JPH09189661A - レーザ発光分光分析装置および分析方法 - Google Patents
レーザ発光分光分析装置および分析方法Info
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- JPH09189661A JPH09189661A JP306096A JP306096A JPH09189661A JP H09189661 A JPH09189661 A JP H09189661A JP 306096 A JP306096 A JP 306096A JP 306096 A JP306096 A JP 306096A JP H09189661 A JPH09189661 A JP H09189661A
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- Japan
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- sample
- glove box
- metal plate
- laser
- analytical sample
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、必要な分析試料の量を低減すること
ができる装置を提供することを目的とする。 【解決手段】本発明装置は、内部に金属板を有するとと
もに両側面に光学窓を有するグローブボックス4と、グ
ローブボックス内の金属板5に分析試料を滴下するマイ
クロピペッタ3と、レーザからのレーザ光を集光し第1
光学窓7を通してグローブボックス内の金属板の分析試
料に導入する第1集光レンズ12と、レーザ光の照射に
より発生する分析試料に含有される元素の発光スペクト
ルを集光し第2光学窓8を通してマルチチャンネルアナ
ライザ10に出射する第2集光レンズ9から成り、複数
の元素の発光スペクトル強度を同時に求めることによ
り、分析試料中の元素の濃度定量を行なうことを特徴と
する。
ができる装置を提供することを目的とする。 【解決手段】本発明装置は、内部に金属板を有するとと
もに両側面に光学窓を有するグローブボックス4と、グ
ローブボックス内の金属板5に分析試料を滴下するマイ
クロピペッタ3と、レーザからのレーザ光を集光し第1
光学窓7を通してグローブボックス内の金属板の分析試
料に導入する第1集光レンズ12と、レーザ光の照射に
より発生する分析試料に含有される元素の発光スペクト
ルを集光し第2光学窓8を通してマルチチャンネルアナ
ライザ10に出射する第2集光レンズ9から成り、複数
の元素の発光スペクトル強度を同時に求めることによ
り、分析試料中の元素の濃度定量を行なうことを特徴と
する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、溶液中の元素の濃
度を定量する分析装置および分析方法に関する。
度を定量する分析装置および分析方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、溶液中の元素定量には、IPC
(誘導結合プラズマ)による発光分光分析装置(以下I
PC装置という)が使用されていた。IPC装置によれ
ば、多くの元素に対してppb(parts per
billion,10億分の1)レベルの濃度定量が可
能であり、通常の分析業務には特に不都合はない。
(誘導結合プラズマ)による発光分光分析装置(以下I
PC装置という)が使用されていた。IPC装置によれ
ば、多くの元素に対してppb(parts per
billion,10億分の1)レベルの濃度定量が可
能であり、通常の分析業務には特に不都合はない。
【0003】しかしながら、放射能を含む溶液を分析す
る際には、放射性廃棄物量を低減するために、可能な限
り微量の試料にて分析できることが望ましい。また、I
PC装置では、アルゴンガスを数十l/分、分析試料を
数ml/分、必要とし、高温のプラズマであるために、
グローブボックスを小型にすることも困難である。
る際には、放射性廃棄物量を低減するために、可能な限
り微量の試料にて分析できることが望ましい。また、I
PC装置では、アルゴンガスを数十l/分、分析試料を
数ml/分、必要とし、高温のプラズマであるために、
グローブボックスを小型にすることも困難である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】再処理工場で要求され
る分析業務では、IPC装置で出来る程度の分析感度を
有すれば十分であるので、必要とされる分析試料の量を
低減し、小型のグローブボックスの製作が可能な分析装
置が必要になる。
る分析業務では、IPC装置で出来る程度の分析感度を
有すれば十分であるので、必要とされる分析試料の量を
低減し、小型のグローブボックスの製作が可能な分析装
置が必要になる。
【0005】また、オンライン化が容易な装置とするた
