JPH0922018A - Method for assembling liquid crystal display element and apparatus therefor - Google Patents

Method for assembling liquid crystal display element and apparatus therefor

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Publication number
JPH0922018A
JPH0922018A JP16984195A JP16984195A JPH0922018A JP H0922018 A JPH0922018 A JP H0922018A JP 16984195 A JP16984195 A JP 16984195A JP 16984195 A JP16984195 A JP 16984195A JP H0922018 A JPH0922018 A JP H0922018A
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JP
Japan
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transparent substrate
liquid crystal
assembling
sealing material
crystal display
Prior art date
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Pending
Application number
JP16984195A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Saito
健 斎藤
Masao Uehara
正男 上原
Hideaki Nakamu
秀明 中務
Koichi Okamoto
光一 岡本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPH0922018A publication Critical patent/JPH0922018A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To entirely obviate the occurrence of positional deviation of a second transparent substrate relative to a first transparent substrate by executing the pressurization of the first and second transparent substrates assembled and arranged to face each other after registration under the air pressure given a pressure difference from the inside of a sealing material. SOLUTION: The lower transparent substrate 21 is placed on a lower transparent substrate stage 3 and the upper transparent substrate 22 on an upper transparent substrate stage 4 within a bell-jar 2. The pressurization of the respective lower and upper transparent substrates 21, 22 assembled and arranged to face each other after the registration is executed under the air pressure given the pressure difference from the inside of the sealing material 23. The pressures applied on the lower and upper transparent substrates 21, 22 are, therefore, made uniform perpendicularly to these transparent substrates 21, 22. The pressurization in the state of having no deviation of the upper transparent substrate 22 relative to the lower transparent substrate 21 is thereby resulted. As a result, the registration accuracy is eventually retained as it is even after the such pressurization stage is executed after the accurate registration is executed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示素子の組立て
方法およびその装置に係り、特に、加工された上下各透
明基板をシール材を介して対向配置させるための液晶表
示素子の組立て方法およびその装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of assembling a liquid crystal display device and an apparatus therefor, and more particularly to a method of assembling a liquid crystal display device for arranging processed upper and lower transparent substrates so as to face each other via a sealing material. Regarding the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示素子は、液晶を介して互いに対
向配置される透明基板を備えて構成される。
2. Description of the Related Art A liquid crystal display device comprises transparent substrates which are arranged to face each other with a liquid crystal interposed therebetween.

【0003】この場合、たとえば、一方の透明基板の液
晶側の面には、マトリックス状に配置された画素電極、
これら各画素電極に映像信号を供給させるための信号線
等が形成され、また、他方の透明基板の液晶側の面に
は、前記画素電極との間に電界を発生せしめる共通電
極、およびカラーフィルタ等が形成されている。
In this case, for example, the pixel electrodes arranged in a matrix on the liquid crystal side surface of one transparent substrate,
A signal line for supplying a video signal to each of the pixel electrodes is formed, and a common electrode for generating an electric field between the pixel electrode and the common electrode is formed on the liquid crystal side surface of the other transparent substrate. Etc. are formed.

【0004】そして、これら各透明基板の間に介在され
る液晶は、表示領域を囲んで各透明基板間に形成された
シール材によって封止されるようになっている。
The liquid crystal interposed between the transparent substrates is sealed by a sealing material formed between the transparent substrates to surround the display area.

【0005】従来、このような構成からなる液晶表示素
子を製造する場合、電極等を形成し終えた透明基板のう
ち、その一方の透明基板にシール材をその一部を開口さ
せて液晶封入口を構成するように塗布形成し、このよう
に構成した透明基板に対して他方の透明基板を目合わせ
した状態で該シール材を介して対向配置させる。そし
て、各透明基板に加圧を施し、それらの間隔を所定の寸
法に設定する。
Conventionally, when manufacturing a liquid crystal display device having such a structure, among the transparent substrates on which electrodes and the like have been formed, a sealing material is partially opened on one of the transparent substrates and a liquid crystal sealing port is formed. Is formed by coating so that the other transparent substrate is aligned with the transparent substrate thus configured with the sealing material interposed therebetween. Then, pressure is applied to each transparent substrate, and the distance between them is set to a predetermined dimension.

【0006】その後は、該シール材を固化させた後、そ
の液晶封入口を通して液晶を充填させ、この充填が完了
した後、該液晶封入口を封止するようになっている。
After that, after the sealing material is solidified, liquid crystal is filled through the liquid crystal filling port, and after the filling is completed, the liquid crystal filling port is sealed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに組み立てられた液晶表示素子は事前に目合わせがな
されてるにも拘らず、下側透明基板に対する上側透明基
板の位置づれが発生していることが指摘されるに至っ
た。
However, although the liquid crystal display element assembled in this way is aligned in advance, the upper transparent substrate is misaligned with respect to the lower transparent substrate. Was pointed out.

【0008】そこで、この原因を追及した結果、各透明
基板の目合わせは大気中で行うことから、シール材で囲
まれた領域内に空気が大量に残存し、この状態で加圧を
行うと該領域内の圧力が高くなり該透明基板をずれさせ
るような力が発生してしまうことが判明した。
Therefore, as a result of pursuing this cause, since the alignment of each transparent substrate is performed in the atmosphere, a large amount of air remains in the region surrounded by the sealing material, and when pressure is applied in this state. It was found that the pressure in the region was increased and a force for shifting the transparent substrate was generated.

