JPH09218994A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
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- JPH09218994A JPH09218994A JP8046770A JP4677096A JPH09218994A JP H09218994 A JPH09218994 A JP H09218994A JP 8046770 A JP8046770 A JP 8046770A JP 4677096 A JP4677096 A JP 4677096A JP H09218994 A JPH09218994 A JP H09218994A
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- Japan
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- measuring
- bus
- temperature
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Abstract
(57)【要約】
【課題】簡易な構成で、簡易な構成で、測定データを容
易にバス送信することができる測定装置を提供すること
である。 【解決手段】被測定対象の性状を測定する測定手段５
１，６１，６２と、この測定手段５１６１，６２で測定
された測定データに自己の装置番号を付してバスＬに出
力し他の装置に送信する処理手段５２，６３とを備えた
ことを特徴とする測定装置５２，６３である。
易にバス送信することができる測定装置を提供すること
である。 【解決手段】被測定対象の性状を測定する測定手段５
１，６１，６２と、この測定手段５１６１，６２で測定
された測定データに自己の装置番号を付してバスＬに出
力し他の装置に送信する処理手段５２，６３とを備えた
ことを特徴とする測定装置５２，６３である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、プロセス量等のデー
タの伝送を行うことができる測定装置に関するものであ
る。
タの伝送を行うことができる測定装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】各種現場において、温度等のプロセス量
の測定を行い、そのデータの収集を行って、監視、制御
等が行われている。このデータの収集にあたり、データ
伝送を利用し、従局が収集した温度等のプロセスデータ
を、主局からのポーリング信号に応じて従局が主局に伝
送ラインを通じて伝送し、主局で取り込んだデータを処
理後、他の従局に再びポーリング信号により送信するよ
うなポーリング方式で行う方法がある。
の測定を行い、そのデータの収集を行って、監視、制御
等が行われている。このデータの収集にあたり、データ
伝送を利用し、従局が収集した温度等のプロセスデータ
を、主局からのポーリング信号に応じて従局が主局に伝
送ラインを通じて伝送し、主局で取り込んだデータを処
理後、他の従局に再びポーリング信号により送信するよ
うなポーリング方式で行う方法がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このポ
ーリング方式では、必ず主局を必要とし、しかも、必ず
ポーリング信号が必要なので、装置が煩雑で、応答に時
間を要し通信速度も不十分な面がある。
ーリング方式では、必ず主局を必要とし、しかも、必ず
ポーリング信号が必要なので、装置が煩雑で、応答に時
間を要し通信速度も不十分な面がある。
【０００４】この発明の目的は、以上の点に鑑み、簡易
な構成で、測定データを容易にバス送信することができ
る測定装置を提供することである。
な構成で、測定データを容易にバス送信することができ
る測定装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、被測定対象
の性状を測定する測定手段と、この測定手段で測定され
た測定データに自己の装置番号を付してバスに出力する
処理手段とを備えるようにした測定装置である。
の性状を測定する測定手段と、この測定手段で測定され
た測定データに自己の装置番号を付してバスに出力する
処理手段とを備えるようにした測定装置である。
【０００６】
【実施例】図１は、この発明の一実施例を示す構成説明
図である。図１において、伝送ラインとしての共通のネ
ットワークのようなバスＬに、たとえば、伝送装置とし
ての入力装置１…、出力装置２…、演算装置３、管理装
