JPH09237334A - 印判の印面検査装置における印面画像収集方法 - Google Patents

印判の印面検査装置における印面画像収集方法

Info

Publication number
JPH09237334A
JPH09237334A JP8267453A JP26745396A JPH09237334A JP H09237334 A JPH09237334 A JP H09237334A JP 8267453 A JP8267453 A JP 8267453A JP 26745396 A JP26745396 A JP 26745396A JP H09237334 A JPH09237334 A JP H09237334A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stamp
seal
face
image
characters
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8267453A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Kawashima
島 浩 二 川
Hiroaki Kawamoto
本 広 昭 川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Electronics Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority to JP8267453A priority Critical patent/JPH09237334A/ja
Publication of JPH09237334A publication Critical patent/JPH09237334A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)
  • Image Input (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 印判の印面検査装置における印面画像収集方
法において、印判の印面が透明な合成樹脂製のものであ
ってもその印材表面に形成された印面の画像を収集可能
とする。 【解決手段】 印判の印材2の下面側に弾力性を有する
クッション材11を介在させ、該印材2の印面上には曇
りガラス13をそのつや消し面を下にして押し付け、こ
の曇りガラス13の上方から拡散照明光15を照射し、
上記押し付けられた曇りガラス13の上面に透けて見え
る印面の文字及び記号14を撮像装置5で撮像すること
により、上記印判の印面の画像データを収集することが
できる。特に、上記クッション材11を暗色系の色彩が
付された材料から成るものとした場合は、上記印材2が
透明な合成樹脂製のものであってもその印材表面に形成
された印面の画像を収集することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばIC(集積
回路)などの半導体装置の表面にメーカー名、品番、型
番等を捺印するのに使用する印判の印材表面に形成され
た印面の良否を判定する印判の印面検査装置における印
面画像収集方法に関し、特に上記印材が透明な合成樹脂
製のものであってもその印材表面に形成された印面の画
像を収集することができる印面画像収集方法に関する。
【0002】
【従来の技術】印判の印面検査装置は、本出願人によっ
て特願平7−242449号で提案されており、図6に
示すように、印判1の先端面に設けられ合成ゴム又は合
成樹脂製の印材2の表面に所定の文字及び記号が彫刻さ
れた印面3を検査対象とし、上記印材2の印面3に対し
て光源4により斜め上方から照射光L1 を照射し、上記
印面3からの反射光L2 を上記印判1の上方に設けた撮
像装置5で撮像し、この撮像された印面3の画像データ
と正しい印面3の画像データからなる基準データとを比
較判定部6で比較して上記印面3の良否を判定するよう
になっている。なお、図6において、符号7a,7bは
上記印判1の一端部を保持するチャックを示し、符号8
は上記撮像装置5で撮像した印面3の画像データを記憶
する第一のメモリを示し、符号9は正しい印面3の画像
データからなる基準データを記憶する第二のメモリを示
し、符号10は図示外の自動彫刻システムにより上記印
面3の文字等を彫刻する場合のオリジナルの彫刻データ
を記憶する第三のメモリを示している。
【0003】上記印判1は、図7に示すように、適当な