【0009】また、加圧においても機械的な圧力によっ
て行っていたため、その機械的歪み等によっる圧力の不
均一性もその一因となっていることが判明した。
Further, it has been found that the non-uniformity of pressure due to mechanical strain or the like is one of the causes because the pressurization is also performed by mechanical pressure.

【0010】本発明は、このような事情に基づいてなさ
れたものであり、その目的は、第1透明基板に対する第
2透明基板の位置づれを全く生じさせることのない液晶
表示素子の組立て方法および装置を提供することにあ
る。
The present invention has been made under such circumstances, and an object thereof is a method of assembling a liquid crystal display element that does not cause the second transparent substrate to be misaligned with respect to the first transparent substrate. To provide a device.

【0011】また、第1および第2のそれぞれの透明基
板の目合わせと組立てとをほぼ同一の工程で行い得る液
晶表示素子の組立て方法および装置を提供することにあ
る。
It is another object of the present invention to provide a method and apparatus for assembling a liquid crystal display element, which can perform the alignment and the assembly of the first and second transparent substrates in substantially the same process.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
SUMMARY OF THE INVENTION Among the inventions disclosed in the present application, the outline of a representative one will be briefly described.
It is as follows.

【0013】すなわち、第1透明基板と、液晶が封入さ
れるべく表示領域を囲んで未硬化のシール材が形成され
ているとともに該表示領域内にスペーサ剤を散布配置さ
れた第2透明基板と、をそれぞれ目合わせ後の組立て対
向配置を行った後に加圧する工程が含まれる液晶表示素
子の組立て方法において、前記加圧は、第1透明基板に
対する第2透明基板の目合わせ対向配置を所定圧力雰囲
気内で行なう工程と、第1透明基板に対する第2透明基
板の組立て対向配置を行った後に、前記所定圧力雰囲気
をそれよりも高い圧力雰囲気にすることによって前記シ
ール材内との間で圧力差をもたせる工程とでなされるこ
とを特徴とするものである。
That is, a first transparent substrate and a second transparent substrate in which an uncured sealing material is formed so as to enclose the liquid crystal so as to enclose the liquid crystal, and a spacer agent is dispersed in the display region. In the method of assembling the liquid crystal display element, the method includes a step of pressing after aligning and assembling after facing each other, and applying the pressure to the facing facing arrangement of the second transparent substrate with respect to the first transparent substrate by a predetermined pressure. After the step of performing in an atmosphere and the assembly of the second transparent substrate with respect to the first transparent substrate so as to face each other, the predetermined pressure atmosphere is changed to a pressure atmosphere higher than the predetermined pressure atmosphere so that the pressure difference between the inside and the inside of the sealing material is It is characterized in that it is carried out in the step of providing.

【0014】[0014]

【作用】このように構成した液晶表示素子の組立て方法
によれば、目合わせ後の組立て対向配置された第1およ
び第2のそれぞれの透明基板の加圧は、シール材内との
間で圧力差をもたせた気圧によって行っているものであ
る。
According to the method of assembling the liquid crystal display element having the above-described structure, the pressure applied to the first and second transparent substrates, which are arranged to face each other after the alignment after the assembly, is performed between the seal material and the seal member. It is performed by the atmospheric pressure that makes a difference.

【0015】このため、第1および第2のそれぞれの透
明基板に加わる圧力は該透明基板に対して垂直にかつ均
一なものとなる。
Therefore, the pressure applied to each of the first and second transparent substrates is vertical and uniform with respect to the transparent substrate.

【0016】このことは、第1透明基板に対する第2透
明基板のずれが全くない状態で加圧させることになる。
This means that the second transparent substrate is pressed with no displacement relative to the first transparent substrate.

【0017】したがって、精度よい目合わせを行った後
のこのような加圧工程を経た後でも、該目合わせの精度
はそのまま温存されることになる。
Therefore, even after such a pressurizing step after performing the accurate alignment, the alignment accuracy is preserved as it is.

【0018】また、圧力の可変の時点におけるその前後
段階において、それぞれ、第1および第2の透明基板の
目合わせがなされ、また、組立てがなされることから、
それらをほぼ同一の工程で行うことができるようにな
る。
Further, since the first and second transparent substrates are aligned with each other and assembled at the time before and after the time when the pressure is changed, respectively,
It becomes possible to perform them in almost the same process.

【0019】[0019]

【実施例】以下、本発明による液晶表示素子の組立て方
法およびその装置の実施例について図面を用いて説明す
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a method of assembling a liquid crystal display device and an apparatus therefor according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0020】まず、図2は、本発明による組立ての対象
となる部材を示す説明図である。同図(a)は、液晶表
示素子の構成部材となる下側透明基板21の平面図を、
また、同図(b)は上側透明基板22の平面図を表して
いる。
First, FIG. 2 is an explanatory view showing members to be assembled according to the present invention. FIG. 1A is a plan view of a lower transparent substrate 21 which is a constituent member of a liquid crystal display element.
Further, FIG. 3B shows a plan view of the upper transparent substrate 22.

