JPH09232077A - Optical element and manufacture therefor - Google Patents

Optical element and manufacture therefor

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JPH09232077A
JPH09232077A JP8061768A JP6176896A JPH09232077A JP H09232077 A JPH09232077 A JP H09232077A JP 8061768 A JP8061768 A JP 8061768A JP 6176896 A JP6176896 A JP 6176896A JP H09232077 A JPH09232077 A JP H09232077A
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light
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靖典 鬼島
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical element to stably emit the light by arranging and evaporating a host material and a guest material different in a light emitting wave length on a single evaporating boat in the same vacuum evaporation device, and a manufacturing method therefor. SOLUTION: In an organic EL element 21 where an ITO(indium tin oxide) transparent electrode 5, a hole transport layer 4, a light emitting layer 3 and a metallic electrode 1 are formed on a glass substrate 6, a guest material having a sublimating temperature lower than a host material of the light emitting layer 3 is arranged in the same evaporating boat, and these are sublimated according to respective sublimating temperatures, and the light emitting layer 3 is formed by doping the guest material to the host material in the object concentration distribution.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光学的素子及びそ
の製造方法に関し、例えば、自発光の平面型ディスプレ
イであって、特に、有機薄膜を電界発光層に用いる有機
電界発光ディスプレイに好適な光学的素子及びその製造
方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical element and a method for manufacturing the same, and, for example, an optical element suitable for an organic electroluminescent display which is a self-luminous flat display and particularly uses an organic thin film as an electroluminescent layer. Element and a manufacturing method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、マルチメディア指向の商品を初め
として、人間と機械とのインターフェースの重要性が高
まってきている。人間がより快適に効率良く機械操作す
るためには、操作される機械からの情報を誤りなく、簡
潔に、瞬時に、充分な量で取り出す必要があり、そのた
めに、ディスプレイを初めとする様々な表示素子につい
て研究が行われている。
2. Description of the Related Art In recent years, the importance of interfaces between humans and machines, such as multimedia-oriented products, has been increasing. In order for humans to operate the machine more comfortably and efficiently, it is necessary to extract information from the operated machine in a simple, instantaneous, and sufficient amount without errors. Research has been conducted on display elements.

【0003】また、機械の小型化に伴い、表示素子の小
型化、薄型に対する要求も日々、高まっているのが現状
である。
Further, with the miniaturization of machines, the demand for smaller and thinner display elements is increasing daily.

【0004】例えば、ノート型パーソナルコンピュー
タ、ノート型ワードプロセッサなどの、表示素子一体型
であるラップトップ型情報処理機器の小型化には目を見
張る進歩があり、それに伴い、その表示素子である液晶
ディスプレイに関しての技術革新も素晴らしいものがあ
る。
[0004] For example, there has been a remarkable progress in miniaturization of laptop information processing devices which are integrated with display elements, such as notebook personal computers and notebook word processors. There are also great innovations regarding

【0005】今日、液晶ディスプレイは、様々な製品の
インターフェースとして用いられており、ラップトップ
型情報処理機器はもちろんのこと、小型テレビや時計、
電卓を初めとして、我々の日常使用する製品に多く用い
られている。
[0005] Today, the liquid crystal display is used as an interface for various products.
It is widely used in our everyday products, including calculators.

【0006】これらの液晶ディスプレイは液晶が低電圧
駆動、低消費電力であるという特徴を生かし、小型から
大容量表示デバイスに至るまで、人間と機械のインター
フェースとして、表示素子の中心として研究されてき
た。
[0006] These liquid crystal displays have been studied as small-sized to large-capacity display devices as interfaces between humans and machines as the center of display elements, taking advantage of the characteristics that liquid crystals are driven at low voltage and low power consumption. .

【0007】しかし、この液晶ディスプレイは自発光性
でないため、バックライトを必要とし、このバックライ
ト駆動に、液晶を駆動するよりも大きな電力を必要とす
るため、結果的に内蔵蓄電池等では使用時間が短くな
り、使用上の制限がある。
However, since this liquid crystal display is not self-luminous, it requires a backlight, and this backlight requires more power than driving the liquid crystal. Is shorter and there are restrictions on use.

【0008】更に、液晶ディスプレイは、視野角が狭い
ため、大型ディスプレイ等の大型表示素子には適してい
ないと共に、液晶分子の配向状態による表示方法である
ので、視野角の中においても、角度によりコントラスト
が変化してしまうのも大きな問題である。
Further, since the liquid crystal display has a narrow viewing angle, it is not suitable for a large display element such as a large display, and since it is a display method based on the alignment state of liquid crystal molecules, the viewing angle depends on the angle. Changing the contrast is also a big problem.

【0009】また、駆動方式から考えれば、駆動方式の
一つであるアクティブマトリクス方式は、動画を扱うに
十分な応答速度を示すが、TFT(薄膜トランジスタ)
駆動回路を用いるため、画素欠陥により画面サイズの大
型化が困難である。TFT駆動回路を用いることは、コ
ストダウンの点から考えても好ましくない。
In terms of the driving method, the active matrix method, which is one of the driving methods, exhibits a response speed sufficient for handling moving images, but it is a TFT (thin film transistor).
Since a driving circuit is used, it is difficult to increase the screen size due to pixel defects. It is not preferable to use a TFT drive circuit from the viewpoint of cost reduction.

【0010】別の駆動方式である、単純マトリクス方式
は、低コストである上に画面サイズの大型化が比較的容
易であるが、動画を扱うに十分な応答速度を有していな
いという問題がある。
The simple matrix method, which is another driving method, is low in cost and relatively easy to increase the screen size, but has a problem that it does not have a sufficient response speed for handling moving images. is there.

【0011】これに対し、自発光性表示素子は、プラズ
マ表示素子、無機電界発光素子、有機電界発光素子等が
研究されている。
On the other hand, as a self-luminous display element, a plasma display element, an inorganic electroluminescent element, an organic electroluminescent element and the like have been studied.

【0012】プラズマ表示素子は低圧ガス中でのプラズ
マ発光を表示に用いたもので、大型化、大容量化に適し
ているが、薄型化、コストの面での問題を抱えている。
また、駆動に高電圧の交流バイアスを必要とし、携帯用
デバイスには適していない。
The plasma display element uses plasma light emission in a low pressure gas for display, and is suitable for large size and large capacity, but has problems in thinning and cost.
Further, it requires a high voltage AC bias for driving, and is not suitable for portable devices.

【0013】無機電界発光素子は、緑色発光ディスプレ
イ等が商品化されたが、プラズマ表示素子と同様に、交
流バイアス駆動であり、駆動には数百V必要であり、ま
たフルカラー化は困難であると思われる。
As the inorganic electroluminescent device, a green light emitting display and the like have been commercialized, but like the plasma display device, it is driven by an AC bias and requires several hundreds of volts for driving, and it is difficult to realize full color. I think that the.

【0014】一方、有機化合物による電界発光現象は、
1960年代前半に、強く螢光を発生するアントラセン単結
晶へのキャリア注入による発光現象が発見されて以来、
長い期間、研究されてきたが、低輝度、単色で、しかも
単結晶であったため、有機材料へのキャリア注入という
基礎的研究として行われていた。
On the other hand, the electroluminescence phenomenon due to the organic compound is
Since the discovery of a luminescence phenomenon due to carrier injection into anthracene single crystal that strongly emits fluorescence in the first half of the 1960s,
Although it has been researched for a long period of time, it was performed as a basic research of carrier injection into an organic material because of its low brightness, monochromatic color and single crystal.

【0015】しかし、1987年にEastman Kodak 社のTang
らが低電圧駆動、高輝度発光が可能なアモルファス発光
層を有する積層構造の有機薄膜電界発光素子を発表して
以来、各方面で、R、G、Bの三原色の発光、安定性、
輝度上昇、積層構造、作製方法等の研究開発が盛んに行
われている。
However, in 1987, Eastman Kodak's Tang
Since they announced an organic thin film electroluminescent device with a laminated structure having an amorphous light emitting layer capable of low voltage driving and high brightness light emission, the light emission of the three primary colors of R, G and B, stability,
Research and development such as increase in brightness, laminated structure, and manufacturing method are actively conducted.

【0016】さらに、有機材料の特徴であるが、分子設
計等により様々な新規材料が発明され、直流低電圧駆
動、薄型、自発光性等の優れた特徴を有する、有機電界
発光表示素子のカラーディスプレイへの応用研究も盛ん
に行われ始めている。
Further, regarding the characteristic of the organic material, various novel materials have been invented due to the molecular design and the like, and the color of the organic light emitting display device has excellent characteristics such as direct current low voltage drive, thinness and self-luminance. Applied research on displays is also being actively conducted.

【0017】有機電界発光素子(以下、有機EL素子と
称することがある。)は、1μm以下の膜厚であり、電
流を注入することにより電気エネルギーを光エネルギー
に変換して面状に発光するなど、自発光型の表示デバイ
スとして理想的な特徴を有している。
The organic electroluminescence device (hereinafter, also referred to as an organic EL device) has a film thickness of 1 μm or less, and converts electric energy into light energy by injecting a current to emit light in a plane. It has ideal characteristics as a self-luminous display device.

【0018】図22は、従来の有機EL素子10の一例を示
す。この有機EL素子10は、透明基板(例えばガラス基
板)6上に、ITO(Indium tin oxide)透明電極5、
ホール輸送層4、発光層3、電子輸送層2、陰極(例え
ばアルミニウム電極)1を例えば真空蒸着法で順次製膜
したものである。
FIG. 22 shows an example of a conventional organic EL element 10. This organic EL element 10 includes an ITO (Indium tin oxide) transparent electrode 5, a transparent substrate (for example, a glass substrate) 6,
The hole transport layer 4, the light emitting layer 3, the electron transport layer 2, and the cathode (for example, an aluminum electrode) 1 are sequentially formed by, for example, a vacuum vapor deposition method.

【0019】そして、陽極である透明電極5と陰極1と
の間に直流電圧7を選択的に印加することによって、透
明電極5から注入されたキャリアとしてのホールがホー
ル輸送層4を経て、また陰極1から注入された電子が電
子輸送層2を経て移動し、電子−ホールの再結合が生
じ、ここから所定波長の発光8が生じ、透明基板6の側
から観察できる。
Then, by selectively applying a DC voltage 7 between the transparent electrode 5 which is an anode and the cathode 1, holes as carriers injected from the transparent electrode 5 pass through the hole transport layer 4 and The electrons injected from the cathode 1 move through the electron transport layer 2 to cause electron-hole recombination, which causes emission 8 of a predetermined wavelength, which can be observed from the transparent substrate 6 side.

【0020】発光層3には、例えばアントラセン、ナフ
タリン、フェナントレン、ピレン、クリセン、ペリレ
ン、ブタジエン、クマリン、アクリジン、スチルベン等
の発光物質を使用してよい。これは、電子輸送層2に含
有させることができる。
For the light emitting layer 3, a light emitting substance such as anthracene, naphthalene, phenanthrene, pyrene, chrysene, perylene, butadiene, coumarin, acridine, stilbene may be used. This can be contained in the electron transport layer 2.

【0021】図23は、別の従来例を示すものであり、こ
の例においては、発光層3を省略し、電子輸送層2に上
記の亜鉛錯体又は螢光物質との混合物を含有させ、電子
輸送層2とホール輸送層4との界面から所定波長の発光
18が生じるように構成した有機EL素子20を示すもので
ある。
FIG. 23 shows another conventional example. In this example, the light emitting layer 3 is omitted, and the electron transporting layer 2 is made to contain a mixture with the above zinc complex or a fluorescent substance. Light emission of a predetermined wavelength from the interface between the transport layer 2 and the hole transport layer 4
18 shows an organic EL element 20 configured so that 18 occurs.

【0022】図24は、上記の有機EL素子の具体例を示
す。即ち、各有機層(ホール輸送層4、発光層3又は電
子輸送層2)の積層体を陰極1と陽極5との間に配する
が、これらの電極をマトリクス状に交差させてストライ
プ状に設け、輝度信号回路30、シフトレジスタ内蔵の制
御回路31によって時系列に信号電圧を印加し、多数の交
差位置(画素)にてそれぞれ発光させるように構成して
いる。
FIG. 24 shows a specific example of the above organic EL element. That is, a laminated body of each organic layer (hole transport layer 4, light emitting layer 3 or electron transport layer 2) is disposed between the cathode 1 and the anode 5, and these electrodes are crossed in a matrix to form a stripe shape. A signal voltage is applied in time series by the luminance signal circuit 30 and the control circuit 31 with a built-in shift register, and light is emitted at each of a large number of intersection positions (pixels).

【0023】従って、このような構成により、ディスプ
レイとして勿論、画像再生装置としても使用可能とな
る。なお、上記のストライプパターンを赤(R)、緑
(G)、青(B)の各色毎に配し、フルカラー又はマル
チカラー用として構成することができる。
Therefore, with such a structure, it can be used not only as a display but also as an image reproducing apparatus. The above stripe pattern can be arranged for each color of red (R), green (G), and blue (B) to be configured for full color or multi-color.

【0024】こうした有機EL素子を用いた、複数の画
素からなる表示デバイスにおいて、発光する有機薄膜層
2、3、4は一般に、透明電極5と金属電極1との間に
挟まれており、透明電極5側に発光する。
In a display device comprising a plurality of pixels using such an organic EL element, the organic thin film layers 2, 3 and 4 which emit light are generally sandwiched between the transparent electrode 5 and the metal electrode 1 and are transparent. Light is emitted to the electrode 5 side.

【0025】しかし、上記のような有機EL素子も、な
お未解決の問題を有している。
However, the organic EL element as described above still has an unsolved problem.

【0026】例えば、有機EL素子のカラーディスプレ
イへの応用を行う上で、R、G、Bの三原色の安定した
発光は必要不可欠な条件である。しかし、現在の段階で
は、緑色発光材料以外には、ディスプレイに応用可能な
十分な安定性、色度、輝度等を兼ね備えた赤色、及び青
色材料についての報告はなく、各方面で検討されている
のが実情である。また、緑色発光材料として有望なアル
ミニウム−キノリン錯体は色度が若干ずれているのが現
状である。
For example, in applying an organic EL element to a color display, stable light emission of the three primary colors of R, G and B is an essential condition. However, at this stage, there are no reports on red and blue materials that have sufficient stability, chromaticity, and brightness that can be applied to displays, in addition to green light emitting materials, and they are being studied in various fields. Is the reality. In addition, the chromaticity of aluminum-quinoline complex, which is promising as a green light emitting material, is slightly deviated at present.

【0027】従って、理想的には発光層が単体の有機材
料で構成され、発光するのが望ましいが、色度や輝度等
の改善にはホスト−ゲスト系の発光層(ホスト材料:主
たる発光材料、ゲスト材料:添加される発光材料)を作
製し、調節することが必要不可欠である。
Therefore, it is ideal that the light emitting layer is composed of a single organic material and emits light. However, in order to improve chromaticity and brightness, a host-guest light emitting layer (host material: main light emitting material). , Guest material: it is essential to make and adjust the added luminescent material).

【0028】[0028]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
のようなホスト材料及びゲスト材料の如き各発光材料を
組み合わせて、印加電圧に応じて発光波長が変化し、一
つの素子で様々な発光波長が得られる発光素子の如き光
学的素子と、これを比較的簡単に作製することが可能な
製造方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to combine various light emitting materials such as the above host material and guest material so that the light emission wavelength changes depending on the applied voltage, and various light emitting elements can be obtained in one device. An object of the present invention is to provide an optical element such as a light emitting element capable of obtaining an emission wavelength, and a manufacturing method capable of manufacturing the optical element relatively easily.

