JPH09188745A - Photosensitive film material for insulating circuit substrate, flexible printed wiring board and successive multilayered substrate using the same - Google Patents

Photosensitive film material for insulating circuit substrate, flexible printed wiring board and successive multilayered substrate using the same

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JPH09188745A
JPH09188745A JP141096A JP141096A JPH09188745A JP H09188745 A JPH09188745 A JP H09188745A JP 141096 A JP141096 A JP 141096A JP 141096 A JP141096 A JP 141096A JP H09188745 A JPH09188745 A JP H09188745A
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photosensitive film
film material
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wiring board
flexible printed
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真 下瀬
Hiroyuki Ono
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Takashi Watanabe
尚 渡辺
Chiaki Asano
千明 浅野
Hideyasu Asakage
秀安 朝蔭
Yasubumi Yoshimoto
保文 吉本
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Nippon Steel Chemical and Materials Co Ltd
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Nippon Steel Chemical Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a photosensitive film material suitable for a cover lay of a flexible printed wiring board, an insulating material, etc., for a successive multilayered substrate and the flexible printed wiring board or successive multilayered substrate using the photosensitive film material. SOLUTION: This photosensitive film material is formed of a composition consisting essentially of an oligomer, represented by the formula [X denotes a bivalent group or the absence; (n) denotes a number of 1-10; R1 to R8 denote each hydrogen atom, an alkyl group or a halogen atom which may respectively be same or different; R9 denotes hydrogen atom or methyl group] and obtained by reacting an epoxy acrylate with an acid anhydride and a compound having epoxy group at a weight ratio of the oligomer to the compound having the epoxy group within the range of 0.1-10. Furthermore, the flexible printed wiring board and successive multilayered substrate use the photosensitive film material. Since the photosensitive film material is capable of carrying out the patterning in an alkaline aqueous solution with a good accuracy, excellent in filling properties in a circuit, heat resistance and mechanical characteristics, the photosensitive film material is extremely useful as industrial materials such as a cover lay of the flexible printed wiring board, an insulating material, etc., for the successive multilayered substrate.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、フレキシブルプリント
配線板のカバーレイや逐次多層基板の絶縁材料等に好適
な感光性フィルム材料、これをカバーレイ材又は層間絶
縁材料として使用してなるフレキシブルプリント配線板
又は逐次多層基板並びにこれらの製造方法に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive film material suitable for a coverlay of a flexible printed wiring board or an insulating material of a sequential multilayer substrate, and a flexible print using the photosensitive film material as a coverlay material or an interlayer insulating material. The present invention relates to a wiring board or a sequential multilayer board and a method for manufacturing these.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器やコンピューターなどに
は、従来に比べて一層の小型化・高機能化が要求されて
おり、それにあわせて使用される部品にもより高密度の
ものが求められている。例えば、プリント配線板におい
ても、単位容積あたりの配線密度を向上させるために、
回路の微細化・多層化が進められ、また、使用される材
料もそれにあわせた設計のものが提案されている。特
に、近年においては感光性を有するレジスト材料が数多
く提案されており、その中でも導体回路を形成するため
に用いられる感光性のエッチングレジストは回路の微細
化技術を支えているといっても過言ではない。
2. Description of the Related Art In recent years, electronic devices and computers have been required to be smaller and more sophisticated than before, and accordingly, components used at higher densities have been required. ing. For example, even in a printed wiring board, in order to improve the wiring density per unit volume,
The miniaturization and multi-layering of circuits have been promoted, and the materials used have been designed to match them. In particular, in recent years, many resist materials having photosensitivity have been proposed. Among them, it can be said that the photosensitive etching resist used for forming a conductor circuit supports a circuit miniaturization technique. Absent.

【0003】しかしながら、これまでに提案されてきた
感光性樹脂はそのほとんどが耐熱性や機械的な特性など
に問題があり、最終的には除去されるエッチングレジス
トのように用途が大幅に限定されるという欠点を有して
いる。また、いわゆるドライフィルムと呼ばれるエッチ
ングレジストを除き、そのほとんどが感光性樹脂を有機
溶媒に溶解させた樹脂溶液の形態で供給されているが、
このような樹脂溶液を工業的に枚葉状のプリント配線板
等の上に塗布するためには、極めて特殊な装置が必要で
あるという問題がある。さらに、多くの場合、感光性樹
脂のパターニング工程である現像工程に用いられる現像
液が有機系の溶剤であり、作業環境や廃液処理にも問題
を抱えている。
However, most of the photosensitive resins that have been proposed so far have problems in heat resistance and mechanical properties, and their applications are greatly limited, such as etching resists that are finally removed. It has the drawback of Also, except for the so-called dry film etching resist, most of it is supplied in the form of a resin solution in which a photosensitive resin is dissolved in an organic solvent.
There is a problem that a very special device is required to industrially apply such a resin solution onto a sheet-shaped printed wiring board or the like. Furthermore, in many cases, the developing solution used in the developing step, which is the patterning step of the photosensitive resin, is an organic solvent, and there are problems in the working environment and waste liquid treatment.

【0004】例えば、特開平6−268380号公報等
には、感光性樹脂を用いたプリント配線板が記載されて
いるが、その中で用いられている感光性樹脂は樹脂溶液
の形態で使用されるので、塗布する際に特殊な装置が必
要であり、また、現像に用いられる現像液は有機系のも
のであって、作業環境にも問題が発生する。
For example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 6-268380 discloses a printed wiring board using a photosensitive resin, and the photosensitive resin used therein is used in the form of a resin solution. Therefore, a special device is required for coating, and the developing solution used for developing is an organic type, which causes a problem in the working environment.

【0005】これらの問題点を解決すべく、特開平6−
148877号公報等にはフィルム形成可能な、ゴム、
フェノール樹脂、エポキシ樹脂及びエポキシ樹脂の光硬
化剤などからなる感光性エレメントが開示されている。
しかしながら、このような組成物を用いた場合、最終的
に得られるフィルムの耐熱性が不十分であって、その適
用される用途が大幅に限定される上に、パターニングに
おける精度も十分とは言い難い。
In order to solve these problems, JP-A-6-
No. 148877 or the like discloses a film-formable rubber,
A photosensitive element comprising a phenolic resin, an epoxy resin, a photo-curing agent for the epoxy resin, etc. is disclosed.
However, when such a composition is used, it is said that the heat resistance of the finally obtained film is insufficient, the application to which it is applied is significantly limited, and the precision in patterning is sufficient. hard.

