JPH09203714A - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
蛍光x線分析装置Info
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- JPH09203714A JPH09203714A JP3297196A JP3297196A JPH09203714A JP H09203714 A JPH09203714 A JP H09203714A JP 3297196 A JP3297196 A JP 3297196A JP 3297196 A JP3297196 A JP 3297196A JP H09203714 A JPH09203714 A JP H09203714A
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- rays
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の柱状の試料のうち、上面または側面に
付着物を有する試料を、正確かつ迅速に特定する蛍光X
線分析装置を提供する。 【解決手段】 1列をなして搬送される複数の柱状の試
料1a,1bに対し、上方から1次X線2を照射するX
線源3と、そのX線源3の周囲に配置され、前記1次X
線2を照射された試料1a,1bの上面および側面の付
着物4a,4bから発生する蛍光X線5a,5bが入射
される複数の検出器6a,6b…と、それら複数の検出
器6a,6b…の検出結果から、付着物4a,4bを有
する試料1a,1bを特定する判断部7とを備えた蛍光
X線分析装置。
付着物を有する試料を、正確かつ迅速に特定する蛍光X
線分析装置を提供する。 【解決手段】 1列をなして搬送される複数の柱状の試
料1a,1bに対し、上方から1次X線2を照射するX
線源3と、そのX線源3の周囲に配置され、前記1次X
線2を照射された試料1a,1bの上面および側面の付
着物4a,4bから発生する蛍光X線5a,5bが入射
される複数の検出器6a,6b…と、それら複数の検出
器6a,6b…の検出結果から、付着物4a,4bを有
する試料1a,1bを特定する判断部7とを備えた蛍光
X線分析装置。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の試料に1次
X線を照射し、試料表面の付着物から発生する蛍光X線
を検出することにより、付着物を有する試料を特定する
蛍光X線分析装置に関するものである。
X線を照射し、試料表面の付着物から発生する蛍光X線
を検出することにより、付着物を有する試料を特定する
蛍光X線分析装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えば、角柱、円柱等の柱状の電池の生
産ラインにおいては、電池の上面周囲をレーザ溶接して
いるが、これが不完全であると、上面周囲から水酸化カ
リウム溶液である電解液が漏れ出し、上面や側面に付着
するという不良品が発生する。従来は、この不良品を、
漏れた電解液が乾燥した水酸化カリウムの白い粉を目視
することにより、発見していた。
産ラインにおいては、電池の上面周囲をレーザ溶接して
いるが、これが不完全であると、上面周囲から水酸化カ
リウム溶液である電解液が漏れ出し、上面や側面に付着
するという不良品が発生する。従来は、この不良品を、
漏れた電解液が乾燥した水酸化カリウムの白い粉を目視
することにより、発見していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、目視では、正
確さや処理速度に限界がある。また、板状の試料に上方
から1次X線を照射し、試料表面の付着物から発生する
蛍光X線を上方の検出器で検出することにより、付着物
の有無を分析する装置があるが、これを柱状の試料に適
用しても、主に試料の上面しか分析できず、側面全体を
分析することはできない。
確さや処理速度に限界がある。また、板状の試料に上方
から1次X線を照射し、試料表面の付着物から発生する
蛍光X線を上方の検出器で検出することにより、付着物