置４、測定装置５，６…等が接続されている。そして、
出力装置２…、演算装置３、…等で取込装置を構成して
いる。そして、これらの各装置には、装置固有の装置番
号が付され、この装置番号を用いてデータ等の伝送を行
うことができる。
図である。図１において、伝送ラインとしての共通のネ
ットワークのようなバスＬに、たとえば、伝送装置とし
ての入力装置１…、出力装置２…、演算装置３、管理装
置４、測定装置５，６…等が接続されている。そして、
出力装置２…、演算装置３、…等で取込装置を構成して
いる。そして、これらの各装置には、装置固有の装置番
号が付され、この装置番号を用いてデータ等の伝送を行
うことができる。
【０００７】まず、入力装置１…、出力装置２…、演算
装置３…のデータ伝送につき説明する。入力装置１に入
力された温度等のアナログ信号データは、たとえばリニ
アライズ等の必要な処理がなされた後、その入力装置１
の固有の装置番号を付してバスＬに測定出力データとし
て出力される。
装置３…のデータ伝送につき説明する。入力装置１に入
力された温度等のアナログ信号データは、たとえばリニ
アライズ等の必要な処理がなされた後、その入力装置１
の固有の装置番号を付してバスＬに測定出力データとし
て出力される。
【０００８】そして、こうしてバスＬ上を流れているデ
ータのうち、必要なデータを出力装置２、演算装置３は
取り込むことになる。このため、これら取込装置には、
どの入力装置等の出力データが必要なのかによって、そ
の取込装置が必要とする入力装置等の出力データに付さ
れる装置番号を取込番号としてあらかじめ設定してお
く。
ータのうち、必要なデータを出力装置２、演算装置３は
取り込むことになる。このため、これら取込装置には、
どの入力装置等の出力データが必要なのかによって、そ
の取込装置が必要とする入力装置等の出力データに付さ
れる装置番号を取込番号としてあらかじめ設定してお
く。
【０００９】たとえば、入力装置１のデータを出力装置
２、演算装置３で取り込むとすると、出力装置２、演算
装置３は、入力装置１の装置番号「０１」と同一の番号
を取込番号「０１」と設定しておく。
２、演算装置３で取り込むとすると、出力装置２、演算
装置３は、入力装置１の装置番号「０１」と同一の番号
を取込番号「０１」と設定しておく。
【００１０】出力装置２は、バスＬを流れるデータのう
ち、その取込番号「０１」と一致し対応する入力装置１
の装置番号「０１」が付いたデータのみを判別選択して
取り込み所定の処理後外部に出力する。
ち、その取込番号「０１」と一致し対応する入力装置１
の装置番号「０１」が付いたデータのみを判別選択して
取り込み所定の処理後外部に出力する。
【００１１】また、演算装置３は、バスＬに流れるデー
タのうち、その取込番号「０１」と一致する入力装置１
の装置番号「０１」の付いたデータのみを選択、判別し
て取り込む。そして、必要な平均等その他の演算をした
後、そのデータに演算装置３の固有の装置番号「０３」
を付してバスＬに出力する。
タのうち、その取込番号「０１」と一致する入力装置１
の装置番号「０１」の付いたデータのみを選択、判別し
て取り込む。そして、必要な平均等その他の演算をした
後、そのデータに演算装置３の固有の装置番号「０３」
を付してバスＬに出力する。
【００１２】又、バスＬにはパソコン等の操作表示装置
のような管理装置４が接続され、この管理装置４で、例
えば、バスＬに接続する各伝送装置からの測定データを
受信して監視したり、あるいは状態要求を行う等して各
伝送装置の状態データを各装置の自己の装置番号ととも
に受信し、装置番号の返答の有無により、どの位の数
の、どの伝送装置がバスＬに接続されているか等も知る
ことができる。そして、必要に応じて、操作手段を操作
し、表示手段に伝送装置の接続状態図等を自動的に表示
させ、オペレータに認識させることができる。また、接
続不具合の伝送装置が発見できれば、必要な処置を取る
ことができ、良好にシステムの立上げ等が実行できる。
のような管理装置４が接続され、この管理装置４で、例
えば、バスＬに接続する各伝送装置からの測定データを
受信して監視したり、あるいは状態要求を行う等して各
伝送装置の状態データを各装置の自己の装置番号ととも
に受信し、装置番号の返答の有無により、どの位の数
の、どの伝送装置がバスＬに接続されているか等も知る
ことができる。そして、必要に応じて、操作手段を操作
し、表示手段に伝送装置の接続状態図等を自動的に表示
させ、オペレータに認識させることができる。また、接
続不具合の伝送装置が発見できれば、必要な処置を取る
ことができ、良好にシステムの立上げ等が実行できる。
【００１３】ところで、バスＬには、熱電対等の測定装
