JPH09180381A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH09180381A JPH09180381A JP7351398A JP35139895A JPH09180381A JP H09180381 A JPH09180381 A JP H09180381A JP 7351398 A JP7351398 A JP 7351398A JP 35139895 A JP35139895 A JP 35139895A JP H09180381 A JPH09180381 A JP H09180381A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- microactuator
- slider
- magnetic field
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
- G11B5/55—Track change, selection or acquisition by displacement of the head
- G11B5/5521—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks
- G11B5/5552—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks using fine positioning means for track acquisition separate from the coarse (e.g. track changing) positioning means
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 トラック密度の向上に対応して、微細なトラ
ッキング位置制御が可能であることはもちろんのこと、
簡易な構造で製造も容易にできる薄膜磁気ヘッドを提供
する。 【解決手段】 磁気ヘッド素子を有するスライダと、ト
ラックの位置決めに際して位置決めの微調整を行うため
のマイクロアクチュエータと、バネ機構を有しスライダ
の安定を保つためのジンバルとを有する薄膜磁気ヘッド
であって、前記スライダの前記磁気ヘッド素子が形成さ
れている面と同一面上には、前記マイクロアクチュエー
タを駆動させるための磁界発生部が形成されているよう
に構成する。
ッキング位置制御が可能であることはもちろんのこと、
簡易な構造で製造も容易にできる薄膜磁気ヘッドを提供
する。 【解決手段】 磁気ヘッド素子を有するスライダと、ト
ラックの位置決めに際して位置決めの微調整を行うため
のマイクロアクチュエータと、バネ機構を有しスライダ
の安定を保つためのジンバルとを有する薄膜磁気ヘッド
であって、前記スライダの前記磁気ヘッド素子が形成さ
れている面と同一面上には、前記マイクロアクチュエー
タを駆動させるための磁界発生部が形成されているよう
に構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜磁気ヘッド、
特に、トラックの位置決めに際して位置決めの微調整を
行うためのマイクロアクチュエータを備える薄膜磁気ヘ
ッドに関する。
特に、トラックの位置決めに際して位置決めの微調整を
行うためのマイクロアクチュエータを備える薄膜磁気ヘ
ッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年の磁気記録の高密度化に伴い、より
高性能な磁気ヘッドが求められてきている。特に、トラ
ックピッチ（トラック密度）の向上により、従来から行
われているボイスコイルモータによる粗動位置決め機構
のみではおのずから限界があり、磁気ヘッドの微細なト
ラッキング位置制御（微調整）が十分にできない。例え
ば、２５０００ＴＰＩのトラック密度におけるトラック
間距離は１μｍであり、この場合オフトラックは１２０
ｎｍ以下となり、これに対応すべく磁気ヘッドの微細な
トラッキング位置制御が必要となるものと予想されてい
る。
高性能な磁気ヘッドが求められてきている。特に、トラ
ックピッチ（トラック密度）の向上により、従来から行
われているボイスコイルモータによる粗動位置決め機構
のみではおのずから限界があり、磁気ヘッドの微細なト
ラッキング位置制御（微調整）が十分にできない。例え
ば、２５０００ＴＰＩのトラック密度におけるトラック
間距離は１μｍであり、この場合オフトラックは１２０
ｎｍ以下となり、これに対応すべく磁気ヘッドの微細な
トラッキング位置制御が必要となるものと予想されてい
る。
【０００３】このような実情のもとに、従来のボイスコ
イルモータによる粗動位置決め機構に加えて、さらに微
細な制御（微調整）が可能なマイクロアクチュエータを
ヘッドスライダーとジンバルの間に搭載した薄膜磁気ヘ
ッドの提案がなされている。すなわち、Journal of The
Magnetics Society of Japan, Vol.18, Supplement,N
o.S1, 31(1994)には、具体的な構成に至るまでの開示は
ないものの、回転型のマイクロアクチュエータを搭載さ
せた磁気ヘッドのイメージ図が開示されている。また、
The Electrochemical Soc., Extended Abstract, 95-2,
485ページにはパーマロイ軟磁性膜と薄膜コイルを用い
た電磁誘導型のマイクロアクチュエータが開示されてい
る。このもの構成は、その要部が図７に示されるよう
に、可動部であるパーマロイコア１１０（これにスライ
ダが固定される）が固定部のジンバル部分１３０（その
外枠形態は図面では表れていない）からヘアピン型平面
スプリング１２０，１２０を介して移動可能に接続され