硬度の合成ゴム又は透明な合成樹脂製の印材2の表面
に、所定の文字及び記号が彫刻されて印面3を形成して
いる。上記印材2の裏面には弾力性を有するクッション
材11が介在されており、このクッション材11を介し
て木材又は合成樹脂製の台部材12に接着されている。
【0004】このような印判1の先端面に設けた印材2
の表面に形成された印面3に、図6に示す光源4により
斜め上方、例えば45°の投射角θで照射光L1 を照射す
ると、図8に示すように、印面3に彫刻された凹凸の断
面形状を有する文字や記号に当って反射光L2 が発生す
る。このとき、上記印面3の文字や記号の凹凸形状の立
上がり側面は略垂直となっているので、この立上がり側
面に照射された照明光L1 は、ほとんど水平方向より下
方に反射され、その反射光L3 は図6に示す撮像装置5
には入射しない。従って、この部分は影のように認識さ
れる。これに対して、文字や記号の凹凸形状の上面のパ
ターン部分は水平面となっているので、このパターン部
分に照射された照明光L1 は、ほとんど垂直上方に反射
され、図6に示す撮像装置5に反射光L2 として入射す
る。従って、この文字や記号のパターン部分の反射光L
2 を撮像して印面3の画像データが収集され、この収集
した画像データは、図6に示す第一のメモリ8に記憶さ
れる。
【0005】このようにして収集された印面3の画像デ
ータの一例は、図9に示すように、例えば「HITAC
HI」の文字を表裏反転した状態で、文字のパターン部
分は輝度が高く例えば白で表示され、その周りには輝度
が低く例えば黒で表示された陰が生じたものとなる。そ
して、この陰の囲まれた輝度の高い白い部分で上記印面
3の文字や記号を認識していた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の印判の印面検査装置における印面画像収集方法にお
いては、印材2が合成ゴム製の場合は、印面3の文字及
び記号の凹凸形状により、図8に示すように垂直上方の
反射光L2 と水平方向より下方の反射光L3 とにはっき
り区別され、図9に示すように収集された画像データの
輝度差により上記印面3の文字や記号を認識できるが、
上記印材2が透明な合成樹脂製の場合は、図8において
斜め上方から照射された照明光L1 は、印面3の文字及
び記号の凹凸形状により矢印L2 ,L3 のように反射さ
れると共に、一部の光が上記凹凸形状の内部に入射して
その内部で乱反射し、凹凸形状の全体が光を発している
ように見えるものであった。従って、印面3の文字や記
号の輪郭がはっきりせず、その文字や記号を認識できな
いことがあった。このことから、印面検査のために有効
な印面3の画像を収集できないことがあった。この結
果、印面検査装置において印判1の印面3の良否を判定
できないことがあった。
【0007】そこで、本発明は、このような問題点に対
処し、印材が透明な合成樹脂製のものであってもその印
材表面に形成された印面の画像を収集することができる
印判の印面検査装置における印面画像収集方法を提供す
ることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による印判の印面検査装置における印面画像
収集方法は、印判の先端面に設けられ合成ゴム又は合成
樹脂製の印材の表面に所定の文字及び記号が彫刻された
印面を検査対象とし、上記印材の印面に対して斜め上方
から照明光を照射し、上記印面からの反射光を上記印判
の上方に設けた撮像装置で撮像し、この撮像された印面
の画像データと正しい印面の画像データからなる基準デ
ータとを比較して上記印面の良否を判定する印判の印面
検査装置におけて、上記印材の下面側に弾力性を有する
クッション材を介在させ、該印材の印面上には曇りガラ
スをそのつや消し面を下にして押し付け、この曇りガラ
スの上方から拡散照明光を照射し、上記押し付けられた
曇りガラスの上面に透けて見える印面の文字及び記号を
撮像装置で撮像することにより、上記印判の印面の画像
データを収集するものである。
【0009】また、上記曇りガラスに代えて、透明な押
圧部材を半透明なシート材を介して上記印材の印面上に
押し付け、この透明な押圧部材の上方から拡散照明光を
照射し、上記押し付けられた透明な押圧部材の上面に透
けて見える印面の文字及び記号を撮像装置で撮像しても
よい。
【0010】さらに、上記クッション材は、暗色系の色
彩が付された材料から成るものとしてもよい。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳細に説明する。図1〜図2は本発明に
