JPH0922681A - 四重極質量分析計 - Google Patents
四重極質量分析計Info
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- JPH0922681A JPH0922681A JP7171880A JP17188095A JPH0922681A JP H0922681 A JPH0922681 A JP H0922681A JP 7171880 A JP7171880 A JP 7171880A JP 17188095 A JP17188095 A JP 17188095A JP H0922681 A JPH0922681 A JP H0922681A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は四重極質量分析計に関し、検出器の
寿命を延ばすことができる四重極質量分析計を提供する
ことを目的としている。 【解決手段】 イオン源で生じたイオンを、複数の電極
を用いて予め定められた位置に集束した状態で導き、そ
の導かれたイオンを四重極マスフィルタを通して検出器
に導いて、試料中の被測定元素を分析する四重極質量分
析計において、マス軸設定を行なう場合に、測定しよう
とする元素の質量数よりも質量数が０．５だけ低い点で
マス軸設定を行った後、目的のマス軸にマス軸設定をを
行なうように構成する。
寿命を延ばすことができる四重極質量分析計を提供する
ことを目的としている。 【解決手段】 イオン源で生じたイオンを、複数の電極
を用いて予め定められた位置に集束した状態で導き、そ
の導かれたイオンを四重極マスフィルタを通して検出器
に導いて、試料中の被測定元素を分析する四重極質量分
析計において、マス軸設定を行なう場合に、測定しよう
とする元素の質量数よりも質量数が０．５だけ低い点で
マス軸設定を行った後、目的のマス軸にマス軸設定をを
行なうように構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は単独で使用されたり
高周波誘導結合プラズマ質量分析装置等に用いられたり
する四重極質量分析装置に関し、特に、マス軸設定を改
善して検出器の延命化を図った四重極質量分析計に関す
る。
高周波誘導結合プラズマ質量分析装置等に用いられたり
する四重極質量分析装置に関し、特に、マス軸設定を改
善して検出器の延命化を図った四重極質量分析計に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】四重極質量分析計（Ｑuadrupole Ｍass
Ｓpectrometer 、以下、「ＱＭＳ」と略す）は、イオン
源で生じたイオンを、複数の電極を用いて予め定められ
た位置に集束した状態で導き、その導かれたイオンを四
重極マスフィルタを通して検出器に導いて、試料中の被
測定元素を分析するものである。
Ｓpectrometer 、以下、「ＱＭＳ」と略す）は、イオン
源で生じたイオンを、複数の電極を用いて予め定められ
た位置に集束した状態で導き、その導かれたイオンを四
重極マスフィルタを通して検出器に導いて、試料中の被
測定元素を分析するものである。
【０００３】図５は、このようなＱＭＳの構成概念図で
あり、説明の便宜上、イオン源として高周波プラズマに
よってイオンを発生させるプラズマ発生部を用いた場合
について説明する。尚、イオン源としては、高周波誘導
結合プラズマの他にマイクロ波誘導プラズマ等が知られ
ている。
あり、説明の便宜上、イオン源として高周波プラズマに
よってイオンを発生させるプラズマ発生部を用いた場合
について説明する。尚、イオン源としては、高周波誘導
結合プラズマの他にマイクロ波誘導プラズマ等が知られ
ている。
【０００４】図５において、プラズマ発生部１には、高
周波誘導結合プラズマが発生する。このプラズマ中に注
入された霧化試料は、イオン化される。このイオンは、
レンズ部５により集束・制御される。該レンズ部５は、
引出しレンズ、アインツェルレンズ、オメガレンズ等よ
りなる。この時、レンズ部５では、前記各種のレンズの
パラメータを変化させてイオンの感度を調整する。レン
ズ部５で集束されたイオンは、四重極マスフィルタ６に
