JP4684688B2 - Discharge unevenness observation device and observation method for sheet member, resistance measurement device and measurement method - Google Patents

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本発明は、シート部材の放電ムラや抵抗ムラを非接触で検査する放電ムラ観察装置および観察方法並びにシート部材の抵抗測定装置および測定方法に関する。   The present invention relates to a discharge unevenness observation apparatus and observation method for inspecting discharge unevenness and resistance unevenness of a sheet member in a non-contact manner, and a sheet member resistance measurement apparatus and measurement method.

複写機、プリンタ等における画像形成プロセスでは、感光体上に現像されたトナー画像は感光体と転写ベルト(中間転写ベルトを含む)との間に形成される転写電界によって転写ベルトまたは用紙に転写される。従って、転写ベルトの製造時または画像形成装置に搭載する際に、その電気特性を把握することは非常に重要である。
このようなベルトの電気特性はJIS K 6911法に基づいて測定され、表面抵抗率や体積抵抗率を用いて評価されるのが最も一般的である。表面抵抗率は図7に示すように、試料21の表面に電極(プローブ)22を押し当て、表面を流れる電流を検出して算出され、体積抵抗率は図8に示すように試料21の上下の電極22、23間に流れる電流を測定して求められる。
In an image forming process in a copying machine, a printer or the like, a toner image developed on a photoreceptor is transferred onto a transfer belt or paper by a transfer electric field formed between the photoreceptor and a transfer belt (including an intermediate transfer belt). The Therefore, it is very important to grasp the electrical characteristics when the transfer belt is manufactured or mounted on the image forming apparatus.
The electric characteristics of such a belt are measured based on the JIS K 6911 method, and are most commonly evaluated using surface resistivity and volume resistivity. As shown in FIG. 7, the surface resistivity is calculated by pressing an electrode (probe) 22 against the surface of the sample 21 and detecting the current flowing through the surface, and the volume resistivity is calculated as shown in FIG. It is obtained by measuring the current flowing between the electrodes 22 and 23.

また、別の表面抵抗測定方法として、特許文献1には、3個の接触端子を被測定部材に当接してその内の2個の端子を電気的に接続し、他の1個の端子との間の抵抗を並列の合成抵抗として測定することによって表面抵抗率を得る方法が開示されている。
一方、転写ベルトの表面抵抗率や体積抵抗率と転写画像との間にはある程度相関があることが経験的に知られており、これらの値を積極的に制御したベルト部材が多く提案されている。例えば、特許文献2には、中抵抗のゴムからなる内層と誘電層、および誘電層よりも固有抵抗率が低い材質の表層の3層で転写ベルトを構成し、用紙の搬送性と分離性を両立すると同時に安定して良好な画像を得ることが開示されている。また、特許文献3には、導電性の異なる複数種類のカーボンを樹脂に対して膜厚方向に偏在するように分散し、ベルト表面の抵抗を裏面よりも高くすることによって、画像ムラを防止する中間転写ベルトの製造方法が提案されている。
As another surface resistance measurement method, Patent Document 1 discloses that three contact terminals are brought into contact with a member to be measured and two of the terminals are electrically connected to each other. A method for obtaining surface resistivity by measuring the resistance between the two as a combined resistance in parallel is disclosed.
On the other hand, it is empirically known that there is a certain degree of correlation between the surface resistivity or volume resistivity of the transfer belt and the transferred image, and many belt members that actively control these values have been proposed. Yes. For example, Patent Document 2 discloses that a transfer belt is composed of an inner layer made of rubber having a medium resistance, a dielectric layer, and a surface layer made of a material having a lower specific resistivity than that of the dielectric layer. It is disclosed that a good image can be obtained stably and at the same time. Further, in Patent Document 3, a plurality of types of carbons having different conductivity are dispersed so as to be unevenly distributed in the film thickness direction with respect to the resin, and the unevenness of the image is prevented by making the resistance of the belt surface higher than that of the back surface. An intermediate transfer belt manufacturing method has been proposed.

実開平3−63866号公報Japanese Utility Model Publication No. 3-63866 特開平7−295391号公報JP 7-295391 A 特開平11−109761号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-109761

しかしながら、表面抵抗率や体積抵抗率はミリメートルオーダーの電極を用いて評価されるものであり、マクロな電気特性を示すので、表面抵抗率や体積抵抗率の測定値だけではベルトの電気特性を完全には把握できないという問題がある。また、画像形成装置の転写プロセスにおいては、ベルトと感光体や、ベルトと転写ローラとの間で発生する放電が重要な因子であるため、実際には抵抗だけではなく、ベルトの表面粗さも大きく影響を及ぼすことが知られている。
従って、単にマクロな意味での表面抵抗率や体積抵抗率の値が同等のベルトを用いて、同じ条件で感光体上のトナーを転写ベルトや用紙に転写しても、ハーフトーン画像などで発生する濃度ムラや画像が所々白く抜ける現象(以下、白抜けと記す)の傾向が異なるといった問題が多発し、結局のところ、画像形成装置の開発段階においては、多くのベルトサンプルについて様々な条件下でトナー画像の転写実験を行い、出力画像を見て好ましいベルトを抽出するといった作業が必要となる。このような実情から、より微視的な放電特性や電気特性の評価手法の確立が望まれると同時に、そこで得られる知見に基づいて、濃度ムラや白抜けを発生しない、良好な転写ベルトの開発が要望されていた。
However, surface resistivity and volume resistivity are evaluated using millimeter-order electrodes and show macro electric characteristics. Therefore, the measured values of surface resistivity and volume resistivity are sufficient to complete the electric characteristics of the belt. Has a problem that cannot be grasped. Further, in the transfer process of the image forming apparatus, since the discharge generated between the belt and the photoconductor or between the belt and the transfer roller is an important factor, not only the resistance but also the surface roughness of the belt is actually large. It is known to affect.
Therefore, even if the toner on the photoconductor is transferred to a transfer belt or paper under the same conditions using a belt with the same surface resistivity and volume resistivity in a macro sense, it occurs in a halftone image. As a result, there are many problems such as uneven density and the tendency of images to be whitened out in some places (hereinafter referred to as white spots). As a result, in the development stage of an image forming apparatus, many belt samples have various conditions. Thus, it is necessary to perform a toner image transfer experiment and to extract a preferable belt by looking at the output image. From this situation, it is desirable to establish a more microscopic evaluation method for discharge characteristics and electrical characteristics, and at the same time, based on the knowledge obtained there, development of a good transfer belt that does not cause density unevenness or white spots Was requested.

