JPH09211044A - Electrostatic discharge monitoring device - Google Patents
Electrostatic discharge monitoring deviceInfo
- Publication number
- JPH09211044A JPH09211044A JP1880496A JP1880496A JPH09211044A JP H09211044 A JPH09211044 A JP H09211044A JP 1880496 A JP1880496 A JP 1880496A JP 1880496 A JP1880496 A JP 1880496A JP H09211044 A JPH09211044 A JP H09211044A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image data
- light emission
- discharge
- charged object
- emission position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は静電気放電監視装置
に係り、特に帯電物体上での静電気放電の発生位置やそ
の大きさなどを監視する静電気放電監視装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic discharge monitoring device, and more particularly to an electrostatic discharge monitoring device for monitoring the position of electrostatic discharge on a charged object and its size.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、帯電物体上で発生する静電気を検
出するには、以下のような方法が実施されている。すな
わち、（１）電位センサ（例えば、特公平６−３６００
２号公報に記載された電位センサ）を用いて帯電物体の
表面電位を計測することにより、帯電物体上での帯電電
圧の最も高い場所を探知し、放電の起きる可能性の高い
場所を推定する方法、（２）放電に伴う電磁波の放射に
起因する機器の誤動作や部品破壊等の障害を探し出し
て、放電発生場所を推定する方法、（３）熟練者の経験
により放電発生場所を判断する方法などである。2. Description of the Related Art Conventionally, the following method has been carried out to detect static electricity generated on a charged object. That is, (1) potential sensor (for example, Japanese Patent Publication No. 6-3600)
By measuring the surface potential of the charged object using the potential sensor described in Japanese Patent Publication No. 2), the place where the charging voltage is highest on the charged object is detected, and the place where discharge is likely to occur is estimated. Method, (2) A method of estimating a discharge occurrence location by searching for a malfunction such as a device malfunction or a component destruction caused by the emission of electromagnetic waves associated with discharge, and (3) A method of determining the discharge occurrence location based on experience of a skilled person. And so on.
【０００３】そして、静電気の除去を行う必要性のある
箇所が見つかった場合には、当該箇所に除電ブラシ等の
除電機器を設置して除電が行われる。なお、静電気によ
って電子部品等が破壊してしまった場合には、勿論、そ
の電子部品等を交換する必要がある。When a location where static electricity needs to be removed is found, a static elimination device such as a static elimination brush is installed at the location to eliminate static electricity. In addition, when an electronic component or the like is destroyed by static electricity, it is of course necessary to replace the electronic component or the like.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術のうち
（１）の方法では、電位センサが電界強度の計測、すな
わちある大きさを持つ空間の帯電電圧を計測しているた
めに、帯電物体上で放電が起きた場合、帯電した電荷が
放射されて帯電電圧が低下してしまい、放電発生場所の
特定が難しいという欠点がある。そのため、効率良く除
電を行うことが難しい。また（２）の方法では、部品破
壊から放電発生場所を推定することは可能であるが、破
壊された部品を交換しなければならないという問題があ
る。さらに（３）の方法では、熟練者でなければ放電発
生場所を判断することができないという欠点がある。In the method (1) of the above-mentioned conventional techniques, since the potential sensor measures the electric field strength, that is, the charging voltage of the space having a certain size, the charged object is When the electric discharge occurs above, the charged electric charge is radiated and the charging voltage is lowered, so that it is difficult to specify the place where the electric discharge occurs. Therefore, it is difficult to remove electricity efficiently. Also, with the method (2), it is possible to estimate the location of the discharge from the destruction of the parts, but there is the problem that the destroyed parts must be replaced. Further, the method (3) has a drawback that only a skilled person can judge the discharge occurrence place.
【０００５】本発明の目的は、放電発生場所を視覚的に
表示するようにして、放電によって部品が破壊される前
に、放電発生場所をだれでも容易に特定することができ
る静電気放電監視装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide an electrostatic discharge monitoring device capable of visually identifying a discharge occurrence location so that anyone can easily specify the discharge occurrence location before the parts are destroyed by the discharge. To provide.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の静電気放電監視装置は、テレビカメラと、
前記テレビカメラで撮影した帯電物体の画像データに基
づいて、帯電物体上での不平等電界破壊による放電の発
光位置を検出するとともに、その検出した放電発光位置
をテレビカメラで撮影した帯電物体の画像上に重ね合わ
せて表示する放電発光位置表示処理手段とを備えたもの
である。In order to achieve the above object, an electrostatic discharge monitor of the present invention comprises a television camera,
Based on the image data of the charged object taken by the TV camera, the light emission position of the discharge due to the unequal electric field breakdown on the charged object is detected, and the detected discharge light emission position is the image of the charged object taken by the TV camera. And a discharge light emission position display processing unit for displaying the image on top of each other.
【０００７】上記構成によれば、テレビカメラは帯電物
体を常時撮影し、その画像データを放電発光位置表示処
理手段に送っている。そして、小さな放電による発光が
帯電物体上で生じたときに、放電発光位置表示処理手段
はその放電発光位置を検出して、テレビカメラから送ら
れてきている帯電物体の画像上に放電発光位置を重ね合
わせて表示する。このため、放電監視のオペレータは小
さな放電が帯電物体上のどの位置で起こっているかを視
覚的に認識することができ、放電が起こっている箇所に
除電ブラシ等を設置するようにすれば、障害が起きるよ
うな大きな放電に至る前に除電を確実かつ迅速に行うこ
とができる。According to the above construction, the television camera constantly photographs the charged object and sends the image data to the discharge light emission position display processing means. Then, when light emission due to a small discharge occurs on the charged object, the discharge light emission position display processing unit detects the discharge light emission position and displays the discharge light emission position on the image of the charged object sent from the television camera. Display on top of each other. Therefore, the operator of the discharge monitor can visually recognize at which position on the charged object the small discharge is occurring. It is possible to surely and quickly eliminate static electricity before a large discharge that may occur.
【０００８】また、上記構成の静電気放電監視装置をよ
り具体化すると、以下のような構成となる。すなわち、
本発明の静電気放電監視装置は、テレビカメラと、周囲
を明るくして前記テレビカメラで帯電物体を撮影したと
きの画像データを保存する明画像データ保存手段と、周
囲を暗くして前記テレビカメラで帯電物体を撮影したと
きの画像データを保存する暗画像データ保存手段と、前
記暗画像データ保存手段に保存された画像データに基づ
いて、帯電物体上での不平等電界破壊による放電の発光
位置を検出する発光位置検出手段と、前記発光位置検出
手段により検出された放電発光位置と前記明画像データ
保存手段に保存された帯電物体の画像データとを同一画
面上に重ね合わせて表示する発光位置表示手段とを備え
たものである。Further, if the electrostatic discharge monitoring device having the above-mentioned structure is further embodied, it will have the following structure. That is,
The electrostatic discharge monitoring device of the present invention includes a television camera, a bright image data storage unit that brightens the surroundings to store image data when a charged object is photographed by the television camera, and a darker surroundings the television camera. Based on the dark image data storage means for storing image data when the charged object is photographed, and the image data stored in the dark image data storage means, the light emission position of the discharge due to the unequal electric field breakdown on the charged object is determined. Light emitting position detecting means for detecting, discharge light emitting position detected by the light emitting position detecting means, and light emitting position display for superimposing and displaying the image data of the charged object stored in the bright image data storing means on the same screen. And means.