【0021】下側透明基板21は、それに対して上側透
明基板22が対向配置されるようになっており(このよ
うに対向配置された下側透明基板21に対する上側透明
基板22の位置を図中一点鎖線で示している)、該上側
透明基板22との間に介在される液晶を封止するための
シール材23が表示領域DPとなる部分を囲んで塗布形
成されている。
The lower transparent substrate 21 is arranged such that the upper transparent substrate 22 faces it (the position of the upper transparent substrate 22 relative to the lower transparent substrate 21 thus facing is shown in the figure). A sealing material 23 for sealing the liquid crystal interposed between the upper transparent substrate 22 and the upper transparent substrate 22 is applied and formed so as to surround the portion to be the display region DP.

【0022】シール材23の一部には開口が設けられて
おり、この開口は後の工程で液晶を充填させるための封
入口23Aを構成するようになっている。
An opening is provided in a part of the sealing material 23, and this opening constitutes an enclosing port 23A for filling the liquid crystal in a later step.

【0023】また、この封入口23を取り囲むようにし
て下側透明基板21面には前記シール材23と連結され
た他のシール材24が塗布形成されている。シール材2
4の一部には開口部24Aが設けられており、所定のギ
ャップが形成された時この開口部24Aは封鎖される。
さらに、各シール材23、24は、それぞれ数10℃で
充分軟化する材料からなる接着剤で構成されてる。
Further, another sealing material 24 connected to the sealing material 23 is applied and formed on the surface of the lower transparent substrate 21 so as to surround the sealing port 23. Seal material 2
An opening 24A is provided in a part of No. 4, and this opening 24A is closed when a predetermined gap is formed.
Further, each of the sealing materials 23 and 24 is made of an adhesive made of a material that is sufficiently softened at several tens of degrees Celsius.

【0024】ここで、シール材24の形成、および各シ
ール材23、24の材料選定の理由は後の説明で明らか
となるであろう。
Here, the reason for forming the sealing material 24 and selecting the materials for the respective sealing materials 23, 24 will become clear in the following description.

【0025】なお、下側透明基板21は、その液晶が位
置づけられる側の面の表示領域DP内において、図示さ
れていないが、たとえばx方向に延在されかつy方向に
並設される走査信号線、およびy方向に延在されかつx
方向に並設される映像信号線が前記走査信号線に絶縁さ
れて形成されている。
Although not shown, the lower transparent substrate 21 has scanning signals extending in the x direction and juxtaposed in the y direction in the display area DP on the surface on which the liquid crystal is positioned. A line, and extending in the y direction and x
Video signal lines arranged in parallel in the direction are formed so as to be insulated from the scanning signal lines.

【0026】これら各信号線に囲まれるそれぞれの領域
において画素領域を構成するとともに、これら各画素領
域がマトリックス状に配列された表示面を構成するよう
になっている。
Each area surrounded by each of these signal lines constitutes a pixel area, and each of these pixel areas constitutes a display surface arranged in a matrix.

【0027】また、各画素領域にはそれぞれ前記走査信
号線の走査信号(電圧)の供給によってオンされる薄膜
トランジスタTFTと、このオンされた薄膜トランジス
タTFTを介して前記映像信号線からの映像信号が供給
される画素電極等が備えられている。この画素電極はた
とえばITOからなる透明電極によって形成されてい
る。
Further, to each pixel region, a thin film transistor TFT which is turned on by the supply of the scanning signal (voltage) of the scanning signal line, and a video signal from the video signal line is supplied through the turned on thin film transistor TFT. Pixel electrodes and the like are provided. This pixel electrode is formed by a transparent electrode made of ITO, for example.

【0028】前記各信号線はシール材23の形成領域を
超えて下側透明基板21の周辺にまで延在されて外部端
子25を構成している。このため、上側透明基板21は
該外部端子25が形成される領域において下側透明基板
21(図2(a)において一点鎖線で示している)より
も外方に延在されて形成されている。
The signal lines extend beyond the area where the sealing material 23 is formed to the periphery of the lower transparent substrate 21 to form the external terminals 25. Therefore, the upper transparent substrate 21 is formed so as to extend outward from the lower transparent substrate 21 (indicated by a chain line in FIG. 2A) in the region where the external terminals 25 are formed. .

【0029】なお、図には示されていないが、下側透明
基板21の表示領域DP内には微小なグラスファイバあ
るいは樹脂ビーズが散在されている。後の工程で、上側
透明基板22を対向配置させる場合に、それら基板の間
の隙間を該グラスファイバあるいは樹脂ビーズの径によ
って所定の値に保持させるためである。
Although not shown in the figure, minute glass fibers or resin beads are scattered in the display area DP of the lower transparent substrate 21. This is because when the upper transparent substrates 22 are arranged to face each other in a later step, the gap between the substrates is maintained at a predetermined value by the diameter of the glass fiber or the resin beads.

