JPH09236668A - Manufacture of x-ray detector - Google Patents
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- JPH09236668A JPH09236668A JP8356355A JP35635596A JPH09236668A JP H09236668 A JPH09236668 A JP H09236668A JP 8356355 A JP8356355 A JP 8356355A JP 35635596 A JP35635596 A JP 35635596A JP H09236668 A JPH09236668 A JP H09236668A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、シンチレータ，フ
ォトダイオードを含むＸ線検出要素を複数チャンネル分
配列してなる検出モジュールを有するＸ線ＣＴスキャナ
装置に用いられるＸ線検出器の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an X-ray detector used in an X-ray CT scanner device having a detection module in which X-ray detection elements including scintillators and photodiodes are arranged for a plurality of channels.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種のＸ線ＣＴスキャナ装置は概略次
のようになっている。すなわち、Ｘ線検出器と、Ｘ線発
生装置により駆動されるＸ線源とは、撮影域を挟んで対
向配置され、この撮影域内には被検体が置かれる。2. Description of the Related Art An X-ray CT scanner device of this type is roughly as follows. That is, the X-ray detector and the X-ray source driven by the X-ray generator are arranged to face each other across the imaging area, and the subject is placed in this imaging area.
【０００３】そして、Rotate／Rotate方式や第３世代方
式などと称されているＸ線ＣＴスキャナ装置であれば、
Ｘ線源とＸ線検出器との対が被検体の回りを回転するこ
とにより多方向からのＸ線投影データを得るものであ
り、Stationary／Rotate方式や第４世代方式などと称さ
れているＸ線ＣＴスキャナ装置であれば、Ｘ線源だけが
被検体の回りを回転することにより多方向からのＸ線投
影データを得るものである。If it is an X-ray CT scanner device called the Rotate / Rotate system or the third generation system,
A pair of an X-ray source and an X-ray detector obtains X-ray projection data from multiple directions by rotating around the subject, and is called the Stationary / Rotate system or the fourth generation system. In the case of the X-ray CT scanner device, only the X-ray source rotates around the subject to obtain X-ray projection data from multiple directions.
【０００４】この場合、Ｘ線源とＸ線検出器との対又は
Ｘ線源を回転することにより得られる、被検体に対する
多方向からの透過Ｘ線に基づく投影デ―タは、Ｘ線検出
器、Ｉ／Ｖ変換器，積分器，マルチプレクサ，及びＡ／
Ｄ変換器等を有するデ―タ収集器により収集され、再構
成処理系に送られ、該再構成処理系の前処理部にてＸ線
検出器及びデ―タ収集器の特性のバラツキ等を補正し、
処理後デ―タを高速再構成ユニットに送ってここで再構
成処理を施してスライス像を得、表示系にて表示を行な
うようにしている。In this case, projection data obtained by rotating a pair of an X-ray source and an X-ray detector or an X-ray source based on transmitted X-rays from multiple directions with respect to an object is used for X-ray detection. Converter, I / V converter, integrator, multiplexer, and A / V
Data is collected by a data collector having a D converter or the like and sent to a reconstruction processing system. At the preprocessing unit of the reconstruction processing system, variations in the characteristics of the X-ray detector and the data collector are collected. Correct,
After processing, the data is sent to a high-speed reconstruction unit where reconstruction processing is performed to obtain a slice image, which is displayed on a display system.
【０００５】このような第３世代や第４世代のＸ線ＣＴ
スキャナ装置におけるＸ線検出器として、複数のＸ線検
出要素（以下「チャンネル」と称する。）を有する検出
モジュール（以下「モジュール」と称する。）を配設し
てなるもの（固体検出器と呼れることもある。）が用い
られる。一般には、第３世代のＸ線ＣＴスキャナ装置の
Ｘ線検出器としては、上述の固体検出器の形式以外に電
離箱形式のものも用いられ、第４世代のＸ線ＣＴスキャ
ナ装置のＸ線検出器としては、上述の固体検出器のもの
が用いられる。例えば、現存の第４世代Ｘ線ＣＴスキャ
ナ装置のＸ線検出器には、モジュール数が９６、１モジ
ュールが２４チャンネル、そして、チャンネル数が９６
×２４＝２３０４のものがある。Such third-generation and fourth-generation X-ray CT
As an X-ray detector in a scanner device, a detector module (hereinafter referred to as "module") having a plurality of X-ray detection elements (hereinafter referred to as "channels") is provided (referred to as a solid-state detector). Sometimes used) is used. Generally, as the X-ray detector of the third-generation X-ray CT scanner device, an ionization chamber type device is used in addition to the above-mentioned solid-state detector type, and the X-ray detector of the fourth-generation X-ray CT scanner device is used. As the detector, the solid-state detector described above is used. For example, in the X-ray detector of the existing fourth generation X-ray CT scanner device, the number of modules is 96, one module is 24 channels, and the number of channels is 96.
