JP2685005B2 - 光スイッチ - Google Patents
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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- Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
Description
する室温光スイッチに関するものである。特に、スイッ
チの活性材料が、この材料のほぼバンドギャップ付近の
周波数で、且つ、重要な波長、好適には約1.55μm
の波長で、3次の光学的非線形特性X(3) を呈するよう
な光スイッチに関する。特に、本発明は、3次の非線形
光スイッチで使用する室温でのAlx Ga1-x Sb材料
(xは約0.1)に関する。また更に、本発明は、可視
光スペクトルで動作するIII −IV族系の利用に関するも
のである。
効な半導体において、高速且つ強力な非線形光学プロセ
スを見い出すことは、極めて興味深いことである。近
年、10μm付近の長い波長で動作する、多数の強力な
自由キャリア・メカニズムの認識および理解に大きな進
歩がある。これらのプロセスは、ピコ秒レンジの緩和時
間を有する大きな3次の光学的非線形特性を生成する。
ピコ秒の緩和時間を有する10-6esuを超える3次の
非線形感受率が観察されている。しかしながら、これら
のメカニズムの多くは、1.55μmレンジの波長で利
用するには、不適当であることが証明されている。ま
た、10μmの波長から1.55μmの波長への遷移に
失敗している。その理由は、非線形特性は、短い波長で
は余りにも小さく、利用できないか、または、1.55
μmのスペクトル領域まで延長できないポンプフォトン
共鳴にメカニズムが依存してしまっているからである。
1.55μmの波長は、長距離の光通信応用に対して、
非常に重要なものである。その理由は、この波長では、
光ファイバの発散はゼロであり、その結果、ディジタル
光信号を拡散することなく長距離伝送できるからであ
る。
ley−transfer mechanism)によ
って、これら欠点を潜在的に克服できると共に、近赤外
線領域において、強力且つ高速な非線形特性を生成でき
る。このバレートランスファ・メカニズムは、例えば、
K.Kash等による文献アプライド フィジクスレタ
ーズ 42−2 pp.173−175“Nonlin
ear optical studies of pi
cosecond relaxationtimes
of electrons in n−GaAs an
d n−GaSb”,Applied Physics
Letters,1983年1月,volume 4
2,No.2,第173頁〜第175頁に記載されてい
る。
に、電子を主バレーから副バレーへ光によってドライブ
できる。2つのバレー間の電子の有効質量の大きな差に
よって、かなり大きな光学的非線形特性がもたらされ
る。しかしながら、上述のKash等の研究は、一方の
バレーから他方のバレーへ、フォトンの直接吸収による
よりはむしろ、光学的加熱によって、電子がドライブさ
れることを示している。その結果、室温において、バレ
ートランスファ非線形特性は、n−GaAsのような材
料において、相当程度弱いものとなってしまう。その理
由は、この材料において、300K付近でのキャリア温
度変調では、キャリアをΓ−バレーおよびL−バレーの
間で、大きな障壁(Δ≒0.3eV)を超えるように励
起するには不十分であるからである。実際上、Kash
等によれば、サンプルを800Kまで加熱した場合に、
n−GaAsに、かなり大きなバレートランスファ非線
形特性を観察できるのみであった。この点において、障
壁Δ≒0.08eVを有するn−GaSb材料は、n−
GaAsより極めて好適な材料である。ここで、Kas
hおよびWalrodによれば、CO2 ガスレーザで行
った実験において、大きな室温非線形特性(X3 ≒10
-6esu)を観察できた。このCO2 ガスレーザの周波
数は、GaSbのバンドギャップより十分に低いもので
ある。
ランスファ非線形特性の値のスケーリングは、レーザ周
波数に対する、自由キャリア誘導3次非線形感受率X
(3) の変化によって決定される。
プロセスにおける光周波数である。
lrodの結果から、1.5μmのn−GaSbにおい
て約4×10-10 esuのX(3) を予測できる。しかし
ながら、半導体における光学的プロセスは、レーザ周波
数が、ダイレクトバンドギャップに接近するにつれて、
強力に強調される(共鳴蛍光の固体類似)。これは以下
の式に従うものである。
れる。すなわち、この事実によってGaSbの近赤外線
の3次非線形感受率X(3) がかなり大きい4×10-8e
suに増大される。