【0030】一方、上側透明基板22の前記下側透明基
板21との対向面における表示領域DPには、図示され
ていないが、共通電極等が形成されている。この共通電
極はたとえばITOからなる透明電極によって形成され
ている。この共通電極と前記下側透明基板21の画素電
極との間に印加される電界によってそれらの間に配置さ
れるべく液晶の光透過率を可変できるようにするためで
ある。
On the other hand, in the display area DP on the surface of the upper transparent substrate 22 facing the lower transparent substrate 21, a common electrode or the like is formed, which is not shown. The common electrode is formed by a transparent electrode made of ITO, for example. This is because it is possible to change the light transmittance of the liquid crystal so as to be arranged between the common electrode and the pixel electrode of the lower transparent substrate 21 by an electric field applied between them.

【0031】そして、前記共通電極とともに、下側透明
基板21の各画素領域に対向させてそれぞれ隣接するた
とえば3画素においてそれぞれ赤、青、緑のカラーフィ
ルタが形成されている。
Along with the common electrode, red, blue, and green color filters are formed in, for example, three pixels adjacent to and facing each pixel region of the lower transparent substrate 21.

【0032】このことから、後の工程における下側透明
基板21と上側透明基板22との組立てにおいて、それ
らの目合わせが重要になってくるものとなっている。一
の画素電極に対して所定のカラーフィルタが精度よく対
向配置されなくてはならないからである。
From this, in assembling the lower transparent substrate 21 and the upper transparent substrate 22 in the subsequent process, the alignment of them becomes important. This is because a predetermined color filter must be accurately arranged to face one pixel electrode.

【0033】このため、下側透明基板21および上側透
明基板22にはそのいずれにおいても、それぞれ目合わ
せマーク28、29が形成されたものとなっている。下
側透明基板21における目合わせマーク28はシール材
23の外側に形成され、最小限として2個あれば充分で
あるが、この実施例では完全な目合わせを達成するため
に4個設けられたものとなっている。
For this reason, the lower transparent substrate 21 and the upper transparent substrate 22 are provided with the alignment marks 28 and 29, respectively. The alignment marks 28 on the lower transparent substrate 21 are formed on the outer side of the sealing material 23, and it is sufficient that at least two alignment marks 28 are provided, but in this embodiment, four alignment marks 28 are provided to achieve perfect alignment. It has become a thing.

【0034】これら目合わせマーク28、29は、互い
に対向配置させた下側透明基板21と上側透明基板22
を平面的に観察した場合にそれら対応する同士が互いに
重ね合わさっていれば、各透明基板21、22の間に位
置ずれがなく対向配置されているように設けられている
ものである。
These alignment marks 28 and 29 are arranged on the lower transparent substrate 21 and the upper transparent substrate 22 facing each other.
If the corresponding ones are superposed on each other when observed in a plane, the transparent substrates 21 and 22 are provided so as to be opposed to each other without any positional deviation.

【0035】図1は、本発明による液晶表示素子の組立
て装置の一実施例を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a liquid crystal display element assembling apparatus according to the present invention.

【0036】まず、基台1があり、この基台1には透明
な材料からなるベルジャ2が配置されている。
First, there is a base 1, on which a bell jar 2 made of a transparent material is arranged.

【0037】このベルジャ2内には、たとえば下側透明
基板21を配置する下側透明基板配置台3と、たとえば
上側透明基板22を配置する上側透明基板配置台4とが
配置されている。
Inside the bell jar 2, there are arranged, for example, a lower transparent substrate arrangement table 3 on which the lower transparent substrate 21 is arranged and an upper transparent substrate arrangement table 4 on which the upper transparent substrate 22 is arranged.

【0038】下側透明基板配置台3は、基台1の表面と
平行な面(図中xy面)内に配置され、基台1を貫通し
て図中z方向に延在する軸体5に支持材6を介して固定
されている。そして、前記軸体5は基台1に内蔵されて
いる図示しない駆動機構によってその軸方向(+z方向
あるいは−z方向)に移動できるようになっている。こ
の結果、下側透明基板配置台3は必要に応じて図中+z
方向あるいは−z方向に移動できるようになっている。
The lower transparent substrate arranging table 3 is arranged in a plane (xy plane in the figure) parallel to the surface of the base 1, and the shaft 5 extending through the base 1 in the z direction in the figure. It is being fixed via the support material 6. The shaft body 5 can be moved in the axial direction (+ z direction or −z direction) by a drive mechanism (not shown) built in the base 1. As a result, the lower transparent substrate placement table 3 is + z in the figure as needed.
Direction or −z direction.

【0039】また、下側基板配置台3は、支持材6とた
とえば一体に形成されたフレーム6Aが備えられ、この
フレーム6A上に前記下側透明基板21が載置されるよ
うになっている。なお、このフレーム6Aに対する下側
透明基板21の載置は図示していない真空チャック機構
によってなされるようになっており、この結果、下側透
明基板21はフレーム6Aに対してほぼ固定された状態
で載置されることになる。
Further, the lower substrate placement table 3 is provided with a frame 6A formed integrally with the support member 6, for example, and the lower transparent substrate 21 is placed on the frame 6A. . The lower transparent substrate 21 is placed on the frame 6A by a vacuum chuck mechanism (not shown). As a result, the lower transparent substrate 21 is substantially fixed to the frame 6A. Will be placed in.