ている。そして、可動部であるパーマロイコア１１０
は、その両端に形成された静止パーマロイコア１４０と
平コイル１５０とから構成される電磁誘導体の磁力によ
って、矢印方向（ｈ）に微小な移動が可能になってい
る。なお、上記の可動部および固定部は、マイクロアク
チュエータとしての可動部および固定部であり、いずれ
も粗動位置決め機構によって移動することができる。
イルモータによる粗動位置決め機構に加えて、さらに微
細な制御（微調整）が可能なマイクロアクチュエータを
ヘッドスライダーとジンバルの間に搭載した薄膜磁気ヘ
ッドの提案がなされている。すなわち、Journal of The
Magnetics Society of Japan, Vol.18, Supplement,N
o.S1, 31(1994)には、具体的な構成に至るまでの開示は
ないものの、回転型のマイクロアクチュエータを搭載さ
せた磁気ヘッドのイメージ図が開示されている。また、
The Electrochemical Soc., Extended Abstract, 95-2,
485ページにはパーマロイ軟磁性膜と薄膜コイルを用い
た電磁誘導型のマイクロアクチュエータが開示されてい
る。このもの構成は、その要部が図７に示されるよう
に、可動部であるパーマロイコア１１０（これにスライ
ダが固定される）が固定部のジンバル部分１３０（その
外枠形態は図面では表れていない）からヘアピン型平面
スプリング１２０，１２０を介して移動可能に接続され
ている。そして、可動部であるパーマロイコア１１０
は、その両端に形成された静止パーマロイコア１４０と
平コイル１５０とから構成される電磁誘導体の磁力によ
って、矢印方向（ｈ）に微小な移動が可能になってい
る。なお、上記の可動部および固定部は、マイクロアク
チュエータとしての可動部および固定部であり、いずれ
も粗動位置決め機構によって移動することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図７に
示されるような薄膜磁気ヘッドは、磁気コア、コイル等
の形成にフォトリソグラフィ技法をヘッド素子用とマイ
クロアクチュエータ用とに別々に繰り返し行わなくては
ならず、その製造方法が複雑となり、製造コスト面での
負担が大きいといえる。さらに、図７に示されるアクチ
ュエータの基体には、シリコン等の非磁性材料が用いら
れているために磁界駆動のために必要な強磁性材料を新
たに基体の上に成膜する工程が必要となり、工程の複雑
化の問題もある。
示されるような薄膜磁気ヘッドは、磁気コア、コイル等
の形成にフォトリソグラフィ技法をヘッド素子用とマイ
クロアクチュエータ用とに別々に繰り返し行わなくては
ならず、その製造方法が複雑となり、製造コスト面での
負担が大きいといえる。さらに、図７に示されるアクチ
ュエータの基体には、シリコン等の非磁性材料が用いら
れているために磁界駆動のために必要な強磁性材料を新
たに基体の上に成膜する工程が必要となり、工程の複雑
化の問題もある。
【０００５】本発明は、このような実状のもとに創案さ
れたもので、その目的は、トラック密度の向上に対応し
て、微細なトラッキング位置制御が可能であることはも
とより、簡易な構造で製造も容易にできる薄膜磁気ヘッ
ドを提供することにある。
れたもので、その目的は、トラック密度の向上に対応し
て、微細なトラッキング位置制御が可能であることはも
とより、簡易な構造で製造も容易にできる薄膜磁気ヘッ
ドを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために、本発明は、磁気ヘッド素子を有するスライダ
と、トラックの位置決めに際して位置決めの微調整を行
うためのマイクロアクチュエータと、バネ機構を有しス
ライダの安定を保つためのジンバルとを有する薄膜磁気
ヘッドであって、前記スライダの前記磁気ヘッド素子が
形成されている面と同一面上には、前記マイクロアクチ
ュエータを駆動させるための磁界発生部が形成されてい
るように構成される。
るために、本発明は、磁気ヘッド素子を有するスライダ
と、トラックの位置決めに際して位置決めの微調整を行
うためのマイクロアクチュエータと、バネ機構を有しス
ライダの安定を保つためのジンバルとを有する薄膜磁気
ヘッドであって、前記スライダの前記磁気ヘッド素子が
形成されている面と同一面上には、前記マイクロアクチ
ュエータを駆動させるための磁界発生部が形成されてい
るように構成される。
【０００７】本発明の好ましい態様として、前記マイク
ロアクチュエータは、板状の基体を有し構成され、前記
板状の基体は、所定形状のスリット体の形成により分割
された可動部分と固定部分とを有し、可動部分には、前
記スライダが固着され、固定部分には前記ジンバルが固
着されるように構成される。
ロアクチュエータは、板状の基体を有し構成され、前記
板状の基体は、所定形状のスリット体の形成により分割
された可動部分と固定部分とを有し、可動部分には、前
記スライダが固着され、固定部分には前記ジンバルが固
着されるように構成される。
【０００８】本発明の好ましい態様として、前記強磁性
材料がニッケルまたはニッケル鉄合金であるように構成
される。
材料がニッケルまたはニッケル鉄合金であるように構成
される。
【０００９】本発明の好ましい態様として、前記磁界発
生部は、磁気コアとコイルを有する磁気素子部を有して
なるように構成される。
生部は、磁気コアとコイルを有する磁気素子部を有して
なるように構成される。
【００１０】上記の本発明においては、トラックの位置
決めに際して位置決めの微調整を行うためのマイクロア
クチュエータを備えるとともに、マイクロアクチュエー
タ駆動させるための磁界発生部が、磁気ヘッド素子が形
成されているスライダの面と同一面上に形成されるの
で、可能な範囲で（磁気記録用の）磁気ヘッド素子とマ