【0006】また、特開平5−339356号公報等に
は、エポキシアクリレート化合物をベースとしたカルボ
キシル基を有する光重合性不飽和化合物を、エポキシ化
合物と共に用いる感光性樹脂組成物が開示されている。
しかし、その感光性樹脂組成物は溶液の状態でカラー液
晶ディスプレイやプリント配線板上にロールコーター機
やスピナー機などを用いて直接塗膜することを前提とし
ており、その場合に先に述べたような設備上の問題等が
発生する。
Further, JP-A-5-339356 and the like disclose a photosensitive resin composition in which a photopolymerizable unsaturated compound having a carboxyl group based on an epoxy acrylate compound is used together with an epoxy compound.
However, it is premised that the photosensitive resin composition is directly coated on a color liquid crystal display or a printed wiring board in a solution state by using a roll coater machine, a spinner machine or the like, and in that case, as described above. Problems with various facilities occur.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、フレ
キシブルプリント配線板のカバーレイや逐次多層基板の
絶縁材料等に好適で、アルカリ性水溶液によりパターン
形成可能な感光性フィルム材料を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、アルカリ性水溶液によりパ
ターン形成可能な感光性フィルム材料を、カバーレイ材
又は層間絶縁材料として使用するフレキシブルプリント
配線板又は逐次多層基板、並びにこれらの製造方法を提
供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a photosensitive film material suitable for a cover lay of a flexible printed wiring board or an insulating material of a sequentially multilayered substrate and capable of forming a pattern with an alkaline aqueous solution. is there.
Another object of the present invention is to provide a flexible printed wiring board or a sequential multilayer board using a photosensitive film material capable of forming a pattern with an alkaline aqueous solution as a cover lay material or an interlayer insulating material, and a manufacturing method thereof. Especially.

【0008】[0008]

【課題を解決する手段】すなわち、本発明は、下記一般
式(1)で表されるエポキシアクリレート化合物と酸無
水物とを反応させて得られるオリゴマー及びエポキシ基
を有する化合物を必須成分として含有し、かつ該オリゴ
マーとエポキシ基を有する化合物との重量比が0.1〜
10の範囲にある組成物から形成されてなる回路基板絶
縁用感光性フィルム材料である。また、本発明は、前記
回路基板絶縁用感光性フィルム材料を、カバーレイ材又
は層間絶縁材料として使用してなるフレキシブルプリン
ト配線板又は逐次多層基板、並びにこれらの製造方法で
ある。
That is, the present invention contains, as an essential component, an oligomer obtained by reacting an epoxy acrylate compound represented by the following general formula (1) with an acid anhydride and a compound having an epoxy group. And the weight ratio of the oligomer to the compound having an epoxy group is 0.1 to
A photosensitive film material for insulating a circuit board, which is formed from a composition within the range of 10. The present invention also provides a flexible printed wiring board or a sequential multi-layered board using the photosensitive film material for insulating a circuit board as a cover lay material or an interlayer insulating material, and a method for manufacturing these.

【0009】[0009]

【化2】 Embedded image

【0010】(式中、Xは2価の基又は不存在を表し、
nは1〜10の数を表す。また、R1〜R8 は水素原
子、アルキル基又はハロゲン原子を表し、各々が同一で
も異なっていてもよく、R9 は水素原子又はメチル基を
表す。)
(In the formula, X represents a divalent group or absent,
n represents the number of 1-10. R 1 to R 8 each represent a hydrogen atom, an alkyl group or a halogen atom, which may be the same or different, and R 9 represents a hydrogen atom or a methyl group. )

【0011】(1)式におけるXとしては、例えば、メ
チレン基、2−プロピリデン基、2−(ヘキサフルオ
ロ)プロピリデン基、カルボニル基、エーテル基、スル
フォン基等の2価の基又は直結合があげられるが、好ま
しくは、2−プロピリデン基又は直結合である。また、
1 〜R8 としては、水素原子、例えば、メチル基、エ
チル基、プロピル基、イソプロピル基等のアルキル基、
例えば、塩素、臭素等のハロゲン原子があげられるが、
好ましくは、水素又は臭素である。nは平均の繰り返し
数を表し、1〜10の数であるが、好ましくは、1〜2
である。
Examples of X in the formula (1) include a divalent group such as a methylene group, a 2-propylidene group, a 2- (hexafluoro) propylidene group, a carbonyl group, an ether group and a sulfone group, or a direct bond. However, it is preferably a 2-propylidene group or a direct bond. Also,
R 1 to R 8 are each a hydrogen atom, for example, an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group or an isopropyl group,
Examples include halogen atoms such as chlorine and bromine,
Preferred is hydrogen or bromine. n represents the average number of repetitions and is a number of 1 to 10, but preferably 1 to 2
It is.

【0012】特に、エポキシアクリレート化合物の一部
又は全部として、Xが2−プロピリデン基であるビスフ
ェノールA型エポキシアクリレート化合物を用いること
により、本発明の感光性フィルム材料にパターニングや
その後の熱硬化などの処理を施して、最終的に得られる
フィルムの耐熱性や機械的特性を向上させることができ
る。
In particular, when a bisphenol A type epoxy acrylate compound in which X is a 2-propylidene group is used as a part or all of the epoxy acrylate compound, the photosensitive film material of the present invention can be subjected to patterning and subsequent heat curing. By applying the treatment, the heat resistance and mechanical properties of the finally obtained film can be improved.

【0013】また、本発明のオリゴマー製造に使用され
る酸無水物としては、例えば、無水フタル酸、テトラヒ
ドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸などのジ
カルボン酸無水物類や、例えば、無水ピロメリット酸、
ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ベンゾフェノン
テトラカルボン酸二無水物、ジフェニルスルフォンテト
ラカルボン酸二無水物、ジフェニルエーテルテトラカル
ボン酸二無水物、エチレングリコールビストリメリテー
ト二無水物などのテトラカルボン酸二無水物、さらには
無水トリメリット酸などがあげられる。また、これらの
酸無水物はそれぞれ単独で用いてもよく、また、二種類
以上の酸無水物を組み合わせて用いても差し支えない。
そして、好ましくは、エチレングリコールビストリメリ
テート二無水物を酸無水物として全部又は一部用いるこ
とであり、これにより、最終的に得られるフィルムの柔
軟性などの機械的な特性が向上する。
Examples of the acid anhydride used for producing the oligomer of the present invention include dicarboxylic acid anhydrides such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride and hexahydrophthalic anhydride, and pyromellitic dianhydride. ,
Biphenyl tetracarboxylic dianhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, diphenyl sulfone tetracarboxylic dianhydride, diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, tetracarboxylic dianhydride such as ethylene glycol bis trimellitate dianhydride, Further examples include trimellitic anhydride. Further, these acid anhydrides may be used alone, or two or more kinds of acid anhydrides may be used in combination.
And, it is preferable to use ethylene glycol bistrimellitate dianhydride as the acid anhydride in whole or in part, whereby the mechanical properties such as flexibility of the finally obtained film are improved.

【0014】上記のエポキシアクリレート化合物と上記
の酸無水物とを反応させて、本発明の必須成分のひとつ
であるオリゴマーを製造することができる。本発明のオ
リゴマーの重量平均分子量は、500〜1,000,0
00、好ましくは、700〜500,000、より好ま
しくは、1,000〜100,000のものである。重
量平均分子量が500より小さいと最終的に得られるフ
ィルムの機械的な特性が悪くなり、1,000,000
より大きいとアルカリ水溶液によるパターン形成を行う
ことが困難となる。
The above-mentioned epoxy acrylate compound and the above-mentioned acid anhydride can be reacted to produce an oligomer which is one of the essential components of the present invention. The weight average molecular weight of the oligomer of the present invention is 500 to 1,000,0.
00, preferably 700 to 500,000, and more preferably 1,000 to 100,000. If the weight average molecular weight is less than 500, the mechanical properties of the finally obtained film will be deteriorated, resulting in 1,000,000.
If it is larger, it becomes difficult to form a pattern with an alkaline aqueous solution.