置５，６が接続されている。つまり、測定装置５は、温
度等の被測定対象の性状を測定するための先端に温接点
を有する熱電対のような測定手段５１と、測定手段５１
で測定された測定データに自己の装置番号を付してバス
Ｌに出力し他の装置に送信する処理手段５２とを備えて
いる。なお、温度素子５０は基準接点温度を測定し温度
補償するためのもので、処理手段５２は、例えば増幅
器、Ａ／Ｄ変換器、μＣＰＵ等を含み熱電対であれば基
準接点補償、電圧温度換算等も実行し、上記入力装置１
と同様にして測定データに自己の装置番号を付してバス
Ｌに出力し上記他の装置に送信する。
置５，６が接続されている。つまり、測定装置５は、温
度等の被測定対象の性状を測定するための先端に温接点
を有する熱電対のような測定手段５１と、測定手段５１
で測定された測定データに自己の装置番号を付してバス
Ｌに出力し他の装置に送信する処理手段５２とを備えて
いる。なお、温度素子５０は基準接点温度を測定し温度
補償するためのもので、処理手段５２は、例えば増幅
器、Ａ／Ｄ変換器、μＣＰＵ等を含み熱電対であれば基
準接点補償、電圧温度換算等も実行し、上記入力装置１
と同様にして測定データに自己の装置番号を付してバス
Ｌに出力し上記他の装置に送信する。
【００１４】又、熱電対は保護管５ａ等に内装され、処
理手段５２は端子を有する端子箱等の箱体５ｂに内装さ
れ、通信機能付きの一体形の測定装置５とされている。
もちろん、測定装置５は、管理装置４からの各種設定デ
ータを受信でき、所定の機能、仕様のセンサとでき、ス
マートセンサ化を図ることができる。更に、管理装置４
は、測定装置５に状態要求を行い、その状態データを装
置番号とともに受信して、他の装置と同様に接続配置
図、状態等を把握、表示できる。又、測定装置５が独自
で故障等の異常を示す状態データを自己の装置番号とと
もに管理装置４等に送信でき、危険予知もでき、高信頼
性のものとなる。
理手段５２は端子を有する端子箱等の箱体５ｂに内装さ
れ、通信機能付きの一体形の測定装置５とされている。
もちろん、測定装置５は、管理装置４からの各種設定デ
ータを受信でき、所定の機能、仕様のセンサとでき、ス
マートセンサ化を図ることができる。更に、管理装置４
は、測定装置５に状態要求を行い、その状態データを装
置番号とともに受信して、他の装置と同様に接続配置
図、状態等を把握、表示できる。又、測定装置５が独自
で故障等の異常を示す状態データを自己の装置番号とと
もに管理装置４等に送信でき、危険予知もでき、高信頼
性のものとなる。
【００１５】また、測定装置６は、先端部が測定対象に
設けられた測定手段としての第１の熱電対６１と、この
第１の熱電対６１と近接させて設けられた第１の熱電対
６１より距離Ｌ短い測定手段としての第２の熱電対６２
と、第１の熱電対６１の出力と第２の熱電対６２の出力
とを比較し両熱電対６１，６２の出力差が所定の値を越
えたとき第１の熱電対６１が劣化したと判断して劣化検
知信号を発生することができる処理手段６３とを備え熱
電対劣化検知機能を持っている。
設けられた測定手段としての第１の熱電対６１と、この
第１の熱電対６１と近接させて設けられた第１の熱電対
６１より距離Ｌ短い測定手段としての第２の熱電対６２
と、第１の熱電対６１の出力と第２の熱電対６２の出力
とを比較し両熱電対６１，６２の出力差が所定の値を越
えたとき第１の熱電対６１が劣化したと判断して劣化検
知信号を発生することができる処理手段６３とを備え熱
電対劣化検知機能を持っている。
【００１６】つまり熱電対６１，６２からの熱起電力
は、処理手段６３のメモリ等にあらかじめ記憶された熱
電対の種類により定められた通常の熱起電力と温度との
関係を用いて測定電圧から温度に換算する演算処理を行
い温度素子６０の出力で基準接点温度補償し温度出力Ｔ
１，Ｔ２を取り出すことができる。そして、処理手段６
３は、通常は第１の熱電対６１の温度出力Ｔ１を温度測
定データに自己の装置番号を付してバスＬに出力し他の
装置に送信する。なお、熱電対６１，６２は保護管６ａ
等に内装され、処理手段６３は端子を有する端子箱等の
箱体６ｂに内装され、通信機能付きの一体形の測定装置
６とされている。もちろん、管理装置４からも、各種設
定データを受信し所定の機能、仕様のセンサとでき、ス
マートセンサ化を図ることも測定装置５と同様である。
は、処理手段６３のメモリ等にあらかじめ記憶された熱
電対の種類により定められた通常の熱起電力と温度との
関係を用いて測定電圧から温度に換算する演算処理を行
い温度素子６０の出力で基準接点温度補償し温度出力Ｔ
１，Ｔ２を取り出すことができる。そして、処理手段６
