JPH0921784A - Gas constituent monitoring device - Google Patents
Gas constituent monitoring deviceInfo
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- JPH0921784A JPH0921784A JP16969595A JP16969595A JPH0921784A JP H0921784 A JPH0921784 A JP H0921784A JP 16969595 A JP16969595 A JP 16969595A JP 16969595 A JP16969595 A JP 16969595A JP H0921784 A JPH0921784 A JP H0921784A
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- gas
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、原子炉計装分野で
利用される監視装置に係り、特に原子炉格納容器内の雰
囲気に含まれる酸素・水素の濃度を測定する格納容器内
雰囲気監視装置(以下、「CAMS」と呼ぶ)に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a monitoring device used in the field of reactor instrumentation, and more particularly to a containment vessel atmosphere monitoring device for measuring the concentration of oxygen and hydrogen contained in the atmosphere in the reactor containment vessel. (Hereinafter referred to as “CAMS”).
【0002】[0002]
【従来の技術】原子力発電プラントは、原子炉格納容器
内の雰囲気を監視するためにCAMSを備えている。C
AMSでは安全性を確認するための一つの指標として格
納容器雰囲気中の水素及び酸素を測定している。CAM
Sの水素・酸素濃度測定系は、酸素検出器及び水素検出
器の耐環境性、保守点検上の理由から格納容器外に設置
されたサンプリングラックの中に配設される。格納容器
内から雰囲気ガスをサンプリングしてサンプリングラッ
クへ導入することからサンプリング方式と呼ばれてい
る。Nuclear power plants are equipped with CAMS to monitor the atmosphere within the containment vessel. C
AMS measures hydrogen and oxygen in the containment vessel atmosphere as one index for confirming safety. CAM
The hydrogen / oxygen concentration measuring system of S is arranged in a sampling rack installed outside the containment vessel for reasons of environment resistance of the oxygen detector and the hydrogen detector and maintenance and inspection reasons. It is called a sampling method because the atmospheric gas is sampled from the containment vessel and introduced into the sampling rack.
【0003】図4は、サンプリング方式を採用した水素
・酸素濃度測定系の構成例を示している。原子炉格納容
器1とサンプリングラック2とを配管で接続し、ラック
内の吸引ポンプ3で原子炉格納容器1内の雰囲気ガスを
サンプリングラック2へ引き込む。このサンプリングガ
スに含まれる湿分を除湿器4で除去した後、酸素検出器
5,水素検出器6でそれぞれ水素、酸素濃度を測定す
る。測定したドライガスは排気ポンプ7により引かれて
逆止弁8を介して再び原子炉格納容器1の中へ戻され
る。一方、除湿器4でサンプリングガスから除去した水
分はドレン測定器9で測定された後、ドレン弁10を介
して再び原子炉格納容器1へ戻される。FIG. 4 shows an example of the structure of a hydrogen / oxygen concentration measuring system adopting a sampling method. The reactor containment vessel 1 and the sampling rack 2 are connected by piping, and the atmospheric gas in the reactor containment vessel 1 is drawn into the sampling rack 2 by the suction pump 3 in the rack. After the moisture contained in the sampling gas is removed by the dehumidifier 4, the oxygen detector 5 and the hydrogen detector 6 measure the hydrogen and oxygen concentrations, respectively. The measured dry gas is drawn by the exhaust pump 7 and returned to the reactor containment vessel 1 via the check valve 8. On the other hand, the moisture removed from the sampling gas by the dehumidifier 4 is measured by the drain measuring device 9 and then returned to the reactor containment vessel 1 again via the drain valve 10.
【0004】サンプリングラック2とCAMS盤12と
を信号線及び電源線で接続し、CAMS盤12からサン
プリングラック2の各構成要素に電源を供給すると共
に、サンプリングラック2の各構成要素からCAMS盤
12へ測定データを伝送する。The sampling rack 2 and the CAMS board 12 are connected by a signal line and a power supply line to supply power from the CAMS board 12 to each constituent element of the sampling rack 2 and from each constituent element of the sampling rack 2 to the CAMS board 12. Transmit measurement data to.
【0005】CAMS盤12は、サンプリングラック2
との間のデータの送受信をインターフェース13を介し
て行う。計算機14が測定値の湿分補正演算を実行す
る。ここで、酸素検出器5,水素検出器6で測定した濃
度値はドライベースであるのに対して、実際の原子炉格
納容器1内の雰囲気ガスはウエットベースである。従っ
て、計算機14はレベル計11から送信されて来るドレ
ン量測定値を使用してドライベースの水素・酸素測定値
をウエットベースに換算して雰囲気監視を実行してい
る。The CAMS board 12 is a sampling rack 2
Data is transmitted to and received from and via the interface 13. The computer 14 executes the moisture correction calculation of the measured value. Here, the concentration values measured by the oxygen detector 5 and the hydrogen detector 6 are on a dry basis, whereas the atmospheric gas in the actual reactor containment vessel 1 is on a wet basis. Therefore, the computer 14 uses the drain amount measurement value transmitted from the level meter 11 to convert the dry base hydrogen / oxygen measurement value into the wet base to perform the atmosphere monitoring.
【0006】また、水素標準ガスが入った校正ガスボン
ベをサンプリングラック内の測定ラインに対して校正ガ
ス用弁16を介して接続し、ライン弁17を閉じると共
に校正ガス用弁16を開けて、水素標準ガスを測定ライ
ンへ供給できるように構成している。校正用の水素標準
ガスは水素検出器6での測定終了後に原子炉格納容器1
へ排気している。Further, a calibration gas cylinder containing a hydrogen standard gas is connected to a measurement line in a sampling rack via a calibration gas valve 16, and the line valve 17 is closed and the calibration gas valve 16 is opened to release hydrogen. It is configured so that standard gas can be supplied to the measurement line. The hydrogen standard gas for calibration is used in the reactor containment vessel 1 after the hydrogen detector 6 has been measured.
Exhausting to.
