JPH09186541A - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
圧電振動子の製造方法Info
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- JPH09186541A JPH09186541A JP1290597A JP1290597A JPH09186541A JP H09186541 A JPH09186541 A JP H09186541A JP 1290597 A JP1290597 A JP 1290597A JP 1290597 A JP1290597 A JP 1290597A JP H09186541 A JPH09186541 A JP H09186541A
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- Japan
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】気密性を保つための半田からガスが放出された
り、封止部がゆるむことを防止する。 【解決手段】リードを備えた気密端子のリードに圧電振
動片を固定し、この気密端子の外周部の金属環にケース
をかぶせ、金属環とケースとを回転させながら両者をレ
ーザ溶接又はシーム溶接により封止することにより、ガ
スの放出と封止部のゆるみを防止する。
り、封止部がゆるむことを防止する。 【解決手段】リードを備えた気密端子のリードに圧電振
動片を固定し、この気密端子の外周部の金属環にケース
をかぶせ、金属環とケースとを回転させながら両者をレ
ーザ溶接又はシーム溶接により封止することにより、ガ
スの放出と封止部のゆるみを防止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電振動子に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の圧電振動子の平面図を図７に示
す。
す。
【０００３】図のように従来の圧電振動子の断面は円筒
形をしている。
形をしている。
【０００４】図８は従来の圧電振動子の正面図である。
【０００５】インナーリード２１は外側の金属環２２と
ガラス２３により絶縁され固定し、気密端子２５となっ
ている。
ガラス２３により絶縁され固定し、気密端子２５となっ
ている。
【０００６】アウターリード２４はそのまま延長してあ
る。
る。
【０００７】矩形状圧電発振片２６は蒸着等の手段を用
いて電極２７を形成してある。
いて電極２７を形成してある。
【０００８】この矩形状圧電発振片２６とインナーリー
ド２１とは半田２８により固定されていた。
ド２１とは半田２８により固定されていた。
【０００９】そして、真空中でＡｇ（図示せず）等を電
極２７上に付着させて周波数調整をしていた。
極２７上に付着させて周波数調整をしていた。
【００１０】これを真空中又は不活性ガス中でケース２
９と気密端子２５をプレスにより圧入し封入していた。
９と気密端子２５をプレスにより圧入し封入していた。
【００１１】尚、封入後気密性を保つために金属環２２
の外周、ケース２８に半田３０等をあらかじめメッキさ
せておき、封入後、気密端子２５とケース２９のハメア
イにより気密性を保っていた。
の外周、ケース２８に半田３０等をあらかじめメッキさ
せておき、封入後、気密端子２５とケース２９のハメア
イにより気密性を保っていた。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の技術で
は気密性を保つために半田を使用しているので、長期間
放置するエージング特性において、半田から放出するガ
スや、封止部の半田のシメシロのゆるみにより周波数が
徐々に変化するという欠点を有していた。
は気密性を保つために半田を使用しているので、長期間
放置するエージング特性において、半田から放出するガ
スや、封止部の半田のシメシロのゆるみにより周波数が
徐々に変化するという欠点を有していた。
【００１３】そこで本発明の目的とするところは長期間
のエージングにおいても周波数変化の少ない圧電振動子
を提供するところにある。
のエージングにおいても周波数変化の少ない圧電振動子
を提供するところにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】断面が円形で外側の金属
環とガラスにより絶縁された二本以上のリードを有する
気密端子を用いて、インナーリードが矩形状圧電発振片
の同一平面状に二本以上固定されており、この気密端子
の金属環の一部を長さ方向に延長し、ガラスのない部分
でツバのない円筒形のケースとケース外径内で溶接によ
り封止されていることを特徴とする。
環とガラスにより絶縁された二本以上のリードを有する
気密端子を用いて、インナーリードが矩形状圧電発振片
の同一平面状に二本以上固定されており、この気密端子
の金属環の一部を長さ方向に延長し、ガラスのない部分
でツバのない円筒形のケースとケース外径内で溶接によ
り封止されていることを特徴とする。
【００１５】さらに断面を楕円形にしたことを特徴とす
る。
る。
【００１６】また、矩形状圧電発振片がインナー側のリ
ードに片持で支持されていることを特徴とする。