【0015】本発明の感光性フィルム材料は、上記オリ
ゴマーに加えて、エポキシ基を有する化合物を必須成分
とする。ここでいうエポキシ基を有する化合物として
は、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフ
ェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エ
ポキシ樹脂、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹
脂やそれらの臭素化物など、エポキシ基を有するもので
あれば任意のものを用いることが可能である。そして、
このエポキシ基を有する化合物の一部又は全部に臭素化
されたエポキシ基を有する化合物を用いることで、本発
明の感光性フィルム材料に難燃性を付与することができ
る。
The photosensitive film material of the present invention contains an epoxy group-containing compound as an essential component in addition to the above oligomer. Examples of the compound having an epoxy group include compounds having an epoxy group such as bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, orthocresol novolac type epoxy resin and bromides thereof. Any one can be used if it exists. And
Flame retardancy can be imparted to the photosensitive film material of the present invention by using a compound having a brominated epoxy group in a part or all of the compound having an epoxy group.

【0016】本発明における前記オリゴマーとエポキシ
基を有する化合物との重量比率、すなわち、オリゴマー
/エポキシ基を有する化合物の比率は、0.1〜10で
あり、好ましくは、0.2〜5である。この比率が0.
1に満たないとアルカリ性水溶液によるパターニングを
行うことが困難となり、10を超えると、耐熱性や耐薬
品性が低下する。
The weight ratio of the oligomer to the compound having an epoxy group in the present invention, that is, the ratio of the oligomer / the compound having an epoxy group is 0.1 to 10, preferably 0.2 to 5. . This ratio is 0.
When it is less than 1, it is difficult to perform patterning with an alkaline aqueous solution, and when it exceeds 10, heat resistance and chemical resistance are deteriorated.

【0017】ついで、前記オリゴマー及びエポキシを必
須成分とする組成物をフィルム状に形成することにより
本発明の感光性フィルム材料を完成することができる。
ここでいうフィルム状とは、フィルム単体のみならず、
高分子フィルム、金属箔などの最終的に剥離等の操作に
より除去される支持基材上に形成されたフィルム状のも
のも意味するが、恒久的に基材上に形成されたフィルム
や塗膜は含まない。また、支持基材上に形成された本発
明の感光性フィルム材料を、異物の付着やキズの発生等
を防止するために、高分子フィルム等で保護することも
可能である。
Next, the photosensitive film material of the present invention can be completed by forming a composition containing the above-mentioned oligomer and epoxy as essential components into a film.
The film shape here means not only a single film,
It also means a film-like film formed on a supporting base material such as a polymer film or metal foil that is finally removed by an operation such as peeling, but a film or coating film permanently formed on the base material. Is not included. Further, the photosensitive film material of the present invention formed on a supporting base material can be protected with a polymer film or the like in order to prevent foreign matter from adhering and scratches.

【0018】また、本発明の感光性フィルム材料に種々
の特性を付与するために、他の成分としてアミン、光重
合開始剤、光増感剤、多官能アクリレートのようなモノ
マー類、めっき用触媒、インジウムとスズの共酸化物又
はシリカ等のフィラー類などをあらかじめ添加すること
も可能である。さらに、パターン形成前の感光性フィル
ムの流動性を改善するために、溶剤を含有させておくこ
とも可能である。
In order to impart various characteristics to the photosensitive film material of the present invention, other components such as amines, photopolymerization initiators, photosensitizers, monomers such as polyfunctional acrylates, plating catalysts, etc. It is also possible to add a co-oxide of indium and tin or a filler such as silica in advance. Further, in order to improve the fluidity of the photosensitive film before pattern formation, it is possible to contain a solvent.

【0019】また、上記組成物をフィルム状に形成する
方法は公知の方法でよい。例えば、上記組成物を溶媒中
に溶解又は分散させ、ダイコーター、ナイフコーター、
リバースロールコーターなど任意の塗工装置を用いて支
持基材の上に塗布後、溶媒を蒸発させてフィルムの形状
に形成することができる。支持基材としてはポリエチレ
ンテレフタレートなどの高分子フィルムや金属箔などが
使用できる。また、必要に応じて構成の異なる2種類以
上の組成物を用いて、2層以上の多層の感光性フィルム
材料とすることも可能である。
The method for forming the above composition into a film may be a known method. For example, the composition is dissolved or dispersed in a solvent, die coater, knife coater,
After coating on the supporting substrate using an arbitrary coating device such as a reverse roll coater, the solvent can be evaporated to form a film. As the supporting substrate, a polymer film such as polyethylene terephthalate or a metal foil can be used. Further, it is also possible to use two or more kinds of compositions having different constitutions as required to form a multilayer photosensitive film material having two or more layers.

【0020】このようにして得られた本発明の感光性フ
ィルム材料は、アルカリ性の水溶液で非常に精度のよい
パターニングが可能であり、また、耐熱性や機械的な特
性をも兼ね備えているため、種々の用途に使用すること
ができる。
The thus-obtained photosensitive film material of the present invention can be patterned with extremely high accuracy in an alkaline aqueous solution, and also has heat resistance and mechanical properties. It can be used for various purposes.

【0021】本発明の感光性フィルム材料の好適な用途
としては、フレキシブルプリント配線板用カバーレイが
あげられる。つまり、本発明の感光性フィルム材料はラ
ミネートという簡単な操作で、フレキシブルプリント配
線板上に回路の保護を目的としたカバーレイと呼ばれる
絶縁層を形成でき、精度の良いパターニングはもちろん
のこと、半田づけなどの工程への十分な耐熱性や優れた
耐折曲げ性等を備えているためである。
A preferred application of the photosensitive film material of the present invention is a coverlay for a flexible printed wiring board. In other words, the photosensitive film material of the present invention can form an insulating layer called a coverlay on the flexible printed wiring board for the purpose of protecting the circuit by a simple operation of laminating, as well as accurate patterning and soldering. This is because it has sufficient heat resistance for processes such as gluing and excellent bending resistance.

【0022】本発明の回路基板絶縁用感光性フィルム材
料をカバーレイとするフレキシブルプリント配線板は、
以下に示す必須工程を経て製造することができる。 (1)フレキシブルプリント配線板用金属張積層板に回
路形成を施す工程、(2)本発明の感光性フィルム材料
を回路形成の施されたフレキシブルプリント配線板用金
属張積層板上にラミネートする工程、(3)露光及びア
ルカリ性水溶液による現像処理を行って、ラミネートさ
れた感光性フィルム材料に開口部を形成する工程、
(4)100〜300℃の温度で1分以上の熱処理を行
う工程。
A flexible printed wiring board using the photosensitive film material for insulating a circuit board of the present invention as a cover lay,
It can be manufactured through the following essential steps. (1) A step of forming a circuit on the metal-clad laminate for a flexible printed wiring board, (2) A step of laminating the photosensitive film material of the present invention on the circuit-formed metal-clad laminate for a flexible printed wiring board. And (3) exposing and developing with an alkaline aqueous solution to form openings in the laminated photosensitive film material,
(4) A step of performing heat treatment for 1 minute or more at a temperature of 100 to 300 ° C.

