JPH09210016A - スケール内蔵ピストンロッドシリンダー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のピストンロッドと同形状で、堅牢、長
寿命、高感度、のスケール付きピストンロッドシリンダ
ーを提供すること。 【解決手段】 油圧、空気圧等の流体圧力により駆動す
るピストンを有するピストンロッドシリンダーにおい
て、そのピストンロッドの内部に、該ピストンロッドの
長手方向に沿って空洞を形成し、その空洞に磁気式の測
長スケールデバイスを組み込む。該スケールデバイスは
直接又は押さえ板を介して支持部材（押さえバネ）によ
って支持する。該ピストンロッドの外部に配設された磁
気検出型ヘッドによって、ピストンロッド材を通過した
磁気信号として、上記スケールデバイスの磁気目盛りを
検出できるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ピストンロッド内
部に磁気式のスケールを内蔵させ、その磁気メモリをピ
ストンロッド外部に位置する磁気検出ヘッドにより検出
するようにしたピストンロッドタイプシリンダーに関す
る。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】従来、ピストンロッド
シリンダーに測長機能を持ったものの基本構造は、次の
ようなものである。 （ａ）ピストンロッド表面に磁性メッキを施し、そこに
スケール目盛りを記録したもの。 （ｂ）ピストンロッド表面に長手方向に溝を入れ、そこ
に磁性材料を組み込み、記録したもの。 （ｃ）ピストンロッド自体を磁性材で作り、記録したも
の。 （ｄ）ピストンロッド横方向に櫛歯状に溝をいれ、磁性
変化を持たせたもの。

【０００３】しかし、これらのものは、下記のような欠
点を有している。 （ａ−１）上記（ａ）に記したような磁性メッキを施し
たものでは、良好な出力特性を得ることは困難であり、
従って、高出力は得られない。 （ａ−２）また、磁性メッキの耐環境性が悪く、使用条
件によってはメッキ面に錆がでたり、剥離したりするこ
とがある。 （ａ−３）また、磁性メッキを施すために、製造工程に
おいてメッキ設備が必要になり、それだけ製品のコスト
アップになる。

【０００４】（ｂ−１）上記（ｂ）に記したような磁性
材料を組み込むものとしては、組み込む磁性材料とし
て、プラスチックマグネット、ゴム磁石を用いることが
できるが、これらの材料を利用した場合には、その磁性
材料自体が柔らかい材質なので、長期間使用すると摩耗
してスケール出力が低下してしまう。また、切粉、鉄粉
等で傷がつきやすい。 （ｂ−２）油圧シリンダーや油分の入ったエアシリンダ
ーの場合、上記プラスチックマグネットやゴム磁石等の
材質では油分を吸い込み膨張してしまい、シリンダーの
動きが悪化するとともに、スケール精度も悪くなる。

【０００５】（ｃ−１）上記（ｃ）に記したようにピス
トンロッド自体を磁性材料で作ることもできるが、中
型、大型のピストンロッドを磁性材で作ることは、現在
の技術の発展状況においては、生産面での諸問題を考え
ると、まだ充分な対応ができていない。 （ｃ−２）材質についても、磁気特性、耐摩耗性、剛性
等の点で検討する必要がある。

【０００６】（ｄ−１）上記（ｄ）に記したとおり、ピ
ストンロッドの横方向に櫛歯状の溝を形成することも考
えられているが、櫛歯状に正確なピッチで溝加工するこ
とで、高い精度のスケールを得ることには限界があっ
た。 （ｄ−２）櫛歯の溝部をピストンロッド径に合わせ、埋
める必要があるが、この部分の材料選定によっては、摩
耗、欠け落ち等に起因するトラブルにつながり、長期信
頼性の面で問題があった。

【０００７】このように、上記の従来方式は、いずれも
ピストンロッド表面を加工しており、それ自体にスケー
ル目盛を作成しているといえる。本発明は、上述の従来
のピストンロッドの欠点を克服した、長寿命で、かつ、
外見上はスケールの付いていないピストンロッドと同様
に扱うことのできるスケール内蔵ピストンロッドシリン
ダーを提供することを課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、本発明によるピストンロッドシリンダーは、その
ピストンロッド内部に独立したスケールを組み込んであ
る。