応用に対しても重要なものである。バレートランスファ
・プロセスを作用させるために必要な適度なドーピング
レベルは、自由キャリア吸収度がかなり低くなり、これ
によってバレートランスファがデバイスに対して、特に
好適なメカニズムとなることを意味する。λ=1.55
μmにおいて、自由キャリア吸収係数が1cm-1である
ものと見積られる。この値を、予測された4×10-8e
suのX(3) および、1psec(ピコ秒)の測定緩和
時間を組合せることによって、4×104 の潜在的有効
指数[X(3) /αT]が与えられ、これはGaAsエク
シトン(励起子)プロセスの潜在的有効指数を超えてい
る。これは一般に、102 レンジ内の有効指数を有して
いる。バンドギャップ共鳴を利用してX(3) を増大させ
ると、これに対応した線形吸収度の増加が見られる。従
って、大きな非線形特性と低い線形吸収度との間には、
トレードオフが存在している。
理論を利用して、WolfおよびAuyang共著によ
る文献セミコンダクタ・サイエンス・テクノロジー 5
巻pp.57−67“Novel free−carr
ier−inducedoptical non−li
nearities of narrow−gap s
emiconductors”,1990年,Semi
conductor Science Technol
ogy,vol.5,第57頁〜第67頁に記載された
ものによって、次式で表されるX(3) を予測する。すな
わち、
吸収係数、ε=誘電関数に対する自由キャリア貢献度、
cv =電子比熱、τth=キャリアの熱緩和時間、および
Y=キャリア温度変動によって変調されたパラメータ。
バレートランスファ・プロセスに対して、YはΓバレー
における電子の密度である。熱的平衡において、
対する状態密度とΓバレーに対する状態密度との比、Δ
は、これら密度間のエネルギ差である。微分式は、以下
の場合に、dY/dTがその最大値を有することを示し
ている。β=kT。
作に対してβΔ≒4、またはΔ≒0.1eVとなること
を示している。Δ=0.08eVを有するn−GaSb
材料は、この条件を満足する極めて近いものである。自
由キャリア吸収度に対する式に、これらすべての結果を
組み合わせることによって、以下の式が得られる。
た、式(6)のX(3) の形式は、非放物型性プロセスに
対して演算された形式に類似しているが、EG がΔで置
換されていることに留意すべきである。このような類似
性は、両方のメカニズムが以下の状態に対する電子の熱
励起に依存していることを知ることによって理解でき
る。すなわち、この状態は、バンドエッジにおける特性
とは異なる特性を有している。非放物型性と比較して、
バレートランスファ・プロセスは、30倍大きい非線形
特性を有している。その理由は、十分小さい励起エネル
ギ(Δvs・EG )が、かなり大きな質量変化を生じさ
せるために必要となるからである。
側の波長では、GaSbは室温において、バレートラン
スファ・プロセスに対して、最適状態に近い材料とな
る。しかしながら、このGaSbのバンドギャップは、
1.55μmの光デバイスで使用するのには小さすぎ
る。n−GaSb材料は、4Kにおいて、1.55μm
放射に対してほとんど透明ではなく、温度の上昇と共
に、不透明になる。その理由は、この材料のバンドギャ
ップは、300Kすなわち室温において、0.73eV
(λC =1.70μm)に低下するからである。
用するのに適した光スイッチを提供することにある。
チを備える光デバイスを提供することにある。
以下のように材料を光スイッチ材料として利用すること
によって克服できる。すなわち、広いギャップを有する
n−Alx Ga1-x Sb(xは約0.1)を光スイッチ
材料として利用し、Γバンドエッジと最小の副伝導バン
ドとがほぼ一致することによって生じるバレートランス
ファ・プロセスの有益な特徴を維持できる。また、Al
ibert等による文献フィジカル レビュー B27
(8) pp.4946−4954“Modulati
on−spectroscopy study of
the Ga1-x Alx Sb band struct
ure”Physical Review,1983年
B27(8),第4946頁〜4954頁に、Alx G
a1-x Sbバンド構造の変調分光の測定が報告されてい
る。これら実験は、バルク多結晶インゴット(グレイン
サイズは数mm3 である)および50μmの厚さを有す
る単結晶LPE層に対して実施された。光スイッチに要
求される3次非線形特性と比較されるように、これら測
定値は、線形光学特性を決定した。x=0.1に対し
て、値EG =0.84eVおよびλC =1.48μm
が、1.55μmで動作する光スイッチに対するほぼ最
適値である。波長λC の値は、1.55μmより十分に
小さく、好適材料のn−Al0.1 Ga0.9 Sbは、1.