【0023】上記した必須工程のほかに、必要に応じ
て、洗浄、乾燥、穴あけ又はめっき等を行うことはもち
ろん可能である。また、フレキシブルプリント配線板用
金属張積層板としては、片面金属張積層板と両面金属張
積層板のいずれにも適用可能である。
In addition to the above-mentioned essential steps, it is of course possible to carry out washing, drying, drilling, plating or the like, if necessary. Further, the metal-clad laminate for a flexible printed wiring board can be applied to both a single-sided metal-clad laminate and a double-sided metal-clad laminate.

【0024】また、本発明の感光性フィルム材料の他の
好適な用途として、導体回路上への絶縁層の形成とスパ
ッッタリングやめっき等による新たな導体回路層の形成
の繰り返しにより得られる、通称、ビルドアップ基板と
呼ばれる逐次多層基板の導体間の絶縁材料があげられ
る。これは、本発明の感光性フィルム材料が、前記の耐
熱性や機械的な特性に加え、スパッタリングやめっき処
理工程への耐性をも備えているためである。
Another preferable use of the photosensitive film material of the present invention is commonly obtained by repeatedly forming an insulating layer on a conductor circuit and forming a new conductor circuit layer by sputtering or plating. An insulating material between the conductors of a sequential multilayer substrate called a build-up substrate can be given. This is because the photosensitive film material of the present invention has resistance to sputtering and plating treatment steps in addition to the above heat resistance and mechanical properties.

【0025】本発明の回路基板絶縁用感光性フィルム材
料を絶縁材料とする逐次多層基板は以下に示す必須工程
を経て製造することができる。 (1)絶縁性基材上に導体回路が形成された材料を作製
する工程、(2)本発明の感光性フィルム材料を導体回
路が形成された材料上にラミネートする工程、(3)露
光及びアルカリ性水溶液による現像処理を行って、ラミ
ネートされた感光性フィルム材料に開口部を形成する工
程、(4)100〜300℃の温度で1分以上の熱処理
を行って、現像されたフィルム材料を硬化させる工程、
(5)めっき、スパッタリング、蒸着又はそれらの組み
合わせにより、硬化させたフィルム上に次の導体回路層
を形成する工程。
The sequential multilayer substrate using the photosensitive film material for insulating a circuit board of the present invention as an insulating material can be manufactured through the following essential steps. (1) a step of producing a material having a conductor circuit formed on an insulating substrate, (2) a step of laminating the photosensitive film material of the present invention on a material having a conductor circuit formed thereon, (3) exposure and A step of forming an opening in the laminated photosensitive film material by performing a developing treatment with an alkaline aqueous solution, and (4) performing a heat treatment at a temperature of 100 to 300 ° C. for 1 minute or more to cure the developed film material. The process of
(5) A step of forming the next conductor circuit layer on the cured film by plating, sputtering, vapor deposition, or a combination thereof.

【0026】ここで用いる絶縁基材上に導体回路が形成
された材料は、片面又は両面金属張積層板を出発材料と
してエッチング法により作製することも可能であり、ガ
ラスクロスと高分子の複合材料や高分子フィルムの片面
又は両面に、めっき、スパッタリング、蒸着等の方法に
より、直接導体回路を形成して作製することも可能であ
る。また、上記工程のうち、(2)〜(5)の工程を繰
り返し行うことで、3層以上の導体層が形成された逐次
多層基板を製造することが可能である。
The material on which the conductive circuit is formed on the insulating base material used here can also be produced by an etching method using a single-sided or double-sided metal-clad laminate as a starting material, and a composite material of glass cloth and polymer. It is also possible to directly form a conductor circuit on one surface or both surfaces of the polymer film by a method such as plating, sputtering, vapor deposition, or the like. In addition, by repeating the steps (2) to (5) among the above steps, it is possible to manufacture a sequential multilayer substrate in which three or more conductor layers are formed.

【0027】[0027]

【実施例】以下、実施例に基づいて、本発明を具体的に
説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below based on examples, but the present invention is not limited thereto.

【0028】合成例1 ビスフェノールA型エポキシ樹脂(東都化成株式会社
製、エポトートYD−8125、エポキシ当量172g
/eq, )34.0重量部、アクリル酸14.4重量部、
臭化テトラエチルアンモニウム0.05重量部及び溶媒
としてエチルセルソルブアセテート5.85重量部をフ
ラスコ中に仕込み、撹拌して均一な溶液とした。この溶
液を105℃で15時間反応させてエポキシアクリレー
ト化合物を得た。ついで、その反応溶液に、酸無水物と
して1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸7.6
重量部及びエチレングリコールビストリメリテート二無
水物20.5重量部を添加し、115℃で5時間反応さ
せて粘稠なオリゴマー溶液を得た。得られたオリゴマー
のGPC分析による重量平均分子量は2,500であっ
た。
Synthesis Example 1 Bisphenol A-type epoxy resin (manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., Epotote YD-8125, epoxy equivalent 172 g)
/ Eq,) 34.0 parts by weight, acrylic acid 14.4 parts by weight,
0.05 parts by weight of tetraethylammonium bromide and 5.85 parts by weight of ethyl cellosolve acetate as a solvent were charged into a flask and stirred to obtain a uniform solution. This solution was reacted at 105 ° C. for 15 hours to obtain an epoxy acrylate compound. Then, the reaction solution was added with 7.6 of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride as an acid anhydride.
Parts by weight and 20.5 parts by weight of ethylene glycol bistrimellitate dianhydride were added and reacted at 115 ° C. for 5 hours to obtain a viscous oligomer solution. The weight average molecular weight of the obtained oligomer by GPC analysis was 2,500.

【0029】合成例2 合成例1の1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸
7.6重量部とエチレングリコールビストリメリテート
二無水物20.5重量部の代わりに、エチレングリコー
ルビストリメリテート二無水物41.0重量部のみを用
いて、合成例1と同様に合成を行った。得られたオリゴ
マーの重量平均分子量は3,800であった。
Synthesis Example 2 Instead of 7.6 parts by weight of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride and 20.5 parts by weight of ethylene glycol bistrimellitate dianhydride in Synthesis Example 1, ethylene glycol bistrimellitate was used. Synthesis was performed in the same manner as in Synthesis Example 1 using 41.0 parts by weight of dianhydride. The weight average molecular weight of the obtained oligomer was 3,800.