ードに片持で支持されていることを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明の実施例を以下により説明
する。
する。
【００１８】図１は本発明の圧電振動子の平面図を示し
てあり、断面は円形で直径を３ｍｍにしてある。
てあり、断面は円形で直径を３ｍｍにしてある。
【００１９】図２は本発明の圧電振動子の正面図を示し
てある。
てある。
【００２０】リードは矩形状圧電発振片６を固定する側
をインナーリード１と呼び、基板等に実装する側をアウ
ターリード４と呼ぶ。
をインナーリード１と呼び、基板等に実装する側をアウ
ターリード４と呼ぶ。
【００２１】インナーリード１、アウターリード４は外
側の金属環２とはガラス３により絶縁されて、気密端子
５となっている。
側の金属環２とはガラス３により絶縁されて、気密端子
５となっている。
【００２２】金属環２は封止時の溶接のためにアウター
リード４側に延長されている。このガラス３のない延長
された金属環の長さはガラス封止部の長さの１／２もあ
れば良い。あまり長くしても圧電振動子としての長さが
長くなるだけなので必要最小限の寸法にしておけばよ
い。
リード４側に延長されている。このガラス３のない延長
された金属環の長さはガラス封止部の長さの１／２もあ
れば良い。あまり長くしても圧電振動子としての長さが
長くなるだけなので必要最小限の寸法にしておけばよ
い。
【００２３】矩形状圧電発振片６は蒸着等の手段を用い
てＡｇ等の金属を３０００Å位両面に電極７として形成
してあり、先端部にはインナーリード１との導通をとる
為のパターン形成をしてある。
てＡｇ等の金属を３０００Å位両面に電極７として形成
してあり、先端部にはインナーリード１との導通をとる
為のパターン形成をしてある。
【００２４】そして、矩形状圧電発振片６とインナーリ
ード１とは導電性接着剤８等により同一平面状に片持で
固定されている。
ード１とは導電性接着剤８等により同一平面状に片持で
固定されている。
【００２５】導電性接着剤８はＡｇぺースト等を用いれ
ばよい。
ばよい。
【００２６】又、導電性接着剤８のかわりにインナーリ
ード１に半田等をつけて、矩形状圧電発振片６を固定し
ても半田量が少ないので特性等への影響は小さい。
ード１に半田等をつけて、矩形状圧電発振片６を固定し
ても半田量が少ないので特性等への影響は小さい。
【００２７】そして、真空中でＡｇ等を電極７上に付着
させて、周波数調整をする。
させて、周波数調整をする。
【００２８】この周波数調整量は少ないほど加工時間も
少なく、特性も安定するので６０００ＰＰＭ以下が望ま
しい。
少なく、特性も安定するので６０００ＰＰＭ以下が望ま
しい。
【００２９】次に封止を行なうわけで、真空中又は不活
性ガス中でケース９を気密端子５にかぶせ、治具にセッ
トし、金属環２の長さ方向に延長させたガラス３のない
部分とツバのない円筒形のケース９とのロ端をレーザー
溶接やパラレルシーム溶接等の手段を用いて、ケース９
と気密端子５を回転させながら封止をし、気密性を保っ
ている。
性ガス中でケース９を気密端子５にかぶせ、治具にセッ
トし、金属環２の長さ方向に延長させたガラス３のない
部分とツバのない円筒形のケース９とのロ端をレーザー
溶接やパラレルシーム溶接等の手段を用いて、ケース９
と気密端子５を回転させながら封止をし、気密性を保っ
ている。
【００３０】ケース９の材料は洋白等を用い、Ｎｉメッ
キ等をほどこしてある。金属環２の材料はコバール等を
用い、同様にＮｉメッキ等をほどこしてある。
キ等をほどこしてある。金属環２の材料はコバール等を
用い、同様にＮｉメッキ等をほどこしてある。
【００３１】ガラス３のある所で溶接を行なわない理由
は溶接時の急熱、急冷により、金属環２とガラス３の間
に微小クラックが入りやすく、リークの原因となり、気
密性がそこなわれる為である。
は溶接時の急熱、急冷により、金属環２とガラス３の間
に微小クラックが入りやすく、リークの原因となり、気
密性がそこなわれる為である。
【００３２】溶接はできるだけガラス３より離れた所で
行なう方がよいが余分に長くする必要はなく、ガラス３
の長さの１／２もあれば良い。
行なう方がよいが余分に長くする必要はなく、ガラス３
の長さの１／２もあれば良い。
【００３３】本発明の他の実施例を図３に示す。
【００３４】これは金属環１１をインナーリード１側に
延長し、ケース１０を短かくして、溶接を行なえば図２
の方法に比べ全体の圧電振動子としての長さを短かくす
ることができる。
延長し、ケース１０を短かくして、溶接を行なえば図２
の方法に比べ全体の圧電振動子としての長さを短かくす
ることができる。
【００３５】図４も本発明の他の実施例で金属環１３を
アウターリード４側に延長し、ケース１２を受けるため
のツバ１４を設けてケース１２と溶接を行なう方法であ
る。
アウターリード４側に延長し、ケース１２を受けるため
のツバ１４を設けてケース１２と溶接を行なう方法であ
る。
【００３６】ツバ１４をつけることにより、ケース１２
をかぶせた時の長さ方向の泣置決めになり、圧電振動子
とした時の長さの管理がやりやすくなる。
をかぶせた時の長さ方向の泣置決めになり、圧電振動子
とした時の長さの管理がやりやすくなる。
【００３７】ツバ１４の外径寸法はケース１２の外径寸
法よりも小さい方が圧電振動子として小型になってよ
い。すなわち、ケース１２が直径３ｍｍならばツバ１４