55μmで比較的透明である。同時に、λ=1.55μ
mは、波長λC に十分に近く、これによって、光学的非
線形特性の強力な共鳴強調を与える(約2桁分強調され
る)。x=0.1に対するAlx Ga1-x Sbのバンド
構造は、純粋なGaSbのバンド構造に類似しているの
で、その結果、Alx Ga1-x SbはX(3) のかなり大
きな値を発生するようになる。n−Al0.1 Ga0.9 S
bのX(3) の値は、純粋なn−GaSbの値の60%で
あると見積られる。これは光スイッチとして利用するの
に適当な値である。1.55μmにおけるX(3) の値
を、適当な密度の(AlGaIn)Sb合金中で、最適
化できる。
温で且つ約1.55μmの動作波長λで3次の光学的非
線形特性を呈するスイッチ材料について説明してきた
が、このような材料の光スイッチでの新規な利用につい
て以下説明する。
ーザと使用される非線形デバイスによる光スイッチング
が必要となる。最も簡単な非線形光デバイスは、次のよ
うな双安定光素子である。すなわち、n−Alx Ga
1-x Sb結晶を備え、互いに反対側の面に高反射ミラー
を有して、双安定性を実現するファブリ・ペロ構造を形
成している。キャビティの長さを調整して、最初は、ポ
ンプ周波数を非共鳴にする。低パワーレベルでは、デバ
イスは入射光の大半を反射する。パワーが増加するにつ
れて、キャビティモード周波数が結晶材料の非線形特性
によってシフトし、これによって、この構造が更に透明
なものとなる。このプロセスによって、双安定性および
ヒステリシスが得られるようになる。
ムとを組合せることによって、このような組合せ構造を
光スイッチとして利用できる。
プ、メモリ素子、増幅器等のデバイスを、上述した双安
定性ファブリ・ペロ構造に基づいて作製できる。
バイスは、活性材料を有しており、この材料は、系のフ
ォトンエネルギの少し上側(Γにおいて)のダイレクト
バンドギャップを有しており、また、ΓにおけるE0 レ
ベルより約0.1eV上側に副伝導帯(XまたはLにお
いて)を有している。
Ga1-x Sb(xは約0.1)であり、約1.55μm
の波長λで動作するように設計された光スイッチで用い
られる。
詳述する。特に、図1には、双安定性光素子のような非
線形光デバイス10が線図的に表されている。この光デ
バイス10は、結晶材料12を有し、この結晶材料12
の両対向面には、高反射ミラー14,16が配置されて
いる。これによってファブリ・ペロ構造が形成される。
ファブリ・ペロ構造は、キャビティ長“L”を調整する
ための方法として周知なものである。この結晶材料のバ
ンドギャップより僅かに下側の周波数で光学的非線形特
性を呈するように、この結晶材料を選択する。この結晶
材料を、光通信システムにおけるスイッチング素子とし
て更に有効とするために、この材料が、約1.55μm
の波長で、室温において3次光学的非線形特性を呈する
ようなものを選択する。光通信システムにおける光スイ
ッチとして利用するのに好適な材料は、n型Alx Ga
1-x Sb材料(xは約0.1)である。
ィのポンプ周波数を非共鳴とすると、双安定動作が実現
される。この結果、低いパワーレベルでは、例えばレー
ザ(図示せず)からミラー14に入射した入力光18の
大部分が反射される。パワーレベルが増大するにつれ
て、キャビティモード周波数が結晶材料12の非線形特
性によってシフトするようになり、これによってこの材
料が更に透明なものとなり、入力光18がミラー14、
結晶12およびミラー16を経て出力光ビーム20とし
て出射する。
フで示したように、双安定動作およびヒステリシス特性
が得られる。図2は、双安定デバイスの入射パワーに対
する透過パワーをグラフ的に表している。曲線部分24
はこの双安定デバイスのターンオンを、曲線部分26は
ターンオフを示している。入射パワーが、点28および
点30におけるパワーとそれぞれ等しくなると、双安定
デバイスは、反射状態から透過状態へ、およびその逆の
状態へスイッチングする。一般に、点28におけるパワ
ーは、50のフィネス(finesse)およびX(3)
=4×10-8esuのファブリ・ペロ構造に対しては、
約100kW/cm2 である。このようなパワー密度
は、現在の半導体レーザ技術の範囲内のものである。
関して図1のデバイスの変形例を示す。これら図1およ
び図3において、類似の素子には、同一の参照番号を付
すものとする。
れる光ビーム18を、ビーム合成器36において、パワ
ー密度EC を有する制御ビーム34と合成することによ