本発明は、上記要望に鑑みてなされたものであり、その課題は、転写ベルトの微視的な放電特性および電気特性を評価することができるシート部材の放電ムラ観察装置および観察方法並びに抵抗測定装置および測定方法を提案することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned demands, and the problem is that a discharge unevenness observation apparatus and observation method for a sheet member that can evaluate microscopic discharge characteristics and electrical characteristics of a transfer belt, and resistance measurement. It is to propose an apparatus and a measuring method.

上記課題を解決するため、本発明のシート部材の放電ムラ観察装置は、表面に透明また
は半透明の電極を有し、電極面が被観察シート部材面に対向して非接触に配置された透明
電極基板と、前記被観察シート部材の前記透明電極基板に対向する面とは反対側の面に接
触して配置された対向電極と、前記透明電極基板と前記対向電極との間に電位差を設けて
前記透明電極基板と前記被観察シート部材との間に放電光を発生させる手段と、この放電
光を前記透明電極基板を介し撮影する撮影手段とを有することを特徴とする。
この場合において、前記撮影手段で撮影される放電光の強度を倍増する光電子倍増手段
を備えていることが好ましい。前記撮影手段は、例えば前記光電子倍増手段の背後に配置
される。
また、前記光電子増倍手段を直列に複数個配置してもよい。
さらに、前記光電子増倍手段を、イメージインテンシファイアとすることができる。
さらにまた、前記透明電極基板の表面粗さは、算術平均高さR a で0 .5 m m 以下であることが好ましい。
In order to solve the above-mentioned problems, the discharge unevenness observation device for a sheet member of the present invention has a transparent or semi-transparent electrode on the surface, and the electrode surface is arranged in a non-contact manner facing the surface of the sheet member to be observed A potential difference is provided between the electrode substrate, the counter electrode disposed in contact with the surface of the sheet member to be observed opposite to the surface facing the transparent electrode substrate, and the transparent electrode substrate and the counter electrode. And means for generating discharge light between the transparent electrode substrate and the sheet member to be observed, and photographing means for photographing the discharge light through the transparent electrode substrate .
In this case, it is preferable that a photoelectron multiplying means for doubling the intensity of the discharge light photographed by the photographing means is provided. The photographing unit is disposed behind the photoelectron multiplying unit, for example.
A plurality of the photomultiplier means may be arranged in series.
Furthermore, the photomultiplier can be an image intensifier.
Further, the surface roughness of the transparent electrode substrate is preferably 0.5 mm or less in terms of arithmetic average height R a.

本発明のシート部材の放電ムラ観察方法は、表面に透明または半透明の電極を有する透
明電極基板の電極面を被観察シート部材面に対向して非接触に配置し、前記被観察シート
部材の前記透明電極基板に対向する面とは反対側の面に接触して対向電極を配置し、前記
透明電極基板と前記対向電極との間に電位差を設けて前記透明電極基板と前記被観察シート部材との間に発生する放電光を前記透明電極基板を介し撮影手段によって撮影し、撮影結果に基づいて被観察シート部材に発生する放電ムラを観察することを特徴とする。
この場合において、前記透明電極基板と前記被観察シート部材との間に発生する放電光
を光電子増倍手段によって増倍した後、前記撮影手段によって撮影することが好ましい。
また、前記透明電極基板と前記対向電極との間に交流バイアスを重畳印加するようにし
てもよい。
According to the discharge unevenness observation method for a sheet member of the present invention, the electrode surface of a transparent electrode substrate having a transparent or translucent electrode on the surface is disposed in a non-contact manner facing the surface of the sheet member to be observed. The counter electrode is disposed in contact with the surface opposite to the surface facing the transparent electrode substrate, and a potential difference is provided between the transparent electrode substrate and the counter electrode to provide the transparent electrode substrate and the observed sheet member. The discharge light generated between the two and the other is photographed by the photographing means through the transparent electrode substrate, and the discharge unevenness generated in the observation sheet member is observed based on the photographing result.
In this case, it is preferable that after the discharge light generated between the transparent electrode substrate and the sheet member to be observed is multiplied by the photomultiplier, the image is taken by the photographing means.
Further, an AC bias may be applied in a superimposed manner between the transparent electrode substrate and the counter electrode.