【０００９】上記構成によると、明画像データ保存手段
には周囲を明るくして帯電物体を撮影したときの画像デ
ータが保存され、暗画像データ保存手段には周囲を暗く
して帯電物体を撮影したときの画像データが保存され
る。すなわち、帯電物体を明確に撮影するには帯電物体
の周囲を明るくしなければならないが、不平等電界破壊
による放電発光は目視できないほど非常に小さな発光で
あるので、帯電物体の周囲が明るいとテレビカメラによ
って発光を撮影できない恐れがある。そこで、周囲を暗
くして帯電物体を撮影し、そのときの画像データを暗画
像データ保存手段に保存する。そして発光位置検出手段
は、暗画像データ保存手段に保存された画像データを取
り込んで、帯電物体上での放電発光位置を検出し、その
検出結果を発光位置検出手段に送る。発光位置検出手段
は、明画像データ保存手段に保存された画像データを取
り込んで帯電物体の明確な画像上に放電発光位置を重ね
合わせて表示する。According to the above construction, the bright image data storing means stores the image data when the charged object is photographed with the surroundings brightened, and the dark image data storing means photographs the charged object with the surroundings darkened. The image data at that time is saved. That is, in order to clearly photograph a charged object, the surroundings of the charged object must be brightened, but the discharge emission due to the unequal electric field breakdown is so small that it cannot be seen, so if the surroundings of the charged object are bright, the TV The camera may not be able to capture the flash. Therefore, the charged object is photographed with the surroundings darkened, and the image data at that time is stored in the dark image data storage means. Then, the light emission position detection means captures the image data stored in the dark image data storage means, detects the discharge light emission position on the charged object, and sends the detection result to the light emission position detection means. The light emission position detection means fetches the image data stored in the bright image data storage means and displays the discharge light emission position by superimposing it on a clear image of the charged object.
【００１０】ここで、発光位置検出手段が暗画像データ
保存手段に保存された画像データから放電発光位置を検
出する方法について詳しく説明する。暗画像データ保存
手段には帯電物体の画像データが時系列的に保存され
る。この場合、暗画像データ保存手段を複数個設け、そ
れぞれの暗画像データ保存手段に画像データを時経列的
に保存してもよい。そして、暗画像データ保存手段に時
系列的に保存された画像データを、発光位置検出手段が
比較することにより、放電発光位置を検出することがで
きる。Now, the method of detecting the discharge light emission position from the image data stored in the dark image data storage means by the light emission position detection means will be described in detail. Image data of a charged object is stored in time series in the dark image data storage means. In this case, a plurality of dark image data storage means may be provided and the image data may be stored in each dark image data storage means in time series. Then, the discharge light emission position can be detected by the light emission position detection unit comparing the image data stored in the dark image data storage unit in time series.
【００１１】また、前記発光位置検出手段で検出された
発光位置のデータを取り込んで、放電発光場所の面積と
体積を算出する画像処理手段と、前記画像処理手段で算
出した面積と体積および環境条件や計測条件を考慮した
帯電電圧校正定数に基づいて、帯電物体上での帯電電圧
を予測する帯電電圧予測手段と、前記帯電電圧予測手段
で予測した帯電電圧を表示する帯電電圧表示手段とを設
けることもできる。Further, image processing means for taking in the data of the light emitting position detected by the light emitting position detecting means to calculate the area and volume of the discharge light emitting place, and the area, volume and environmental conditions calculated by the image processing means. A charging voltage predicting means for predicting a charging voltage on a charged object based on a charging voltage calibration constant in consideration of the measurement conditions and a charging voltage display means for displaying the charging voltage predicted by the charging voltage predicting means are provided. You can also
【００１２】上記のように構成すれば、帯電物体にどの
くらいの電圧で帯電しているのかを具体的に知ることが
でき、この状態で帯電が進めば大きな放電がいつごろ生
じるのかをあらかじめ予測することが可能となる。With the above arrangement, it is possible to know specifically how much voltage the charged object is charged with, and it is predicted in advance when a large discharge will occur if the charging proceeds in this state. It becomes possible.
【００１３】なお、前記テレビカメラとしては、アバラ
ンシェ増倍型撮像管を有するものが好都合である。普通
のテレビカメラでは、帯電物体上での放電発光を撮影す
ることは不可能であるが、アバランシェ増倍型撮像管は
非常に高感度であるから、帯電物体上での放電発光を明
確に撮影することが可能である。It is convenient that the television camera has an avalanche multiplication type image pickup tube. It is not possible to shoot discharge light emission on a charged object with an ordinary TV camera, but since the avalanche multiplication type image pickup tube is extremely sensitive, it is possible to clearly shoot discharge light emission on a charged object. It is possible to
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明の静電気放電監視
装置の全体構成を示している。図に示すように、本発明
の静電気放電監視装置は、帯電物体１を撮影するための
撮像部２を備えたテレビカメラ３と、テレビカメラ３か
らの画像データに基づいて帯電物体１上の放電発光位置
を検出し、その放電発光位置を表示する放電発光位置表
示処理装置１０とから構成されている。ここで、放電発
光位置表示処理装置１０は放電発光位置表示処理手段に
相当している。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below. (First Embodiment) FIG. 1 shows the overall structure of an electrostatic discharge monitor of the present invention. As shown in the figure, the electrostatic discharge monitoring apparatus of the present invention includes a television camera 3 provided with an image pickup unit 2 for photographing the charged object 1, and a discharge on the charged object 1 based on image data from the television camera 3. The discharge light emission position display processing device 10 detects the light emission position and displays the discharge light emission position. Here, the discharge light emission position display processing device 10 corresponds to the discharge light emission position display processing means.