３は、通常は第１の熱電対６１の温度出力Ｔ１を温度測
定データに自己の装置番号を付してバスＬに出力し他の
装置に送信する。なお、熱電対６１，６２は保護管６ａ
等に内装され、処理手段６３は端子を有する端子箱等の
箱体６ｂに内装され、通信機能付きの一体形の測定装置
６とされている。もちろん、管理装置４からも、各種設
定データを受信し所定の機能、仕様のセンサとでき、ス
マートセンサ化を図ることも測定装置５と同様である。
【００１７】そして、一般に熱電対は異種の金属の対で
構成され、ゼーベック効果による熱起電力から温度を検
出するものであるが、これら金属は高温状態で使用して
いると、酸化、腐食等で、その特性を失い熱起電力が低
下してくる。このため、高温にさらされる第１の熱電対
６１の方が第２の熱電対６２よりも劣化が進む。低温標
準ではこの逆となり、劣化検知の必要がある。
構成され、ゼーベック効果による熱起電力から温度を検
出するものであるが、これら金属は高温状態で使用して
いると、酸化、腐食等で、その特性を失い熱起電力が低
下してくる。このため、高温にさらされる第１の熱電対
６１の方が第２の熱電対６２よりも劣化が進む。低温標
準ではこの逆となり、劣化検知の必要がある。
【００１８】又、第１，第２の熱電対６１，６２の温度
出力Ｔ１，Ｔ２は、通常第１の熱電対６１の出力Ｔ１の
方が高く、第２の熱電対６２の出力Ｔ２と所定の温度出
力差ΔＴがある。
出力Ｔ１，Ｔ２は、通常第１の熱電対６１の出力Ｔ１の
方が高く、第２の熱電対６２の出力Ｔ２と所定の温度出
力差ΔＴがある。
【００１９】例えば、通常、この温度Ｔ１，Ｔ２の関係
は、ａを定数として、 Ｔ２＝Ｔ１・ｅｘｐ（−ａＬ） （１） であり、温度差ΔＴ＝Ｔ１−Ｔ２も距離Ｌに応じて次式
の所定の関係にある。
は、ａを定数として、 Ｔ２＝Ｔ１・ｅｘｐ（−ａＬ） （１） であり、温度差ΔＴ＝Ｔ１−Ｔ２も距離Ｌに応じて次式
の所定の関係にある。
【００２０】 ΔＴ＝Ｔ１−Ｔ２＝Ｔ１・［１−ｅｘｐ（−ａＬ）］ （２） そして、温度上昇、温度下降、各種の一定温度等の様々
な場合に応じて第１，第２の熱電対６１，６２の温度出
力Ｔ１，Ｔ２の差ΔＴは所定の値で変化し、その両温度
パターンや出力差パターンもあらかじめ測定で求められ
る。つまり処理手段６によりメモリ７にあらかじめ求め
た、時間の関数又は温度の関数又は温度の変化率の関数
等で定まる各種の場合における所定の出力差パターン等
を記憶しておき、第１の熱電対６１の温度出力Ｔ１と第
２の熱電対６２の温度出力Ｔ２とを比較し両熱電対の出
力差が通常の所定の値ΔＴを越えて外れたとき等に第１
の熱電対６１が劣化したと判断し劣化検知する。そし
て、この劣化検知信号に自己の装置番号を付してバスＬ
に出力し他の管理装置４等に送信し、必要な処置をとる
ことができる。なお、劣化していない第２の熱電対６２
の出力を測定出力として用いてもよい。このとき温度出
力Ｔ２をそのまま出力してもよいが、あらかじめメモリ
に格納された所定の温度差を温度出力Ｔ２に加算してほ
ぼ正しい温度出力としてＴ１の代りに用いるようにして
もよい。
な場合に応じて第１，第２の熱電対６１，６２の温度出
力Ｔ１，Ｔ２の差ΔＴは所定の値で変化し、その両温度
パターンや出力差パターンもあらかじめ測定で求められ
る。つまり処理手段６によりメモリ７にあらかじめ求め
た、時間の関数又は温度の関数又は温度の変化率の関数
等で定まる各種の場合における所定の出力差パターン等
を記憶しておき、第１の熱電対６１の温度出力Ｔ１と第
２の熱電対６２の温度出力Ｔ２とを比較し両熱電対の出
力差が通常の所定の値ΔＴを越えて外れたとき等に第１
の熱電対６１が劣化したと判断し劣化検知する。そし
て、この劣化検知信号に自己の装置番号を付してバスＬ
に出力し他の管理装置４等に送信し、必要な処置をとる
ことができる。なお、劣化していない第２の熱電対６２
の出力を測定出力として用いてもよい。このとき温度出
力Ｔ２をそのまま出力してもよいが、あらかじめメモリ
に格納された所定の温度差を温度出力Ｔ２に加算してほ
ぼ正しい温度出力としてＴ１の代りに用いるようにして
もよい。
【００２１】
【発明の効果】以上述べたように、この発明は、被測定
対象の性状を測定する測定手段と、この測定手段で測定
された測定データに自己の装置番号を付してバスに出力
し他の装置に送信する処理手段とを備るようにした測定
装置である。このため、メインの主局は不要で、通信速
度は十分に速いものとでき、最少２個の装置とバスのみ
の構成から、番号が許す限り、数十、数百以上ものデー
タや装置を組み合わせたものが、簡易かつ任意に、しか
も、フレキシブルに構成でき、さまざまなシステムに容
易かつ十分に、柔軟性、拡張性に富み、効果的、効率的