本発明のシート部材の抵抗測定装置は、表面に透明または半透明の電極を有し、電極面
が被抵抗測定シート部材面に対向して非接触に配設された透明電極基板と、前記被抵抗測
定シート部材の前記透明電極基板に対向する面とは反対側の面に接触して配置された対向
電極と、前記透明電極基板と前記対向電極との間に電位差を設けて前記透明電極基板と前
記被抵抗測定シート部材との間に放電光を発生させる手段と、この放電光を前記透明電極基板を介し撮影する撮影手段とを有することを特徴とする。
この場合において、前記撮影手段で撮影される放電光の強度を倍増する光電子倍増手段
を備えていることが好ましい。前記撮影手段は、例えば前記光電子倍増手段の背後に配置
される。
また、前記光電子増倍手段を直列に複数個配置してもよい。前記光電子増倍手段を複数
個直列に配設することによって、微弱な抵抗ムラをも測定することが可能となる。
さらに、前記光電子増倍手段を、イメージインテンシファイアとすることができる。光
電子増倍手段としてイメージインテンシファイアを用いることによって、高感度で、かつ
高時間分解能の抵抗または抵抗ムラ測定が可能となる。
さらにまた、前記透明電極基板の表面粗さは、算術平均高さR a で0 .5 m m 以下であることが好ましい。
The sheet member resistance measuring device of the present invention comprises a transparent electrode substrate having a transparent or semi-transparent electrode on the surface thereof, the electrode surface being disposed in a non-contact manner facing the surface of the resistance measuring sheet member, and the substrate A counter electrode disposed in contact with a surface opposite to the surface facing the transparent electrode substrate of the resistance measurement sheet member, and a potential difference is provided between the transparent electrode substrate and the counter electrode to provide the transparent electrode substrate. And means for generating discharge light between the resistance measurement sheet member and photographing means for photographing the discharge light through the transparent electrode substrate .
In this case, it is preferable that a photoelectron multiplying means for doubling the intensity of the discharge light photographed by the photographing means is provided. The photographing unit is disposed behind the photoelectron multiplying unit, for example.
A plurality of the photomultiplier means may be arranged in series. By arranging a plurality of the photomultiplier means in series, it is possible to measure even a slight resistance unevenness.
Furthermore, the photomultiplier can be an image intensifier. By using an image intensifier as the photoelectron multiplication means, it is possible to measure resistance or resistance unevenness with high sensitivity and high time resolution.
Further, the surface roughness of the transparent electrode substrate is preferably 0.5 mm or less in terms of arithmetic average height R a.

本発明のシート部材の抵抗測定方法は、表面に透明または半透明の電極を有する透明電
極基板の電極面を被抵抗測定シート部材面に対向して非接触に配置し、前記被抵抗測定シ
ート部材の前記透明電極基板に対向する面とは反対側の面に接触して対向電極を配置し、
前記透明電極基板と前記対向電極との間に電位差を設けて前記透明電極基板と前記被抵抗
測定シート部材との間に発生する放電光を前記透明電極基板を介し撮影手段によって撮影し、放電光の強度に基づいて前記シート部材の抵抗を求めることを特徴とする。
According to the sheet member resistance measuring method of the present invention, the electrode surface of the transparent electrode substrate having a transparent or translucent electrode on the surface is disposed in a non-contact manner facing the resistance measuring sheet member surface, and the resistance measuring sheet member A counter electrode in contact with the surface opposite to the surface facing the transparent electrode substrate,
An electric potential difference is provided between the transparent electrode substrate and the counter electrode, and the discharge light generated between the transparent electrode substrate and the resistance measurement sheet member is photographed by the photographing means through the transparent electrode substrate, and the discharge light The resistance of the sheet member is obtained based on the strength of the sheet.

この場合において、前記撮影手段により撮影された画像データと、予め用意した放電光の明度とシート部材抵抗との関係式に基づいて前記シート部材の抵抗を求めるようにしてもよい。また、前記撮影手段により撮影された画像データを画像処理して前記シート部材の抵抗を求めるようにすることもできる。
また、前記透明電極基板と前記被抵抗測定シート部材との間に発生する放電光を光電子増倍手段によって増倍した後、前記撮影手段によって撮影することが好ましい。
さらに、前記透明電極基板と前記対向電極との間に交流バイアスを重畳印加するようにしてもよい。
In this case, the resistance of the sheet member may be obtained on the basis of image data photographed by the photographing means and a relational expression between the brightness of the discharge light and the sheet member resistance prepared in advance. Further, the image data photographed by the photographing means may be subjected to image processing to obtain the resistance of the sheet member.
Further, it is preferable that after the discharge light generated between the transparent electrode substrate and the resistance measurement sheet member is multiplied by a photomultiplier, the image is taken by the photographing means.
Furthermore, an AC bias may be applied in a superimposed manner between the transparent electrode substrate and the counter electrode.

本発明のシート部材の放電ムラ観察装置および観察方法によれば、シート部材に発生する放電ムラを効率よく高感度で観察することができる。また本発明のシート部材の抵抗測定装置および測定方法によれば、シート部材の抵抗または抵抗ムラを効率よく検出することができる。   According to the discharge unevenness observation apparatus and observation method for a sheet member of the present invention, discharge unevenness generated in the sheet member can be efficiently observed with high sensitivity. Further, according to the sheet member resistance measuring apparatus and measuring method of the present invention, it is possible to efficiently detect the resistance or resistance unevenness of the sheet member.

以下、本発明の実施の形態について添付の図面を用いて詳細に説明する。図1は、本発明のシート部材の放電ムラ観察装置を示す概略図である。このシート部材の放電ムラ観察装置は、観察対象である転写ベルトなどから切り出されたサンプルシート1を対向電極2の上に置き、対向電極2に外部から電圧を印加することによってサンプルシート1とアースに短絡された透明電極基板としてのITO(Indium-Tin-Oxide)電極7との間に放電光を発生させ、この放電光を、ITO電極7の背後に設けられたミラー5を介してイメージインテンシファイア4に導入し、ここで増倍された放電画像を、撮影手段としてのCCDを内蔵するビデオカメラ3で取り込む構成となっている。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic view showing a discharge unevenness observation apparatus for a sheet member of the present invention. This discharge unevenness observation device for a sheet member places a sample sheet 1 cut out from a transfer belt or the like to be observed on a counter electrode 2, and applies a voltage to the counter electrode 2 from the outside to ground the sample sheet 1 and the ground. A discharge light is generated between the ITO (Indium-Tin-Oxide) electrode 7 as a transparent electrode substrate short-circuited to the electrode, and this discharge light is imaged through a mirror 5 provided behind the ITO electrode 7. The discharge image introduced into the tensiifier 4 and multiplied here is captured by a video camera 3 having a built-in CCD as a photographing means.

