JPH09215918A - Gas-liquid reactor - Google Patents

Gas-liquid reactor

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JPH09215918A
JPH09215918A JP4831596A JP4831596A JPH09215918A JP H09215918 A JPH09215918 A JP H09215918A JP 4831596 A JP4831596 A JP 4831596A JP 4831596 A JP4831596 A JP 4831596A JP H09215918 A JPH09215918 A JP H09215918A
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JP
Japan
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liquid
gas
supply
reaction
nozzle
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Application number
JP4831596A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroo Fujii
洋郎 藤井
Ikuo Wani
郁雄 和仁
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Kawasaki Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Kawasaki Heavy Industries Ltd
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Publication date
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  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve reaction efficiency by a method in which a gas-liquid reactor is constituted from a supplied liquid retention part equipped with a liquid-jet nozzle, a piston mechanism, and others, and supplied liquid is ejected from the nozzle by changing the volume of the retention part by reciprocating the piston mechanism to contact gas supplied. SOLUTION: The liquid retention part 5 of a gas-liquid reactor 1, in a space in which reaction liquid is held, is equipped with a supply port 11, a jet plate 15 having numbers of nozzles 13, and a ceiling 17, and the ceiling 17 is connected with a fixing member 23 through an actuator 21. When a basic aqueous solution of hydrogen peroxide is introduced from the supply port 11 into the liquid retention part 5, the solution is spouted into the space of a gas-liquid contact part 3 through the nozzles 13. In this process, when the actuator 21 is vibrated at a frequency, for example, of 4kHz to change the volume of the liquid retention part 5, liquid ejected from the nozzles 13 is formed into spherical droplets 16, and a gas flow 28 ejected from a gas introduction pipe 25 is contacted with the liquid to cause a chemical reaction, generating excited oxygen molecules.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、気液間の接触によ
る化学反応あるいは熱交換を目的とする気液反応装置に
関し、特にヨウ素レーザの励起酸素発生装置に適用する
気液反応装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas-liquid reaction apparatus for the purpose of chemical reaction or heat exchange by contact between gas and liquid, and more particularly to a gas-liquid reaction apparatus applied to an excited oxygen generator of iodine laser.

【0002】[0002]

【従来の技術】気液反応を高い効率で行うためには、両
者の接触面積が大きいこと、すなわち反応液の表面積が
大きいことが重要である。この要求を満たすため、従来
反応溶液中に反応気体をバブル状に噴出させるバブラー
法や、回転軸に近接して多数のディスクを取り付けたも
のを反応液に一部浸潤する状態で回転させディスク表面
に形成される溶液の薄膜に気体を作用させるディスク
法、あるいは気体中にジェット流を噴出させて接触反応
させるジェット法等が開発されてきている。
2. Description of the Related Art In order to carry out gas-liquid reaction with high efficiency, it is important that the contact area between the two is large, that is, the surface area of the reaction liquid is large. In order to meet this requirement, a bubbler method in which a reaction gas is jetted into a reaction solution in the form of a bubble is conventionally used, or a disk with a large number of disks mounted in the vicinity of a rotating shaft is rotated in a state of partially infiltrating the reaction solution and the disk surface is rotated. A disk method in which a gas is caused to act on a thin film of a solution formed in the above, or a jet method in which a jet flow is ejected into the gas to cause a contact reaction has been developed.

【0003】さて、本発明の主要な適用対象であるヨウ
素レーザは励起されたヨウ素原子が基底状態に戻るとき
に発生する波長1.315μmの近赤外線を利用するも
のである。工業用途には励起酸素分子O2(*)とヨウ素原
子の共鳴的なエネルギー移乗反応を利用しヨウ素原子を
励起させる連続レーザ発振が可能な化学励起酸素ヨウ素
レーザが多く用いられる。励起酸素はオゾン発生器によ
って得る方法もあるが、一般には過酸化水素溶液と水酸
化カリウムや水酸化ナトリウムの溶液を混合した塩基性
過酸化水素溶液(BHP:Basic Hydrogen Peroxide)と
塩素ガスを原料とし下の反応式(1)に従って励起酸素
を発生させる化学反応法により得る。
The iodine laser to which the present invention is mainly applied utilizes near infrared rays having a wavelength of 1.315 μm generated when excited iodine atoms return to the ground state. For industrial use, a chemically excited oxygen-iodine laser capable of continuous laser oscillation for exciting an iodine atom by utilizing a resonant energy transfer reaction between an excited oxygen molecule O 2 (*) and an iodine atom is often used. Excited oxygen can be obtained by an ozone generator, but in general, basic hydrogen peroxide solution (BHP: Basic Hydrogen Peroxide), which is a mixture of hydrogen peroxide solution and potassium hydroxide or sodium hydroxide solution, and chlorine gas are used as raw materials. And a chemical reaction method of generating excited oxygen according to the following reaction formula (1).

【0004】 H22+Cl2+2KOH=O2(*)+2KCl+2H2O (1)H 2 O 2 + Cl 2 + 2KOH = O 2 (*) + 2KCl + 2H 2 O (1)

【0005】このように、ヨウ素レーザ発生装置におい
ても、低圧下で気液を接触反応させて励起酸素を発生さ
せるため気液反応装置が必要である。
As described above, also in the iodine laser generator, a gas-liquid reaction device is required to cause a gas-liquid contact reaction under a low pressure to generate excited oxygen.

【0006】ヨウ素レーザでは励起酸素分圧が高いほど
高性能のレーザ発光が得られることから、励起酸素発生
装置においては、いかに高い効率で高い圧力の励起酸素
を発生させるかがポイントになる。ちなみに、バブラー
法によれば60%の効率で1Torr程度の励起酸素を発生
させることが可能であり、ディスク法では10Torr程度
の励起酸素を得ることができる。
With an iodine laser, the higher the excited oxygen partial pressure, the higher the performance of laser light emission. Therefore, the important point in the excited oxygen generator is how to generate excited oxygen at a high pressure with high efficiency. Incidentally, the bubbler method can generate excited oxygen of about 1 Torr with an efficiency of 60%, and the disk method can obtain excited oxygen of about 10 Torr.

【0007】さらに、効率の良いのはジェット法であ
る。図5はヨウ素レーザ発生装置に用いられる公知のジ
ェット式励起酸素発生器の構造を示す説明図である。
Further, the jet method is more efficient. FIG. 5 is an explanatory diagram showing the structure of a known jet-type excited oxygen generator used in an iodine laser generator.