【0007】上記した水素・酸素濃度測定系による水素
・酸素の測定の他に、原子炉格納容器1の雰囲気ガスの
微量ガス分析を行っている。原子炉格納容器1の雰囲気
ガスをサンプル容器に採集し、サンプル容器を微量ガス
分析設備の整った場所まで運び込んでいた。In addition to the measurement of hydrogen / oxygen by the above-mentioned hydrogen / oxygen concentration measuring system, trace gas analysis of the atmospheric gas in the reactor containment vessel 1 is performed. The atmospheric gas of the reactor containment vessel 1 was collected in a sample container, and the sample container was carried to a place where a trace gas analysis facility was prepared.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た水素・酸素濃度測定系は、校正用の水素標準ガスを測
定終了後に原子炉格納容器1へ排気しているので、水素
標準ガスとして高濃度の水素ガスを使用することができ
ない。その結果、低濃度の水素標準ガスによる試験結果
に基づいて検出器の感度校正を行っており、低濃度から
高濃度までの広い範囲に亙る標準ガスを使っての感度校
正ができなかった。However, in the hydrogen / oxygen concentration measuring system described above, the hydrogen standard gas for calibration is exhausted to the reactor containment vessel 1 after the measurement is completed, so that the hydrogen standard gas with a high concentration is used as the hydrogen standard gas. Hydrogen gas cannot be used. As a result, the sensitivity of the detector was calibrated based on the test results with low concentration hydrogen standard gas, and it was not possible to calibrate the sensitivity with a wide range of standard gas from low concentration to high concentration.
【0009】また、原子炉格納容器1の雰囲気ガスの微
量ガス分析は、雰囲気ガスをサンプル容器に集めて設備
の整った別の場所へ運んで実施していたので、常時微量
ガス分析を実行するような設備にはなっていなかった。Further, since the trace gas analysis of the atmospheric gas in the reactor containment vessel 1 is carried out by collecting the ambient gas in a sample container and carrying it to another place where the equipment is well equipped, the trace gas analysis is always executed. It was not equipped with such equipment.
【0010】本発明は、以上のような実情に鑑みてなさ
れたもので、低濃度から高濃度までの広い範囲に亙る標
準ガスを使っての感度校正を可能にし、また常時微量ガ
ス分析を可能にすることにより、原子炉格納容器内雰囲
気の監視能力を改善することのできる格納容器内雰囲気
監視装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and enables sensitivity calibration using a wide range of standard gas from low concentration to high concentration, and also enables trace gas analysis at all times. By doing so, it is an object of the present invention to provide a containment vessel atmosphere monitoring device capable of improving the ability to monitor the atmosphere in the containment vessel.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために以下のような手段を講じた。請求項1に対
応する本発明は、監視対象容器から取り出された測定ガ
スを測定ラインに導入し、該測定ラインに設けた水素検
出器で測定ガス中の水素濃度を検出し、その検出結果に
基づいて測定ガス中の水素濃度を監視し、測定終了後の
測定ガスを前記監視対象容器内へ放出するガス成分監視
装置において、水素ガスを吸着する機能を備えた水素吸
蔵タンクに前記測定ラインを流れる測定ガスがバイパス
されるように前記水素吸蔵タンクを前記測定ラインにバ
イパス弁を介して並列に接続し、前記測定ラインに標準
ガスを導入して前記水素検出器の校正試験を行うときは
前記測定ラインを流れる測定ガスが前記水素吸蔵タンク
を通過するように構成した。In order to achieve the above object, the present invention takes the following measures. The present invention corresponding to claim 1 introduces a measurement gas taken out from a container to be monitored into a measurement line, detects the hydrogen concentration in the measurement gas with a hydrogen detector provided in the measurement line, and Based on monitoring the hydrogen concentration in the measurement gas based on the gas component monitoring device for releasing the measurement gas after the measurement into the monitoring target container, the measurement line is provided in a hydrogen storage tank having a function of adsorbing hydrogen gas. The hydrogen storage tank is connected in parallel to the measurement line via a bypass valve so that the flowing measurement gas is bypassed, and when performing a calibration test of the hydrogen detector by introducing a standard gas into the measurement line, The measurement gas flowing through the measurement line was configured to pass through the hydrogen storage tank.
【0012】請求項1に対応する本発明によれば、水素
ガスを吸着する機能を備えた水素吸蔵タンクが測定ライ
ンにバイパス弁を介して並列に接続される。測定ライン
に標準ガスを導入して水素検出器の校正試験を行うとき
は、バイパス弁を切替えることにより測定ラインを流れ
る測定ガスが水素吸蔵タンクを通過するようになる。測
定ラインから水素吸蔵タンクに流れ込んだ標準ガス中の
水素成分はタンク内において吸着されるため標準ガス中
の水素濃度は大幅に低下する。この水素濃度を低下させ
た標準ガスが測定ラインへ戻された後に監視対象容器内
へ放出される。According to the present invention corresponding to claim 1, a hydrogen storage tank having a function of adsorbing hydrogen gas is connected in parallel to the measurement line via a bypass valve. When the standard gas is introduced into the measurement line to perform the calibration test of the hydrogen detector, the bypass valve is switched so that the measurement gas flowing through the measurement line passes through the hydrogen storage tank. Since the hydrogen component in the standard gas flowing into the hydrogen storage tank from the measurement line is adsorbed in the tank, the hydrogen concentration in the standard gas is significantly reduced. The standard gas having the reduced hydrogen concentration is returned to the measurement line and then released into the monitored container.
【0013】請求項2に対応する本発明は、監視対象容
器から取り出された測定ガスを測定ラインに導入し、該
測定ラインに設けた酸素検出器で測定ガス中の酸素濃度
を検出し、その検出結果に基づいて測定ガス中の酸素濃
度を監視し、測定終了後の測定ガスを前記監視対象容器
内へ放出するガス成分監視装置において、酸素ガスと化
合する化合材が充填された酸素化合材タンクに前記測定
ラインを流れる測定ガスがバイパスされるように前記酸
素化合材タンクを前記測定ラインにバイパス弁を介して
並列に接続し、前記測定ラインに標準ガスを導入して前
記酸素検出器の校正試験を行うときは前記測定ラインを
流れる測定ガスが前記酸素化合材タンクを通過するよう
に構成した。In the present invention corresponding to claim 2, the measuring gas taken out from the container to be monitored is introduced into the measuring line, and the oxygen concentration in the measuring gas is detected by the oxygen detector provided in the measuring line. In the gas component monitoring device that monitors the oxygen concentration in the measurement gas based on the detection result, and releases the measurement gas after the measurement into the monitoring target container, the oxygen compound material filled with the compound compound that combines with the oxygen gas. The oxygen compound tank is connected in parallel to the measurement line via a bypass valve so that the measurement gas flowing in the measurement line is bypassed to the tank, and a standard gas is introduced into the measurement line to introduce the oxygen detector. When performing the calibration test, the measurement gas flowing through the measurement line was configured to pass through the oxygenated material tank.