イクロアクチュエータを駆動させるための磁界発生部を
共通の成膜工程で作ることができる。従って、トラック
密度の向上に対応して、微細なトラッキング位置制御が
できることはもとより、大幅な工程の短縮および製造コ
ストの低減が図られる。
決めに際して位置決めの微調整を行うためのマイクロア
クチュエータを備えるとともに、マイクロアクチュエー
タ駆動させるための磁界発生部が、磁気ヘッド素子が形
成されているスライダの面と同一面上に形成されるの
で、可能な範囲で（磁気記録用の）磁気ヘッド素子とマ
イクロアクチュエータを駆動させるための磁界発生部を
共通の成膜工程で作ることができる。従って、トラック
密度の向上に対応して、微細なトラッキング位置制御が
できることはもとより、大幅な工程の短縮および製造コ
ストの低減が図られる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
１〜図５に基づいて詳細に説明する。
１〜図５に基づいて詳細に説明する。
【００１２】図１には、本発明の薄膜磁気ヘッドが実際
に組み込まれている磁気ディスク装置の概略平面図が示
されている。この図において、バネ機構を有するいわゆ
るジンバル５０の先端には、磁気ヘッド素子を有するス
ライダ１０が取りつけられており、このスライダ１０と
ジンバル５０の間には、トラックの位置決めに際して位
置決めの微調整を行うためのマイクロアクチュエータ３
０が介在されている。さらに、ジンバル５０の後部に
は、アーム部５５を介して、ボイスコイルモータ９０が
連結されており、このボイスコイルモータ９０の作動に
よってスライダ１０のトラック初期位置決め移動（矢印
Ａ方向に動く）が行われる。
に組み込まれている磁気ディスク装置の概略平面図が示
されている。この図において、バネ機構を有するいわゆ
るジンバル５０の先端には、磁気ヘッド素子を有するス
ライダ１０が取りつけられており、このスライダ１０と
ジンバル５０の間には、トラックの位置決めに際して位
置決めの微調整を行うためのマイクロアクチュエータ３
０が介在されている。さらに、ジンバル５０の後部に
は、アーム部５５を介して、ボイスコイルモータ９０が
連結されており、このボイスコイルモータ９０の作動に
よってスライダ１０のトラック初期位置決め移動（矢印
Ａ方向に動く）が行われる。
【００１３】このボイスコイルモータ９０による位置決
め精度は、通常、行われている従来の範囲内のものであ
る。従って、本発明においては、さらに精度の高い位置
決めが行われるようにマイクロアクチュエータ３０が設
けられている。このマイクロアクチュエータ３０の作動
は、磁界によって駆動されるものであり、通常、ボイス
コイルモータ９０によるトラック初期位置決め移動の後
（あるいは同時）に行われる。なお、図１における符号
８０および８１は、それぞれ、磁気ディスクおよびスピ
ンドルモータを示している。なお、本発明における薄膜
磁気ヘッドとは、磁気ヘッド素子を有するスライダ１
０、マイクロアクチュエータ３０、およびジンバル５０
をすべて含む概念で定義される。
め精度は、通常、行われている従来の範囲内のものであ
る。従って、本発明においては、さらに精度の高い位置
決めが行われるようにマイクロアクチュエータ３０が設
けられている。このマイクロアクチュエータ３０の作動
は、磁界によって駆動されるものであり、通常、ボイス
コイルモータ９０によるトラック初期位置決め移動の後
（あるいは同時）に行われる。なお、図１における符号
８０および８１は、それぞれ、磁気ディスクおよびスピ
ンドルモータを示している。なお、本発明における薄膜
磁気ヘッドとは、磁気ヘッド素子を有するスライダ１
０、マイクロアクチュエータ３０、およびジンバル５０
をすべて含む概念で定義される。
【００１４】図２には、ジンバル５０およびジンバル５
０の先端に取りつけられるマイクロアクチュエータ３０
およびスライダ１０の組み立て前の概略斜視図が示され
ている。また、図３には、スライダ１０のトラック方向
に対して直角に位置する面１３の拡大正面図が示されて
いる。スライダ１０は、従来のボイスコイルモータによ
って位置決めされて用いられていた磁気ヘッドスライダ
と同様に、インダクティブヘッドまたはインダクティブ
ＭＲ複合ヘッドが使用される。
０の先端に取りつけられるマイクロアクチュエータ３０
およびスライダ１０の組み立て前の概略斜視図が示され
ている。また、図３には、スライダ１０のトラック方向
に対して直角に位置する面１３の拡大正面図が示されて
いる。スライダ１０は、従来のボイスコイルモータによ
って位置決めされて用いられていた磁気ヘッドスライダ
と同様に、インダクティブヘッドまたはインダクティブ
ＭＲ複合ヘッドが使用される。
【００１５】スライダ１０の面１３には、図２および図
３に示されるごとく、磁気ヘッド素子７と、マイクロア
クチュエータを駆動させるための磁界発生部４０とが形
成されている。つまり、スライダ１０の磁気ヘッド素子
７が形成されている面と同一面上に、マイクロアクチュ
エータ３０を駆動させるための磁界発生部４０が形成さ
れているのである。
３に示されるごとく、磁気ヘッド素子７と、マイクロア
クチュエータを駆動させるための磁界発生部４０とが形
成されている。つまり、スライダ１０の磁気ヘッド素子
７が形成されている面と同一面上に、マイクロアクチュ
エータ３０を駆動させるための磁界発生部４０が形成さ
れているのである。
【００１６】磁気ヘッド素子７は、少なくとも磁気記録
用書き込みの磁気ヘッド素子を構成するものであり、さ
らに、再生用の磁気ヘッド素子を構成するものであって
もよい。このような磁気ヘッド素子７は、スライダ１０
の本体を構成するセラミック基板１５の上（面１３）
に、いわゆるフォトリソグラフィ工程等を繰り返し行い
形成される。本発明においては、この磁気ヘッド素子７