【0029】[0029]

【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、発光領
域を含む有機層が電極上に設けられている光学的素子に
おいて、前記発光領域の少なくとも一部分が第1の発光
材料と第2の発光材料とを含有し、これらの発光材料に
よる発光波長が互いに異なると共に、前記第1の発光材
料が、前記第2の発光材料よりも高い気化温度を有し、
かつ、電子輸送性及びホール輸送性のうち少なくとも電
子輸送性を有する、光学的素子に係るものである。
That is, according to the present invention, in an optical element in which an organic layer including a light emitting region is provided on an electrode, at least a part of the light emitting region includes a first light emitting material and a second light emitting material. A light emitting material, the light emitting wavelengths of these light emitting materials are different from each other, and the first light emitting material has a higher vaporization temperature than the second light emitting material,
In addition, the present invention relates to an optical element having at least an electron transporting property among an electron transporting property and a hole transporting property.

【0030】本発明はまた、発光領域を含む有機層が電
極上に設けられている光学的素子において、前記発光領
域の一部分が第1の発光材料と第2の発光材料とを含有
し、これらの発光材料による発光波長が互いに異なると
共に、前記第1の発光材料が、前記第2の発光材料より
も高い気化温度を有し、かつ、電子輸送性及びホール輸
送性のうち少なくとも電子輸送性を有し、前記発光領域
の前記一部分の下又は上に、前記第1の発光材料又は前
記第2の発光材料を主成分とする他の発光部分が隣接し
て設けられている光学的素子に係るものである。
The present invention also provides an optical element in which an organic layer including a light emitting region is provided on an electrode, and a part of the light emitting region contains a first light emitting material and a second light emitting material, Emission wavelengths of the light emitting materials are different from each other, the first light emitting material has a higher vaporization temperature than the second light emitting material, and has at least an electron transporting property of an electron transporting property and a hole transporting property. An optical element having, under or above the portion of the light emitting region, another light emitting portion mainly containing the first light emitting material or the second light emitting material. It is a thing.

【0031】本発明はまた、発光領域を含む有機層が電
極上に設けられている光学的素子において、前記発光領
域の少なくとも一部分が第1の発光材料と第2の発光材
料とを含有し、これらの発光材料による発光波長が互い
に異なると共に、前記第1の発光材料が、前記第2の発
光材料よりも低い気化温度を有し、かつ、ホール輸送性
及び電子輸送性のうち少なくともホール輸送性を有す
る、光学的素子に係るものである。
The present invention also provides an optical element in which an organic layer including a light emitting region is provided on an electrode, at least a part of the light emitting region contains a first light emitting material and a second light emitting material, The emission wavelengths of these light emitting materials are different from each other, the first light emitting material has a lower vaporization temperature than that of the second light emitting material, and at least the hole transporting property and the electron transporting property are included. The present invention relates to an optical element having

【0032】本発明はまた、発光領域を含む有機層が電
極上に設けられている光学的素子において、前記発光領
域の一部分が第1の発光材料と第2の発光材料とを含有
し、これらの発光材料による発光波長が互いに異なると
共に、前記第1の発光材料が、前記第2の発光材料より
も低い気化温度を有し、かつ、ホール輸送性及び電子輸
送性のうち少なくともホール輸送性を有し、前記発光領
域の前記一部分の下又は上に、前記第1の発光材料又は
前記第2の発光材料を主成分とする他の発光部分が隣接
して設けられている光学的素子に係るものである。
The present invention also provides an optical element in which an organic layer including a light emitting region is provided on an electrode, a part of the light emitting region contains a first light emitting material and a second light emitting material, Emission wavelengths of the light emitting materials are different from each other, the first light emitting material has a lower vaporization temperature than the second light emitting material, and at least the hole transporting property and the electron transporting property of the hole transporting property. An optical element having, under or above the portion of the light emitting region, another light emitting portion mainly containing the first light emitting material or the second light emitting material. It is a thing.

【0033】本発明の各光学的素子は、気化温度が互い
に異なる上記の第1及び第2の発光材料を組み合わせる
ことによって、発光領域中の各材料の濃度に分布が生じ
るように成膜できるため、印加電圧に応じて発光波長が
変化し、一つの素子で様々な発光波長が得られる可変調
発光素子の如き光学的素子となる。
Each optical element of the present invention can be formed by combining the above-mentioned first and second light emitting materials having different vaporization temperatures so that the concentration of each material in the light emitting region is distributed. The light emitting wavelength is changed according to the applied voltage, and it becomes an optical element such as a variable light emitting element in which various light emitting wavelengths can be obtained by one element.

【0034】また、発光波長が互いに異なる第1の発光
材料及び第2の発光材料を気化させ、これらの発光材料
を含有する発光部分を少なくとも一部に有する発光領域
を有機層の少なくとも一部分として電極上に形成するに
際し、前記第1の発光材料として、前記第2の発光材料
よりも高い気化温度を有し、かつ、電子輸送性及びホー
ル輸送性のうち少なくとも電子輸送性を有する発光材料
を使用する、光学的素子の製造方法に係るものである。
Further, the first light emitting material and the second light emitting material having different light emitting wavelengths are vaporized, and a light emitting region having a light emitting portion containing these light emitting materials is provided in at least a part of the organic layer as an electrode. In forming the above, as the first light emitting material, a light emitting material having a higher vaporization temperature than the second light emitting material and having at least an electron transporting property and an electron transporting property is used. The present invention relates to a method for manufacturing an optical element.

【0035】また、発光波長が互いに異なる第1の発光
材料及び第2の発光材料の少なくとも一方を気化させる
ことによって、これらの発光材料を含有する発光部分
と、この発光部分の下又は上に隣接し、前記第1の発光
材料又は第2の発光材料を主成分とする他の発光部分と
を有機層の少なくとも一部分として電極上に形成するに
際し、前記第1の発光材料として、前記第2の発光材料
よりも高い気化温度を有し、かつ、電子輸送性及びホー
ル輸送性のうち少なくとも電子輸送性を有する発光材料
を使用する、光学的素子の製造方法に係るものである。
By vaporizing at least one of the first light emitting material and the second light emitting material having different light emitting wavelengths from each other, the light emitting portion containing these light emitting materials is adjacent to the light emitting portion below or above the light emitting portion. When forming the first light emitting material or the other light emitting portion containing the second light emitting material as a main component on the electrode as at least a part of the organic layer, the second light emitting material is used as the first light emitting material. The present invention relates to a method for manufacturing an optical element, which uses a light emitting material having a higher vaporization temperature than that of the light emitting material and having at least an electron transporting property among an electron transporting property and a hole transporting property.

【0036】また、発光波長が互いに異なる第1の発光
材料及び第2の発光材料を気化させ、これらの発光材料
を含有する発光部分を少なくとも一部に有する発光領域
を有機層の少なくとも一部分として電極上に形成するに
際し、前記第1の発光材料として、前記第2の発光材料
よりも低い気化温度を有し、かつ、ホール輸送性及び電
子輸送性のうち少なくともホール輸送性を有する発光材
料を使用する、光学的素子の製造方法に係るものであ
る。
Further, the first light emitting material and the second light emitting material having different light emitting wavelengths are vaporized, and a light emitting region having a light emitting portion containing these light emitting materials in at least a part is used as at least a part of the organic layer as an electrode. In forming the above, as the first light emitting material, a light emitting material having a vaporization temperature lower than that of the second light emitting material and having at least hole transporting property among hole transporting property and electron transporting property is used. The present invention relates to a method for manufacturing an optical element.

【0037】また、発光波長が互いに異なる第1の発光
材料及び第2の発光材料の少なくとも一方を気化させる
ことによって、これらの発光材料を含有する発光部分
と、この発光部分の下又は上に隣接し、前記第1の発光
材料又は第2の発光材料を主成分とする他の発光部分と
を有機層の少なくとも一部分として電極上に形成するに
際し、前記第1の発光材料として、前記第2の発光材料
よりも低い気化温度を有し、かつ、ホール輸送性及び電
子輸送性のうち少なくともホール輸送性を有する発光材
料を使用する、光学的素子の製造方法に係るものであ
る。
By vaporizing at least one of the first light emitting material and the second light emitting material having different light emitting wavelengths, the light emitting portion containing these light emitting materials is adjacent to the light emitting portion below or above the light emitting portion. When forming the first light emitting material or the other light emitting portion containing the second light emitting material as a main component on the electrode as at least a part of the organic layer, the second light emitting material is used as the first light emitting material. The present invention relates to a method for manufacturing an optical element, which uses a light emitting material having a vaporization temperature lower than that of a light emitting material and having at least a hole transporting property among hole transporting properties and electron transporting properties.

【0038】本発明の各製造方法によって、本発明の光
学的素子を比較的簡単に製造することができる。そし
て、各発光材料を同一の蒸着源等によって気化させる
と、作製プロセス上においても、設備の面においても負
担が少なく、真空一貫プロセスで特性の良い有機電界発
光素子等の光学的素子を作製することが可能になる。
By the respective manufacturing methods of the present invention, the optical element of the present invention can be manufactured relatively easily. Then, when each light emitting material is vaporized by the same vapor deposition source or the like, an optical element such as an organic electroluminescent element having good characteristics is produced by a vacuum integrated process with less burden on the production process and equipment. It will be possible.

【0039】なお、本発明において、上記の「発光領域
の一部分」とは、「第1の発光材料及び第2の発光材料
の両方を含有する領域」のことである。
In the present invention, the above-mentioned "part of the light emitting region" means "a region containing both the first light emitting material and the second light emitting material".

【0040】また、「気化」とは、「昇華:固体が直接
気体になる現象、及び蒸発:液体又は固体が液体になっ
てから気体になる現象」の両方を含む概念である。
The "vaporization" is a concept including both "sublimation: a phenomenon in which a solid directly becomes a gas, and evaporation: a phenomenon in which a liquid or a solid becomes a liquid and then becomes a gas".

【0041】[0041]

【発明の実施の形態】本発明に基づく光学的素子は、上
記の第2の発光材料の含有量が発光領域において制御さ
れ、そして、その厚み方向に濃度勾配を有し、或いは、
その厚み方向の任意の位置に分散されていることが望ま
しい。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The optical element according to the present invention is such that the content of the second light emitting material is controlled in the light emitting region and has a concentration gradient in the thickness direction, or
It is desirable that they are dispersed at arbitrary positions in the thickness direction.

【0042】上記の光学的素子は、印加電圧に応じて、
その発光スペクトルの色度の変化が実現される。
The above optical element, depending on the applied voltage,
A change in the chromaticity of the emission spectrum is realized.

【0043】上記の素子は、光学的に透明な基体上に、
透明電極、有機ホール輸送層、有機発光層及び/又は有
機電子輸送層、及び金属電極が積層されていることが望
ましい。
The above-mentioned device is prepared by forming on an optically transparent substrate,
It is desirable that a transparent electrode, an organic hole transport layer, an organic light emitting layer and / or an organic electron transport layer, and a metal electrode are laminated.

【0044】これにより、上記の素子は、好適な有機電
界発光素子として構成され、カラーディスプレイ用の素
子としても好適なものとなる。
As a result, the above element is constituted as a suitable organic electroluminescent element and also suitable as an element for a color display.

【0045】本発明の製造方法においては、上記の第2
の発光材料の含有量を発光領域において制御し、発光領
域の厚み方向において濃度勾配を形成させ、或いは、発
光領域の厚み方向の任意の位置に分散させることが望ま
しい。
In the manufacturing method of the present invention, the second
It is desirable to control the content of the light emitting material in the light emitting region, form a concentration gradient in the thickness direction of the light emitting region, or disperse the light emitting material at any position in the thickness direction of the light emitting region.

【0046】そして、光学的に透明な基体上に、透明電
極、有機ホール輸送層、有機発光層及び/又は有機電子
輸送層及び金属電極を積層することが望ましい。
Then, it is desirable to stack a transparent electrode, an organic hole transport layer, an organic light emitting layer and / or an organic electron transport layer and a metal electrode on an optically transparent substrate.

【0047】上記の素子は、好適な有機電界発光素子と
して構成することができ、カラーディスプレイ用の素子
としても好適なものとなる。
The above element can be formed as a suitable organic electroluminescent element, and is also suitable as an element for a color display.

【0048】[0048]

【実施例】以下、本発明の実施例について詳細に説明す
る。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described in detail below.

【0049】図1は、本発明の第1の実施例による有機
EL素子の要部の断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a main part of an organic EL device according to the first embodiment of the present invention.

【0050】本実施例では、図1(a)に示すように、
ガラス基板6上にITO(Indium Tin Oxide)からなる
透明電極5を真空蒸着法により形成し、その上に順次、
TPD(N,N’−ジフェニル−N,N’−ジ(3−メ
チルフェニル)4,4’−ジアミノビフェニル)(構造
式は図6参照)よりなるホール輸送層4、アモルファス
性(以下、同様)のホスト−ゲスト系発光層3、アルミ
ニウムカソード電極1を真空蒸着法により積層し、有機
電界発光素子21を作製している。
In this embodiment, as shown in FIG.
A transparent electrode 5 made of ITO (Indium Tin Oxide) is formed on a glass substrate 6 by a vacuum deposition method, and sequentially formed thereon.
Hole transport layer 4 made of TPD (N, N'-diphenyl-N, N'-di (3-methylphenyl) 4,4'-diaminobiphenyl) (see FIG. 6 for structural formula), amorphous (hereinafter the same. The host-guest light emitting layer 3) and the aluminum cathode electrode 1) are laminated by a vacuum vapor deposition method to fabricate an organic electroluminescent device 21.

【0051】従って、前述した図23と同様に、この有機
電界発光層を有する素子は、発光層3が電子輸送層(又
はホール輸送層)としての作用を兼ね備えたシングルヘ
テロ型の有機電界発光素子である。
Therefore, similar to FIG. 23 described above, the element having this organic electroluminescent layer is a single hetero type organic electroluminescent element in which the light emitting layer 3 also functions as an electron transporting layer (or hole transporting layer). Is.

【0052】この実施例によれば、発光層3をホスト−
ゲスト系発光層として、ホスト材料にアルミニウム−キ
ノリン錯体であるAlq3 (トリス(8−キノリノー
ル)アルミニウム)(構造式は図4参照)を用い、ホス
ト材料よりも昇華温度の低いゲスト材料の組み合わせと
してレーザー色素として一般に用いられているDCM
(4−ジシアノメチレン−6−(p−ジメチルアミノス
チリル)−2−メチル−4H−ピラン)(構造式は図5
参照)を用い、重量比でAlq3 /DCM=6/1の組
成比(後述する蒸着ボート中での組成比)で蒸着し、赤
色発光素子を作製したものである。
According to this embodiment, the light emitting layer 3 is provided as a host.
As the guest-based light-emitting layer, Alq 3 (tris (8-quinolinol) aluminum) (see FIG. 4 for the structural formula), which is an aluminum-quinoline complex, is used as a host material, and a combination of guest materials having a sublimation temperature lower than that of the host material is used. DCM commonly used as laser dye
(4-dicyanomethylene-6- (p-dimethylaminostyryl) -2-methyl-4H-pyran) (the structural formula is shown in FIG.
(Refer to FIG. 3), and a weight ratio of Alq 3 / DCM = 6/1 (a composition ratio in a vapor deposition boat described later) is used for vapor deposition to fabricate a red light emitting device.