X24 = 2304.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】一方、Ｘ線ＣＴスキャ
ナ装置のスキャン形態には、連続スキャンモードのよう
に連続してＸ線管球を回転させ且つＸ線照射を行うモー
ドがある。このようなモードでは、Ｘ線管球とりわけ陽
極の温度上昇は極めて高くなってしまう。そのため、一
般に、強制空冷や液体冷却等により陽極の温度上昇を抑
制するようにしているが、近時の大容量のＸ線管球にお
いては、従来に無い温度上昇が見られるようになってき
ている。この温度上昇により、従来から言われているＸ
線管球の寿命低下を招く外に、次のような問題点が本発
明者の研究により明らかになった。On the other hand, the scanning mode of the X-ray CT scanner apparatus includes a mode in which the X-ray tube is continuously rotated and X-ray irradiation is performed, as in the continuous scan mode. In such a mode, the temperature rise of the X-ray tube, especially the anode, becomes extremely high. Therefore, in general, the temperature rise of the anode is suppressed by forced air cooling, liquid cooling, or the like, but in the recent large-capacity X-ray tube, a temperature rise that has not been seen in the past has been observed. There is. Due to this temperature rise, it has been said that X
Besides the shortening of the life of the filament tube, the following problems were clarified by the present inventors' research.
【０００７】すなわち、Ｘ線管球の温度上昇による陽極
高温化により、管球焦点が移動し、それに伴って検出器
近傍でのＸ線照射（入射）位置が本来の位置からずれて
しまう、ことである。That is, as the temperature of the X-ray tube rises and the temperature of the anode rises, the focus of the tube moves, which causes the X-ray irradiation (incident) position near the detector to deviate from its original position. Is.
【０００８】そして、この種のＸ線ＣＴスキャナ装置に
おいては、上述の焦点移動が原因して、再構成画像は、
リング状アーチファクトの現れた画像となってしまい、
臨床に使えない画像となってしまうことがある。In this type of X-ray CT scanner device, the reconstructed image is
An image with ring-shaped artifacts appears,
The image may become unusable clinically.
【０００９】そこで本発明は、Ｘ線管球の温度上昇によ
る陽極が高温化して管球焦点が移動した場合であって
も、再構成画像上に、リング状アーチファクトが現れな
いようできるＸ線検出器の製造方法にある。Therefore, according to the present invention, even when the temperature of the anode is increased by the temperature rise of the X-ray tube and the tube focus is moved, the X-ray detection can prevent the ring-shaped artifact from appearing on the reconstructed image. It is in the method of manufacturing vessels.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、シンチレータおよびスペ−サを交互に配列
しそれらを接合して複数チャンネル分からなるシンチレ
−タ部を形成し、この形成されたシンチレ−タ部のスラ
イス方向端面を研磨することにより平坦に形成し、この
研磨後のシンチレ−タ部を基板上に配置された複数チャ
ンネル分のフォトダイオ−ドに対して固着してなるＸ線
検出器の製造方法とした。In order to achieve this object, the present invention provides a scintillator section consisting of a plurality of channels by alternately arranging scintillators and spacers and joining them. X is formed by polishing the end face of the scintillator portion in the slice direction to be flat, and fixing the polished scintillator portion to a plurality of channels of photodiodes arranged on the substrate. The method for manufacturing the line detector is used.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下本発明にかかるＸ線検出器の
一実施例を第１図〜第５図を参照して説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of an X-ray detector according to the present invention will be described below with reference to FIGS.