の形成工程と同時に、マイクロアクチュエータ３０を駆
動させるための磁界発生部４０を可能な範囲で形成させ
ることができる。具体的形成手法については、後の実施
例で詳述する。
用書き込みの磁気ヘッド素子を構成するものであり、さ
らに、再生用の磁気ヘッド素子を構成するものであって
もよい。このような磁気ヘッド素子７は、スライダ１０
の本体を構成するセラミック基板１５の上（面１３）
に、いわゆるフォトリソグラフィ工程等を繰り返し行い
形成される。本発明においては、この磁気ヘッド素子７
の形成工程と同時に、マイクロアクチュエータ３０を駆
動させるための磁界発生部４０を可能な範囲で形成させ
ることができる。具体的形成手法については、後の実施
例で詳述する。
【００１７】マイクロアクチュエータ３０を駆動させる
ための磁界発生部４０の好適な一例が、図４に示され
る。この図に示されるように、磁界発生部４０は、薄膜
磁気コア４１と薄膜コイル４２を有する磁気素子部から
なり、磁界Ｇがマイクロアクチュエータ３０側に向けて
発生するように配置されている。配置される磁界発生部
４０の数量については特に制限はなく、マイクロアクチ
ュエータ３０の駆動状況に応じて適宜選定すればよい。
このような磁界発生部４０は、従来より行われている薄
膜形成技術を用いて容易に形成することができる。ま
た、本発明ではこのような磁界発生部４０を磁気ヘッド
素子７と同じ面１３上に形成することになるために、従
来、面１３上に大きなスペースを占有していた磁気記録
書き込み用（および再生用磁気素子用）のいわゆる電極
取り出し部分は形成せず、別の方法で引き出し、外部電
極と接合することが望ましい。また、アクチュエータ駆
動用磁界が磁気記録再生用素子に悪影響を及ぼす場合に
は、アクチュエータ駆動用の磁界発生部にシールドを施
すことも可能である。
ための磁界発生部４０の好適な一例が、図４に示され
る。この図に示されるように、磁界発生部４０は、薄膜
磁気コア４１と薄膜コイル４２を有する磁気素子部から
なり、磁界Ｇがマイクロアクチュエータ３０側に向けて
発生するように配置されている。配置される磁界発生部
４０の数量については特に制限はなく、マイクロアクチ
ュエータ３０の駆動状況に応じて適宜選定すればよい。
このような磁界発生部４０は、従来より行われている薄
膜形成技術を用いて容易に形成することができる。ま
た、本発明ではこのような磁界発生部４０を磁気ヘッド
素子７と同じ面１３上に形成することになるために、従
来、面１３上に大きなスペースを占有していた磁気記録
書き込み用（および再生用磁気素子用）のいわゆる電極
取り出し部分は形成せず、別の方法で引き出し、外部電
極と接合することが望ましい。また、アクチュエータ駆
動用磁界が磁気記録再生用素子に悪影響を及ぼす場合に
は、アクチュエータ駆動用の磁界発生部にシールドを施
すことも可能である。
【００１８】磁界発生部４０の薄膜磁気コア４１は、例
えば、パーマロイめっき膜から構成され、薄膜コイル４
２は、例えば、銅めっき膜から構成される。また、薄膜
磁気コア４１と薄膜コイル４２との層間における絶縁に
は、例えば、熱硬化フォトレジストが用いられる。これ
らの材質は、それぞれ上記の磁気ヘッド素子７の形成の
際に用いられるものと同じものを用いることが好まし
い。磁界発生部４０と磁気ヘッド素子７との同時形成を
可能な範囲で実現させるためである。
えば、パーマロイめっき膜から構成され、薄膜コイル４
２は、例えば、銅めっき膜から構成される。また、薄膜
磁気コア４１と薄膜コイル４２との層間における絶縁に
は、例えば、熱硬化フォトレジストが用いられる。これ
らの材質は、それぞれ上記の磁気ヘッド素子７の形成の
際に用いられるものと同じものを用いることが好まし
い。磁界発生部４０と磁気ヘッド素子７との同時形成を
可能な範囲で実現させるためである。
【００１９】上記磁界発生部４０からの磁界によって駆
動するマイクロアクチュエータ３０の平面図が図５に示
される。マイクロアクチュエータ３０は、その主要部が
板状の基体３７からなり、この板状の基体３７には、所
定形状のスリット体が形成されている。スリット体は、
切断された（図５における紙面方向に完全に貫通してい
る）スリット部分３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ，３
１ｅの組み合わせ体で定義され、このスリット体によっ
て可動部分Ｍと固定部分Ｆが形成され、可動部分Ｍに
は、前記スライダ１０が固着され、固定部分Ｆには前記
ジンバル５０の先端部が固着される。なお、可動部分Ｍ
と固定部分Ｆは、マイクロアクチュエータとしての可動
部分Ｍと固定部分Ｆであり、これらはいずれもボイスコ
イルモータ等の粗動位置決め機構部によって移動するこ
とはもちろんである。敢えて、可動部分Ｍと固定部分Ｆ
を定義するならば、可動部分Ｍは、磁気ヘッド素子と接
続される部分、固定部分Ｆは、粗動位置決め機構部に接
続される部分と定義される。
動するマイクロアクチュエータ３０の平面図が図５に示
される。マイクロアクチュエータ３０は、その主要部が
板状の基体３７からなり、この板状の基体３７には、所
定形状のスリット体が形成されている。スリット体は、
切断された（図５における紙面方向に完全に貫通してい
る）スリット部分３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ，３
１ｅの組み合わせ体で定義され、このスリット体によっ
て可動部分Ｍと固定部分Ｆが形成され、可動部分Ｍに
は、前記スライダ１０が固着され、固定部分Ｆには前記
ジンバル５０の先端部が固着される。なお、可動部分Ｍ
と固定部分Ｆは、マイクロアクチュエータとしての可動
部分Ｍと固定部分Ｆであり、これらはいずれもボイスコ
イルモータ等の粗動位置決め機構部によって移動するこ