【００１５】放電発光位置表示処理装置１０は、周囲を
明るくしてテレビカメラ３で帯電物体１を撮影したとき
の画像データを縦横の配列に分割して保存する明画像保
存部４と、周囲を暗くしてテレビカメラ３で帯電物体１
を撮影したときの画像データを縦横の配列に分割して保
存するとともに、縦横の各配列の明るさを数階調の階調
値として保存する第１の暗画像保存部５および第２の暗
画像保存部６と、テレビカメラ３からの画像データを第
１の暗画像保存部５へ送るか、または第２の暗画像保存
部６へ送るかの切換えを行う画像切換部７と、第１の暗
画像保存部５および第２の暗画像保存部６から画像デー
タを取り込んで各画像データの階調を比較し、帯電物体
１上での放電による発光位置を検出する発光位置検出部
８と、検出された放電発光位置と明画像保存部４に保存
された帯電物体１の画像データとを同一画面上に重ね合
わせて表示する発光位置表示部９とを備えている。ここ
で、第１の暗画像保存部５および第２の暗画像保存部６
は暗画像保存手段に、発光位置検出部８は発光位置検出
手段に、発光位置表示部９は発光位置表示手段にそれぞ
れ相当している。また、図中の星印（★）は帯電物体１
上での放電を表している。The discharge light emission position display processing device 10 divides the image data when the charged object 1 is photographed by the TV camera 3 into a bright and bright area and divides it into vertical and horizontal arrays and stores the bright image storage section 4. Darken and charge object 1 with TV camera 3
The first dark image storage unit 5 and the second dark image storage unit 5 that store the image data when the image is captured by dividing the image data into vertical and horizontal arrays and storing the brightness of each vertical and horizontal array as gradation values of several gradations. An image storage unit 6; an image switching unit 7 for switching the image data from the television camera 3 to the first dark image storage unit 5 or to the second dark image storage unit 6; A light emission position detection unit 8 that receives image data from the dark image storage unit 5 and the second dark image storage unit 6, compares the gradations of the image data, and detects the light emission position due to the discharge on the charged object 1. And a light emission position display section 9 for superimposing and displaying the detected discharge light emission position and the image data of the charged object 1 stored in the bright image storage section 4 on the same screen. Here, the first dark image storage unit 5 and the second dark image storage unit 6
Corresponds to the dark image storing means, the light emitting position detecting portion 8 corresponds to the light emitting position detecting means, and the light emitting position display portion 9 corresponds to the light emitting position displaying means. The star (★) in the figure is the charged object 1.
It represents the discharge above.
【００１６】次に、上記のような構成の静電気放電監視
装置の動作について、図２を用いて説明する。テレビカ
メラ３は、帯電物体１の全体または放電が起きると予想
される部分を撮影できるように設置される。そして、放
電発生場所を特定できるように周囲を明るくして帯電物
体１をテレビカメラ３で撮影し、その画像データは明画
像保存部４に送られる。明画像保存部４は、送られてき
た画像データの縦横方向に座標軸をとり、横軸をｍ個、
縦軸をｎ個としたｍ×ｎ個の配列になるように画像を細
かく分割して保存する。明画像保存部４に保存されたｍ
×ｎ個の分割画像データは発光位置表示部９に送られ
る。Next, the operation of the electrostatic discharge monitor having the above structure will be described with reference to FIG. The television camera 3 is installed so that the entire charged object 1 or a part where discharge is expected to occur can be taken. Then, the charged object 1 is photographed by the television camera 3 with its surroundings brightened so that the place where the discharge occurs can be identified, and the image data thereof is sent to the bright image storage unit 4. The bright image storage unit 4 has coordinate axes in the vertical and horizontal directions of the transmitted image data, and has m horizontal axes,
The image is finely divided and stored so as to be an m × n array in which the vertical axis is n. M stored in the clear image storage unit 4
The × n pieces of divided image data are sent to the light emitting position display unit 9.
【００１７】一方、放電を撮影するために帯電物体１の
周囲を暗くしなければならない。周囲を暗くして帯電物
体１を撮影したときの画像データは、テレビカメラ３か
ら画像切換部７を経由して第１の暗画像保存部５および
第２の暗画像保存部６に送られる。画像切換部７は初め
は第１の暗画像保存部５側に接続されているが、所定時
間経過後に第２の暗画像保存部６側に接続が切換わる。
第２の暗画像保存部６に接続が切換わた後は、暫くはこ
の状態が保持される。そして、第１の暗画像保存部５と
第２の暗画像保存部６に送られた画像データは、明画像
保存部４と同じくｍ×ｎ個の配列になるように画像が細
かく分割され、さらに、分割された画像の明暗によりｋ
階調に分ける処理が行われ、ｍ×ｎの配列に分割された
画像と階調値が保存される。ここで、ｍ、ｎ、ｋは任意
の数であるが、階調処理を考えると、ｍ＝６４０、ｎ＝
４８０、ｋ＝６４といった数値を使うことが望ましい。On the other hand, the periphery of the charged object 1 must be darkened in order to photograph the discharge. The image data when the charged object 1 is photographed with the surroundings darkened is sent from the television camera 3 to the first dark image storage unit 5 and the second dark image storage unit 6 via the image switching unit 7. The image switching unit 7 is initially connected to the first dark image storage unit 5 side, but after a predetermined time has elapsed, the connection is switched to the second dark image storage unit 6 side.
This state is maintained for a while after the connection is switched to the second dark image storage unit 6. Then, the image data sent to the first dark image storage unit 5 and the second dark image storage unit 6 are finely divided into images so that the image data has an m × n array, as in the bright image storage unit 4. In addition, the brightness of the divided image causes k
The process of dividing into gradations is performed, and the divided images and gradation values are stored in an m × n array. Here, m, n, and k are arbitrary numbers, but considering gradation processing, m = 640, n =
It is desirable to use numerical values such as 480 and k = 64.
【００１８】第１の暗画像保存部５および第２の暗画像
保存部６に保存された細かな画像の階調値は、同じ座標
の階調値を、例えば、横軸方向に１〜ｍ個、２〜ｍ個、
……、ｎ〜ｍ個の順に発光位置検出部８に送られる。発
光位置検出部８は、送られてきた画像間の階調差を検出
することによって画像の明暗を比較し、ｍ×ｎ個の細か
な画像全てについて放電による発光の検出を行う。発光
位置検出部８により放電による発光が検出されない場合
は、発光位置検出部８から画像切換部７に対して画像切
換信号が破線で示したように出力され、画像切換部７が
第１の暗画像保存部５に接続され、第１の暗画像保存部
５にテレビカメラ３からの新しい画像データが保存され
る。そしてこのような動作は、放電による発光が検出さ
れるまで繰り返される。The gradation values of the fine images stored in the first dark image storage unit 5 and the second dark image storage unit 6 have the same coordinate gradation value, for example, 1 to m in the horizontal axis direction. 2 to m pieces,
.. are sent to the light emitting position detector 8 in the order of n to m. The light emission position detection unit 8 compares the lightness and darkness of the images by detecting the gradation difference between the transmitted images, and detects the light emission due to the discharge for all m × n small images. When the light emission position detection unit 8 does not detect light emission due to discharge, the light emission position detection unit 8 outputs an image switching signal to the image switching unit 7 as indicated by a broken line, and the image switching unit 7 outputs the first dark signal. It is connected to the image storage unit 5, and new image data from the television camera 3 is stored in the first dark image storage unit 5. Then, such an operation is repeated until light emission due to discharge is detected.