めに分析業務の省力化を可能にすることが必要になる。
本発明は、これらの問題を解決することができる分析装
置および分析方法を提供することを目的とする。
めに分析業務の省力化を可能にすることが必要になる。
本発明は、これらの問題を解決することができる分析装
置および分析方法を提供することを目的とする。
【0006】
(第1の手段)本発明に係るレーザ発光分光分析装置
は、(A)内部に金属板を有するとともに、両側面に光
学窓を有するグローブボックスと、(B)前記グローブ
ボックス内の金属板に、分析試料を滴下するマイクロピ
ペッタと、(C)レーザからのレーザ光を集光し、第1
光学窓を通してグローブボックス内の金属板の分析試料
に導入する第1集光レンズと、(D)前記レーザ光の照
射により発生する分析試料に含有される元素の発光スペ
クトルを集光し、第2光学窓を通してマルチチャンネル
アナライザに出射する第2集光レンズから成り、複数の
元素の発光スペクトル強度を同時に求めることにより、
分析試料中の元素の濃度定量を行なうことを特徴とす
る。 (第2の手段)本発明に係るレーザ発光分光分析方法
は、(A)分析試料にレーザ光を照射することにより、
プラズマを生成するプロセスと、(B)前記プラズマに
より、分析試料の中の元素を励起して発光スペクトルを
生じさせるプロセスと、(C)前記発光スペクトルをマ
ルチチャンネルアナライザにより検知するプロセス、か
ら成り、分析試料に含まれる複数の元素の発光スペクト
ル強度を同時に求めることにより、分析試料中の元素の
濃度定量を行なうことを特徴とする。
は、(A)内部に金属板を有するとともに、両側面に光
学窓を有するグローブボックスと、(B)前記グローブ
ボックス内の金属板に、分析試料を滴下するマイクロピ
ペッタと、(C)レーザからのレーザ光を集光し、第1
光学窓を通してグローブボックス内の金属板の分析試料
に導入する第1集光レンズと、(D)前記レーザ光の照
射により発生する分析試料に含有される元素の発光スペ
クトルを集光し、第2光学窓を通してマルチチャンネル
アナライザに出射する第2集光レンズから成り、複数の
元素の発光スペクトル強度を同時に求めることにより、
分析試料中の元素の濃度定量を行なうことを特徴とす
る。 (第2の手段)本発明に係るレーザ発光分光分析方法
は、(A)分析試料にレーザ光を照射することにより、
プラズマを生成するプロセスと、(B)前記プラズマに
より、分析試料の中の元素を励起して発光スペクトルを
生じさせるプロセスと、(C)前記発光スペクトルをマ
ルチチャンネルアナライザにより検知するプロセス、か
ら成り、分析試料に含まれる複数の元素の発光スペクト
ル強度を同時に求めることにより、分析試料中の元素の
濃度定量を行なうことを特徴とする。
【0007】すなわち本発明は、微小プラズマを瞬間的
に生成させ、しかも発生する発光スペクトルを瞬時に計
測することを特徴とする。そのために、分析試料はプラ
ズマを生成する間だけ供給するだけで良く、定常的に供
給する必要はないために、必要量は大幅に削減すること
ができる。
に生成させ、しかも発生する発光スペクトルを瞬時に計
測することを特徴とする。そのために、分析試料はプラ
ズマを生成する間だけ供給するだけで良く、定常的に供
給する必要はないために、必要量は大幅に削減すること
ができる。
【0008】すなわち、本発明では、分析試料をマイク
ロピペッタにより、金属板に数μl滴下し、電流を印加
して試料を乾燥させる。その後にYAGレーザをレンズ
で集光することによりプラズマを生成させ、試料を励起
させる。
ロピペッタにより、金属板に数μl滴下し、電流を印加
して試料を乾燥させる。その後にYAGレーザをレンズ
で集光することによりプラズマを生成させ、試料を励起
させる。
【0009】生じた発光スペクトルを200〜700n
mのスペクトルを同時に観測可能なマルチチャンネルア
ナライザにより計測し、各元素に対応する発光スペクト
ルの強度を求めることにより濃度定量が可能になる。
mのスペクトルを同時に観測可能なマルチチャンネルア
ナライザにより計測し、各元素に対応する発光スペクト
ルの強度を求めることにより濃度定量が可能になる。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図1に示
す。分析試料1は、試料導入管2を通じてマイクロピペ
ッタ3に導入される。グローブボックス4の中に設置し
た金属板5には、数μlオーダの量の分析試料が正確に
滴下される。
す。分析試料1は、試料導入管2を通じてマイクロピペ
ッタ3に導入される。グローブボックス4の中に設置し
た金属板5には、数μlオーダの量の分析試料が正確に
滴下される。
【0011】YAGレーザ6は、集光レンズ12により
集光され、石英光学窓7を通してグローブボックス内に
導入される。そこで、分析試料は絶縁破壊され、微小プ
ラズマが瞬間的に生じる。
集光され、石英光学窓7を通してグローブボックス内に