とはもちろんである。敢えて、可動部分Ｍと固定部分Ｆ
を定義するならば、可動部分Ｍは、磁気ヘッド素子と接
続される部分、固定部分Ｆは、粗動位置決め機構部に接
続される部分と定義される。
【００２０】なお、スリット部分３１ｃ，３１ｄ，３１
ｅは、単なる切断でもよいが、平面スプリング、例え
ば、ヘアピン型の平面スプリングとすることもできる。
図５の例では、スリット部分３１ｄ（点線で示される）
を平面スプリングとしている。このような所定形状のス
リット体を形成するためには、通常のダイアモンド歯に
よる加工、レーザー加工の他、ウエットエッチング等を
用いることで所望の微細加工が可能である。
ｅは、単なる切断でもよいが、平面スプリング、例え
ば、ヘアピン型の平面スプリングとすることもできる。
図５の例では、スリット部分３１ｄ（点線で示される）
を平面スプリングとしている。このような所定形状のス
リット体を形成するためには、通常のダイアモンド歯に
よる加工、レーザー加工の他、ウエットエッチング等を
用いることで所望の微細加工が可能である。
【００２１】マイクロアクチュエータ３０の構造体、す
なわち、基体の材質としては、強磁性材料を用いること
が特に好ましい。例えば、ニッケル−鉄合金の軟磁性材
料や、ニッケル等の磁歪材料は、それ自体の剛性が高く
て支持体として使用可能である。軟磁性材料としてのニ
ッケル−鉄合金を用いる場合には、８０％ニッケル−２
０％鉄や、この組成にモリブデン、銅を添加したＰＣパ
ーマロイや、さらにスーパーパーマロイが特に好まし
い。また、磁歪材料としてのニッケルは、その純度が９
５％以上のものが好ましい。さらに、磁歪材料として知
られているニッケルに加えて、Ｃｏ−４９ａｔ％Ｆｅ−
２ａｔ％Ｖ合金（磁歪λS ＝７０×１０-6）、Ｆｅ−１
３ａｔ％Ａｌ合金（λS ＝４０×１０-6）、４５ａｔ％
Ｎｉ−Ｆｅ合金（λS ＝２７×１０-6）、さらには４０
−５０ａｔ％Ｔｂ−Ｆｅ合金（λS＝２００×１
０-6）、３０−４０ａｔ％Ｓｍ−Ｆｅ合金（λS ＝−３
００×１０-6）、１０ａｔ％Ｔｂ−２３ａｔ％Ｄｙ−Ｆ
ｅ合金（λS ＝６００×１０-6）、ＣｏＺｎＯ等のフェ
ライト、ＴｂＩＧ、ＨｏＩＧ等のガーネットフェライト
等を用いることができる。
なわち、基体の材質としては、強磁性材料を用いること
が特に好ましい。例えば、ニッケル−鉄合金の軟磁性材
料や、ニッケル等の磁歪材料は、それ自体の剛性が高く
て支持体として使用可能である。軟磁性材料としてのニ
ッケル−鉄合金を用いる場合には、８０％ニッケル−２
０％鉄や、この組成にモリブデン、銅を添加したＰＣパ
ーマロイや、さらにスーパーパーマロイが特に好まし
い。また、磁歪材料としてのニッケルは、その純度が９
５％以上のものが好ましい。さらに、磁歪材料として知
られているニッケルに加えて、Ｃｏ−４９ａｔ％Ｆｅ−
２ａｔ％Ｖ合金（磁歪λS ＝７０×１０-6）、Ｆｅ−１
３ａｔ％Ａｌ合金（λS ＝４０×１０-6）、４５ａｔ％
Ｎｉ−Ｆｅ合金（λS ＝２７×１０-6）、さらには４０
−５０ａｔ％Ｔｂ−Ｆｅ合金（λS＝２００×１
０-6）、３０−４０ａｔ％Ｓｍ−Ｆｅ合金（λS ＝−３
００×１０-6）、１０ａｔ％Ｔｂ−２３ａｔ％Ｄｙ−Ｆ
ｅ合金（λS ＝６００×１０-6）、ＣｏＺｎＯ等のフェ
ライト、ＴｂＩＧ、ＨｏＩＧ等のガーネットフェライト
等を用いることができる。
【００２２】これらの基体を構成する強磁性材料は、そ
の一部が実際に磁界を感磁する部分に加工される。加工
方法は上述した通りである。図５におけるマイクロアク
チュエータ３０の可動部分Ｍは、図面の矢印（Ｂ）方向
に動くことができるようになっている。そして、この可
動は、例えば、マイクロアクチュエータ３０の基体の材
質を強磁性材料から形成し（例えばニッケル）、スリッ
ト体３１ａで形成される基体の一部４５（長さＬの棒状
形状をなしている部分）を、磁界を感磁する部分とし、
この部分に前記磁界発生部４０からの磁界を作用させれ
ばよい。すると、基体の一部４５は、磁界の強度に応じ
て磁歪による寸法変化を起こしてわずかに矢印（Ｂ）方
向に可動するのである。
の一部が実際に磁界を感磁する部分に加工される。加工
方法は上述した通りである。図５におけるマイクロアク
チュエータ３０の可動部分Ｍは、図面の矢印（Ｂ）方向
に動くことができるようになっている。そして、この可
動は、例えば、マイクロアクチュエータ３０の基体の材
質を強磁性材料から形成し（例えばニッケル）、スリッ
ト体３１ａで形成される基体の一部４５（長さＬの棒状
形状をなしている部分）を、磁界を感磁する部分とし、
この部分に前記磁界発生部４０からの磁界を作用させれ
ばよい。すると、基体の一部４５は、磁界の強度に応じ
て磁歪による寸法変化を起こしてわずかに矢印（Ｂ）方
向に可動するのである。
【００２３】
【実施例】以下、本発明の具体的実施例を図６に基づい
て説明し、本発明の構成をさらに詳細に説明する。な
お、図６は、図３におけるＣ−Ｃ断面矢視図である。
て説明し、本発明の構成をさらに詳細に説明する。な
お、図６は、図３におけるＣ−Ｃ断面矢視図である。
【００２４】まず、最初に、板厚１．２ｍｍのセラミッ
ク（Ａｌ−Ｔｉ−Ｃ）からなる基板１５を準備した。こ
の基板１５の上に、スパッタ法により約１０μｍ厚のア
ルミナを成膜し、下部保護層５２とした。次いで、電気
めっき法により４μｍのインダクティブ書き込みヘッド
用パーマロイ下部磁極７３を形成し、さらにスパッタ法
により０．２μｍ厚のアルミナをギャップ膜７４として
成膜した。次いで、下部磁極７３とコイル間の絶縁層と
しての機能を果たすノボラック系レジスト層７５を成膜
し、２５０℃にて１時間の熱硬化を施し絶縁層（７５）
とした。
ク（Ａｌ−Ｔｉ−Ｃ）からなる基板１５を準備した。こ
の基板１５の上に、スパッタ法により約１０μｍ厚のア
ルミナを成膜し、下部保護層５２とした。次いで、電気