本装置では、微小な発光を捕らえるために、イメージインテンシファイア4(浜松フォトニクス(株)社製V1366P)を2つ直列に並べており、それぞれのイメージインテンシファイア4の入口側に像を結像するためにレンズ9(PENTAX社製、smc PENTAX-A DENTAL MACRO 1:4 100mm)とレンズ10(PENTAX社製、smc PENTAX-FA 1:2.8 50mm MACRO)が配設されている。サンプルシート1と透明電極7との距離は、ステッピングモーター12を用いてステージ8を動かすことにより、1μmのオーダーで制御され、ステッピングモーター12はステッピングモータコントローラ13(駿河精機(株)製ステッピングモーターコントローラD70)を介してパソコン14で制御される。なお、電極2に印加されるバイアスについてもアンプ11(トレック社製、MODEL677A)を介してパソコン14で制御される。   In this device, two image intensifiers 4 (V1366P manufactured by Hamamatsu Photonics Co., Ltd.) are arranged in series to capture minute light emission, and an image is formed on the entrance side of each image intensifier 4 For this purpose, a lens 9 (PENTAX, smc PENTAX-A DENTAL MACRO 1: 4 100 mm) and a lens 10 (PENTAX, smc PENTAX-FA 1: 2.850 mm MACRO) are provided. The distance between the sample sheet 1 and the transparent electrode 7 is controlled to the order of 1 μm by moving the stage 8 using the stepping motor 12, and the stepping motor 12 is a stepping motor controller 13 (stepping motor controller manufactured by Suruga Seiki Co., Ltd.). D70) is controlled by the personal computer 14. Note that the bias applied to the electrode 2 is also controlled by the personal computer 14 via the amplifier 11 (manufactured by Trek, MODEL677A).

本装置では最大ルミナンスゲインが6×10 (ft-L/ft-c)のイメージインテンシファイア4を直列に配置し、理論上3×10を超えるルミナンスゲインを得ることで、高感度かつ、高時間分解能でサンプルシート上の微細な放電ムラをも可視化することに成功した。当然のことながら、これと同等かそれ以上の性能を有するものであれば、どのようなイメージインテンシファイアを使用することも可能であり、また、大まかな放電ムラを観察する場合に関しては、より低いルミナンスゲインのものを使用することも可能である。
このような場合は、イメージインテンシファイアを複数個配置することなく、1つだけで観察することも可能であるが、少なくとも1×10 (ft-L/ft-c)以上のルミナンスゲインを有するイメージインテンシファイアを使用することが望ましい。なお、時間分解能を必要としない観察条件に関しては、イメージインテンシファイアの代わりに通常の銀円写真方式のカメラや、CCD、冷却CCD(例えば、Santa Barbara Instrument Group製ST-6)などを用い、露出時間を長くするなどして放電ムラを観察することも可能である。
In this device, image intensifiers 4 with a maximum luminance gain of 6 × 10 4 (ft-L / ft-c) are arranged in series to obtain a luminance gain that theoretically exceeds 3 × 10 9. We succeeded in visualizing fine discharge unevenness on the sample sheet with high time resolution. As a matter of course, any image intensifier can be used as long as it has a performance equal to or higher than this, and moreover, when observing rough discharge unevenness, It is also possible to use a low luminance gain.
In such a case, it is possible to observe only one image without arranging a plurality of image intensifiers, but at least a luminance gain of 1 × 10 4 (ft-L / ft-c) or more is required. It is desirable to use an image intensifier with. For observation conditions that do not require time resolution, instead of using an image intensifier, a normal silver circle camera, CCD, or cooled CCD (for example, ST-6 manufactured by Santa Barbara Instrument Group) is used. It is also possible to observe discharge unevenness by extending the exposure time.

本実施例では透明電極7としてITO電極を使用しているが、透明性を有する電極であればこれに限るものではなく、例えばガラスやプラスチックなどの透明材料上に金、銀、銅、アルミニウム、白金、インジウム、カーボンなどの様々な金属をナノメートルオーダで蒸着したものを使用することも可能である。ただし、透明電極の表面粗さがサンプルシートの放電ムラに影響するのを防ぐために、透明電極としては表面粗さの小さいものを使用する必要があり、本実施例ではJIS B 0601基準の算術平均高さRaで0.5mm以下のものを使用することによって、良好な放電光の観察を実現した。
また、本実施例ではサンプルシート1を導電性両面テープで対向電極2に固定したが、導電性接着剤(例えば、藤倉化成株式会社製ドータイト)や銀ペーストなどを用いて固定することも可能である。さらにサンプルシート1と電極2の密着性が十分な場合は、必ずしも固定する必要はない。
In this embodiment, an ITO electrode is used as the transparent electrode 7, but the electrode is not limited to this as long as the electrode has transparency. For example, gold, silver, copper, aluminum on a transparent material such as glass or plastic, It is also possible to use a material obtained by depositing various metals such as platinum, indium, and carbon on the nanometer order. However, in order to prevent the surface roughness of the transparent electrode from affecting the discharge unevenness of the sample sheet, it is necessary to use a transparent electrode having a small surface roughness. In this example, the arithmetic average based on JIS B 0601 By using a material having a height Ra of 0.5 mm or less, good discharge light observation was realized.
In this embodiment, the sample sheet 1 is fixed to the counter electrode 2 with a conductive double-sided tape. However, it is also possible to fix the sample sheet 1 using a conductive adhesive (for example, Dotite manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd.) or silver paste. is there. Furthermore, when the adhesiveness between the sample sheet 1 and the electrode 2 is sufficient, it is not necessarily fixed.

