JP2005172472A - Gas analysis method, and gas analysis method for fuel cell - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、トレーサー希釈法を利用した燃料電池のガス分析方法に関する。 The present invention relates to a fuel cell gas analysis method using a tracer dilution method.
固体酸化物を電解質として備えた固体酸化物型燃料電池(Solid Oxide Fuel Cell :SOFC)は、高効率で小型化が可能であるため、その実用化が期待されている。しかしながら、作動温度が高温(500〜1000℃)であるため、発電効率の算出等を目的としたガス分析に課題がある。
分析対象のガスとしては、燃料ガス(例えば、天然ガス等の炭化水素を主成分とするガス)、アノードガス(燃料ガスを水蒸気等と反応させて主成分を水素とした改質ガスであって、燃料電池のアノード室に供給されるガス)、カソードガス(加熱空気等の酸素を含むガスであって、燃料電池のカソード室に供給されるガス)、排ガス(電池反応後にアノード室およびカソード室から排出されるガス)が挙げられる。
A solid oxide fuel cell (SOFC) including a solid oxide as an electrolyte is expected to be put to practical use because it can be miniaturized with high efficiency. However, since the operating temperature is high (500 to 1000 ° C.), there is a problem in gas analysis for the purpose of calculating power generation efficiency.
The gas to be analyzed includes fuel gas (for example, gas mainly composed of hydrocarbon such as natural gas), anode gas (reformed gas whose main component is hydrogen by reacting fuel gas with water vapor etc.) , Gas supplied to the anode chamber of the fuel cell), cathode gas (gas containing oxygen such as heated air and supplied to the cathode chamber of the fuel cell), exhaust gas (the anode chamber and the cathode chamber after the cell reaction) Exhausted from the gas).
図7に、メタンガスを水蒸気改質した場合のアノードガスの組成の一例を示す。このアノードガスは、水素(H2 )と水蒸気(H2 O)と一酸化炭素(CO)と二酸化炭素(CO2 )とメタン(CH4 )からなる混合ガスであって、水蒸気を30モル%程度含んでいる。このように水蒸気を多量に含む混合ガスを、高温(500〜1000℃)で分析することは困難である。そのため、流量計が使用可能で水蒸気が凝縮しない150℃程度の温度で行う必要がある。この条件で使用可能な流量計としては超音波式のものがあるが、この流量計を用いた分析方法では、ガス組成を温度補正および圧力補正することが非常に難しい。 FIG. 7 shows an example of the composition of the anode gas when methane gas is steam reformed. This anode gas is a mixed gas composed of hydrogen (H 2 ), water vapor (H 2 O), carbon monoxide (CO), carbon dioxide (CO 2 ), and methane (CH 4 ), and contains 30 mol% of water vapor. Contains degree. Thus, it is difficult to analyze a mixed gas containing a large amount of water vapor at a high temperature (500 to 1000 ° C.). Therefore, it is necessary to carry out at a temperature of about 150 ° C. at which a flow meter can be used and water vapor is not condensed. Although there is an ultrasonic type flow meter that can be used under these conditions, it is very difficult to correct the temperature and pressure of the gas composition by an analysis method using this flow meter.
燃料電池システムのガス分析には、従来、炭化水素系のガス分析に有効なガスクロマトグラフィが使用されているが、短時間で測定できる最近の装置でも1分間程度の時間を要する。また、この方法では、燃料電池システムのラインからガスをサンプリングして行う「バッチ式」の測定となるため、リアルタイムにガスラインの異常や過渡応答特性等を調べることができない。さらに、この方法は、水蒸気を多量に含有するガスの測定には適していない。 Conventionally, gas chromatography effective for hydrocarbon-based gas analysis has been used for gas analysis of a fuel cell system, but a recent apparatus capable of measuring in a short time requires about 1 minute. Further, since this method is a “batch type” measurement performed by sampling gas from the fuel cell system line, it is not possible to investigate abnormality or transient response characteristics of the gas line in real time. Furthermore, this method is not suitable for measurement of gas containing a large amount of water vapor.
また、分析装置の校正には各種濃度の標準ガスが必要であるため、各濃度の標準ガスをボンベで用意する必要があるが、多成分の混合ガスを分析する際にはこの作業が煩雑である。
なお、下記の特許文献1には、改質ガス(アノードガス)中の水素濃度を検出して、燃料電池の水素利用率を算出する方法が記載されている。
The following
本発明の課題は、燃料電池のガス分析に適した(特に、固体酸化物型燃料電池のガス分析法として有効な)ガス分析方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a gas analysis method suitable for gas analysis of a fuel cell (particularly effective as a gas analysis method of a solid oxide fuel cell).