【0053】図1(a)のA部を拡大して示した(b)
図のように、発光層3は基本的にはAlq3 主成分の層
3a、Alq3 +DCMの混合層3b、及びDCM主成
分の層3cの3つの層から構成されている。
The portion A of FIG. 1 (a) is shown enlarged (b).
As shown in the figure, the light emitting layer 3 is basically composed of three layers: a layer 3a containing Alq 3 as a main component, a mixed layer 3b containing Alq 3 + DCM, and a layer 3c containing a DCM main component.

【0054】これらの各層は後述する蒸着装置及び蒸着
方法により作製したものであるが、目的とする発光波長
が得られるように、ホスト材料として昇華温度の高いA
lq3 を用い、ゲスト材料として昇華温度の低いDCM
をドープしていることが重要である。
Each of these layers was prepared by the vapor deposition apparatus and vapor deposition method described later, and A having a high sublimation temperature was used as a host material so as to obtain a desired emission wavelength.
using the lq 3, low DCM sublimation temperature as a guest material
It is important to dope.

【0055】即ち、蒸着に際して温度を上げていく場
合、まず昇華温度の低いDCMが主として昇華して層3
cとして蒸着し、続いて昇華温度の高いAlq3 も昇華
し始めてAlq3 とDCMとの混合物が層3bとして蒸
着し、DCMが昇華し終われば最後にAlq3 が主とし
て蒸着した層3aが形成される。
That is, when the temperature is raised during vapor deposition, first, DCM having a low sublimation temperature is mainly sublimated to form the layer 3
was deposited as c, followed by even higher Alq 3 sublimation temperature was deposited as a mixture layer 3b of the sublimation began with Alq 3 and DCM, the layers 3a which is finally Alq 3 After completion DCM sublimates was mainly deposited is formed It

【0056】しかし、厳密には層3cは、TPD層4と
の界面においてはDCMを主成分とする層であり、DC
M主成分の層3cとAlq3 +DCMの層3bとの界面
に近づくに伴って、徐々にAlq3 中のDCMの量が減
少することになるが、DCMの含有率が高い層である。
Strictly speaking, however, the layer 3c is a layer containing DCM as a main component at the interface with the TPD layer 4, and DC
Although the amount of DCM in Alq 3 gradually decreases as it approaches the interface between the layer 3c containing M main component and the layer 3b of Alq 3 + DCM, the content of DCM is high.

【0057】また、Alq3 主成分の層3aは、Alq
3 +DCMの層3bとの界面近傍においてはまだDCM
が混ざっており、これが漸減して金属電極1との界面に
おいてはAlq3 がほぼ 100%となり、Alq3 の含有
率が高く、電子輸送性を有する層として形成される。
The layer 3a containing Alq 3 as a main component is made of Alq 3.
In the vicinity of the interface between 3 + DCM and layer 3b, DCM is still present.
Are mixed and gradually decrease to almost 100% of Alq 3 at the interface with the metal electrode 1, the content of Alq 3 is high, and a layer having an electron transporting property is formed.

【0058】上記のように、本実施例の発光層3は、A
lq3 +DCMの層3bと、これに隣接した発光領域部
分を構成する一方側のDCM主成分の層3cと、発光領
域及び電子輸送性を兼ね備えた他方側のAlq3 主成分
の層3aとからなっている。そして、これらの全てが発
光層の各領域を形成している。
As described above, the light emitting layer 3 of this embodiment is
From the layer 3b of lq 3 + DCM, the layer 3c of the DCM main component on one side constituting the light emitting region portion adjacent thereto, and the layer 3a of the Alq 3 main component on the other side having both the light emitting region and the electron transporting property. Has become. All of these form the respective regions of the light emitting layer.

【0059】また、上記したものとは反対に、ホスト材
料の昇華温度より昇華温度の高いゲスト材料をホスト材
料にドープすることもできる。この場合はホスト材料が
始めに昇華して蒸着するため、ホスト材料はホール輸送
性を有するものとして形成される必要がある。
In contrast to the above, a guest material having a higher sublimation temperature than the sublimation temperature of the host material can be doped into the host material. In this case, since the host material is first sublimated and vapor-deposited, the host material needs to be formed to have a hole transporting property.

【0060】上記のように、ホスト材料にドープするゲ
スト材料の含有量は、後述する真空蒸着装置により任意
に制御することができる。これにより、積層される厚み
方向に含有されるゲスト材料の濃度勾配も任意に形成す
ることができ、或いは、その配置も任意の位置に配する
ことができる。
As described above, the content of the guest material with which the host material is doped can be arbitrarily controlled by the vacuum vapor deposition device described later. Thereby, the concentration gradient of the guest material contained in the laminated thickness direction can be arbitrarily formed, or the arrangement thereof can be arranged at any position.

【0061】発光層3の構成も、上記した図1(b)以
外に、例えば同図(c)のように、DCM主成分の層3
cのない構造にすることもできる。これにより、上記の
ものとは異なった波長の発光を得ることも可能である。
The structure of the light emitting layer 3 is not limited to that shown in FIG. 1B, but as shown in FIG.
A structure without c can also be used. Thereby, it is also possible to obtain light emission of a wavelength different from the above.

【0062】これにより、様々な素子構造を有する有機
EL素子の作製が可能となり、様々な発光波長が得ら
れ、広範囲の波長領域から任意の発色を作り出すことが
できる。
As a result, it becomes possible to manufacture organic EL elements having various element structures, obtain various emission wavelengths, and produce arbitrary colors from a wide wavelength range.

【0063】図2は、上記したホスト材料及びゲスト材
料を蒸着させるための蒸着材料の蒸着ボートの断面図で
あり、図3はその分解斜視図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a vapor deposition boat for vapor deposition of the above-mentioned host material and guest material, and FIG. 3 is an exploded perspective view thereof.

【0064】図示の如く、この蒸着ボート32は、仕切り
板36で仕切られた第1貯留槽35a及び第2貯留槽35bを
有する本体35と、蒸気流出孔37、38を有する中蓋34と、
蒸気流出孔39を有する上蓋33とにより構成されている。
As shown in the figure, the vapor deposition boat 32 has a main body 35 having a first storage tank 35a and a second storage tank 35b partitioned by a partition plate 36, an inner lid 34 having vapor outflow holes 37, 38, and
The upper lid 33 has a steam outlet hole 39.

【0065】そして、図2に示すように、中蓋34の蒸気
流出孔37は本体35の第1貯留槽35a上に位置し、同じく
蒸気流出孔38は第2貯留槽35b上に位置している。ま
た、上蓋33は空洞33aを形成している。
As shown in FIG. 2, the vapor outflow hole 37 of the inner lid 34 is located on the first storage tank 35a of the main body 35, and the vapor outflow hole 38 is also located on the second storage tank 35b. There is. Moreover, the upper lid 33 forms a cavity 33a.

【0066】従って、第1貯留槽35aにはホスト材料を
入れ、第2貯留槽35bにはゲスト材料を入れると、昇華
温度に達して気化した材料はそれぞれの上部に設けられ
た蒸気流出孔37又は38から流出し、単独で、又は上蓋33
の空洞33aで混合されて、上蓋33の蒸気流出孔39から外
部へ流出する。
Therefore, when the host material is put in the first storage tank 35a and the guest material is put in the second storage tank 35b, the vaporized material reaching the sublimation temperature is vaporized by the vapor outflow holes 37 provided in the respective upper portions. Or spilled from 38, alone or on top 33
The mixture is mixed in the cavity 33a and flows out from the vapor outflow hole 39 of the upper lid 33 to the outside.

【0067】例えば、昇華温度の高い材料を貯留槽35a
に、昇華温度の低い材料を貯留槽35bに入れ、蒸着を行
うと、まず貯留槽35bからの材料が優先的に気化し、次
に両者から気化が生じるため、得られた蒸着膜には所望
の濃度分布が形成されることになる。
For example, a material having a high sublimation temperature is stored in the storage tank 35a.
In addition, when a material having a low sublimation temperature is put in the storage tank 35b and vapor deposition is performed, first, the material from the storage tank 35b is vaporized preferentially, and then vaporization occurs from both, so that the obtained vapor deposition film is desired. A concentration distribution of is formed.

【0068】そして、このような容器は、図7のような
真空蒸着装置11の中に蒸着源として配置されている。こ
の装置の内部には、アーム12の下に固定された一対の支
持手段13が設けられ、この双方の固定手段13、13の間に
は、透明ガラス基板6を下向きにし、マスク22をセット
できるステージ機構(図示省略)が設けられている。そ
して、ガラス基板及びマスク22の下方には、支軸14aに
支持されたシャッター14が配置され、その下方に所定個
数の各種蒸着源32又は28を配置する。各蒸着源は、電源
29による抵抗加熱方式で加熱される。この加熱には、必
要に応じてEB(電子線)加熱方式等も使用される。
Then, such a container is arranged as a vapor deposition source in the vacuum vapor deposition apparatus 11 as shown in FIG. Inside this device, a pair of supporting means 13 fixed below the arm 12 is provided, and the transparent glass substrate 6 is faced downward between the both fixing means 13, 13 so that the mask 22 can be set. A stage mechanism (not shown) is provided. The shutter 14 supported by the support shaft 14a is disposed below the glass substrate and the mask 22, and a predetermined number of various vapor deposition sources 32 or 28 are disposed below the shutter 14. Each evaporation source is a power source
It is heated by the resistance heating method by 29. For this heating, an EB (electron beam) heating method or the like is used as necessary.

【0069】上記の装置において、マスク22は画素用で
あり、シャッター14はホスト材料及びゲスト材料用であ
る。そして、シャッター14は支軸14aを中心に回動し、
ホスト材料及びゲスト材料の昇華温度に合わせて、材料
の蒸気流を遮断するためのものである。
In the above device, the mask 22 is for pixels and the shutter 14 is for host material and guest material. Then, the shutter 14 rotates about the support shaft 14a,
It is for shutting off the vapor flow of the material according to the sublimation temperature of the host material and the guest material.

【0070】従って、蒸着に際し、例えば、ホスト材料
の昇華温度が高く、ゲスト材料の昇華温度が低い場合
は、最初はシャッター14を開放しておけば、加熱によっ
てまずゲスト材料が昇華し、基板6上に蒸着する。こう
してゲスト材料が所定の厚みに形成されるが、ホスト材
料の昇華までに時間がかかる場合には、一旦シャッター
14を閉じて蒸発したゲスト材料を装置外へ排出し、ホス
ト材料の昇華が始まった時点でシャッター14を開放すれ
ば、ホスト材料とゲスト材料との混合物が蒸着されるこ
とになる。
Therefore, in vapor deposition, for example, when the sublimation temperature of the host material is high and the sublimation temperature of the guest material is low, if the shutter 14 is opened first, the guest material is first sublimated by heating and the substrate 6 Evaporate on top. Although the guest material is formed to a predetermined thickness in this way, if it takes time to sublimate the host material, once
By closing 14 and discharging the vaporized guest material to the outside of the apparatus, and opening the shutter 14 at the time when the sublimation of the host material begins, a mixture of the host material and the guest material will be vapor-deposited.

【0071】図8は、上記の真空蒸着装置により作製し
た有機EL素子9の具体例を示す平面図である。即ち、
サイズLが30mm×30mmのガラス基板6上に、サイズlが
2mm×2mmのITO透明電極5を上記した真空蒸着装置
により約 100nmの厚さで蒸着後に、全面にSiO2 30を
蒸着し、これを所定の画素パターンにエッチングして多
数の開口31を形成し、ここに透明電極5をそれぞれ露出
させる。従って、SiO2 によって2mm×2mmの発光領
域(画素)PXに対し蒸着マスク22を用いて各有機層
4、3及びアルミニウム電極1を順次形成する。発光層
3については、上記したシャッター14を併用してよい。
FIG. 8 is a plan view showing a concrete example of the organic EL element 9 produced by the above vacuum vapor deposition apparatus. That is,
On the glass substrate 6 having a size L of 30 mm × 30 mm, the ITO transparent electrode 5 having a size 1 of 2 mm × 2 mm is vapor-deposited by the above-described vacuum vapor deposition device to a thickness of about 100 nm, and then SiO 2 30 is vapor-deposited on the entire surface. Are etched into a predetermined pixel pattern to form a large number of openings 31, and the transparent electrodes 5 are exposed here. Therefore, the organic layers 4 and 3 and the aluminum electrode 1 are sequentially formed on the light emitting region (pixel) PX of 2 mm × 2 mm of SiO 2 by using the vapor deposition mask 22. For the light emitting layer 3, the shutter 14 described above may be used together.

【0072】この真空蒸着装置11においては、上記した
図8のような多数の画素を有するもの以外に、サイズの
大きい画素を単独に形成することもできる。
In this vacuum vapor deposition apparatus 11, in addition to the one having a large number of pixels as shown in FIG. 8 described above, it is also possible to independently form a large pixel.

【0073】図9は、上記のようにAlq3 (ホスト材
料)及びDCM(ゲスト材料)を用いて、上記した真空
蒸着装置により、図1に示した如き発光層を形成し、こ
の層内におけるAlq3 とDCMとの分光特性を示すグ
ラフである。
In FIG. 9, the light emitting layer as shown in FIG. 1 is formed using Alq 3 (host material) and DCM (guest material) as described above by the above-described vacuum vapor deposition apparatus. is a graph showing the spectral characteristics of the Alq 3 and DCM.

【0074】これによれば、発光層3の層構造として
は、まず昇華温度の低いDCMが昇華して蒸着し、DC
M主成分の層が0〜30nmの蒸着厚み範囲において形成さ
れ、続いて昇華温度の高いAlq3 が昇華して蒸着し、
蒸着膜厚60〜90nmではAlq3の主成分の層が形成され
る。即ち、60〜90nmの蒸着厚みになれば、DCMは殆ど
昇華し終わり、Alq3 が 100%に近い状態と考えてよ
い。
According to this, in the layer structure of the light emitting layer 3, first, DCM having a low sublimation temperature is sublimated and vapor-deposited, and DC
A layer of M main component is formed in a vapor deposition thickness range of 0 to 30 nm, and subsequently Alq 3 having a high sublimation temperature is sublimated and vapor deposited,
A layer containing Alq 3 as a main component is formed at a vapor deposition film thickness of 60 to 90 nm. That is, when the vapor deposition thickness is 60 to 90 nm, it can be considered that DCM has almost sublimated and Alq 3 is close to 100%.

【0075】この結果、DCMの場合は膜厚が0〜30nm
において吸光度が高く、波長が 500nm付近で吸収ピーク
を示す。
As a result, in the case of DCM, the film thickness is 0 to 30 nm.
Shows a high absorbance and shows an absorption peak at a wavelength of around 500 nm.

【0076】一方、Alq3 の場合は、膜厚が60〜90nm
(シャッターを開放し続けた状態で蒸着したときの厚み
とする。)において吸光度が高く、波長 400nm付近に吸
収ピークを示す。
On the other hand, in the case of Alq 3 , the film thickness is 60 to 90 nm.
In ((thickness when vapor-deposited with the shutter kept open)), the absorbance is high and an absorption peak is shown near the wavelength of 400 nm.