めっき法により４μｍのインダクティブ書き込みヘッド
用パーマロイ下部磁極７３を形成し、さらにスパッタ法
により０．２μｍ厚のアルミナをギャップ膜７４として
成膜した。次いで、下部磁極７３とコイル間の絶縁層と
しての機能を果たすノボラック系レジスト層７５を成膜
し、２５０℃にて１時間の熱硬化を施し絶縁層（７５）
とした。
【００２５】次の工程から、マイクロアクチュエータ３
０を駆動させるための磁界発生部４０を同時に成膜する
ようにした。すなわち、電気めっき法により４μｍの下
段銅コイル４２ｂと、磁気ヘッド素子のコイル７６を同
時に成膜し、さらに、コイル間の絶縁層としてレジスト
層５８を成膜した。さらに、電気めっき法により４μｍ
のパーマロイ上部磁極（磁気ヘッド側７９、磁界発生部
側４１）を同時に成膜した。
０を駆動させるための磁界発生部４０を同時に成膜する
ようにした。すなわち、電気めっき法により４μｍの下
段銅コイル４２ｂと、磁気ヘッド素子のコイル７６を同
時に成膜し、さらに、コイル間の絶縁層としてレジスト
層５８を成膜した。さらに、電気めっき法により４μｍ
のパーマロイ上部磁極（磁気ヘッド側７９、磁界発生部
側４１）を同時に成膜した。
【００２６】次に、マクロアクチュエータ駆動のための
磁界発生部４０の上部コイル絶縁膜６２、および上部コ
イル４２ａを成膜した。その後に、スパッタ法により全
面に約２０μｍ厚のアルミナを上部保護膜６４として成
膜した。このようにして所定の膜が積層形成されたウエ
ハーを所定の大きさに切断後、機械加工して、個々のス
ライダ４０とした。
磁界発生部４０の上部コイル絶縁膜６２、および上部コ
イル４２ａを成膜した。その後に、スパッタ法により全
面に約２０μｍ厚のアルミナを上部保護膜６４として成
膜した。このようにして所定の膜が積層形成されたウエ
ハーを所定の大きさに切断後、機械加工して、個々のス
ライダ４０とした。
【００２７】次に、マクロアクチュエータ３０を作製し
た。まず、最初に、３インチ径、厚さ０．５ｍｍの９
９．８％ニッケル板を、厚さ２．５ｍｍのガラス基板上
に仮取り付けし、この基体上に１ｍｍ×１．３ｍｍの大
きさのアクチュエータを複数個同時に形成した。すなわ
ち、図５に示されるようにスリット部分３１ｄを平面ス
プリング部分に、その他のスリット部分３１ａ，３１
ｂ，３１ｃ，３１ｅを切断幅０．３ｍｍの切れ込みとす
るためにフォトリソグラフィによりパターンを形成した
後、ウエットエッチングにより、図５に示されるような
所定パターンのスリット体を形成した。しかる後、レー
ザー加工により個々のアクチュエータ素子に分割した
後、ガラス基板より分離し、上記のスライダ４０に接
合、さらにジンバルに固定し、マイクロアクチュエータ
機構搭載の薄膜磁気ヘッドを完成させた。
た。まず、最初に、３インチ径、厚さ０．５ｍｍの９
９．８％ニッケル板を、厚さ２．５ｍｍのガラス基板上
に仮取り付けし、この基体上に１ｍｍ×１．３ｍｍの大
きさのアクチュエータを複数個同時に形成した。すなわ
ち、図５に示されるようにスリット部分３１ｄを平面ス
プリング部分に、その他のスリット部分３１ａ，３１
ｂ，３１ｃ，３１ｅを切断幅０．３ｍｍの切れ込みとす
るためにフォトリソグラフィによりパターンを形成した
後、ウエットエッチングにより、図５に示されるような
所定パターンのスリット体を形成した。しかる後、レー
ザー加工により個々のアクチュエータ素子に分割した
後、ガラス基板より分離し、上記のスライダ４０に接
合、さらにジンバルに固定し、マイクロアクチュエータ
機構搭載の薄膜磁気ヘッドを完成させた。
【００２８】本実施例では、１９個の磁界発生部（アク
チュエータ駆動用磁気コア）を使用し、それらのコイル
を直列に接続し同時駆動する方式とした。
チュエータ駆動用磁気コア）を使用し、それらのコイル
を直列に接続し同時駆動する方式とした。
【００２９】そして、このコイルに３００ｍＡの電流を
印加したところアクチュエータは振幅２０００Åにて移
動することが確認された。また電流値を小さくすること
で、その振幅は小さくなることも確認された。
印加したところアクチュエータは振幅２０００Åにて移
動することが確認された。また電流値を小さくすること
で、その振幅は小さくなることも確認された。
【００３０】
【発明の効果】上記の実施例の結果より、本発明の効果
は明らかである。すなわち、本発明においては、トラッ
クの位置決めに際して位置決めの微調整を行うためのマ
イクロアクチュエータを備えるとともに、マイクロアク
チュエータ駆動させるための磁界発生部が、磁気ヘッド
素子が形成されているスライダの面と同一面上に形成さ
れるので、可能な範囲で磁気記録用の磁気ヘッド素子と
マイクロアクチュエータを駆動させるための磁界発生部
を共通の成膜工程で作ることができる。マイクロアクチ
ュエータの形成もスリット体を設けることのみで簡易に
つくることができる。従って、トラック密度の向上に対
応して、微細なトラッキング位置制御ができることはも
とより、大幅な工程の短縮および製造コストの低減が図
られる。
は明らかである。すなわち、本発明においては、トラッ
クの位置決めに際して位置決めの微調整を行うためのマ
イクロアクチュエータを備えるとともに、マイクロアク
チュエータ駆動させるための磁界発生部が、磁気ヘッド
素子が形成されているスライダの面と同一面上に形成さ
れるので、可能な範囲で磁気記録用の磁気ヘッド素子と
マイクロアクチュエータを駆動させるための磁界発生部
を共通の成膜工程で作ることができる。マイクロアクチ
ュエータの形成もスリット体を設けることのみで簡易に
つくることができる。従って、トラック密度の向上に対
応して、微細なトラッキング位置制御ができることはも
とより、大幅な工程の短縮および製造コストの低減が図
られる。
【図１】本発明の薄膜磁気ヘッドが組み込まれている磁