【0030】合成例3 合成例1のエチレングリコールビストリメリテート二無
水物20.5重量部の代わりに、ビフェニルテトラカル
ボン酸二無水物14.7重量部を用いて、合成例1と同
様に合成を行った。得られたオリゴマーの重量平均分子
量は1,800であった。
Synthesis Example 3 Synthesis was carried out in the same manner as in Synthesis Example 1 using 14.7 parts by weight of biphenyltetracarboxylic acid dianhydride instead of 20.5 parts by weight of ethylene glycol bistrimellitate dianhydride in Synthesis Example 1. I went. The weight average molecular weight of the obtained oligomer was 1,800.

【0031】合成例4 合成例1のビスフェノールA型エポキシ樹脂(東都化成
株式会社製、エポトートYD−8125)34.0重量
部の代わりに、エポキシ当量の異なるビスフェノールA
型エポキシ樹脂(東都化成株式会社製、エポトートYD
−128、エポキシ当量192g/eq, )38.0重量
部を用い、溶媒としてエチルセルソルブアセテートを
7.50重量部を用いて、合成例1と同様に合成を行っ
た。得られたオリゴマーの重量平均分子量は6,500
であった。
Synthesis Example 4 Bisphenol A having different epoxy equivalents was used instead of 34.0 parts by weight of the bisphenol A type epoxy resin (Epototo YD-8125 manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.) of Synthesis Example 1.
Epoxy resin (Toto Kasei Co., Ltd., Epotote YD
-128, epoxy equivalent 192 g / eq, 38.0 parts by weight was used, and ethyl cellosolve acetate was used as a solvent in the same manner as in Synthesis Example 1 using 7.50 parts by weight. The weight average molecular weight of the obtained oligomer was 6,500.
Met.

【0032】合成例5 ビスフェノールA型エポキシ樹脂(東都化成株式会社
製、エポトートYD−8125)34.0重量部、アク
リル酸14.4重量部、臭化テトラエチルアンモニウム
0.05重量部及びエチルセルソルブアセテート5.8
5重量部をフラスコ中に仕込み、撹拌して均一な溶液と
した。ついで、105℃で15時間反応させてエポキシ
アクリレート化合物を得た。得られた化合物の分子量は
484であった。この化合物に対しては酸無水物との反
応は行わなかった。
Synthesis Example 5 34.0 parts by weight of bisphenol A type epoxy resin (Epototo YD-8125 manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.), 14.4 parts by weight of acrylic acid, 0.05 parts by weight of tetraethylammonium bromide and ethyl cellosolve. Acetate 5.8
5 parts by weight were placed in a flask and stirred to obtain a uniform solution. Then, the mixture was reacted at 105 ° C. for 15 hours to obtain an epoxy acrylate compound. The molecular weight of the obtained compound was 484. No reaction with acid anhydride was performed on this compound.

【0033】実施例1 合成例1で得られたオリゴマー溶液50重量部に光重合
開始剤(チバガイギー株式会社製、イルガキュア65
1)1重量部及びビスフェノールA型エポキシ樹脂(東
都化成株式会社製、エポトートYD−901)28.7
重量部を添加して感光性の組成物を得た。この組成物を
アプリケーターを用いて、表面に離型処理を施した厚み
50μm のポリエチレンテレフタレート(PET)フィ
ルム上に塗布し、60℃で30分間乾燥させて、実質的
にタックのない厚み50μm の感光性フィルムを作製し
た。ついで、この感光性フィルムを最小回路幅100μ
m 、最小回路間100μm の形状に回路形成された片面
銅張積層板(新日鐵化学株式会社製、エスパネックスS
C35−40−00ME(電解箔35μm /ポリイミド
40μm ))上にPETフィルムを貼り合わせたまま、
感光性フィルムと片面銅張積層板の回路面が接するよう
に、ホットラミネーター装置(大成ラミネーター株式会
社製、Model 8B−550、温度80℃、送り速
度:1m/分)を用いてラミネートした。その際、感光
性フィルムは回路間にも空隙なく充填された。
Example 1 50 parts by weight of the oligomer solution obtained in Synthesis Example 1 was added to a photopolymerization initiator (Ciba Geigy Co., Ltd., Irgacure 65).
1) 1 part by weight and 28.7 of a bisphenol A type epoxy resin (Epototo YD-901, manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.)
A part by weight was added to obtain a photosensitive composition. Using an applicator, this composition was coated on a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 50 μm, the surface of which was subjected to a mold release treatment, and dried at 60 ° C. for 30 minutes to give a substantially tack-free photosensitive film having a thickness of 50 μm. A transparent film was produced. Then, use this photosensitive film with a minimum circuit width of 100μ.
Single-sided copper-clad laminate with circuit formed in a shape of m and minimum circuit distance of 100 μm (Espanex S manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.)
C35-40-00ME (electrolytic foil 35 μm / polyimide 40 μm)), with the PET film attached,
It laminated using the hot laminator apparatus (The Taisei Laminator Co., Ltd. make, Model 8B-550, temperature 80 degreeC, feed rate: 1 m / min) so that the photosensitive film and the circuit side of the single-sided copper clad laminated board might contact. At that time, the photosensitive film was filled without gaps between the circuits.

【0034】次に、露光機(ハイテック株式会社製、H
TE−3000NEL)を用い、最小未露光部が直径1
00μm となるフォトマスクを通して感光性フィルムを
300mJの露光量で露光した。その後、PETフィル
ムを剥離し、5%炭酸ナトリウム水溶液を用いて40℃
で1分間の現像処理を行った後、純水で洗浄し、180
℃で60分間熱処理を行って、パターン形成がなされた
感光性フィルムがカバーレイとして構成されているフレ
キシブルプリント配線板を得た。得られたフレキシブル
プリント配線板のカバーレイのパターン精度は、フォト
マスクの最小未露光部の直径100μm に対して102
μm と優れたものであった。
Next, an exposure machine (H-Tech Co., Ltd., H
TE-3000NEL) and the smallest unexposed part has a diameter of 1
The photosensitive film was exposed with an exposure amount of 300 mJ through a photomask having a size of 00 μm. After that, the PET film is peeled off and the temperature is 40 ° C. using a 5% sodium carbonate aqueous solution.
After developing for 1 minute, wash with pure water and
A heat treatment was performed at 60 ° C. for 60 minutes to obtain a flexible printed wiring board in which the patterned photosensitive film was configured as a coverlay. The pattern accuracy of the cover lay of the obtained flexible printed wiring board was 102 with respect to the diameter of 100 μm of the minimum unexposed portion of the photomask.
It was as good as μm.

【0035】得られたフレキシブルプリント配線板を2
60℃の半田浴に1分間浸漬したところ、ふくれ、はが
れ等の異常は認められなかった。また、フレキシブルプ
リント配線板に対して180度の折曲げを行っても、ク
ラックの発生は認められなかった。
The obtained flexible printed wiring board is used for 2
When immersed in a solder bath at 60 ° C. for 1 minute, no abnormalities such as swelling and peeling were observed. Further, even when the flexible printed wiring board was bent by 180 degrees, no crack was observed.