【0077】図10は、図9におけるDCMの分光特性の
詳細であり、厚み10nm毎の分光特性を示したものであ
る。これによれば、最初にDCMが昇華して蒸着し、ホ
ール輸送層(図1参照)との界面近傍となる膜厚が0〜
10nmにおける特性曲線15a、及び膜厚が10〜20nmにおけ
る特性曲線15b、膜厚が20〜30nmにおける特性曲線15c
で示されるように、膜厚0〜30nmのときに 450〜500nm
の波長で吸収ピークを示し、0〜30nmの膜厚部分ではD
CMが主成分であることが分かる。
FIG. 10 shows details of the spectral characteristics of the DCM in FIG. 9 and shows the spectral characteristics for each thickness of 10 nm. According to this, DCM is first sublimated and vapor-deposited, and the film thickness in the vicinity of the interface with the hole transport layer (see FIG. 1) is 0 to
Characteristic curve 15a at 10 nm, characteristic curve 15b at film thickness 10 to 20 nm, characteristic curve 15c at film thickness 20 to 30 nm
As shown in, 450 to 500 nm when the film thickness is 0 to 30 nm
Shows an absorption peak at the wavelength of
It can be seen that CM is the main component.

【0078】図11は、上記した構造の有機EL素子21の
しきい値電圧特性を示すグラフである。図示の如く、電
圧が10V位までは電流は殆ど流れず、10Vを過ぎて徐々
に流れ始め、15V過ぎから急速に流れ出す。即ち、しき
い値電圧特性が良好であることを示している。
FIG. 11 is a graph showing the threshold voltage characteristics of the organic EL element 21 having the above structure. As shown in the figure, almost no current flows until the voltage reaches about 10V, and it gradually starts to flow after 10V, and starts to flow rapidly after 15V. That is, it shows that the threshold voltage characteristics are good.

【0079】図12は、図1(b)に示した有機EL素子
21において、両電極1−5間の印加電圧に対する発光波
長の変化を色度座標に示したものである。即ち、赤色領
域で赤色(R)に発色した発光R1 が、印加電圧の増加
に伴って短波長側へ移行し、発光R2 にスペクトルの色
度が変化し、更に発光R3 に発光スペクトルの色度が変
化し、オレンジ色に近付いたことを示している。
FIG. 12 shows the organic EL device shown in FIG.
21 shows the change of the emission wavelength with respect to the applied voltage between both electrodes 1-5 on the chromaticity coordinates. That is, the emission R 1 that is colored red (R) in the red region shifts to the short wavelength side as the applied voltage increases, the chromaticity of the spectrum changes to the emission R 2 , and further the emission spectrum to the emission R 3. The chromaticity of has changed, indicating that it has approached orange.

【0080】これは、印加電圧の増加に伴って、素子25
において発光中心(再結合中心)がアノード側からカソ
ード側へシフトすること、即ち、発光中心がDCMによ
る長波長側からAlq3 による短波長側へ移行し、R3
の発光位置においてはAlq3 による緑色が加味される
ため、全体として赤色からオレンジ色に近付いていくこ
とを顕著に示すものである。
This is due to the fact that the element 25
In, the emission center (recombination center) shifts from the anode side to the cathode side, that is, the emission center shifts from the long wavelength side by DCM to the short wavelength side by Alq 3 , and R 3
Since the green color of Alq 3 is added at the light emitting position of, it is remarkable that the color is approaching from red to orange as a whole.

【0081】次に、上記した本実施例による有機EL素
子21の製造方法を説明する。
Next, a method for manufacturing the organic EL element 21 according to this embodiment described above will be described.

【0082】まず、30mm×30mmのガラス基板6上に膜厚
約 100nmで設けたITO透明電極5上に、SiO2 蒸着
により2mm×2mmの発光領域以外をマスクした有機電界
発光素子作製用のセルを作製する。
First, a cell for manufacturing an organic electroluminescence device in which a portion other than a 2 mm × 2 mm light emitting region is masked by SiO 2 vapor deposition on an ITO transparent electrode 5 provided on a 30 mm × 30 mm glass substrate 6 with a film thickness of about 100 nm. To make.

【0083】次に、このセルを図7に示した真空蒸着装
置に入れ、蒸着マスクを用い、TPD(N,N’−ジフ
ェニル−N,N’−ジ(3−メチルフェニル)4,4’
−ジアミノビフェニル)を真空蒸着法により真空下で約
50nmの厚みに蒸着(蒸着速度2〜4Å/sec)し、ホール
輸送層4を作製する。
Next, this cell was placed in the vacuum vapor deposition apparatus shown in FIG. 7, and TPD (N, N'-diphenyl-N, N'-di (3-methylphenyl) 4,4 'was used using a vapor deposition mask.
-Diaminobiphenyl) under vacuum by vacuum evaporation
The hole transport layer 4 is produced by vapor deposition (deposition rate: 2 to 4Å / sec) to a thickness of 50 nm.

【0084】次いで、ホスト−ゲスト系発光層用とし
て、ホスト材料にアルミニウム−キノリン錯体であるA
lq3 (トリス(8−キノリノール)アルミニウム)を
用い、ホスト材料よりも昇華温度の低いゲスト材料にレ
ーザー色素として一般に用いられているDCMを用い、
重量比でAlq3 /DCM=6/1の組成比で図2及び
図3のTa蒸着ボート32に分け置き、蒸着装置11内にセ
ットする。
Then, for the host-guest light-emitting layer, the host material is aluminum-quinoline complex A.
lq 3 (tris (8-quinolinol) aluminum) is used, and DCM that is generally used as a laser dye is used as a guest material whose sublimation temperature is lower than that of the host material.
The composition ratio of Alq 3 / DCM = 6/1 in weight ratio is set separately in the Ta vapor deposition boats 32 of FIGS. 2 and 3 and set in the vapor deposition apparatus 11.

【0085】そして、上記の蒸着されたホール輸送層4
上にホスト−ゲスト系発光材料を層3c、3bとしてま
ず約30nmの厚み(蒸着速度2〜4Å/sec)に蒸着した
後、シャッター14を閉じ、蒸着レートはそのまま一定に
保ちながら30nm分を空昇華させる。その後、再びシャッ
ター14を開け、20nmの厚みに蒸着して発光層3cを形成
し、合計膜厚が50nmになるようにホスト−ゲスト系発光
層3を作製する。
Then, the above-deposited hole transport layer 4
First, the host-guest light emitting material is deposited as the layers 3c and 3b to a thickness of about 30 nm (deposition rate 2 to 4 Å / sec), and then the shutter 14 is closed to keep the deposition rate constant for 30 nm. Sublimate. After that, the shutter 14 is opened again, vapor deposition is performed to a thickness of 20 nm to form the light emitting layer 3c, and the host-guest light emitting layer 3 is manufactured so that the total film thickness becomes 50 nm.

【0086】前述したように、これにより、図1(b)
に示す如く、最初の厚さ30nmの蒸着層として、昇華温度
の低いDCMによるDCM主成分の層3c、続いて昇華
温度の高いAlq3 も昇華し始めて両者が混合されたA
lq3 +DCM混合層3bが形成される。そして、厚さ
30nm分の空昇華によってDCMは殆ど消失し、最後の厚
さ20nmの蒸着時にはAlq3 主成分の層3aが形成され
る。
As described above, this results in FIG.
As shown in Fig. 3, as the first vapor-deposited layer having a thickness of 30 nm, the layer 3c mainly composed of DCM by DCM having a low sublimation temperature, and subsequently Alq 3 having a high sublimation temperature also started to sublimate and were mixed with each other.
A lq 3 + DCM mixed layer 3b is formed. And the thickness
By sublimation by air for 30 nm, most of the DCM disappears, and a layer 3a containing Alq 3 as a main component is formed during the final vapor deposition with a thickness of 20 nm.

【0087】その後に、カソード電極としてアルミニウ
ムを約2kÅの厚みに蒸着(蒸着速度11〜13Å/sec)し
て金属電極1を形成し、有機電界発光素子21を作製す
る。
After that, aluminum is vapor-deposited as a cathode electrode to a thickness of about 2 kÅ (deposition rate 11 to 13 Å / sec) to form the metal electrode 1, and the organic electroluminescent device 21 is manufactured.

【0088】こうして作製された有機電界赤色発光素子
の特性を測定したところ、印加電圧8Vの時の最大発光
波長は 650nmであり、スペクトルの形状からDCMが発
光中心となっていることが明らかである。また、15Vの
印加電圧に対して約1200cd/m2の輝度を得ることができ
た。
When the characteristics of the organic electroluminescent red light emitting device thus produced were measured, the maximum emission wavelength at an applied voltage of 8 V was 650 nm, and it is clear from the shape of the spectrum that DCM is the emission center. . Also, a brightness of about 1200 cd / m 2 could be obtained for an applied voltage of 15V.

【0089】この素子の特徴として、分光スペクトルの
測定結果から、ホール輸送層4との界面に特異的にDC
MがAlq3 の中にドープされた発光層を形成している
ことが明らかであり、印加電圧の増加に伴い、発光スペ
クトルの色度がCIE色度座標上でAlq3 の発光であ
る緑色の成分が増加し、結果的にオレンジ色に近付いた
と考えられる(図12参照)。
A characteristic of this element is that DC measured specifically at the interface with the hole transport layer 4 from the measurement results of the spectrum.
It is clear that M forms a light-emitting layer doped in Alq 3 , and as the applied voltage increases, the chromaticity of the emission spectrum shows the green emission which is the emission of Alq 3 on the CIE chromaticity coordinate. It is considered that the components increased, and as a result, the color became closer to orange (see Fig. 12).

【0090】このことは、印加電圧の増加に伴って、発
光に寄与する電子とホールの再結合中心が、ホール輸送
層4と発光層との界面からカソード電極側にシフトした
ことによるものと考えられる。従って、この素子は、印
加電圧に応じて、赤色発光からオレンジ色発光に色度が
変化する発光素子である特徴を持っているものと考えら
れる。
It is considered that this is because the recombination center of electrons and holes contributing to light emission was shifted from the interface between the hole transport layer 4 and the light emitting layer to the cathode electrode side as the applied voltage was increased. To be Therefore, it is considered that this element has a feature that it is a light emitting element whose chromaticity changes from red light emission to orange light emission in accordance with the applied voltage.

【0091】この実施例によれば、ホスト材料の昇華温
度がゲスト材料の昇華温度よりも高いため、形成される
アモルファス性発光層にゲスト材料含有率の高い部分と
ホスト材料含有率の高い部分とが蒸着の進行と共に形成
されることにより、ホスト材料含有率の高い部分が電子
輸送層を兼ねると共に、ゲスト材料含有率の高い部分に
より特異な発光を生じることができる。従って、1つの
素子により、ゲスト材料による可変調、高輝度の発光が
得られる。
According to this embodiment, since the sublimation temperature of the host material is higher than the sublimation temperature of the guest material, a portion having a high guest material content and a portion having a high host material content are formed in the formed amorphous light-emitting layer. Is formed as the vapor deposition progresses, the portion having a high content of the host material also serves as the electron transport layer, and the portion having a high content of the guest material can generate specific light emission. Therefore, a single element can emit light with high brightness and which can be modulated by the guest material.

【0092】しかも、一つの真空蒸着装置の中で、一つ
の蒸着ボート32を用いて、短時間に容易かつ連続的に真
空一貫プロセスで蒸着することが可能であるから、従来
の真空蒸着装置を特に変更することなしに、ホスト材料
及びゲスト材料を発光層の積層方向における任意の部位
に配し、ゲスト材料の濃度勾配も任意に制御でき、様々
な素子構造の有機EL素子を作製することができる。
In addition, since it is possible to easily and continuously perform vapor deposition in one vacuum vapor deposition apparatus by using one vapor deposition boat 32 in a consistent vacuum process, the conventional vacuum vapor deposition apparatus can be used. Without particular modification, the host material and the guest material can be arranged at arbitrary positions in the stacking direction of the light emitting layer, and the concentration gradient of the guest material can also be arbitrarily controlled, so that organic EL devices having various device structures can be manufactured. it can.

【0093】これにより、印加電圧の上昇に伴って発光
波長が変化する発光素子が作製され、様々な発光色及び
輝度の発光波長を安定して作りだすことができる。な
お、他の発光色(G、B)についても、上記の赤色
(R)と同様にして発光層を形成し、R、G、B三原色
のフルカラー又はマルチカラーの素子を作製できること
は勿論である(以下、同様)。
As a result, a light emitting element whose emission wavelength changes with an increase in applied voltage is produced, and emission wavelengths of various emission colors and luminances can be stably produced. As for other luminescent colors (G, B), it is needless to say that a luminescent layer can be formed in the same manner as the above red (R) to produce a full-color or multi-color element of three primary colors of R, G, B. (The same applies below).

【0094】そして、本実施例における上記した各効果
は、後述する他の実施例においても同様に得られるもの
である。
The above-described effects of this embodiment can be similarly obtained in other embodiments described later.

【0095】本実施例の製造方法に反し、従来では、有
機電界発光素子を作製するプロセスにおいては真空蒸着
法を用いることが多く、真空一貫プロセスで、ホスト材
料と共にゲスト分子を二元蒸着するためには蒸着ソース
が少なくとも2つは必要になり、電子輸送層、ホール輸
送層、カソード電極を積層して有機電界発光素子を構成
することを考えると、多くの蒸着ソースが整った蒸着機
で作製する必要がある。
Contrary to the manufacturing method of this embodiment, conventionally, the vacuum evaporation method is often used in the process of manufacturing the organic electroluminescent device, and the guest molecules are binary-deposited together with the host material in the vacuum integrated process. At least two vapor deposition sources are required for this, and considering that an organic electroluminescent device is formed by stacking an electron transport layer, a hole transport layer, and a cathode electrode, many vapor deposition sources can be used to prepare a vapor deposition machine. There is a need to.

【0096】そして、フルカラーディスプレイへの応用
において、電子輸送層、ホール輸送層、カソード電極を
共通の材料を用いて構成することを考えても、発光層と
してR、G、Bの三原色を考えれば、全部で6つの蒸着
ソース(電子輸送層、ホール輸送層、カソード電極、
R、G、Bの各発光層)が必要になってくる。このこと
は、真空一貫プロセスでフルカラーディスプレイを作製
することが困難であることを示している。
In the application to the full-color display, considering that the electron transport layer, the hole transport layer, and the cathode electrode are made of the same material, the three primary colors of R, G, and B are considered as the light emitting layer. , A total of 6 deposition sources (electron transport layer, hole transport layer, cathode electrode,
R, G, and B light emitting layers) are required. This indicates that it is difficult to make a full color display with a vacuum integrated process.

【0097】図13は、本発明の第2の実施例による有機
EL素子を示し、(a)はその要部の断面図であり、
(b)は(a)のB部の拡大図である。
FIG. 13 shows an organic EL element according to the second embodiment of the present invention, (a) is a sectional view of the essential part,
(B) is an enlarged view of the B portion of (a).

【0098】本実施例においては、ホスト−ゲスト系発
光層として、ホスト材料にアルミニウム−キノリン錯体
であるAlq3 (トリス(8−キノリノール)アルミニ
ウム)を用い、ホスト材料よりも昇華温度の低いゲスト
材料にNile Red(Lambda Physik 社製)(構造式は図
14参照)を用い、赤色発光素子を作製する。Ta蒸着ボ
ートに重量比でAlq3 /Nile Red=5/1の組成比
で分け置き、発光層材料とする。
In this example, the host-guest light-emitting layer was formed by using Alq 3 (tris (8-quinolinol) aluminum), which is an aluminum-quinoline complex, as the host material, and the sublimation temperature was lower than that of the host material. Nile Red (manufactured by Lambda Physik)
14) to produce a red light emitting device. Alq 3 / Nile Red = 5/1 composition ratio by weight ratio is divided and placed in a Ta vapor deposition boat to form a light emitting layer material.