の有無を分析する装置があるが、これを柱状の試料に適
用しても、主に試料の上面しか分析できず、側面全体を
分析することはできない。
【0004】本発明は、前記従来の問題に鑑みてなされ
たもので、複数の柱状の試料のうち、上面または側面に
付着物を有する試料を、正確かつ迅速に特定する蛍光X
線分析装置を提供することを目的とする。
たもので、複数の柱状の試料のうち、上面または側面に
付着物を有する試料を、正確かつ迅速に特定する蛍光X
線分析装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項1の蛍光X線分析装置は、1列をなして搬送
される複数の柱状の試料に対し、上方から1次X線を照
射するX線源と、そのX線源の周囲に配置され、1次X
線を照射された試料の上面および側面の付着物から発生
する蛍光X線が入射される複数の検出器と、それら複数
の検出器の検出結果から、付着物を有する試料を特定す
る判断部とを備えている。
に、請求項1の蛍光X線分析装置は、1列をなして搬送
される複数の柱状の試料に対し、上方から1次X線を照
射するX線源と、そのX線源の周囲に配置され、1次X
線を照射された試料の上面および側面の付着物から発生
する蛍光X線が入射される複数の検出器と、それら複数
の検出器の検出結果から、付着物を有する試料を特定す
る判断部とを備えている。
【0006】請求項2の蛍光X線分析装置は、縦横に複
数の柱状の試料を配列したパレットを載せて、そのパレ
ットを縦横の方向に移動させるXYテーブルと、試料に
対し、上方から1次X線を照射するX線源と、そのX線
源の周囲に配置され、1次X線を照射された試料の上面
および側面の付着物から発生する蛍光X線が入射される
複数の検出器と、それら複数の検出器の検出結果から、
付着物を有する試料を特定する判断部とを備えている。
数の柱状の試料を配列したパレットを載せて、そのパレ
ットを縦横の方向に移動させるXYテーブルと、試料に
対し、上方から1次X線を照射するX線源と、そのX線
源の周囲に配置され、1次X線を照射された試料の上面
および側面の付着物から発生する蛍光X線が入射される
複数の検出器と、それら複数の検出器の検出結果から、
付着物を有する試料を特定する判断部とを備えている。
【0007】
【作用および効果】請求項1の蛍光X線分析装置によれ
ば、1列をなして搬送される複数の柱状の試料の上面お
よび側面に1次X線が照射され、それらの面の付着物か
ら発生する蛍光X線が複数の検出器の少なくとも1つに
入射され、その検出結果から判断部が付着物を有する試
料を特定するので、1列をなす複数の柱状の試料のう
ち、上面または側面に付着物を有する試料を、正確かつ
迅速に特定できる。
ば、1列をなして搬送される複数の柱状の試料の上面お
よび側面に1次X線が照射され、それらの面の付着物か
ら発生する蛍光X線が複数の検出器の少なくとも1つに
入射され、その検出結果から判断部が付着物を有する試
料を特定するので、1列をなす複数の柱状の試料のう
ち、上面または側面に付着物を有する試料を、正確かつ
迅速に特定できる。
【0008】請求項2の蛍光X線分析装置によれば、縦
横に配列された複数の柱状の試料について、それら試料
をXYテーブルにより縦横の方向に移動させるので、請
求項1の蛍光X線分析装置と同様に、上面または側面に
付着物を有する試料を、正確かつ迅速に特定できる。
横に配列された複数の柱状の試料について、それら試料
をXYテーブルにより縦横の方向に移動させるので、請
求項1の蛍光X線分析装置と同様に、上面または側面に
付着物を有する試料を、正確かつ迅速に特定できる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第1実施形態を図
面にしたがって説明する。まず、第1実施形態の構成に
ついて説明する。図1(a)は、時刻t0 における第1
実施形態の蛍光X線分析装置の平面図、図1(b)は、
同時刻における同装置の正面図である。図1(a)にお
いて、第1実施形態の蛍光X線分析装置は、所定の間隔
S1 をもって1列をなしてコンベア8により右方向Rに