【００１２】第１図は本実施例にかかる検出モジュール
の斜視図、第２図は検出モジュールにおけるシンチレー
タ部のスライス方向端面が平坦に形成されているもであ
る場合（本実施例）とスライス方向端面が平坦に形成さ
れていないもである場合についての感度特性を示す図、
第３図〜第５図は同実施例のシンチレータ部の製造法を
示す図であって、第３図はシンチレータ部を仮接合して
いる状況を示す斜視図、第４図は第３図で仮接合したシ
ンチレータ部を本接合する状況及びそれに使用する治具
を示す分解斜視図、第５図は第４図で本接合したシンチ
レータ部のスライス方向端面を平坦に形成する状況を示
す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a detection module according to this embodiment, and FIG. 2 is a case where the end face in the slice direction of the scintillator portion in the detection module is formed flat (this embodiment) and the slice direction. The figure which shows the sensitivity characteristic about the case where the end face is not formed flat,
3 to 5 are views showing a method of manufacturing the scintillator portion of the same embodiment, FIG. 3 is a perspective view showing a state in which the scintillator portion is temporarily joined, and FIG. FIG. 5 is an exploded perspective view showing a situation of temporarily joining the temporarily joined scintillator portion and a jig used for the same, and FIG. 5 is a perspective view showing a situation of flatly forming the slice direction end face of the permanently joined scintillator portion in FIG. 4. is there.
【００１３】第１図に示すように、基板１上には接着剤
等によりフォトダイオード２が固着され、このフォトダ
イオード２は、同基板１上に配設された導電パターンに
電気的接続がなされている。フォトダイオード２上に
は、薄い短冊状のシンチレータ３と薄い短冊状のスペー
サ４とを相互に接合してなるシンチレータ部５が接着剤
等で固着されている。このシンチレータ部５のスライス
方向端面５Ａは、後述する手法により例えば凹凸の差が
５００μｍ程度の平坦度に形成されている。図示の矢印
はＸ線照射方向、図示の破線矢印は検出モジュールの配
列方向を示している。As shown in FIG. 1, a photodiode 2 is fixed on a substrate 1 with an adhesive or the like, and the photodiode 2 is electrically connected to a conductive pattern arranged on the substrate 1. ing. On the photodiode 2, a scintillator portion 5 formed by joining a thin strip-shaped scintillator 3 and a thin strip-shaped spacer 4 to each other is fixed with an adhesive or the like. The slice-direction end surface 5A of the scintillator portion 5 is formed to have a flatness with a difference in unevenness of about 500 μm by a method described later. The arrows shown in the figure indicate the X-ray irradiation direction, and the broken arrows in the figure indicate the arrangement direction of the detection modules.
【００１４】次に、上記の如く構成された本実施例の作
用について説明する。すなわち、再構成画像上に現れた
リング状アーチファクトは、Ｘ線検出器のスライス方向
の感度分布のバラツキに起因していることは知られてい
る。Next, the operation of this embodiment constructed as described above will be described. That is, it is known that the ring-shaped artifact appearing on the reconstructed image is caused by the variation in the sensitivity distribution in the slice direction of the X-ray detector.
【００１５】しかし、感度分布のバラツキと、Ｘ線検出
器及びそれを構成している単体検出モジュールとに関し
て対応関係があるか否かは未だ詳しく解明されていな
い。そこで、発明者は、研究により前述の関係を解明し
た。まず、感度分布にバラツキがある従来例におけるシ
ンチレータ部５´（スライス方向端面が平坦に形成され
ていないもの。）について、当該シンチレータ部５´の
スライス方向に細いＸ線ビームを入射した場合の感度特
性は、第２図の破線曲線に示すように、入射位置に関
し、中心から左右非対称になっている。However, it has not been clarified in detail whether or not there is a correspondence relationship between the variation in the sensitivity distribution and the X-ray detector and the single detection module constituting the X-ray detector. Therefore, the inventor has elucidated the above-mentioned relationship through research. First, regarding the scintillator portion 5 ′ (where the end face in the slice direction is not formed flat) in the conventional example in which the sensitivity distribution varies, the sensitivity when a thin X-ray beam is incident in the slice direction of the scintillator portion 5 ′. The characteristics are asymmetric with respect to the incident position from the center, as indicated by the broken line curve in FIG.