【０００９】その具体的な構成について述べると、本発
明が対象とするピストンロッドシリンダーは、流体駆動
を行うピストンロッドシリンダーであって、そのピスト
ンロッドの内部に、その長手方向に沿って形成された空
洞と、その空洞に組み込まれた磁気式の測長スケールデ
バイスと、そのスケールデバイスを支持するための支持
部材とを備え、そのピストンロッドの外部に配設された
磁気検出型ヘッドによって、ピストンロッド材を通過し
た磁気信号として、上記スケールデバイスの磁気目盛り
を検出できるようになっている。

【００１０】スケールは、ピストンロッド材で覆われて
おり、切粉、油等の外部からのスケールに対する影響は
なく、従来どおりの使用環境に耐えるピストンロッドシ
リンダーとして使用できる。

【００１１】ピストンロッド内部に組み込んだスケール
より出る磁気信号は、ピストンロッド材（ステンレス合
金、アルミ合金、銅合金、亜鉛合金、ガラス、セラミッ
ク、プラスチック等の非磁性材が好ましい）を通過して
磁気検出ヘッドに入る構造となっているので、ピストン
ロッド自体に記録したり、目盛り加工したりする必要は
ない。

【００１２】また、スケール材は金属製磁性材にとらわ
れず、現在利用されているプラスチックマグネットやゴ
ム磁石等が問題なく使用できるので、生産性が良く、低
コストでの生産が可能である。

【００１３】本発明の一観点によれば、上記スケール内
蔵ピストンロッドシリンダーにおいて、前記ピストンロ
ッドの長手方向に形成した空洞の、上記磁気検出型ヘッ
ドに近接する側壁に長手方向に溝を形成し、該溝内に測
長スケールデバイスを埋め込む構造とするのが好まし
い。

【００１４】本発明の他の観点によれば、上記スケール
内蔵ピストンロッドシリンダーにおいて、ピストンロッ
ドに組み込まれたスケールと磁気検出ヘッドとの間のギ
ャップを一定に保つために、シリンダー内にピストンロ
ッドと平行に少なくとも１本のガイドロッドを設ける
か、シリンダー内側形状及びピストンを異形にするかし
て、ピストンロッドの回転を防止するように構成するの
が好ましい。

【００１５】本発明の更に他の観点によれば、上記スケ
ール内蔵ピストンロッドシリンダーにおいて、前記支持
部材は、波形の押さえバネ、コイルスプリングの側面を
利用した押さえバネ、ゴムウレタン等の弾力を利用した
押さえバネ、プラスチック（樹脂）成形による弾力を利
用した押さえバネ等の弾性体で作るのが好ましい。

【００１６】

【発明の実施の形態】次に、本発明のスケール内蔵ピス
トンロッドシリンダーの種々の実施形態について説明す
る。図１は、本発明のスケール内蔵ピストンロッドシリ
ンダーの一実施形態におけるシリンダーの構造を示す断
面図である。

【００１７】同図に示すとおり、ピストンロッド６は、
本実施の形態においては、中空パイプで構成されてお
り、そのパイプ内壁に長手方向に沿って溝が設けられ、
その溝の中にスケール２及びスケール押さえ１９を設置
し、それらをスケール押さえバネ４（支持部材）で溝内
のパイプ内壁に押しつけるようにして保持している。な
お、スケール押さえ１９は必須の部材ではなく、スケー
ルの厚みや機械的強度によっては省略することもでき
る。

【００１８】ピストンロッド６の前方先端にはピストン
ロッドネジ５がネジ止めされている。また、このピスト
ンロッド６の後方端部には止めナット７でピストン２０
が取り付けられている。ピストンロッド６とピストン２
０の間にはＯリング１７が設けられており、ピストン２
０とシリンダー８との間にはシーリング１８が入ってい
る。

【００１９】ピストン２０には、ガイドロッド３を通す
孔が２個所開いており、その孔に２本のガイドロッド３
の各一端が嵌入されている。これら２本のガイドロッド
３は、ピストンロッド６を中心にしてその両側に配置さ
れており、夫々の他端が前部ブラケット１２に設けた対
応する２つの孔に嵌入されている。これらのガイドロッ
ド３により、ピストンロッド６の回転が防止される。前
部ブラケット１２には、ピストンロッド６との間にＯリ
ング１６が設けられており、シリンダー８との間にＯリ
ング２１が設けられている。