【００１９】ここで、画像切換部７は、テレビカメラ３
からの画像データを最初に第１の暗画像保存部５側に送
るものとして説明したが、この動作を逆にしてテレビカ
メラ３からの画像データを最初に第２の暗画像保存部６
側に送り、所定時間経過後に第１の暗画像保存部５側に
送るようにしても良い。また、上記の動作とは別に、第
１の暗画像保存部５または第２の暗画像保存部６の一方
に、放電が起きる前の画像を保存したままにしておき、
他方の暗画像処理部に保存される画像を発光位置検出部
８からの画像切換信号により、新しい画像に更新して発
光位置検出部８に送るようにすることもできる。Here, the image switching unit 7 is the television camera 3
Although the image data from the first dark image storage unit 5 has been described as being first sent to the first dark image storage unit 5, the image data from the television camera 3 is first transferred to the second dark image storage unit 6 by reversing this operation.
It may be sent to the first dark image storage unit 5 side after a predetermined time has elapsed. In addition to the above operation, the image before the discharge occurs is stored in one of the first dark image storage unit 5 and the second dark image storage unit 6,
The image stored in the other dark image processing unit may be updated to a new image by the image switching signal from the light emission position detection unit 8 and sent to the light emission position detection unit 8.
【００２０】送られてきた細かな画像の（ｍ−１）×
（ｎ−２）番目で放電による発光が検出されたとする
と、発光位置検出部８から破線で示したように画像送信
信号が第１の暗画像保存部５および第２の暗画像保存部
６に対して出力される。そして、例えば第１の暗画像保
存部５は、検出された（ｍ−１）×（ｎ−２）番目の画
像データを１点鎖線で示したように発生位置表示部９に
送る。第２の暗画像保存部６側で発光が検出されたとき
は、第２の暗画像保存部６から発生位置表示部９に画像
データが送られる。(M-1) × of the detailed image sent
If light emission due to discharge is detected at the (n−2) th time, an image transmission signal is sent from the light emission position detection unit 8 to the first dark image storage unit 5 and the second dark image storage unit 6 as indicated by a broken line. It is output to. Then, for example, the first dark image storage unit 5 sends the detected (m−1) × (n−2) th image data to the generation position display unit 9 as indicated by the chain line. When light emission is detected on the second dark image storage unit 6 side, image data is sent from the second dark image storage unit 6 to the occurrence position display unit 9.
【００２１】発光位置表示部９は、放電による発光が検
出された第１の暗画像保存部５または第２の暗画像保存
部６の（ｍ−１）×（ｎ−２）番目の画像を、前に送ら
れている明画像保存部４の同じ位置である（ｍ−１）×
（ｎ−２）番目の画像に重ね合わせ、その状態を、ある
いは全数の発光検出が終了した後、同一の画面上に表示
する。ここで、発光位置表示部９には、テレビモニタや
ビデオプリンタなどを使用することもできる。このよう
な動作により放電による発光の発生場所が視覚的に特定
できることになる。The light emission position display unit 9 displays the (m-1) .times. (N-2) th image in the first dark image storage unit 5 or the second dark image storage unit 6 in which light emission due to discharge is detected. , Which is the same position in the bright image storage unit 4 sent before (m−1) ×
It is superposed on the (n-2) th image and the state is displayed on the same screen, or after the detection of all the light emission is completed. Here, a television monitor, a video printer, or the like can be used as the light emitting position display unit 9. By such an operation, the place where the light emission due to the discharge is generated can be visually identified.
【００２２】ところで、障害が起きるような大きな放電
は、目視による放電発生場所の特定が可能な場合である
が、そのような場合には、部品破壊が起きる可能性が高
い。そのため、部品破壊に至る前に対策を施すことが重
要である。そこで、部品破壊に至る前に発生している直
接目視できないような小さな放電の発光に着目し、この
発光を画像として撮影できれば放電発生場所の特定が可
能となり、障害を未然に防げる最適な方法のひとつとな
る。そのため、この目視できない程の発光を撮影できる
テレビカメラの例について説明する。By the way, a large discharge that causes a failure is a case where the discharge generation location can be visually identified, but in such a case, there is a high possibility that parts will be destroyed. Therefore, it is important to take measures before the destruction of parts. Therefore, we focused on the light emission of a small discharge that could not be seen directly before the destruction of parts, and if we could capture this light emission as an image, it would be possible to identify the place where the discharge occurred, which is the best way to prevent failures. Become one. Therefore, an example of a television camera that can shoot light emission that cannot be visually recognized will be described.
【００２３】例えば上記テレビカメラとして、テレビジ
ョン学会技術報告，１９９１年９月２１日，第７頁〜第
１２頁の「超高感度アバランシェ増倍型撮像管」に示さ
れる撮像管と同じ非晶質Ｓｅ系半導体を用いたアバラン
シェ方式の撮像管を用いることが可能である。また、こ
の非晶質Ｓｅ系半導体を用いたアバランシェ方式の撮像
管は、低ノイズのためノイズと発光の区別が容易である
ことや残像を残さないという特徴を持つことから、放電
の監視用として望ましい撮像管である。以下、この撮像
管の一例について概略を説明する。For example, as the above-mentioned television camera, the same amorphous as the image pickup tube shown in "Ultrasensitive avalanche multiplication type image pickup tube" on pages 7 to 12 of Technical Report of the Institute of Television Engineers of Japan, September 21, 1991. It is possible to use an avalanche type image pickup tube using a Se-based semiconductor. Further, since the avalanche type image pickup tube using the amorphous Se-based semiconductor has low noise, it is easy to distinguish noise from light emission and does not leave an afterimage. It is a desirable imaging tube. An outline of an example of this image pickup tube will be described below.