【0036】実施例2 オリゴマー成分として合成例2で得られたオリゴマー溶
液50重量部を用い、現像処理条件を5%炭酸ナトリウ
ム40℃1分から2%炭酸ナトリウム40℃1分に変更
した以外は実施例1と同様に処理した。感光性フィルム
の回路への充填性は良好であり、パターン精度は103
μm と優れたものであった。また、得られたフレキシブ
ルプリント配線板は半田浴に浸漬しても何ら異常を示さ
ず、耐折曲げ性も優れたものであった。
Example 2 The procedure was carried out except that 50 parts by weight of the oligomer solution obtained in Synthesis Example 2 was used as the oligomer component, and the development processing conditions were changed from 5% sodium carbonate 40 ° C. 1 minute to 2% sodium carbonate 40 ° C. 1 minute. Processed as in Example 1. The circuitability of the photosensitive film is good, and the pattern accuracy is 103
It was as good as μm. Moreover, the obtained flexible printed wiring board did not show any abnormality even when immersed in a solder bath, and was excellent in bending resistance.

【0037】実施例3 オリゴマー成分として合成例3で得られたオリゴマー溶
液50重量部を用い、実施例1と同様に行った。感光性
フィルムの回路への充填性は良好であり、パターン精度
は105μm と優れたものであった。また、得られたフ
レキシブルプリント配線板は半田浴に浸漬しても何ら異
常を示さず、耐折曲げ性も優れたものであった。
Example 3 The same procedure as in Example 1 was carried out using 50 parts by weight of the oligomer solution obtained in Synthesis Example 3 as an oligomer component. The circuitability of the photosensitive film was good, and the pattern accuracy was 105 μm. Moreover, the obtained flexible printed wiring board did not show any abnormality even when immersed in a solder bath, and was excellent in bending resistance.

【0038】実施例4 実施例1で用いた組成物に、さらにトリエチレングリコ
ールジアクリレート5重量部を添加して、実施例1と同
様に処理した。感光性フィルムの回路への充填性は良好
であり、パターン精度は101μm と優れたものであっ
た。また、得られたフレキシブルプリント配線板は半田
浴に浸漬しても何ら異常を示さず、耐折曲げ性も優れた
ものであった。
Example 4 The composition used in Example 1 was further treated with 5 parts by weight of triethylene glycol diacrylate and treated in the same manner as in Example 1. The circuitability of the photosensitive film was good, and the pattern accuracy was 101 μm. Moreover, the obtained flexible printed wiring board did not show any abnormality even when immersed in a solder bath, and was excellent in bending resistance.

【0039】実施例5 合成例4で得られたオリゴマー溶液50重量部に、臭素
化ビスフェノールA型エポキシ樹脂(東都化成株式会社
製、エポトートYDB−400)26.5重量部、光重
合開始剤(チバガイギー株式会社製、イルガキュア65
1)1重量部及びトリエチレングリコールジアクリレー
ト5重量部を添加し、1時間撹拌して均一な組成物を得
た。ついで、この組成物をアプリケーターを用いて、表
面に離型処理を施した厚み50μm のポリエチレンテレ
フタレート(PET)フィルムに塗布し、80℃で5分
間乾燥して、実質的にタックのない厚み40μm の感光
性フィルムを作製した。これとは別に、両面銅張積層板
(新日鐵化学株式会社製、エスパネックスSB35−5
0−35HR(銅箔35μm /ポリイミド50μm))
に最小回路幅100μm 、最小回路間100μm になる
ように回路形成を行った。この回路形成を行った両面銅
張板の両面に感光性フィルムを、実施例1で用いたホッ
トラミネーター装置を使ってラミネートした。その際、
回路間への充填性は良好であった。
Example 5 To 50 parts by weight of the oligomer solution obtained in Synthesis Example 4, 26.5 parts by weight of a brominated bisphenol A type epoxy resin (Epototo YDB-400 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.) and a photopolymerization initiator ( Ciba Geigy Co., Ltd., Irgacure 65
1) 1 part by weight and 5 parts by weight of triethylene glycol diacrylate were added and stirred for 1 hour to obtain a uniform composition. Then, using an applicator, this composition was applied to a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 50 μm, the surface of which was subjected to a mold release treatment, and dried at 80 ° C. for 5 minutes to give a substantially tack-free thickness of 40 μm. A photosensitive film was produced. Separately from this, a double-sided copper-clad laminate (Espanex SB35-5, manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.)
0-35HR (copper foil 35μm / polyimide 50μm))
A circuit was formed so that the minimum circuit width was 100 μm and the minimum circuit distance was 100 μm. Photosensitive films were laminated on both sides of the double-sided copper clad board on which this circuit was formed, using the hot laminator device used in Example 1. that time,
The filling property between the circuits was good.

【0040】次に、実施例1で用いた露光機を使って、
最小未露光部が直径100μm となるフォトマスクを通
して両側の感光性フィルムを250mJの露光量で露光
した。その後、PETフィルムを剥離し、5%炭酸ナト
リウム水溶液を用いて40℃で1分間の現像処理を行っ
た後、純水で洗浄し、200℃で30分間熱処理を行っ
て、パターン形成がなされた感光性フィルムがカバーレ
イとして構成されている両面フレキシブルプリント配線
板を得た。得られたフレキシブルプリント配線板のカバ
ーレイのパターン精度は、フォトマスクの最小未露光部
の直径100μm に対して103μm と優れたものであ
った。
Next, using the exposure machine used in Example 1,
The photosensitive films on both sides were exposed with an exposure amount of 250 mJ through a photomask having a minimum unexposed area of 100 μm in diameter. After that, the PET film was peeled off, developed with a 5% sodium carbonate aqueous solution at 40 ° C. for 1 minute, washed with pure water, and heat-treated at 200 ° C. for 30 minutes to form a pattern. A double-sided flexible printed wiring board having a photosensitive film as a cover lay was obtained. The pattern accuracy of the coverlay of the obtained flexible printed wiring board was 103 μm, which was excellent with respect to the diameter of the minimum unexposed portion of the photomask of 100 μm.

【0041】得られた両面フレキシブルプリント配線板
を260℃の半田浴に浸漬したところ、ふくれ、はがれ
等の異常は何ら認められなかった。また、180度の折
曲げを行っても、クラックの発生は認められなかった。
When the obtained double-sided flexible printed wiring board was immersed in a solder bath at 260 ° C., no abnormality such as swelling or peeling was observed. In addition, no crack was observed even after bending 180 degrees.

【0042】実施例6 合成例1で得られたオリゴマー溶液50重量部に、臭素
化フェノールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬株式
会社製、Bren−S)18.5重量部、トリプロピレ
ングリコールジアクリレート5重量部及び光重合開始剤
1重量部を添加し、1時間撹拌して均一な組成物を得
た。ついで、この組成物をアプリケーターを用いて、表
面に離型処理を施した厚み50μm のポリエチレンテレ
フタレート(PET)フィルムに塗布し、60℃で30
分間乾燥して、実質的にタックのない厚み50μm の感
光性フィルムを作製した。
Example 6 To 50 parts by weight of the oligomer solution obtained in Synthesis Example 1, 18.5 parts by weight of brominated phenol novolac type epoxy resin (Bren-S manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and tripropylene glycol diacrylate were added. 5 parts by weight and 1 part by weight of a photopolymerization initiator were added and stirred for 1 hour to obtain a uniform composition. Next, this composition was applied to a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 50 μm, the surface of which was subjected to mold release treatment, using an applicator, and the composition was applied at 60 ° C. for 30 minutes.
After being dried for a minute, a photosensitive film having a thickness of 50 μm and having substantially no tack was produced.