図2は、本実施例のシート部材の放電ムラ観察装置を用いて転写ベルトサンプルA、B、Cの、放電ムラを観察した結果を示す模式図である。サンプルA、Bは導電性カーボンが分散されたポリイミドベルトで、サンプルCはイオン導電性のPVDF(ポリビニリデンジフルオライド)ベルトで、各サンプルシートとITO電極の距離を20μm一定とし、印加バイアスを変化させて観察を行った。白い部分ほど強い放電光が観察された領域である。図示されるように、本実施例の放電ムラ観察装置を用いることによって、放電ムラやその発生傾向の電界依存性の違いを明確に確認できたことが分かる。
なお、サンプルシート内に抵抗が高い領域があったり、またはシートの裏面層に抵抗が高い層があったりして、直流バイアスでは継続的な放電が発生しないものに対しては、対向電極2に振幅の大きいACバイアスを重畳することによって連続的に放電を発生させることによって、放電ムラの傾向を見ることが可能になるため、放電ムラ観察時にACバイアスを使用することは非常に有効である。放電ムラの観察時は、直流バイアス成分のオフセット値や、交流成分の振幅、周波数などについて、様々な条件で測定することが望ましい。さらに、種々の長波長カットフィルタやバンドパスフィルタなどの光学フィルタを使用することによって、ノイズを抑えた観察が実現できる。
FIG. 2 is a schematic diagram showing the result of observing the discharge unevenness of the transfer belt samples A, B, and C using the sheet member discharge unevenness observation apparatus of this example. Samples A and B are polyimide belts in which conductive carbon is dispersed, and sample C is an ion conductive PVDF (polyvinylidene difluoride) belt. The distance between each sample sheet and the ITO electrode is constant at 20 μm, and the applied bias is Observations were made while changing. The white part is the region where strong discharge light was observed. As shown in the figure, it can be seen that by using the discharge unevenness observation apparatus of the present embodiment, the difference in electric field dependence of the discharge unevenness and its generation tendency can be clearly confirmed.
In the case where there is a region having a high resistance in the sample sheet or a layer having a high resistance on the back surface layer of the sheet and a continuous discharge does not occur with a DC bias, the counter electrode 2 By continuously generating a discharge by superimposing an AC bias having a large amplitude, it becomes possible to see the tendency of discharge unevenness. Therefore, it is very effective to use an AC bias when observing discharge unevenness. When observing discharge unevenness, it is desirable to measure the offset value of the DC bias component, the amplitude and frequency of the AC component under various conditions. Furthermore, by using optical filters such as various long-wavelength cut filters and bandpass filters, observation with reduced noise can be realized.

図3は、図1に示されるシート部材の放電ムラ観察装置を用いて撮影された放電光観察像に基づいてシート部材の抵抗を求めるシート材の抵抗測定方法を示す図である。平行平板間の空気ギャップに均一電界が働く状況では、空気ギャップ間の電位差が放電限界を超えると放電が発生するが、このような放電が一定の抵抗を有するサンプルシートと電極との間で発生する場合においては、単位時間当たりに発生する放電量は抵抗に依存して変化し、抵抗が高い材料ほど少なくなる。すなわち、予め一定の電界で発生する放電光の光強度と抵抗の関係が分かっていれば、観察される放電光の強度からサンプルシートの抵抗を求めることが可能になる。
本実施例では、図1の放電ムラ観察装置を用いて、サンプルシート上に発生する放電光を観察し、これに基づいてサンプルシートの抵抗を算出した。なお、図1に示されるビデオカメラ3で撮影された画像データは、本実施例ではパソコン14に取り込まれるようになっている。図4は、本発明方法を採用したシート部材の抵抗測定装置の動作フローを説明する図である。
FIG. 3 is a diagram showing a sheet material resistance measurement method for obtaining the resistance of the sheet member based on the discharge light observation image photographed using the discharge unevenness observation apparatus for the sheet member shown in FIG. In a situation where a uniform electric field acts on the air gap between parallel plates, discharge occurs when the potential difference between the air gaps exceeds the discharge limit. Such discharge occurs between the sample sheet having a certain resistance and the electrode. In this case, the amount of discharge generated per unit time varies depending on the resistance, and the material having a higher resistance becomes smaller. That is, if the relationship between the light intensity of the discharge light generated in a constant electric field and the resistance is known in advance, the resistance of the sample sheet can be obtained from the observed intensity of the discharge light.
In the present embodiment, the discharge light generated on the sample sheet was observed using the discharge unevenness observation apparatus of FIG. 1, and the resistance of the sample sheet was calculated based on this. Note that image data taken by the video camera 3 shown in FIG. 1 is taken into the personal computer 14 in this embodiment. FIG. 4 is a diagram for explaining the operation flow of the sheet member resistance measuring apparatus employing the method of the present invention.

図4において、先ず、シート部材の抵抗測定装置に付属のパソコンのキーボードを介してユーザからサンプルシートの厚さや、ITO電極との距離、印加バイアスなどの情報が入力される(ステップS1)。ユーザからデータが入力されると入力データに基づいて、サンプルシートとITO電極との距離が調整される(ステップS2)。次いで、サンプルシートが接触する対向電極に電圧を印加し、放電を発生させ(ステップS3)、CCDによって放電画像を撮影し(ステップS4)、撮影された放電画像データをパソコンへ転送する(ステップS5)。パソコンに転送されたデータは、画像処理されることによってグレースケール化され、明度情報に変換される(ステップS6)。次いで、得られた明度の値と、予め用意された抵抗−明度曲線から、サンプルシートの抵抗や抵抗ムラが算出される(ステップS7)。   In FIG. 4, first, information such as the thickness of the sample sheet, the distance from the ITO electrode, and the applied bias is input from the user via the keyboard of the personal computer attached to the sheet member resistance measuring device (step S1). When data is input from the user, the distance between the sample sheet and the ITO electrode is adjusted based on the input data (step S2). Next, a voltage is applied to the counter electrode in contact with the sample sheet to generate a discharge (step S3), a discharge image is captured by the CCD (step S4), and the captured discharge image data is transferred to a personal computer (step S5). ). The data transferred to the personal computer is converted into gray scale by image processing and converted into lightness information (step S6). Next, the resistance and resistance unevenness of the sample sheet are calculated from the obtained brightness value and a resistance-lightness curve prepared in advance (step S7).