搬送される複数の四角柱状の試料たる電池1a,1bに
対し、上方から1次X線2(図1(b))を照射するX
線源たるX線管3を備えている。ここで、複数の四角柱
状の電池1a,1bは、いずれも、その上面の対角線の
1本の方向が搬送方向Rに一致するように、コンベア8
上に並べられている。また、X線管3の周囲に配置さ
れ、1次X線2を照射された電池1a,1bの上面また
は側面に漏出した電解液(水酸化カリウム溶液)4a,
4bが付着している場合に、電解液4a,4b中のカリ
ウムから発生する蛍光X線5a,5bが入射され得る複
数の検出器6a,6b,6c,6dを備えている。
面にしたがって説明する。まず、第1実施形態の構成に
ついて説明する。図1(a)は、時刻t0 における第1
実施形態の蛍光X線分析装置の平面図、図1(b)は、
同時刻における同装置の正面図である。図1(a)にお
いて、第1実施形態の蛍光X線分析装置は、所定の間隔
S1 をもって1列をなしてコンベア8により右方向Rに
搬送される複数の四角柱状の試料たる電池1a,1bに
対し、上方から1次X線2(図1(b))を照射するX
線源たるX線管3を備えている。ここで、複数の四角柱
状の電池1a,1bは、いずれも、その上面の対角線の
1本の方向が搬送方向Rに一致するように、コンベア8
上に並べられている。また、X線管3の周囲に配置さ
れ、1次X線2を照射された電池1a,1bの上面また
は側面に漏出した電解液(水酸化カリウム溶液)4a,
4bが付着している場合に、電解液4a,4b中のカリ
ウムから発生する蛍光X線5a,5bが入射され得る複
数の検出器6a,6b,6c,6dを備えている。
【0010】さらに、それら複数の検出器6a,6b,
6c,6dの検出結果から、電解液4a,4bを漏出し
た電池1a,1bを特定する判断部7とを備えている。
判断部7には、電池の所定間隔S1 、コンベア8による
搬送方向Rおよび搬送速度、ならびに、分析開始時刻に
おける列の先頭の電池とX線管3および検出器6a,6
b,6c,6dとの位置関係が入力される入力手段(図
示しない)が設けられている。X線管3、検出器6a,
6b,6c,6d、判断部7はいずれも床または天井に
固定した図示しない架台に設けられている。なお、図1
(b)においては、判断部7の図示を省略した。
6c,6dの検出結果から、電解液4a,4bを漏出し
た電池1a,1bを特定する判断部7とを備えている。
判断部7には、電池の所定間隔S1 、コンベア8による
搬送方向Rおよび搬送速度、ならびに、分析開始時刻に
おける列の先頭の電池とX線管3および検出器6a,6
b,6c,6dとの位置関係が入力される入力手段(図
示しない)が設けられている。X線管3、検出器6a,
6b,6c,6d、判断部7はいずれも床または天井に
固定した図示しない架台に設けられている。なお、図1
(b)においては、判断部7の図示を省略した。
【0011】次に、第1実施形態の動作について説明す
る。分析開始後、電池1a,1bは、X線管3等に対
し、所定の搬送速度で搬送方向Rに移動しているが、図
1(a)に示すように、時刻t0 においては、X線管3
から搬送方向RにS1 /2の位置に電池1aがあり、搬
送方向Rに−S1 /2の位置に電池1bがある。これら
の旨は、前記予め入力手段により入力されたデータか
ら、判断部7で判断される。
る。分析開始後、電池1a,1bは、X線管3等に対
し、所定の搬送速度で搬送方向Rに移動しているが、図
1(a)に示すように、時刻t0 においては、X線管3
から搬送方向RにS1 /2の位置に電池1aがあり、搬
送方向Rに−S1 /2の位置に電池1bがある。これら
の旨は、前記予め入力手段により入力されたデータか
ら、判断部7で判断される。
【0012】今、電池1aの上面左寄りに電解液4aが
付着し、電池1bの右手前側面に電解液4b(図1
(b))が付着しているとすると、これらは、いずれも
広がりをもつ1次X線2(図1(b))の照射領域(図
1(a)のコンベア8上で2点鎖線に囲まれた領域)F
1 内にあるので、カリウムの蛍光X線5a,5bを発生
する。電解液4a,4bと検出器6a,6b,6c,6