って、合成入射光ビーム38を形成する。
下側の周波数で、かなり大きな3次光学的非線形特性
(X(3) )を示す材料12を選択することによって、出
力ビーム20のパワー密度は、ES とEC 2 との積に比
例するようになる。したがって、制御ビームによって、
スイッチングデバイス10が、信号ビーム情報エネルギ
ES を出力ビーム20へ選択的に透過させるようにする
ことができる。
よって予測されるように、実現することが最も好まし
い。大きなバレートランスファ非線形特性を、1.55
μで達成するためには、EG ≒0.84eV(強力な共
鳴強調に対して)のバンドギャップを有すると共に、Γ
バレーと副伝導帯バレーとの間に小さなスプリット
(Δ)を有するダイレクトギャップ半導体を利用するこ
とが重要である。室温動作に対するこのスプリット
(Δ)の最適値は、約0.1eVであり、ここでEG は
半導体のダイレクトバンドギャップであり、λC は対応
するカットオフ波長である。カットオフ波長以下では、
材料は不透明になる。他の波長での動作に対しては、材
料Alx Ga1-x Sbに対して、異なったx値を利用す
る。(約1.55μm〜1.70μmの範囲で達成でき
る。)n−Al0.1 Ga0.9 Sbを、室温で、3次非線
形特性の最適スイッチングデバイスにおける活性材料と
して利用することによって、以前には予測できなかった
種々の結果がもたらされる。前述のAliberの実験
によれば、300Kにおいて、n−Al0.1 Ga0.9 S
bは、EG =0.84eVおよびλC =1.48μmの
値を有するようになる。この値λC =1.48μmは所
望の動作波長の1.55μmより十分に低いので、この
材料はλ=1.55μmにおいて比較的透明になる。同
時に、この動作波長は約2桁分の光学的非線形特性の強
力な共鳴強調を実現するλC に十分に近似したものであ
る。この波長λC の値が動作波長に近くなればなる程、
材料は更なる非線形特性を示すようになる。しかしなが
ら、λC が動作波長に達すると、材料中の損失が増大す
るようになる。すなわち、非線形特性の強調は、動作波
長により近似するようになるが、この結果、材料におけ
る損失が増大するようになる。n−Al0.1 Ga0.9 S
bに対するX(3) の値は、純粋のn−GaSbの値の約
60%であると見積られる。これは光通信応用における
スイッチの性能を保証する。
下で約2psec(ピコ秒)であると見積られたバレー
トランスファ・プロセスの短い緩和時間によって保証さ
れる。
記載してあるが、本発明の原理は、他の光デバイス、例
えば、ロジックゲート、フリップフロップ、メモリ素
子、増幅器等に、同様に適用できるものである。
Alx Ga1-x Sb材料(xは約0.1)を利用するこ
とによって、約λ=1.55μmの動作波長として、室
温で3次非線形特性を呈する光スイッチが得られるよう
になる。これら特性を有する、このような光スイッチは
以前には開示されていない。
って最も重要な波長(λ=1.55μm)で効率的な非
線形光学素子を実現できるデバイス構造および活性材料
にあり、短距離通信(例えば、建物間、または市内の建
物間での通信)に対しては、発散はファクタとしては重
要なものではないので、短距離通信システムでは、λ=
1.55μmよりも更に好適な波長(理想的には、可視
スペクトル内の波長)で設計することが望ましいもので
ある。1.55μmの波長で実施される本発明の原理を
利用して、効率的な非線形光学素子を、このような他の
波長で設計することもできる。特に、このデバイスの活
性材料は、以下の2つの要件を満たす必要がある。 1)系のフォトンエネルギより少し上側のダイレクトバ
ンドギャップ(Γにおける)を有すること。 2)ΓにおけるE0 レベルより約0.1eV上側に副伝
導帯(XまたはLにおける)を有すること。
スファ非線形特性を最適化することは、前述した。
ら要件を満たしている。 1)室温での(AlGaIn)As系において、
Ga(AsP)レーザの波長範囲が含まれる(0.65
μm≦λ≦0.84μmのレーザ光を放出する)。しか
し、この波長範囲には、0.6328μmにおける可視
He−Neレーザは含まれない。 2)室温での(AlGaIn)P系では、
y P1-y 系で達成すべきである。
バイスの好適実施例について、図面を参照しながら詳述
したが、本発明はこれに限定されず、その技術思想の範
囲内であれば、種々の変形および変更を加え得ること
は、当業者であれば明白である。
