光の
    少なくとも一方の偏光面を回転させてその二つの偏光の
    偏光面を一致させる手段とを備えた請求項6記載の光リ
    ミッタ装置。
  9. 【請求項9】 前記第一の光学手段と前記第二の光学手
    段との間に、前記光リミッタ素子への入射光を直交する
    二つの偏光に分離する手段と、分離された二つの偏光を
    同一の偏光状態の円偏光に変換する手段とを備えた請求
    項6記載の光リミッタ装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6515793B2 (en) 1999-12-27 2003-02-04 Ddi Corporation Optical waveform shaper
JP2005525588A (ja) * 2002-01-22 2005-08-25 サントル・ナショナル・ドゥ・ラ・レシェルシュ・サイエンティフィーク−セ・エン・エール・エス− 可飽和吸収素子及び可飽和吸収素子の製造方法

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