上記課題を解決するために、本発明は、下記の構成(1) および(2) を特徴とするガス分析方法を提供する。
(1) 標準ガスを構成する校正対象ガスと希釈ガスをそれぞれ、精密天秤を用いて校正された流量計を備えた流量制御器を介して所定の質量流量で同じ配管内に導入することにより
、この配管内で校正対象ガスと希釈ガスが所定の比率で混合された標準ガスを調製する。そして、この配管内の標準ガスを分析装置に導入して、分析対象ガスの構成成分とトレーサーガス成分についての校正を行う。
(2) 前記校正を行った後に、分析対象ガスが流れている配管にトレーサーガスを、精密天秤を用いて校正された流量計を備えた流量制御器を介して所定の質量流量で導入し、前記配管内のトレーサーガスと分析対象ガスとの混合ガスを前記分析装置に導入して組成分析を行う。そして、この分析結果より得られたトレーサーガスの質量濃度から分析対象ガスの質量流量を算出し、この算出値で前記分析結果を補正して分析対象ガスの構成成分の量を決定する。
In order to solve the above problems, the present invention provides a gas analysis method characterized by the following configurations (1) and (2).
(1) By introducing the calibration target gas and the dilution gas constituting the standard gas into the same pipe at a predetermined mass flow rate through a flow controller equipped with a flow meter calibrated using a precision balance, A standard gas in which a calibration target gas and a dilution gas are mixed at a predetermined ratio is prepared in this pipe. And the standard gas in this piping is introduce | transduced into an analyzer, and the component component and tracer gas component of analysis object gas are calibrated.
(2) After performing the calibration, the tracer gas is introduced into the pipe through which the gas to be analyzed flows at a predetermined mass flow rate through a flow controller equipped with a flow meter calibrated using a precision balance, A mixed gas of the tracer gas and the analysis target gas in the pipe is introduced into the analyzer to perform composition analysis. Then, the mass flow rate of the analysis target gas is calculated from the mass concentration of the tracer gas obtained from the analysis result, and the analysis result is corrected with the calculated value to determine the amount of the constituent component of the analysis target gas.
本発明のガス分析方法によれば、トレーサーガスの質量流量(v)と質量濃度(c)とから分析対象ガスの質量流量(V)を下記の(1)式により算出し、この算出値(V)で分析対象ガスの組成分析結果を補正している。よって、分析対象ガス組成の温度および圧力による補正が不要になるため、分析精度が向上する。なお、この式で算出される質量流量(V)は、トレーサーガスを導入した配管内を流れている全てのガスの質量流量の合計値に相当する。
V =(v/c)−v ‥‥(1)
According to the gas analysis method of the present invention, the mass flow rate (V) of the analysis target gas is calculated from the mass flow rate (v) and the mass concentration (c) of the tracer gas by the following equation (1), and this calculated value ( V) corrects the composition analysis result of the gas to be analyzed. Therefore, the correction by the temperature and pressure of the gas composition to be analyzed becomes unnecessary, so that the analysis accuracy is improved. The mass flow rate (V) calculated by this equation corresponds to the total value of the mass flow rates of all the gases flowing in the pipe into which the tracer gas is introduced.
V = (v / c) −v (1)
また、トレーサーガスを所定の質量流量で導入する際に、精密天秤を用いて校正された流量計を備えた流量制御器で流量調節しているため、上記(1)式の「v」の誤差が小さい。よって、「V」の算出誤差が小さくなるため、分析対象ガス組成の分析精度が向上する。
また、分析対象ガスの構成成分とトレーサーガス成分の校正に使用する標準ガスを、前記構成(1) に示す方法で調製するため、校正対象ガスのボンベと希釈ガスのボンベを用意するだけで、測定範囲に対応させた各種濃度の標準ガスを調製することができる。これにより、校正対象ガス毎に各種濃度の標準ガスをボンベで用意する必要がなくなるため、校正時の作業性が向上する。
In addition, when introducing the tracer gas at a predetermined mass flow rate, the flow rate is adjusted by a flow rate controller equipped with a flow meter calibrated using a precision balance. Is small. Therefore, since the calculation error of “V” is reduced, the analysis accuracy of the analysis target gas composition is improved.