【００１６】そこで発明者は、前述した左右非対称が、
感度分布のバラツキ要因ではないかと想定し、左右対称
となるべく本体に対し幾つかの加工を施して検討したと
ころ、その中で、シンチレータ部のスライス方向端面
を、研磨により凹凸の差が５００μｍ程度の平坦度にな
るように形成した結果、第２図の実線曲線に示すよう
に、左右対称となった。Therefore, the inventor has found that the above-mentioned left-right asymmetry is
Assuming that this is a factor that causes variations in sensitivity distribution, we examined the main body by subjecting it to some processing to make it bilaterally symmetrical. As a result, the end face of the scintillator in the slice direction was polished to a difference of approximately 500 μm. As a result of forming so as to have flatness, as shown by the solid line curve in FIG.
【００１７】そこで、スライス方向端面が平坦に形成さ
れたシンチレータ部５を持つ検出モジュール複数を配設
してＸ線ＣＴスキャナ装置のＸ線検出器を構成し、Ｘ線
管球の温度上昇によってその陽極が高温化して管球焦点
が移動した状況でスキャンしたところ、リング状アーチ
ファクトの発生しない再構成画像が得られた。Therefore, an X-ray detector of an X-ray CT scanner device is constructed by arranging a plurality of detection modules each having a scintillator portion 5 whose end face in the slicing direction is formed flat. When a scan was performed with the anode heated to a high temperature and the tube focus moved, a reconstructed image without ring-shaped artifacts was obtained.
【００１８】以上のように、本実施例によれば、スライ
ス方向の感度分布のバラツキの原因が、シンチレータ部
の端面の非平坦性にあるとの解明結果に基づき、シンチ
レータ部５のスライス方向端面を平坦に形成したことに
より、スライス方向の感度分布のバラツキがなくなり、
これにより、リング状アーチファクトの現れない再構成
画像が得られるものとなる。As described above, according to the present embodiment, the cause of the variation in the sensitivity distribution in the slice direction is the non-flatness of the end surface of the scintillator portion, based on the result of elucidation. By forming a flat, there is no variation in the sensitivity distribution in the slice direction,
As a result, a reconstructed image in which ring-shaped artifacts do not appear can be obtained.
【００１９】次に、上述したシンチレータ部５の製造法
の一例を第３図〜第５図を参照して説明する。すなわ
ち、第３図に示すように、１ミリ程度の厚さの短冊状の
シンチレータ３と、０．１ミリ程度の厚さの短冊状のス
ペーサ４とを例えば２４チャンネル分（２４個のシンチ
レータ、２４個のスペーサ）につき相互間に接着剤を塗
布して貼り付けて、仮接合のシンチレータ部５を得る。Next, an example of a method for manufacturing the above-mentioned scintillator section 5 will be described with reference to FIGS. That is, as shown in FIG. 3, a strip-shaped scintillator 3 having a thickness of about 1 mm and a strip-shaped spacer 4 having a thickness of about 0.1 mm are provided for, for example, 24 channels (24 scintillators, An adhesive is applied to each of the 24 spacers, and the spacers are attached to each other to obtain the temporarily bonded scintillator portion 5.
【００２０】次に、第４図に示すように、仮接合のシン
チレータ部５を、当て付け機構を有する本接合用治具６
にセットする。本接合用治具６は、Ｌ字状下面ブロック
６Ａ，一側面板６Ｂ1 ，他側面板６Ｂ2 ，逆Ｌ字状上面
ブロック６Ｃからなり、それらのシンチレータ部５に当
接する部位には弾性材としてゴム７が設けられている。
そして、Ｌ字状下面ブロック６Ａに、シンチレータ部
５が置かれ、その両側に一側面板６Ｂ1 ，他側面板６Ｂ
2 が置かれ、さらに、シンチレータ部５の上面に被さる
ように逆Ｌ字状上面ブロック６Ｃが置かれ、これらは図
示しないねじによって図示破線矢印方向に相互に締め付
けら、ゴム７を介して仮接合のシンチレータ部５は、特
に、シンチレータ３，スペーサ４の積層方向について圧
縮され、スライス方向及びスライス幅方向について寸法
出しがなされる。シンチレータ３は機械的強度が弱いた
め、破壊が生じないようにして締め付け作業を行うもの
とする。なお、以上により圧縮により寸法出しし且つ本
接合したシンチレータ部５の面上には接着剤の食み出し
が出る。Next, as shown in FIG. 4, the temporary bonding scintillator portion 5 is fixed to the main bonding jig 6 having a fitting mechanism.