【００２０】ピストンロッド６は、シリンダー８内を長
手方向に往復移動するように配設されているが、このピ
ストンロッド６がシリンダー８内をその中心軸に沿って
移動するように芯合わせをするためにガイドブッシュ９
が設けられている。このガイドブッシュ９には、ダスト
シール１４及びＹパッキン１５が付いている。

【００２１】このガイドブッシュ９はフランジ部１０に
固定され、このフランジ部１０には、前記スケール２の
面から規定ギャップに合わせて磁気ヘッド１が取り付け
られている。シリンダー８の他端には後部ブラケットが
付いていて、この後部ブラケット１１とシリンダー８の
間にはＯリング２２が入っている。

【００２２】ガイドブッシュ９、前部ブラケット１２、
シリンダー８、後部ブラケット１１は、４本のボルト１
３でフランジ部１０に取り付けられている。

【００２３】次に、図２を参照して、本発明のスケール
内蔵ピストンロッドシリンダーの使用例を説明する。同
図に示すように、ピストンロッド２０３に内蔵されたス
ケール２０２を検出ヘッド２０１で読み取り、ディテク
タ回路２１１に送り、Ａ／Ｂ相信号、ＳＩＮ／ＣＯＳ信
号等の信号として、プログラムコントローラ２１２に送
る。

【００２４】プログラムコントローラ２１２は、ディテ
クタ２１１から送られて来るピストンロッド移動に関す
る検出信号を受信し、位置表示信号としてカウンター２
１３に転送したり、電磁弁２０９の開閉動作を行うため
の制御信号を送出したりする。

【００２５】例えば、位置決めについて説明すると、ピ
ストンロッドが或位置にある時に、その点の位置を読み
取り、これを基準の位置とし、プログラムコントローラ
２１２の中に記憶し、次に、プログラムコントローラ２
１２から制御信号を送出して電磁弁２０９を開いて、油
圧又は空気圧等の流体圧ポンプ２１０から前部ブラケッ
ト２０６と後部ブラケット２０５の中の一方のブラケッ
トの流体（油等）出入口２０７又は２０８に圧搾流体
（油等）を送り他方２０８又は２０７から排出すること
により、ピストンロッド２０３を所望の方向に動かし、
その移動量をスケール読み取り装置（検出ヘッド２０
１、ディテクタ２１１）によって読み取って、上記プロ
グラムコントローラに送る。プログラムコントローラ２
１２は、ピストンロッドが所望の位置に来たと判断した
時、制御信号を出して電磁弁を閉じて、ピストンロッド
をその位置で止めるように制御する。

【００２６】これらの制御は、ピストンロッド２０３の
動作特性に応じて、制御信号のタイミング、油圧等につ
いて予め測定して記憶しておくことにより、それらの記
憶されたデータを使って自動的に行うことができる。こ
の制御に必要な演算、判定等の機能はこのプログラムコ
ントローラの中に備えている。また、サーボバルブやシ
ーケンサと組み合わせることにより、高い精度の位置制
御も可能となる。

【００２７】次に、この装置を計測に使用する場合につ
いて簡単に説明すると、ピストンロッドは基準位置から
被測定対象の位置まで動いてそこで機械的に止められる
ので、その時のスケールの値を読むことにより、被測定
対象の位置、移動量、動きの速度等を測定することがで
きる。

【００２８】次に、本発明のスケール内蔵ピストンロッ
ドシリンダーの動作について説明する。再び図１を参照
すると、前部ブラケット１２と後部ブラケット１１には
夫々作動用流体（油又は空気）の出入口ａ，ｂが設けら
れており、これらの出入口はシリンダーの内部とつなが
っている。

【００２９】前部ブラケット１２には、ピストンロッド
６が通っていて、このピストンロッド６の前方の端は、
Ｙパッキン１５、Ｏリング１６等でシールされており、
他方の端には止めナット７によってピストン２０が取り
付けてある。ピストン２０はシリンダーの内壁に当接
し、前部ブラケット１２側の空間と後部ブラケット１１
側の空間を隔離している。

【００３０】従って、後部ブラケット１１の作動用流体
出入口ａより作動流体が注入されると、シリンダー８内
に作動流体が入って行き、その圧力でピストン２０が押
され、そのピストン２０が前方に動く。それに伴なって
ピストン２０と一体になっているピストンロッド６も前
方に動く。この時、ピストンロッド６に内蔵されたスケ
ール２から、スケール目盛り信号が検出ヘッド１に伝わ
ることになる。