【００２４】図３に、アバランシェ方式の撮像管の構造
模式の一例を示す。アバランシェ方式の撮像管の構成
は、一例として、ガラス基板１１上に酸化インジウムを
主体とする透明電極（ＩＴＯ）１２を用い、その上に正
孔注入阻止層（ＣｅＯ2）１３、非晶質Ｓｅ層（ａ−Ｓ
ｅ）１４を蒸着させて非晶質半導体層とし、その上に電
子注入阻止層として多孔質Ｓｂ2Ｓ3（ビームランディン
グ層）１５を蒸着して阻止形構造の光導電型撮像管のタ
ーゲット部をなしている。さらに、ターゲット電圧を高
くする場合に画像反転現象が生じてしまうため、ターゲ
ット部とメッシュ電極１６の間の走査域外に撮像管用電
極１７を設けたものである。ここで、アバランシェ増倍
率Ｍは、光導電膜兼キャリア増倍層の非晶質Ｓｅ層の膜
厚ｄに依存し、次に式（１）により表される。FIG. 3 shows an example of a schematic structure of an avalanche type image pickup tube. As an example of the structure of the avalanche type image pickup tube, a transparent electrode (ITO) 12 mainly composed of indium oxide is used on a glass substrate 11, and a hole injection blocking layer (CeO 2 ) 13 and amorphous Se are formed thereon. Layer (a-S
e) 14 is vapor-deposited to form an amorphous semiconductor layer, and a porous Sb 2 S 3 (beam landing layer) 15 is vapor-deposited thereon as an electron injection blocking layer to deposit the target portion of a photoconductive type image pickup tube having a blocking structure. Is doing. Further, since an image inversion phenomenon occurs when the target voltage is increased, the image pickup tube electrode 17 is provided outside the scanning area between the target portion and the mesh electrode 16. Here, the avalanche multiplication factor M depends on the film thickness d of the amorphous Se layer of the photoconductive film and carrier multiplication layer, and is represented by the following equation (1).
【００２５】[0025]
【数１】 [Equation 1]
【００２６】ここで、 Ｍ ：アバランシェ増倍率 ｄ：非晶質Ｓｅ
層の膜厚 α，β：非晶質Ｓｅにおける電子及び正孔のキャリアイ
オン化率 である。Here, M: avalanche multiplication factor d: amorphous Se
Layer thickness α, β: carrier ionization rates of electrons and holes in amorphous Se.
【００２７】このアバランシェ増倍率を調整することに
より、小さな放電による発光現象を撮影できる。このよ
うな撮像管を本発明に使用する場合に必要な性能につい
て、図４〜図６を用いて説明する。By adjusting the avalanche multiplication factor, it is possible to photograph the light emission phenomenon caused by a small discharge. The performance required when such an image pickup tube is used in the present invention will be described with reference to FIGS.
【００２８】小さな放電による発光は、コロナ放電に近
い発光形態であることから、図４に一例を示すような実
験を行い、最低限必要なアバランシェ増倍率について調
べた。図４は、上記撮像管をＸ線用電子銃に組み込んで
テレビカメラ３に取り付けるとともに、図３に示した撮
像管の撮像管用電極１７に電圧を引加するための撮像管
用電源１８を備えて、コロナ放電器１９を撮影すると同
時に、光パワーメータ２０及び表面電位計２１で光パワ
ー及び帯電電圧を測定する。コロナ放電器１９に高圧電
源２２から徐々に電圧を引加した実験の結果、一般のＸ
線用電子銃に比べ、アバランシェ増倍率が７００倍〜１
０００倍あれば、放電による障害に至る前の小さな放電
現象を映像として観察することが可能であり、本発明の
目的を十分達成できることがわかった。Since the light emission due to the small discharge has a light emission form close to that of corona discharge, an experiment as shown in FIG. 4 was conducted to examine the minimum required avalanche multiplication factor. FIG. 4 shows that the above-mentioned image pickup tube is incorporated in an electron gun for X-rays and attached to the television camera 3, and that the image pickup tube power supply 18 for applying a voltage to the image pickup tube electrode 17 of the image pickup tube shown in FIG. 3 is provided. At the same time as photographing the corona discharger 19, the optical power and the charging voltage are measured by the optical power meter 20 and the surface potential meter 21. As a result of an experiment in which a voltage was gradually applied to the corona discharger 19 from a high voltage power supply 22, a general X
Avalanche multiplication factor is 700 times to 1 compared to electron gun
It has been found that if it is 000 times, it is possible to observe a small discharge phenomenon before a failure due to discharge as an image, and the object of the present invention can be sufficiently achieved.
【００２９】また、アバランシェ増倍率が７００倍の撮
像管を用いた場合には、図５に一例を示すように、コロ
ナ放電器１９からの光パワーは、０.１ｎＷ程度の発光
まで撮影できることがわかり、周囲の明るさとなる光パ
ワーは、０.１ｎＷより暗ければ、最大限に性能を発揮
でき、小さな放電による発光を監視できる。また、周囲
の光パワーが０.１〜３０ｎＷ程度であれば、小さな放
電による発光を十分に観察できる。Further, when an image pickup tube having an avalanche multiplication factor of 700 is used, as shown in an example in FIG. 5, the light power from the corona discharger 19 can be photographed up to a light emission of about 0.1 nW. Obviously, if the light power that becomes the ambient brightness is darker than 0.1 nW, the performance can be maximized and the light emission due to a small discharge can be monitored. Further, if the surrounding optical power is about 0.1 to 30 nW, light emission due to small discharge can be sufficiently observed.
【００３０】次に、撮像管に必要な性能のひとつである
光の波長について説明する。一般に、放電による発光
は、青白い光であることが知られており、図６より、波
長が４３０〜４９０ｎｍであることがわかる。また、図
５のコロナ放電の光パワー計測より、波長が５００ｎｍ
以下になると光パワーが強くなることから、４３０〜５
００ｎｍの波長を撮影できることが望ましいが、本発明
の撮像管は非晶質Ｓｅ系半導体を使用しているため、上
記テレビジョン学会技術報告より、４００ｎｍの波長も
撮影できることがわかっており、十分なことがわかっ
た。また、レンズの性能も上記波長のみ透過できるもの
が望ましい。Next, the wavelength of light, which is one of the performances required for the image pickup tube, will be described. Generally, it is known that the light emission due to the discharge is bluish white light, and it can be seen from FIG. 6 that the wavelength is 430 to 490 nm. From the optical power measurement of corona discharge shown in FIG. 5, the wavelength is 500 nm.
Since the optical power becomes stronger when it becomes the following, 430-5
It is desirable to be able to photograph a wavelength of 00 nm, but since the image pickup tube of the present invention uses an amorphous Se-based semiconductor, it is known from the above technical report of the Television Society that it is possible to photograph a wavelength of 400 nm, which is sufficient. I understand. Further, it is desirable that the lens has a capability of transmitting only the above wavelength.
【００３１】これにより、放電による発光から放電発生
場所を視覚的に特定でき、除電ブラシやイオンシャワー
等の除電機器を的確、かつ容易に配設できるため、最適
な除電対策を行うことが可能である。Thus, the location of the discharge can be visually identified from the light emitted by the discharge, and the static eliminator such as the static eliminator brush and the ion shower can be accurately and easily arranged, so that the optimum static eliminator can be taken. is there.