【0099】上述した第1の実施例と同様に形成した透
明電極5上に、第1の実施例と同じ方法でTPD(N,
N’−ジフェニル−N,N’−ジ(3−メチルフェニ
ル)4,4’−ジアミノビフェニル)を真空蒸着法によ
り真空下で約50nmの厚みに蒸着(蒸着速度2〜4Å/se
c)し、ホール輸送層4を形成する。
On the transparent electrode 5 formed in the same manner as in the first embodiment described above, TPD (N,
N'-diphenyl-N, N'-di (3-methylphenyl) 4,4'-diaminobiphenyl) was vapor-deposited by vacuum vapor deposition under vacuum to a thickness of about 50 nm (deposition rate 2-4Å / se).
Then, the hole transport layer 4 is formed.

【0100】次いで、この蒸着されたホール輸送層4の
上に、ホスト−ゲスト系発光層として、層3e、3dを
まず約35nmの厚み(蒸着速度2〜4Å/sec)に蒸着した
後、シャッター14を閉じ、蒸着レートはそのまま一定に
保ちながら30nm分を空昇華させる。その後、再びシャッ
ター14を開け、15nmの厚みに蒸着して層3aを形成し合
計膜厚が50nmになるようにホスト−ゲスト系発光層3を
作製する。
Then, on the vapor-deposited hole transport layer 4, layers 3e and 3d as host-guest light-emitting layers were first vapor-deposited to a thickness of approximately 35 nm (vapor deposition rate 2 to 4Å / sec), and then the shutter was released. 14 is closed, and 30 nm is sublimated by air while keeping the deposition rate constant. After that, the shutter 14 is opened again, the layer 3a is formed by vapor deposition to a thickness of 15 nm, and the host-guest light emitting layer 3 is prepared so that the total film thickness becomes 50 nm.

【0101】これにより、図13(b)に示すように、最
初の厚さ35nmの蒸着層として、昇華温度の低いNile R
edによるNile Red主成分の層3e、続いて、昇華温度
の高いAlq3 も昇華し始めて両者が混合されたAlq
3 +Nile Red混合層3dが形成される。そして、厚さ
30nm分の空昇華によってNile Redは殆ど消失し、最後
の厚さ15nmの蒸着によりAlq3 主成分の層3aが形成
される。その後にカソード電極としてアルミニウムを約
2kÅの厚みに蒸着(蒸着速度11〜13Å/sec)して金属
電極1を形成し、有機電界発光素子22を作製する。
As a result, as shown in FIG. 13 (b), Nile R having a low sublimation temperature was used as the first vapor deposition layer having a thickness of 35 nm.
A layer 3e of the Nile Red main component by ed, and subsequently Alq 3 having a high sublimation temperature also starts to sublime and is mixed Alq 3.
A 3 + Nile Red mixed layer 3d is formed. And the thickness
Nile Red almost disappears by the sublimation for 30 nm, and the layer 3a mainly composed of Alq 3 is formed by the final vapor deposition with a thickness of 15 nm. After that, aluminum is vapor-deposited as a cathode electrode to a thickness of about 2 kÅ (deposition rate 11 to 13 Å / sec) to form the metal electrode 1, and the organic electroluminescent element 22 is manufactured.

【0102】こうして作製された有機電界赤色発光素子
の特性を測定したところ、印加電圧9Vの時の最大発光
波長は 615nmであり、スペクトルの形状からNile Red
が発光中心となっていることが明らかである。また、15
Vの印加電圧に対して約 700cd/m2の輝度を得ることが
できた。
When the characteristics of the organic electroluminescent red light emitting device thus produced were measured, the maximum emission wavelength at an applied voltage of 9 V was 615 nm, and the Nile Red was determined from the shape of the spectrum.
It is clear that is the emission center. Also, 15
It was possible to obtain a brightness of about 700 cd / m 2 with respect to an applied voltage of V.

【0103】この素子の特徴として、分光スペクトルの
測定結果からホール輸送層4との界面に特異的にNile
RedがAlq3 の中にドープされた発光層を形成してい
ることが明らかであり、印加電圧の増加に伴い、発光ス
ペクトルの色度がCIE色度座標上でAlq3 の発光で
ある緑色の成分が増加し、結果的にオレンジ色に近付い
たと考えられる。
As a characteristic of this element, the Nile is peculiar to the interface with the hole transport layer 4 from the measurement result of the spectrum.
It is clear that Red forms a light emitting layer doped in Alq 3 , and as the applied voltage is increased, the chromaticity of the emission spectrum is green, which is the light emission of Alq 3 on the CIE chromaticity coordinate. It is considered that the components increased, and as a result, the color approached orange.

【0104】このことは、印加電圧の増加に伴って、発
光に寄与する電子とホールの再結合中心が、ホール輸送
層4と発光層との界面からカソード電極側にシフトした
ことによるものと考えられる。従って、この素子は、赤
色発光からオレンジ色発光に色度が変化する発光素子で
ある特徴を持っているものと考えられる。
It is considered that this is because the recombination center of electrons and holes that contribute to light emission shifts from the interface between the hole transport layer 4 and the light emitting layer to the cathode electrode side as the applied voltage increases. To be Therefore, this element is considered to have a feature of being a light emitting element whose chromaticity changes from red light emission to orange light emission.

【0105】図15は、本発明の第3の実施例による有機
EL素子を示し、(a)はその要部の断面図であり、
(b)は(a)のC部の拡大図である。
FIG. 15 shows an organic EL element according to the third embodiment of the present invention, (a) is a sectional view of the essential part,
(B) is an enlarged view of the C portion of (a).

【0106】本実施例においては、ホスト−ゲスト系発
光層として、ホスト材料にガリウム−キノリン錯体であ
るGaq3 (トリス(8−キノリノール)ガリウム)を
用い、ホスト材料よりも昇華温度の低いゲスト材料にレ
ーザー色素として一般に用いられているDCMを用い、
赤色発光素子を作製する。Ta蒸着ボートに重量比でG
aq3 /DCM=6/1の組成比で分け置き、発光層材
料とする。
In this example, a gallium-quinoline complex, Gaq 3 (tris (8-quinolinol) gallium) was used as the host material in the host-guest light-emitting layer, and the guest material had a sublimation temperature lower than that of the host material. DCM which is generally used as a laser dye for
A red light emitting element is manufactured. G by weight ratio to Ta deposition boat
Separated at a composition ratio of aq 3 / DCM = 6/1, they are used as light emitting layer materials.

【0107】次に、上述した第1の実施例と同様に形成
した透明電極5上に、第1の実施例と同じ方法でTPD
(N,N’−ジフェニル−N,N’−ジ(3−メチルフ
ェニル)4,4’−ジアミノビフェニル)を真空蒸着法
により真空下で約50nmの厚みに蒸着(蒸着速度2〜4Å
/sec)し、ホール輸送層4を形成する。
Next, the TPD is formed on the transparent electrode 5 formed in the same manner as in the first embodiment described above by the same method as in the first embodiment.
(N, N'-diphenyl-N, N'-di (3-methylphenyl) 4,4'-diaminobiphenyl) was vapor-deposited under vacuum to a thickness of about 50 nm (deposition rate 2 to 4Å).
/ sec), and the hole transport layer 4 is formed.

【0108】この蒸着されたホール輸送層4の上に、ホ
スト−ゲスト系発光層として、層3c、3gをまず約30
nmの厚み(蒸着速度2〜4Å/sec)に蒸着した後、シャ
ッター14を閉じ、蒸着レートはそのまま一定に保ちなが
ら30nm分を空昇華させる。その後、再びシャッター14を
開け、20nmの厚みに蒸着して層3fを形成し、合計膜厚
が50nmになるようにホスト−ゲスト系発光層3を作製す
る。
On the vapor-deposited hole transport layer 4, as the host-guest light-emitting layer, the layers 3c and 3g were first deposited to about 30.
After vapor deposition to a thickness of nm (vapor deposition rate of 2 to 4Å / sec), the shutter 14 is closed, and 30 nm is sublimated by air while keeping the vapor deposition rate constant. After that, the shutter 14 is opened again, the layer 3f is formed by vapor deposition to a thickness of 20 nm, and the host-guest light emitting layer 3 is manufactured so that the total film thickness becomes 50 nm.

【0109】これにより、図15(b)に示すように、最
初の厚さ30nmの蒸着層として、昇華温度の低いDCMに
よるDCM主成分の層3c、続いて、昇華温度の高いG
aq3 も昇華し始めて両者が混合されたGaq3 +DC
M混合層3gが形成される。そして、厚さ30nm分の空昇
華によってDCMは殆ど消失し、最後の厚さ20nmの蒸着
によりGaq3 主成分の層3fが形成される。
As a result, as shown in FIG. 15B, as the first vapor-deposited layer having a thickness of 30 nm, the layer 3c mainly composed of DCM made of DCM having a low sublimation temperature and then G having a high sublimation temperature were used.
Gaq 3 + DC where aq 3 also started to sublimate and both were mixed
An M mixed layer 3g is formed. Then, by sublimation by air having a thickness of 30 nm, most of the DCM disappears, and by the final vapor deposition having a thickness of 20 nm, a layer 3f mainly composed of Gaq 3 is formed.

【0110】その後に、カソード電極としてアルミニウ
ムを約2kÅの厚みに蒸着(蒸着速度11〜13Å/sec)し
て、金属電極1を形成し、有機電界発光素子23を作製す
る。
After that, aluminum is vapor-deposited as a cathode electrode to a thickness of about 2 kÅ (deposition rate: 11 to 13 Å / sec) to form the metal electrode 1, and the organic electroluminescent element 23 is manufactured.

【0111】こうして作製された有機電界赤色発光素子
の特性を測定したところ、印加電圧8Vの時の最大発光
波長は 650nmであり、スペクトルの形状からDCMが発
光中心となっていることが明らかである。また、15Vの
印加電圧に対して約1400cd/m2の輝度を得ることができ
た。
When the characteristics of the organic electroluminescent red light emitting device thus produced were measured, the maximum emission wavelength at an applied voltage of 8 V was 650 nm, and it is clear from the shape of the spectrum that DCM is the emission center. . Also, a brightness of about 1400 cd / m 2 could be obtained for an applied voltage of 15V.

【0112】この素子の特徴として、分光スペクトルの
測定結果から、ホール輸送層4との界面に特異的にDC
MがGaq3 の中にドープされた発光層を形成している
ことが明らかであり、印加電圧の増加に伴い、発光スペ
クトルの色度がCIE色度座標上でGaq3 の発光であ
る緑色の成分が増加し、結果的にオレンジ色に近付いた
と考えられる。
A characteristic of this element is that DC measured specifically at the interface with the hole transport layer 4 from the measurement results of the spectrum.
It is clear that M forms a light-emitting layer doped in Gaq 3 , and as the applied voltage increases, the chromaticity of the emission spectrum becomes green, which is the emission of Gaq 3 on the CIE chromaticity coordinates. It is considered that the components increased, and as a result, the color approached orange.

【0113】このことは、印加電圧の増加に伴って、発
光に寄与する電子とホールの再結合中心が、ホール輸送
層4と発光層との界面からカソード電極側にシフトした
ことによるものと考えられる。
It is considered that this is because the recombination center of electrons and holes contributing to light emission was shifted from the interface between the hole transport layer 4 and the light emitting layer to the cathode electrode side as the applied voltage was increased. To be

【0114】図16は、本発明の第4の実施例による有機
EL素子を示し、(a)はその要部の断面図であり、
(b)は(a)のD部の拡大図である。
FIG. 16 shows an organic EL device according to a fourth embodiment of the present invention, FIG. 16 (a) is a sectional view of the essential part,
(B) is an enlarged view of a D part of (a).

【0115】本実施例においては、ホスト−ゲスト系発
光層として、ホスト材料にガリウム−キノリン錯体であ
るGaq3 (トリス(8−キノリノール)ガリウム)を
用い、そして、ホスト材料よりも昇華温度の低いゲスト
材料にレーザー色素として一般に用いられているNile
Redを用い、赤色発光素子を作製する。Ta蒸着ボート
に重量比でGaq3 /Nile Red=6/1の組成比で分
け置き、発光層材料とする。
In this example, as the host-guest light-emitting layer, gallium-quinoline complex Gaq 3 (tris (8-quinolinol) gallium) was used as the host material, and the sublimation temperature was lower than that of the host material. Nile, which is commonly used as a laser dye in guest materials
A red light emitting element is manufactured using Red. Separately placed in a Ta vapor deposition boat at a composition ratio of Gaq 3 / Nile Red = 6/1 by weight to be used as a light emitting layer material.

【0116】次に、上述した第1の実施例と同様に形成
した透明電極5上に、第1の実施例と同じ方法でTPD
(N,N’−ジフェニル−N,N’−ジ(3−メチルフ
ェニル)4,4’−ジアミノビフェニル)を真空蒸着法
により真空下で約50nmの厚みに蒸着(蒸着速度2〜4Å
/sec)し、ホール輸送層4を形成する。
Next, the TPD is formed on the transparent electrode 5 formed in the same manner as in the first embodiment described above by the same method as in the first embodiment.
(N, N'-diphenyl-N, N'-di (3-methylphenyl) 4,4'-diaminobiphenyl) was vapor-deposited under vacuum to a thickness of about 50 nm (deposition rate 2 to 4Å).
/ sec), and the hole transport layer 4 is formed.

【0117】次いで、この蒸着されたホール輸送層4の
上にホスト−ゲスト系発光層として、層3e、3hをま
ず約30nmの厚み(蒸着速度2〜4Å/sec)に蒸着した
後、シャッター14を閉じ、蒸着レートはそのまま一定に
保ちながら30nm分を空昇華させる。その後、再びシャッ
ター14を開け、20nmの厚みに蒸着して層3fを形成し、
合計膜厚が50nmになるようにホスト−ゲスト系発光層3
を作製する。
Then, layers 3e and 3h were first deposited as a host-guest light emitting layer on the vapor-deposited hole transport layer 4 to a thickness of about 30 nm (deposition rate 2 to 4Å / sec), and then the shutter 14 was pressed. , And sublimate 30 nm by air while keeping the deposition rate constant. Then, the shutter 14 is opened again, and the layer 3f is formed by vapor deposition to a thickness of 20 nm.
Host-guest light emitting layer 3 so that the total film thickness becomes 50 nm
Is prepared.

【0118】これにより、図16(b)に示すように、最
初の厚さ30nmの蒸着層として、昇華温度の低いNile R
edによるNile Red主成分の層3e、続いて、昇華温度
の高いGaq3 が昇華し始めて両者が混合されたGaq
3 +Nile Red混合層3hが形成される。そして、厚さ
30nm分の空昇華によってNile Redは殆ど消失し、最後
の厚さ20nmの蒸着によりGaq3 主成分の層3fが形成
される。
As a result, as shown in FIG. 16 (b), Nile R having a low sublimation temperature was used as the vapor deposition layer having an initial thickness of 30 nm.
Nile Red main component layer 3e by ed, and then Gaq 3 in which both Gaq 3 having a high sublimation temperature starts to sublimate and Gaq 3 is mixed.
A 3 + Nile Red mixed layer 3h is formed. And the thickness
Nile Red almost disappears by the sublimation for 30 nm, and the layer 3f mainly composed of Gaq 3 is formed by the final vapor deposition with a thickness of 20 nm.