【0040】また、このフレーム6Aは、その周辺部に
おいてのみ前記下側透明基板21を保持できるようにな
っており、該周辺部を除く中央部は貫通孔が設けられた
構成となっている。さらに、このフレーム6Aの載置さ
れる下側透明基板21側と反対側の面を覆うようにして
ゴム材6Bが備えられている。このゴム材6Bの機能は
後の説明において明らかになるであろう。
The frame 6A can hold the lower transparent substrate 21 only in the peripheral portion thereof, and the central portion excluding the peripheral portion is provided with a through hole. Further, a rubber material 6B is provided so as to cover the surface of the frame 6A opposite to the lower transparent substrate 21 side on which the frame 6A is mounted. The function of this rubber material 6B will become clear in the later description.

【0041】上側透明基板配置台4は、図示していない
部材によって図中z方向の動きは規制されているが、図
中xy面に対しては、x−yステージ7によってある範
囲で移動できるようになっている。
Although the upper transparent substrate placement table 4 is restricted from moving in the z direction in the figure by a member not shown, it can be moved in a certain range by the xy stage 7 with respect to the xy plane in the figure. It is like this.

【0042】また、上側透明基板配置台4は、x−yス
テージ7に固定されたフレーム8Aが備えられ、このフ
レーム8A内に前記上側透明基板22が配置されるよう
になっている。なお、このフレーム8Aに対する上側透
明基板22の配置は図示していない真空チャック機構に
よってなされるようになっており、この結果、上側透明
基板22はフレーム8Aに対してほぼ固定された状態で
載置されることになる。
The upper transparent substrate placement table 4 is provided with a frame 8A fixed to the xy stage 7, and the upper transparent substrate 22 is placed in the frame 8A. The arrangement of the upper transparent substrate 22 with respect to the frame 8A is performed by a vacuum chuck mechanism (not shown). As a result, the upper transparent substrate 22 is mounted on the frame 8A in a substantially fixed state. Will be done.

【0043】また、このフレーム8Aは、その周辺部に
おいてのみ前記上側透明基板22を保持できるようにな
っており、該周辺部を除く中央部は貫通孔が設けられた
構成となっている。さらに、このフレーム8Aの配置さ
れる上側透明基板22側と反対側の面を覆うようにして
ゴム材8Bが備えられている。このゴム材8Bの機能は
前記ゴム材6Bとともに後の説明において明らかになる
であろう。
The frame 8A can hold the upper transparent substrate 22 only in the peripheral portion thereof, and the central portion excluding the peripheral portion is provided with a through hole. Further, a rubber material 8B is provided so as to cover the surface of the frame 8A opposite to the upper transparent substrate 22 side. The function of the rubber material 8B will be clarified in the later description together with the rubber material 6B.

【0044】また、ベルジャ2の内部は必要に応じて減
圧および大気状態にできるようになっており、このた
め、基台1には、排気を行う排気管11および給気を行
う給気管12が設けられている。
Further, the inside of the bell jar 2 can be decompressed and brought into the atmospheric condition if necessary. Therefore, the base 1 has an exhaust pipe 11 for exhausting and an air supply pipe 12 for supplying air. It is provided.

【0045】一方、ベルジャ2の外方には、図示しない
画像認識装置が配置され、その画像認識センサ部9が、
前記上側透明基板21の位置合わせマーク28および下
側透明基板22の目合わせマーク29を認識できる位置
に配置されている。
On the other hand, an image recognition device (not shown) is arranged outside the bell jar 2, and the image recognition sensor section 9 thereof is
The alignment mark 28 of the upper transparent substrate 21 and the alignment mark 29 of the lower transparent substrate 22 are arranged at a position where they can be recognized.

【0046】ここで、画像認識センサ部9の各目合わせ
マーク28、29の認識の妨げにならないように前記上
側透明基板配置台4のゴム材8B、フレーム8Aには貫
通孔10が形成されている。
Here, through holes 10 are formed in the rubber material 8B and the frame 8A of the upper transparent substrate placement table 4 so as not to interfere with the recognition of the alignment marks 28 and 29 of the image recognition sensor section 9. There is.

【0047】図3は、前記組立て装置を用いて下側透明
基板21と下側透明基板22との組立てを行う場合の工
程を示した図である。以下、工程1と工程2に分けて説
明をする。
FIG. 3 is a diagram showing a process for assembling the lower transparent substrate 21 and the lower transparent substrate 22 using the assembling apparatus. Hereinafter, the description will be divided into Step 1 and Step 2.

【0048】工程1.(同図(a)) 同図に示すように、下側透明基板配置台3に下側透明基
板21を載置し、上側透明基板配置台4に上側透明基板
22を配置する。この場合、図示しない真空チャック機
構により、下側透明基板21は下側透明基板配置台3に
固定できるとともに、上側透明基板22は上側透明基板
配置台4に固定きるようになる。
Step 1. ((A) in the figure ) As shown in the figure, the lower transparent substrate 21 is placed on the lower transparent substrate placement table 3, and the upper transparent substrate 22 is placed on the upper transparent substrate placement table 4. In this case, the lower transparent substrate 21 can be fixed to the lower transparent substrate arrangement table 3 and the upper transparent substrate 22 can be fixed to the upper transparent substrate arrangement table 4 by a vacuum chuck mechanism (not shown).