【００３１】ピストン２０には、ピストンロッド６を中
心にしてそのほぼ両側に該ピストンロッドと平行に配置
された２本のガイドロッド３が貫通する孔が設けられて
おり、それらのガイドロッドの各々の一方の端は、これ
らの孔に貫通しており、他方の端は前記前部ブラケット
に植設されている。

【００３２】従って、それらのガイドロッド３によりピ
ストン２０は、その中心軸の回り方向の動きが阻止され
ている。これにより、ピストンロッド６内に押さえバネ
４によって取り付けてあるスケール２は検出ヘッド１の
検出面に対して一定の検出ギャップを保って、スケール
信号を出しながら動くことができる。前部ブラケット１
２の出入口ｂからはシリンダー８内にあった作動流体が
出て行く。

【００３３】同様に、出入口ｂから作動流体が入って行
くと、ピストン２０はシリンダー８内を後方に向かって
動き、これに伴ってスケール信号が出ることになる。

【００３４】次に、スケール内蔵ピストンロッドシリン
ダーの検出部について、図３を参照して、説明する。ピ
ストンロッド３０１の内部に長手方向に空洞３０２が形
成され、その空洞の一部にピストンロッドの長手方向に
沿った溝３０６を形成し、その溝の中に、スケール３０
３をその押さえ板３０４とともに収納し、押さえバネ３
０５によって押さえている。

【００３５】スケールには、高磁力で長波長の記録を行
い、更に、検出ヘッドのデバイスとして高感度のＭＲ素
子を使用することにより、検出ギャップを広くとること
ができる（例えばスケールの記録波長が４ｍｍに対して
ギャップ幅が１〜２ｍｍ程度）。

【００３６】検出ヘッドは、基板３０９上にＭＲ素子３
０７と、該ＭＲ素子で検出した信号の増幅回路等を含む
回路部品３０８が一体となって取り付けられており、該
基板３０９のＭＲ素子と反対側に、検出信号取り出しの
ためのリードケーブル３１３が取り付けられている。基
板３０９はケース３１０内に収納され、エポキシ樹脂３
１２でモールドされている。この構造によりコンパクト
で耐環境性の良好な検出ヘッド（センサー）が得られ
る。

【００３７】スケール媒体（スケール３０３を構成する
記録媒体）への記録波長を短くし、分解能を上げると出
力が低くなるので、検出ギャップも小さくなってくる。
この場合、図４に示すように、スケール３０３の上方の
ピストンロッドを削ることによりスケール３０３とＭＲ
素子３０７の間の距離を小さくすることにより対応する
ことができる。また、この形状は後述するとおりピスト
ンロッドの外周表面の形状が中心軸に対して対称となっ
ていないのでピストンロッドの回転を防止する作用もあ
わせて持つことになる。

【００３８】次に、ピストンロッドの径が太い場合につ
いて、図５を参照して、説明する。同図に示すとおり、
ピストンロッド５０１は径が大きいので、スケールを収
納するための空洞の大きさはピストンロッドの大きさに
比べて非常に小さくなる。従って、スケールを検出ヘッ
ドの近くに設置するためには、空洞の位置はピストンロ
ッド５０１の中心よりも外周表面に近い位置に設けなけ
ればならない。

【００３９】空洞内に溝を設けてスケール５０２、押さ
え板５０３を収納して押さえバネ５０４によって支持す
る構造は、図３、図４を参照して前述したのと同じ構成
でよい。

【００４０】上述の説明から明らかなとおり、ピストン
ロッド内部に配置されるスケールの位置は、そのスケー
ルを読み取る検出ヘッドに近接した位置でなければなら
ない。しかしながら、ピストンロッドがその中心軸の回
りに回転すると、スケールと検出ヘッドの間の距離がく
るってしまい、検出された信号の信頼性が低下してしま
う。そこで、本発明のピストンロッドシリンダーにおい
ては、ロッドの回転を防止するための対策が考えられて
いる。

【００４１】次に、図６を参照して、ピストンロッドの
回転を防止するためにガイドロッドを設けた例について
説明する。同図において、ピストンロッド６０１、ピス
トン６０２、Ｙパッキン６０３，６０９、前部ブラケッ
ト６０４、後部ブラケット６０５、シリンダー６０６は
前述の構成と同様の構成になっているので詳しい説明は
省略する。