【0119】その後に、カソード電極としてアルミニウ
ムを約2kÅの厚みに蒸着(蒸着速度11〜13Å/sec)し
て、金属電極1を形成し、有機電界発光素子24を作製す
る。
After that, aluminum is vapor-deposited as a cathode electrode to a thickness of about 2 kÅ (deposition rate: 11 to 13 Å / sec) to form the metal electrode 1, and the organic electroluminescent element 24 is manufactured.

【0120】こうして作製された有機電界赤色発光素子
の特性を測定したところ、印加電圧8Vの時の最大発光
波長は 615nmであり、スペクトルの形状からNile Red
が発光中心となっていることが明らかである。また、15
Vの印加電圧に対して約1300cd/m2の輝度を得ることが
できた。
When the characteristics of the organic electroluminescent red light emitting device thus produced were measured, the maximum light emission wavelength at an applied voltage of 8 V was 615 nm, and the Nile Red was determined from the shape of the spectrum.
It is clear that is the emission center. Also, 15
It was possible to obtain a brightness of about 1300 cd / m 2 with respect to an applied voltage of V.

【0121】この素子の特徴として、分光スペクトルの
測定結果から、ホール輸送層4との界面に特異的にNil
e RedがGaq3 の中にドープされた発光層を形成して
いることが明らかであり、印加電圧の増加に伴い、発光
スペクトルの色度がCIE色度座標上でGaq3 の発光
である緑色の成分が増加し、結果的にオレンジ色に近付
いたと考えられる。
As a feature of this element, the Nil was specifically determined at the interface with the hole transport layer 4 from the measurement result of the spectrum.
It is clear that e Red forms a light emitting layer doped in Gaq 3 , and as the applied voltage increases, the chromaticity of the emission spectrum is green which is the emission of Gaq 3 on the CIE chromaticity coordinates. It is considered that the component of was increased, and as a result, it became closer to orange.

【0122】このことは、印加電圧の増加に伴って、発
光に寄与する電子とホールの再結合中心がホール輸送層
4と発光層との界面からカソード電極側にシフトしたこ
とによるものと考えられる。
It is considered that this is because the recombination center of electrons and holes contributing to light emission was shifted from the interface between the hole transport layer 4 and the light emitting layer to the cathode electrode side as the applied voltage was increased. .

【0123】図17は、本発明の第5の実施例による有機
EL素子であり、(a)はその要部の断面図であり、
(b)は(a)のE部の拡大図である。
FIG. 17 shows an organic EL device according to a fifth embodiment of the present invention, wherein (a) is a sectional view of the main part thereof,
(B) is an enlarged view of the E portion of (a).

【0124】この実施例においては、ホスト−ゲスト系
発光層として、ホスト材料にアルミニウム−キノリン錯
体であるAlq3 (トリス(8−キノリノール)アルミ
ニウム)を用い、ホスト材料よりも昇華温度の低いゲス
ト材料にレーザー色素として一般に用いられているDC
Mを用い、赤色発光素子を作製する。Ta蒸着ボートに
重量比でAlq3 /DCM=6/1の組成比で分け置
き、発光層材料とする。
In this example, as the host-guest light emitting layer, Alq 3 (tris (8-quinolinol) aluminum), which is an aluminum-quinoline complex, was used as the host material, and the guest material having a sublimation temperature lower than that of the host material was used. Commonly used as a laser dye in DC
Using M, a red light emitting element is manufactured. Alq 3 / DCM = 6/1 composition ratio by weight ratio is separately set in a Ta vapor deposition boat to form a light emitting layer material.

【0125】次に、上述した第1の実施例と同様に形成
した透明電極5上に、第1の実施例と同じ方法で、TP
D(N,N’−ジフェニル−N,N’−ジ(3−メチル
フェニル)4,4’−ジアミノビフェニル)を真空蒸着
法により真空下で約50nmの厚みに蒸着(蒸着速度2〜4
Å/sec)し、ホール輸送層4を形成する。
Next, TP is formed on the transparent electrode 5 formed in the same manner as in the first embodiment described above by the same method as in the first embodiment.
D (N, N'-diphenyl-N, N'-di (3-methylphenyl) 4,4'-diaminobiphenyl) was vapor-deposited under vacuum to a thickness of about 50 nm by a vacuum vapor deposition method (deposition rate 2 to 4).
Å / sec) to form the hole transport layer 4.

【0126】次いで、この蒸着されたホール輸送層4の
上に、Alq3 のみを10nmの厚みに層3a’として蒸着
する。このAlq3 上にホスト−ゲスト系発光層とし
て、層3c、3dを約30nmの厚み(蒸着速度2〜4Å/s
ec)に蒸着した後、シャッター14を閉じ、蒸着レートは
そのまま一定に保ちながら30nm分を空昇華させる。その
後、再びシャッター14を開け、10nmの厚みに蒸着して層
3aを形成し、合計膜厚が50nmになるようにAlq3
ホスト−ゲスト系発光層3を作製する。即ち、この発光
層だけで4層構造をなしていることになる。
Then, only Alq 3 is vapor-deposited as a layer 3 a ′ having a thickness of 10 nm on the vapor-deposited hole transport layer 4. Layers 3c and 3d were formed as a host-guest light emitting layer on the Alq 3 layer with a thickness of about 30 nm (deposition rate: 2 to 4Å / s).
After vapor deposition on ec), the shutter 14 is closed and the vapor deposition rate is kept constant and 30 nm is sublimated. After that, the shutter 14 is opened again, and the layer 3a is formed by vapor deposition to a thickness of 10 nm, and Alq 3 + is formed so that the total film thickness becomes 50 nm.
A host-guest light emitting layer 3 is prepared. That is, this light emitting layer alone has a four-layer structure.

【0127】この場合、図17(b)に示すように、ま
ず、Alq3 のみを入れた容器から(或いは、図2及び
図3に示した蒸着ボート32において蒸気流出孔38のみを
適当な遮蔽手段で閉じて)Alq3 を昇華させてAlq
3 主成分の層3a’を形成後、図2及び図3に示した如
き容器Ta蒸着ボート32を用い、厚さ30nmの蒸着層とし
て、昇華温度の低いDCMによるDCM主成分の層3
c、続いて、昇華温度の高いAlq3 が昇華して、両者
が混合されたAlq3 +DCM混合層3bが形成され
る。そして、厚さ30nm分の空昇華によってDCMは殆ど
消失し、最後の厚さ10nmの蒸着によりAlq3 主成分の
層3aが形成される。
In this case, as shown in FIG. 17B, first, from the container containing only Alq 3 (or, in the vapor deposition boat 32 shown in FIGS. 2 and 3, only the vapor outflow hole 38 is appropriately shielded. (By closing by means) sublimate Alq 3
3 After forming the main component layer 3a ′, using the container Ta vapor deposition boat 32 as shown in FIGS. 2 and 3, a DCM main component layer 3 of DCM having a low sublimation temperature was used as a vapor deposition layer having a thickness of 30 nm.
c, and subsequently, Alq 3 having a high sublimation temperature is sublimated to form an Alq 3 + DCM mixed layer 3b in which both are mixed. Then, by sublimation by air having a thickness of 30 nm, most of the DCM disappears, and by the final vapor deposition having a thickness of 10 nm, a layer 3a mainly composed of Alq 3 is formed.

【0128】その後に、カソード電極としてアルミニウ
ムを約2kÅの厚みに蒸着(蒸着速度11〜13Å/sec)し
て、金属電極1を形成し、有機電界発光素子25を作製す
る。
After that, aluminum is vapor-deposited as a cathode electrode to a thickness of about 2 kÅ (deposition rate: 11 to 13 Å / sec) to form the metal electrode 1, and the organic electroluminescent element 25 is manufactured.

【0129】こうして作製された有機電界赤色発光素子
の特性を測定したところ、印加電圧15Vの時の最大発光
波長は 650nmであり、スペクトルの形状からDCMが発
光中心となっていることが明らかである。また、15Vの
印加電圧に対して約 900cd/m2の輝度を得ることができ
た。
When the characteristics of the organic electroluminescent red light-emitting device thus produced were measured, the maximum emission wavelength at an applied voltage of 15 V was 650 nm, and it is clear from the shape of the spectrum that DCM is the emission center. . In addition, a brightness of about 900 cd / m 2 could be obtained for an applied voltage of 15V.

【0130】この素子の特徴として、分光スペクトルの
測定結果から、発光層3の積層方向における中心部分に
特異的にDCMがAlq3 の中にドープされた発光層を
形成していることである。従って、印加電圧の増加に伴
い、発光スペクトルの色度がCIE色度座標上でAlq
3 の発光である緑色からDCMの発光である赤色の成分
が増加し、結果的に薄緑色からオレンジ色を経て赤色に
近付いたと考えられる。
A characteristic of this element is that a light emitting layer in which DCM is specifically doped in Alq 3 is formed in the central portion of the light emitting layer 3 in the stacking direction from the measurement result of the spectrum. Therefore, as the applied voltage increases, the chromaticity of the emission spectrum becomes Alq on the CIE chromaticity coordinate.
It is considered that the components from green, which is the light emission of 3 , to red, which is the light emission of DCM, increased, and as a result, passed from light green to orange and then approached red.

【0131】このことは、印加電圧の増加に伴って、発
光に寄与する電子とホールの再結合中心が、ホール輸送
層4と発光層3の界面からカソード電極側にシフトした
ことによるものと考えられる。従って、この素子は、高
印加電圧時に高輝度で赤色発光を得ることができる発光
層の構造を有していると考えられる。
It is considered that this is because the recombination center of electrons and holes contributing to light emission was shifted from the interface between the hole transport layer 4 and the light emitting layer 3 to the cathode electrode side as the applied voltage was increased. To be Therefore, it is considered that this element has a structure of a light emitting layer capable of obtaining red light emission with high brightness at high applied voltage.

【0132】図18は、本発明の第6の実施例による有機
EL素子であり、(a)はその要部の断面図であり、
(b)は(a)の下部の拡大図である。
FIG. 18 shows an organic EL device according to a sixth embodiment of the present invention, in which (a) is a cross-sectional view of its essential part.
(B) is an enlarged view of the lower part of (a).

【0133】この実施例においては、ホスト−ゲスト系
発光層として、ホスト材料にアルミニウム−キノリン錯
体であるAlq3 (トリス(8−キノリノール)アルミ
ニウム)を用い、ホスト材料よりも昇華温度の低いゲス
ト材料にC540(クマリン540)(構造式は図19参照)を用
い、緑色発光素子を作製する。Ta蒸着ボートに重量比
でAlq3 /C540 =7/1の組成比で分け置き、発光
層材料とする。
In this example, as the host-guest light emitting layer, Alq 3 (tris (8-quinolinol) aluminum), which is an aluminum-quinoline complex, was used as the host material, and the guest material having a sublimation temperature lower than that of the host material was used. C540 (coumarin 540) (see FIG. 19 for the structural formula) is used to manufacture a green light emitting device. Alq 3 / C 540 = 7/1 composition ratio by weight is divided and placed in a Ta vapor deposition boat to form a light emitting layer material.

【0134】次に、上述した第1の実施例と同様に形成
した透明電極5上に、第1の実施例と同じ方法で、TP
D(N,N’−ジフェニル−N,N’−ジ(3−メチル
フェニル)4,4’−ジアミノビフェニル)を真空蒸着
法により真空下で約50nmの厚みに蒸着(蒸着速度2〜4
Å/sec)し、ホール輸送層4を形成する。
Next, TP is formed on the transparent electrode 5 formed in the same manner as in the first embodiment described above by the same method as in the first embodiment.
D (N, N'-diphenyl-N, N'-di (3-methylphenyl) 4,4'-diaminobiphenyl) was vapor-deposited under vacuum to a thickness of about 50 nm by a vacuum vapor deposition method (deposition rate 2 to 4).
Å / sec) to form the hole transport layer 4.

【0135】次いで、この蒸着されたホール輸送層4の
上に、ホスト−ゲスト系発光層として、層3j、3iを
まず約35nmの厚み(蒸着速度2〜4Å/sec)に蒸着した
後、シャッター14を閉じ、蒸着レートはそのまま一定に
保ちながら30nm分を空昇華させる。その後、再びシャッ
ター14を開け、15nmの厚みに蒸着して層3aを形成し、
合計膜厚が50nmになるようにホスト−ゲスト系発光層3
を作製する。
Then, on the vapor-deposited hole transport layer 4, layers 3j and 3i as host-guest light-emitting layers were first vapor-deposited to a thickness of about 35 nm (vapor deposition rate 2 to 4Å / sec), and then the shutter was released. 14 is closed, and 30 nm is sublimated by air while keeping the deposition rate constant. After that, the shutter 14 is opened again, and vapor deposition is performed to a thickness of 15 nm to form the layer 3a,
Host-guest light emitting layer 3 so that the total film thickness becomes 50 nm
Is prepared.

【0136】これにより、図18(b)に示すように、最
初の厚さ35nmの蒸着層として、昇華温度の低いクマリン
C540 によるクマリンC540 主成分の層3j、続いて、
昇華温度の高いAlq3 が昇華して両者が混合されたA
lq3 +クマリンC540 混合層3iが形成される。そし
て、厚さ30nm分の空昇華によってクマリンC540 は殆ど
消失し、最後の厚さ15nmの蒸着によりAlq3 主成分の
層3aが形成される。
As a result, as shown in FIG. 18 (b), a coumarin C540-based layer 3j of coumarin C540 having a low sublimation temperature was used as the first vapor-deposited layer having a thickness of 35 nm.
Alq 3 having a high sublimation temperature sublimates and is mixed A
The lq 3 + coumarin C 540 mixed layer 3i is formed. Then, the coumarin C540 almost disappears by the sublimation having a thickness of 30 nm, and the layer 3a containing Alq 3 as a main component is formed by the final vapor deposition having a thickness of 15 nm.

【0137】その後に、カソード電極としてアルミニウ
ムを約2kÅの厚みに蒸着(蒸着速度11〜13Å/sec)し
て、金属電極1を形成し、有機電界発光素子26を作製す
る。
After that, aluminum is vapor-deposited as a cathode electrode to a thickness of about 2 kÅ (deposition rate: 11 to 13 Å / sec) to form the metal electrode 1, and the organic electroluminescent element 26 is manufactured.

【0138】こうして作製された有機電界赤色発光素子
の特性を測定したところ、印加電圧9Vの時の最大発光
波長は 535nmであり、スペクトルの形状からC540 が発
光中心となっていることが明らかである。また、15Vの
印加電圧に対して約1150cd/m2の輝度を得ることができ
た。
When the characteristics of the organic electroluminescent red light emitting device thus produced were measured, the maximum emission wavelength at an applied voltage of 9 V was 535 nm, and it is clear from the shape of the spectrum that C540 is the emission center. . Further, a brightness of about 1150 cd / m 2 could be obtained for an applied voltage of 15V.

【0139】この素子の特徴として、分光スペクトルの
測定結果から、ホール輸送層4との界面に特異的にC54
0 がAlq3 の中にドープされた発光層を形成している
ことが明らかであり、Alq3 が本来呈する最大発光波
長 520nm近辺の発光波長をC540 が長波長化し、CIE
色度座標上での色度を改善する結果となっている。
As a feature of this device, from the measurement result of the spectral spectrum, C54 was found specifically at the interface with the hole transport layer 4.
0 is clear that to form a light emitting layer doped into the Alq 3, and the long wavelength is C540 an emission wavelength of maximum emission wavelength 520nm around exhibiting Alq 3 originally, CIE
As a result, the chromaticity on the chromaticity coordinates is improved.