【００３２】（第２の実施の形態）次に、本発明の第２
の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第１
の実施の形態で説明した静電気放電監視装置に、帯電電
圧を予測するための機能を追加した例である。図７にお
いて、追加した部分は帯電電圧予測処理器２６で、その
帯電電圧予測処理器２６は、観察した放電による発光の
大きさから、放電発光場所の面積や体積を計算する画像
処理部２３と、画像処理部２３で求めた面積や体積の大
きさから、環境条件や計測条件を考慮した帯電電圧校正
定数２７を入力して、帯電物体１上での帯電電圧を予測
する帯電電圧予測部２４と、帯電電圧予測部２４で予測
した帯電電圧を表示する帯電電圧表示部２５とを備えて
いる。(Second Embodiment) Next, a second embodiment of the present invention will be described.
An embodiment will be described. This embodiment is the first
It is an example in which a function for predicting a charging voltage is added to the electrostatic discharge monitor described in the embodiment. In FIG. 7, the added portion is a charging voltage prediction processor 26, and the charging voltage prediction processor 26 is an image processing unit 23 that calculates the area and volume of the discharge light emission location from the magnitude of light emission due to the observed discharge. The charging voltage predicting unit 24 that predicts the charging voltage on the charged object 1 by inputting the charging voltage calibration constant 27 in consideration of environmental conditions and measurement conditions from the size of the area and volume obtained by the image processing unit 23. And a charging voltage display unit 25 that displays the charging voltage predicted by the charging voltage prediction unit 24.
【００３３】上記構成の帯電予測処理器２６の動作につ
いて図８を用いて説明する。図８の画像処理部２３は、
発光位置検出部８で検出した放電による発光の観察され
た細かな画像データから、細かな画像間の左右上下のつ
ながりのあるデータがあるかを調べ、つながっている数
の合計を求める。また、体積を計算する場合は、テレビ
カメラ３を複数台用いて、放電による発光を立体的に撮
影して画像処理することになり、そのための画像処理部
２３を備えることが必要である。さらに、放電による発
光は、階調に分けたあと、しきい値を設け、ある階調以
上の面積や体積を用いて画像処理することもできるが、
後述の帯電電圧予測部２４で使用する帯電電圧の予測も
このしきい値を用いて行う必要がある。このようにして
計算した放電による発光の面積や体積となる画像の合計
数を帯電電圧予測部２４に送る。The operation of the charge prediction processor 26 having the above structure will be described with reference to FIG. The image processing unit 23 in FIG.
From the fine image data in which the light emission due to the discharge detected by the light emitting position detection unit 8 is observed, it is checked whether or not there is data in which left and right upper and lower portions of the fine images are connected, and the total number of connected portions is obtained. Further, when the volume is calculated, a plurality of TV cameras 3 are used, and the light emission due to the discharge is stereoscopically photographed and image processing is performed, and it is necessary to provide the image processing unit 23 for that purpose. Further, the light emission due to the discharge can be image-processed by dividing the gradation and then providing a threshold value and using an area or volume larger than a certain gradation.
It is necessary to predict the charging voltage used in the charging voltage predicting unit 24, which will be described later, using this threshold value. The total number of images, which are the areas and volumes of the light emission due to the discharge calculated in this way, are sent to the charging voltage prediction unit 24.
【００３４】帯電電圧予測部２４は、発光面積計算のた
めに、測定しておいた細かな画像１個の縦横寸法、及び
測定時の環境条件や計測条件により異なる発光の大きさ
に対する帯電電圧、つまり、帯電電圧校正定数を破線で
示すように外部入力し、入力した帯電電圧校正定数と送
られた発光の大きさを用いて帯電電圧表示部２５により
帯電電圧を予測する。多数の発光が観測された場合は、
この動作を繰返し、全発光の帯電電圧または、最大の発
光の大きさから帯電電圧を予測することもできる。ここ
で、気圧、温度、湿度などの環境条件や放電による発光
とテレビカメラ間の距離や周囲の明るさなどの計測条件
により放電による発光の大きさが変化することから、あ
らかじめ帯電電圧校正定数を採取しておく必要がある。
そのための帯電電圧校正定数の採取方法の例を図４及び
図７を用いて説明する。The charging voltage prediction unit 24 calculates the vertical and horizontal dimensions of one small image that has been measured for the calculation of the light emission area, and the charging voltage for the size of the light emission that varies depending on the environmental conditions and measurement conditions at the time of measurement. That is, the charging voltage calibration constant is externally input as indicated by the broken line, and the charging voltage display unit 25 predicts the charging voltage using the input charging voltage calibration constant and the size of the emitted light. If a lot of luminescence is observed,
By repeating this operation, the charging voltage can be predicted from the charging voltage of all light emission or the maximum light emission magnitude. The charging voltage calibration constant should be set in advance because the magnitude of light emission due to discharge changes depending on environmental conditions such as atmospheric pressure, temperature, and humidity, and light emission due to discharge, and measurement conditions such as the distance between TV cameras and ambient brightness. It is necessary to collect it.
An example of a method of collecting the charging voltage calibration constant for that purpose will be described with reference to FIGS. 4 and 7.
【００３５】図４に示すように、コロナ放電器１９を利
用して放電による発光を模擬し、コロナ放電器１９から
の発光をテレビカメラ３により撮影すると同時に、表面
電位計２１により帯電電圧を計測して校正定数を採取す
る。As shown in FIG. 4, the corona discharger 19 is used to simulate the light emission due to the discharge, and the emission from the corona discharger 19 is photographed by the television camera 3 and at the same time, the surface voltage meter 21 measures the charging voltage. And collect the calibration constant.
【００３６】コロナ放電器１９の発光輝度を変えてテレ
ビカメラ３で撮影し、図７に示す画像処理部２３より計
算した面積及び表面電位計２１から検出した帯電電圧か
ら帯電電圧校正定数２７を作成し、帯電電圧予測部２４
に記憶させる。そして、この帯電電圧校正定数を用い
て、帯電電圧の予測する。そのため、あらかじめ、考え
られる条件の帯電電圧校正定数を採取しておき、帯電電
圧予測手部４にデータベースとして番号を付けて記憶さ
せ、予測時の条件に合った番号の帯電電圧校正定数を用
いるようにしておくこともできる。これにより、小さな
放電による発光から帯電物体の帯電電圧を予測すること
ができる。A charging voltage calibration constant 27 is created from the area calculated by the image processing unit 23 shown in FIG. 7 and the charging voltage detected by the surface electrometer 21 by changing the light emission brightness of the corona discharger 19 and photographing by the television camera 3. Then, the charging voltage prediction unit 24
To memorize. Then, the charging voltage calibration constant is used to predict the charging voltage. Therefore, the charging voltage calibration constants under possible conditions are collected in advance, numbered and stored as a database in the charging voltage predicting unit 4, and the charging voltage calibration constants with the numbers matching the conditions at the time of prediction are used. You can also leave it. Thereby, the charging voltage of the charged object can be predicted from the light emission due to the small discharge.