気ディスク装置の概略平面図である。
気ディスク装置の概略平面図である。
【図２】ジンバルおよびジンバルの先端に取りつけられ
るマイクロアクチュエータおよびスライダの組み立て前
の概略斜視図である。
るマイクロアクチュエータおよびスライダの組み立て前
の概略斜視図である。
【図３】スライダのトラック方向に対して直角に位置す
る面の拡大正面図である。
る面の拡大正面図である。
【図４】マイクロアクチュエータを駆動させるための磁
界発生部の好適な一例を模式的に示した図である。
界発生部の好適な一例を模式的に示した図である。
【図５】マイクロアクチュエータの平面図である。
【図６】図３におけるＣ−Ｃ断面矢視図である。
【図７】従来の電磁誘導型マイクロアクチュエータの特
に、マイクロアクチュエータ可動部分を説明するための
図である。
に、マイクロアクチュエータ可動部分を説明するための
図である。
７…磁気ヘッド素子 １０…スライダ ３０…マイクロアクチュエータ ４０…磁界発生部 ５０…ジンバル Ｆ…固定部分 Ｍ…可動部分
Claims (5)
- 【請求項１】 磁気ヘッド素子を有するスライダと、ト
ラックの位置決めに際して位置決めの微調整を行うため
のマイクロアクチュエータと、バネ機構を有しスライダ
の安定を保つためのジンバルとを有する薄膜磁気ヘッド
であって、 前記スライダの前記磁気ヘッド素子が形成されている面
と同一面上には、前記マイクロアクチュエータを駆動さ
せるための磁界発生部が形成されていることを特徴とす
る薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】 前記マイクロアクチュエータは、板状の
基体を有し構成され、 前記板状の基体は、所定形状のスリット体の形成により
分割された可動部分と固定部分とを有し、可動部分に
は、前記スライダが固着され、固定部分には前記ジンバ
ルが固着されてなる請求項１記載の薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項３】 前記板状の基体が強磁性材料であること
を特徴とする請求項１記載の薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項４】 前記強磁性材料がニッケルまたはニッケ
ル鉄合金である請求項３記載の薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項５】 前記磁界発生部は、薄膜磁気コアと薄膜
コイルを有する磁気素子部を有してなる請求項１ないし
請求項４のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7351398A JPH09180381A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7351398A JPH09180381A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09180381A true JPH09180381A (ja) | 1997-07-11 |
Family
ID=18417021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7351398A Withdrawn JPH09180381A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09180381A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6239947B1 (en) * | 1998-05-11 | 2001-05-29 | International Business Machines Corporation | Milliactuator with integrated sensor and drivers and method of manufacturing the same |
| JP2001205596A (ja) * | 2000-01-25 | 2001-07-31 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 薄板状焼結体の製造方法および磁気ヘッドの製造方法 |
| US6452755B2 (en) * | 1997-12-04 | 2002-09-17 | Seagate Technology, Llc. | Microactuator suspension with multiple “I” shaped microbeams |
| US6600634B1 (en) * | 1999-10-21 | 2003-07-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Micro actuator |
-
1995
- 1995-12-26 JP JP7351398A patent/JPH09180381A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6452755B2 (en) * | 1997-12-04 | 2002-09-17 | Seagate Technology, Llc. | Microactuator suspension with multiple “I” shaped microbeams |
| US6239947B1 (en) * | 1998-05-11 | 2001-05-29 | International Business Machines Corporation | Milliactuator with integrated sensor and drivers and method of manufacturing the same |