本実施形態によれば、サンプルシート1の放電ムラを高感度で観察することができる。また、透明電極基板7と対向電極2との間に交流バイアスを重畳印加したので、直流バイアスでは継続的な放電が発生しないようなシート部材に関しても、シート部材表面に発生する放電ムラを観察することができる。
また、本実施形態によれば、イメージインテンシファイア4を複数個直列に配設したので、微弱な放電ムラをも観察してシート部材表面に発生する放電ムラを精度よく観察することができる。
さらにまた、透明電極基板の表面粗さを算術平均高さRaで0.5mm以下として平滑面を有するものとしたので、シート部材の抵抗ムラや形状のみに由来する放電ムラを観察することが可能となる。
According to this embodiment, the discharge unevenness of the sample sheet 1 can be observed with high sensitivity. In addition, since an AC bias is superimposed and applied between the transparent electrode substrate 7 and the counter electrode 2, discharge unevenness generated on the surface of the sheet member is observed even with respect to a sheet member that does not generate continuous discharge with the DC bias. be able to.
Further, according to the present embodiment, since a plurality of image intensifiers 4 are arranged in series, it is possible to observe even weak discharge unevenness and accurately observe discharge unevenness generated on the surface of the sheet member.
Furthermore, since the surface roughness of the transparent electrode substrate has an arithmetic average height Ra of 0.5 mm or less and has a smooth surface, it is possible to observe unevenness in the resistance of the sheet member and unevenness in discharge due to the shape alone. It becomes.

本実施形態においては、実際に発生している放電光の光強度と撮影された画像の明度とが比例する必要があるため、イメージインテンシファイアのルミナンスゲインは一定でなければならない。そのため、イメージインテンシファイアが自動的にルミナンスゲインを調整するような条件では、本実施形態方法を適用することは困難である。また、時間分解能を必要としない測定条件に関しては、イメージインテンシファイアの代わりに通常の銀円写真方式のカメラや、CCD、冷却CCDなどを用い、露出時間を長くするなどして放電ムラを観察することも可能である。
本実施形態において、抵抗測定時におけるサンプルシートの表面粗さが大きいと、シート表面の凸部で局所的な放電が発生するために、光強度と抵抗の相関をとることが困難になることから、サンプルシートの表面粗さは小さいことが望ましく、JIS B 0601基準の算術平均高さがRaで1.5mm以下であることが望ましい。なお、本実施形態において、種々の長波長カットフィルタやバンドパスフィルタなどの光学フィルタを使用し、放電光以外の測定ノイズを抑えるのも有効である。
In the present embodiment, the light intensity of the actually generated discharge light needs to be proportional to the brightness of the captured image, so the luminance gain of the image intensifier must be constant. Therefore, it is difficult to apply the method of the present embodiment under the condition that the image intensifier automatically adjusts the luminance gain. For measurement conditions that do not require time resolution, use an ordinary silver circle camera, CCD, or cooled CCD instead of an image intensifier to observe discharge unevenness by increasing the exposure time. It is also possible to do.
In the present embodiment, if the surface roughness of the sample sheet at the time of resistance measurement is large, local discharge occurs at the convex portion of the sheet surface, making it difficult to correlate light intensity with resistance. The surface roughness of the sample sheet is desirably small, and the arithmetic average height based on JIS B 0601 is desirably 1.5 mm or less in terms of Ra. In this embodiment, it is also effective to suppress measurement noise other than the discharge light by using various optical filters such as a long wavelength cut filter and a band pass filter.

図5は、本発明におけるシート部材の放電ムラ観察装置の変形例を示す図である。図5において、この装置はミラーを配設せず、レンズ109やイメージインテンシファイア104、CCDカメラ103などをベルトに対して垂直に置くことによって、省スペースが図られている。
また、図6は、本発明におけるシート部材の放電ムラ観察装置の別の変形例を示す図である。図6において、この装置は無端ベルトからサンプルシートを切り出すことなく、放電ムラが観察できるように、ベルトを保持する為のローラが配設されている。ローラを駆動することによって、観察位置を変えることが可能である。ベルトとITO電極207との距離は、ITO電極207の位置をステッピングモーター212で動かすことよって調整される。
FIG. 5 is a view showing a modification of the discharge unevenness observation apparatus for sheet members in the present invention. In FIG. 5, this apparatus is not provided with a mirror, and space is saved by placing a lens 109, an image intensifier 104, a CCD camera 103, etc. perpendicular to the belt.
FIG. 6 is a view showing another modification of the discharge unevenness observation apparatus for sheet members in the present invention. In FIG. 6, this apparatus is provided with a roller for holding the belt so that discharge unevenness can be observed without cutting the sample sheet from the endless belt. The observation position can be changed by driving the roller. The distance between the belt and the ITO electrode 207 is adjusted by moving the position of the ITO electrode 207 with the stepping motor 212.