より目的の質量のイオンが選択的に通過され、検出器７
にて検出される。即ち、四重極マスフィルタ６で質量の
異なるイオンを順次抽出して検出器７に導き、該検出器
７は特定質量のイオンを電気的に検出する。演算処理部
８は、検出器７の出力を受けて、イオン量を精密に測定
し、試料中に含まれる被測定元素を分析する。
周波誘導結合プラズマが発生する。このプラズマ中に注
入された霧化試料は、イオン化される。このイオンは、
レンズ部５により集束・制御される。該レンズ部５は、
引出しレンズ、アインツェルレンズ、オメガレンズ等よ
りなる。この時、レンズ部５では、前記各種のレンズの
パラメータを変化させてイオンの感度を調整する。レン
ズ部５で集束されたイオンは、四重極マスフィルタ６に
より目的の質量のイオンが選択的に通過され、検出器７
にて検出される。即ち、四重極マスフィルタ６で質量の
異なるイオンを順次抽出して検出器７に導き、該検出器
７は特定質量のイオンを電気的に検出する。演算処理部
８は、検出器７の出力を受けて、イオン量を精密に測定
し、試料中に含まれる被測定元素を分析する。
【０００５】前述した従来のＱＭＳでは、あるイオンを
測定するためにマス軸設定というものを行なう。即ち、
四重極マスフィルタ６に印加する電圧値を、目的とする
質量数のイオンのみが通過するように設定してやるもの
である。図６はマス軸設定の説明図である。図におい
て、縦軸はＱＭＳの印加電圧、横軸は時間である。例え
ば、質量数Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３のとびとびの元素を測定す
る場合、図（ａ）に示すように、マス軸設定のための印
加電圧をステップ状に印加してやる。しかしながら、四
重極マスフィルタ６内の電気回路の時間遅れ等のため
に、実際のマス軸設定は（ｂ）に示すように若干遅れ
る。
測定するためにマス軸設定というものを行なう。即ち、
四重極マスフィルタ６に印加する電圧値を、目的とする
質量数のイオンのみが通過するように設定してやるもの
である。図６はマス軸設定の説明図である。図におい
て、縦軸はＱＭＳの印加電圧、横軸は時間である。例え
ば、質量数Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３のとびとびの元素を測定す
る場合、図（ａ）に示すように、マス軸設定のための印
加電圧をステップ状に印加してやる。しかしながら、四
重極マスフィルタ６内の電気回路の時間遅れ等のため
に、実際のマス軸設定は（ｂ）に示すように若干遅れ
る。
【０００６】図７は質量スペクトル測定の説明図であ
る。図の縦軸はＱＭＳの印加電圧、横軸は時間である。
図の（ａ）は、図６の（ｂ）を更に詳細に示したもので
ある。（ａ）において、マスＭ１からマスＭ２にマス軸
設定を行なう場合、四重極マスフィルタ６の内部回路は
急速には安定しないので、立ち上がるまでに待ち時間Ｔ
１を必要とする。マス軸をＭ２に設定してから、時間Ｔ
１だけ待った後、実際の測定に入る。Ｔ２は実際の測定
時間である。この期間Ｔ２でＭ２の測定が終了すると、
次に、マスＭ３へのマス軸設定を行なう。
る。図の縦軸はＱＭＳの印加電圧、横軸は時間である。
図の（ａ）は、図６の（ｂ）を更に詳細に示したもので
ある。（ａ）において、マスＭ１からマスＭ２にマス軸
設定を行なう場合、四重極マスフィルタ６の内部回路は
急速には安定しないので、立ち上がるまでに待ち時間Ｔ
１を必要とする。マス軸をＭ２に設定してから、時間Ｔ
１だけ待った後、実際の測定に入る。Ｔ２は実際の測定
時間である。この期間Ｔ２でＭ２の測定が終了すると、
次に、マスＭ３へのマス軸設定を行なう。
【０００７】図７の（ｂ）は、検出器７に入るイオン強
度を示している。縦軸はイオン強度、横軸は時間であ
る。図より明らかなように、待ち時間Ｔ１の間にも、検
出器７にはそれなりのイオンが到達している。最終的に
Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３でマス軸を設定し、イオン強度を測定
すると、（ｃ）に示すような質量スペクトルが得られ
る。（ｃ）において、縦軸はイオン強度、横軸は質量数
である。