【００３７】[0037]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
障害に至る前の小さな放電による発光現象を画面上に表
示できるため、放電発生場所を容易に特定できる。これ
により、静電気除去すべき箇所をだれでも容易に見出す
ことができ、最適な除電対策を迅速に行うことができ
る。As described above, according to the present invention,
Since the light emission phenomenon caused by the small discharge before the failure can be displayed on the screen, the discharge occurrence location can be easily specified. As a result, anyone can easily find the place where the static electricity should be removed, and the optimal static elimination measures can be promptly taken.
【００３８】また、画像処理により放電による発光の大
きさを計測し、あらかじめ環境条件や計測条件を考慮し
て作成した帯電電圧校正定数による予測を行うことによ
り、帯電電圧の予測を正確に実行することができる。Further, the magnitude of the light emission due to the discharge is measured by image processing, and the charging voltage is accurately predicted by performing the prediction based on the charging voltage calibration constant prepared in advance in consideration of the environmental conditions and the measurement conditions. be able to.
【図１】本発明の第１の実施の形態による静電気放電監
視装置の全体構成図である。FIG. 1 is an overall configuration diagram of an electrostatic discharge monitoring device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】図１に示した静電気放電監視装置の動作を説明
した図である。FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the electrostatic discharge monitoring device shown in FIG.
【図３】撮像管の構造を示した図である。FIG. 3 is a diagram showing a structure of an image pickup tube.
【図４】アバランシェ増倍率と光パワーとの関係を調べ
る実験例を示した図である。FIG. 4 is a diagram showing an experimental example for examining the relationship between avalanche multiplication factor and optical power.
【図５】テレビカメラの撮像管の特性を示した図であ
る。FIG. 5 is a diagram showing characteristics of an image pickup tube of a television camera.
【図６】光の波長を示した図である（理科年表より）。FIG. 6 is a diagram showing wavelengths of light (from science chronology).
【図７】本発明の第２の実施の形態による静電気放電監
視装置の全体構成図である。FIG. 7 is an overall configuration diagram of an electrostatic discharge monitoring device according to a second embodiment of the present invention.
【図８】図７に示した帯電電圧予測処理器の動作を説明
した図である。FIG. 8 is a diagram explaining the operation of the charging voltage prediction processor shown in FIG. 7.
１ 帯電物体 ２ 撮像部 ３ テレビカメラ ４ 明画像保存部 ５ 第１の暗画像保存部 ６ 第２の暗画像保存部 ７ 画像切換部 ８ 発光位置検出部 ９ 発生位置表示部 １０ 放電発光位置表示処理装置 １１ ガラス基板 １２ 透明電極（ＩＴＯ） １３ 正孔注入阻止層（ＣｅＯ2） １４ 非晶質Ｓｅ層（ａ−Ｓｅ） １５ ビームランディング層（Ｓｂ2Ｓ3） １６ メッシュ電極 １７ 撮像管用電極 １８ 撮像管用電源 １９ コロナ放電器 ２０ 光パワーメータ ２１ 表面電位計 ２２ 高圧電源 ２３ 画像処理部 ２４ 帯電電圧予測部 ２５ 帯電電圧表示部 ２６ 帯電電圧予測処理器 ２７ 帯電電圧校正定数DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Charged object 2 Imaging unit 3 TV camera 4 Bright image storage unit 5 First dark image storage unit 6 Second dark image storage unit 7 Image switching unit 8 Light emission position detection unit 9 Generation position display unit 10 Discharge light emission position display processing Device 11 Glass substrate 12 Transparent electrode (ITO) 13 Hole injection blocking layer (CeO 2 ) 14 Amorphous Se layer (a-Se) 15 Beam landing layer (Sb 2 S 3 ) 16 Mesh electrode 17 Camera tube electrode 18 Imaging Tube power supply 19 Corona discharger 20 Optical power meter 21 Surface potential meter 22 High voltage power supply 23 Image processing unit 24 Charging voltage prediction unit 25 Charging voltage display unit 26 Charging voltage prediction processor 27 Charging voltage calibration constant
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 萩原 憲明 愛知県尾張旭市晴丘町池上１番地 株式会 社日立製作所オフィスシステム事業部内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Noriaki Hagiwara No. 1 Ikegami, Haruoka-cho, Owariasahi-shi, Aichi Ltd. Office Systems Division, Hitachi Ltd.
Claims (5)
影した帯電物体の画像データに基づいて、帯電物体上で
の不平等電界破壊による放電の発光位置を検出するとと
もに、その検出した放電発光位置をテレビカメラで撮影
した帯電物体の画像上に重ね合わせて表示する放電発光
位置表示処理手段と、を備えた静電気放電監視装置。1. A television camera and, based on image data of a charged object photographed by the television camera, a light emission position of discharge due to nonuniform electric field breakdown on the charged object is detected, and the detected discharge light emission position is detected. An electrostatic discharge monitoring device comprising: discharge light emission position display processing means for displaying the image on a charged object superposed on a television camera.
テレビカメラで帯電物体を撮影したときの画像データを
保存する明画像データ保存手段と、周囲を暗くして前記
テレビカメラで帯電物体を撮影したときの画像データを
保存する暗画像データ保存手段と、前記暗画像データ保
存手段に保存された画像データに基づいて、帯電物体上
での不平等電界破壊による放電の発光位置を検出する発
光位置検出手段と、前記発光位置検出手段により検出さ
れた放電発光位置と前記明画像データ保存手段に保存さ
れた帯電物体の画像データとを同一画面上に重ね合わせ
て表示する発光位置表示手段と、を備えた静電気放電監
視装置。2. A television camera, a bright image data storage unit for brightening the surroundings to store image data when the charged object is photographed by the television camera, and a darkened environment for photographing the charged object with the television camera. Dark image data storage means for storing the image data at the time, and a light emission position for detecting the light emission position of the discharge due to the unequal electric field breakdown on the charged object based on the image data stored in the dark image data storage means. A detection means and a light emission position display means for displaying the discharge light emission position detected by the light emission position detection means and the image data of the charged object stored in the bright image data storage means in an overlapping manner on the same screen. Equipped with an electrostatic discharge monitoring device.