【0014】請求項2に対応する本発明によれば、酸素
ガスを化合する化合材が充填された酸素化合材タンクが
測定ラインにバイパス弁を介して並列に接続される。測
定ラインに標準ガスを導入して酸素検出器の校正試験を
行うときは、バイパス弁を切替えることにより測定ライ
ンを流れる測定ガスが酸素化合材タンクを通過するよう
になる。測定ラインから酸素化合材タンクに流れ込んだ
標準ガス中の酸素成分はタンク内において化合して除去
されるため標準ガス中の酸素濃度は大幅に低下する。こ
の酸素濃度を低下させた標準ガスが測定ラインへ戻され
た後に監視対象容器内へ放出される。According to the second aspect of the present invention, the oxygenated compound material tank filled with the compounded material for compounding oxygen gas is connected in parallel to the measurement line via the bypass valve. When introducing a standard gas into the measurement line and performing a calibration test of the oxygen detector, the bypass valve is switched so that the measurement gas flowing through the measurement line passes through the oxygen-containing mixture tank. The oxygen component in the standard gas flowing from the measurement line into the oxygen compound tank is combined and removed in the tank, so that the oxygen concentration in the standard gas is significantly reduced. The standard gas with the reduced oxygen concentration is returned to the measurement line and then released into the monitored container.
【0015】請求項3に対応する本発明は、監視対象容
器から取り出された測定ガスを測定ラインに導入し、該
測定ラインに設けた酸素検出器及び水素検出器で測定ガ
ス中の酸素濃度及び水素濃度を検出し、その検出結果に
基づいて測定ガス中の酸素濃度及び水素濃度を監視し、
測定終了後の測定ガスを前記監視対象容器内へ放出する
ガス成分監視装置において、質量分析によりガス成分の
ガス分圧比を求めることのできる微量ガス分析機能を備
えた分析ラックに前記測定ラインを流れる測定ガスの一
部が流れ込むように前記分析ラックを前記測定ラインに
分岐弁を介して接続し、前記分析ラックで求めた測定ガ
スのガス分圧比と前記酸素検出器及び前記水素検出器の
検出結果とを計算機に入力して定量的な微量ガス分析を
行うように構成した。In the present invention corresponding to claim 3, the measurement gas taken out from the container to be monitored is introduced into the measurement line, and the oxygen concentration and the oxygen concentration in the measurement gas are measured by the oxygen detector and the hydrogen detector provided in the measurement line. Detects the hydrogen concentration, monitors the oxygen concentration and hydrogen concentration in the measurement gas based on the detection result,
In the gas component monitoring device for releasing the measurement gas after the measurement into the container to be monitored, the measurement line flows through an analysis rack equipped with a trace gas analysis function capable of obtaining the gas partial pressure ratio of the gas component by mass spectrometry. The analysis rack is connected to the measurement line through a branch valve so that a part of the measurement gas flows in, and the gas partial pressure ratio of the measurement gas obtained in the analysis rack and the detection results of the oxygen detector and the hydrogen detector. And was input to the computer to perform quantitative trace gas analysis.
【0016】請求項3に対応する本発明によれば、微量
ガス分析機能を備えた分析ラックが測定ラインに分岐弁
を介して接続され、測定ラインを流れる測定ガスの一部
が分岐弁を介して流れ込む。前記分析ラックでは測定ガ
スの質量分析により各ガスのガス分圧比が求められる。
計算機に分析ラックで求めたガス分圧比データと酸素検
出器及び水素検出器の検出結果とが入力されて定量的な
微量ガス分析が行われる。According to the present invention corresponding to claim 3, an analysis rack having a trace gas analysis function is connected to a measurement line through a branch valve, and a part of the measurement gas flowing through the measurement line is passed through the branch valve. Flow in. In the analysis rack, the gas partial pressure ratio of each gas is obtained by mass spectrometry of the measurement gas.
The gas partial pressure ratio data obtained by the analysis rack and the detection results of the oxygen detector and hydrogen detector are input to the computer, and quantitative trace gas analysis is performed.
【0017】請求項4に対応する本発明は、請求項3記
載のガス成分監視装置において、前記分岐弁から前記分
析ラックに前記測定ガスの一部を導くためのガス通路上
に計算機から開度を調節可能なバリァブルリーク弁を設
けた。According to a fourth aspect of the present invention, in the gas component monitoring apparatus according to the third aspect, an opening degree from a computer is provided on a gas passage for guiding a part of the measurement gas from the branch valve to the analysis rack. Adjustable variable leak valve is provided.
【0018】請求項4に対応する本発明によれば、分岐
弁から分析ラックに測定ガスの一部を導くためのガス通
路上に設けられたバリァブルリーク弁の開度が計算機か
ら調節可能である。従って、バリァブルリーク弁の開度
を変化させて感度を調整できる。According to the present invention corresponding to claim 4, the opening degree of the variable leak valve provided on the gas passage for guiding a part of the measurement gas from the branch valve to the analysis rack can be adjusted by a computer. Therefore, the sensitivity can be adjusted by changing the opening of the variable leak valve.
【0019】請求項5に対応する本発明は、請求項3ま
たは請求項4記載のガス成分監視装置において、前記計
算機に、前記酸素検出器及び前記水素検出器の検出結果
から求められる水素と酸素の濃度比と、前記分析ラック
で求めた測定ガスのガス分圧比に基づく水素と酸素の濃
度比とを比較して健全性を診断する機能を備えた。According to the present invention corresponding to claim 5, in the gas component monitoring device according to claim 3 or 4, hydrogen and oxygen obtained from the detection results of the oxygen detector and the hydrogen detector are calculated by the computer. And the concentration ratio of hydrogen and oxygen based on the gas partial pressure ratio of the measurement gas obtained by the analysis rack are compared to diagnose the soundness.