度を示している。縦軸はイオン強度、横軸は時間であ
る。図より明らかなように、待ち時間Ｔ１の間にも、検
出器７にはそれなりのイオンが到達している。最終的に
Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３でマス軸を設定し、イオン強度を測定
すると、（ｃ）に示すような質量スペクトルが得られ
る。（ｃ）において、縦軸はイオン強度、横軸は質量数
である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】前述したように、従来
の装置では、マス軸設定を行なう場合、待ち時間Ｔ１を
必要とする。例えば、図８に示すようにマスＭ１からマ
スＭ２の測定を行なう場合、マス軸設定は、マスＭ１か
らマスＭ２に飛ぶ。この場合、マスＭ２の測定を行なう
前に待ち時間Ｔ１を必要とする。この待ち時間Ｔ１が測
定時間Ｔ２よりも長い。例えば、マスＭ１とＭ２とが１
００ＡＭＵ離れている場合、待ち時間Ｔ１が約４ｍｓと
すると、測定時間Ｔ２は約１ｍｓ程度となる。この場
合、検出器７はこの待ち時間Ｔ１の間に、図７の（ｂ）
に示すように大きな強度のイオンを検出している。検出
器７には寿命があるので、待ち時間Ｔ１の間にも不要な
イオンを検出する結果、検出器７の寿命を縮めてしま
う。
の装置では、マス軸設定を行なう場合、待ち時間Ｔ１を
必要とする。例えば、図８に示すようにマスＭ１からマ
スＭ２の測定を行なう場合、マス軸設定は、マスＭ１か
らマスＭ２に飛ぶ。この場合、マスＭ２の測定を行なう
前に待ち時間Ｔ１を必要とする。この待ち時間Ｔ１が測
定時間Ｔ２よりも長い。例えば、マスＭ１とＭ２とが１
００ＡＭＵ離れている場合、待ち時間Ｔ１が約４ｍｓと
すると、測定時間Ｔ２は約１ｍｓ程度となる。この場
合、検出器７はこの待ち時間Ｔ１の間に、図７の（ｂ）
に示すように大きな強度のイオンを検出している。検出
器７には寿命があるので、待ち時間Ｔ１の間にも不要な
イオンを検出する結果、検出器７の寿命を縮めてしま
う。
【０００９】本発明はこのような課題に鑑みてなされた
ものであって、検出器の寿命を延ばすことができるＱＭ
Ｓを提供することを目的としている。
ものであって、検出器の寿命を延ばすことができるＱＭ
Ｓを提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記した課題を解決する
本発明は、高周波誘導プラズマを用いて試料を励起し、
生じたイオンを真空中に導入してイオン光学系及びマス
フィルタを通して検出器に導いて検出することにより、
試料中の被測定元素を分析するようにしたＱＭＳにおい
て、マス軸設定を行なう場合に、測定しようとする元素
の質量数よりも質量数が０．５だけ低い点でマス軸設定
を行った後、目的のマス軸にマス軸設定を行なうように
したことを特徴としている。
本発明は、高周波誘導プラズマを用いて試料を励起し、
生じたイオンを真空中に導入してイオン光学系及びマス
フィルタを通して検出器に導いて検出することにより、
試料中の被測定元素を分析するようにしたＱＭＳにおい
て、マス軸設定を行なう場合に、測定しようとする元素
の質量数よりも質量数が０．５だけ低い点でマス軸設定
を行った後、目的のマス軸にマス軸設定を行なうように
したことを特徴としている。
【００１１】ここで、マス軸設定を行なうとは、目的と
する質量数のイオンを通過させるために、マスフィルタ
に対応する電圧を印加することをいう。図１は本発明の
作用説明図である。マスＭ１で質量測定を行った後、次
のマスＭ２に飛ぶのではなく、マスＭ２の質量数よりも
０．５だけ低い点であるＭ２−０．５の点に飛ぶのであ
る。つまり、Ｍ２−０．５の点でマス軸設定を行なう。
Ｍ２−０．５の点には、元素はないので、この点で質量
を測定しても、検出器７で検出されるイオン強度は極め
て小さい。従って、検出器７の寿命を縮めることはな
い。そして、Ｍ２−０．５の点で安定待ちをした後、Ｍ
２点のマス軸設定を行なう。この場合の四重極マスフィ
ルタ６に印加される電圧の変化は極めて小さいので、印
加電圧は速やかに立ち上がり、マスＭ２の質量測定を行
なう。
する質量数のイオンを通過させるために、マスフィルタ