よる印面画像収集方法の第1の実施形態を示す説明図で
あり、図6はこの印面画像収集方法が適用される印判の
印面検査装置の概略構成を示す説明図である。まず、印
判の印面検査装置は、例えばICなどの半導体装置の表
面にメーカー名、品番、型番等を捺印する印判の印材表
面に形成された印面の良否を判定するもので、図6に示
すように、チャック7a,7bと、光源4と、撮像装置
5と、第一のメモリ8と、第二のメモリ9と、第三のメ
モリ10と、比較判定部6とを有して成る。
【0012】上記チャック7a,7bは、印判1の一端
部を保持するもので、矢印A,Bのように外側方から内
側へ移動して上記印判1を挟み込んで固定するようにな
っている。なお、上記印判1は、図7に示すように、木
材又は合成樹脂製の台部材12の先端面に、弾力性を有
するクッション材11が接着され、このクッション材1
1を間に介在してその上面に合成ゴム又は合成樹脂製の
印材2が接着されている。さらに、この印材2の表面に
は、所定の文字及び記号が彫刻されて印面3を形成して
いる。そして、上記チャック7a,7bは、上記のよう
に構成された印判1の台部材12の例えば下端部を保持
するようになっている。
【0013】光源4は、上記印材2の印面3に対して斜
め上方から照明光L1 を照射するもので、従来公知の点
光源又は線光源又は面光源から成り、その投射角θは例
えば45°とされている。撮像装置5は、上記照明光L1
を受けた印面3からの反射光L2 を入射して撮像するも
ので、例えばTVカメラ又はCCDカメラなどから成
り、上記印材2の印面3に対して垂直上方に設けられて
いる。
【0014】第一のメモリ8は、上記撮像装置5で撮像
した印面3の文字や記号の画像データを記憶するもので
ある。また、第二のメモリ9は、正しい印面3の画像デ
ータからなる基準データを記憶するもので、印材2に正
しく彫刻された印面3を有する印判1を選択して予め上
記撮像装置5で撮像した画像データを基準データとして
記憶すればよい。さらに、第三のメモリ10は、図示外
の自動彫刻システムにより上記印面3の文字等を彫刻す
る場合のオリジナルの彫刻データを記憶するもので、こ
のオリジナルの彫刻データを上記の基準データとして用
いる場合は、その彫刻データを上記第二のメモリ9に転
送して記憶させればよい。
【0015】そして、比較判定部6は、上記第一のメモ
リ8から出力される印面3の画像データを入力すると共
に第二のメモリ9から出力される基準データを入力し、
両データを比較して印判1の印面3の良否を判定するも
ので、第一のメモリ8からの画像データの内容が第二の
メモリ9からの基準データの内容とすべて同一のときは
上記印面3は良好と判定してOKの信号を出力し、上記
両データの内容に異なるものがあるときは上記印面3は
不良と判定してNGの信号を出力するようになってい
る。
【0016】次に、このような構成の印判の印面検査装
置を使用して実施する第1の実施形態の印面画像収集方
法について、図1及び図2を参照して説明する。まず、
図1において、印材2の下面側に弾力性を有するゴムシ
ートなどのクッション材11を介在させる。次に、上記
印材2の印面3上には曇りガラス13をそのつや消し面
を下にして押し付ける。このとき、図2に示すように、
上記印面3上に凹凸形状で形成された文字及び記号14
の凸形の上端面に、上記曇りガラス13のつや消し面が
密着するように適当な圧力で押し付ける必要がある。こ
れにより。曇りガラス13のつや消し面の微少な凹凸部
が、上記文字及び記号14の凸形の上端面部材によって
部分的に埋められた形となり、そのつや消し面が一時的
に平面状となって光を透過する状態となる。従って、文
字及び記号14の部分が透けて見えるようになる。
【0017】次に、この状態で図2に示すように、上記
曇りガラス13の上方から光源4によって拡散照明光1
5を照射する。このとき、拡散照明光15を得るため
に、光源4として例えばリング状の蛍光灯を用いればよ
いが、点光源の場合はその前方に拡散板を配置すればよ
い。この拡散照明光15を照射することにより、上記曇
りガラス13の上面に透けて見える文字及び記号14の
全体を照明することができる。
【0018】次に、上記押し付けられた曇りガラス13
の上面に透けて見える印面3の文字及び記号14を、図
2に示すように、撮像装置5で撮像する。このとき、印
材2が合成ゴム製の場合は、その合成ゴムに付された色
彩そのものが上記曇りガラス13の上面に透けて見える
ので、この透けて見える色彩により上記印面3の文字及
び記号の内容を撮像することができる。また、上記印材