【0008】水酸化カリウム溶液や水酸化ナトリウム溶
液を過酸化水素溶液と混合して得られる塩基性過酸化水
素溶液(BHP)が、図外の輸送ポンプで加圧されて液
取り込み口101から反応容器100上部の上側貯溜槽
103に供給される。上側貯溜槽103の底には1.5
mmから2mmの間隔で直径0.5mmのノズルを多数
開けたノズルプレート105が設けられており、ノズル
から円柱状態の塩基性過酸化水素溶液を下方の下側貯溜
槽107に向けて多数噴き出す。下側貯溜槽107に溜
まった液は反応により発生した食塩水と未反応の塩基性
過酸化水素溶液の混合液であるが、液排出口109から
排出して食塩水を除去し、再度反応容器の液取り込み口
101から反応容器100内に供給される。
A basic hydrogen peroxide solution (BHP) obtained by mixing a potassium hydroxide solution or a sodium hydroxide solution with a hydrogen peroxide solution is pressurized by a transport pump (not shown) and reacted from the liquid intake port 101. It is supplied to the upper storage tank 103 above the container 100. 1.5 at the bottom of the upper storage tank 103
A nozzle plate 105 in which a large number of nozzles having a diameter of 0.5 mm are opened at an interval of 2 mm from 2 mm is provided, and a large number of columnar basic hydrogen peroxide solutions are ejected from the nozzles toward a lower storage tank 107 below. The liquid stored in the lower storage tank 107 is a mixed liquid of saline solution generated by the reaction and unreacted basic hydrogen peroxide solution. The saline solution is discharged from the solution outlet 109 to remove the saline solution, and the reaction container is again used. It is supplied into the reaction container 100 from the liquid intake port 101.

【0009】反応容器100にはまたアルゴン、窒素な
どのバッファーガスに混合された塩素ガスがガス取り込
み口111から供給される。塩素ガスは反応容器100
中で円柱状に垂下している塩基性過酸化水素溶液の表面
と向流的に接触し励起酸素を発生する。気液接触反応に
より発生した励起酸素ガスは、反応残滓のガスと共に取
り出し口113から図外の真空装置により吸引排出され
レーザ発生器に供給される。この装置で塩素ガス中に塩
基性過酸化水素溶液を噴出させて励起効率60%で分圧
30Torrの励起酸素を得ることに成功している。
Chlorine gas mixed with a buffer gas such as argon or nitrogen is also supplied to the reaction vessel 100 from a gas intake port 111. Chlorine gas is the reaction vessel 100
In contact with the surface of the basic hydrogen peroxide solution hanging down in a cylindrical shape countercurrently, excited oxygen is generated. The excited oxygen gas generated by the gas-liquid contact reaction is sucked and discharged from the outlet 113 by a vacuum device (not shown) together with the gas of the reaction residue, and is supplied to the laser generator. With this device, a basic hydrogen peroxide solution was jetted into chlorine gas to successfully obtain excited oxygen with an excitation efficiency of 60% and a partial pressure of 30 Torr.

【0010】ところで、励起効率60%を達成するため
の実験式として下記の式(2)が知られている。ここ
で、Pは圧力(Torr)、Sは気液接触面積(cm2)、
Vは反応容器容積(cm3)で、σ=S/V(cm-1
である。
The following formula (2) is known as an empirical formula for achieving an excitation efficiency of 60%. Where P is pressure (Torr), S is gas-liquid contact area (cm 2 ),
V is the reaction container volume (cm 3 ), σ = S / V (cm −1 ).
It is.

【0011】 P=10σ1/2 (2)P = 10σ 1/2 (2)

【0012】この実験式に従えば、反応容器容積に対す
る液体の表面積の比が大きいほど効率が良いことが分か
る。上記ジェット式励起酸素発生器の反応容器中で形成
される塩基性過酸化水素溶液の形状は円柱状であるの
で、これを粒状化することにより容積当たり表面積を増
大させる余地が残っている。また、ジェット状で流下す
る円柱状液柱の表面ではガスと液との接触により細かな
液滴が発生し、これが気体に同伴されてしまうため、ガ
ス速度を大きくすることができなかった。ここで反応液
が粒状の液滴になっていれば、気液接触面積が大きくな
ると共に、気体に同伴するような微粒子が丸くなった液
滴の表面から発生することを表面張力により抑えること
ができる。
According to this empirical formula, it is understood that the efficiency is higher as the ratio of the surface area of the liquid to the volume of the reaction vessel is larger. Since the basic hydrogen peroxide solution formed in the reaction vessel of the jet-type excited oxygen generator has a cylindrical shape, there is room for increasing the surface area per volume by granulating the basic hydrogen peroxide solution. Further, since the gas and the liquid come into contact with each other to form fine liquid droplets on the surface of the cylindrical liquid column that flows down in the form of a jet, which are entrained in the gas, the gas velocity cannot be increased. If the reaction liquid is in the form of granular droplets, the gas-liquid contact area becomes large, and it is possible to suppress the generation of fine particles that accompany the gas from the rounded droplet surface surface tension. it can.

【0013】このような見地に基づいて液滴として反応
液を供給するべく開発されたものにセイヤー(W.J.Thay
er III)等による交差流式等径液滴酸素発生器(Transv
erse-flow Uniform Droplet Oxygen Generator)がある
(論文番号 AIAA 94-2454, 25th AIAA Plasmadynamics
and Lasers Conference, June 20-23, 1994)。図6はセ
イヤー等の交差流式等径液滴酸素発生器の構造概念図で
ある。
Based on this point of view, a product developed to supply a reaction liquid as a droplet is TEYER (WJThay
er III) etc., cross-flow type isometric droplet oxygen generator (Transv
erse-flow Uniform Droplet Oxygen Generator) (Article number AIAA 94-2454, 25th AIAA Plasmadynamics
and Lasers Conference, June 20-23, 1994). FIG. 6 is a structural conceptual diagram of a cross flow type equal-diameter droplet oxygen generator such as Sayer.

【0014】セイヤー等の励起酸素発生器200は、塩
基性過酸化水素溶液を多数のノズルを設けた液滴噴出板
205を介して反応器上部の液溜槽203から落下さ
せ、一方整流板212を介して整流した塩素ガスを落下
する溶液の流れに交差するように流すものであるが、特
に液滴噴出板205を水平に往復駆動することにより落
下液流を均一な大きさの液滴にすることに特徴がある。
In the excited oxygen generator 200 such as Thayer, the basic hydrogen peroxide solution is dropped from the liquid reservoir 203 in the upper part of the reactor through the droplet jetting plate 205 provided with a large number of nozzles, while the straightening plate 212 is provided. The rectified chlorine gas is flowed so as to intersect the flow of the falling solution. Particularly, by horizontally reciprocally driving the droplet jetting plate 205, the dropping liquid stream is made into droplets of uniform size. It is characterized by this.