【0020】請求項5に対応する本発明によれば、計算
機において酸素検出器及び水素検出器の検出結果から求
められる水素と酸素の濃度比と、分析ラックで求めた測
定ガスのガス分圧比に基づく水素と酸素の濃度比とが比
較される。両者の値が所定範囲を越えて相違していれば
異常であると診断でき、両者ほぼ一致していれば正常で
あると診断できる。According to the present invention corresponding to claim 5, the concentration ratio of hydrogen and oxygen obtained from the detection results of the oxygen detector and the hydrogen detector in the computer and the gas partial pressure ratio of the measurement gas obtained in the analysis rack are calculated. The hydrogen and oxygen concentration ratios based are compared. If the two values are different from each other over a predetermined range, it can be diagnosed as abnormal, and if they are almost the same, it can be diagnosed as normal.
【0021】[0021]
【実施の形態】以下、本発明の実施形態について説明す
る。 (第1実施形態)図1は、本実施形態のCAMSにおけ
る主に水素・酸素濃度測定系部分の構成を示している。
本実施形態は、原子炉格納容器1に配管を介して接続さ
れるサンプリングラック20と、このサンプリングラッ
ク20に信号線及び電源線を介して接続されたCAMS
盤21とを備えている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below. (First Embodiment) FIG. 1 mainly shows the configuration of the hydrogen / oxygen concentration measuring system portion in the CAMS of the present embodiment.
In this embodiment, a sampling rack 20 connected to the reactor containment vessel 1 via a pipe, and a CAMS connected to the sampling rack 20 via a signal line and a power line.
And a board 21.
【0022】サンプリングラック20は、原子炉格納容
器1から配管を介してラック内に導入されるサンプリン
グガスから湿分を除去する除湿器22を有する。除湿器
22にライン弁23を介して吸引ポンプ24を接続し、
吸引ポンプ24の出側に形成された測定ライン上に酸素
検出器25、水素検出器26を配置してサンプリングガ
ス中の酸素、水素の濃度をそれぞれ測定するようにして
いる。水素検出器26の出側に延設される測定ラインに
逆止弁27、バイパス用ライン弁28を介挿すると共
に、該測定ラインを排気ポンプ29を介してラック外へ
引き出し、原子炉格納容器1のサンプル出口に接続して
いる。また、除湿器22にサンプリングガスから除去し
た水分を貯留するドレン測定器31を設置している。ド
レン測定器31に併設したレベル計32でドレン測定器
31の水位を検出している。ドレン測定器31はドレン
弁33を介して原子炉格納容器1のドレン排出口に連結
している。校正ガスボンベ34は校正用弁35を介して
吸引ポンプ24の前段の測定ラインに接続される。The sampling rack 20 has a dehumidifier 22 that removes moisture from the sampling gas introduced from the reactor containment vessel 1 into the rack via piping. A suction pump 24 is connected to the dehumidifier 22 via a line valve 23,
An oxygen detector 25 and a hydrogen detector 26 are arranged on the measurement line formed on the outlet side of the suction pump 24 to measure the concentrations of oxygen and hydrogen in the sampling gas, respectively. A check valve 27 and a bypass line valve 28 are inserted into a measurement line extending to the outlet side of the hydrogen detector 26, and the measurement line is drawn out of the rack via an exhaust pump 29 to contain the reactor. 1 to the sample outlet. Further, the dehumidifier 22 is provided with a drain measuring device 31 for storing the water removed from the sampling gas. A water level of the drain measuring device 31 is detected by a level meter 32 attached to the drain measuring device 31. The drain measuring device 31 is connected to the drain discharge port of the reactor containment vessel 1 via a drain valve 33. The calibration gas cylinder 34 is connected to the measurement line in the front stage of the suction pump 24 via the calibration valve 35.
【0023】本実施形態は、測定ライン上における逆止
弁27と排気ポンプとの間にバイパス路36を併設して
いる。バイパス路36の途中に水素及び酸素をそれぞれ
吸着するタンク設備37を設け、タンク設備37の入側
及び出側のそれぞれにバイパス弁38、39を設けてい
る。タンク設備37は、水素吸蔵タンクと酸素化合材タ
ンクとを直列に配列した構成としている。水素吸蔵タン
クにはパラジウムまたはチタン等の水素を吸蔵できる金
属が収納されている。酸素化合材タンクには酸素と化合
して酸素を吸収する鉄粉等の酸素化合材が収納されてい
る。In this embodiment, a bypass 36 is provided between the check valve 27 and the exhaust pump on the measurement line. A tank facility 37 for adsorbing hydrogen and oxygen is provided in the middle of the bypass path 36, and bypass valves 38 and 39 are provided on the inlet side and the outlet side of the tank facility 37, respectively. The tank facility 37 has a configuration in which a hydrogen storage tank and an oxygenated compound material tank are arranged in series. The hydrogen storage tank stores a metal capable of storing hydrogen such as palladium or titanium. The oxygenated compound tank contains an oxygenated compound material such as iron powder that combines with oxygen to absorb oxygen.
【0024】CAMS盤21に設置される計算機40は
インターフェース41を介してサンプリングラック20
内の各構成要素とデータの送受信を実行する。以上のよ
うに構成された本実施形態の動作について説明する。The computer 40 installed on the CAMS board 21 is connected to the sampling rack 20 via the interface 41.
It sends and receives data to and from each component inside. The operation of this embodiment configured as described above will be described.
【0025】水素・酸素の測定時は、計算機40が信号
線を通じてサンプリングラック20の構成要素に指令を
与え、ライン弁23、28を開くと共に校正用弁35、
バイパス弁38,39を閉じる。吸引ポンプ24で原子
炉格納容器1からサンプリングラック20へ吸引したサ
ンプリングガスが除湿器22で湿分を除去された後、酸
素検出器25,水素検出器26へ導入されサンプリング
ガス中の酸素濃度、水素濃度が測定される。酸素検出器
25,水素検出器26での測定値は信号線を介して計算
機40へ伝送される。一方、除湿器22でサンプリング
ガスから除去した水分はドレン測定器31に溜まり、そ
の水位がレベル計32から計算機40へ伝送される。計
算機40では、検出器から受信した酸素濃度、水素濃度
をレベル計32から受信した水分データで湿分補正演算
を実行する。When measuring hydrogen / oxygen, the computer 40 gives a command to the components of the sampling rack 20 through signal lines to open the line valves 23 and 28 and to calibrate the valve 35 for calibration.