2が透明な合成樹脂製の場合は、図1及び図2に示すク
ッション材11を例えば黒や青などの暗色系の色彩が付
された材料から成るものとすればよい。このときは、上
記クッション材11の暗色系の色彩が、透明な合成樹脂
製の印材2を透過し、さらにこの印材2の印面3上に押
し付けられた曇りガラス13のうち上記印面3の文字及
び記号14の部分だけを透過して、そのクッション材1
1に付された色彩そのものが上記曇りガラス13の上面
に透けて見えるので、この透けて見える色彩により上記
印面3の文字及び記号の内容を撮像することができる。
【0019】上記撮像装置5で撮像することにより印判
1の印面3の画像データが収集され、この収集した画像
データは図6に示す第一のメモリ8に記憶される。この
ようにして収集された印面3の画像データの一例は、図
3に示すように、例えば「HITACHI」の文字を表
裏反転した状態の文字パターン像となる。従って、上記
印材2の表面に実際に彫刻された所定の文字及び記号1
4そのもののパターンを撮像した画像データが得られ、
印面3の文字や記号を直接的に認識することができる。
【0020】次に、本発明による印面画像収集方法の第
2の実施形態を説明する。図4〜図5は第2の実施形態
を示す説明図である。ただし、第1の実施形態と同一の
部分には同じ符号が付してある。また、第2の実施形態
が適用される印判の印面検査装置は、第1の実施形態が
適用される上述した図6の印判の印面検査装置と同様で
あるため、ここでは説明を省略する。
【0021】図4において、第2の実施形態の印面画像
収集方法が第1の実施形態の印面画像収集方法と異なる
点は、印材2の印面3上に押し付けられる曇りガラス1
3(図1参照)に代えて、透明な押圧部材としての例え
ば透明ガラス16と、半透明シート材17とを使用し、
この透明ガラス16を半透明シート材17を介して印材
2の印面3上に押し付けて印面画像を収集する点であ
る。その他の点は第1の実施形態と同様であり、以下で
は上記の相違点を中心に説明する。
【0022】第1の実施形態と同様に下面側にクッショ
ン材11を介在させた印材2の印面3上には、この印面
3全体を覆う大きさで十分に薄い半透明シート材17が
配置され、その半透明シート材17は、さらに上方に位
置する透明ガラス16によって印面3に押し付けられ
る。このとき、図5に示すように、印面3上に形成され
た文字及び記号14の凸形の上端面に、半透明シート材
17が密着するように上記透明ガラス16を適当な圧力
で押し付ける必要がある。この透明ガラス16への押圧
力は、上記半透明シート材17が十分に薄いため、第1
の実施形態における曇りガラス13への押圧力よりも低
くすることができる。これにより印面3に加わる圧力が
低減されるので、半透明シート材17及び透明ガラス1
6の圧接による印面3の文字及び記号14部分の変形等
が防止される。この半透明シート材17に密着する文字
及び記号14の部分が、半透明シート材17を透過して
透明ガラス16の上面に透けて見えるようになる。な
お、半透明シート材17の色彩としては、透けて見える
文字及び記号14の部分をより明確にするために、印材
2が合成ゴム製の場合にはその合成ゴムに付された色彩
と対照的なもの、或いは印材2が透明な合成樹脂製の場
合にはクッション材11に付された色彩と対照的なもの
を用いることが好ましい。
【0023】次に、この状態で図5に示すように、上記
透明ガラス16の上方から第1の実施形態と同様の光源
4によって拡散照明光15を照射する。これにより透明
ガラス16の上面に透けて見える文字及び記号14の部
分の全体が照明されて、この文字及び記号14の内容が
第1の実施形態と同様の撮像装置5で撮像される。この
とき撮像される画像は、上記のように透明ガラス16の
押圧力を低くして文字及び記号14部分が変形等しない
ようにされているため、歪み等の殆どない印面画像とな
る。
【0024】上記撮像装置5で撮像することにより印判
1の印面3の画像データが収集され、この収集した画像
データは、第1の実施形態と同様に、上述の図6に示し
た第一のメモリ8に記憶される。このようにして収集さ
れた印面3の画像データは、上述の図3に示した一例と
同様に、例えば「HITACHI」の文字を表裏反転し
た状態の文字パターン像となる。
【0025】従って、第2の実施形態でも、第1の実施
形態と同様に、印材2の表面に実際に彫刻された所定の
文字及び記号14そのもののパターンを撮像した画像デ
ータが得られ、印面3の文字や記号を直接的に認識する
ことができる。加えて、第2の実施形態では、印面3に