本発明に係るシート部材の放電ムラ観察装置を示す概略図である。It is the schematic which shows the discharge nonuniformity observation apparatus of the sheet | seat member which concerns on this invention. 転写ベルトサンプルA、B、Cの放電ムラ観察結果を示す模式図である。It is a schematic diagram showing discharge unevenness observation results of transfer belt samples A, B, and C. 放電ムラ観察装置で撮影された放電光観察像に基づいてシート部材の抵抗を求めるシート材の抵抗測定方法を示す図である。It is a figure which shows the resistance measurement method of the sheet | seat material which calculates | requires resistance of a sheet | seat member based on the discharge light observation image image | photographed with the discharge nonuniformity observation apparatus. 本発明に係るシート部材の抵抗測定装置の動作フローを説明する図である。It is a figure explaining the operation | movement flow of the resistance measuring apparatus of the sheet | seat member which concerns on this invention. 本発明におけるシート部材の放電ムラ観察装置の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the discharge nonuniformity observation apparatus of the sheet | seat member in this invention. 本発明におけるシート部材の放電ムラ観察装置の別の変形例を示す図である。It is a figure which shows another modification of the discharge nonuniformity observation apparatus of the sheet | seat member in this invention. JIS K 6911法に基づく表面抵抗率測定装置を示す図である。It is a figure which shows the surface resistivity measuring apparatus based on JISK6911 method. JIS K 6911法に基づく体積抵抗率測定装置を示す図である。It is a figure which shows the volume resistivity measuring apparatus based on JISK6911 method.

符号の説明Explanation of symbols

1、101、201:サンプルシート
2、102、202:対向電極
3、103、203:ビデオカメラ
4、104、204:イメージインテンシファイア
5:ミラー
6、106:固定台
7、107、207:透明電極基板(ITO電極)
8、108:ステージ
9、109、209:レンズ
10:レンズ
11、111、211:アンプ
12、112、212:ステッピングモーター
13、113、213:ステッピングモーターコントローラー
14、114、214:パソコン
21:試料
22:表面電極
23:裏面電極
24:ガード電極
1, 101, 201: Sample sheet 2, 102, 202: Counter electrode 3, 103, 203: Video camera 4, 104, 204: Image intensifier 5: Mirror 6, 106: Fixing base 7, 107, 207: Transparent Electrode substrate (ITO electrode)
8, 108: Stage 9, 109, 209: Lens 10: Lens 11, 111, 211: Amplifier 12, 112, 212: Stepping motor 13, 113, 213: Stepping motor controller 14, 114, 214: Personal computer 21: Sample 22 : Front electrode 23: Back electrode 24: Guard electrode

Claims (18)