The bypass valves 38 and 39 are closed. After the sampling gas sucked from the reactor containment vessel 1 to the sampling rack 20 by the suction pump 24 is dehumidified by the dehumidifier 22, the oxygen concentration in the sampling gas is introduced to the oxygen detector 25 and the hydrogen detector 26. The hydrogen concentration is measured. The measured values at the oxygen detector 25 and the hydrogen detector 26 are transmitted to the computer 40 via signal lines. On the other hand, the water removed from the sampling gas by the dehumidifier 22 collects in the drain measuring device 31, and the water level thereof is transmitted from the level meter 32 to the computer 40. In the computer 40, the oxygen concentration and hydrogen concentration received from the detector are subjected to moisture correction calculation with the moisture data received from the level meter 32.
【0026】水素検出器26(又は酸素検出器25)の
校正試験を行う場合は、計算機40が信号線を通じてサ
ンプリングラック20の構成要素に指令を与え、ライン
弁23、28を閉じると共に校正用弁35、バイパス弁
38,39を開ける。校正ガスボンベ34から校正用弁
35を通って測定ランイに導入された水素標準ガスは水
素検出器26でその濃度が測定され、測定値が信号線を
介して計算機40へ伝送される。When performing the calibration test of the hydrogen detector 26 (or the oxygen detector 25), the computer 40 gives a command to the constituent elements of the sampling rack 20 through the signal line to close the line valves 23 and 28 and to calibrate the calibration valve. 35, the bypass valves 38 and 39 are opened. The concentration of the hydrogen standard gas introduced from the calibration gas cylinder 34 into the measurement run through the calibration valve 35 is measured by the hydrogen detector 26, and the measured value is transmitted to the computer 40 via the signal line.
【0027】水素検出器26で濃度測定した後の水素標
準ガスは、ライン弁28が閉じているのでバイパス弁3
6を通ってバイパス路36に導入されてタンク設備37
の水素吸蔵タンクに入れられる。水素吸蔵タンクで水素
が吸着されるため水素標準ガスの水素濃度が大幅に下げ
られる。校正試験に利用した水素標準ガスよりも大幅に
水素濃度の低下したガスとなって水素吸蔵タンクから出
て、さらに酸素化合材タンクに入りガス中の酸素が吸収
される。ここで、酸素化合材タンクでの酸素化合反応で
は発熱を伴うが、水素濃度が大幅に低下されているため
問題はない。The hydrogen standard gas whose concentration has been measured by the hydrogen detector 26 has the line valve 28 closed, so that the bypass valve 3
6 is introduced into the bypass path 36 through the tank equipment 37
It is put in the hydrogen storage tank. Since hydrogen is adsorbed in the hydrogen storage tank, the hydrogen concentration of the hydrogen standard gas is significantly reduced. It becomes a gas whose hydrogen concentration is significantly lower than the hydrogen standard gas used for the calibration test, and exits the hydrogen storage tank, then enters the oxygenation material tank and absorbs oxygen in the gas. Here, the oxygen compounding reaction in the oxygen compounding material tank is accompanied by heat generation, but there is no problem because the hydrogen concentration is greatly reduced.
【0028】酸素化合材タンクを通過する際に水素濃度
及び酸素濃度の下げられたガスはバイパス弁39を通り
排気ポンプ29により原子炉格納容器1内へ放出され
る。このように本実施形態によれば、サンプリングラッ
ク20に形成している測定ライン上において検出器より
も後側にバイパス路36を設け、このバイパス路36に
水素吸蔵タンク及び酸素化合材タンクを設けたので、校
正ガスボンベ34から高い濃度の水素標準ガス、又は酸
素標準ガスを測定ラインに導入してもタンク設備37で
問題ないレベルまで濃度を下げてから原子炉格納容器1
へ放出することができる。従って、高い濃度の水素標準
ガス、酸素標準ガスを使って検出器の校正試験を実施す
ることができ、より広い範囲での校正が可能になる。The gas whose hydrogen concentration and oxygen concentration are lowered when passing through the oxygen-containing mixture tank is discharged into the reactor containment vessel 1 by the exhaust pump 29 through the bypass valve 39. As described above, according to the present embodiment, the bypass line 36 is provided on the measurement line formed in the sampling rack 20 on the rear side of the detector, and the hydrogen storage tank and the oxygenation material tank are provided in the bypass line 36. Therefore, even if a high-concentration hydrogen standard gas or oxygen standard gas is introduced from the calibration gas cylinder 34 into the measurement line, the tank facility 37 lowers the concentration to a level at which there is no problem, and then the reactor containment vessel 1
Can be released to. Therefore, the calibration test of the detector can be carried out by using the high concentration hydrogen standard gas and oxygen standard gas, and the calibration in a wider range becomes possible.
【0029】(第2実施形態)図2は、本実施形態のC
AMSにおける主に水素・酸素濃度測定系部分の構成を
示している。尚、上記した第1実施形態と同一部分には
同一符号を付している。(Second Embodiment) FIG. 2 shows C of the present embodiment.
It mainly shows the configuration of the hydrogen / oxygen concentration measurement system part in AMS. The same parts as those in the first embodiment described above are designated by the same reference numerals.
【0030】本実施形態は、微量ガス分析機能を備えた
分析ラック50を、サンプリングラック20に形成した
測定ラインに分岐弁51,52を介して接続している。
分岐弁51は測定ラインにおいて逆止弁27の前段に設
けられ、分析ラック50へサンプリングガスの一部を導
入する。分岐弁52は測定ラインにおいて逆止弁27の
後段に設けられ、分析ラック50のサンプリングガスを
測定ラインへ戻す。In this embodiment, an analysis rack 50 having a trace gas analysis function is connected to a measurement line formed on the sampling rack 20 via branch valves 51 and 52.
The branch valve 51 is provided upstream of the check valve 27 in the measurement line, and introduces a part of the sampling gas into the analysis rack 50. The branch valve 52 is provided in the measurement line after the check valve 27, and returns the sampling gas of the analysis rack 50 to the measurement line.