に対応する電圧を印加することをいう。図１は本発明の
作用説明図である。マスＭ１で質量測定を行った後、次
のマスＭ２に飛ぶのではなく、マスＭ２の質量数よりも
０．５だけ低い点であるＭ２−０．５の点に飛ぶのであ
る。つまり、Ｍ２−０．５の点でマス軸設定を行なう。
Ｍ２−０．５の点には、元素はないので、この点で質量
を測定しても、検出器７で検出されるイオン強度は極め
て小さい。従って、検出器７の寿命を縮めることはな
い。そして、Ｍ２−０．５の点で安定待ちをした後、Ｍ
２点のマス軸設定を行なう。この場合の四重極マスフィ
ルタ６に印加される電圧の変化は極めて小さいので、印
加電圧は速やかに立ち上がり、マスＭ２の質量測定を行
なう。
【００１２】図１において、Ｔ３はマスＭ１の測定を行
なってからマスＭ２の測定を行なうまでの時間、Ｔ１’
はＭ２−０．５からマスＭ２の測定を行なうまでの待ち
時間である。この待ち時間Ｔ１’は、従来の待ち時間よ
りも大幅に短縮されたものとなる。例えば、従来の装置
で、１００ＡＭＵ離れているマスを測定する場合、安定
待ちに約４ｍｓかかっていたのが、本発明によれば、約
１ｍｓですみ、無駄な検出器の劣化は従来に比較して１
／４に減らすことができる。
なってからマスＭ２の測定を行なうまでの時間、Ｔ１’
はＭ２−０．５からマスＭ２の測定を行なうまでの待ち
時間である。この待ち時間Ｔ１’は、従来の待ち時間よ
りも大幅に短縮されたものとなる。例えば、従来の装置
で、１００ＡＭＵ離れているマスを測定する場合、安定
待ちに約４ｍｓかかっていたのが、本発明によれば、約
１ｍｓですみ、無駄な検出器の劣化は従来に比較して１
／４に減らすことができる。
【００１３】この場合において、前記イオン源として高
周波誘導結合プラズマを用いることにより、試料のイオ
ン化を確実に行なうことができる。
周波誘導結合プラズマを用いることにより、試料のイオ
ン化を確実に行なうことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態例を詳細に説明する。図２は本発明の実施の形
態例の要部を示す構成ブロック図である。全体の構成
は、図５と同じであるものとする。図５と同一のもの
は、同一の符号を付して示す。図において、６は前述し
た四重極マスフィルタ、７は該四重極マスフィルタ６を
通過したイオンを検出する検出器、８は該検出器７の出
力を受けてイオン量を精密に測定し、試料中に含まれる
被測定元素を分析する演算処理部である。前記検出器７
は、イオンの強度に比例したパルスをカウントするよう
になっている。２０は四重極マスフィルタ６に入るイオ
ンであり、図では、Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３のイオンを示して
いるが、これに限るものではない。１１は測定する元素
の質量を設定する質量設定部、１０は該質量設定部１１
で設定される質量数を記憶しておき、マス軸設定の際
に、目的のマスの質量よりも０．５だけ低い質量数の点
にマス軸設定を行なって、安定待ちを行ない、その後目
的の質量数の元素のマス軸設定を行なうＣＰＵである。
１２は該ＣＰＵ１０から出力されるディジタルデータを
アナログ電圧信号に変換するＤ／Ａ変換器である。該Ｄ
／Ａ変換器１２の出力は、四重極マスフィルタ６にパス
バンドを設定するための印加電圧として与えられる。こ
のように構成された装置の動作を説明すれば、以下のと
おりである。
施の形態例を詳細に説明する。図２は本発明の実施の形
態例の要部を示す構成ブロック図である。全体の構成
は、図５と同じであるものとする。図５と同一のもの
は、同一の符号を付して示す。図において、６は前述し
た四重極マスフィルタ、７は該四重極マスフィルタ６を
通過したイオンを検出する検出器、８は該検出器７の出
力を受けてイオン量を精密に測定し、試料中に含まれる
被測定元素を分析する演算処理部である。前記検出器７
は、イオンの強度に比例したパルスをカウントするよう
になっている。２０は四重極マスフィルタ６に入るイオ
ンであり、図では、Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３のイオンを示して
いるが、これに限るものではない。１１は測定する元素