【0015】液滴噴出板205は圧電アクチュエータ2
06によりほぼ4kHzで駆動される。すると、溶液ジェ
ットの速さに依存するが直径約0.4mmから0.5m
mの液滴が連続的に生成され、溶液の流速や温度などを
適当な条件下におくとガス圧55Torrにおいて約60%
の効率で励起酸素を生成することができる。
The droplet ejecting plate 205 is the piezoelectric actuator 2.
It is driven at about 4 kHz by 06. Then, depending on the speed of the solution jet, the diameter is about 0.4 mm to 0.5 m.
m droplets are continuously generated, and if the flow rate and temperature of the solution are set under appropriate conditions, the gas pressure is about 55% at 55 Torr.
Excited oxygen can be generated with the efficiency of.

【0016】[0016]

【発明が解決しようとする課題】しかし、セイヤー等の
励起酸素発生器は、液滴噴出板のノズルから噴出するジ
ェット流を高周波数で水平に駆動することにより微細な
間隔で液滴化するため、液滴噴出板を反応器容器に対し
て相対的に駆動する機構が必要となる。このため、液滴
噴出板を反応容器に支持する装置や液滴噴出板の横位置
に設ける圧電アクチュエータ等の駆動装置など複雑な駆
動機構が用いられる。また、反応器上部の液溜槽と反応
部の境界を画する液滴噴出板が可動部を有するため、液
溜槽と反応部の間のシールが必要となる。
However, an excited oxygen generator such as Thayer produces droplets at fine intervals by horizontally driving a jet stream jetted from a nozzle of a droplet jet plate at a high frequency. A mechanism for driving the droplet ejection plate relative to the reactor container is required. For this reason, a complicated driving mechanism such as a device for supporting the droplet ejection plate on the reaction container or a driving device such as a piezoelectric actuator provided at a lateral position of the droplet ejection plate is used. In addition, since the droplet ejection plate that defines the boundary between the liquid reservoir and the reaction section in the upper part of the reactor has a movable portion, it is necessary to seal the liquid reservoir and the reaction section.

【0017】本発明は、気液反応器において、液流を液
滴化する新たな機構を提供することを解決すべき課題と
し、特にヨウ素レーザの励起酸素発生装置に適用する塩
基性過酸化水素溶液の表面積を増大させて反応効率を向
上させることができる簡便な気液反応装置を提供するこ
とを課題とするものである。
It is an object of the present invention to provide a new mechanism for converting a liquid stream into droplets in a gas-liquid reactor, and in particular, basic hydrogen peroxide applied to an excited oxygen generator of an iodine laser. It is an object of the present invention to provide a simple gas-liquid reaction device capable of increasing the surface area of a solution and improving the reaction efficiency.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の気液反応装置は、液噴出ノズルとピストン
機構を備える供給液保有部と気液反応器と気体供給部を
有し、ピストン機構の高周波数の往復動により供給液保
有部の容積を変化させて供給液を液噴射ノズルから気液
反応器中に噴出させて粒状とし、気液反応器中で粒状の
供給液と気体供給部から供給される供給気体とを気液接
触させるように構成されていることを特徴とする。ま
た、本発明の気液反応装置は、塩素ガスまたは塩素混合
ガスを供給気体とし、アルカリ性過酸化水素水溶液を供
給液として励起酸素を製造するものであってよい。
In order to solve the above problems, a gas-liquid reaction device of the present invention has a liquid supply nozzle having a liquid jet nozzle, a piston mechanism, a gas-liquid reactor, and a gas supply unit. The high-frequency reciprocating motion of the piston mechanism changes the volume of the feed liquid holding part and ejects the feed liquid from the liquid injection nozzle into the gas-liquid reactor to form granules, and the granular feed liquid and gas in the gas-liquid reactor. It is characterized in that the supply gas supplied from the supply unit is brought into gas-liquid contact. Further, the gas-liquid reaction device of the present invention may be one that produces excited oxygen by using chlorine gas or a chlorine mixed gas as a supply gas and an aqueous alkaline hydrogen peroxide solution as a supply liquid.

【0019】さらに、本発明の気液反応装置は、ピスト
ン機構の駆動周波数が1kHzから20kHzの範囲内であ
ることが好ましい。また、本発明の気液反応装置は、ピ
ストン機構の駆動を圧電素子や電歪素子などの電気機械
変換素子を用いたアクチュエータにより行うことが好ま
しい。なおまた、液噴出ノズルの直径が0.1mmない
し1.0mmであることが好ましい。なお、本発明のヨ
ウ素レーザ発生装置は、上記の気液反応装置を接続して
ヨウ素レーザ発振器に励起酸素を供給できるようにした
ことを特徴とする。
Further, in the gas-liquid reaction device of the present invention, the driving frequency of the piston mechanism is preferably within the range of 1 kHz to 20 kHz. In the gas-liquid reaction device of the present invention, it is preferable that the piston mechanism is driven by an actuator that uses an electromechanical conversion element such as a piezoelectric element or an electrostrictive element. Furthermore, it is preferable that the diameter of the liquid ejection nozzle is 0.1 mm to 1.0 mm. The iodine laser generator of the present invention is characterized in that the above gas-liquid reaction device is connected so that excited oxygen can be supplied to the iodine laser oscillator.

【0020】また、上記課題を解決するため、本発明の
気液反応方法は、供給液を保有する供給液保有部の容積
を高周波数で変化させ、供給液保有部に設けた液噴出ノ
ズルを通って気体中に噴出させることにより連続した液
滴にし、液滴状の供給液と供給気体とを気液接触させて
化学反応あるいは熱交換を行うことを特徴とする。な
お、本発明の気液反応方法は、供給液を供給液保有部に
圧入するときの圧力により供給液の噴出速度を調整する
ようにしてもよい。さらに、本発明の気液反応方法は、
供給気体を塩素ガスまたは塩素混合ガスとし、供給液を
アルカリ性過酸化水素水溶液として、励起酸素を製造す
るようにしてもよい。
In order to solve the above-mentioned problems, the gas-liquid reaction method of the present invention changes the volume of the feed liquid holding portion holding the feed liquid at a high frequency so that a liquid jet nozzle provided in the feed liquid holding portion is provided. It is characterized in that a continuous liquid droplet is formed by jetting it into the gas through the liquid, and the liquid supply liquid and the liquid supply gas are brought into gas-liquid contact to perform a chemical reaction or heat exchange. In the gas-liquid reaction method of the present invention, the ejection speed of the supply liquid may be adjusted by the pressure when the supply liquid is pressed into the supply liquid holding portion. Furthermore, the gas-liquid reaction method of the present invention,
Excited oxygen may be produced by using chlorine gas or chlorine mixed gas as the supply gas and alkaline hydrogen peroxide solution as the supply liquid.