Set to. The main bonding jig 6 is composed of an L-shaped lower surface block 6A, one side plate 6B1, the other side surface plate 6B2, and an inverted L-shaped upper surface block 6C. 7 is provided.
The scintillator portion 5 is placed on the L-shaped lower surface block 6A, and one side plate 6B1 and the other side plate 6B are provided on both sides thereof.
2 is placed, and further, an inverted L-shaped upper surface block 6C is placed so as to cover the upper surface of the scintillator portion 5, which are mutually tightened in the direction of the broken line arrow by screws (not shown) and temporarily joined via the rubber 7. In particular, the scintillator part 5 is compressed in the stacking direction of the scintillator 3 and the spacer 4 and dimensioned in the slice direction and the slice width direction. Since the scintillator 3 has weak mechanical strength, the tightening work is performed so as not to cause breakage. Note that, due to the above, the adhesive is extruded on the surface of the scintillator portion 5 which has been dimensioned by compression and which has been main-bonded.
【００２１】次に、第５図に示すように、シンチレータ
部５のがらす両面を２枚の小ガラス板８Ａ，８Ｂで挟
み、その端面を、酸化セシウム等の研磨用と粒９を散ら
したガラス基台８Ｃに立てて、小ガラス板８Ａ，８Ｂで
挟みこんだシンチレータ部５の端部を図示矢印の方向に
動かし、該端部を研磨する。この研磨時においても、シ
ンチレータ部５に破壊が生じないようにして動かすもの
とする。また、シンチレータ部５の面上に食み出した接
着剤についても同様の手法又は類似の手法で研磨して取
り除くものとする。なお、小ガラス板８Ａ，８Ｂ，ガラ
ス基台８Ｃは、これらにより挟まれるシンチレータ３が
壊れないように、該シンチレータ３と同程度の堅さを有
する材質であることを理由として採用したものである
が、他の材質のものを用いてもよい。Next, as shown in FIG. 5, both sides of the scintillator portion 5 to be slid are sandwiched between two small glass plates 8A and 8B, and the end faces thereof are sprinkled with grains 9 for polishing with cesium oxide or the like. The end of the scintillator portion 5 sandwiched between the small glass plates 8A and 8B is moved in the direction of the arrow in the drawing while standing on the glass base 8C, and the end is polished. Even during this polishing, the scintillator portion 5 is moved so as not to be broken. Further, the adhesive that has squeezed out on the surface of the scintillator portion 5 is also polished and removed by a similar method or a similar method. The small glass plates 8A, 8B and the glass base 8C are adopted because they are made of a material having the same hardness as the scintillator 3 so as not to break the scintillator 3 sandwiched by them. However, other materials may be used.
【００２２】以上によりスライス方向端面が平坦に形成
されたシンチレータ部５が製作され、これを第１図に示
す検出モジュールとして組み立てる。そして、このスラ
イス方向端面が平坦に形成されたシンチレータ部５を持
つ検出モジュール複数を配設して、第６図に示すよう
に、第３世代方式Ｘ線ＣＴスキャナ装置用Ｘ線検出器１
６を構成する。As described above, the scintillator portion 5 having the flat end face in the slice direction is manufactured, and is assembled as the detection module shown in FIG. Then, a plurality of detection modules having scintillator portions 5 whose end faces in the slice direction are formed flat are arranged, and as shown in FIG. 6, an X-ray detector 1 for a third-generation X-ray CT scanner device.
6 is constituted.
【００２３】すなわち、第６図に示すように、図示しな
い寝台，寝台制御装置を含む架台１０は、Ｘ線源１２
と、このＸ線源１２に対し撮影域内に置かれる被検体１
４を挟んで配置される本発明の多チャンネル型Ｘ線検出
器１６とを有している。ここで、Ｘ線源１２と多チャン
ネル型Ｘ線検出器１６との対は円軌道を描いて高速回転
し得る。That is, as shown in FIG. 6, the gantry 10 including a bed and a bed control device (not shown) includes an X-ray source 12
And the subject 1 placed within the imaging area with respect to the X-ray source 12.