【００４２】図６に示す例においては、前部ブラケット
６０４と後部ブラケット６０５の間には２本のガイドロ
ッド６０８が設けられている。これらのガイドロッド
は、その一端が前部ブラケットに押しネジ６０７で止め
たれている。これらのガイドロッド６０８の他端は、後
部ブラケットに設けた対向する孔に挿入されている。後
部ブラケット側の孔はガイドロッド径より少々大きくし
ておき、ピストンの変動に対して、ガイドロッドのしな
りにより、追従するようにしておく。

【００４３】これらのガイドロッド６０８は、ピストン
ロッドに平行になるように配列されており、ピストン６
０２に開けた孔を通り、後部ブラケット６０５の孔に入
っている。ピストン部両端にはＹパッキン６０３，６０
９が取り付けてあり、ガイドロッドとピストン孔部をシ
ールしている。これにより、ピストンの動きがスムーズ
になる。

【００４４】上述の説明では、後部ブラケットに設けた
ガイドロッド用の孔はガイドロッドの径よりも少し大き
目に形成されている場合について説明したが、より高精
度な位置精度が要求される場合には、ピストンロッドシ
リンダーを構成する部品の精度を上げるとともに、後部
ブラケット部でもガイドロッドを押しネジでとめる必要
がある。なお、図６においては、ガイドロッドが２本の
場合を示しているが、このガイドロッドはピストンロッ
ド６の回転防止が目的であるので１本の場合または３本
以上の場合も考えられる。

【００４５】次に、図７を参照して、ガイドロッドを使
用せずに、シリンダー内部形状及びピストンを異形にし
て回転を防止した場合について説明する。同図におい
て、ピストンロッド７０１、ピストン７０２、Ｙパッキ
ン７０３、前部ブラケット７０４、後部ブラケット７０
５、シリンダー７０６は図６を参照して上述したものと
同様の構成になっているのでここでは詳しい説明は省略
する。

【００４６】ピストン７０２の形状は円でない形状、例
えば、楕円、円の一部をカットした形状、円の一部を膨
らました形状、略四角形の形状等々が考えられる。ピス
トン７０２の形状を図示のような形にするとともに、シ
リンダー７０６の形をピストンの形に合わせることによ
り、中心点の回りの回転が阻止される。

【００４７】本発明のピストンロッドシリンダーの実施
形態においては、スケールを単独又は押さえ板ととも
に、ピストンロッドに設けた空洞内に収納し、それを支
持部材によって支持する構造を採っているが、この支持
部材としては、下記に例示するような種々の支持部材が
考えられる。

【００４８】図８〜図１１は、支持部材の例を示す。こ
れらの図面に示されたピストンロッドの構造は、説明を
分かり易くするために、同じ構造として描いてある。ま
た、ピストンロッド内部空洞には溝が設けられ、その中
に平板もしくはリボン状の（多角形または丸形でも可）
スケール及び押さえ板が組み込まれた構造になっている
ものとして説明する。

【００４９】図８のピストンロッドにおいては、スケー
ルは、押さえ板を介して、平板で波型の押さえバネで全
長に亘って止められている。押さえバネは平板の代わり
に丸棒を波型にしても良い。ピストンロッドとスケール
及び押さえ板とスケールは接着剤を塗っておくとより強
固にとまる。また、ピストン内部の空洞にエポキシ樹脂
（シリコーン、ゴム系ポッティング材）等を充填して一
体化することにより、耐環境性を向上させることもでき
る。

【００５０】図９に丸棒で波型にコイルをつなげた押さ
えバネを使った場合を示す。図１０には、コイルスプリ
ングの側面を利用した押さえバネを使った場合を示す。
図１１はゴム、ウレタン、又はプラスチック成形部材の
有する弾力を利用した押さえバネを使用した場合を示
す。

【００５１】

【発明の効果】本発明のスケール内蔵ピストンロッドシ
リンダーは、上記の構成を備えていることにより、下記
のような効果を奏するものである。ピストンロッドの外
形は、従来のピストンロッドと同じにしたままで、その
内部に記録済みのスケールを組み込む構造となっている
ので、ロッド形状は従来通りまのの、丸形等で良いた
め、パッキン、シール、フェルト、ブッシュ等の関連す
る部品の形状を変えないで済む。