加わる圧力を低くすることができ、歪み等の殆どないよ
り正確な印面3の画像データが収集可能である。
【0026】なお、上述した第2の実施形態では、透明
な押圧手段として透明ガラス16を用いる場合を示した
が、本発明の実施に使用する透明な押圧手段はこれに限
るものではなく、例えば透明なプラスチック部材等を用
いてもよい。
【0027】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されたので、
印判の印材の下面側に弾力性を有するクッション材を介
在させ、該印材の印面上には曇りガラスをそのつや消し
面を下にして押し付け、この曇りガラスの上方から拡散
照明光を照射し、上記押し付けられた曇りガラスの上面
に透けて見える印面の文字及び記号を撮像装置で撮像す
ることにより、上記印材の表面に実際に彫刻された所定
の文字及び記号そのもののパターンを撮像した印面の画
像データを収集することができ、従来と異なり印面の文
字や記号を直接的に認識することができる。
【0028】また、上記曇りガラスに代えて、透明な押
圧部材を半透明なシート材を介して上記印材の印面上に
押し付けることにより、その印面に加わる圧力が低減さ
れるため、上記印材の表面に形成された所定の文字及び
記号の変形等を防止して、より正確な印面の画像データ
を収集することができる。
【0029】特に、上記クッション材を暗色系の色彩が
付された材料から成るものとした場合は、上記印材が透
明な合成樹脂製のものであってもその印材表面に形成さ
れた印面の画像を収集することができる。従って、印判
の印材が合成ゴム製或いは透明な合成樹脂製のものであ
っても、印面検査装置において印面検査のために有効な
印面の画像を収集でき、その印面の良否を判定すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による印面画像収集方法の第1の実施形
態を示す斜視説明図である。
【図2】同じく印面画像収集方法の第1の実施形態を示
す正面説明図である。
【図3】本発明の印面画像収集方法により収集された印
面の画像データの一例を示す説明図である。
【図4】本発明による印面画像収集方法の第2の実施形
態を示す斜視説明図である。
【図5】同じく印面画像収集方法の第2の実施形態を示
す正面説明図である。
【図6】本発明及び従来の印面画像収集方法が適用され
る印判の印面検査装置の概略構成を示す説明図である。
【図7】印判の構成を示す斜視説明図である。
【図8】従来の印面画像収集方法において印面の斜めの
照明光を照射してその反射光により上記印面の画像を収
集する状態を示す断面説明図である。
【図9】従来の印面画像収集方法により収集された印面
の画像データの一例を示す説明図である。
【符号の説明】
1 印判 2 印材 3 印面 4 光源 5 撮像装置 6 比較判定部 7a,7b チャック 8 第一のメモリ 9 第二のメモリ 10 第三のメモリ 11 クッション材 12 台部材 13 曇りガラス 14 文字及び記号 15 拡散照明光 16 透明ガラス 17 半透明シート材

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 印判の先端面に設けられ合成ゴム又は合
    成樹脂製の印材の表面に所定の文字及び記号が彫刻され
    た印面を検査対象とし、上記印材の印面に対して斜め上
    方から照明光を照射し、上記印面からの反射光を上記印
    判の上方に設けた撮像装置で撮像し、この撮像された印
    面の画像データと正しい印面の画像データからなる基準
    データとを比較して上記印面の良否を判定する印判の印
    面検査装置において、上記印材の下面側に弾力性を有す
    るクッション材を介在させ、該印材の印面上には曇りガ
    ラスをそのつや消し面を下にして押し付け、この曇りガ
    ラスの上方から拡散照明光を照射し、上記押し付けられ
    た曇りガラスの上面に透けて見える印面の文字及び記号
    を撮像装置で撮像することにより、上記印判の印面の画
    像データを収集することを特徴とする印判の印面検査装
    置における印面画像収集方法。
  2. 【請求項2】 上記曇りガラスに代えて、透明な押圧部
    材を半透明なシート材を介して上記印材の印面上に押し
    付け、この透明な押圧部材の上方から拡散照明光を照射
    し、上記押し付けられた透明な押圧部材の上面に透けて
    見える印面の文字及び記号を撮像装置で撮像することを
    特徴とする請求項1記載の印判の印面検査装置における