【0049】この場合、ベルジャ2内は大気状態で保持
されており、また、下側透明基板配置台3と上側透明基
板配置台4との間は充分な間隔で配置されている。
In this case, the inside of the bell jar 2 is maintained in the atmospheric state, and the lower transparent substrate arrangement table 3 and the upper transparent substrate arrangement table 4 are arranged at a sufficient distance.

【0050】その後、下側透明基板配置台3を図中z方
向に移動させることによって、該下側透明基板配置台3
を上側透明基板配置台4に近接させる。
After that, the lower transparent substrate placement table 3 is moved in the z direction in the drawing to move it.
Is brought close to the upper transparent substrate placement table 4.

【0051】x−yステージ7を駆動させることによ
り、上側透明基板配置台4をxy平面上に自由に移動さ
せる。下側透明基板21に対する上側透明基板22の目
合わせを行うためである。
By driving the xy stage 7, the upper transparent substrate placement table 4 is freely moved on the xy plane. This is because the upper transparent substrate 22 is aligned with the lower transparent substrate 21.

【0052】この場合の目合わせは、下側透明基板21
の目合わせマーク28および上側透明基板22の目合わ
せマーク29の重なり具合を、上側透明基板配置台3に
設けられた貫通孔10を通した画像認識センサ部9の認
識によって、なされるようになっている。
The alignment in this case is performed by the lower transparent substrate 21.
The degree of overlap between the alignment mark 28 and the alignment mark 29 on the upper transparent substrate 22 is recognized by the recognition of the image recognition sensor unit 9 through the through hole 10 provided in the upper transparent substrate placement table 3. ing.

【0053】なお、この明細書では、このように目合わ
せがなされた状態の下側透明基板21および上側透明基
板22の配置、すなわち、いまだシール材23が上側透
明基板22に接触していない状態での配置を目合わせ対
向配置と称する。
In this specification, the arrangement of the lower transparent substrate 21 and the upper transparent substrate 22 in such aligned state, that is, the state in which the sealing material 23 is not yet in contact with the upper transparent substrate 22. This arrangement is referred to as the alignment facing arrangement.

【0054】工程2.(同図(b)) このようにして位置合わせがなされた後、ベルジャ2内
を排気管11を介した排気によって減圧(100〜150Tor
r)する。
Step 2. ((B) in the figure) After the alignment is performed in this way, the inside of the bell jar 2 is decompressed (100 to 150 Tor by exhaust through the exhaust pipe 11).
r) do.

【0055】さらに、下側透明基板配置台3を図中+z
方向に移動させることによって、目合わせが保持された
まま上側透明基板22に対して下側透明基板21がシー
ル材23を介して接触する。この場合、上述したよう
に、シール材23内の領域にはグラスファイバあるいは
樹脂ビーズ30が散在されていることから、上側透明基
板22と下側透明基板21との間隔はこのグラスファイ
バあるいは樹脂ビーズ30の径によって一応設定され
る。
Further, the lower transparent substrate placement table 3 is shown as + z in the figure.
By moving in the direction, the lower transparent substrate 21 comes into contact with the upper transparent substrate 22 via the sealing material 23 while maintaining the alignment. In this case, as described above, since the glass fibers or the resin beads 30 are scattered in the region within the sealing material 23, the distance between the upper transparent substrate 22 and the lower transparent substrate 21 is the glass fibers or the resin beads. It is set according to the diameter of 30.

【0056】そして、シール材23は、図2(a)に示
したパターンで形成されているため、その内部の領域は
減圧されたままで封止されることになる。
Since the sealing material 23 is formed in the pattern shown in FIG. 2 (a), the internal area thereof is sealed while being depressurized.

【0057】この場合、下側透明基板配置台3および上
側透明基板配置台4には、それぞれゴム材6B、8Bが
備えられており、それらは互いに密着し、これにより各
透明基板21、22が配置される空間は該ゴム材6B、
8Bの外方の空間に対して遮蔽された独立の空間となる
ようになっている。
In this case, the lower transparent substrate arranging table 3 and the upper transparent substrate arranging table 4 are provided with rubber materials 6B and 8B, respectively, which are in close contact with each other, whereby the transparent substrates 21 and 22 are separated from each other. The arranged space is the rubber material 6B,
It is designed to be an independent space shielded from the space outside 8B.

【0058】なお、この明細書では、このように組立て
がなされた状態の下側透明基板21および上側透明基板
22の配置、すなわち、シール材23が上側透明基板2
2に接触している状態での配置を組立て対向配置と称す
る。
In this specification, the arrangement of the lower transparent substrate 21 and the upper transparent substrate 22 thus assembled, that is, the sealing material 23 is the upper transparent substrate 2
The arrangement in the state of being in contact with 2 is referred to as an assembled opposing arrangement.