【0021】本発明の気液反応装置は、供給液保有部に
付設するピストン機構の高周波数の往復動により供給液
保有部の容積を変化させて供給液を液噴射ノズルから気
液反応器中に噴出させて粒状とするものである。したが
って、液噴射ノズルを有する噴射板を左右に動かす機構
の代わりに供給液保有部の容積を変化させる手段を付設
すればよく、このような手段は噴射板の位置や形状と関
わりなく自由に選択することができる。
In the gas-liquid reaction device of the present invention, the volume of the supply liquid holding part is changed by the high frequency reciprocating movement of the piston mechanism attached to the supply liquid holding part to change the volume of the supply liquid from the liquid injection nozzle into the gas-liquid reactor. It is to be ejected into a granular form. Therefore, instead of a mechanism for moving the jet plate having the liquid jet nozzle to the left and right, a means for changing the volume of the supply liquid holding portion may be attached, and such means can be freely selected regardless of the position and shape of the jet plate. can do.

【0022】さらに、液体は非圧縮流体であるから液密
状態のときには供給液保有部の一部で容積変化が起これ
ば、その影響は直ちに噴射板位置の液体に及び、噴射の
状態が変化する。供給液保有部の容積を変化させるため
には、天井板を往復動させる方法や、保有部に配管で接
続した別の容積可動部材を作動させる方法など、各種の
方法を適用することができる。また、液噴出ノズルは供
給保有部に静的に固定されていてよく複雑で保全を必要
とするようなシール機構を必要としない。
Further, since the liquid is an incompressible fluid, if the volume changes in a part of the supply liquid holding portion in the liquid tight state, the influence immediately reaches the liquid at the injection plate position, and the injection state changes. To do. In order to change the volume of the supply liquid holding unit, various methods such as a method of reciprocating the ceiling plate and a method of operating another volume movable member connected to the holding unit by piping can be applied. Further, the liquid ejection nozzle does not need a sealing mechanism which is statically fixed to the supply holding part and which is complicated and requires maintenance.

【0023】なお、セイヤー等の励起酸素発生器では、
液滴噴出板を水平に往復駆動することにより落下液流を
水平方向に急激に振って均一な大きさの液滴にすること
に特徴があり、ノズルから少し流下したところで液滴に
なるのに対し、本発明の装置では、液噴出ノズルからノ
ズルの軸方向に噴出する液の圧力を変化させて液の噴出
速度を変動させることにより液滴化するため、液滴にな
る位置がノズルにより近くなる傾向がある。
In an excited oxygen generator such as Sayer,
It is characterized by horizontally reciprocating the droplet ejection plate to rapidly shake the falling liquid flow in the horizontal direction to form droplets of uniform size. On the other hand, in the apparatus of the present invention, the pressure of the liquid ejected from the liquid ejection nozzle in the axial direction of the nozzle is changed to change the ejection speed of the liquid to form liquid droplets. Tends to become.

【0024】また、塩素ガスまたは塩素混合ガスを供給
気体とし、アルカリ性過酸化水素水溶液を供給液として
気液反応させれば、ヨウ素レーザにおける励起ヨウ素原
子を得るための励起酸素を製造することができる。さら
に、ピストン機構の駆動周波数が1kHzから20kHzの
範囲内であれば液滴が十分小さくなり気液反応のための
表面積比が十分大きくなる。
Excited oxygen for obtaining excited iodine atoms in an iodine laser can be produced by gas-liquid reaction using chlorine gas or chlorine mixed gas as a supply gas and an aqueous alkaline hydrogen peroxide solution as a supply liquid. . Furthermore, when the driving frequency of the piston mechanism is within the range of 1 kHz to 20 kHz, the droplets are sufficiently small and the surface area ratio for gas-liquid reaction is sufficiently large.

【0025】また、圧電素子や電歪素子などの電気機械
変換素子を用いたアクチュエータによりピストン機構を
1kHzから20kHzの範囲内で駆動をすることができ
る。なおまた、液噴出ノズルの直径が0.1mmないし
1.0mmであれば、十分小さく均質な液滴を得ること
ができ、特にヨウ素レーザ用の励起酸素分子を高分圧・
高効率で得ることができる。なお、ヨウ素レーザ発生装
置に上記の気液反応装置を接続してヨウ素レーザ発振器
に励起酸素を供給できるようにすると、レーザ発振効率
の高いヨウ素レーザを得ることができる。
Further, the piston mechanism can be driven in the range of 1 kHz to 20 kHz by an actuator using an electromechanical conversion element such as a piezoelectric element or an electrostrictive element. In addition, if the diameter of the liquid ejection nozzle is 0.1 mm to 1.0 mm, sufficiently small and uniform droplets can be obtained, and in particular, excited oxygen molecules for iodine laser can have a high partial pressure.
It can be obtained with high efficiency. When the above gas-liquid reaction device is connected to the iodine laser generator so that excited oxygen can be supplied to the iodine laser oscillator, an iodine laser with high laser oscillation efficiency can be obtained.