【0043】この感光性フィルムを回路形成を施したガ
ラスエポキシ片面銅張板(松下電工株式会社製、R17
00、銅箔18μm /ガラスエポキシ300μm )上に
実施例1で用いたホットラミネーター装置を使ってラミ
ネートした。次に、実施例1で用いた露光機を使い、最
小未露光部が直径70μm となるフォトマスクを通して
感光性フィルムを300mJの露光量で露光した。その
後、PETフィルムを剥離し、5%炭酸ナトリウム水溶
液を用いて40℃で1分間の現像処理を行った後、純水
で洗浄し、200℃で15分間熱処理を行って絶縁層を
形成した。得られた絶縁層の開口部の精度は、フォトマ
スクの最小未露光部の直径70μm に対して72μm と
優れたものであった。
A glass epoxy single-sided copper clad plate (R17 manufactured by Matsushita Electric Works, Ltd.) on which a circuit is formed from this photosensitive film.
00, copper foil 18 μm / glass epoxy 300 μm) was laminated using the hot laminator apparatus used in Example 1. Next, using the exposure machine used in Example 1, the photosensitive film was exposed with an exposure amount of 300 mJ through a photomask having a minimum unexposed portion with a diameter of 70 μm. After that, the PET film was peeled off, subjected to a development treatment with a 5% sodium carbonate aqueous solution at 40 ° C. for 1 minute, washed with pure water, and heat-treated at 200 ° C. for 15 minutes to form an insulating layer. The precision of the opening of the obtained insulating layer was 72 μm, which was excellent with respect to the diameter of 70 μm of the minimum unexposed portion of the photomask.

【0044】ついで、無電解めっき法により、感光性フ
ィルムより得られた絶縁層上に厚み18μm の2層目の
回路を形成した。その際、絶縁層の開口部を介して1層
目と2層目の回路間の導通をとった。
Then, a second-layer circuit having a thickness of 18 μm was formed on the insulating layer obtained from the photosensitive film by electroless plating. At that time, electrical continuity was established between the first and second circuits through the openings in the insulating layer.

【0045】さらに、感光性フィルムのラミネート、露
光、現像、熱処理による絶縁層の形成と、めっきによる
回路形成を2度繰り返して、合計で回路層が4層の逐次
多層基板とした後、感光性フィルムを用いて表面の保護
層を形成した。得られた逐次多層基板の各絶縁層の回路
間への充填性は良好であった。また、耐半田試験におい
ても異常の発生は認められなかった。
Furthermore, lamination of a photosensitive film, formation of an insulating layer by exposure, development, and heat treatment, and circuit formation by plating are repeated twice to form a sequential multilayer substrate having a total of four circuit layers, and then a photosensitive layer is formed. A film was used to form a protective layer on the surface. The filling property between the circuits of the insulating layers of the obtained sequential multilayer substrate was good. No abnormality was found in the solder resistance test.

【0046】比較例1 合成例5で合成された化合物溶液50重量部に光重合開
始剤1重量部を添加して組成物を得た。この組成物をア
プリケーターを用いて、表面に離型処理を施した厚み5
0μm のポリエチレンテレフタレート(PET)フィル
ムに塗布し、60℃で30分間乾燥して、実質的にタッ
クのない厚み50μm のフィルムを作製した。ついで、
このフィルムを実施例1で用いた回路形成のなされた片
面銅張板上にPETフィルムを貼り合わせたまま、実施
例1で用いたホットラミネーター装置でラミネートし
た。その際、フィルムは回路間にも空隙なく充填され
た。
Comparative Example 1 A composition was obtained by adding 1 part by weight of a photopolymerization initiator to 50 parts by weight of the compound solution prepared in Synthesis Example 5. The thickness of this composition which has been release-treated with an applicator 5
It was applied to a 0 μm polyethylene terephthalate (PET) film and dried at 60 ° C. for 30 minutes to produce a film having a thickness of 50 μm and substantially no tack. Then
This film was laminated with the hot laminator apparatus used in Example 1 while the PET film was stuck on the circuit-formed one-sided copper clad plate used in Example 1. At that time, the film was filled without gaps between the circuits.

【0047】次に、実施例1で用いた露光機を使って、
最小未露光部が直径100μm となるフォトマスクを通
して感光性フィルムを300mJの露光量となるように
露光した。その後、PETフィルムを剥離し、5%炭酸
ナトリウム水溶液を用いて40℃で1分間の現像処理を
行った。しかしながら、ここで用いた化合物は酸無水物
との反応を行っていないため、炭酸ナトリウム水溶液に
よる現像処理を行っても、パターンを発現させることは
できなかった。
Next, using the exposure machine used in Example 1,
The photosensitive film was exposed through a photomask having a minimum unexposed area of 100 μm in diameter so that the exposure amount was 300 mJ. After that, the PET film was peeled off, and a development treatment was performed at 40 ° C. for 1 minute using a 5% sodium carbonate aqueous solution. However, since the compound used here did not react with an acid anhydride, it was not possible to develop a pattern even if the development treatment with an aqueous sodium carbonate solution was carried out.

【0048】比較例2 実施例2で用いた組成物を、溶液のまま直接実施例1で
用いた回路形成が施された片面銅張板上にスピンコート
法で塗布し、60℃で30分間乾燥して感光性組成物の
層を形成した。この際、回路形成された銅張板上に直接
塗布したため、塗りむらが確認された。以下、実施例2
と同様に、露光、現像及び熱処理を行って、フレキシブ
ルプリント配線板を得た。得られたフレキシブルプリン
ト配線板の耐半田性や耐折曲げ性は良好であったが、反
りが大きく、実用に耐えるものではなかった。
Comparative Example 2 The composition used in Example 2 was applied as a solution directly onto the circuit-formed single-sided copper clad plate used in Example 1 by spin coating, and the composition was applied at 60 ° C. for 30 minutes. It was dried to form a layer of the photosensitive composition. At this time, uneven coating was confirmed because it was directly coated on the copper clad plate on which the circuit was formed. Hereinafter, Example 2
In the same manner as above, exposure, development and heat treatment were performed to obtain a flexible printed wiring board. The obtained flexible printed wiring board had good soldering resistance and bending resistance, but had a large warp and was not practically usable.