dとの位置関係から、電解液4aから発生した蛍光X線
5aは、検出器6aと検出器6cに入射し、電解液4b
から発生した蛍光X線5bは、検出器6dに入射し、検
出器6bには、蛍光X線は入射しない。したがって、時
刻t0 における検出器6a,6b,6c,6dの検出結
果は、それぞれ図4の(a),(b),(c),(d)
のようになる。
付着し、電池1bの右手前側面に電解液4b(図1
(b))が付着しているとすると、これらは、いずれも
広がりをもつ1次X線2(図1(b))の照射領域(図
1(a)のコンベア8上で2点鎖線に囲まれた領域)F
1 内にあるので、カリウムの蛍光X線5a,5bを発生
する。電解液4a,4bと検出器6a,6b,6c,6
dとの位置関係から、電解液4aから発生した蛍光X線
5aは、検出器6aと検出器6cに入射し、電解液4b
から発生した蛍光X線5bは、検出器6dに入射し、検
出器6bには、蛍光X線は入射しない。したがって、時
刻t0 における検出器6a,6b,6c,6dの検出結
果は、それぞれ図4の(a),(b),(c),(d)
のようになる。
【0013】次に、図2の平面図に示すように、時刻t
1 においては、X線管3の真下まで電池1bが移動した
とする。このときの1次X線の照射領域(図2のコンベ
ア8上で2点鎖線に囲まれた領域)F2 には、電池1a
のみがあるが、電池1aはX線管3の真下であるから、
その上面にしか1次X線2(図1(b))が照射され
ず、電池1bの右手前側面に付着する電解液4bからは
蛍光X線は発生しない。したがって、いずれの検出器6
a,6b,6c,6dにも蛍光X線が入射せず、時刻t
1 における検出器6a,6b,6c,6dの検出結果
は、それぞれ図4の(a),(b),(c),(d)の
ようになる。
1 においては、X線管3の真下まで電池1bが移動した
とする。このときの1次X線の照射領域(図2のコンベ
ア8上で2点鎖線に囲まれた領域)F2 には、電池1a
のみがあるが、電池1aはX線管3の真下であるから、
その上面にしか1次X線2(図1(b))が照射され
ず、電池1bの右手前側面に付着する電解液4bからは
蛍光X線は発生しない。したがって、いずれの検出器6
a,6b,6c,6dにも蛍光X線が入射せず、時刻t
1 における検出器6a,6b,6c,6dの検出結果
は、それぞれ図4の(a),(b),(c),(d)の
ようになる。
【0014】さらに、図3の平面図に示すように、時刻
t2 においては、X線管3から搬送方向RにS1 /2の
位置まで電池1bが移動し、搬送方向Rに−S1 /2の
位置に電池1cが移動し、電池1cの右奥側面に電解液
4cが付着しているとする。このときの1次X線の照射
領域(図3のコンベア8上で2点鎖線に囲まれた領域)
F1 は、時刻t0 と同様で、その領域F1 内にある電池
1cの右奥側面の電解液4cのみから蛍光X線5cが発
生し、位置関係から検出器6bのみに入射する。したが
って、時刻t2 における検出器6a,6b,6c,6d
の検出結果は、それぞれ図4の(a),(b),
(c),(d)のようになる。
t2 においては、X線管3から搬送方向RにS1 /2の
位置まで電池1bが移動し、搬送方向Rに−S1 /2の
位置に電池1cが移動し、電池1cの右奥側面に電解液
4cが付着しているとする。このときの1次X線の照射
領域(図3のコンベア8上で2点鎖線に囲まれた領域)
F1 は、時刻t0 と同様で、その領域F1 内にある電池
1cの右奥側面の電解液4cのみから蛍光X線5cが発
生し、位置関係から検出器6bのみに入射する。したが
って、時刻t2 における検出器6a,6b,6c,6d
の検出結果は、それぞれ図4の(a),(b),
(c),(d)のようになる。
【0015】さて、時刻t0 からt2 までの時間(例え
ば1秒程度)は、電池1bが1次X線の照射領域F1 ,
F2 内にある時間であり、判断部7は、この間の検出器
6a,6b,6c,6dの検出結果(図4(a),
(b),(c),(d))と、前記予め入力手段により
入力されたデータから、電池1bに電解液4bが付着し
ていると判断する。その根拠は、前述したように、時刻