【0026】また、本発明の気液反応方法によれば、簡
単で製造や保全の容易な機構を用いて、供給液を細かい
液滴にすることができ、反応面積が増大して反応効率が
向上するとともに微粒子が気体流に随伴しにくく後工程
の処理が容易になる。なお、本発明の気液反応方法で
は、供給液を供給液保有部に圧入するときの圧力により
供給液の噴出速度を容易に調整するようにすることがで
きる。さらに、供給気体を塩素ガスまたは塩素混合ガス
とし、供給液をアルカリ性過酸化水素水溶液とすること
により、ヨウ素レーザに用いる励起酸素分子を製造する
ことができる。
Further, according to the gas-liquid reaction method of the present invention, the supply liquid can be made into fine droplets by using the mechanism which is simple and easy to manufacture and maintain, and the reaction area is increased to improve the reaction efficiency. In addition, the particles are less likely to be entrained in the gas flow, and the post-process is facilitated. In the gas-liquid reaction method of the present invention, the jet speed of the supply liquid can be easily adjusted by the pressure when the supply liquid is press-fitted into the supply liquid holding portion. Further, by using chlorine gas or chlorine mixed gas as a supply gas and an alkaline hydrogen peroxide aqueous solution as a supply liquid, excited oxygen molecules used for an iodine laser can be manufactured.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】以下、1実施例を示す図面によっ
て本発明に係る気液反応装置を詳細に説明する。図1
は、本発明の気液反応装置の1実施例を説明する構造概
念図である。以下においては、特に本発明の気液反応装
置をヨウ素レーザ装置に付設する励起酸素発生器に適用
した場合について述べる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A gas-liquid reaction device according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings showing one embodiment. FIG.
[FIG. 3] is a structural conceptual diagram explaining one embodiment of the gas-liquid reaction device of the present invention. In the following, a case where the gas-liquid reaction device of the present invention is applied to an excited oxygen generator attached to an iodine laser device will be described.

【0028】図1において、気液反応装置1は気液接触
部3と、その上部に設けた液保有部5および下部に設け
た液溜部7からなる。液保有部5は壁9に囲まれて反応
液が密封状態で保持される空間で、液の供給口11と、
直径0.5mm長さ5mmのノズル13を1.5mmか
ら2.0mm間隔で多数設けた噴射板15と、天井板1
7と、壁9と天井板17の間を液が漏洩しないように継
なぐ伸縮つぎ手19を備えている。天井板17は電歪素
子を有して電気的に駆動されるアクチュエータ21を介
して固定部材23につながっている。
In FIG. 1, the gas-liquid reaction device 1 comprises a gas-liquid contact portion 3, a liquid holding portion 5 provided on the upper portion and a liquid reservoir portion 7 provided on the lower portion. The liquid holding portion 5 is a space surrounded by a wall 9 in which a reaction liquid is hermetically held, and a liquid supply port 11 and
An injection plate 15 in which a large number of nozzles 13 having a diameter of 0.5 mm and a length of 5 mm are provided at intervals of 1.5 mm to 2.0 mm;
7 and an elastic joint 19 for connecting the space between the wall 9 and the ceiling plate 17 so as not to leak liquid. The ceiling plate 17 is connected to the fixing member 23 via an actuator 21 that has an electrostrictive element and is electrically driven.

【0029】過酸化水素溶液と水酸化カリウム溶液を混
合した塩基性過酸化水素水溶液が外部の貯槽からポンプ
により搬送されてきて供給口11から液保有部5に圧入
される。液保有部5には既に液が充填されているため、
圧入された水溶液は圧力に従って細いノズル13を通っ
て気液接触部3の空間中に円柱状に噴出する。
A basic hydrogen peroxide solution, which is a mixture of a hydrogen peroxide solution and a potassium hydroxide solution, is conveyed from an external storage tank by a pump and is pressed into the liquid holding section 5 through the supply port 11. Since the liquid holding section 5 is already filled with the liquid,
The press-fitted aqueous solution is ejected in a columnar shape into the space of the gas-liquid contact portion 3 through the thin nozzle 13 according to the pressure.

【0030】ここで、天井板17を駆動するアクチュエ
ータ21を1kHzから20kHz、例えば4kHzの交流電
圧を印加して駆動すると天井板17が同じ周波数で振動
して液保有部5の容積を変化させるため、液保有部5内
部の塩基性過酸化水素水溶液の体積あるいは圧力が変化
する。このためノズル13を通過する液の流速が変化す
るので、ノズル13から噴出する液は滑らかな円柱状を
維持することができず、こぶ状の凹凸が連なった様な形
状を呈する。このこぶは落下に従って相互に分離しそれ
ぞれが表面張力の働きにより球形の小さな液滴になる。
ノズル13の径と長さ、液の粘度および液圧変化の周波
数と振幅を適当に選択すると、液がノズル13から噴出
するときから粒状の液滴16となるようになる。
When the actuator 21 for driving the ceiling plate 17 is driven by applying an alternating voltage of 1 kHz to 20 kHz, for example, 4 kHz, the ceiling plate 17 vibrates at the same frequency and changes the volume of the liquid holding portion 5. The volume or pressure of the basic hydrogen peroxide solution inside the liquid holding part 5 changes. For this reason, the flow velocity of the liquid passing through the nozzle 13 changes, so that the liquid ejected from the nozzle 13 cannot maintain a smooth columnar shape and has a shape in which bumpy unevenness is continuous. The humps separate from each other as they fall, and each becomes a small spherical droplet due to the surface tension.
If the diameter and length of the nozzle 13, the viscosity of the liquid, and the frequency and amplitude of changes in the liquid pressure are appropriately selected, the liquid droplets 16 will be granular when they are ejected from the nozzle 13.

【0031】気液接触部3の下方側壁には気体を導入す
るガス導入管25が挿入されている。ガス導入管25に
は気体を気液接触部3内に噴出させる孔27が幾つか開
けられている。気液接触部3の上方側壁には口径の大き
な気体排出口29が設けられていて図外のレーザ共振器
を通って図外の真空装置に接続されている。
A gas introducing pipe 25 for introducing gas is inserted in the lower side wall of the gas-liquid contact portion 3. The gas introducing pipe 25 has several holes 27 for ejecting gas into the gas-liquid contact portion 3. A gas discharge port 29 having a large diameter is provided on the upper side wall of the gas-liquid contact portion 3 and is connected to a vacuum device (not shown) through a laser resonator (not shown).

【0032】ガス導入管25から気液接触部3内に噴出
された塩素ガスあるいはアルゴン、窒素、ヘリウム等の
不活性ガスにより希釈された塩素ガスからなる気体流2
8は、気体排出口29から真空装置に吸引されて、液保
有部5から滴下してくる塩基性過酸化水素溶液16の間
を向流的に上昇しながら気液接触して反応式(1)の化
学反応を起こし励起酸素分子を生成する。
A gas flow 2 consisting of chlorine gas ejected from the gas introduction pipe 25 into the gas-liquid contact portion 3 or chlorine gas diluted with an inert gas such as argon, nitrogen or helium 2
8 is sucked into the vacuum device through the gas outlet 29 and is brought into gas-liquid contact while rising countercurrently between the basic hydrogen peroxide solutions 16 dropping from the liquid holding part 5 to the reaction formula (1 ) To generate excited oxygen molecules.