【0140】図20は、本発明の第7の実施例による有機
EL素子であり、(a)はその要部の断面図、(b)は
(a)のG部の拡大図である。
20A and 20B show an organic EL device according to a seventh embodiment of the present invention. FIG. 20A is a sectional view of a main part thereof, and FIG. 20B is an enlarged view of a G part of FIG. 20A.

【0141】この実施例においては、ホスト−ゲスト系
発光層として、ホスト材料にTPD(N,N’−ジフェ
ニル−N,N’−ジ(3−メチルフェニル)4,4’−
ジアミノビフェニル)を用い、ホスト材料よりも昇華温
度の高いゲスト材料としてC450(クマリン450)(構造式
は図21参照)を用い、青色発光素子を作製する。Ta蒸
着ボートに重量比でTPD/C450 =5/1の組成比で
分け置き、発光層材料とする。
In this embodiment, TPD (N, N'-diphenyl-N, N'-di (3-methylphenyl) 4,4'- was used as the host material for the host-guest light emitting layer.
Using diaminobiphenyl) and C450 (coumarin 450) (see FIG. 21 for the structural formula) as a guest material having a higher sublimation temperature than the host material, a blue light emitting element is manufactured. The TPD / C450 = 5/1 composition ratio by weight is divided and placed in a Ta vapor deposition boat to form a light emitting layer material.

【0142】次に、上述した各実施例とは異なり、上述
した第1の実施例と同様に形成した透明電極5上に、第
1の実施例と同じ方法で、ホール輸送性のホスト−ゲス
ト系発光層3m、3lをまず約35nmの厚み(蒸着速度2
〜4Å/sec)に蒸着した後、シャッター14を閉じ、蒸着
レートはそのまま一定に保ちながら30nm分を空昇華させ
る。
Next, unlike the above-mentioned respective embodiments, the hole-transporting host-guest was formed on the transparent electrode 5 formed in the same manner as in the above-mentioned first embodiment by the same method as in the first embodiment. First, the light emitting layers 3m and 3l were formed to a thickness of about 35 nm (deposition rate 2
After vapor deposition at ~ 4Å / sec), the shutter 14 is closed and the vapor deposition rate is kept constant to sublimate 30 nm.

【0143】その後、再びシャッター14を開け、15nmの
厚みに蒸着して層3kを形成し、合計膜厚が50nmになる
ようにホスト−ゲスト系発光層3を作製する。次に、ジ
メチルバソフェナントロリンを真空蒸着法により真空下
で約50nmの厚みに蒸着(蒸着速度2〜4Å/sec)し、電
子輸送層2を形成する。
After that, the shutter 14 is opened again, the layer 3k is formed by vapor deposition to a thickness of 15 nm, and the host-guest light emitting layer 3 is prepared so that the total film thickness becomes 50 nm. Next, dimethyl bathophenanthroline is vapor-deposited by vacuum vapor deposition under vacuum to a thickness of about 50 nm (vapor deposition rate 2 to 4Å / sec) to form the electron transport layer 2.

【0144】これにより、図20(b)に示すように、最
初の厚さ35nmの蒸着層として、昇華温度の低いホスト材
料のTPDによるTPD主成分の層3m、続いて、昇華
温度の高いゲスト材料のクマリンC450 が昇華して両者
が混合されたTPD+クマリンC450 混合層3lが形成
される。そして、厚さ30nm分の空昇華によってTPDが
殆ど消失し、最後の厚さ15nmの蒸着によりクマリンC45
0 主成分の層3kが形成される。
As a result, as shown in FIG. 20 (b), as a vapor deposition layer having an initial thickness of 35 nm, a layer 3m of a TPD main component made of TPD, which is a host material having a low sublimation temperature, and subsequently a guest having a high sublimation temperature are used. Coumarin C450 as a material is sublimated to form TPD + coumarin C450 mixed layer 3l in which both are mixed. Almost all TPD disappeared by 30nm-thick air sublimation, and coumarin C45 was formed by the final vapor deposition of 15nm.
0 A layer 3k of the main component is formed.

【0145】その後に、カソード電極としてアルミニウ
ムを約2kÅの厚みに蒸着(蒸着速度11〜13Å/sec)し
て、金属電極1を形成し、青色用の有機電界発光素子27
を作製する。
Thereafter, aluminum is vapor-deposited as a cathode electrode to a thickness of about 2 kÅ (deposition rate: 11 to 13 Å / sec) to form the metal electrode 1, and the organic electroluminescence device 27 for blue color is formed.
Is prepared.

【0146】こうして作製された有機電界青色発光素子
の特性を測定したところ、印加電圧12Vの時の最大発光
波長は 445nmであり、スペクトルの形状からC450 が発
光中心となっていることが明らかである。また、18Vの
印加電圧に対して約 400cd/m2の輝度を得ることができ
た。
When the characteristics of the organic electroluminescent blue light emitting device thus produced were measured, the maximum emission wavelength at an applied voltage of 12 V was 445 nm, and it is clear from the shape of the spectrum that C450 is the emission center. . Further, it was possible to obtain a brightness of about 400 cd / m 2 for an applied voltage of 18V.

【0147】この素子の特徴として、分光スペクトルの
測定結果から、ホール輸送層を兼ねるTPDを主成分と
する層3mとジメチルバソフェナントロリン層2との間
における層3m側に特異的にクマリンC450 がドープさ
れた発光層3lを形成し、これが発光波長を短波長化
(青色化)していることが明らかである。
As a characteristic of this device, the coumarin C450 was specifically doped on the layer 3m side between the dimethylbasophenanthroline layer 2 and the layer 3m containing TPD also serving as a hole transport layer as a characteristic of this element. It is clear that the formed light emitting layer 3l is formed, and this shortens the emission wavelength (bluish).

【0148】以上、本発明の実施例を説明したが、上述
した実施例は本発明の技術的思想に基づいて様々に変形
することができる。
Although the embodiments of the present invention have been described above, the above-described embodiments can be variously modified based on the technical idea of the present invention.

【0149】例えば、上述した発光材料において、ゲス
ト材料としては、昇華性をもつ材料であれば何でもよ
く、また螢光性を有する色素に限定されない。例えば、
キナクリドンのような顔料でもよく、これに合うホスト
材料を目的に応じて選択すればよい。
For example, in the above-described light emitting material, the guest material may be any material that has a sublimation property, and is not limited to a fluorescent dye. For example,
A pigment such as quinacridone may be used, and a host material suitable for the pigment may be selected according to the purpose.

【0150】また、上述した実施例においては、青色用
としてC450(クマリン450)を用いたが、赤色用として、
C445(クマリン445)やC540(クマリン540)を用いてもよ
く、複数を混ぜ合わせてもよい。更に、DCMとクマリ
ンとの共蒸着でもよい。この場合のホスト材料として
は、C450 よりも螢光波長が短波長であるPTP(p-Ter
phenyl)、PQP(p-Quaterphenyl)、QUI、BBQ
(BiBuQ)、t−ブチル−PBD等のレーザー色素
を用いてよい。
Further, in the above-mentioned embodiment, C450 (coumarin 450) was used for blue, but for red,
C445 (coumarin 445) or C540 (coumarin 540) may be used, or a plurality of them may be mixed. Further, co-evaporation of DCM and coumarin may be used. In this case, the host material is PTP (p-Ter) having a shorter fluorescence wavelength than C450.
phenyl), PQP (p-Quaterphenyl), QUI, BBQ
A laser dye such as (BiBuQ) or t-butyl-PBD may be used.

【0151】また、発光層の作製方法については、例え
ば積層方向の任意の部位にドープを行うためには、ホス
ト−ゲスト材料の組み合わせを考えて、蒸着する順番を
工夫すればよい。また、ドープされた部分のゲスト材料
の濃度勾配を制御するためには、蒸着速度を変えればよ
い。また、発光層は、蒸着以外にも、昇華又は気化を伴
う他の成膜方法でも形成可能である。発光層は、シング
ルヘテロ構造やダブルヘテロ構造(図20参照)を有して
いてよい。
As for the method of manufacturing the light emitting layer, for example, in order to dope at an arbitrary portion in the stacking direction, the deposition order may be devised in consideration of the combination of the host-guest material. Further, in order to control the concentration gradient of the guest material in the doped portion, the vapor deposition rate may be changed. Further, the light emitting layer can be formed by another film forming method involving sublimation or vaporization other than vapor deposition. The light emitting layer may have a single hetero structure or a double hetero structure (see FIG. 20).

【0152】アノード電極、電子輸送層、ホール輸送
層、カソード電極等の材料は上記に限るものではなく、
例えばホール輸送層であるならば、ベンジジン誘導体、
スチリルアミン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、ヒ
ドラゾン誘導体等のホール輸送性有機物質を用いてもよ
い。同様に、電子輸送層には、ペリレン誘導体、ビスス
チリル誘導体、ピラジン誘導体等の電子輸送性有機物質
を用いてもよい。
The materials for the anode electrode, the electron transport layer, the hole transport layer, the cathode electrode, etc. are not limited to the above.
For example, in the case of a hole transport layer, a benzidine derivative,
A hole transporting organic substance such as a styrylamine derivative, a triphenylmethane derivative or a hydrazone derivative may be used. Similarly, an electron transporting organic substance such as a perylene derivative, a bisstyryl derivative, or a pyrazine derivative may be used for the electron transporting layer.

【0153】また、カソード電極材料については、効率
良く電子を注入するために、電極材料の真空準位からの
仕事関数の小さい金属を用いるのが好ましく、アルミニ
ウム以外にも、例えば、インジウム、マグネシウム、
銀、カルシウム、バリウム、リチウム等の低仕事関数金
属を単体で、または他の金属との合金として安定性を高
めて使用してもよい。
As the cathode electrode material, in order to inject electrons efficiently, it is preferable to use a metal having a small work function from the vacuum level of the electrode material. In addition to aluminum, for example, indium, magnesium,
A low work function metal such as silver, calcium, barium or lithium may be used alone or as an alloy with another metal to improve stability.

【0154】また、アノード電極側から有機電界発光を
取り出すため、アノード電極には透明電極であるITO
を用いたが、効率良くホールを注入するために、アノー
ド電極材料の真空準位からの仕事関数が大きいもの、例
えば金、二酸化スズ−アンチモン混合物、酸化亜鉛−ア
ルミニウム混合物の電極を用いてもよい。
In addition, in order to take out organic electroluminescence from the anode electrode side, ITO which is a transparent electrode is used as the anode electrode.
In order to efficiently inject holes, an electrode having a large work function from the vacuum level of the anode electrode material, for example, an electrode of gold, tin dioxide-antimony mixture, zinc oxide-aluminum mixture may be used. .

【0155】なお、上述した実施例は、モノカラー用の
有機ELを主として説明したが、発光材料を選択するこ
とによって、R、G、Bの三色を発光するフルカラー
用、又はマルチカラー用の有機EL素子を上述した方法
で作製することができる。その他、本発明はディスプレ
イ用としてだけでなく、光源用としても使用可能な有機
EL素子に適用できると共に、他の光学的用途にも適用
することができる。
In the above-described embodiments, the mono-color organic EL has been mainly described. However, by selecting a light-emitting material, a full-color or multi-color light emitting three colors R, G and B can be emitted. The organic EL element can be manufactured by the method described above. In addition, the present invention can be applied not only to an organic EL element that can be used not only for a display but also for a light source, and can also be applied to other optical uses.

【0156】[0156]

【発明の作用効果】本発明は、上述した如く、発光領域
の少なくとも一部分が第1の発光材料と第2の発光材料
とを含有し、これらの発光材料による発光波長が互いに
異なると共に、前記第1の発光材料が、前記第2の発光
材料よりも高い(或いは低い)気化温度を有し、かつ、
電子輸送性及びホール輸送性のうち少なくとも電子輸送
性(或いはホール輸送性)を有しているため、発光領域
の形成時に前記第1又は第2の発光材料の含有率を適宜
に変化若しくは分布させることができ、印加電圧に応じ
て発光波長が変化し、一つの素子で様々な発光波長が得
られる可変調発光素子の如き光学的素子を提供すること
ができる。
As described above, according to the present invention, at least a part of the light emitting region contains the first light emitting material and the second light emitting material, and the light emitting wavelengths of these light emitting materials are different from each other. One luminescent material has a higher (or lower) vaporization temperature than the second luminescent material, and
Since it has at least an electron transporting property (or a hole transporting property) out of the electron transporting property and the hole transporting property, the content rate of the first or second light emitting material is appropriately changed or distributed at the time of forming the light emitting region. It is possible to provide an optical element such as a tunable light emitting element in which the light emitting wavelength changes according to the applied voltage and various light emitting wavelengths can be obtained by one element.

【0157】しかも、気化温度の異なる第1の発光材料
と第2の発光材料を気化させ、発光領域を形成している
ので、本発明の光学的素子を従来の装置を用いて比較的
簡単に作製することが可能である。
Moreover, since the first light emitting material and the second light emitting material having different vaporization temperatures are vaporized to form the light emitting region, the optical element of the present invention can be relatively easily manufactured by using the conventional device. It is possible to make.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例による有機EL素子を示
し、(a)は要部の断面図、(b)は(a)のA部拡大
図、(c)は同A部を他の構成にした拡大図である。
FIG. 1 shows an organic EL device according to a first embodiment of the present invention, where (a) is a sectional view of a main part, (b) is an enlarged view of part A of (a), and (c) is the same part A. It is an enlarged view which made other composition.

【図2】同実施例による蒸着ボートの断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a vapor deposition boat according to the same embodiment.

【図3】図2の分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of FIG. 2;

【図4】同実施例に使用したAlq3 (ホスト材料)の
構造式である。
FIG. 4 is a structural formula of Alq 3 (host material) used in the same example.

【図5】同実施例に使用したDCM(ゲスト材料)の構
造式である。
FIG. 5 is a structural formula of DCM (guest material) used in the same example.

【図6】同実施例に使用したTPD(ホール輸送材料)
の構造式である。
FIG. 6 is a TPD (hole transport material) used in the example.
Is the structural formula of.

【図7】同実施例に使用した真空蒸着装置の概略断面図
である。
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of a vacuum vapor deposition device used in the example.

【図8】同実施例による有機EL素子の平面図である。FIG. 8 is a plan view of an organic EL element according to the same example.

【図9】同実施例によるAlq3 及びDCMの分光特性
を示すグラフである。
FIG. 9 is a graph showing spectral characteristics of Alq 3 and DCM according to the example.

【図10】図9におけるDCMの分光特性の詳細を示すグ
ラフである。
10 is a graph showing details of spectral characteristics of DCM in FIG. 9.

【図11】同実施例による有機EL素子のしきい値電圧特
性を示すグラフである。
FIG. 11 is a graph showing threshold voltage characteristics of the organic EL element according to the same example.

【図12】同実施例による有機EL素子の色度座標図であ
る。
FIG. 12 is a chromaticity coordinate diagram of the organic EL element according to the example.

【図13】本発明の第2の実施例による有機EL素子を示
し、(a)は要部の断面図、(b)は(a)のB部拡大
図である。
FIG. 13 shows an organic EL device according to a second embodiment of the present invention, (a) is a cross-sectional view of a main part, and (b) is an enlarged view of a B part of (a).

【図14】同実施例に使用したNile Red(ゲスト材料)
の構造式である。
[FIG. 14] Nile Red (guest material) used in the example
Is the structural formula of.

【図15】本発明の第3の実施例による有機EL素子を示
し、(a)は要部の断面図、(b)は(a)のC部拡大
図である。
FIG. 15 shows an organic EL device according to a third embodiment of the present invention, (a) is a cross-sectional view of a main part, and (b) is an enlarged view of a C part of (a).