【0059】その後、ベルジャ2内を給気管12を介し
た給気によって大気に戻す。これにより、上側透明基板
22と下側透明基板21の周囲にはゴム材6B、8Bを
介して大気による均等な圧力が全域にわたって加わるこ
とになり、シール材23は数10℃の温度で充分軟化す
るようになる。シール材24の開口部24Aはシール材
が伸びて封鎖される。
After that, the inside of the bell jar 2 is returned to the atmosphere by the air supply through the air supply pipe 12. As a result, a uniform pressure is applied to the periphery of the upper transparent substrate 22 and the lower transparent substrate 21 through the rubber materials 6B and 8B over the entire area, and the sealing material 23 is sufficiently softened at a temperature of several tens of degrees Celsius. Come to do. The opening 24A of the sealing material 24 is blocked by the sealing material extending.

【0060】すなわち、このようにすることによって、
目合わせ後の組立て対向配置された下側および上側のそ
れぞれの透明基板21、22の加圧は、シール材23内
との間で圧力差をもたせた気圧によって行っているもの
である。
That is, by doing this,
After the alignment, the pressure is applied to the lower and upper transparent substrates 21 and 22 that are opposed to each other in the assembling operation by the atmospheric pressure that causes a pressure difference between the transparent substrates 21 and 22.

【0061】このため、下側および上側のそれぞれの透
明基板21、22に加わる圧力は該透明基板21、22
に対して垂直にかつ均一なものとなる。
Therefore, the pressure applied to the transparent substrates 21 and 22 on the lower side and the upper side is the same.
It is perpendicular to and uniform.

【0062】このことは、下側透明基板21に対する上
側透明基板22のずれが全くない状態で加圧させること
になる。
This means that the upper transparent substrate 22 is pressed against the lower transparent substrate 21 without any displacement.

【0063】したがって、精度よい目合わせを行った後
のこのような加圧工程を経た後でも、該目合わせの精度
はそのまま温存されることになる。
Therefore, even after such a pressurizing step after performing the accurate alignment, the alignment accuracy is preserved as it is.

【0064】その後、ベルジャ2内から取り出された上
側透明基板22と下側透明基板21との組立て体は、図
4に示すように、シール材24が形成されている領域を
切断(図中二点鎖線に沿って)することにより、シール
材23の開口部である封入口23Aを露出させる。この
際に、シール材23に囲まれた表示領域内には大気が満
たされることになる。これにより、液晶を充填する直前
段階の液晶表示素子が作成されることになる。
After that, the assembly of the upper transparent substrate 22 and the lower transparent substrate 21 taken out from the bell jar 2 cuts the area where the sealing material 24 is formed, as shown in FIG. By carrying out (along the dotted line), the sealing port 23A which is the opening of the sealing material 23 is exposed. At this time, the display area surrounded by the sealing material 23 is filled with the atmosphere. As a result, the liquid crystal display element at the stage immediately before filling the liquid crystal is manufactured.

【0065】上述した実施例では、下側透明基板配置台
3および上側透明基板配置台4のそれぞれにゴム材6
B、8Bが備えられたものであるが、透明基板における
シール材23が図4のように形成されておれば、必ずし
も必要とするものではないことはいうまでもない。
In the above-described embodiment, the rubber material 6 is provided on each of the lower transparent substrate placement table 3 and the upper transparent substrate placement table 4.
Although B and 8B are provided, it goes without saying that they are not necessarily required if the sealing material 23 on the transparent substrate is formed as shown in FIG.

【0066】また、下側透明基板配置台3および上側透
明基板配置台4のそれぞれにゴム材6B、8Bが備えら
れておれば、透明基板におけるシール材23は必ずしも
図4のように形成されていなくてもよいことはいうまで
もない。
If the lower transparent substrate placement table 3 and the upper transparent substrate placement table 4 are provided with the rubber materials 6B and 8B, respectively, the sealing material 23 on the transparent substrate is not necessarily formed as shown in FIG. Needless to say, it is not necessary.

【0067】いずれの場合においても、ベルジャ2内を
大気に戻した場合に、シール材23に囲まれた領域内を
減圧状態に保持できるからである。
In any case, when the inside of the bell jar 2 is returned to the atmosphere, the inside of the region surrounded by the sealing material 23 can be kept in a reduced pressure state.

【0068】さらに、上述した実施例では、ベルジャ2
内を減圧状態から大気に戻しているものであるが、必ず
しもこれに限定されることはない。要はベルジャ2内の
気圧を小から大に変化できれば同様の効果をもたらすこ
とができる。
Further, in the above-mentioned embodiment, the bell jar 2 is used.
Although the inside is returned to the atmosphere from the depressurized state, it is not necessarily limited to this. In short, the same effect can be obtained if the atmospheric pressure in the bell jar 2 can be changed from small to large.

【0069】[0069]

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明による液晶表示素子の組立て方法および装置によ
れば、第1透明基板に対する第2透明基板の位置づれを
全く生じさせることなく組立てができるようになる。
As is apparent from the above description,
According to the method and apparatus for assembling the liquid crystal display element according to the present invention, the assembly can be performed without causing any positional misalignment of the second transparent substrate with respect to the first transparent substrate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による液晶表示素子の組立て装置の一実
施例を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of an apparatus for assembling a liquid crystal display device according to the present invention.