表面に透明または半透明の電極を有し、電極面が被観察シート部材面に対向して非接触
に配置された透明電極基板と、前記被観察シート部材の前記透明電極基板に対向する面と
は反対側の面に接触して配置された対向電極と、前記透明電極基板と前記対向電極との間
に電位差を設けて前記透明電極基板と前記被観察シート部材との間に放電光を発生させる
手段と、この放電光を前記透明電極基板を介し撮影する撮影手段とを有する
ことを特徴とするシート部材の放電ムラ観察装置。
A transparent electrode substrate having a transparent or semi-transparent electrode on the surface, the electrode surface facing the surface of the observation sheet member and arranged in a non-contact manner, and the surface of the observation sheet member facing the transparent electrode substrate; Produces a discharge light between the transparent electrode substrate and the observed sheet member by providing a potential difference between the counter electrode arranged in contact with the opposite surface and the transparent electrode substrate and the counter electrode. A discharge unevenness observation apparatus for a sheet member, characterized in that the discharge member has a photographing means for photographing the discharge light through the transparent electrode substrate .
前記撮影手段で撮影される放電光の強度を倍増する光電子倍増手段を備えている
ことを特徴とする請求項1に記載のシート部材の放電ムラ観察装置。
2. The discharge unevenness observation apparatus for a sheet member according to claim 1, further comprising photoelectron doubling means for doubling the intensity of the discharge light photographed by the photographing means.
前記光電子増倍手段が直列に複数個配置されている
ことを特徴とする請求項2に記載のシート部材の放電ムラ観察装置。
The discharge unevenness observation apparatus for a sheet member according to claim 2, wherein a plurality of the photomultiplier means are arranged in series.
前記光電子増倍手段は、イメージインテンシファイアである
ことを特徴とする請求項2または3に記載のシート部材の放電ムラ観察装置。
4. The discharge unevenness observation apparatus for a sheet member according to claim 2, wherein the photomultiplier is an image intensifier.
前記透明電極基板の表面粗さは、算術平均高さR a で0 .5 m
m 以下である
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のシート部材の放電ムラ観察装置。
The surface roughness of the transparent electrode substrate is 0.5 m in terms of arithmetic average height R a.
The discharge unevenness observation device for a sheet member according to any one of claims 1 to 4, wherein m is 1 or less.
表面に透明または半透明の電極を有する透明電極基板の電極面を被観察シート部材面に
対向して非接触に配置し、前記被観察シート部材の前記透明電極基板に対向する面とは反
対側の面に接触して対向電極を配置し、前記透明電極基板と前記対向電極との間に電位差
を設けて前記透明電極基板と前記被観察シート部材との間に発生する放電光を前記透明電極基板を介し撮影手段によって撮影し、撮影結果に基づいて被観察シート部材に発生する放電ムラを観察する
ことを特徴とするシート部材の放電ムラ観察方法。
The electrode surface of the transparent electrode substrate having a transparent or translucent electrode on the surface is disposed in a non-contact manner facing the surface of the observation sheet member, and is opposite to the surface of the observation sheet member facing the transparent electrode substrate the counter electrode was placed in contact with the surface, the transparent electrode discharge light generated between the object to be observed sheet member and the transparent electrode substrate provided with a potential difference between the counter electrode and the transparent electrode substrate A discharge unevenness observation method for a sheet member, characterized in that the discharge unevenness generated in the observed sheet member is observed based on the result of the image pickup by a photographing means through a substrate .
前記透明電極基板と前記被観察シート部材との間に発生する放電光を光電子増倍手段に
よって増倍した後、前記撮影手段によって撮影する
ことを特徴とする請求項6に記載のシート部材の放電ムラ観察方法。
The discharge of the sheet member according to claim 6, wherein the discharge light generated between the transparent electrode substrate and the observation sheet member is multiplied by the photomultiplier and then photographed by the photographing means. Unevenness observation method.
前記透明電極基板と前記対向電極との間に交流バイアスを重畳印加する
ことを特徴とする請求項6 または7に記載のシート部材の放電ムラ観察方法。
The method for observing discharge unevenness of a sheet member according to claim 6 or 7, wherein an alternating current bias is applied in a superimposed manner between the transparent electrode substrate and the counter electrode.
表面に透明または半透明の電極を有し、電極面が被抵抗測定シート部材面に対向して非
接触に配設された透明電極基板と、前記被抵抗測定シート部材の前記透明電極基板に対向
する面とは反対側の面に接触して配置された対向電極と、前記透明電極基板と前記対向電
極との間に電位差を設けて前記透明電極基板と前記被抵抗測定シート部材との間に放電光
を発生させる手段と、この放電光を前記透明電極基板を介し撮影する撮影手段とを有することを特徴とするシート部材の抵抗測定装置。
A transparent electrode substrate having a transparent or semi-transparent electrode on the surface, the electrode surface facing the surface of the resistance measurement sheet member and arranged in a non-contact manner, and the surface of the resistance measurement sheet member facing the transparent electrode substrate A counter electrode disposed in contact with the surface opposite to the surface to be connected, and a potential difference between the transparent electrode substrate and the counter electrode, and between the transparent electrode substrate and the resistance measurement sheet member An apparatus for measuring resistance of a sheet member, comprising: means for generating discharge light; and photographing means for photographing the discharge light through the transparent electrode substrate .
前記撮影手段で撮影される放電光の強度を倍増する光電子倍増手段を備えている
ことを特徴とする請求項9に記載のシート部材の抵抗測定装置。
10. The sheet member resistance measuring device according to claim 9, further comprising photoelectron multiplying means for doubling the intensity of the discharge light photographed by the photographing means.
前記光電子増倍手段が直列に複数個配置されている
ことを特徴とする請求項10 に記載のシート部材の抵抗測定装置。
11. The sheet member resistance measuring apparatus according to claim 11, wherein a plurality of the photomultiplier means are arranged in series.
前記光電子増倍手段は、イメージインテンシファイアである
ことを特徴とする請求項10または11に記載のシート部材の抵抗測定装置。
12. The sheet member resistance measurement apparatus according to claim 10, wherein the photomultiplier is an image intensifier.
前記透明電極基板の表面粗さは、算術平均高さR a で0 .5 m
m 以下である
ことを特徴とする請求項9乃至12のいずれか1 項に記載のシート部材の抵抗測定装置。
The surface roughness of the transparent electrode substrate is 0.5 m in terms of arithmetic average height R a.
The sheet member resistance measuring device according to any one of claims 9 to 12, wherein m or less.
表面に透明または半透明の電極を有する透明電極基板の電極面を被抵抗測定シート部材
面に対向して非接触に配置し、前記被抵抗測定シート部材の前記透明電極基板に対向する
面とは反対側の面に接触して対向電極を配置し、前記透明電極基板と前記対向電極との間
に電位差を設けて前記透明電極基板と前記被抵抗測定シート部材との間に発生する放電光
前記透明電極基板を介し撮影手段によって撮影し、放電光の強度に基づいて前記シート部材の抵抗を求める
ことを特徴とするシート部材の抵抗測定方法。
The electrode surface of the transparent electrode substrate having a transparent or translucent electrode on the surface is disposed in a non-contact manner facing the resistance measurement sheet member surface, and the surface of the resistance measurement sheet member facing the transparent electrode substrate is Disposing a counter electrode in contact with the opposite surface, providing a potential difference between the transparent electrode substrate and the counter electrode, and generating discharge light generated between the transparent electrode substrate and the resistance measurement sheet member A sheet member resistance measuring method, wherein the sheet member is photographed through the transparent electrode substrate and the resistance of the sheet member is obtained based on the intensity of the discharge light.
前記撮影手段により撮影された画像データと、予め用意した放電光の明度とシート部材
抵抗との関係式に基づいて前記シート部材の抵抗を求める
ことを特徴とする請求項14に記載のシート部材の抵抗測定方法。
15. The sheet member according to claim 14, wherein the resistance of the sheet member is obtained based on image data photographed by the photographing means, and a relational expression between lightness of discharge light and sheet member resistance prepared in advance. Resistance measurement method.
前記撮影手段により撮影された画像データを画像処理して前記シート部材の抵抗を求め

ことを特徴とする請求項14に記載のシート部材の抵抗測定方法。
The sheet member resistance measurement method according to claim 14, wherein image data captured by the imaging unit is subjected to image processing to determine the resistance of the sheet member.
前記透明電極基板と前記被抵抗測定シート部材との間に発生する放電光を光電子増倍手
段によって増倍した後、前記撮影手段によって撮影する
ことを特徴とする請求項14乃至16のいずれか1項に記載のシート部材の抵抗測定方法。
After multiplied by the photomultiplier means the discharge light generated between the target resistance measurement sheet member and the transparent electrode substrate, any one of claims 14 to 16, characterized in that captured by the imaging unit 1 The sheet member resistance measurement method according to the item.
前記透明電極基板と前記対向電極との間に交流バイアスを重畳印加する
ことを特徴とする請求項14乃至17 のいずれか1項に記載のシート部材の抵抗測定方法。


Resistance measurement method of the sheet member according to any one of claims 14 to 17, characterized in that superimposed applying an AC bias between the counter electrode and the transparent electrode substrate.


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