テレビカメラで帯電物体を撮影したときの画像データを
保存する明画像データ保存手段と、周囲を暗くして前記
テレビカメラで帯電物体を撮影したときの画像データを
保存する暗画像データ保存手段と、前記暗画像データ保
存手段に保存された画像データに基づいて、帯電物体上
での不平等電界破壊による放電の発光位置を検出する発
光位置検出手段と、前記発光位置検出手段で検出された
発光位置のデータを取り込んで、放電発光場所の面積と
体積を算出する画像処理手段と、前記画像処理手段で算
出した面積と体積および環境条件や計測条件を考慮した
帯電電圧校正定数に基づいて、前記帯電物体上での帯電
電圧を予測する帯電電圧予測手段と、前記帯電電圧予測
手段で予測した帯電電圧を表示する帯電電圧表示手段
と、を備えた静電気放電監視装置。3. A television camera, bright image data storage means for brightening the surroundings to store image data when a charged object is photographed by the television camera, and darkening the surroundings for photographing the charged object with the television camera. Dark image data storage means for storing the image data at the time, and a light emission position for detecting the light emission position of the discharge due to the unequal electric field breakdown on the charged object based on the image data stored in the dark image data storage means. Detection means, image processing means for taking in the data of the light emission position detected by the light emission position detection means and calculating the area and volume of the discharge light emission place, the area and volume calculated by the image processing means, and environmental conditions and A charging voltage predicting means for predicting a charging voltage on the charged object based on a charging voltage calibration constant in consideration of measurement conditions, and a charging predicted by the charging voltage predicting means. An electrostatic discharge monitoring device comprising: a charging voltage display means for displaying a voltage.
視装置において、前記テレビカメラは、アバランシェ増
倍型撮像管を有することを特徴とする静電気放電監視装
置。4. The electrostatic discharge monitoring device according to claim 1, wherein the television camera has an avalanche multiplication type image pickup tube.
置において、前記暗画像データ保存手段は帯電物体の画
像データを時系列的に保存し、前記発光位置検出手段
は、時系列的に保存された前記画像データを比較するこ
とにより、放電発光位置を検出することを特徴とする静
電気放電監視装置。5. The electrostatic discharge monitoring device according to claim 2, wherein the dark image data storage means stores the image data of the charged object in time series, and the light emission position detection means stores in time series. An electrostatic discharge monitoring device characterized by detecting a discharge light emission position by comparing the generated image data.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1880496A JPH09211044A (en) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | Electrostatic discharge monitoring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1880496A JPH09211044A (en) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | Electrostatic discharge monitoring device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09211044A true JPH09211044A (en) | 1997-08-15 |
Family
ID=11981785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1880496A Pending JPH09211044A (en) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | Electrostatic discharge monitoring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09211044A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006251579A (en) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Ricoh Co Ltd | Apparatus and method for observing discharge irregularity of sheet member and apparatus and method for measuring resistance |
| JP2008292258A (en) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Ricoh Co Ltd | Characteristic evaluation device for electrophotography photosensitive element |
| JP2014185962A (en) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | National Institute Of Occupation Safety & Health Japan | Static electricity discharge detection device and static electricity discharge detection system using the same |
| JP2020099016A (en) * | 2018-12-19 | 2020-06-25 | 株式会社オーケー社鹿児島 | Weak discharge imaging system |
| CN115424410A (en) * | 2022-11-03 | 2022-12-02 | 国网浙江省电力有限公司金华供电公司 | High-voltage environment protection method based on wireless radiation perception and multi-modal data |
-
1996
- 1996-02-05 JP JP1880496A patent/JPH09211044A/en active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006251579A (en) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Ricoh Co Ltd | Apparatus and method for observing discharge irregularity of sheet member and apparatus and method for measuring resistance |
| JP4684688B2 (en) * | 2005-03-14 | 2011-05-18 | 株式会社リコー | Discharge unevenness observation device and observation method for sheet member, resistance measurement device and measurement method |
| JP2008292258A (en) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Ricoh Co Ltd | Characteristic evaluation device for electrophotography photosensitive element |
| JP2014185962A (en) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | National Institute Of Occupation Safety & Health Japan | Static electricity discharge detection device and static electricity discharge detection system using the same |
| JP2020099016A (en) * | 2018-12-19 | 2020-06-25 | 株式会社オーケー社鹿児島 | Weak discharge imaging system |
| CN115424410A (en) * | 2022-11-03 | 2022-12-02 | 国网浙江省电力有限公司金华供电公司 | High-voltage environment protection method based on wireless radiation perception and multi-modal data |
| CN115424410B (en) * | 2022-11-03 | 2023-12-19 | 国网浙江省电力有限公司金华供电公司 | High-pressure environment protection method based on wireless radiation sensing and multi-mode data |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9082168B2 (en) | Radiation imaging apparatus, radiation image processing apparatus, and image processing method | |
| US10225445B2 (en) | Methods and apparatus for providing a camera lens or viewing point indicator | |
| US20170180637A1 (en) | Methods and apparatus for detecting and/or indicating a blocked sensor or camera module | |
| JP5105940B2 (en) | Imaging apparatus, imaging system, control method thereof, and program | |
| EP2493176B1 (en) | Radiographic image capturing system and radiographic image capturing device | |
| US8405719B2 (en) | Apparatus and method for measurement of corona discharge of power facilities by UV sensor with optic lens | |
| JP4325974B2 (en) | X-ray detector monitoring | |
| JP4995193B2 (en) | X-ray diagnostic imaging equipment | |
| US7483550B2 (en) | Method and system for evaluating moving image quality of displays | |
| US6623161B2 (en) | Method and apparatus for identifying and correcting line artifacts in a solid state X-ray detector | |
| JP5546887B2 (en) | Radiographic imaging apparatus and method, and program | |
| CN101267506B (en) | Radiation imaging apparatus, and method for controlling radiation imaging apparatus | |
| JP3683987B2 (en) | X-ray flat panel detector | |
| JPH09211044A (en) | Electrostatic discharge monitoring device | |
| JP2009195612A (en) | Radiographic imaging apparatus | |
| JP2004201784A (en) | X-ray image diagnostic apparatus | |
| JP6021323B2 (en) | X-ray equipment | |
| JPH1138078A (en) | Photographing system for corona discharge | |
| JP5152979B2 (en) | Radiation image processing method and apparatus | |
| EP2642530A1 (en) | X-ray sensor, method for testing the x-ray sensor, and x-ray diagnostic device equipped with the x-ray sensor | |
| KR101007405B1 (en) | Apparatus and method for correcting pixel of infrared detector | |
| JP6945676B2 (en) | Radiation imaging equipment and radiation imaging system | |
| JP6739511B2 (en) | Radiation image capturing apparatus and radiation image capturing system | |
| KR101505441B1 (en) | Photographing apparatus | |
| JPS61181442A (en) | X-ray ct apparatus |