【0031】図3は、分析ラック50の構成例を示して
いる。分析ラック50は、ラック内に備えた真空容器5
3がバリャブルリーク弁54を介して分岐弁51に接続
されている。バリャブルリーク弁54の開度を、計算機
40からの指令で動作するバリャブルリーク弁コントロ
ーラ55が制御する。真空容器53の内部圧力は圧力計
56で測定してバリャブルリーク弁54へ与えている。
一方、真空容器53の内部に連通する排気管に、真空用
雰囲気を破壊することなくガス抜きをするためターボ分
子ポンプ57、ロータリポンプ58を連設している。真
空容器53に引き込まれたサンプリングガスの質量分析
を実施する質量分析器ヘッド59が分析ラック50に設
けられている。質量分析器ヘッド59は、計算機40か
らの指令で動作するコントローラ60により制御され
る。符号16は真空容器53の温度を検出する温度計で
ある。FIG. 3 shows an example of the structure of the analysis rack 50. The analysis rack 50 is a vacuum container 5 provided in the rack.
3 is connected to the branch valve 51 via a variable leak valve 54. The opening of the variable leak valve 54 is controlled by a variable leak valve controller 55 that operates according to a command from the computer 40. The internal pressure of the vacuum container 53 is measured by a pressure gauge 56 and given to the variable leak valve 54.
On the other hand, a turbo molecular pump 57 and a rotary pump 58 are connected to an exhaust pipe communicating with the inside of the vacuum container 53 in order to vent gas without breaking the atmosphere for vacuum. The analysis rack 50 is provided with a mass analyzer head 59 for performing mass analysis of the sampling gas drawn into the vacuum container 53. The mass analyzer head 59 is controlled by a controller 60 which operates according to a command from the calculator 40. Reference numeral 16 is a thermometer that detects the temperature of the vacuum container 53.
【0032】以上のように構成された本実施形態の動作
について説明する。分析ラック50で微量ガス分析を行
う場合、計算機40からの指令により測定ライン上にあ
る分岐弁51,52を開き、コントローラ55がバリャ
アブルリーク弁54を開いて測定ラインからバリャアブ
ルリーク弁54を介して真空容器53内に測定ガスを導
入する。また、真空容器53の測定ガスがターボ分子真
空ポンプ57、ロータリーポンプ58により真空容器5
3から抜き取られ、分岐弁52を通って測定ラインに返
される。The operation of this embodiment configured as described above will be described. When a trace gas analysis is performed on the analysis rack 50, the branch valves 51 and 52 on the measurement line are opened by a command from the computer 40, and the controller 55 opens the variable leak valve 54 to open the variable leak valve from the measurement line. A measurement gas is introduced into the vacuum container 53 via 54. Further, the measurement gas in the vacuum container 53 is supplied to the vacuum container 5 by the turbo molecular vacuum pump 57 and the rotary pump 58.
3 and is returned to the measuring line through the branch valve 52.
【0033】このとき、バリャアブルリーク弁54を介
して真空容器53内へ導入する測定ガスの量は極めて少
なくてすむので、測定ラインのガス流量にはほとんど影
響を与えない。At this time, the amount of measurement gas introduced into the vacuum container 53 via the variable leak valve 54 can be extremely small, so that the gas flow rate in the measurement line is hardly affected.
【0034】真空容器53へ導入された測定ガスは質量
分析ヘッド59で質量分析され、測定ガスに含まれてい
る各ガスの分圧比が正確に求められる。この測定データ
はコントローラ60から信号線を介してCAMS盤21
へ伝送されインターフェース41を介して計算機40に
取り込まれる。The measurement gas introduced into the vacuum container 53 is subjected to mass analysis by the mass analysis head 59, and the partial pressure ratio of each gas contained in the measurement gas is accurately obtained. This measurement data is sent from the controller 60 via the signal line to the CAMS board 21.
To the computer 40 via the interface 41.
【0035】計算機40は、分析ラック50からの微量
ガス分析と同時にサンプリングラック20で実施されて
いる水素・酸素濃度測定の測定データが入力されてい
る。質量分析ヘッド59のフィラメントが劣化すると測
定ガスのイオン化量が変化するため質量分析ヘッド59
から受信する測定値はその絶対値について補正が必要で
ある。計算機40では、イオン化量が変化しても測定ガ
スの組成比は同じであることに着目して、質量分析ヘッ
ド59から受信した測定ガスに含まれている各ガスの分
圧比と、同時期に酸素検出器25、水素検出器26から
受信した水素・酸素の分圧比とを基にして測定ガスに含
まれている各ガスの絶対値を求める演算を実行する。こ
の演算の結果、測定ガスに含まれている各ガスが定量測
定されたことになる。The computer 40 receives the measurement data of the hydrogen / oxygen concentration measurement carried out in the sampling rack 20 simultaneously with the trace gas analysis from the analysis rack 50. When the filament of the mass analysis head 59 deteriorates, the ionization amount of the measurement gas changes, so the mass analysis head 59
The measurement value received from the instrument needs to be corrected for its absolute value. In the computer 40, noting that the composition ratio of the measurement gas is the same even if the ionization amount changes, the partial pressure ratio of each gas contained in the measurement gas received from the mass spectrometry head 59 and the partial pressure ratio at the same time. Based on the hydrogen / oxygen partial pressure ratios received from the oxygen detector 25 and the hydrogen detector 26, the calculation for obtaining the absolute value of each gas contained in the measurement gas is executed. As a result of this calculation, each gas contained in the measurement gas is quantitatively measured.
【0036】また、計算機40において、質量分析ヘッ
ド59から受信した水素・酸素の分圧比と、サンプリン
グラック20から受信した水素・酸素の分圧比とを比較
することにより、測定系の健全性を診断する。両者が正
常であれば、2つの分圧比は一致することになる。両者
の値が所定範囲を越えて相違していれば、いずれかに異
常が発生していると判断して、弁切替えなどの操作を実
行し、異常部分を切り離す。例えば、分岐弁51,52
を計算機40からの指令で閉じてガス経路を分離する。In the computer 40, the soundness of the measurement system is diagnosed by comparing the partial pressure ratio of hydrogen / oxygen received from the mass spectrometric head 59 with the partial pressure ratio of hydrogen / oxygen received from the sampling rack 20. To do. If both are normal, the two partial pressure ratios will match. If the two values differ from each other over a predetermined range, it is determined that an abnormality has occurred in one of them, and an operation such as valve switching is executed to disconnect the abnormal portion. For example, the branch valves 51 and 52
Is closed by a command from the computer 40 to separate the gas path.