【0033】このとき、液滴16は0.5mm程度の直
径を有する極めて微細なものであるから、反応液の表面
積が大きく効率の高い気液接触反応が行われる。また、
液滴16が径の小さい球体であるため表面張力の影響に
より気液接触面での微粒ミストの発生が少なく、気体2
8に随伴するミストを除去するための機構を不要とし励
起酸素の浪費を防止する。
At this time, since the droplets 16 are extremely fine with a diameter of about 0.5 mm, the surface area of the reaction liquid is large and a highly efficient gas-liquid contact reaction is carried out. Also,
Since the droplet 16 is a sphere having a small diameter, the generation of fine mist on the gas-liquid contact surface is small due to the influence of the surface tension, and the gas 2
A mechanism for removing the mist associated with No. 8 is unnecessary and the waste of excited oxygen is prevented.

【0034】気液接触部3内で発生した励起酸素分子
は、希釈ガスや未反応塩素ガスと共に気体排出口29か
ら排出されると直ぐにヨウ素分子もしくはヨウ素原子流
と混合されてヨウ素分子の解離やヨウ素原子とのエネル
ギー移乗反応を起こす。エネルギー移乗を受けたヨウ素
原子は励起され、ヨウ素レーザ共振器部分において基底
状態に落ちて波長1.315μmのレーザ光を放射す
る。
The excited oxygen molecules generated in the gas-liquid contact portion 3 are mixed with the iodine molecule or the iodine atom flow as soon as they are discharged from the gas discharge port 29 together with the diluting gas and the unreacted chlorine gas to dissociate the iodine molecules. Causes an energy transfer reaction with an iodine atom. The iodine atom that has undergone energy transfer is excited, falls to the ground state in the iodine laser resonator portion, and emits laser light having a wavelength of 1.315 μm.

【0035】気液接触部3下部の液溜部7は滴化してく
る反応後の塩基性過酸化水素溶液を溜めて液排出口31
を介して図示しない液回収工程に送出する。塩基性過酸
化水素溶液は上記式(1)の化学反応により塩化カリウ
ム溶液になるので液回収工程で分離して未反応成分を再
び気液接触部3上部の液保有部5に圧送する。
The liquid reservoir 7 below the gas-liquid contacting unit 3 stores the post-reaction basic hydrogen peroxide solution, which is dripping, and the liquid discharge port 31.
The liquid is sent to a liquid recovery process (not shown) via. Since the basic hydrogen peroxide solution becomes a potassium chloride solution by the chemical reaction of the above formula (1), it is separated in the liquid recovery step and the unreacted components are again fed under pressure to the liquid holding part 5 above the gas-liquid contact part 3.

【0036】なお、上記実施例では気液接触部3の上部
に液保有部5を設けて垂直真下に溶液を噴出させている
が、噴射板15に設けたノズル13を通って噴出する液
滴の速度は数m/sから20m/sと十分速いため、水
平方向や垂直上方向に噴射するようにしても気液接触部
3の反対側の端部に到達する。従って、上記実施例の配
列の代わりに気液接触部3を横設し、気液接触部3の一
端にノズルを多数設けた噴射板15を配置し、他端に液
滴の受け板をほぼ垂直に設備し受け板に止められた液体
が溜め部に流下して溜まるように構成した液溜部を設け
て、液滴をほぼ水平に飛ばして気液接触反応するように
しても良い。また、実施例の説明では液体と気体が向流
状態で接触するようにしたが、並流して気液接触するも
のであっても良いし、セイヤー等の励起酸素発生器と同
様の横断流式接触を行うように構成しても良いことは言
うまでもない。
In the above embodiment, the liquid holding portion 5 is provided above the gas-liquid contact portion 3 to eject the solution vertically downward, but the droplet ejected through the nozzle 13 provided on the ejection plate 15 Since the velocity is sufficiently high from several m / s to 20 m / s, even if the liquid is jetted in the horizontal direction or the vertical upward direction, it reaches the end portion on the opposite side of the gas-liquid contact portion 3. Therefore, instead of the arrangement of the above-mentioned embodiment, the gas-liquid contact portion 3 is provided laterally, the jet plate 15 provided with a large number of nozzles is arranged at one end of the gas-liquid contact portion 3, and the receiving plate for the droplets is almost formed at the other end. It is also possible to provide a liquid reservoir part which is vertically installed and configured so that the liquid stopped on the receiving plate flows down to the reservoir part and accumulates, so that the liquid droplets are almost horizontally ejected to carry out the gas-liquid contact reaction. Further, in the description of the embodiment, the liquid and the gas are contacted in a countercurrent state, but they may be in parallel gas-liquid contact, or a cross flow type similar to an excited oxygen generator such as Thayer. It goes without saying that it may be configured to make contact.

【0037】上記実施例では噴射板15に設けたノズル
13の直径を0.5mmとしているが、0.1mmから
1.0mmの範囲にあれば塩基性過酸化水素溶液を液滴
として噴出させることができる。また、ノズル長を5m
mとしているが、条件により最適値は異なる。なお、ノ
ズル13は噴射板外面における断面と内面における断面
が異なっていても良い。図2は噴射板15に設けるノズ
ル13の変形例の断面を示す図面である。例えば、噴射
板15の板厚がノズル13の必要長を越えている場合に
は図2(a)、(b)や(c)に表すように座繰りして
ノズル13の実質的な長さが必要な値になるようにする
と、必要以上の長さの細孔を穿つ必要が無く鑽孔工作が
容易になると共に、条件が変化してノズルのディメンジ
ョンを変える必要が生じても噴射板15自体の厚みを変
える必要がないので、把持部分の構造は変えずに噴射板
15部分だけを取り替えて対処することができて経済的
である。
In the above embodiment, the diameter of the nozzle 13 provided on the jet plate 15 is 0.5 mm. However, if the diameter is in the range of 0.1 mm to 1.0 mm, the basic hydrogen peroxide solution is jetted as droplets. You can Also, the nozzle length is 5m
Although m is set, the optimum value varies depending on the conditions. The nozzle 13 may have different cross sections on the outer surface and the inner surface of the spray plate. FIG. 2 is a drawing showing a cross section of a modified example of the nozzle 13 provided on the ejection plate 15. For example, when the plate thickness of the ejection plate 15 exceeds the required length of the nozzle 13, the nozzle 13 is countersunk as shown in FIGS. Is set to a required value, it is not necessary to make a hole having a length longer than necessary, drilling work is facilitated, and even if the conditions change and the dimension of the nozzle needs to be changed, the injection plate 15 Since it is not necessary to change the thickness of itself, it is economical because only the injection plate 15 portion can be replaced without changing the structure of the grip portion.