の質量を設定する質量設定部、１０は該質量設定部１１
で設定される質量数を記憶しておき、マス軸設定の際
に、目的のマスの質量よりも０．５だけ低い質量数の点
にマス軸設定を行なって、安定待ちを行ない、その後目
的の質量数の元素のマス軸設定を行なうＣＰＵである。
１２は該ＣＰＵ１０から出力されるディジタルデータを
アナログ電圧信号に変換するＤ／Ａ変換器である。該Ｄ
／Ａ変換器１２の出力は、四重極マスフィルタ６にパス
バンドを設定するための印加電圧として与えられる。こ
のように構成された装置の動作を説明すれば、以下のと
おりである。
【００１５】先ず、質量設定部１１から測定すべき元素
の質量数Ｍを設定する。例えば、Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３とい
う具合に設定する。ＣＰＵ１０は、設定された元素の質
量数を記憶しておく。次に、オペレータが、装置の動作
を開始する指令を与える。ＣＰＵ１０は質量数Ｍ１をセ
レクトするために必要な電圧値に対応するディジタルデ
ータをＤ／Ａ変換器１２に出力する。Ｄ／Ａ変換器１２
は、ＣＰＵ１０から与えられたディジタルデータをアナ
ログ電圧信号に変換して四重極マスフィルタ６に印加す
る。この結果、該四重極マスフィルタ６は、質量数Ｍ１
のイオンのみを通過させるバンドパスフィルタとして機
能する。従って、該四重極マスフィルタ６は、入力され
るイオンの内のＭ１のみを通過させる。この質量数Ｍ１
のイオンは検出器７に到達し、該検出器７はイオン強度
に応じたパルスを発生する。演算処理部８は、検出器７
の出力を受けて、イオン量を精密に測定し、試料中に含
まれる被測定元素を分析する。
の質量数Ｍを設定する。例えば、Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３とい
う具合に設定する。ＣＰＵ１０は、設定された元素の質
量数を記憶しておく。次に、オペレータが、装置の動作
を開始する指令を与える。ＣＰＵ１０は質量数Ｍ１をセ
レクトするために必要な電圧値に対応するディジタルデ
ータをＤ／Ａ変換器１２に出力する。Ｄ／Ａ変換器１２
は、ＣＰＵ１０から与えられたディジタルデータをアナ
ログ電圧信号に変換して四重極マスフィルタ６に印加す
る。この結果、該四重極マスフィルタ６は、質量数Ｍ１
のイオンのみを通過させるバンドパスフィルタとして機
能する。従って、該四重極マスフィルタ６は、入力され
るイオンの内のＭ１のみを通過させる。この質量数Ｍ１
のイオンは検出器７に到達し、該検出器７はイオン強度
に応じたパルスを発生する。演算処理部８は、検出器７
の出力を受けて、イオン量を精密に測定し、試料中に含
まれる被測定元素を分析する。
【００１６】次に、ＣＰＵ１０は、マスＭ１からＭ２−
０．５にジャンプさせる処理を行なう。即ち、Ｍ２−
０．５のマス軸を設定するためのディジタルデータをＤ
／Ａ変換器１２に出力する。Ｄ／Ａ変換器１２は、ＣＰ
Ｕ１０から与えられたディジタルデータをアナログ電圧
信号に変換して四重極マスフィルタ６に印加する。この
結果、該四重極マスフィルタ６は、質量数Ｍ２−０．５
のみを通過させるバンドパスフィルタとして機能する。
実際には質量数Ｍ２−０．５の元素は存在しないので、
該四重極マスフィルタ６を通過するイオンはない。従っ
て、検出器７に入力されるイオン強度は極めて小さいの
で、検出器を傷めることはない。この場合の検出器７の
出力も演算処理部８に入るが、該演算処理部８はこの時
のデータ（パルス）は無視する。
０．５にジャンプさせる処理を行なう。即ち、Ｍ２−
０．５のマス軸を設定するためのディジタルデータをＤ
／Ａ変換器１２に出力する。Ｄ／Ａ変換器１２は、ＣＰ
Ｕ１０から与えられたディジタルデータをアナログ電圧
信号に変換して四重極マスフィルタ６に印加する。この
結果、該四重極マスフィルタ６は、質量数Ｍ２−０．５
のみを通過させるバンドパスフィルタとして機能する。
実際には質量数Ｍ２−０．５の元素は存在しないので、
該四重極マスフィルタ６を通過するイオンはない。従っ
て、検出器７に入力されるイオン強度は極めて小さいの
で、検出器を傷めることはない。この場合の検出器７の