| CN1316454C (zh) * | 1998-05-11 | 2007-05-16 | 日立环球储存科技荷兰有限公司 | 具有集成传感器和驱动器的小型传动装置及其制造方法 |
| US6600634B1 (en) * | 1999-10-21 | 2003-07-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Micro actuator |
| JP2001205596A (ja) * | 2000-01-25 | 2001-07-31 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 薄板状焼結体の製造方法および磁気ヘッドの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7841067B2 (en) | Method for manufacturing a trailing shield structure for a perpendicular magnetic write head | |
| US6975486B2 (en) | Thin film write head having a laminated, flat top pole with bottom shaper and method of fabrication | |
| US5404635A (en) | Method of making a narrow track thin film head | |
| US10950257B2 (en) | Process of forming a recessed spin flipping element in the write gap | |
| JP2004342210A (ja) | 垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法、ヘッドジンバルアセンブリならびにハードディスク装置 | |
| US20060158781A1 (en) | Thin film magnetic head and manufacturing method thereof | |
| JP2003085709A (ja) | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法並びに磁気ディスク装置 | |
| KR0178305B1 (ko) | 박막 자기 변환기의 수직 갭 형성방법 | |
| JP2003006813A (ja) | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| US6793961B2 (en) | Enhancement of magnetization switching speed in soft ferromagnetic films through control of edge stress anisotropy | |
| US6909579B2 (en) | Magnetic head with a vertically laminated back gap structure having magnetic layer thicknesses less than the skin depth | |
| JP2003217105A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| US7372667B2 (en) | Thin-film magnetic head, head gimbal assembly with thin-film magnetic head, head arm assembly with head gimbal assembly, magnetic disk drive apparatus with head gimbal assembly and manufacturing method of thin-film magnetic head | |
| JPWO2002067261A1 (ja) | ヘッドスライダおよびその製造方法 | |
| JPH09180381A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH09180382A (ja) | 磁気ディスク装置 | |
| JPH11213332A (ja) | 薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 | |
| JP2002208114A (ja) | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP2003006811A (ja) | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP3164050B2 (ja) | 磁気抵抗効果型複合ヘッドの製造方法 | |
| JP2870374B2 (ja) | 薄膜磁気抵抗効果ヘッド | |
| JP2001126216A (ja) | 磁気記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JP2002175606A (ja) | 薄膜磁気ヘッド、その製造方法、および磁気ディスク装置 | |
| JPH0793715A (ja) | 薄膜磁気抵抗効果型ヘッド | |
| JP2002319108A (ja) | 磁気ディスク装置用記録ヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030304 |