の外径は直径３ｍｍ以下とする。
法よりも小さい方が圧電振動子として小型になってよ
い。すなわち、ケース１２が直径３ｍｍならばツバ１４
の外径は直径３ｍｍ以下とする。
【００３８】図５も他の実施例を示す図で溶接をしやす
くした方法である。
くした方法である。
【００３９】ケース１５の先端の切口を図のように内側
を長くなるように加工し、ツバ１４にかぶせた時にケー
ス１５の内側のみが当たり、長さ方向の位置決めを行な
う。
を長くなるように加工し、ツバ１４にかぶせた時にケー
ス１５の内側のみが当たり、長さ方向の位置決めを行な
う。
【００４０】そして、外周のスキマの部分をレーザー溶
接することにより、ケース１５とツバ１４の材料が同時
に溶けて溶接がしやすくなる。
接することにより、ケース１５とツバ１４の材料が同時
に溶けて溶接がしやすくなる。
【００４１】更に、ケース１５の内周はツバ１４と接し
ているため、溶接時のガスやチリがケース１５内に入る
のを防止することができ、封止後の圧電振動子としての
特性は向上する。
ているため、溶接時のガスやチリがケース１５内に入る
のを防止することができ、封止後の圧電振動子としての
特性は向上する。
【００４２】ケース１５の切口は余り鋭角にしてツバ１
４との間隙をあけてもいけないので溶接時に両者の材料
がとけやすいように１ｍｍ以下にしておく方が望まし
い。
４との間隙をあけてもいけないので溶接時に両者の材料
がとけやすいように１ｍｍ以下にしておく方が望まし
い。
【００４３】図６は本発明の実施例の断面を楕円形にし
た図である。
た図である。
【００４４】図１のようにケース９と気密端子５を円形
から楕円形のケース１５と気密端子１６にする事によ
り、厚みを薄くすることができ、小型化がはかれる。
から楕円形のケース１５と気密端子１６にする事によ
り、厚みを薄くすることができ、小型化がはかれる。
【００４５】図１が直径３ｍｍに対し、楕円にすること
により、巾３ｍｍ、厚みを２ｍｍにすることができる。
により、巾３ｍｍ、厚みを２ｍｍにすることができる。
【００４６】携帯機器等の厚みが制限される部品として
はよりべターな形状となる。
はよりべターな形状となる。
【００４７】
【発明の効果】本発明の圧電振動子は円筒又は楕円形の
気密端子の金属環の一部を長さ方向に延長し、ガラスの
ない部分でケースの外形内で溶接することにより、半田
を使わないケースやプラグを用いるため半田からのガス
の放出もなく、半田圧入によるシメシロのゆるみもな
く、片持の為、温度による圧電発振片の延びは影響しな
い、エージング特性に優れ、かつ、楕円形の為、小型化
できる圧電振動子を提供することができる。
気密端子の金属環の一部を長さ方向に延長し、ガラスの
ない部分でケースの外形内で溶接することにより、半田
を使わないケースやプラグを用いるため半田からのガス
の放出もなく、半田圧入によるシメシロのゆるみもな
く、片持の為、温度による圧電発振片の延びは影響しな
い、エージング特性に優れ、かつ、楕円形の為、小型化
できる圧電振動子を提供することができる。
【図１】本発明の実施例の平面図。
【図２】本発明の実施例の正面図。
【図３】本発明の他の実施例を示す正面図。
【図４】本発明の他の実施例を示す正面図。
【図５】本発明の他の実施例を示す正面図。
【図６】本発明の他の実施例を示す平面図。
【図７】従来の圧電振動子の平面図。
【図８】従来の圧電振動子の正面図。
１・・・インナーリード ２・・・金属環 ３・・・ガラス ４・・・アウターリード ５・・・気密端子 ６・・・矩形状圧電発振片 ７・・・電極 ８・・・導電性接着剤 ９・・・ケース １０・・・ケース １１・・・金属環 １２・・・ケース １３・・・金属環 １４・・・ツバ １５・・・ケース １６・・・気密端子 ２１・・・インナーリード ２２・・・金属環 ２３・・・ガラス ２４・・・アウターリード ２５・・・気密端子 ２６・・・矩形状圧電発振片 ２７・・・電極 ２８・・・ハンダ ２９・・・ケース ３０・・・半田
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成９年２月１２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 圧電振動子の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動子の製造
方法に関する。
方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】そこで、本発明の目的とするところは、長
期間のエージングにおいても周波数変化の少ない圧電振
動子の製造方法を提供するところにある。
期間のエージングにおいても周波数変化の少ない圧電振
動子の製造方法を提供するところにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】
【課題を解決するための手段】 本発明の圧電振動子の
製造方法は、外周面が円筒状の金属部と前記金属部の内
部を貫通するリードとをガラスにより絶縁してなる気密
端子の前記リードの一端に圧電振動片を固定し、前記金
属部にケースをかぶせ、前記金属部と前記ケースとを回
転させながら前記金属部と前記ケースとをレーザ溶接又
はパラレルシーム溶接により封止することを特徴とす