【図16】本発明の第4の実施例による有機EL素子を示
し、(a)は要部の断面図、(b)は(a)のD部拡大
図である。
FIG. 16 shows an organic EL device according to a fourth embodiment of the present invention, (a) is a cross-sectional view of a main part, and (b) is an enlarged view of a D part of (a).

【図17】本発明の第5の実施例による有機EL素子を示
し、(a)は要部の断面図、(b)は(a)のE部拡大
図である。
FIG. 17 shows an organic EL device according to a fifth embodiment of the present invention, (a) is a cross-sectional view of a main part, and (b) is an enlarged view of an E part of (a).

【図18】本発明の第6の実施例による有機EL素子を示
し、(a)は要部の断面図、(b)は(a)のF部拡大
図である。
FIG. 18 shows an organic EL device according to a sixth embodiment of the present invention, (a) is a cross-sectional view of a main part, and (b) is an enlarged view of an F part of (a).

【図19】同実施例に使用したC540(クマリン540)(ゲス
ト材料)の構造式である。
FIG. 19 is a structural formula of C540 (coumarin 540) (guest material) used in the same example.

【図20】本発明の第7の実施例による有機EL素子を示
し、(a)は要部の断面図、(b)は(a)のG部拡大
図である。
FIG. 20 shows an organic EL device according to a seventh embodiment of the present invention, (a) is a cross-sectional view of a main part, and (b) is an enlarged view of a G part of (a).

【図21】同実施例に使用したC450(クマリン450)(ゲス
ト材料)の構造式である。
FIG. 21 is a structural formula of C450 (coumarin 450) (guest material) used in the same example.

【図22】従来の有機EL素子の一例を示す概略断面図で
ある。
FIG. 22 is a schematic cross-sectional view showing an example of a conventional organic EL element.

【図23】同他の有機EL素子の一例を示す概略断面図で
ある。
FIG. 23 is a schematic cross-sectional view showing an example of another organic EL element.

【図24】同有機EL素子の具体例を示す概略斜視図であ
る。
FIG. 24 is a schematic perspective view showing a specific example of the same organic EL element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…金属電極(カソード)、2…電子輸送層、3…発光
層、3a…Alq3 主成分の層、3b…Alq3 +DC
M混合層、3c…DCM主成分の層、3d…Alq3
Nile Red混合層、3e…Nile Red主成分の層、3f
…Gaq3 主成分の層、3g…Gaq3 +DCM混合
層、3h…Gaq3 +Nile Red混合層、3i…Alq
3 +C540 混合層、3j…C540 主成分の層、3k…C
450 主成分の層、3l…TPD+C450 混合層、3m…
TPD主成分の層、4…ホール輸送層、5…ITO透明
電極(アノード)、6…ガラス基板、10、20、21、22、
23、24、25、26、27…有機EL素子、11…真空蒸着装
置、13…支持手段、14…シャッター、28、32…蒸着源、
32…蒸着ボート(蒸着源)、33…上蓋、34…中蓋、35a
…第1貯留槽、35b…第2貯留槽、36…仕切板、37、3
8、39…蒸気流出孔、PX…画素
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Metal electrode (cathode), 2 ... Electron transport layer, 3 ... Light emitting layer, 3a ... Layer of Alq 3 main component, 3b ... Alq 3 + DC
M mixed layer, 3c ... DCM main component layer, 3d ... Alq 3 +
Nile Red mixed layer, 3e ... Nile Red main component layer, 3f
... Gaq 3 main component layer, 3 g ... Gaq 3 + DCM mixed layer, 3 h ... Gaq 3 + Nile Red mixed layer, 3 i ... Alq
3 + C540 mixed layer, 3j ... C540 Main component layer, 3k ... C
450 Main component layer, 3l ... TPD + C450 mixed layer, 3m ...
TPD main component layer, 4 ... Hole transport layer, 5 ... ITO transparent electrode (anode), 6 ... Glass substrate, 10, 20, 21, 22,
23, 24, 25, 26, 27 ... Organic EL element, 11 ... Vacuum deposition apparatus, 13 ... Supporting means, 14 ... Shutter, 28, 32 ... Deposition source,
32 ... evaporation boat (deposition source), 33 ... upper lid, 34 ... inner lid, 35a
... first storage tank, 35b ... second storage tank, 36 ... partition plate, 37, 3
8, 39 ... Steam outflow hole, PX ... Pixel

Claims (21)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 発光領域を含む有機層が電極上に設けら
れている光学的素子において、前記発光領域の少なくと
も一部分が第1の発光材料と第2の発光材料とを含有
し、これらの発光材料による発光波長が互いに異なると
共に、前記第1の発光材料が、 前記第2の発光材料よりも高い気化温度を有し、 かつ、電子輸送性及びホール輸送性のうち少なくとも電
子輸送性を有する、光学的素子。
1. An optical element in which an organic layer including a light emitting region is provided on an electrode, at least a part of the light emitting region contains a first light emitting material and a second light emitting material, and these light emitting regions emit light. The emission wavelengths of the materials are different from each other, the first light emitting material has a higher vaporization temperature than the second light emitting material, and has at least an electron transporting property out of an electron transporting property and a hole transporting property. Optical element.
【請求項2】 発光領域を含む有機層が電極上に設けら
れている光学的素子において、前記発光領域の一部分が
第1の発光材料と第2の発光材料とを含有し、これらの
発光材料による発光波長が互いに異なると共に、前記第
1の発光材料が、 前記第2の発光材料よりも高い気化温度を有し、 かつ、電子輸送性及びホール輸送性のうち少なくとも電
子輸送性を有し、前記発光領域の前記一部分の下又は上
に、前記第1の発光材料又は前記第2の発光材料を主成
分とする他の発光部分が隣接して設けられている光学的
素子。
2. An optical element in which an organic layer including a light emitting region is provided on an electrode, part of the light emitting region contains a first light emitting material and a second light emitting material, and these light emitting materials are included. Have different emission wavelengths from each other, the first light-emitting material has a higher vaporization temperature than the second light-emitting material, and has at least an electron-transporting property among an electron-transporting property and a hole-transporting property, An optical element in which another light emitting portion containing the first light emitting material or the second light emitting material as a main component is adjacently provided below or above the part of the light emitting region.
【請求項3】 発光領域を含む有機層が電極上に設けら
れている光学的素子において、前記発光領域の少なくと
も一部分が第1の発光材料と第2の発光材料とを含有
し、これらの発光材料による発光波長が互いに異なると
共に、前記第1の発光材料が、 前記第2の発光材料よりも低い気化温度を有し、 かつ、ホール輸送性及び電子輸送性のうち少なくともホ
ール輸送性を有する、光学的素子。
3. An optical element in which an organic layer including a light emitting region is provided on an electrode, at least a part of the light emitting region contains a first light emitting material and a second light emitting material, and these light emitting devices emit light. The light emission wavelengths of the materials are different from each other, the first light emitting material has a lower vaporization temperature than the second light emitting material, and has at least a hole transporting property of a hole transporting property and an electron transporting property. Optical element.
【請求項4】 発光領域を含む有機層が電極上に設けら
れている光学的素子において、前記発光領域の一部分が
第1の発光材料と第2の発光材料とを含有し、これらの
発光材料による発光波長が互いに異なると共に、前記第
1の発光材料が、 前記第2の発光材料よりも低い気化温度を有し、 かつ、ホール輸送性及び電子輸送性のうち少なくともホ
ール輸送性を有し、前記発光領域の前記一部分の下又は
上に、前記第1の発光材料又は前記第2の発光材料を主
成分とする他の発光部分が隣接して設けられている光学
的素子。
4. An optical element in which an organic layer including a light emitting region is provided on an electrode, and a part of the light emitting region contains a first light emitting material and a second light emitting material, and these light emitting materials are included. Have different emission wavelengths from each other, the first light-emitting material has a lower vaporization temperature than the second light-emitting material, and has at least a hole-transporting property and an electron-transporting property, An optical element in which another light emitting portion containing the first light emitting material or the second light emitting material as a main component is adjacently provided below or above the part of the light emitting region.
【請求項5】 第2の発光材料の含有量が発光領域にお
いて制御されている、請求項1〜4のいずれか1項に記
載した光学的素子。
5. The optical element according to claim 1, wherein the content of the second light emitting material is controlled in the light emitting region.
【請求項6】 第2の発光領材料の含有量が発光領域に
おいて、その厚み方向に濃度勾配を有している、請求項
1〜4のいずれか1項に記載した光学的素子。
6. The optical element according to claim 1, wherein the content of the second light emitting region material has a concentration gradient in the thickness direction in the light emitting region.
【請求項7】 第2の発光材料が発光領域において、そ
の厚み方向の任意の位置に分散されている、請求項1〜
4のいずれか1項に記載した光学的素子。
7. The first light emitting material is dispersed in the light emitting region at an arbitrary position in the thickness direction thereof.
4. The optical element according to any one of 4 above.
【請求項8】 印加電圧に応じて、その発光スペクトル
の色度が変化する、請求項1〜7のいずれか1項に記載
した光学的素子。
8. The optical element according to claim 1, wherein the chromaticity of its emission spectrum changes in response to an applied voltage.
【請求項9】 光学的に透明な基体上に、透明電極、有
機ホール輸送層、有機発光層及び/又は有機電子輸送
層、及び金属電極が積層されている、請求項1〜4のい
ずれか1項に記載した光学的素子。
9. A transparent electrode, an organic hole transport layer, an organic light emitting layer and / or an organic electron transport layer, and a metal electrode are laminated on an optically transparent substrate. The optical element according to item 1.
【請求項10】 有機電界発光素子として構成されてい
る、請求項9に記載した光学的素子。
10. The optical element according to claim 9, which is configured as an organic electroluminescent element.
【請求項11】 カラーディスプレイ用の素子として構成
されている、請求項10に記載した光学的素子。
11. The optical element according to claim 10, which is configured as an element for a color display.
【請求項12】 発光波長が互いに異なる第1の発光材料
及び第2の発光材料を気化させ、これらの発光材料を含
有する発光部分を少なくとも一部に有する発光領域を有
機層の少なくとも一部分として電極上に形成するに際
し、前記第1の発光材料として、 前記第2の発光材料よりも高い気化温度を有し、 かつ、電子輸送性及びホール輸送性のうち少なくとも電
子輸送性を有する発光材料を使用する、光学的素子の製
造方法。
12. An electrode comprising a first light emitting material and a second light emitting material having different light emitting wavelengths vaporized, and a light emitting region having a light emitting portion containing these light emitting materials in at least a part thereof as at least a part of an organic layer. In forming the above, as the first light emitting material, a light emitting material having a higher vaporization temperature than the second light emitting material and having at least an electron transporting property of an electron transporting property and a hole transporting property is used. A method for manufacturing an optical element.
【請求項13】 発光波長が互いに異なる第1の発光材料
及び第2の発光材料の少なくとも一方を気化させること
によって、これらの発光材料を含有する発光部分と、こ
の発光部分の下又は上に隣接し、前記第1の発光材料又
は第2の発光材料を主成分とする他の発光部分とを有機
層の少なくとも一部分として電極上に形成するに際し、
前記第1の発光材料として、 前記第2の発光材料よりも高い気化温度を有し、 かつ、電子輸送性及びホール輸送性のうち少なくとも電
子輸送性を有する発光材料を使用する、光学的素子の製
造方法。
13. A vaporizing at least one of a first light emitting material and a second light emitting material having emission wavelengths different from each other, thereby adjoining a light emitting portion containing these light emitting materials and a light emitting portion below or above the light emitting portion. When forming the above-mentioned first light-emitting material or another light-emitting portion containing the second light-emitting material as a main component on the electrode as at least a part of the organic layer,
An optical element that uses, as the first light-emitting material, a light-emitting material that has a higher vaporization temperature than the second light-emitting material and that has at least an electron-transporting property among electron-transporting properties and hole-transporting properties. Production method.
【請求項14】 発光波長が互いに異なる第1の発光材料
及び第2の発光材料を気化させ、これらの発光材料を含
有する発光部分を少なくとも一部に有する発光領域を有
機層の少なくとも一部分として電極上に形成するに際
し、前記第1の発光材料として、 前記第2の発光材料よりも低い気化温度を有し、 かつ、ホール輸送性及び電子輸送性のうち少なくともホ
ール輸送性を有する発光材料を使用する、光学的素子の
製造方法。
14. A first light emitting material and a second light emitting material having different light emitting wavelengths are vaporized, and a light emitting region having a light emitting portion containing these light emitting materials in at least a part is used as at least a part of an organic layer as an electrode. In forming the above, as the first light emitting material, a light emitting material having a vaporization temperature lower than that of the second light emitting material and having at least hole transporting property among hole transporting property and electron transporting property is used. A method for manufacturing an optical element.
【請求項15】 発光波長が互いに異なる第1の発光材料
及び第2の発光材料の少なくとも一方を気化させること
によって、これらの発光材料を含有する発光部分と、こ
の発光部分の下又は上に隣接し、前記第1の発光材料又
は第2の発光材料を主成分とする他の発光部分とを有機
層の少なくとも一部分として電極上に形成するに際し、
前記第1の発光材料として、 前記第2の発光材料よりも低い気化温度を有し、 かつ、ホール輸送性及び電子輸送性のうち少なくともホ
ール輸送性を有する発光材料を使用する、光学的素子の
製造方法。
15. By vaporizing at least one of a first light emitting material and a second light emitting material having emission wavelengths different from each other, a light emitting portion containing these light emitting materials and a light emitting portion adjacent to below or above this light emitting portion are adjacent to each other. When forming the above-mentioned first light-emitting material or another light-emitting portion containing the second light-emitting material as a main component on the electrode as at least a part of the organic layer,
An optical element that uses, as the first light-emitting material, a light-emitting material that has a lower vaporization temperature than the second light-emitting material and that has at least a hole-transporting property among hole-transporting properties and electron-transporting properties. Production method.
【請求項16】 第2の発光材料の含有量を発光領域にお
いて制御する、請求項12〜15のいずれか1項に記載した
方法。
16. The method according to claim 12, wherein the content of the second light emitting material is controlled in the light emitting region.
【請求項17】 第2の発光材料の含有量に発光領域の厚
み方向において濃度勾配を形成する、請求項12〜15のい
ずれか1項に記載した方法。
17. The method according to claim 12, wherein a concentration gradient is formed in the content of the second light emitting material in the thickness direction of the light emitting region.
【請求項18】 第2の発光材料を発光領域において、そ
の厚み方向の任意の位置に分散させる、請求項12〜15の
いずれか1項に記載した方法。
18. The method according to claim 12, wherein the second light emitting material is dispersed in the light emitting region at any position in the thickness direction.
【請求項19】 光学的に透明な基体上に、透明電極、有
機ホール輸送層、有機発光層及び/又は有機電子輸送層
及び金属電極を積層する、請求項12〜15のいずれか1項
に記載した方法。
19. The transparent electrode, the organic hole transporting layer, the organic light emitting layer and / or the organic electron transporting layer, and the metal electrode are laminated on the optically transparent substrate, according to any one of claims 12 to 15. The method described.
【請求項20】 有機電界発光素子として構成する、請求
項19に記載した方法。
20. The method according to claim 19, which is configured as an organic electroluminescent device.
【請求項21】 カラーディスプレイ用の素子として構成
する、請求項20に記載した方法。
21. The method according to claim 20, which is configured as a device for a color display.
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