【0037】なお、定量的に微量ガスを測定する場合、
ガス流量の安定度が測定精度に影響する。本実施形態
は、計算機40においてガス流量の変動に応じた補正演
算を加えることによりガス流量の変化による測定誤差を
除去している。When measuring a trace amount of gas quantitatively,
The stability of the gas flow rate affects the measurement accuracy. In the present embodiment, the computer 40 removes the measurement error due to the change in the gas flow rate by adding the correction calculation according to the change in the gas flow rate.
【0038】バリャブルリーク弁54の開度は、通常は
質量分析ヘッド59のフィラメントの劣化を抑制するた
め比較的小さく設定されるが、微量ガス分析の時は開度
を大きく取って感度を向上させることも可能である。The opening of the variable leak valve 54 is usually set to a relatively small value in order to suppress the deterioration of the filament of the mass analysis head 59, but in the analysis of a small amount of gas, the opening should be increased to improve the sensitivity. Is also possible.
【0039】このように本実施形態によれば、サンプリ
ングラック20に形成されている測定ラインに微量ガス
分析機能を備えた分析ラック50を常に接続するように
したので、微量ガス分析の定量的測定が常に可能とな
る。As described above, according to this embodiment, since the analysis rack 50 having the trace gas analysis function is always connected to the measurement line formed in the sampling rack 20, the quantitative measurement of the trace gas analysis is performed. Will always be possible.
【0040】本実施形態によれば、計算機40において
測定ガスの分圧比測定データを定量値に補正するように
したので、微量ガスの定量分析に必要なガス流量安定化
機構が不要となり、装置の簡素化及びコストダウンを図
ることができる。According to this embodiment, since the partial pressure ratio measurement data of the measurement gas is corrected to the quantitative value in the computer 40, the gas flow rate stabilizing mechanism necessary for the quantitative analysis of the trace gas is not required, and the device It is possible to achieve simplification and cost reduction.
【0041】本実施形態によれば、微量ガス分析結果か
ら、水素・酸素の分圧比が求められるので、CAMSの
測定系の健全性を診断することができる。本発明は上記
実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸
脱しない範囲内で種々変形実施可能である。例えば、第
1実施形態に第2実施形態の分析ラック50を取り付け
てCAMSを構成することができる。According to this embodiment, the partial pressure ratio of hydrogen / oxygen is obtained from the trace gas analysis result, so that the soundness of the CAMS measurement system can be diagnosed. The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, the CAMS can be configured by attaching the analysis rack 50 of the second embodiment to the first embodiment.
【0042】[0042]
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、低
濃度から高濃度までの広い範囲に亙る標準ガスを使って
の感度校正を可能にし、原子炉格納容器内雰囲気の監視
能力を改善することのできる格納容器内雰囲気監視装置
を提供できる。As described above in detail, according to the present invention, it is possible to perform sensitivity calibration using a wide range of standard gas from low concentration to high concentration, and to improve the monitoring capability of the atmosphere inside the reactor containment vessel. An atmosphere monitoring device in a containment vessel that can be improved can be provided.
【0043】また、本発明によれば、常時微量ガス分析
を可能にすることにより、原子炉格納容器内雰囲気の監
視能力を改善することのできる格納容器内雰囲気監視装
置を提供できる。Further, according to the present invention, it is possible to provide a containment vessel atmosphere monitoring device which can improve the ability to monitor the atmosphere in the reactor containment vessel by enabling the trace gas analysis at all times.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図1】本発明の第1実施形態に係るCAMSの構成図
である。FIG. 1 is a configuration diagram of a CAMS according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の第2実施形態に係るCAMSの構成図
である。FIG. 2 is a configuration diagram of a CAMS according to a second embodiment of the present invention.
【図3】第2実施形態のCAMSに備えた分析ラックの
構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of an analysis rack provided in the CAMS of the second embodiment.
【図4】従来のCAMSの構成図である。FIG. 4 is a block diagram of a conventional CAMS.
1…原子炉格納容器、20…サンプリングラック、21
…CAMS盤、22…除湿器、23…ライン弁、24…
吸引ポンプ、25…酸素検出器、26…水素検出器、2
7…逆止弁、28…バイパス用ライン弁、29…排気ポ
ンプ、31…ドレン測定器、32…レベル計、33…ド
レン弁、34…校正ガスボンベ、35…校正用弁、36
…バイパス路、37…タンク設備、38,39…バイパ
ス弁、40…計算機、50…分析ラック、51,52…
分岐弁、53…真空容器、54…バリャブルリーク弁、
55…バリャブルリーク弁コントローラ、59…質量分
析器ヘッド。1 ... Reactor containment vessel, 20 ... Sampling rack, 21
… CAMS board, 22… Dehumidifier, 23… Line valve, 24…
Suction pump, 25 ... Oxygen detector, 26 ... Hydrogen detector, 2
7 ... Check valve, 28 ... Bypass line valve, 29 ... Exhaust pump, 31 ... Drain measuring device, 32 ... Level meter, 33 ... Drain valve, 34 ... Calibration gas cylinder, 35 ... Calibration valve, 36
... Bypass passage, 37 ... Tank equipment, 38, 39 ... Bypass valve, 40 ... Computer, 50 ... Analysis rack, 51, 52 ...
Branch valve, 53 ... Vacuum container, 54 ... Variable leak valve,
55 ... Variable leak valve controller, 59 ... Mass spectrometer head.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 遠藤 順政 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 鈴木 茂 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東芝 府中工場内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Junsei Endo No. 1 in Toshiba Fuchu factory, Fuchu-shi, Tokyo (72) Inventor Shigeru Suzuki No. 1 Toshiba-machi in Fuchu, Tokyo Tokyo Fuchu factory, Ltd.