In addition, since the standard gas used for calibration of the constituent components of the analysis target gas and the tracer gas component is prepared by the method shown in the configuration (1), it is only necessary to prepare a calibration target gas cylinder and a dilution gas cylinder. Various concentrations of standard gas corresponding to the measurement range can be prepared. As a result, there is no need to prepare various concentrations of standard gas for each calibration target gas, and the workability during calibration is improved.
本発明はまた、改質反応器へ燃料ガスを供給する配管、改質反応器とアノード室とを接続する配管、カソード室にカソードガスを導入する配管、および電池反応後の排ガスを通す配管から選択される少なくともいずれかの配管を流れているガスを、上記構成(1) および(2) を特徴とするガス分析方法で分析することを特徴とする燃料電池のガス分析方法を提供する。 The present invention also includes piping for supplying fuel gas to the reforming reactor, piping for connecting the reforming reactor and the anode chamber, piping for introducing the cathode gas into the cathode chamber, and piping for passing the exhaust gas after the cell reaction. Provided is a gas analysis method for a fuel cell, characterized in that a gas flowing through at least one selected pipe is analyzed by a gas analysis method characterized by the configurations (1) and (2).
本発明の「燃料電池のガス分析方法」では、分析装置としてフーリエ変換赤外線分光分析器(FT−IR)と四重極質量分析器(QMS)を使用することが好ましい。
トレーサーガスとしては、分析対象ガスに影響を与えず、分析原理的にも問題とならないガスを用いる必要がある。分析装置がQMSの場合、分析対象ガスだけでなくフラグメントイオンとも異なる質量数のガスを、トレーサーガスとする必要がある。分析装置がFT−IRの場合には、分析対象ガスの吸収ピークと重ならない吸収ピークを有するガスをトレーサーガスとする必要がある。
In the “gas analysis method for a fuel cell” of the present invention, it is preferable to use a Fourier transform infrared spectroscopic analyzer (FT-IR) and a quadrupole mass spectrometer (QMS) as the analyzer.
As the tracer gas, it is necessary to use a gas that does not affect the analysis target gas and does not cause a problem in the analysis principle. When the analyzer is QMS, it is necessary to use a gas having a mass number different from that of the analysis target gas as well as the fragment ions as the tracer gas. When the analyzer is FT-IR, it is necessary to use a gas having an absorption peak that does not overlap with the absorption peak of the analysis target gas as the tracer gas.
アルゴン(Ar)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)は、QMSのトレーサーガスとしての条件を満足しているが、FT−IRではこれら希ガスの分析ができない。そのため、分析装置としてFT−IRとQMSの両方を使用する場合には、トレーサーガスとして六フッ化硫黄(SF6 )を使用することが好ましい。SF6 は、化学的に不活性で自然界には存在しないが、QMSのトレーサーガスとして有効であり、比較的低温(500〜750℃)の測定系であればFT−IRのトレーサーガスとしても使用できる。 Argon (Ar), krypton (Kr), and xenon (Xe) satisfy the conditions as a tracer gas for QMS, but FT-IR cannot analyze these rare gases. Therefore, when both FT-IR and QMS are used as the analyzer, it is preferable to use sulfur hexafluoride (SF 6 ) as the tracer gas. SF 6 is chemically inert and does not exist in nature, but it is effective as a tracer gas for QMS, and it can also be used as a tracer gas for FT-IR if it is a measurement system at a relatively low temperature (500 to 750 ° C.). it can.
本発明のガス分析方法によれば、分析結果を温度で補正する必要がないため、作動温度が500〜1000℃である固体酸化物型燃料電池のガス分析を、精度良く行うことが可能になる。また、校正対象ガス毎に各種濃度の標準ガスをボンベで用意する必要がなくなるため、校正時の作業性が向上する。 According to the gas analysis method of the present invention, since it is not necessary to correct the analysis result with temperature, it becomes possible to accurately perform gas analysis of a solid oxide fuel cell having an operating temperature of 500 to 1000 ° C. . In addition, it is not necessary to prepare various concentrations of standard gas for each calibration target gas, so that the workability during calibration is improved.