【図2】本発明による液晶表示素子の組立て方法の対象
となる下側透明基板と上側透明基板の構成を示した平面
図である。
FIG. 2 is a plan view showing a configuration of a lower transparent substrate and an upper transparent substrate which are targets of a method of assembling a liquid crystal display device according to the present invention.

【図3】本発明による液晶表示素子の組立て方法の一実
施例を示す工程図である。
FIG. 3 is a process drawing showing an embodiment of a method of assembling a liquid crystal display device according to the present invention.

【図4】本発明による液晶表示素子の組立て後における
工程を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory view showing a process after assembling the liquid crystal display device according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2……ベルジャ、3……下側透明基板配置台、4……上
側透明基板配置台、7……x−yステージ、11……排
気管、12……給気管、21……下側透明基板、22…
…上側透明基板、23……シール材。
2 ... Bell jar, 3 ... Lower transparent substrate placement table, 4 ... Upper transparent substrate placement table, 7 ... xy stage, 11 ... Exhaust pipe, 12 ... Air supply pipe, 21 ... Lower transparent Substrate, 22 ...
... upper transparent substrate, 23 ... sealing material.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡本 光一 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 ─────────────────────────────────────────────────── --- Continuation of the front page (72) Inventor Koichi Okamoto 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Hitachi, Ltd. Electronic Devices Division

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1透明基板と、液晶が封入されるべく
表示領域を囲んで未硬化のシール材が形成されていると
ともに該表示領域内にスペーサ剤を散布配置された第2
透明基板と、をそれぞれ目合わせ後の組立て対向配置を
行った後に加圧する工程が含まれる液晶表示素子の組立
て方法において、 前記加圧は、第1透明基板に対する第2透明基板の目合
わせ対向配置を所定圧力雰囲気内で行なう工程と、第1
透明基板に対する第2透明基板の組立て対向配置を行っ
た後に、前記所定圧力雰囲気をそれよりも高い圧力雰囲
気にすることによって前記シール材内との間で圧力差を
もたせる工程とでなされることを特徴とする液晶表示素
子の組立て方法。
1. A first transparent substrate and a second uncured sealing material that surrounds a display area so that liquid crystal is sealed therein, and a spacer agent is dispersed in the display area.
In a method of assembling a liquid crystal display device, which includes a step of assembling and facing each other after aligning with a transparent substrate, and applying pressure, wherein the pressing is performed by aligning the second transparent substrate with the facing opposite to the first transparent substrate. In a predetermined pressure atmosphere, and
After the second transparent substrate is assembled and opposed to the transparent substrate, a pressure difference is created between the predetermined pressure atmosphere and the inside of the seal material by setting the pressure atmosphere higher than the predetermined pressure atmosphere. A method for assembling a characteristic liquid crystal display device.
【請求項2】 所定圧力雰囲気は減圧雰囲気とするとと
もに該所定圧力よりも高い圧力雰囲気は大気雰囲気とす
ることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子の組立
て方法。
2. The method for assembling a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the predetermined pressure atmosphere is a reduced pressure atmosphere and the pressure atmosphere higher than the predetermined pressure is an air atmosphere.
【請求項3】 第2透明基板は、それに形成されている
シール材がその一部において開口が形成されているとと
もに、この開口を囲むようにして形成されかつ後の工程
で切り離される透明基板上に形成されたシール材が形成
されていることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素
子の組立て方法。
3. The second transparent substrate is formed on a transparent substrate, in which a sealing material formed in the second transparent substrate has an opening formed in a part thereof and is formed so as to surround the opening and is cut off in a later step. The method for assembling a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the sealed sealing material is formed.
【請求項4】 第1透明基板と、液晶が封入されるべく
表示領域を囲んで未硬化のシール材が形成されていると
ともに該表示領域内にスペーサ剤を散布配置された第2
透明基板と、を収納させるベルジャと、 第1透明基板に対する第2透明基板の目合わせ対向配置
および組立て対向配置を行う手段と、 第1透明基板に対する第2透明基板の組立て対向配置の
前後でベルジャ内を減圧から大気に戻す手段と、が備え
られていることを特徴とする液晶表示素子の組立て装
置。
4. A first transparent substrate and a second uncured sealing material that surrounds a display area so that liquid crystal is enclosed and in which a spacer agent is dispersed in the display area.
A bell jar for accommodating the transparent substrate, a means for aligning and assembling the second transparent substrate with respect to the first transparent substrate and for assembling and opposing, and a bell jar before and after the assembling and opposing arrangement of the second transparent substrate with respect to the first transparent substrate. An apparatus for assembling a liquid crystal display device, comprising: a means for returning the inside from a reduced pressure to the atmosphere.
【請求項5】 第1透明基板に対する第2透明基板の目
合わせを行うx−yステージがベルジャ内に備えられて
いることを特徴とする請求項4記載の液晶表示素子の組
立て装置。
5. The apparatus for assembling a liquid crystal display device according to claim 4, wherein an xy stage for aligning the second transparent substrate with the first transparent substrate is provided in the bell jar.
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Cited By (3)

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