t0 における検出器6dの検出結果(図4(d))であ
る。すなわち、分析開始時刻から時刻t0 までの時間、
コンベア8の搬送速度、および電池の所定間隔S1 か
ら、時刻t0 において検出器6dへ蛍光X線5bを入射
させる位置にあったのは、先頭の電池から所定の順番、
距離に位置する電池1bであることを特定する。
ば1秒程度)は、電池1bが1次X線の照射領域F1 ,
F2 内にある時間であり、判断部7は、この間の検出器
6a,6b,6c,6dの検出結果(図4(a),
(b),(c),(d))と、前記予め入力手段により
入力されたデータから、電池1bに電解液4bが付着し
ていると判断する。その根拠は、前述したように、時刻
t0 における検出器6dの検出結果(図4(d))であ
る。すなわち、分析開始時刻から時刻t0 までの時間、
コンベア8の搬送速度、および電池の所定間隔S1 か
ら、時刻t0 において検出器6dへ蛍光X線5bを入射
させる位置にあったのは、先頭の電池から所定の順番、
距離に位置する電池1bであることを特定する。
【0016】他の電池1a,1c等についても、それら
が1次X線の照射領域内にある時間の検出器6a,6
b,6c,6dの検出結果から、それらに電解液が付着
しているか否かを判断する。すなわち、1列をなして搬
送される複数の四角柱状の電池のうち、上面または側面
に漏出した電解液が付着する不良品を、特定できる。こ
れら特定された不良品は、例えば、この分析装置の下流
にある払出し装置により、コンベア8上から除去され
る。
が1次X線の照射領域内にある時間の検出器6a,6
b,6c,6dの検出結果から、それらに電解液が付着
しているか否かを判断する。すなわち、1列をなして搬
送される複数の四角柱状の電池のうち、上面または側面
に漏出した電解液が付着する不良品を、特定できる。こ
れら特定された不良品は、例えば、この分析装置の下流
にある払出し装置により、コンベア8上から除去され
る。
【0017】以上のように、第1実施形態の蛍光X線分
析装置によれば、1列をなして搬送される複数の四角柱
状の電池1a,1b,1c…の上面および側面に1次X
線2が照射され、それらの面に電解液4a,4b,4c
…が付着していれば、そこから発生する蛍光X線5a,
5b,5c…が複数の検出器6a,6b,6c,6dの
少なくとも1つに入射され、その検出結果から判断部7
が電解液4a,4b,4c…の付着した電池1a,1
b,1c…を特定するので、不良品1a,1b,1c…
の特定が正確かつ迅速である。
析装置によれば、1列をなして搬送される複数の四角柱
状の電池1a,1b,1c…の上面および側面に1次X
線2が照射され、それらの面に電解液4a,4b,4c
…が付着していれば、そこから発生する蛍光X線5a,
5b,5c…が複数の検出器6a,6b,6c,6dの
少なくとも1つに入射され、その検出結果から判断部7
が電解液4a,4b,4c…の付着した電池1a,1
b,1c…を特定するので、不良品1a,1b,1c…
の特定が正確かつ迅速である。
【0018】次に、本発明の第2実施形態を図面にした
がって説明する。図5の平面図に示すように、第2実施
形態の蛍光X線分析装置においては、試料たる4角柱状
の電池11a,11b…がパレット9上に縦横(図5中
のY,X方向)に所定の間隔S2 で配列され、本装置が
そのパレット9を載せて縦横の方向に移動させるXYテ
ーブル10を備えている点で、第1実施形態の装置と異
なる。また、判断部12には、電池の所定間隔S2 、X
Yテーブル10による移動方向X,Y、移動速度および
移動パターン、ならびに、分析開始時刻における最初に
分析される電池(例えば11g)とX線管3および検出
器6a,6b,6c,6dとの位置関係が入力される入
力手段(図示しない)が設けられている。その他の構成
は第1実施形態の装置と同様である。
がって説明する。図5の平面図に示すように、第2実施
形態の蛍光X線分析装置においては、試料たる4角柱状
の電池11a,11b…がパレット9上に縦横(図5中
のY,X方向)に所定の間隔S2 で配列され、本装置が
そのパレット9を載せて縦横の方向に移動させるXYテ