以下、本発明の実施形態について説明する。
図1は、固体酸化物型燃料電池システムの基本構成を示す概略構成図である。このシステムは、燃料タンク1と、改質装置2と、電池本体3と、水を水蒸気にする加熱器4と、熱交換器5を備えている。また、燃料タンク1から改質装置2の改質反応器に燃料ガスを導入する配管h1と、この配管h1に加熱器4から水蒸気を導入する配管h2と、燃料タンク1から改質装置2の燃焼器に燃料ガスを導入する配管h3を備えている。この配管h3は、配管h2の接続位置より手前で配管h1から分岐して燃焼器に向かっている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a basic configuration of a solid oxide fuel cell system. This system includes a
このシステムは、また、電池本体3のカソード室に加熱空気(カソードガス)を導入する配管h4と、電池本体3のアノード室にアノードガスを導入する配管h5と、改質装置2の燃焼器からの排気を通す配管h6を備えている。熱交換器5は、配管h4の空気取り入れ口に設置され、配管h6に導入された排気の熱を熱源として使用している。
このシステムは、さらに、電池本体3のアノード室から排出された排ガスを改質装置2の燃焼器に導入する配管h7と、前記排ガスを改質装置2の改質反応器に向かわせる配管h8と、電池本体3のカソード室から排出された排ガスを改質装置2の燃焼器に導入する配管h9を備えている。
This system also includes a pipe h4 for introducing heated air (cathode gas) into the cathode chamber of the battery body 3, a pipe h5 for introducing anode gas into the anode chamber of the battery body 3, and the combustor of the reformer 2. A pipe h6 through which the exhaust gas is passed is provided. The heat exchanger 5 is installed at the air intake port of the pipe h4, and uses the heat of the exhaust gas introduced into the pipe h6 as a heat source.
This system further includes a pipe h7 for introducing exhaust gas discharged from the anode chamber of the battery body 3 into the combustor of the reformer 2, and a pipe h8 for directing the exhaust gas to the reforming reactor of the reformer 2. A pipe h9 for introducing the exhaust gas discharged from the cathode chamber of the battery body 3 into the combustor of the reformer 2 is provided.
図2を用いて、図1の燃料電池システムの配管h1,h5,h8を流れているガスの分析を、本発明の方法で行う一例について説明する。配管h1は改質反応器21へ燃料ガスを供給する配管であり、配管h5は改質反応器21とアノード室31とを接続する配管であり、配管h8は電池反応後のアノード室31からの排ガスを通す配管である。
先ず、図2の装置構成について説明する。この例では、図3に示す精密流量調節器6を使用している。
An example in which the analysis of the gas flowing through the pipes h1, h5, h8 of the fuel cell system of FIG. 1 is performed by the method of the present invention will be described with reference to FIG. The pipe h1 is a pipe that supplies fuel gas to the reforming
First, the apparatus configuration of FIG. 2 will be described. In this example, the
図3に示すように、この精密流量調節器6は、二本の配管61,62と、各配管61,62を流れるガスの質量流量を測定する第1および第2の流量計61a,62aと、各配管61,62の開度を可変にしているバルブ61b,62bと、第1および第2の演算器61c,62cを備えている。第1および第2の流量計61a,62aは、精密天秤を用いて校正されたものである。各演算器61c,62cは、流量計61a,62aの測定データに基づいて、各バルブ61b,62bの開度変更量を算出する。流量計61a,62aと、バルブ61b,62bと、演算器61c,62cにより、各配管61,62用の流量制御器が構成されている。
As shown in FIG. 3, the
図4を用いて、流量計61a,62aの校正について説明する。この校正は、精密天秤71の上にガスボンベ72を載せ、このガスボンベ72に配管73を接続し、この配管73にバルブ74を設け、配管73のバルブ74より上流に校正対象の流量計61a(62a)を取り付けて行われる。校正対象の流量計61a(62a)と精密天秤71とバルブ74は、計算機75に接続される。
The calibration of the
計算機75は演算器75aと記憶装置75bを備えている。演算器75aには、所定時間毎に、精密天秤71からの質量測定データと流量計61a(62a)からの質量流量測定データが入力される。演算器75aは、両データを比較して差を算出し、各時間毎の算出値を統計処理して校正データを作成し、これを記憶装置75bに記憶させる。なお、バルブ74の開度は、演算器75aに入力された流量計61a(62a)からの測定データ
に基づいて調節される。
The
ここでは、精密流量調節器6の第1の流量計61aを、質量流量が基準温度圧力換算で2ml/minまでの小流量用として校正し、第2の流量計62aを、質量流量が基準温度圧力換算で2000ml/minまでの大流量用として校正した。そして、各流量計61a,62aの校正時に記憶装置75bに記憶させた校正データを、各演算器61c,62cに入力する。