4 and a multi-channel type X-ray detector 16 of the present invention, which is arranged so as to sandwich it. Here, the pair of the X-ray source 12 and the multi-channel type X-ray detector 16 can rotate at a high speed in a circular orbit.
【００２４】Ｘ線検出器１６の各チャンネル出力である
投影データは、Ｉ／Ｖ変換器，積分器，マルチプレク
サ，Ａ／Ｄ変換器等をチャンネル分を有するデ―タ収集
器１８により収集し、収集デ―タを再構成処理系２０に
送ってここで再構成処理を施してスライス像を得、表示
系２２に表示を行なうようになっている。The projection data output from each channel of the X-ray detector 16 is collected by an I / V converter, integrator, multiplexer, A / D converter, etc. by a data collector 18 having channels. The collected data is sent to the reconstruction processing system 20, where reconstruction processing is performed to obtain a slice image, which is displayed on the display system 22.
【００２５】また、Ｘ線源１２は、Ｘ線発生装置２４に
より制御された高電圧が供給され、架台１０は、架台・
寝台制御器２６により制御されるようになっている。そ
して、Ｘ線発生装置２４及び架台・寝台制御器２６は、
システム制御器２８の制御下にあり、このシステム制御
器２８は、コンソール３０と表示系２２とによりスキャ
ン条件の設定及びメッセージ表示等を制御し得る。シス
テム制御器２８は、Ｘ線発生装置２４に対し設定スキャ
ン条件に基づくＸ線制御信号を与え、再構成処理系２０
に対し設定スキャン条件に基づく再構成制御信号を与え
るものとなっている。Further, the X-ray source 12 is supplied with a high voltage controlled by the X-ray generator 24, and the gantry 10 is
It is controlled by the bed controller 26. Then, the X-ray generator 24 and the gantry / bed controller 26 are
It is under the control of the system controller 28, and the system controller 28 can control the setting of scan conditions, message display, etc. by the console 30 and the display system 22. The system controller 28 gives an X-ray control signal based on the set scan condition to the X-ray generator 24, and the reconstruction processing system 20.
, A reconstruction control signal based on the set scan condition is given.
【００２６】このような構成のＸ線ＣＴスキャナ装置に
よれば、Ｘ線管球の温度上昇によってその陽極が高温化
して管球焦点が移動した状況で、スキャンすると、リン
グ状アーチファクトの発生しない再構成画像が得られ
る。According to the X-ray CT scanner apparatus having such a structure, when the temperature of the X-ray tube rises and its anode temperature rises and the tube focus moves, the scanning does not cause ring-shaped artifacts. A constituent image is obtained.
【００２７】本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、例えば、上述の検出モジュールにより環状Ｘ線検
出器を構成し、第４世代方式Ｘ線ＣＴスキャナ装置に適
用することもできる。この他、本発明の要旨を逸脱しな
い範囲で種々変形して実施できるものである。The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be applied to, for example, a fourth-generation X-ray CT scanner device by forming an annular X-ray detector with the above-mentioned detection module. In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
【００２８】[0028]
【発明の効果】本発明によれば、Ｘ線管球の温度上昇に
よる陽極が高温化して管球焦点が移動した場合であって
も、Ｘ線ＣＴスキャナ装置による再構成画像上に、リン
グ状アーチファクトが現れないようできるＸ線検出器を
製造することができる。According to the present invention, the ring-shaped image is reconstructed by the X-ray CT scanner device even when the temperature of the X-ray tube rises and the focus of the X-ray tube moves and the focus of the X-ray tube moves. X-ray detectors can be manufactured that are free of artifacts.
【図１】 本発明のＸ線検出器の一実施例にかかる検出
モジュールの斜視図FIG. 1 is a perspective view of a detection module according to an embodiment of an X-ray detector of the present invention.
【図２】 本発明のＸ線検出器の一実施例にかかる検出
モジュールにおけるシンチレータ部のスライス方向端面
が平坦に形成されているもである場合（本実施例）とス
ライス方向端面が平坦に形成されていないもである場合
についての感度特性を示す図FIG. 2 is a case where the end face in the slice direction of the scintillator portion in the detection module according to one embodiment of the present invention is formed flat (this embodiment) and the end face in the slice direction is formed flat. Figure showing the sensitivity characteristics for the case where it is not
【図３】 本発明におけるシンチレータ部の製造法の一
実施例を示す図であって、シンチレータ部を仮接合して
いる状況を示す斜視図FIG. 3 is a diagram showing an example of a method of manufacturing a scintillator portion according to the present invention, and is a perspective view showing a state in which the scintillator portion is temporarily joined.