導入される。そこで、分析試料は絶縁破壊され、微小プ
ラズマが瞬間的に生じる。
【0012】このプラズマによって試料中に含有されて
いた元素が励起され、発光スペクトルを生じる。生成し
た発光スペクトルは、石英光学窓8を通して集光レンズ
9により集光され、マルチチャンネルアナライザ10に
より検出される。グローブボックス内で生じた排ガス
は、処理装置11により処理される。
いた元素が励起され、発光スペクトルを生じる。生成し
た発光スペクトルは、石英光学窓8を通して集光レンズ
9により集光され、マルチチャンネルアナライザ10に
より検出される。グローブボックス内で生じた排ガス
は、処理装置11により処理される。
【0013】
【発明の効果】本発明は前述のように構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。 (1)溶液の元素分析において、分析に要する試料の量
は、従来のIPC装置では数ml/分必要であったが、
本発明によれば数μlの微小試料でも分析が可能にな
る。 (2)従って再処理工場において分析に伴う放射性廃棄
物量を大幅に低減することができる。
で、以下に記載するような効果を奏する。 (1)溶液の元素分析において、分析に要する試料の量
は、従来のIPC装置では数ml/分必要であったが、
本発明によれば数μlの微小試料でも分析が可能にな
る。 (2)従って再処理工場において分析に伴う放射性廃棄
物量を大幅に低減することができる。
【図1】本発明の実施の形態を示す図。
1…分析試料、 2…試料導入管、 3…マイクロピペッタ、 4…グローブボックス、 5…金属板、 6…YAGレーザ、 7…石英光学窓、 8…石英光学窓、 9…第2集光レンズ、 10…マルチチャンネルアナライザ、 11…処理装置、 12…第1集光レンズ。
Claims (2)
- 【請求項1】(A)内部に金属板(5)を有するととも
に、両側面に光学窓(7、8)を有するグローブボック
ス(4)と、(B)前記グローブボックス(4)内の金
属板(5)に、分析試料(1)を滴下するマイクロピペ
ッタ(3)と、(C)レーザ(6)からのレーザ光を集
光し、第1光学窓(7)を通してグローブボックス内の
金属板(5)の分析試料(1)に導入する第1集光レン
ズ(12)と、(D)前記レーザ光の照射により発生す
る分析試料に含有される元素の発光スペクトルを集光
し、第2光学窓(8)を通してマルチチャンネルアナラ
イザ(10)に出射する第2集光レンズ(9)から成
り、 複数の元素の発光スペクトル強度を同時に求めることに
より、分析試料中の元素の濃度定量を行なうことを特徴
とするレーザ発光分光分析装置。 - 【請求項2】(A)分析試料(1)にレーザ光を照射す
ることにより、プラズマを生成するプロセスと、(B)
前記プラズマにより、分析試料(1)の中の元素を励起
して発光スペクトルを生じさせるプロセスと、(C)前
記発光スペクトルをマルチチャンネルアナライザ(1
0)により検知するプロセス、から成り、 分析試料1に含まれる複数の元素の発光スペクトル強度
を同時に求めることにより、分析試料中の元素の濃度定
量を行なうことを特徴とするレーザ発光分光分析方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP306096A JPH09189661A (ja) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | レーザ発光分光分析装置および分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP306096A JPH09189661A (ja) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | レーザ発光分光分析装置および分析方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09189661A true JPH09189661A (ja) | 1997-07-22 |
Family
ID=11546790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP306096A Withdrawn JPH09189661A (ja) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | レーザ発光分光分析装置および分析方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09189661A (ja) |
-
1996
- 1996-01-11 JP JP306096A patent/JPH09189661A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030401 |