図2に戻り、精密流量調節器6の第1および第2の配管61,62の出口61e,62eには、配管h11,h12が接続され、配管h11は三方形弁81のポートp1に、配管h12は三方形弁81のポートp2に接続されている。三方形弁81のポートp3には、配管h1から分岐された配管h13が接続されている。この三方形弁81は制御装置81Aにより制御される。
Here, the
Returning to FIG. 2, pipes h11 and h12 are connected to the
また、配管h12から分岐した配管h14が、切り換え弁82のポートp1に接続されている。切り換え弁82は、ポートp0〜p4の5つのポートを有し、制御装置82Aからの制御信号により、ポートp0とポートp1〜p4のいずれか一つとが接続されるように制御される。ポートp0にはFT−IR91に向かう配管h15が、ポートp2には配管h1から分岐された配管h16が、ポートp3には配管h5から分岐された配管h17が、ポートp4には配管h8から分岐された配管h18が接続されている。
また、FT−IR91の排気口とQMS92の気体導入口は配管h19で接続されている。配管h20は、QMS92の排気口である。
A pipe h14 branched from the pipe h12 is connected to the port p1 of the switching
Moreover, the exhaust port of FT-IR91 and the gas inlet port of QMS92 are connected by piping h19. The pipe h20 is an exhaust port of the
次に、この実施形態で行うガス分析方法について説明する。
最初に、分析装置の校正を、分析対象ガスの構成成分とトレーサーガス成分について行う。すなわち、図5に示すように、精密流量調節器6の第1の配管61の入口61dに、標準ガスを構成する校正対象ガスのボンベB1を接続し、第2の配管62の入口62dに、標準ガスを構成する窒素ガス(希釈ガス)ボンベB2を接続する。そして、制御装置81Aにより三方形弁81のポートp1とポートp2を接続し、制御装置82Aにより切り換え弁82のポートp1とポートp0を接続する。
Next, the gas analysis method performed in this embodiment will be described.
First, the analyzer is calibrated for the constituent components and the tracer gas components of the analysis target gas. That is, as shown in FIG. 5, the cylinder B1 of the calibration target gas constituting the standard gas is connected to the
この状態で、校正対象ガスを、第1の流量計61aで流量調節しながらボンベB1から配管h11に導入する。これと同時に、窒素ガスを、第2の流量計62aで流量調節しながらボンベB2から配管h12に導入する。これにより、配管h14内で、校正対象ガスと窒素ガスが所定の比率で混合された標準ガスが調製される。そして、この配管h14内の標準ガスがFT−IR91およびQMS92に導入される。
また、上述の標準ガスの調製を測定範囲に対応させた各種濃度で行って、各種濃度の標準ガスを分析装置に導入することにより、分析対象ガスの構成成分とトレーサーガス成分についての校正を完了させる。
In this state, the calibration target gas is introduced from the cylinder B1 into the pipe h11 while adjusting the flow rate with the
In addition, calibration of the constituent components and tracer gas components of the gas to be analyzed is completed by preparing the standard gas described above at various concentrations corresponding to the measurement range and introducing the standard gas at various concentrations into the analyzer. Let
次に、図6に示すように、精密流量調節器6の第1の配管61の入口61dに、トレーサーガスとして使用するガス(SF6 )のボンベB3を接続する。第2の配管62の入口62dには窒素ガスのボンベB2を接続したままとする。そして、制御装置81Aにより三方形弁81のポートp1とポートp3を接続し、制御装置82Aにより切り換え弁82のポートp2とポートp0を接続する。これにより、配管h11と配管h13、配管h16と配管h15が連通する。
Next, as shown in FIG. 6, a gas cylinder (SF 6 ) cylinder B 3 used as a tracer gas is connected to the
この状態で、トレーサーガスを、第1の流量計61aで所定の質量流量(v)となるように流量調節しながらボンベB3から配管h11に導入する。これにより、配管h13を通って配管h1内にトレーサーガスが導入される。また、配管h1内を流れるガスとトレーサーガスとの混合ガスが、配管h16を通って配管h15からFT−IR91に導入さ
れる。そして、この混合ガスはFT−IR91で分析された後に、配管h19からQMS92に導入されて質量分析され、QMS92による分析終了後に配管h20から排出される。
In this state, the tracer gas is introduced from the cylinder B3 into the pipe h11 while adjusting the flow rate so that the
そして、FT−IR91およびQMS92による組成分析の結果からトレーサーガスの質量濃度(c)が得られるため、この値を用いて前記(1)式から分析対象ガスの質量流量(V)を算出する。この算出値で組成分析結果を補正して、分析対象ガスの構成成分の量を決定する。
この例では、配管h1内を流れるガスを分析対象とした場合について説明したが、配管h5内を流れるガスを分析対象とする場合には、切り換え弁82のポートp3とポートp0とを接続して、配管h5と配管h17と配管h15を連通させればよい。また、配管h8内を流れるガスを分析対象とする場合には、切り換え弁82のポートp4とポートp0とを接続して、配管h8と配管h18と配管h15を連通させればよい。