【0038】また、ノズルから液が噴出するときに板の
表面に液がしみ出さず直ちに液滴になって落ちやすいよ
うに液切れが良いノズル端形状を持たせることが好まし
い。図2(d)はノズル13に先端を鋭くしたパイプ1
4を埋め込んでノズル孔の周囲を鋭角にして液切れをよ
くしたものである。また図2(e)は逆にノズル13の
先端を拡幅して落下しやすい重さになるまで先端部に液
を保留しておいて一挙に振り落とすようにしたものであ
る。
Further, it is preferable to provide a nozzle end shape with good drainage so that the liquid does not seep out onto the surface of the plate when the liquid is jetted from the nozzle and becomes a droplet immediately. FIG. 2D shows a pipe 1 with a sharp tip on the nozzle 13.
By embedding No. 4, the periphery of the nozzle hole was made into an acute angle so that the liquid was drained well. 2 (e), on the contrary, the tip of the nozzle 13 is widened and the liquid is retained at the tip until it becomes a weight that makes it easy to drop, and the nozzle is shaken off at once.

【0039】また、上記実施例のアクチュエータ21は
電歪素子からなり電気的に駆動されるものとしたが、1
kHzから20kHzの範囲で駆動できるものであればよい
ので、圧電素子を用いたものであっても、また磁歪素子
を用いて電磁的に駆動されるものであっても良い。
In addition, the actuator 21 of the above embodiment is composed of an electrostrictive element and is electrically driven.
As long as it can be driven in the range of kHz to 20 kHz, it may be one using a piezoelectric element or electromagnetically driven using a magnetostrictive element.

【0040】図3と図4は液保有部5の容積を変化させ
る構造の別例を示す断面面である。上記実施例では液保
有部5の容積を高周波数で変化させる構造として、天井
板17を伸縮つぎ手19を介して液保有部5に取り付け
る構造としたが、図3に示すように伸縮つぎ手を省略
し、ダイヤフラム33を壁9の一部に備えてダイヤフラ
ム33を圧電素子35等で高速駆動するようにしても良
い。また、図4に示すように、液保有部5の内壁9に圧
電素子で形成される面37を有する箱体39を備えてこ
れを駆動することにより液保有部5の容積を変化させる
こともできる。
3 and 4 are sectional views showing another example of the structure for changing the volume of the liquid holding portion 5. In the above-described embodiment, the ceiling plate 17 is attached to the liquid holding portion 5 via the elastic joints 19 as a structure for changing the volume of the liquid holding portion 5 at a high frequency, but as shown in FIG. Alternatively, the diaphragm 33 may be provided in a part of the wall 9 so that the diaphragm 33 is driven at high speed by the piezoelectric element 35 or the like. Further, as shown in FIG. 4, a box 39 having a surface 37 formed of a piezoelectric element is provided on the inner wall 9 of the liquid holding part 5 and the volume of the liquid holding part 5 can be changed by driving the box 39. it can.

【0041】なお、公知の超音波発振器を液保有部5内
に設置して超音波周波数の電圧で駆動するようにしても
よい。このように構成したときも、超音波発振器の振動
による微細な容積変化に基づく圧力変化が液中を伝達し
てノズル部分の溶液に至り、ノズルからの噴出速度を変
化させて液滴が発生する。また、電気的あるいは電磁的
に容積変化するチャンバーを液保有部5と配管で繋いだ
構造であっても良い。チャンバーと液保有部5とは非圧
縮性流体で連通しているからチャンバーにおける容積変
化は液保有部5自体の容積変化と同じ効果を及ぼすこと
になる。このような構造は、液保有部5には可動部を置
かずに、すべての機械的機構をチャンバー側に設けるこ
とにより、全体の構造が極めて簡略かつ堅牢になる利点
がある。
A known ultrasonic oscillator may be installed in the liquid holding section 5 and driven by a voltage of ultrasonic frequency. Even when configured in this manner, a pressure change based on a minute volume change due to the vibration of the ultrasonic oscillator is transmitted through the liquid to reach the solution in the nozzle portion, and the ejection speed from the nozzle is changed to generate a droplet. . Further, it may have a structure in which a chamber that changes in volume electrically or electromagnetically is connected to the liquid holding portion 5 by a pipe. Since the chamber and the liquid holding portion 5 are communicated with each other by an incompressible fluid, the volume change in the chamber has the same effect as the volume change of the liquid holding portion 5 itself. Such a structure has an advantage that the entire structure is extremely simple and robust by providing all the mechanical mechanisms on the chamber side without placing a movable part in the liquid holding part 5.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上説明した通り、本発明の気液反応装
置は一般の気液反応に用いて効率の良い気液接触が得ら
れると共に、ヨウ素レーザにおいてヨウ素原子を励起す
るための励起酸素を生成させる工程に使用すると、高圧
の励起酸素分子を高効率で得ることができ、高性能のヨ
ウ素レーザ発生が可能になる。
As described above, the gas-liquid reaction apparatus of the present invention can be used for general gas-liquid reaction to obtain efficient gas-liquid contact, and at the same time, to generate excited oxygen for exciting iodine atoms in an iodine laser. When used in the production step, high-pressure excited oxygen molecules can be obtained with high efficiency, and a high-performance iodine laser can be generated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の気液反応装置の1実施例を説明する構
造図である。
FIG. 1 is a structural diagram illustrating one embodiment of a gas-liquid reaction device of the present invention.

【図2】本発明における噴射板に設けるノズルの変形例
の断面を示す図面である。
FIG. 2 is a drawing showing a cross section of a modified example of a nozzle provided on an ejection plate according to the present invention.

【図3】本発明における液保有部の容積を変化させる構
造の別例を示す断面面である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing another example of the structure for changing the volume of the liquid holding portion in the present invention.

【図4】本発明における液保有部の容積を変化させる構
造のさらに別の例を示す断面面である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing still another example of the structure for changing the volume of the liquid holding portion in the present invention.

【図5】従来の気液反応装置の例を説明する構造図であ
る。
FIG. 5 is a structural diagram illustrating an example of a conventional gas-liquid reaction device.