に対応することができる。また、測定装置はそれ自体の
みで測定データを容易にバスに送信でき、簡易な構成
で、様々な測定量を伝送でき、かつ、装置番号を用い、
他の装置で容易に利用できる。更に、測定装置はインテ
リジェント化されているので、管理装置等からも各種設
定データを受信しすることができ、所定の機能、仕様の
センサとでき、スマートセンサ化を図ることができる。
又、測定装置等の状態データも管理装置等で知ることが
でき、測定センサの劣化予知、各装置の全体的な接続配
置図、状態図等の把握も容易で、危険予知もでき、高信
頼性のものとなる。
対象の性状を測定する測定手段と、この測定手段で測定
された測定データに自己の装置番号を付してバスに出力
し他の装置に送信する処理手段とを備るようにした測定
装置である。このため、メインの主局は不要で、通信速
度は十分に速いものとでき、最少２個の装置とバスのみ
の構成から、番号が許す限り、数十、数百以上ものデー
タや装置を組み合わせたものが、簡易かつ任意に、しか
も、フレキシブルに構成でき、さまざまなシステムに容
易かつ十分に、柔軟性、拡張性に富み、効果的、効率的
に対応することができる。また、測定装置はそれ自体の
みで測定データを容易にバスに送信でき、簡易な構成
で、様々な測定量を伝送でき、かつ、装置番号を用い、
他の装置で容易に利用できる。更に、測定装置はインテ
リジェント化されているので、管理装置等からも各種設
定データを受信しすることができ、所定の機能、仕様の
センサとでき、スマートセンサ化を図ることができる。
又、測定装置等の状態データも管理装置等で知ることが
でき、測定センサの劣化予知、各装置の全体的な接続配
置図、状態図等の把握も容易で、危険予知もでき、高信
頼性のものとなる。
【図１】この発明の一実施例を示す構成説明図である。
１ 入力装置 ２ 出力装置 ３ 演算装置 ４ 管理装置 ５，６ 測定装置 Ｌ バス
Claims (1)
- 【請求項１】被測定対象の性状を測定する測定手段と、
この測定手段で測定された測定データに自己の装置番号
を付してバスに出力する処理手段とを備えたことを特徴
とする測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8046770A JPH09218994A (ja) | 1996-02-08 | 1996-02-08 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8046770A JPH09218994A (ja) | 1996-02-08 | 1996-02-08 | 測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09218994A true JPH09218994A (ja) | 1997-08-19 |
Family
ID=12756574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8046770A Pending JPH09218994A (ja) | 1996-02-08 | 1996-02-08 | 測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09218994A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4677681B2 (ja) * | 2001-05-07 | 2011-04-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱電対の信号処理装置及び熱電対の信号処理方法並びに熱処理装置 |
-
1996
- 1996-02-08 JP JP8046770A patent/JPH09218994A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4677681B2 (ja) * | 2001-05-07 | 2011-04-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱電対の信号処理装置及び熱電対の信号処理方法並びに熱処理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040903 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040910 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050106 |