Since the mass concentration (c) of the tracer gas is obtained from the results of the composition analysis by FT-
In this example, the case where the gas flowing in the pipe h1 is an analysis target has been described, but when the gas flowing in the pipe h5 is the analysis target, the port p3 and the port p0 of the switching
なお、上述のように、分析対象となるガスが流れる配管にトレーサーガスを混合して、この配管内のガス(分析対象ガスとトレーサーガスとの混合ガス)を分析装置に導入する場合には、前記配管内にトレーサーガスが導入された後に、この配管内のガスが、この配管から分析装置に向けて分岐する配管のみに向かうようにする必要がある。このようにしないと、トレーサーガスの質量濃度が分析装置で正確に分析されないことになる。
例えば、図6に示す配管h1内を流れるガスを分析対象とする場合には、配管h1内にトレーサーガスを導入した後に、この配管h1内のガスを配管h16のみに向かうようにするために、例えば、配管h1の配管h16が分岐した直下の位置(図6のAで示す位置)に設けた開閉弁を閉じる必要がある。
As described above, when the tracer gas is mixed into the pipe through which the gas to be analyzed flows, and the gas in this pipe (mixed gas of the analysis target gas and the tracer gas) is introduced into the analyzer, After the tracer gas is introduced into the pipe, the gas in the pipe needs to be directed only to the pipe that branches from the pipe toward the analyzer. Otherwise, the mass concentration of the tracer gas will not be accurately analyzed by the analyzer.
For example, when the gas flowing in the pipe h1 shown in FIG. 6 is to be analyzed, after introducing the tracer gas into the pipe h1, the gas in the pipe h1 is directed only to the pipe h16. For example, it is necessary to close an on-off valve provided at a position (position indicated by A in FIG. 6) immediately below where the pipe h16 of the pipe h1 branches.
1 燃料タンク
2 改質装置
3 電池本体
4 加熱器
5 熱交換器
h1〜h20 配管
6 精密流量調節器
61a,62a 流量計
61b,62b バルブ
61c,62c 演算器
81 三方形弁
81A 制御装置
82 切り換え弁
82A 制御装置
DESCRIPTION OF
Claims (4)
分析対象ガスが流れている配管にトレーサーガスを、精密天秤を用いて校正された流量計を備えた流量制御器を介して所定の質量流量で導入し、前記配管内のトレーサーガスと分析対象ガスとの混合ガスを前記分析装置に導入して組成分析を行い、
この分析結果より得られたトレーサーガスの質量濃度から分析対象ガスの質量流量を算出し、この算出値で前記分析結果を補正して分析対象ガスの構成成分の量を決定することを特徴とするガス分析方法。 By introducing the calibration target gas and dilution gas constituting the standard gas into the same pipe at a predetermined mass flow rate through a flow controller equipped with a flow meter calibrated using a precision balance, The standard gas in which the calibration target gas and the dilution gas were mixed at a predetermined ratio was prepared, and the standard gas in this pipe was introduced into the analyzer to calibrate the constituent components of the analysis target gas and the tracer gas component. later,
The tracer gas is introduced into the pipe through which the gas to be analyzed flows at a predetermined mass flow rate through a flow controller equipped with a flow meter calibrated using a precision balance, and the tracer gas and the gas to be analyzed in the pipe are introduced. The mixed gas is introduced into the analyzer to analyze the composition,
The mass flow rate of the analysis target gas is calculated from the mass concentration of the tracer gas obtained from the analysis result, and the analysis result is corrected with the calculated value to determine the amount of the constituent component of the analysis target gas. Gas analysis method.
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