ーブル10を備えている点で、第1実施形態の装置と異
なる。また、判断部12には、電池の所定間隔S2 、X
Yテーブル10による移動方向X,Y、移動速度および
移動パターン、ならびに、分析開始時刻における最初に
分析される電池(例えば11g)とX線管3および検出
器6a,6b,6c,6dとの位置関係が入力される入
力手段(図示しない)が設けられている。その他の構成
は第1実施形態の装置と同様である。
【0019】つづいて、第2実施形態の蛍光X線分析装
置の動作について説明する。分析開始後の時刻t0 にお
いては、図5に示すように、電池11a,11bは、X
線管3等に対し、XYテーブル10により所定の移動速
度で右方向Xに移動中で、X線管3から右方向XにS2
/2の位置に電池11aがあり、左方向−XにS2 /2
の位置に電池11bがある。これらの旨は、前記予め入
力手段により入力されたデータから、判断部12で判断
される。これ以降、電池11bが、図5でのすなわち時
刻t0 での電池11aの位置にくる時刻t2 までの時間
(例えば1秒程度)は、電池11bが1次X線の照射領
域F3 内にある時間であり、判断部12が、この間の検
出器6a,6b,6c,6dの検出結果と、前記予め入
力手段により入力されたデータから、電池11bに電解
液4bが付着しているか否かを判断するまでの動作は、
前述した第1実施形態における電池1b(図1(a)
等)の分析と同様である。
置の動作について説明する。分析開始後の時刻t0 にお
いては、図5に示すように、電池11a,11bは、X
線管3等に対し、XYテーブル10により所定の移動速
度で右方向Xに移動中で、X線管3から右方向XにS2
/2の位置に電池11aがあり、左方向−XにS2 /2
の位置に電池11bがある。これらの旨は、前記予め入
力手段により入力されたデータから、判断部12で判断
される。これ以降、電池11bが、図5でのすなわち時
刻t0 での電池11aの位置にくる時刻t2 までの時間
(例えば1秒程度)は、電池11bが1次X線の照射領
域F3 内にある時間であり、判断部12が、この間の検
出器6a,6b,6c,6dの検出結果と、前記予め入
力手段により入力されたデータから、電池11bに電解
液4bが付着しているか否かを判断するまでの動作は、
前述した第1実施形態における電池1b(図1(a)
等)の分析と同様である。
【0020】例えば、図4のような検出結果であったと
すると、分析開始時刻から時刻t0までの時間、XYテ
ーブル10による移動速度および移動パターン、および
電池の所定間隔S2 から、時刻t0 において検出器6d
へ蛍光X線を入射させる位置にあったのは、最初に分析
された電池(例えば11g)を基準としてパレット9上
のXY座標において所定の位置にある電池11bである
ことを特定する。
すると、分析開始時刻から時刻t0までの時間、XYテ
ーブル10による移動速度および移動パターン、および
電池の所定間隔S2 から、時刻t0 において検出器6d
へ蛍光X線を入射させる位置にあったのは、最初に分析
された電池(例えば11g)を基準としてパレット9上
のXY座標において所定の位置にある電池11bである
ことを特定する。
【0021】その後、電池11cが、図5でのすなわち
時刻t0 での電池11aの位置にくると、電池11cに
ついての分析が終了し、XYテーブル10は、電池11
a,11b…を配列したパレット9を、左方向−Xに3
×S2 、奥方向YにS2 だけ移動させる。これにより、
電池11dが、図5での電池11bの位置にきて、次の
列の電池11d,11e,11fの分析が行われる。こ
れらの旨も、前記予め入力手段により入力されたデータ
から、判断部12で判断される。このように、パレット
9上のすべての電池11a,11b…について、それら
が1次X線の照射領域F3 内にある時間の検出器6a,
6b,6c,6dの検出結果から、それらに電解液が付
着しているか否かを判断する。すなわち、縦横に配列さ
れた複数の四角柱状の電池11a,11b…のうち、上
面または側面に漏出した電解液が付着する不良品を、特
定できる。これら特定された不良品については、例え