る。
製造方法は、外周面が円筒状の金属部と前記金属部の内
部を貫通するリードとをガラスにより絶縁してなる気密
端子の前記リードの一端に圧電振動片を固定し、前記金
属部にケースをかぶせ、前記金属部と前記ケースとを回
転させながら前記金属部と前記ケースとをレーザ溶接又
はパラレルシーム溶接により封止することを特徴とす
る。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】さらに、外周面が筒状で断面の外部形状が
楕円形の金属部と前記金属部の内部を貫通するリードと
をガラスにより絶縁してなる気密端子の前記リードの一
端に圧電振動片を固定し、前記金属部にケースをかぶ
せ、前記金属部と前記ケースとを回転させながら前記金
属部と前記ケースとをレーザ溶接又はパラレルシーム溶
接により封止することを特徴とする。
楕円形の金属部と前記金属部の内部を貫通するリードと
をガラスにより絶縁してなる気密端子の前記リードの一
端に圧電振動片を固定し、前記金属部にケースをかぶ
せ、前記金属部と前記ケースとを回転させながら前記金
属部と前記ケースとをレーザ溶接又はパラレルシーム溶
接により封止することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】また、前記金属部の一端の延長された前記
ガラスのない部分と前記ケースとを溶接することを特徴
とする。
ガラスのない部分と前記ケースとを溶接することを特徴
とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４７】
【発明の効果】本発明の圧電振動子の製造方法は、外周
面の断面が円形又は楕円形の気密端子の金属部とケース
とを回転させながらレーザ溶接又はパラレルシーム溶接
により封止しているので、金属部とケースとを容易かつ
確実に封止できるとともに、半田を用いた圧入封止のよ
うに半田からのガスの放出はなく、シメシロのゆるみも
ないエージング特性の優れた圧電振動子を製造できる。
しかも、金属部の一端を延長してガラスのない部分で金
属部とケースとを溶接することにより、溶接を精密に制
御しなくてもガラスにクラックが入ったりすることもな
く、機密性の優れた信頼性の高い圧電振動子を製造でき
る。
面の断面が円形又は楕円形の気密端子の金属部とケース
とを回転させながらレーザ溶接又はパラレルシーム溶接
により封止しているので、金属部とケースとを容易かつ
確実に封止できるとともに、半田を用いた圧入封止のよ
うに半田からのガスの放出はなく、シメシロのゆるみも
ないエージング特性の優れた圧電振動子を製造できる。
しかも、金属部の一端を延長してガラスのない部分で金
属部とケースとを溶接することにより、溶接を精密に制
御しなくてもガラスにクラックが入ったりすることもな
く、機密性の優れた信頼性の高い圧電振動子を製造でき
る。
Claims (3)
- 【請求項１】断面が円形で外側の金属環とガラスにより
絶縁された二本以上のリードを有する気密端子を用い
て、インナーリードが矩形状圧電発振片の同一平面状に
二本以上固定されており、この気密端子の金属環の一部
を長さ方向に延長し、ガラスのない部分でツバのない円
筒形のケースとケース外径内で溶接により封止されてい
ることを特徴とする圧電振動子。 - 【請求項２】断面が楕円形であることを特徴とする請求
項１記載の圧電振動子。 - 【請求項３】矩形状圧電発振片がインナー側のリードの
片持で支持されていることを特徴とする請求項１記載の
圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1290597A JPH09186541A (ja) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | 圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1290597A JPH09186541A (ja) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | 圧電振動子の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1705790A Division JPH03220910A (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09186541A true JPH09186541A (ja) | 1997-07-15 |
Family
ID=11818389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1290597A Pending JPH09186541A (ja) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | 圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09186541A (ja) |
-
1997
- 1997-01-27 JP JP1290597A patent/JPH09186541A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000711 |