【0049】[0049]

【発明の効果】本発明の感光性フィルム材料は、アルカ
リ性の水溶液で精度のよいパターニングが可能で、回路
への充填性にも優れており、また、耐熱性や機械的特性
にも優れているため、フレキシブルプリント配線板のカ
バーレイや逐次多層基板の絶縁材料等の工業用材料に極
めて有用である。また、本発明の感光性フィルム材料を
カバーレイ材又は層間絶縁材料として使用するフレキシ
ブルプリント配線板又は逐次多層基板は、耐熱性が良好
で半田浴への浸漬に対しても何ら異常を示さず、また、
耐折曲げ性等の機械的特性も優れたものである。
EFFECT OF THE INVENTION The photosensitive film material of the present invention enables precise patterning with an alkaline aqueous solution, is excellent in filling in a circuit, and is also excellent in heat resistance and mechanical properties. Therefore, it is extremely useful as an industrial material such as a coverlay of a flexible printed wiring board and an insulating material of a sequentially multilayered substrate. Further, a flexible printed wiring board or a sequential multilayer substrate using the photosensitive film material of the present invention as a cover lay material or an interlayer insulating material has good heat resistance and does not show any abnormality even when immersed in a solder bath, Also,
It also has excellent mechanical properties such as bending resistance.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浅野 千明 千葉県習志野市香澄3−7−5 (72)発明者 朝蔭 秀安 東京都江戸川区西瑞江2−25 (72)発明者 吉本 保文 神奈川県川崎市多摩区南生田2−19−20 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Chiaki Asano 3-7-5 Kasumi, Narashino-shi, Chiba (72) Inventor Hideyasu Asakage 2-25 Nishimizue, Edogawa-ku, Tokyo (72) Inventor Hobun, Yoshimoto Kanagawa 2-19-20 Minamiikuta, Tama-ku, Kawasaki-shi, Japan

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 下記一般式(1)で表されるエポキシア
クリレート化合物と酸無水物とを反応させて得られるオ
リゴマー及びエポキシ基を有する化合物を必須成分とし
て含有し、かつ該オリゴマーとエポキシ基を有する化合
物との重量比が0.1〜10の範囲にある組成物から形
成されてなることを特徴とする回路基板絶縁用感光性フ
ィルム材料。 【化1】 (式中、Xは2価の基又は不存在を表し、nは1〜10
の数を表す。また、R1〜R8 は水素原子、アルキル基
又はハロゲン原子を表し、各々が同一でも異なっていて
もよく、R9 は水素原子又はメチル基を表す)
1. An oligomer obtained by reacting an epoxy acrylate compound represented by the following general formula (1) with an acid anhydride and a compound having an epoxy group as essential components, and the oligomer and epoxy group A photosensitive film material for insulating a circuit board, which is formed from a composition having a weight ratio of the compound to the range of 0.1 to 10. Embedded image (In the formula, X represents a divalent group or absent, and n is 1 to 10).
Represents the number of R 1 to R 8 represent a hydrogen atom, an alkyl group or a halogen atom, and each may be the same or different, and R 9 represents a hydrogen atom or a methyl group.)
【請求項2】 エポキシアクリレート化合物の一部又は
全部が、一般式(1)中のXが2−プロピリデン基であ
る化合物である請求項1に記載の回路基板絶縁用感光性
フィルム材料。
2. The photosensitive film material for insulating a circuit board according to claim 1, wherein a part or all of the epoxy acrylate compound is a compound in which X in the general formula (1) is a 2-propylidene group.
【請求項3】 エポキシ基を有する化合物の一部又は全
部が、臭素原子を含有する化合物である請求項1又は請
求項2に記載の回路基板絶縁用感光性フィルム材料。
3. The photosensitive film material for insulating a circuit board according to claim 1, wherein a part or all of the compound having an epoxy group is a compound containing a bromine atom.
【請求項4】 酸無水物の一部又は全部が、エチレング
リコールビストリメリテート二無水物である請求項1な
いし請求項3いずれかに記載の回路基板絶縁用感光性フ
ィルム材料。
4. The photosensitive film material for insulating a circuit board according to claim 1, wherein a part or all of the acid anhydride is ethylene glycol bistrimellitate dianhydride.
【請求項5】 請求項1に記載の回路基板絶縁用感光性
フィルム材料を、カバーレイ材に使用してなることを特
徴とするフレキシブルプリント配線板。
5. A flexible printed wiring board using the photosensitive film material for insulating a circuit board according to claim 1 as a cover lay material.
【請求項6】 請求項1に記載の回路基板絶縁用感光性
フィルム材料を、逐次多層基板の層間絶縁材料に使用し
てなることを特徴とする逐次多層基板。
6. A sequential multi-layer substrate comprising the photosensitive film material for insulating a circuit board according to claim 1 as an interlayer insulating material of the multi-layer substrate.
【請求項7】 以下の工程を必須工程とすることを特徴
とするフレキシブルプリント配線板の製造方法。 (1)フレキシブルプリント配線板用金属張積層板に回
路形成を施す工程、(2)請求項1に記載の回路基板絶
縁用感光性フィルム材料を回路形成の施されたフレキシ
ブルプリント配線板用金属張積層板上にラミネートする
工程、(3)露光及びアルカリ性水溶液による現像処理
を行って、ラミネートされた感光性フィルム材料に開口
部を形成する工程、(4)100〜300℃の温度で1
分以上の熱処理を行う工程。
7. A method for manufacturing a flexible printed wiring board, which comprises the following steps as essential steps. (1) A step of forming a circuit on a metal-clad laminate for a flexible printed wiring board, (2) A metal-clad for a flexible printed wiring board on which the photosensitive film material for insulating a circuit board according to claim 1 is formed. Laminating on a laminated plate, (3) exposing and developing treatment with an alkaline aqueous solution to form an opening in the laminated photosensitive film material, (4) 1 at a temperature of 100 to 300 ° C.
A step of performing heat treatment for more than a minute.
【請求項8】 以下の工程を必須工程とすることを特徴
とする逐次多層基板の製造方法。 (1)絶縁性基材上に導体回路が形成された材料を作製
する工程、(2)請求項1に記載の回路基板絶縁用感光
性フィルム材料を導体回路が形成された材料上にラミネ
ートする工程、(3)露光及びアルカリ性水溶液による
現像処理を行って、ラミネートされた感光性フィルム材
料に開口部を形成する工程、(4)100〜300℃の
温度で1分以上の熱処理を行って、現像されたフィルム
材料を硬化させる工程、(5)めっき、スパッタリン
グ、蒸着又はそれらの組み合わせにより、硬化させたフ
ィルム上に次の導体回路層を形成する工程。
8. A method for manufacturing a sequential multilayer substrate, which comprises the following steps as essential steps. (1) a step of producing a material having a conductor circuit formed on an insulating base material; (2) laminating the photosensitive film material for insulating a circuit board according to claim 1 on the material having a conductor circuit formed thereon. Step, (3) exposing and developing treatment with an alkaline aqueous solution to form an opening in the laminated photosensitive film material, (4) performing heat treatment for 1 minute or more at a temperature of 100 to 300 ° C., Curing the developed film material, (5) forming a next conductor circuit layer on the cured film by plating, sputtering, vapor deposition or a combination thereof.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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