【図6】従来の気液反応装置の別の例を説明する構造図
である。
FIG. 6 is a structural diagram illustrating another example of a conventional gas-liquid reaction device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 気液反応装置 3 気液接触部 5 液保有部 7 液溜部 9 壁 11 液供給口 13 ノズル 14 パイプ 15 噴射板 16 液滴 17 天井板 19 伸縮つぎ手 21 アクチュエータ 23 固定部材 25 ガス導入管 27 孔 28 気体流 29 気体排出口 31 液排出口 33 ダイヤフラム 35 圧電素子 37 圧電素子で形成される面 39 箱体 100 反応容器 101 液取り込み口 103 上側貯溜槽 105 ノズルプレート 107 下側貯溜槽 109 液排出口 111 ガス取り込み口 113 取り出し口 200 励起酸素発生器 203 液溜槽 205 液滴噴出板 206 圧電アクチュエータ 212 整流板 1 Gas-Liquid Reaction Device 3 Gas-Liquid Contact Section 5 Liquid Holding Section 7 Liquid Reservoir 9 Wall 11 Liquid Supply Port 13 Nozzle 14 Pipe 15 Injection Plate 16 Droplet 17 Ceiling Board 19 Telescopic Arm 21 Actuator 23 Fixing Member 25 Gas Introducing Pipe 27 hole 28 gas flow 29 gas discharge port 31 liquid discharge port 33 diaphragm 35 piezoelectric element 37 surface formed by piezoelectric element 39 box 100 reaction container 101 liquid intake 103 upper storage tank 105 nozzle plate 107 lower storage tank 109 liquid Outlet port 111 Gas intake port 113 Outlet port 200 Excited oxygen generator 203 Liquid reservoir 205 Droplet ejection plate 206 Piezoelectric actuator 212 Rectifier plate

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 供給液と供給気体の間の気液接触による
化学反応または熱交換を目的とする装置において、 供給液保有部と気液反応器と気体供給部を有し、 該供給液保有部に液噴出ノズルとピストン機構を有し、
該ピストン機構が高周波数の往復動により前記保有部の
容積を変化させて保有部内の供給液を前記液噴射ノズル
から前記気液反応器中に噴出させて粒状とし、 該気液反応器中で前記粒状の供給液と前記気体供給部か
ら供給される供給気体とを気液接触させる気液反応装
置。
1. An apparatus for the purpose of a chemical reaction or heat exchange by gas-liquid contact between a supply liquid and a supply gas, comprising a supply liquid holding part, a gas-liquid reactor and a gas supply part, wherein the supply liquid holding part Has a liquid ejection nozzle and a piston mechanism
The piston mechanism changes the volume of the holding part by high-frequency reciprocating motion and ejects the supply liquid in the holding part from the liquid injection nozzle into the gas-liquid reactor to form particles, and in the gas-liquid reactor. A gas-liquid reaction device in which the granular supply liquid and the supply gas supplied from the gas supply unit are brought into gas-liquid contact.
【請求項2】 請求項1記載の気液反応装置において、
前記供給気体を塩素ガスまたは塩素混合ガスとし前記供
給液をアルカリ性過酸化水素水溶液として励起酸素を製
造することを特徴とする気液反応装置。
2. The gas-liquid reaction device according to claim 1,
A gas-liquid reaction apparatus, wherein the supply gas is chlorine gas or a chlorine mixed gas, and the supply liquid is an aqueous alkaline hydrogen peroxide solution to produce excited oxygen.
【請求項3】 請求項1または2記載の気液反応装置で
あって、前記ピストン機構の駆動周波数が1kHzから2
0kHzの範囲内であることを特徴とする気液反応装置。
3. The gas-liquid reaction device according to claim 1, wherein the driving frequency of the piston mechanism is from 1 kHz to 2
A gas-liquid reactor characterized by being in the range of 0 kHz.
【請求項4】 請求項1ないし3のいずれかに記載の気
液反応装置であって、前記ピストン機構の駆動を圧電、
電歪、磁歪効果のいずれかによる電気機械変換素子を用
いたアクチュエータにより行うことを特徴とする気液反
応装置。
4. The gas-liquid reaction device according to claim 1, wherein the piston mechanism is driven by a piezoelectric element,
A gas-liquid reaction device, characterized in that it is performed by an actuator using an electromechanical conversion element having either an electrostriction effect or a magnetostriction effect.
【請求項5】 請求項1ないし4のいずれかに記載の気
液反応装置であって、前記液噴出ノズルの直径が0.1
mmないし1.0mmであることを特徴とする気液反応
装置。
5. The gas-liquid reaction device according to claim 1, wherein the liquid ejection nozzle has a diameter of 0.1.
A gas-liquid reaction device having a diameter of 1.0 mm to 1.0 mm.
【請求項6】 請求項2ないし5のいずれかに記載の気
液反応装置を接続してヨウ素レーザ発振器に励起酸素を
供給できるようにしたことを特徴とするヨウ素レーザ発
振装置。
6. An iodine laser oscillating device, wherein the gas-liquid reaction device according to any one of claims 2 to 5 is connected so that excited oxygen can be supplied to the iodine laser oscillator.
【請求項7】 供給液と供給気体の間の気液接触による
化学反応または熱交換をさせる方法において、 供給液を保有する供給液保有部の容積を高周波数で変化
させ、該供給液保有部に設けた液噴出ノズルを通って気
体中に噴出させることにより連続した液滴にし、 液滴状の供給液と供給気体とを気液接触させることを特
徴とする気液反応方法。
7. A method of causing a chemical reaction or heat exchange by gas-liquid contact between a supply liquid and a supply gas, wherein the volume of the supply liquid holding part holding the supply liquid is changed at a high frequency, and the supply liquid holding part is changed. A gas-liquid reaction method, characterized in that continuous liquid droplets are formed by jetting the liquid droplets into a gas through a liquid jet nozzle provided in, and the droplet-shaped supply liquid and the supply gas are brought into gas-liquid contact.
【請求項8】 請求項7記載の気液反応方法において、
前記供給液を前記供給液保有部に圧入するときの圧力に
より供給液の噴出速度を調整することを特徴とする気液
反応方法。
8. The gas-liquid reaction method according to claim 7,
A gas-liquid reaction method, characterized in that the ejection speed of the supply liquid is adjusted by the pressure when the supply liquid is press-fitted into the supply liquid holding portion.
【請求項9】 請求項7または8記載の気液反応方法に
おいて、前記供給気体が塩素ガスまたは塩素混合ガスで
あって、前記供給液がアルカリ性過酸化水素水溶液であ
って、励起酸素を製造することを特徴とする気液反応方
法。
9. The gas-liquid reaction method according to claim 7, wherein the supply gas is chlorine gas or a chlorine mixed gas, and the supply liquid is an alkaline hydrogen peroxide aqueous solution to produce excited oxygen. A gas-liquid reaction method characterized by the above.
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