【図４】 本発明におけるシンチレータ部の製造法の一
実施例を示す図であって、図３で仮接合したシンチレー
タ部を本接合する状況及びそれに使用する治具を示す分
解斜視図FIG. 4 is a diagram showing an embodiment of a method of manufacturing a scintillator portion according to the present invention, which is an exploded perspective view showing a state of main joining of the scintillator portion temporarily joined in FIG. 3 and a jig used therefor.
【図５】 本発明におけるシンチレータ部の製造法の一
実施例を示す図であって、図４で本接合したシンチレー
タ部のスライス方向端面を平坦に形成する状況を示す斜
視図5 is a diagram showing an embodiment of a method of manufacturing a scintillator portion according to the present invention, which is a perspective view showing a state in which the slice-direction end face of the scintillator portion which has been permanently joined in FIG. 4 is formed flat.
【図６】 本発明の製造方法によるＸ線検出器を用いた
第３世代方式Ｘ線ＣＴスキャナ装置の構成図FIG. 6 is a configuration diagram of a third-generation X-ray CT scanner device using an X-ray detector according to the manufacturing method of the present invention.
１…基板 ２…フォトダイオード ３…シンチレ−タ ４…スペーサ ５…シンチレータ部 ６…本接合用治具 ７…ゴム ８Ａ，８Ｂ…小ガラス板 ８Ｃ…ガラス基台 ９…と粒 １０…架台 １２…Ｘ線源 １４…被検体 １６…多チャンネル型Ｘ線検出器 １８…デ―タ収集器 ２０…再構成処理系 ２２…表示系 ２４…Ｘ線発生装置 ２６…架台・寝台制御器 ２８…システム制御器 ３０…システム制御器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate 2 ... Photodiode 3 ... Scintillator 4 ... Spacer 5 ... Scintillator part 6 ... Main joining jig 7 ... Rubber 8A, 8B ... Small glass plate 8C ... Glass base 9 ... Grain 10 ... Stand 12 ... X-ray source 14 ... Subject 16 ... Multi-channel X-ray detector 18 ... Data collector 20 ... Reconstruction processing system 22 ... Display system 24 ... X-ray generator 26 ... Stand / bed controller 28 ... System control Device 30 ... System controller
Claims (1)
列しそれらを接合して複数チャンネル分からなるシンチ
レ−タ部を形成し、この形成されたシンチレ−タ部のス
ライス方向端面を研磨することにより平坦に形成し、こ
の研磨後のシンチレ−タ部を基板上に配置された複数チ
ャンネル分のフォトダイオ−ドに対して固着してなるＸ
線検出器の製造方法。1. A scintillator and spacers are alternately arranged and joined together to form a scintillator portion composed of a plurality of channels, and the end face in the slice direction of the formed scintillator portion is polished to flatten it. And the scintillator portion after polishing is fixed to the photodiodes for a plurality of channels arranged on the substrate.
Method for manufacturing line detector.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8356355A JPH09236668A (en) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | Manufacture of x-ray detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8356355A JPH09236668A (en) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | Manufacture of x-ray detector |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17140789A Division JPH0619452B2 (en) | 1989-07-03 | 1989-07-03 | X-ray detector and X-ray CT scanner device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236668A true JPH09236668A (en) | 1997-09-09 |
Family
ID=18448619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8356355A Pending JPH09236668A (en) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | Manufacture of x-ray detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09236668A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009523498A (en) * | 2006-01-16 | 2009-06-25 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | Smart radiation detector module |
| KR100939414B1 (en) * | 2007-10-23 | 2010-01-28 | 이주상 | X-ray detector |
Citations (5)
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| JPS58219471A (en) * | 1982-06-16 | 1983-12-20 | Toshiba Corp | Manufacture of radiation detector |
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1996
- 1996-12-26 JP JP8356355A patent/JPH09236668A/en active Pending
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