ば、表示装置により、パレット9上のXY座標における
位置が表示される。
時刻t0 での電池11aの位置にくると、電池11cに
ついての分析が終了し、XYテーブル10は、電池11
a,11b…を配列したパレット9を、左方向−Xに3
×S2 、奥方向YにS2 だけ移動させる。これにより、
電池11dが、図5での電池11bの位置にきて、次の
列の電池11d,11e,11fの分析が行われる。こ
れらの旨も、前記予め入力手段により入力されたデータ
から、判断部12で判断される。このように、パレット
9上のすべての電池11a,11b…について、それら
が1次X線の照射領域F3 内にある時間の検出器6a,
6b,6c,6dの検出結果から、それらに電解液が付
着しているか否かを判断する。すなわち、縦横に配列さ
れた複数の四角柱状の電池11a,11b…のうち、上
面または側面に漏出した電解液が付着する不良品を、特
定できる。これら特定された不良品については、例え
ば、表示装置により、パレット9上のXY座標における
位置が表示される。
【0022】以上のように、第2実施形態の蛍光X線分
析装置によれば、縦横に配列された複数の四角柱状の電
池11a,11b…がXYテーブル10によって移動さ
れることにより、それらの上面および側面に1次X線が
照射され、それらの面に電解液が付着していれば、そこ
から発生する蛍光X線が複数の検出器6a,6b,6
c,6dの少なくとも1つに入射され、その検出結果か
ら判断部12が電解液の付着した電池を特定するので、
不良品の特定が正確かつ迅速である。なお、電池11
a,11b…を縦横に3行3列で配列して説明したが、
これに限らず何行何列でもよく、配列の間隔が、縦横で
異なっていてもよい。
析装置によれば、縦横に配列された複数の四角柱状の電
池11a,11b…がXYテーブル10によって移動さ
れることにより、それらの上面および側面に1次X線が
照射され、それらの面に電解液が付着していれば、そこ
から発生する蛍光X線が複数の検出器6a,6b,6
c,6dの少なくとも1つに入射され、その検出結果か
ら判断部12が電解液の付着した電池を特定するので、
不良品の特定が正確かつ迅速である。なお、電池11
a,11b…を縦横に3行3列で配列して説明したが、
これに限らず何行何列でもよく、配列の間隔が、縦横で
異なっていてもよい。
【0023】また、第1および第2実施形態において、
分析対象たる試料を、四角柱状の電池としたが、本発明
ではこれに限らず、多角柱状、円柱状、楕円柱状等の柱
状であればよく、また電池であることにも限定されな
い。したがって、分析すべき付着物も、電解液に限られ
ず、接着剤の汚れ等、無機成分に広く適用できる。さら
に、用いるX線の分光系は、ゴニオメータを含む分散型
でもよいし、含まない非分散型でもよい。
分析対象たる試料を、四角柱状の電池としたが、本発明
ではこれに限らず、多角柱状、円柱状、楕円柱状等の柱
状であればよく、また電池であることにも限定されな
い。したがって、分析すべき付着物も、電解液に限られ
ず、接着剤の汚れ等、無機成分に広く適用できる。さら
に、用いるX線の分光系は、ゴニオメータを含む分散型
でもよいし、含まない非分散型でもよい。
【図1】(a)は本発明の第1実施形態の蛍光X線分析
装置の時刻t0 における状態を示す平面図、(b)はそ
の正面図である。
装置の時刻t0 における状態を示す平面図、(b)はそ
の正面図である。
【図2】同装置の時刻t1 における状態を示す平面図で
ある。
ある。
【図3】同装置の時刻t2 における状態を示す平面図で
ある。
ある。
【図4】(a)は同装置の検出器6aの検出結果を示す
図であり、(b),(c),(d)は、同装置の検出器
6b,6c,6dの検出結果をそれぞれ示す図である。
図であり、(b),(c),(d)は、同装置の検出器
6b,6c,6dの検出結果をそれぞれ示す図である。
【図5】本発明の第2実施形態の蛍光X線分析装置の時
刻t0 における状態を示す平面図である。
刻t0 における状態を示す平面図である。
1,11…試料(電池)、2…1次X線、3…X線源
(X線管)、4…付着物(電解液)、5…蛍光X線、6