性を有する非線形効果を利用した光スイッチが得られ
る。
である。
を表すグラフである。
形例を表す線図である。
Claims (17)
- 【請求項1】約1.55μmの波長λで動作する室温の
3次非線形光スイッチにおいて、Alx Ga1-x Sb
(xは約0.1)より成る材料を有することを特徴とす
る光スイッチ。 - 【請求項2】請求項1記載の、約1.55μmの波長λ
で動作する室温の3次非線形光スイッチにおいて、前記
材料は約0.8eVの遷移エネルギ(EG )を呈するこ
とを特徴とする光スイッチ。 - 【請求項3】請求項2記載の、約1.55μmの波長λ
で動作する室温の3次非線形光スイッチにおいて、前記
材料はカットオフ波長(λC )を有し、このカットオフ
波長によって、この材料が、透明性を呈すると共に、動
作波長において、光学的非線形特性の共鳴強調を実現で
きることを特徴とする光スイッチ。 - 【請求項4】請求項3記載の、約1.55μmの波長λ
で動作する室温の3次非線形光スイッチにおいて、前記
カットオフ波長λC の値を約1.48μmとしたことを
特徴とする光スイッチ。 - 【請求項5】請求項1記載の、約1.55μmの波長λ
で動作する室温の3次非線形光スイッチにおいて、前記
材料は、カットオフ波長(λC )を有し、このカットオ
フ波長によって、前記材料が透明性を呈すると共に、動
作波長において、光学的非線形特性の共鳴強調を実現で
きることを特徴とする光スイッチ。 - 【請求項6】系のフォトンエネルギより少し上側のバン
ドギャップ(Γにおいて)を有すると共に、予め決めら
れた波長のΓにおけるE0 レベルより約0.1eVだけ
上の副伝導帯(XまたはLにおいて)を有する材料を有
することを特徴とする室温の3次非線形光スイッチ。 - 【請求項7】請求項6記載の室温の3次非線形光スイッ
チにおいて、前記材料は、約0.635〜0.672μ
mの波長範囲で動作する(AlGaIn)Asであるこ
とを特徴とする光スイッチ。 - 【請求項8】請求項6記載の室温の3次非線形光スイッ
チにおいて、前記材料は、約0.56〜0.65μmの
波長範囲で動作する(AsGaIn)Pであることを特
徴とする光スイッチ。 - 【請求項9】請求項6記載の室温の3次非線形光スイッ
チにおいて、前記材料は、約1.55μmの波長λで動
作するために、xの値が約0.1であるAlx Ga1-x
Sbであることを特徴とする光スイッチ。 - 【請求項10】系のフォトンエネルギより少し上側のバ
ンドギャップ(Γにおいて)を有すると共に、予め決め
られた波長のΓにおけるE0 レベルより約0.1eVだ
け上の副伝導帯(XまたはLにおいて)を有する材料を
有する室温の3次非線形光デバイスにおいて、この光デ
バイスを、ロジックゲート、フリップフロップ、メモリ
素子および増幅器より成るグループより選択したことを
特徴とする光デバイス。 - 【請求項11】請求項10記載の室温の3次非線形光デ
バイスにおいて、前記材料は、約0.635〜0.67
2μmの波長範囲で動作する(AlGaIn)Asであ
ることを特徴とする光デバイス。 - 【請求項12】請求項10記載の室温の3次非線形光デ
バイスにおいて、前記材料は、約0.56〜0.65μ
mの波長範囲で動作する(AlGaIn)Pであること
を特徴とする光デバイス。 - 【請求項13】請求項10記載の室温の3次非線形光デ
バイスにおいて、前記材料は、約1.55μmの波長λ
で動作するために、xの値が約0.1であるAlx Ga
1-x Sbであることを特徴とする光デバイス。 - 【請求項14】請求項10記載の室温の3次非線形光デ
バイスにおいて、前記光デバイスは、ファブリ・ペロ構
造に基づいて作製されていることを特徴とする光デバイ
ス。 - 【請求項15】請求項14記載の室温の3次非線形光デ
バイスにおいて、前記材料は、約0.635〜0.67
2μmの波長範囲で動作する(AlGaIn)Asであ
ることを特徴とする光デバイス。 - 【請求項16】請求項14記載の室温の3次非線形光デ
バイスにおいて、前記材料は、約0.56〜0.65μ
mの波長範囲で動作する(AlGaIn)Pであること
を特徴とする光デバイス。 - 【請求項17】請求項14記載の室温の3次非線形光デ
バイスにおいて、前記材料は、約1.55μmの波長λ
で動作するために、xを約0.1としたAlx Ga1-x
Sbであることを特徴とする光デバイス。
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