出力も演算処理部８に入るが、該演算処理部８はこの時
のデータ（パルス）は無視する。
【００１７】次に、ＣＰＵ１０は、マスＭ２へのマス軸
を設定するためのディジタルデータをＤ／Ａ変換器１２
に出力する。Ｄ／Ａ変換器１２は、ＣＰＵ１０から与え
られたディジタルデータをアナログ電圧信号に変換して
四重極マスフィルタ６に印加する。この結果、該四重極
マスフィルタ６は、質量数Ｍ２のみを通過させるバンド
パスフィルタとして機能する。この場合において、質量
数Ｍ２−０．５から質量数Ｍ２への変更であるので、印
加電圧の変化は少ない。従って、四重極マスフィルタ６
はマス軸が設定された後、速やかにマスＭ２のイオンを
出力することができる。図に示すように四重極マスフィ
ルタ６を通過したＭ２のイオンは検出器７に到達する。
該検出器７はイオン強度に応じたパルスを発生する。演
算処理部８は、検出器７の出力を受けて、イオン量を精
密に測定し、試料中に含まれる被測定元素を分析する。
を設定するためのディジタルデータをＤ／Ａ変換器１２
に出力する。Ｄ／Ａ変換器１２は、ＣＰＵ１０から与え
られたディジタルデータをアナログ電圧信号に変換して
四重極マスフィルタ６に印加する。この結果、該四重極
マスフィルタ６は、質量数Ｍ２のみを通過させるバンド
パスフィルタとして機能する。この場合において、質量
数Ｍ２−０．５から質量数Ｍ２への変更であるので、印
加電圧の変化は少ない。従って、四重極マスフィルタ６
はマス軸が設定された後、速やかにマスＭ２のイオンを
出力することができる。図に示すように四重極マスフィ
ルタ６を通過したＭ２のイオンは検出器７に到達する。
該検出器７はイオン強度に応じたパルスを発生する。演
算処理部８は、検出器７の出力を受けて、イオン量を精
密に測定し、試料中に含まれる被測定元素を分析する。
【００１８】次に、ＣＰＵ１０は質量数Ｍ２から質量数
Ｍ３−０．５へのマス軸設定変更を行なう。その後、質
量数Ｍ３へのマス軸設定を行ない、マスＭ３の質量数の
測定を行なう。以下、同様である。
Ｍ３−０．５へのマス軸設定変更を行なう。その後、質
量数Ｍ３へのマス軸設定を行ない、マスＭ３の質量数の
測定を行なう。以下、同様である。
【００１９】図３は上述した本発明の実施の形態例の動
作説明図である。例えば、（ａ）に示すようなスペクト
ルを持つ試料を測定したものとする。（ａ）において、
縦軸はスペクトル強度、横軸は質量数である。（ｂ）は
マスフィルタへの印加電圧の変化を示す図である。
（ｂ）において、縦軸はＱＭＳの印加電圧、横軸は時間
である。マスＭ１の測定から、マスＭ２の測定を行なう
前に、質量数Ｍ２−０．５の点にマス軸の設定を行な
い、安定待ちをさせる。その後、マスＭ２のマス軸設定
を行なっている。この結果、Ｍ２−０．５の点では、検
出器７に入るイオン強度は、（ｃ）に示すように低い値
であるので、検出器を傷めず、寿命を延ばすことができ
る。
作説明図である。例えば、（ａ）に示すようなスペクト
ルを持つ試料を測定したものとする。（ａ）において、
縦軸はスペクトル強度、横軸は質量数である。（ｂ）は
マスフィルタへの印加電圧の変化を示す図である。
（ｂ）において、縦軸はＱＭＳの印加電圧、横軸は時間
である。マスＭ１の測定から、マスＭ２の測定を行なう
前に、質量数Ｍ２−０．５の点にマス軸の設定を行な
い、安定待ちをさせる。その後、マスＭ２のマス軸設定
を行なっている。この結果、Ｍ２−０．５の点では、検
出器７に入るイオン強度は、（ｃ）に示すように低い値
であるので、検出器を傷めず、寿命を延ばすことができ
る。
【００２０】
【実施例】図４は本発明の効果の説明図である。ここで
は、８９ＡＭＵのＹ（イットリウム）から１１５ＡＭＵ
のＩｎ（インジウム）へのマス軸設定変更を行った時
の、従来技術と本発明でのイオン検出特性を示している
（Ｍ１＝８９，Ｍ２＝１１５）。（ｂ）は従来の特性
を、（ａ）は本発明の特性をそれぞれ示している。縦軸
はそれぞれの信号の振幅、横軸は時間である。横軸の１
マスが１ｍｓに対応している。（ａ），（ｂ）におい
て、Ｐ１は検出器出力、Ｐ２はマス軸設定信号、Ｐ３は
検出器でカウントされる時間幅をそれぞれ示している。
は、８９ＡＭＵのＹ（イットリウム）から１１５ＡＭＵ