…検出器、7,12…判断部、9…パレット、10…X
Yテーブル、S1 ,S2 …所定の間隔。
(X線管)、4…付着物(電解液)、5…蛍光X線、6
…検出器、7,12…判断部、9…パレット、10…X
Yテーブル、S1 ,S2 …所定の間隔。
Claims (2)
- 【請求項1】 所定の間隔をもって1列をなして搬送さ
れる複数の柱状の試料に対し、上方から1次X線を照射
するX線源と、 そのX線源の周囲に配置され、前記1次X線を照射され
た試料の上面および側面の付着物から発生する蛍光X線
が入射される複数の検出器と、 それら複数の検出器の検出結果から、付着物を有する試
料を特定する判断部とを備えた蛍光X線分析装置。 - 【請求項2】 縦横に所定の間隔をもって複数の柱状の
試料を配列したパレットを載せて、そのパレットを前記
縦横の方向に移動させるXYテーブルと、 前記試料に対し、上方から1次X線を照射するX線源
と、 そのX線源の周囲に配置され、前記1次X線を照射され
た試料の上面および側面の付着物から発生する蛍光X線
が入射される複数の検出器と、 それら複数の検出器の検出結果から、付着物を有する試
料を特定する判断部とを備えた蛍光X線分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3297196A JPH09203714A (ja) | 1996-01-25 | 1996-01-25 | 蛍光x線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3297196A JPH09203714A (ja) | 1996-01-25 | 1996-01-25 | 蛍光x線分析装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09203714A true JPH09203714A (ja) | 1997-08-05 |
Family
ID=12373793
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3297196A Pending JPH09203714A (ja) | 1996-01-25 | 1996-01-25 | 蛍光x線分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09203714A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006070547A1 (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 筒状電池の漏液検査方法 |
JP2022505390A (ja) * | 2018-10-18 | 2022-01-14 | セキュリティ マターズ リミテッド | 物質中の異物の検出及び特定のためのシステム及び方法 |
-
1996
- 1996-01-25 JP JP3297196A patent/JPH09203714A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006070547A1 (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 筒状電池の漏液検査方法 |
JP2006185760A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 筒状電池の漏液検査方法 |
US7643608B2 (en) | 2004-12-28 | 2010-01-05 | Panasonic Corporation | Method for checking for leakage from tubular batteries |
JP2022505390A (ja) * | 2018-10-18 | 2022-01-14 | セキュリティ マターズ リミテッド | 物質中の異物の検出及び特定のためのシステム及び方法 |
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