    印面画像収集方法。
  3. 【請求項3】 上記クッション材は、暗色系の色彩が付
    された材料から成るものであることを特徴とする請求項
    1又は2記載の印判の印面検査装置における印面画像収
    集方法。
JP8267453A 1995-12-28 1996-10-08 印判の印面検査装置における印面画像収集方法 Pending JPH09237334A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8267453A JPH09237334A (ja) 1995-12-28 1996-10-08 印判の印面検査装置における印面画像収集方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7-352176 1995-12-28
JP35217695 1995-12-28
JP8267453A JPH09237334A (ja) 1995-12-28 1996-10-08 印判の印面検査装置における印面画像収集方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09237334A true JPH09237334A (ja) 1997-09-09

Family

ID=26547875

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8267453A Pending JPH09237334A (ja) 1995-12-28 1996-10-08 印判の印面検査装置における印面画像収集方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09237334A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101403601B1 (ko) * 2012-06-29 2014-06-03 양창수 카메라 방식에 의한 도장 인식기

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101403601B1 (ko) * 2012-06-29 2014-06-03 양창수 카메라 방식에 의한 도장 인식기

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS62184908A (ja) タイヤの自動判別方法
KR101240564B1 (ko) 광학 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법
CN110132981A (zh) 一种滤光片中片外观和尺寸一体化检测设备及检测方法
KR101762165B1 (ko) 외관 검사 장치
US20130334312A1 (en) Reading device
JPH11337504A (ja) ガラス板の欠陥識別検査方法および装置
US20100245560A1 (en) Method and device for imaging a fragmentation pattern formed in a ply of toughened glass
JP2000502474A (ja) ラベルを配置するための改良されたプロセス及び装置
WO2018198248A1 (ja) 容器の検査装置及び容器の検査方法
KR20120109547A (ko) 외관 검사 장치
JP2591914B2 (ja) 穿孔装置
JPH09237334A (ja) 印判の印面検査装置における印面画像収集方法
JPH0962831A (ja) 撮像装置および照明装置
JP3149339B2 (ja) 刻印分離方法および光学部材検査装置
JP2507421B2 (ja) 被検体の観測装置
JP2004294097A (ja) 容器の口部検査装置
JP2893612B2 (ja) 窪み観測装置
JPH10129611A (ja) 刻印の読み取り方法
JP2014185878A (ja) 取付状態判定装置及び取付状態判定方法
JPH07174539A (ja) 画像処理装置
CN217110832U (zh) 一种用于产品检测的光源装置
JP2002005638A (ja) シート状ワークの検査方法及び装置
CN211603665U (zh) 光学模组及具有该光学模组的取像装置
JP3402994B2 (ja) 半田ペースト良否判定方法
JP3757471B2 (ja) ワイヤボンディング検査方法