Claims (5)
を測定ラインに導入し、該測定ラインに設けた水素検出
器で測定ガス中の水素濃度を検出し、その検出結果に基
づいて測定ガス中の水素濃度を監視し、測定終了後の測
定ガスを前記監視対象容器内へ放出するガス成分監視装
置において、 水素ガスを吸着する機能を備えた水素吸蔵タンクに前記
測定ラインを流れる測定ガスがバイパスされるように前
記水素吸蔵タンクを前記測定ラインにバイパス弁を介し
て並列に接続し、前記測定ラインに標準ガスを導入して
前記水素検出器の校正試験を行うときは前記測定ライン
を流れる測定ガスが前記水素吸蔵タンクを通過するよう
にしたことを特徴とするガス成分監視装置。1. A measurement gas taken out from a container to be monitored is introduced into a measurement line, a hydrogen detector provided in the measurement line detects the hydrogen concentration in the measurement gas, and the measurement gas is measured based on the detection result. In the gas component monitoring device that monitors the hydrogen concentration of the gas and releases the measured gas after the measurement into the monitored container, the measured gas flowing through the measuring line is bypassed to the hydrogen storage tank that has the function of adsorbing the hydrogen gas. As described above, the hydrogen storage tank is connected in parallel to the measurement line via a bypass valve, and a standard gas is introduced to the measurement line to perform a calibration test of the hydrogen detector. A gas component monitoring device, wherein gas passes through the hydrogen storage tank.
を測定ラインに導入し、該測定ラインに設けた酸素検出
器で測定ガス中の酸素濃度を検出し、その検出結果に基
づいて測定ガス中の酸素濃度を監視し、測定終了後の測
定ガスを前記監視対象容器内へ放出するガス成分監視装
置において、 酸素ガスと化合する化合材が充填された酸素化合材タン
クに前記測定ラインを流れる測定ガスがバイパスされる
ように前記酸素化合材タンクを前記測定ラインにバイパ
ス弁を介して並列に接続し、前記測定ラインに標準ガス
を導入して前記酸素検出器の校正試験を行うときは前記
測定ラインを流れる測定ガスが前記酸素化合材タンクを
通過するようにしたことを特徴とするガス成分監視装
置。2. The measurement gas taken out from the monitored container is introduced into a measurement line, the oxygen concentration in the measurement gas is detected by an oxygen detector provided in the measurement line, and the measurement gas is measured based on the detection result. In the gas component monitoring device that monitors the oxygen concentration of the, and discharges the measurement gas after the measurement into the monitoring target container, the measurement that flows through the measurement line to the oxygenation compound material tank filled with the compound material that combines with the oxygen gas. When the oxygen compound tank is connected in parallel to the measurement line via a bypass valve so that the gas is bypassed, and the standard gas is introduced into the measurement line to perform a calibration test of the oxygen detector, the measurement is performed. A gas component monitoring device characterized in that a measuring gas flowing through a line passes through the oxygenated compound tank.
を測定ラインに導入し、該測定ラインに設けた酸素検出
器及び水素検出器で測定ガス中の酸素濃度及び水素濃度
を検出し、その検出結果に基づいて測定ガス中の酸素濃
度及び水素濃度を監視し、測定終了後の測定ガスを前記
監視対象容器内へ放出するガス成分監視装置において、 質量分析によりガス成分のガス分圧比を求めることので
きる微量ガス分析機能を備えた分析ラックに前記測定ラ
インを流れる測定ガスの一部が流れ込むように前記分析
ラックを前記測定ラインに分岐弁を介して接続し、前記
分析ラックで求めた測定ガスのガス分圧比と前記酸素検
出器及び前記水素検出器の検出結果とを計算機に入力し
て定量的な微量ガス分析を行うことを特徴とするガス成
分監視装置。3. The measurement gas taken out of the container to be monitored is introduced into a measurement line, the oxygen concentration and hydrogen concentration in the measurement gas are detected by an oxygen detector and a hydrogen detector provided in the measurement line, and the detection is performed. A gas component monitoring device that monitors the oxygen concentration and hydrogen concentration in the measurement gas based on the results and discharges the measurement gas into the monitoring target container after the measurement is completed, and obtains the gas partial pressure ratio of the gas component by mass spectrometry. The measurement rack is connected to the measurement line via a branch valve so that a part of the measurement gas flowing through the measurement line flows into the analysis rack having a trace gas analysis function, and the measurement gas obtained by the analysis rack is obtained. The gas component monitoring device, wherein the gas partial pressure ratio and the detection results of the oxygen detector and the hydrogen detector are input to a computer to perform quantitative trace gas analysis.
定ガスの一部を導くためのガス通路上に計算機から開度
を調節可能なバリァブルリーク弁を設けたことを特徴と
する請求項3記載のガス成分監視装置。4. A variable leak valve whose opening can be adjusted by a computer is provided on a gas passage for guiding a part of the measurement gas from the branch valve to the analysis rack. Gas component monitoring device.
水素検出器の検出結果から求められる水素と酸素の濃度
比と、前記分析ラックで求めた測定ガスのガス分圧比に
基づく水素と酸素の濃度比とを比較して健全性を診断す
る機能を備えたことを特徴とする請求項3または請求項
4記載のガス成分監視装置。5. The computer calculates the concentration ratio of hydrogen and oxygen obtained from the detection results of the oxygen detector and the hydrogen detector, and hydrogen and oxygen based on the gas partial pressure ratio of the measurement gas obtained by the analysis rack. The gas component monitoring device according to claim 3 or 4, further comprising a function of diagnosing soundness by comparing with a concentration ratio.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16969595A JPH0921784A (en) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | Gas constituent monitoring device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16969595A JPH0921784A (en) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | Gas constituent monitoring device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0921784A true JPH0921784A (en) | 1997-01-21 |
Family
ID=15891180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16969595A Pending JPH0921784A (en) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | Gas constituent monitoring device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0921784A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000002784A (en) * | 1998-04-16 | 2000-01-07 | Toshiba Corp | Monitor for atmosphere inside container |
JP2003098139A (en) * | 2001-09-27 | 2003-04-03 | New Cosmos Electric Corp | Gas detector |
WO2011040625A1 (en) * | 2009-09-29 | 2011-04-07 | 有限会社真空実験室 | Vacuum measuring device having ion source |
-
1995
- 1995-07-05 JP JP16969595A patent/JPH0921784A/en active Pending
Cited By (4)
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WO2011040625A1 (en) * | 2009-09-29 | 2011-04-07 | 有限会社真空実験室 | Vacuum measuring device having ion source |
JPWO2011040625A1 (en) * | 2009-09-29 | 2013-02-28 | 有限会社真空実験室 | Vacuum measuring device with ion source |
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