【００５２】また、この構造によれば、スケールがピス
トンロッド内部に完全に入っているので、クーラント、
油、切粉等による損傷を受けないで済む。また、スケー
ルが表面に出ていないので、スケールを構成する記録媒
体が周囲の環境により劣化することが防止でき、従来の
スケールを持たないピストンロッドと同程度の長い寿命
が保証される。

【００５３】シリンダー内部にガイドロッドを付けるこ
とにより、ピストンロッドが丸形のままでも回転を防止
できるので、パッキン類、ブッシュ類等を特別な形状に
しないですむという利点がある。

【００５４】ピストンロッド内部に記録済みのスケール
デバイスを貼り付ける場合、スケールの底面を直接、又
は押さえ板を介して、波状の押さえバネ等で押さえて止
めることにより、組立が簡単にできるとともに、均等な
力でスケールを押さえることができるので、長いスケー
ルに対して安定してとめることができる。この構造はま
た、外からの衝撃に対して強く、外部の影響を受けにく
い構造である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のスケール内蔵ピストンロッドシリンダ
ーの一例の構造を示す断面図である。

【図２】スケール内蔵ピストンロッドシリンダーの使用
例を示すシステム構成図である。

【図３】スケールと検出ヘッド部の詳細を示す断面図で
ある。

【図４】スケールと検出ヘッド部の詳細を示す断面図で
ある。

【図５】ピストンロッド径の太い場合のスケールと検出
ヘッド部の詳細を示す断面図である。

【図６】シリンダー内にピストンロッドの回転防止用の
ガイドロッドを設けた場合のピストンロッドシリンダー
断面図である。

【図７】シリンダー内部形状とピストン形状を同形と
し、かつ、この形状をピストンロッドの中心に対して点
対称とならない形状とすることにより、回転防止したピ
ストンロッドシリンダーの断面図である。

【図８】スケール押さえバネの一例を示す断面図であ
る。

【図９】スケール押さえバネの他の例を示す断面図であ
る。

【図１０】スケール押さえバネの他の例を示す断面図で
ある。

【図１１】スケール押さえバネの他の例を示す断面図で
ある。

【符号の説明】

１ 検出ヘッド、２ スケール、３ ガイドロッド、４
スケール押さえバネ、５ ピストンロッドネジ、６
ピストンロッド、７ 止めナット、８ シリンダー、９
ガイドブッシュ、１０ フランジ、１１ 後部ブラケ
ット、１２ 前部ブラケット、１３ ボルト

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体駆動を行うピストンロッドシリンダ
   ーであって、そのピストンロッドが、その内部に、長手
   方向に沿って形成された空洞と、その空洞に組み込まれ
   た磁気式の測長スケールデバイスと、該スケールデバイ
   スを支持するための支持部材とを備え、該ピストンロッ
   ドの外部に配設された磁気検出型ヘッドによって、ピス
   トンロッド材を通過した磁気信号として、上記スケール
   デバイスの磁気目盛りを検出できるようにしたことを特
   徴とするスケール内蔵ピストンロッドシリンダー。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のスケール内蔵ピストン
   ロッドシリンダーにおいて、前記ピストンロッドの長手
   方向に形成した空洞の、上記磁気検出型ヘッドに近接す
   る側壁に長手方向に溝を形成し、該溝内に測長スケール
   デバイスを埋め込んだことを特徴とするスケール内蔵ピ
   ストンロッドシリンダー。
3. 【請求項３】 請求項１に記載のスケール内蔵ピストン
   ロッドシリンダーにおいて、ピストンロッドに組み込ま
   れたスケールと磁気検出ヘッドとの間のギャップを一定
   に保つために、シリンダー内にピストンロッドと平行に
   少なくとも１本のガイドロッドを設けるか、又はシリン
   ダー内側形状とピストンが略同一形状で、かつ、円でな
   い形状にするかして、ピストンロッドの回転を防止する
   ようにしたことを特徴とするスケール内蔵ピストンロッ
   ドシリンダー。
4. 【請求項４】 請求項１に記載のスケール内蔵ピストン
   ロッドシリンダーにおいて、前記支持部材は、波形の押
   さえバネ、コイルスプリングの側面を利用した押さえバ
   ネ、ゴムウレタン等の弾力を利用した押さえバネ、プラ
   スチック（樹脂）成形による弾力を利用した押さえバネ
   等の弾性体から成ることを特徴とするスケール内蔵ピス
   トンロッドシリンダー。