のＩｎ（インジウム）へのマス軸設定変更を行った時
の、従来技術と本発明でのイオン検出特性を示している
（Ｍ１＝８９，Ｍ２＝１１５）。（ｂ）は従来の特性
を、（ａ）は本発明の特性をそれぞれ示している。縦軸
はそれぞれの信号の振幅、横軸は時間である。横軸の１
マスが１ｍｓに対応している。（ａ），（ｂ）におい
て、Ｐ１は検出器出力、Ｐ２はマス軸設定信号、Ｐ３は
検出器でカウントされる時間幅をそれぞれ示している。
【００２１】（ｂ）に示す従来装置の場合、Ｙを測定し
た後、時刻ｔ1 において即Ｉｎのマス軸設定を行なって
いる。この結果、検出器出力は、Ｐ１に示すように速く
立ち上がる。しかしながら、マスフィルタ内の電気回路
が安定になるまでに時間がかかるため、実際の測定時間
は時刻ｔ2 以降となる。そして、時刻ｔ2 以降で測定す
るため、測定ゲートＰ３は時刻ｔ3 で立ち上がる。検出
器は時刻ｔ1 から時刻ｔ2 の間、無駄にイオン強度の高
い信号を受け続けていることになる。これに対して、
（ａ）に示す本発明の場合、Ｙを測定した後、時刻ｔ1
で質量数１１５−０．５のマス軸設定を行ない安定待ち
をする。その後、時刻ｔ2 ’で質量数１１５のＩｎのマ
ス軸設定を行なった後、速やかにＩｎの質量測定を行な
えることが分かる。なお、この場合、測定ゲートＰ３は
時刻ｔ4 でも立ち上がっているが、このゲートは１１５
−０．５のマス軸設定に対する応答であるので、無視す
る。そして、時刻ｔ5 以降で立ち上がったゲートでパル
スカウントを行なう。
た後、時刻ｔ1 において即Ｉｎのマス軸設定を行なって
いる。この結果、検出器出力は、Ｐ１に示すように速く
立ち上がる。しかしながら、マスフィルタ内の電気回路
が安定になるまでに時間がかかるため、実際の測定時間
は時刻ｔ2 以降となる。そして、時刻ｔ2 以降で測定す
るため、測定ゲートＰ３は時刻ｔ3 で立ち上がる。検出
器は時刻ｔ1 から時刻ｔ2 の間、無駄にイオン強度の高
い信号を受け続けていることになる。これに対して、
（ａ）に示す本発明の場合、Ｙを測定した後、時刻ｔ1
で質量数１１５−０．５のマス軸設定を行ない安定待ち
をする。その後、時刻ｔ2 ’で質量数１１５のＩｎのマ
ス軸設定を行なった後、速やかにＩｎの質量測定を行な
えることが分かる。なお、この場合、測定ゲートＰ３は
時刻ｔ4 でも立ち上がっているが、このゲートは１１５
−０．５のマス軸設定に対する応答であるので、無視す
る。そして、時刻ｔ5 以降で立ち上がったゲートでパル
スカウントを行なう。
【００２２】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、目的とする質量数の０．５手前でマス軸設定を
行なって安定時間を設けた後、目的の質量数の測定を行
なうため、検出器に到達するイオン強度は従来の約数分
の１と少なくてすむので、検出器の寿命を延ばすことが
できるＱＭＳを提供することができる。また、本発明に
よれば、目的とする質量数の０．５手前でマス軸設定を
行なって安定時間を設けた後、目的の質量数の測定を行
なうため、マス軸設定を行なってから速やかに質量測定
を行なうことができる。
よれば、目的とする質量数の０．５手前でマス軸設定を
行なって安定時間を設けた後、目的の質量数の測定を行
なうため、検出器に到達するイオン強度は従来の約数分
の１と少なくてすむので、検出器の寿命を延ばすことが
できるＱＭＳを提供することができる。また、本発明に
よれば、目的とする質量数の０．５手前でマス軸設定を
行なって安定時間を設けた後、目的の質量数の測定を行
なうため、マス軸設定を行なってから速やかに質量測定
を行なうことができる。
【００２３】この場合において、前記イオン源として高
周波誘導結合プラズマを用いることにより、試料のイオ
ン化を確実に行なうことができる。
周波誘導結合プラズマを用いることにより、試料のイオ
ン化を確実に行なうことができる。
【図１】本発明の作用説明図である。
【図２】本発明の実施の形態例の要部を示す構成ブロッ
ク図である。
ク図である。
【図３】本発明の実施の形態例の動作説明図である。
【図４】本発明の効果の説明図である。
【図５】ＱＭＳの構成概念図である。
【図６】マス軸設定の説明図である。
【図７】質量スペクトル測定の説明図である。
【図８】従来技術の問題点の説明図である。
６ マスフィルタ ７ 検出器 ８ 演算処理部 １０ ＣＰＵ １１ 質量設定部 １２ Ｄ／Ａ変換器 ２０ イオン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮田 小百合 東京都武蔵野市中町一丁目15番５号 三鷹 高木ビル横河アナリティカルシステムズ株 式会社内 (72)発明者 佐川 斉 東京都武蔵野市中町一丁目15番５号 三鷹 高木ビル横河アナリティカルシステムズ株 式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 イオン源で生じたイオンを、複数の電極
を用いて予め定められた位置に集束した状態で導き、そ
の導かれたイオンを四重極マスフィルタを通して検出器
に導いて、試料中の被測定元素を分析する四重極質量分
析計において、 マス軸設定を行なう場合に、測定しようとする元素の質
量数よりも質量数が０．５だけ低い点でマス軸設定を行
った後、目的のマス軸にマス軸設定を行なうようにした
ことを特徴とする四重極質量分析計。 - 【請求項２】 前記イオン源が高周波誘導結合プラズマ
であることを特徴とする請求項１記載の四重極質量分析
計
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7171880A JPH0922681A (ja) | 1995-07-07 | 1995-07-07 | 四重極質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7171880A JPH0922681A (ja) | 1995-07-07 | 1995-07-07 | 四重極質量分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0922681A true JPH0922681A (ja) | 1997-01-21 |
Family
ID=15931513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7171880A Pending JPH0922681A (ja) | 1995-07-07 | 1995-07-07 | 四重極質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0922681A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE112008001297T5 (de) | 2007-05-15 | 2010-04-08 | ULVAC, Inc., Chigasaki-shi | Massenspektrometrieeinheit |
| US8115166B2 (en) | 2007-04-16 | 2012-02-14 | Ulvac, Inc. | Method of controlling mass spectrometer and mass spectrometer |
-
1995
- 1995-07-07 JP JP7171880A patent/JPH0922681A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8115166B2 (en) | 2007-04-16 | 2012-02-14 | Ulvac, Inc. | Method of controlling mass spectrometer and mass spectrometer |
| DE112008001297T5 (de) | 2007-05-15 | 2010-04-08 | ULVAC, Inc., Chigasaki-shi | Massenspektrometrieeinheit |
| US8138473B2 (en) | 2007-05-15 | 2012-03-20 | Ulvac, Inc. | Mass spectrometry unit |
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